KR101927939B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 실시 예에 따른 기판 처리 장치는, 기판 상의 이물을 세정하는 세정 챔버; 상기 기판의 세정에 사용된 제 1 약액 및 제 2 약액을 포함하는 혼합액을 회수하여 재생하는 재생 유닛을 포함하고, 상기 재생 유닛은, 상기 세정 챔버에서 회수된 상기 혼합액을 분리하는 분리 유닛; 상기 분리 유닛과 상기 세정 챔버를 연결하며, 상기 혼합액이 상기 분리 유닛으로 유입되도록 하는 회수라인; 일측이 상기 분리 유닛과 연결되고, 상기 분리 유닛에서 증발된 혼합액이 배기되는 감압라인; 일측이 상기 분리 유닛에 연결되어, 상기 분리 유닛에서 분리된 상기 제 1 약액이 배출되는 제 1 배출라인을 포함하고, 상기 분리 유닛은, 내부 공간이 형성되는 제 1 하우징; 및 상기 내부 공간에 제공되어 상기 내부 공간을 상부 공간과 하부 공간으로 나누는 여과부재를 포함한다.
Description
본 발명은 기판을 처리하는 기판 처리 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판의 세정에 사용된 약액을 재생하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
반도체소자 또는 액정 디스플레이를 제조하기 위해서, 기판에 포토리소그라피, 식각, 애싱, 이온주입, 그리고 박막 증착등의 다양한 공정들이 수행된다. 각각의 공정에서 생성된 오염물 및 파티클을 제거하기 위해 공정이 진행되기 전 또는 후 단계에서 기판을 세정하는 세정공정이 실시된다.
일반적으로 세정공정으로는 기판 상에 약액을 공급하여 기판을 세정 처리한다. 약액은 기판 상에 부착된 이물을 제거한 후 외부로 배출되어 버려진다. 또는, 사용된 약액은 끓는 점의 차이를 이용하여 분리한 후 재생된다. 종래에는 사용된 약액을 대기압에서 가열하여 분리하였다. 따라서, 약액이 끓는점에 도달하도록 하기 위해 약액을 고온으로 가열하여야 하므로, 약액의 재생에 소비되는 에너지가 커서, 효율이 떨어지는 문제점이 있었다.
본 발명은 기판의 세정에 사용된 약액을 재생하는 기판 처리 장치를 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 약액의 재생에 소요되는 시간이 단축되는 기판 처리 장치를 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 약액의 재생에 소요되는 비용이 절감되는 기판 처리 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 실시 예에 따른 기판 처리 장치는, 기판 상의 이물을 세정하는 세정 챔버; 상기 기판의 세정에 사용된 제 1 약액 및 제 2 약액을 포함하는 혼합액을 회수하여 재생하는 재생 유닛을 포함하고, 상기 재생 유닛은, 상기 세정 챔버에서 회수된 상기 혼합액을 분리하는 분리 유닛; 상기 분리 유닛과 상기 세정 챔버를 연결하며, 상기 혼합액이 상기 분리 유닛으로 유입되도록 하는 회수라인; 일측이 상기 분리 유닛과 연결되고, 상기 분리 유닛에서 증발된 혼합액이 배기되는 감압라인; 일측이 상기 분리 유닛에 연결되어, 상기 분리 유닛에서 분리된 상기 제 1 약액이 배출되는 제 1 배출라인을 포함하고, 상기 분리 유닛은, 내부 공간이 형성되는 제 1 하우징; 및 상기 내부 공간에 제공되어 상기 내부 공간을 상부 공간과 하부 공간으로 나누는 여과부재를 포함한다.
본 발명에 의하면, 기판의 세정에 사용된 약액을 재생할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 기판의 세정에 사용된 약액을 재생하는데 소요되는 시간이 단축될 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 기판의 세정에 사용된 약액을 재생하는데 소요되는 비용이 절감될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치의 구성도이다.
도 2는 제 2 실시 예에 따른 기판 처리 장치의 구성도이다.
도 3은 재생유닛의 구성을 나타낸 도면이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 분리유닛의 구성을 보여주는 도면이다.
도 5는 다른 실시 예에 따른 분리유닛의 구성을 보여주는 도면이다.
도 6은 또 다른 실시 예에 따른 분리유닛의 구성을 보여주는 도면이다.
도 7은 응축기의 구성을 보여주는 도면이다.
도 8은 다른 실시 예에 따른 예비 가열유닛의 구성을 보여주는 도면이다.
도 2는 제 2 실시 예에 따른 기판 처리 장치의 구성도이다.
도 3은 재생유닛의 구성을 나타낸 도면이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 분리유닛의 구성을 보여주는 도면이다.
도 5는 다른 실시 예에 따른 분리유닛의 구성을 보여주는 도면이다.
도 6은 또 다른 실시 예에 따른 분리유닛의 구성을 보여주는 도면이다.
도 7은 응축기의 구성을 보여주는 도면이다.
도 8은 다른 실시 예에 따른 예비 가열유닛의 구성을 보여주는 도면이다.
이하 이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면, 도 1 내지 도 7을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
도 1 은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치의 구성도이다.
도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 세정챔버(2), 재생유닛(3) 그리고 약액공급유닛(6)을 포함한다.
약액공급유닛(6)은 공급라인(7)으로 세정챔버(2)에 연결된다. 약액공급유닛(6)은 공급라인(7)을 통해서 세정챔버(2)로 혼합액을 공급한다. 혼합액은 제 1 약액 및 제 2 약액을 포함한다. 제 1 약액은 황산, 암모니아 또는 질산 중 하나일 수 있다. 제 2 약액은 과산화수소일 수 있다. 이하에서는, 혼합액은 제 1 약액이 황산이고, 제 2 약액이 과산화수소인 경우를 예로 들어 설명한다.
세정챔버(2)는 약액공급유닛(6)에서 혼합액을 공급받아 기판을 세정한다. 기판의 세정에 사용된 혼합액은 회수되어 재생유닛(3)으로 공급된다. 혼합액에 포함된 과산화수소의 일부는 세정챔버(2)에 공급되는 과정 및 기판의 세정에 사용된 후 회수되는 과정에서 물이 된다. 따라서, 재생유닛(3)으로 공급되는 혼합액에는 황산, 과산화수소 또는 물이 포함된다.
재생유닛(3)은 회수된 혼합액에서 황산을 분리한다. 재생유닛(3)은 혼합액에서 황산이 설정 순도를 가지도록 분리한 후 약액공급유닛(6)으로 공급한다.
약액공급유닛(6)은 재생유닛(3)에서 공급받은 황산을 공급라인(7)을 통해서 세정챔버(2)에 공급한다.
도 2는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 처리 장치의 구성도이다.
도 2를 참조하면, 재생유닛(3)은 세정챔버(2)에 바로 황산을 공급할 수 있다. 따라서, 황산은 약액공급유닛(6)에서 세정챔버(2)로 공급되거나, 재생유닛(3)에서 세정챔버(2)로 공급될 수 있다.
도 3은 재생유닛의 구성을 나타낸 도면이다.
도 3을 참조하면, 재생유닛(3)은 분리유닛(30), 감압유닛(40), 그리고 예비가열유닛(50) 을 포함한다.
분리유닛(30)은 회수라인(700), 감압라인(710), 그리고 제 1 배출라인(720)의 일측과 각각 연결된다. 회수라인(700)의 타측은 세정챔버(2)와 연결된다. 따라서, 세정챔버(2)에서 기판의 세정에 사용된 혼합액은 회수라인(700)을 통해서 분리유닛(30)으로 유입된다. 분리유닛(30)은 설정량의 혼합액이 내부로 유입되면, 혼합액을 가열한다. 혼합액의 가열을 계속하면, 혼합액에 포함된 과산화수소 및 물이 증발된다. 또한, 혼합액에 포함된 황산의 일부도 흄으로 증발된다.
감압유닛(40)은 감압라인(710)에 설치된다. 감압유닛(40)은 감압라인(710)을 통해서 분리유닛(30)에 흡입압력을 제공한다. 따라서, 분리유닛(30) 내부에 있는 기체 및 증발된 혼합액은 감압라인(710)을 통해서 배기되고, 분리유닛(30) 내부의 압력은 떨어진다. 분리유닛(30) 내부의 압력이 떨어지면, 혼합액의 끓는 점이 낮아진다. 일 예로 감압유닛(40)은 분리유닛(30) 내부의 압력이 0.005~0.025bar로 형성되도록 압력을 제공하고, 분리유닛(30)은 혼합액을 150~170℃로 가열한다.
그리고, 감압라인(710)에는 분리유닛(30)과 감압유닛(40)사이에 후술할 응축기(43)가 설치된다.
제 1 배출라인(720)에는 배출밸브(721), 그리고 배출펌프(722)가 설치된다. 혼합액을 가열하는 동안 배출밸브(721)는 혼합액이 제 1 배출라인(720)으로 유동하는 것을 차단한다. 또한, 분리유닛(30)에서 설정량의 혼합액으로부터 황산을 분리하는 동안, 혼합액은 추가적으로 분리유닛(30)에 유입되지 않는다. 혼합액은 가열되는 과정에서, 과산화 수소 및 물이 주로 증발된다. 따라서, 혼합액의 가열 과 증발된 혼합액의 배출을 계속하면, 혼합액에 포함된 황산의 순도가 증가된다. 분리유닛(30)에 남아있는 황산의 순도가 설정 순도가 되면, 배출밸브(721)는 개방되고, 배출펌프(722)가 동작하여, 황산은 제 1 배출라인(720)으로 배출된다.
예비가열유닛(50)은 회수라인(700)에 설치된다. 예비가열유닛(50)은 하우징(501) 및 히터(502)를 포함한다. 하우징(501)은 예비가열유닛(50)의 외관을 형성하면서, 설정량의 혼합액을 저장하는 공간을 제공한다. 히터(502)는 하우징(501)에 저장된 혼합액을 가열한다.
분리유닛(30)에서 혼합액에 포함된 황산을 분리하는 동안, 회수라인(700)을 통해서 추가적으로 공급되는 혼합액은 하우징(501)에 저장되면서, 히터(502)로 가열된다. 분리유닛(30)에서 분리된 황산이 제 1 배출라인(720)을 통해서 배출되면, 하우징(501)에 저장된 혼합액 또는 세정챔버(2)로부터 공급되는 혼합액이 분리유닛(30)으로 공급된다. 따라서, 예비가열유닛(50)이 설치되면, 분리유닛(30)으로 공급되는 혼합액의 온도는 상승하게 되어, 혼합액이 증발온도까지 도달하는데 소요되는 시간이 감소된다.
예비가열 유닛(50)과 분리유닛(30)을 연결하는 회수라인(700)에는 순환라인(730)이 분기되고, 순환라인(730)의 다른 한 쪽은 예비가열 유닛(50)에 연결된다. 회수라인(700)에서 순환라인(730)이 분기되는 곳에는 제 1 삼방밸브(731)가 설치된다.
제 1 삼방밸브(731)는 분리유닛(30)으로 유입되는 유로 또는 순환라인(730)으로 연결되는 유로를 선택적으로 개폐하게 제어된다. 따라서, 예비가열유닛(50)에서 배출된 혼합액은 분리유닛(30)으로 유입되거나 순환라인(730)을 통해서 예비가열유닛(50)으로 다시 유입된다. 분리유닛(30)에서 혼합액에 포함된 황산을 분리하는 동안, 제 1 삼방밸브(731)는 분리유닛(30)으로 유입되는 회수라인(700)은 차단하고 순환라인(730)은 개방하도록 제어되어, 혼합액은 하우징(501) 내부에서 유동하게 된다. 따라서, 예비가열유닛(50)에서 히터(502)와 혼합액이 열교환 되는 면적이 증가하여, 혼합액이 가열되는 시간이 단축된다. 일 예로 예비가열유닛(50)은 혼합액을 100~160℃로 가열한다.
그리고, 예비가열유닛(50)에서 혼합액이 배출되는 쪽의 회수라인(700)에는 펌프(703)가 설치된다. 펌프(703)는 분리유닛(30) 또는 순환라인(730)으로 유입되는 혼합액의 유동을 원활히 한다.
예비가열 유닛(50)과 분리유닛(30)을 연결하는 회수라인(700)에는 라인 히터(502)가 설치된다. 라인 히터(502)는 회수라인(700)의 외주면에 접하도록 설치되어, 회수라인(700)을 유동하는 혼합액을 가열한다. 따라서, 예비가열유닛(50)에서 배출된 혼합액의 온도가 유동 중에 낮아지는 것을 방지한다. 또한, 유동하는 혼합액은 라인 히터(502)와 열교환 면적이 크게 형성되므로, 열교환 효율이 향상된다. 또한, 순환라인(730)에도 라인 히터(502)가 설치된다.
회수라인(700)에는 세정챔버(2)와 예비가열 유닛(50) 사이에 제 2 삼방밸브(741) 및 필터(705)가 설치된다. 제 2 삼방밸브(741)가 설치된 곳에는 회수라인(700)에서 폐기라인(740)이 분지된다. 제 2 삼방밸브(741)는 혼합액이 폐기라인(740) 또는 예비가열 유닛(50)과 연결되는 회수라인(700)을 선택적으로 개폐한다. 폐기라인(740)으로 유입된 혼합액은 폐기된다. 따라서, 사용자는 제 2 삼방밸브(741)를 제어하여 혼합액을 재생하거나 폐기할 수 있다. 일 예로 황산 및 과산화수소를 1:1 내지 1:4의 비율로 혼합하여 사용한 혼합액은 폐기하고, 1:5 내지 1:7의 비율로 혼합하여 사용한 혼합액은 재생되도록 선택 할 수 있다. 필터(705)는 예비가열 유닛(50)으로 유입되는 혼합액에서 이물을 걸러낸다.
본 실시 예에서 응축기(43)는 생략하고 실시 할 수 있다.
또한, 본 실시 예에서 순환라인(730)은 생략하고 실시 할 수 있다.
또한, 본 실시 예에서 예비가열유닛(50)은 생략하고 실시 할 수 있다.
도 4는 분리유닛(30)의 구성을 보여주는 도면이다.
도 4를 참조하면, 분리유닛(30)은 제 1 하우징(301), 분리 히터(302) 및 여과부재(303)를 포함한다.
제 1 하우징(301)은 설정량의 혼합액이 저장되는 공간을 형성하도록 제공된다. 제 1 하우징(301)의 내부에는 여과부재(303)가 설치된다. 여과부재(303)는 다공성 소재로 제공된다. 여과부재(303)가 제공되면, 제 1 하우징(301)의 내부는 상부공간 및 하부공간으로 나누어진다. 회수라인(700) 및 제 1 배출라인(720)은 하부공간에, 감압라인(710)은 상부공간에 각각 연결된다. 또한, 제 1 배출라인(720)은 회수라인(700)보다 아래쪽에 연결된다.
분리 히터(302)는 제 1 하우징(301)에 연전달 가능하게 설치된다. 분리 히터(302)는 제 1 하우징(301)의 내부, 내벽, 또는 외벽에 설치된다. 분리 히터(302)가 동작하면, 제 1 하우징(301)에 유입된 혼합액은 가열되어 증발한다. 증발된 혼합액은 여과부재(303)를 통과한 후 감압라인(710)으로 이동한다. 증발된 혼합액은 여과부재(303)를 통과하는 과정에서, 황산이 걸러진다. 즉, 증발된 혼합액은 여과부재(303)를 통과하면서 여과부재(303)와 충돌한다. 증발된 혼합액의 일부는 여과부재(303)와 충돌하는 과정에서 점성에 의해서 여과부재(303)에 부착된다. 증발이 계속되면, 여과부재(303)에 부착된 혼합액은 입자가 커진 후, 중력에 의해서 아래로 떨어지게 된다.
증발된 혼합액에 포함된 황산은 증발된 과산화수소 또는 물보다 입자가 크고 점성이 높다. 따라서, 증발된 혼합액이 여과부재(303)와 충돌하면, 여과부재(303)에 부착되는 황산이 여과부재(303)에 부착되는 과산화수소 또는 물보다 많다. 따라서, 여과부재(303)에서 떨어지는 혼합액에는 황산이 과산화수소 및 물보다 많이 포함된다.
도 5는 다른 실시 예에 따른 분리유닛의 구성을 보여주는 도면이다.
도 5를 참조하면, 감압라인(710)은 하부공간을 가로질러 상부공간에 연결된다. 즉, 감압라인(710)은 제 1 하우징(301) 내부에서 하부공간에서 상부공간으로 연장 형성되고, 여과부재(303)에 형성된 홀(304)을 통해서 상부공간에 연결된다. 따라서, 감압라인(710)이 제 1 하우징(301) 외부에 연결되는 위치는, 상부공간이 형성된 곳에 한정되지 않아, 분리유닛(30)에 연결되는 감압라인(710)의 위치를 변경할 수 있다.
도 6은 또 다른 실시 예에 따른 분리유닛의 구성을 보여주는 도면이다.
도 6을 참조하면, 분리유닛(30)은 제 1 하우징(301), 분리 히터(302), 여과부재(303), 충전부재(304) 및 지지부재(305)를 포함한다.
지지부재(305)는 여과부재(303)의 하부에 여과부재와 일정거리 이격되어 제공된다. 지지부재(305)에는 증발된 혼합액이 통과할 수 있는 공극이 형성된다. 여과부재(303)와 지지부재(305) 사이에 형성되는 공간에는 충전부재(304)가 제공된다. 충전부재(304)는 지지부재(305)에 형성된 공극보다 큰 입자들로 제공되어, 지지부재(305)에 지지된다. 그리고, 충전부재(304)에는 입자들 사이에 공극이 형성된다.
증발된 혼합액은 지지부재(305), 충전부재(304) 및 여과부재(303)를 통과한 후 감압라인(710)으로 이동한다. 증발된 혼합액은 지지부재(305), 충전부재(304) 및 여과부재(303)를 차례로 통과하는 과정에서, 황산이 걸러진다. 즉, 증발된 혼합액은 지지부재(305), 충전부재(304) 및 여과부재(303)를 통과하면서 지지부재(305), 충전부재(304) 및 여과부재(303)와 각각 충돌한다. 증발된 혼합액의 일부는 지지부재(305), 충전부재(304) 및 여과부재(303)와 충돌하는 과정에서 점성에 의해서 지지부재(305), 충전부재(304) 및 여과부재(303)에 부착된다. 충전부재(304)에 형성되는 공극은 서로 연결되어 있어, 증발된 혼합액은 여과부재(303)쪽으로 유동 될 수 하다. 증발이 계속되면, 지지부재(305), 충전부재(304) 및 여과부재(303)에 부착된 혼합액은 입자가 커진 후, 중력에 의해서 아래로 떨어지게 된다.
증발된 혼합액에 포함된 황산은 증발된 과산화수소 또는 물보다 입자가 크고 점성이 높다. 따라서, 증발된 혼합액이 지지부재(305), 충전부재(304) 및 여과부재(303)와 충돌하면, 지지부재(305), 충전부재(304) 및 여과부재(303)에 부착되는 황산이 여과부재(303)에 부착되는 과산화수소 또는 물보다 많다. 따라서, 지지부재(305), 충전부재(304) 및 여과부재(303)에서 떨어지는 혼합액에는 황산이 과산화수소 및 물보다 많이 포함된다.
충전부재(304)가 제동되면, 증발된 혼합액과 충돌하는 면적이 증가된다. 따라서, 충전부재(304)에 부착된 후 아래로 떨어지는 혼합액의 양이 증가된다.
도 7은 응축기의 구성을 보여주는 도면이다.
도 7을 참조하면, 응축기(43)는 제 2 하우징(430), 제 1 구획부재(431), 제 2 구획부재(432) 및 연결관(436)을 포함한다.
외관을 이루는 제 2 하우징(430)의 내부에는 제 1 구획부재(431) 및 제 2 구획부재(432)가 설치되어, 유입공간(433), 냉각공간(435) 및 유출공간(434)이 형성된다. 유입공간(433)에는 혼합액이 유입되는 감압라인(710)이 연결된다. 유출공간(434)에는 혼합액이 유출되는 감압라인(710) 및 제 2 배출라인(750)이 연결된다. 제 2 배출라인(750)은 혼합액이 유출되는 감압라인(710) 보다 낮은 곳에 연결된다. 연결관(436)은 냉각공간(435)을 가로질러 설치되어, 유입공간(433)과 유출공간(434)을 연결한다. 또한, 냉각공간(435)에는 냉매유입관(437) 및 냉매유출관(438)이 연결된다.
유입공간(433)으로 유입된 증발된 혼합액은 연결관(436)을 통해서 유출공간(434)으로 유동한다. 또한, 냉매유입관(437)으로 들어온 냉매는 냉각공간(435)을 유동한 후 냉매유출관(438)으로 배출된다. 연결관(436)을 유동하는 증발된 혼합액은 냉각공간(435)을 유동하는 저온의 냉매와 열교환 하는 과정에서 응축되어, 일부는 액상이 된다. 액상의 혼합액은 유출공간(434)에서 제 2 배출라인(750)으로 유동하고, 기상의 혼합액은 감압라인(710)으로 유동한다. 제 2 배출라인(750) 및 감압라인(710)으로 유동된 혼합액은 폐기된다.
증발된 혼합액에 포함된 황산은 증발된 혼합액에 포함된 과산화수소 및 물보다 끓는 점이 높아, 혼합액에 포함된 과산화수소 및 물보다 쉽게 액화된다. 따라서, 유출공간(434)에서 감압라인(710)으로 유동하는 혼합액보다 제 2 배출라인(750)으로 유동하는 혼합액에 황산이 많이 포함된다. 감압유닛(40)으로 유입되는 황산의 양이 감소하여, 황산으로 인한 감압유닛(40)의 부식이 방지된다.
또한, 감압유닛(40)으로 유입되는 증발된 혼합액의 양이 감소하여 감압유닛(40)에 가해지는 부하가 감소되어, 감압유닛(40)에서 소비되는 에너지가 감소된다.
도 8은 또 다른 실시 예에 따른 예비가열유닛의 구성을 보여주는 도면이다.
도 8을 참조하면 예비가열 유닛(50)은 2개가 병렬로 제공된다. 회수라인(700)은 제 1 분지라인(706) 및 제 2 분지라인(707)으로 병렬로 분지된다. 제 1 분지라인(706) 및 제 2 분지라인(707)에는 각각 제 1 예비가열유닛(51) 및 제 2 예비가열유닛(52)이 설치된다. 또한, 회수라인(700)이 분지되는 곳에는 제 3 삼방밸브(708)가 설치된다.
제 3 삼방밸브(708)는 회수라인(700)으로 유입된 혼합액이 제 1 분지라인(706) 또는 제 2 분지라인(707)으로 선택적으로 유입되도록 제어된다. 따라서, 회수라인(700)으로 유입된 혼합액은 제 1 예비가열유닛(51) 또는 제 2 예비가열유닛(52)으로 유입된다. 따라서, 제 1 예비가열유닛(51) 및 제 2 예비가열유닛(52)은 각각 설정량은 혼합액을 설정온도로 가열할 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
30: 분리유닛 40: 감압유닛
43: 응축기 50: 예비가열유닛
700: 회수라인 710: 감압라인
43: 응축기 50: 예비가열유닛
700: 회수라인 710: 감압라인
Claims (9)
- 기판 상의 이물을 세정하는 세정 챔버;
상기 기판의 세정에 사용된 제 1 약액 및 제 2 약액을 포함하는 혼합액을 회수하여 재생하는 재생 유닛을 포함하고,
상기 재생 유닛은, 상기 세정 챔버에서 회수된 상기 혼합액을 분리하는 분리 유닛;
상기 분리 유닛과 상기 세정 챔버를 연결하며, 상기 혼합액이 상기 분리 유닛으로 유입되도록 하는 회수라인;
일측이 상기 분리 유닛과 연결되고, 상기 분리 유닛에서 증발된 혼합액이 배기되는 감압라인;
일측이 상기 분리 유닛에 연결되어, 상기 분리 유닛에서 분리된 상기 제 1 약액이 배출되는 제 1 배출라인을 포함하고,
상기 분리 유닛은,
내부 공간이 형성되는 제 1 하우징; 및
상기 내부 공간에 제공되어 상기 내부 공간을 상부 공간과 하부 공간으로 나누는 여과부재를 포함하며,
상기 회수라인과 상기 제 1 배출라인은 상기 하부 공간에 직접 연결되고,
상기 감압라인은 상기 여과 부재에 제공된 홀을 통해 상기 상부 공간에 직접 연결되는 기판 처리 장치. - 삭제
- 삭제
- 기판 상의 이물을 세정하는 세정 챔버;
상기 기판의 세정에 사용된 제 1 약액 및 제 2 약액을 포함하는 혼합액을 회수하여 재생하는 재생 유닛을 포함하고,
상기 재생 유닛은, 상기 세정 챔버에서 회수된 상기 혼합액을 분리하는 분리 유닛;
상기 분리 유닛과 상기 세정 챔버를 연결하며, 상기 혼합액이 상기 분리 유닛으로 유입되도록 하는 회수라인;
일측이 상기 분리 유닛과 연결되고, 상기 분리 유닛에서 증발된 혼합액이 배기되는 감압라인;
일측이 상기 분리 유닛에 연결되어, 상기 분리 유닛에서 분리된 상기 제 1 약액이 배출되는 제 1 배출라인을 포함하고,
상기 분리 유닛은,
내부 공간이 형성되는 제 1 하우징; 및
상기 내부 공간에 제공되어 상기 내부 공간을 상부 공간과 하부 공간으로 나누는 여과부재를 포함하며,
상기 분리 유닛은,
상기 여과부재의 하부에 제공되는 지지부재를 더 포함하고,
상기 지지부재는 상기 여과부재와 일정거리 이격되게 위치되고,
상기 지지부재와 상기 여과부재 사이에는 충전부재가 제공되는 기판 처리 장치. - 삭제
- 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서,
상기 분리 유닛은,
상기 감압라인에 설치되고, 상기 증발된 혼합액을 응축하는 응축기를 더 포함하는 기판 처리 장치. - 제 6항에 있어서,
상기 응축기는,
유입공간, 냉각공간 및 유출공간이 형성되는 제 2 하우징;
상기 유입공간 및 냉각공간 사이에 제공되는 제 1 구획부재;
상기 냉각공간 및 유출공간 사이에 제공되는 제 2 구획부재를 포함하는 기판 처리 장치. - 제 7항에 있어서,
상기 응축기는,
상기 냉각공간을 가로질러 제공되어, 상기 유입공간과 유출공간이 연결되도록 하는 연결관을 더 포함하는 기판 처리 장치. - 제 7항에 있어서,
상기 유입공간 및 유출공간에는 상기 감압라인이 연결되고,
상기 유출공간에는 응축된 상기 혼합액이 배출되는 제 2 배출라인이 연결되는 기판 처리 장치.
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