KR101991267B1 - 기판 절단 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치에 의해 절단되는 기판이 도시된 개략도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 정렬 유닛이 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 정렬 유닛이 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 정렬 유닛이 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 제1 이송 유닛, 제1 절단 유닛 및 제2 이송 유닛이 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 제1 이송 유닛, 제1 절단 유닛 및 제2 이송 유닛이 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 제1 이송 유닛의 가압 유닛이 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 10 내지 도 13은 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 제1 및 제2 플레이트가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 14는 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 제어 블록도이다.
도 15 내지 도 25는 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 제1 이송 유닛, 제1 절단 유닛 및 제2 이송 유닛의 작동 과정이 순차적으로 도시된 도면이다.
도 26은 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 제2 이송 유닛 및 제2 절단 유닛이 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 27 내지 도 29는 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 제2 이송 유닛으로부터 제2 절단 유닛으로 기판을 전달하는 과정이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 30은 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 제2 절단 유닛이 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 31은 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 제2 절단 유닛 및 기판 반전 유닛이 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 32 내지 도 37은 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 기판 반전 유닛의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 38은 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 기판 반전 유닛 및 제3 절단 유닛이 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 39는 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단 장치의 제3 절단 유닛이 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 40은 본 발명의 실시예에 따른 제3 이송 유닛이 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 41은 본 발명의 실시예에 따른 제3 이송 유닛이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 42는 본 발명의 실시예에 따른 제3 이송 유닛의 제어 블록도이다.
300: 제2 절단 유닛 400: 기판 반전 유닛
500: 제3 절단 유닛 600: 제1 이송 유닛
700: 제2 이송 유닛 800: 제3 이송 유닛
900: 더미 제거 유닛 S: 기판
S1: 제1 면 S2: 제2 면
Claims (10)
- 커팅 휠을 구비하는 커팅 휠 모듈;
상기 커팅 휠 모듈을 이동시켜 상기 커팅 휠을 기판에 가압하는 휠 이동 모듈;
상기 커팅 휠 모듈의 양측에 구비되어 상기 기판을 지지하는 제1 및 제2 플레이트;
상기 제2 플레이트를 상기 제1 플레이트로부터 이동시켜 상기 제1 및 제2 플레이트에 지지된 상기 기판을 분할하는 이동 장치;
상기 이동 장치의 부하를 측정하는 부하 측정 모듈; 및
상기 부하 측정 모듈에 의해 측정된 상기 이동 장치의 부하를 기준으로 상기 커팅 휠이 상기 기판에 가압하는 가압력을 조절하는 제어 유닛을 포함하는 기판 절단 장치. - 청구항 1에 있어서,
상기 제어 유닛은,
상기 기판이 분할될 때에 상기 부하 측정 모듈에 의해 측정된 상기 이동 장치의 부하가 기준 부하를 초과하는 경우, 상기 커팅 휠이 상기 기판에 가하는 가압력이 증가하도록 상기 휠 이동 모듈을 제어하고,
상기 기판이 분할될 때에 상기 부하 측정 모듈에 의해 측정된 상기 이동 장치의 부하가 기준 부하 미만인 경우, 상기 커팅 휠이 상기 기판에 가하는 가압력이 감소하도록 상기 휠 이동 모듈을 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치. - 청구항 1 또는 2에 있어서,
외부로부터 반입된 기판의 위치를 결정하는 정렬 유닛;
상기 제1 플레이트에 인접하게 배치되고, 상기 커팅 휠 모듈 및 상기 휠 이동 모듈을 구비하며, 상기 정렬 유닛으로부터 이송되어 상기 제1 플레이트에 놓인 상기 기판의 제1 면 및 제2 면에 X축 방향에 평행한 제1 및 제2 X축 절단 라인을 각각 형성하는 제1 절단 유닛;
상기 이동 장치에 의해 상기 제1 및 제2 X축 절단 라인을 따라 분할된 상기 기판의 제1 면에 Y축 방향에 평행한 제1 Y축 절단 라인을 형성하는 제2 절단 유닛;
상기 제2 절단 유닛에 의해 상기 제1 Y축 절단 라인이 형성된 기판을 반전시키는 기판 반전 유닛; 및
상기 기판 반전 유닛에 의해 반전된 상기 기판의 제2 면에 Y축 방향에 평행한 제2 Y축 절단 라인을 형성하는 제3 절단 유닛을 포함하는 기판 절단 장치. - 청구항 3에 있어서,
상기 정렬 유닛은,
Y축 방향으로 연장되며 X축 방향으로 소정의 간격으로 이격되게 배치되는 복수의 벨트;
상기 복수의 벨트와 연결되어 상기 복수의 벨트를 승강시키는 벨트 승강 장치;
상기 복수의 벨트 사이에 배치되어 상기 기판을 부양시키는 복수의 부양 장치;
상기 복수의 부양 장치에 의해 부양된 상기 기판의 측면을 가압하는 가압 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치. - 청구항 3에 있어서,
상기 제1 절단 유닛은, X축 방향으로 연장되는 제1 프레임, 상기 제1 프레임에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되며, Z축 방향으로 서로 대면하도록 배치되는 적어도 한 쌍의 제1 헤드를 포함하고,
상기 적어도 한 쌍의 제1 헤드는 Z축 방향으로 이격되게 배치되며 각각 커팅 휠을 구비하는 제1 및 제2 커팅 휠 모듈과, Z축 방향으로 이격되게 배치되며 각각 롤러를 구비하는 제1 및 제2 롤러 모듈을 포함하며,
상기 제1 커팅 휠 모듈의 커팅 휠은 상기 제2 롤러 모듈의 롤러와 서로 일치하도록 배치되며, 제2 커팅 휠 모듈의 커팅 휠은 상기 제1 롤러 모듈의 롤러와 서로 일치하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치. - 청구항 5에 있어서,
상기 제1 커팅 휠 모듈의 커팅 휠 및 상기 제2 커팅 휠 모듈의 커팅 휠은 Y축 방향으로 이격되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치. - 청구항 3에 있어서,
상기 제2 절단 유닛은,
X축 방향으로 연장되며 Y축 방향으로 이동 가능하도록 구성되는 제2 프레임;
상기 제2 프레임에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되며 커팅 휠을 구비하는 제2 헤드;
상기 기판이 지지되는 벨트; 및
상기 벨트의 하측에서 Z축 방향으로 이동 가능하게 배치되어 상기 커팅 휠이 상기 기판에 가압될 때 상기 벨트를 지지하여 이에 따라 상기 기판을 지지하는 지지 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치. - 청구항 3에 있어서,
상기 기판 반전 유닛은,
X축 방향으로 서로 이격되게 배치되는 복수의 벨트;
Z축 방향으로 연장되는 지지대;
제1 흡착 노즐을 구비하는 제1 흡착 플레이트;
제2 흡착 노즐을 구비하며 제2 흡착 플레이트;
상기 제1 흡착 플레이트 및 상기 제2 흡착 플레이트를 상기 지지대를 따라 Z축 방향으로 이동시키는 흡착 플레이트 승강 장치; 및
상기 제1 흡착 플레이트 및 제2 흡착 플레이트를 회전시키는 흡착 플레이트 회전 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치. - 청구항 3에 있어서,
상기 제3 절단 유닛은,
X축 방향으로 연장되며 Y축 방향으로 이동 가능하도록 구성되는 제3 프레임;
상기 제3 프레임에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되며 커팅 휠을 구비하는 제3 헤드;
상기 기판이 지지되는 벨트; 및
상기 벨트의 하측에서 Z축 방향으로 이동 가능하게 배치되어 상기 커팅 휠이 상기 기판에 가압될 때 상기 벨트를 지지하여 상기 기판을 지지하는 지지 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치. - 청구항 3에 있어서,
상기 정렬 유닛과 상기 제1 절단 유닛 사이에 배치되고, 상기 제1 플레이트를 포함하며, 상기 기판을 정렬 유닛으로부터 상기 제1 절단 유닛으로 이송시키는 제1 이송 유닛; 및
상기 제1 절단 유닛과 상기 제2 절단 유닛 사이에 배치되고, 상기 제2 플레이트를 포함하며, 상기 기판을 상기 제1 절단 유닛으로부터 상기 제2 절단 유닛으로 전달하는 제2 이송 유닛을 포함하는 기판 절단 장치.
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