[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

KR101851975B1 - Apparatus and method for inspecting appearance of work - Google Patents

Apparatus and method for inspecting appearance of work Download PDF

Info

Publication number
KR101851975B1
KR101851975B1 KR1020160072971A KR20160072971A KR101851975B1 KR 101851975 B1 KR101851975 B1 KR 101851975B1 KR 1020160072971 A KR1020160072971 A KR 1020160072971A KR 20160072971 A KR20160072971 A KR 20160072971A KR 101851975 B1 KR101851975 B1 KR 101851975B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
work
transfer
workpiece
point
linear feeder
Prior art date
Application number
KR1020160072971A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20170026099A (en
Inventor
가츠요시 고데라
야스오 오카모토
히로후미 미즈카미
Original Assignee
가부시키가이샤 도쿄 웰드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 도쿄 웰드 filed Critical 가부시키가이샤 도쿄 웰드
Publication of KR20170026099A publication Critical patent/KR20170026099A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101851975B1 publication Critical patent/KR101851975B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/02Devices for feeding articles or materials to conveyors
    • B65G47/04Devices for feeding articles or materials to conveyors for feeding articles
    • B65G47/12Devices for feeding articles or materials to conveyors for feeding articles from disorderly-arranged article piles or from loose assemblages of articles
    • B65G47/14Devices for feeding articles or materials to conveyors for feeding articles from disorderly-arranged article piles or from loose assemblages of articles arranging or orientating the articles by mechanical or pneumatic means during feeding
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/80Turntables carrying articles or materials to be transferred, e.g. combined with ploughs or scrapers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N2021/845Objects on a conveyor
    • G01N2021/8455Objects on a conveyor and using position detectors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Feeding Of Articles To Conveyors (AREA)
  • Specific Conveyance Elements (AREA)
  • Attitude Control For Articles On Conveyors (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

본 발명은, 반송 테이블 상에서 워크를 정확하게 위치 결정할 수 있고, 또한 워크에 대한 정전 파괴나 특성 열화를 일으키지 않는 워크의 외관 검사 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
이러한 과제의 해결 수단으로서, 워크의 외관 검사 장치(30)는, 6면체 형상의 워크(W)를 반송하는 리니어 피더(1)와, 리니어 피더(1)로부터의 워크(W)가 이재되어 반송되는 반송 테이블(2)과, 리니어 피더(1)로부터의 워크(W)를 반송 테이블(2) 상에 이재해서 정렬시키는 이재 정렬 수단(21)과, 반송 테이블(2)의 아래쪽에 배치된 도전판(15)으로 이루어지는 유지 수단과, 워크(W)의 6면을 촬상하는 촬상 수단(20)을 구비하고 있다. 유지 수단의 도전판(15)은, 이재점(4X)과 합류점(7X)을 잇는 직선 및 합류점(7X)보다 하류 측의 워크 반송 원호를 따라 배치되어 있다.
An object of the present invention is to provide an apparatus for inspecting the appearance of a work which can precisely position the work on the transport table and which does not cause electrostatic breakdown or deterioration of characteristics of the work.
As a means for solving such a problem, the appearance inspection apparatus 30 for a work includes a linear feeder 1 for carrying a work W in the form of a hexahedron, a work W from the linear feeder 1, A transferring table 2 for transferring the workpiece W from the linear feeder 1 to the transfer table 2 and a transferring table 2 for transferring the workpiece W from the linear feeder 1 to the transfer table 2, (15), and an image pickup means (20) for picking up images of six surfaces of the work (W). The conductive plate 15 of the holding means is disposed along the work transferring arc on the downstream side of the straight line connecting the transfer point 4X and the confluence point 7X and the confluence point 7X.

Figure 112016056258805-pat00004
Figure 112016056258805-pat00004

Description

워크의 외관 검사 장치 및 워크의 외관 검사 방법{APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING APPEARANCE OF WORK}[0001] APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING APPEARANCE OF WORK [0002]

본 발명은 6면체의 워크를 반송하면서, 이 워크의 6면체를 촬상하는 워크의 외관 검사 장치 및 워크의 외관 검사 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for inspecting the appearance of a work for picking up a six-sided body of the work while conveying a work of a hexahedron, and a method for inspecting the appearance of the work.

종래부터 6면체 형상의 저항이나 콘덴서 등의 칩형 전자 부품(이하 「워크」)의 외관 검사 장치로서, 유리 등의 투명체로 이루어지는 반송 테이블 상에 워크를 재치(載置)하고, 반송 테이블을 회전시켜 워크를 반송하면서 카메라 등의 촬상 수단에 의해 각 면을 촬상해서 외관 검사를 행하는 장치가 알려져 있다.BACKGROUND ART [0002] Conventionally, as a visual inspection apparatus for a chip-type electronic component (hereinafter referred to as " workpiece ") such as a resistor having a hexahedron shape or a capacitor, a work is placed on a transport table made of a transparent body such as glass, 2. Description of the Related Art [0002] There is known a device for picking up images of each surface by an image pickup means such as a camera while carrying a work to perform a visual inspection.

이 경우, 외관 검사 장치의 워크 반송 테이블은, 정전기에 의해 워크를 정전 흡착해서 반송하도록 되어 있다.In this case, the work carrying table of the visual inspection apparatus electrostatically attracts and transports the work by electrostatic force.

즉, 우선 진동에 의해 워크를 정렬 반송하는 리니어 피더 상에서 워크를 대전시키고, 그 워크를 반송 테이블 상에 재치해서 소정의 작업 위치까지 반송함과 함께, 반송 테이블의 워크 재치면을 워크와 역극성으로 대전시켜, 거기에서 워크를 정전 흡착시키고 있다(특허문헌 1 참조).That is, first, the work is charged on a linear feeder that aligns and conveys the work by vibration, and the work is placed on a transport table and transported to a predetermined work position, and the workpiece surface of the transport table is moved And the work is electrostatically adsorbed thereon (see Patent Document 1).

일본국 특허 제5598912호 공보Japanese Patent No. 5598912

그러나 종래의 워크의 외관 검사 장치에는 다음과 같은 문제가 있다.However, the conventional appearance inspection apparatus for work has the following problems.

즉, 워크를 이재(移載; transfer)점에 있어서 이재할 때, 반송 테이블 상에서 워크가 도약해서 워크의 자세가 변화되게 되고, 이 때문에 워크를 촬상 수단에 의해 정밀하게 촬상할 수 없는 경우가 있다.That is, when the work is transferred at the transfer point, the work is leaped on the transfer table to change the posture of the work, and as a result, the work can not be accurately imaged by the imaging means .

본 발명은 이러한 점을 고려해서 이루어진 것으로, 워크를 리니어 피더로부터 반송 테이블에 이재할 때 정밀하게 위치 결정을 행할 수 있다.The present invention has been made in view of this point, and it is possible to precisely position the work when the work is transferred from the linear feeder to the transport table.

본 발명은, 6면체 형상의 워크를 반송하는 리니어 피더와, 리니어 피더로부터 워크가 이재점에 있어서 이재되어, 이 워크를 재치한 상태로 워크 반송 원호 상에서 반송하는 투명체로 이루어지는 회전 가능한 원형 반송 테이블과, 리니어 피더와 반송 테이블 사이에 배설(配設)되고, 리니어 피더로부터의 워크를 반송 테이블 상에 이재해서 정렬시키는 이재 정렬 수단과, 반송 테이블 아래쪽에 배치된 도체로 이루어지고, 이 도체에 직류 전압을 인가해서 전장(電場)을 발생시켜서, 반송 테이블에 재치된 워크를 유지하는 유지 수단과, 반송 테이블 상의 워크의 6면을 촬상하는 촬상 수단을 구비하고, 이재 정렬 수단은 리니어 피더의 하류 측에 설치되고, 워크를 정렬하는 평면에서 볼 때 직선 형상의 가이드면을 갖는 정렬 가이드를 갖고, 정렬 가이드의 가이드면은, 평면상(平面上), 이재점과, 이재점의 하류 측에 있고 워크 반송 원호와 합류하는 합류점을 포함하고 또한 가이드면은 이재점과 합류점을 잇는 직선과, 합류점보다 하류 측의 직선을 포함하고, 이재점과 합류점을 잇는 직선은, 이재점과 반송 테이블의 회전축을 잇는 직선에 대해 예각을 이루고, 또한 합류점보다 하류 측의 직선은, 합류점과 반송 테이블의 회전축을 잇는 직선과 직교하고, 이재점에 이재된 워크는, 유지 수단에 의해 유지되면서, 가이드면의 이재점과 합류점을 잇는 직선에 가압되어 가이드면을 따라 반송되고, 유지 수단의 도체는, 이재점과 합류점을 잇는 직선 및 합류점보다 하류 측의 워크 반송 원호를 따라 배치되는 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 장치이다.The present invention relates to a rotary feeder comprising a linear feeder for feeding a work having a hexahedron shape, a rotatable circular transporting table for transporting the work from the linear feeder at a transfer point, , Discrete alignment means arranged between the linear feeder and the conveyance table for aligning and aligning the work from the linear feeder on the conveyance table and a conductor disposed under the conveyance table, Holding means for holding the workpiece placed on the conveyance table by applying an electric field and generating an electric field and imaging means for picking up six surfaces of the workpiece on the conveyance table, And has an alignment guide having a linear guide surface when viewed from a plane in which the work is aligned, The plane includes a plane surface (plane), a separation point, and a confluence point on the downstream side of the separation point joining with the workpiece transfer arc, and the guide surface has a straight line connecting the separation point and the confluence point, The straight line connecting the separation point and the confluence point has an acute angle with respect to a straight line connecting the separation point and the rotation axis of the conveyance table and the straight line on the downstream side of the confluence point is perpendicular to the straight line connecting the confluence point and the rotation axis of the conveyance table , The work transferred to the transfer point is pressed by a straight line connecting the transfer point and the confluence point of the guide surface while being held by the holding means and is conveyed along the guide surface, and the conductor of the holding means is a straight line connecting the transfer point and the confluence point And is disposed along the workpiece transfer arc on the downstream side of the confluence point.

본 발명은, 이재 정렬 수단은, 리니어 피더와 반송 테이블 사이에 설치된 무진동부를 더 갖는 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 장치이다.The present invention is a device for inspecting the appearance of a workpiece characterized by further comprising a non-oscillation portion provided between the linear feeder and the transport table.

본 발명은, 반송 테이블 아래쪽에, 이재점과 합류점을 잇는 직선을 따라, 자력선 발생부를 도약 방지 수단으로서 더 배치하는 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 장치이다.The present invention is an apparatus for inspecting the appearance of a workpiece characterized in that a magnetic force line generating section is further arranged as a jump preventing means along a straight line connecting the transfer point and the confluence point below the transfer table.

본 발명은, 원형 반송 테이블은 투명한 유리체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 장치이다.The present invention is an apparatus for inspecting the appearance of a work, characterized in that the circular transport table is made of a transparent glass body.

본 발명은, 반송 테이블에 의한 워크의 반송 속도는, 리니어 피더에 의한 워크의 반송 속도보다 큰 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 장치이다.The present invention is a work visual inspection apparatus characterized in that the conveying speed of the work by the conveying table is larger than the conveying speed of the work by the linear feeder.

본 발명은, 정렬 가이드의 가이드면은, 평면상, 이재점과 반송 테이블의 회전축을 잇는 직선에 대해, 75도 ~ 88도의 예각을 형성하는 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 장치이다.According to the present invention, the guiding surface of the alignment guide forms an acute angle of 75 degrees to 88 degrees with respect to a straight line connecting the transfer point and the rotation axis of the transfer table on a plane.

본 발명은, 상기 기재의 워크의 외관 검사 장치를 이용한 워크의 외관 검사 방법에 있어서, 6면체 형상의 워크를 리니어 피더에 의해 반송하는 공정과, 리니어 피더로부터의 워크를 정렬 가이드를 통해 원형 반송 테이블 상의 이재점에 이재함과 함께, 정렬 가이드의 가이드면에 의해 워크를 정렬시키는 공정과, 유지 수단에 의해 반송 테이블에 재치된 워크를 유지한 상태에서, 워크를 반송 테이블의 워크 반송 원호 상에서 반송하는 공정과, 반송 테이블 상의 워크의 6면을 촬상 수단에 의해 촬상하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 방법이다.The present invention provides a method for inspecting the appearance of a workpiece using the apparatus for inspecting the appearance of workpieces described above, comprising the steps of: transporting a workpiece having a hexahedron shape by a linear feeder; A step of aligning the workpiece with the guide surface of the alignment guide, and a step of holding the workpiece placed on the transfer table by the holding means, and transferring the workpiece on the workpiece transferring arc of the transfer table And a step of picking up images of the six surfaces of the work on the transport table by the image pick-up means.

본 발명은, 상기 기재의 워크의 외관 검사 장치를 이용한 워크의 외관 검사 방법에 있어서, 6면체 형상의 워크를 리니어 피더에 의해 반송하는 공정과, 리니어 피더로부터의 워크를 무진동부 및 정렬 가이드를 통해 원형 반송 테이블 상의 이재점에 이재함과 함께, 정렬 가이드의 가이드면에 의해 워크를 정렬시키는 공정과, 유지 수단에 의해 반송 테이블에 재치된 워크를 유지한 상태에서, 워크를 반송 테이블의 워크 반송 원호 상에서 반송하는 공정과, 반송 테이블 상의 워크의 6면을 촬상 수단에 의해 촬상하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 방법이다.The present invention provides a method for inspecting a workpiece using a visual inspection apparatus for a workpiece according to the present invention, comprising the steps of: transporting a work having a hexahedron shape by a linear feeder; A step of aligning the workpiece with the guide surface of the alignment guide while the workpiece is held on the transfer table on the circular transport table and the step of holding the workpiece placed on the transfer table by the holding means, And a step of picking up images of six surfaces of the work on the transfer table by the image pickup means.

본 발명에 따르면, 정전 흡착과 자기 흡착을 병용해서 워크를 반송 테이블 상에 흡착시키기 때문에, 정전 흡착만의 경우보다 큰 안정된 흡착력을 얻을 수 있다. 또한, 워크가 워크 반송 원호에 재치 정렬되고 나서 잠시 정전 흡착을 계속해서, 워크의 자세를 안정시키고 있다. 이 때문에, 큰 사이즈의, 또는 경도가 높은 워크의 이재시에 있어서의 도약이나, 워크의 반송시에 그 크기에 관계없이 작용하는 원심력에 의한 워크 반송 원호로부터의 튀어나감을 방지할 수 있다. 그리고, 워크 반송 원호에 재치 정렬된 워크가 안정된 자세로 반송된다. 또한, 종래기술의 정전 흡착만으로 큰 흡착력을 얻기 위해서는 도전판에의 인가 전압의 증가가 필수이며, 이것이 직류 전원의 대용량화를 초래한다. 이 때문에 전원의 체적이 증가하고 비용이 높아진다. 한편, 본 발명에 있어서 종래기술에 부가하는 부재의 비용은 매우 낮고, 그들의 배치 공간도 작다.According to the present invention, since the workpiece is attracted to the conveyance table by using both the electrostatic attraction and the magnetic attraction, stable adsorption power can be obtained, which is greater than in the case of electrostatic attraction alone. Further, after the workpiece is aligned on the workpiece carrier arc, the electrostatic attraction is continued for a while to stabilize the posture of the workpiece. This makes it possible to prevent leaping out of the workpiece carrying arc due to the centrifugal force which acts regardless of the size of the large size or hardness of the workpiece when the workpiece is carried or the workpiece is transported. Then, the workpiece placed and aligned on the workpiece carrier is transported in a stable posture. In addition, in order to obtain a large attraction force only by the electrostatic attraction of the prior art, it is necessary to increase the voltage applied to the conductive plate, which leads to a large capacity of the direct current power source. This increases the volume of the power supply and increases the cost. On the other hand, in the present invention, the cost of the members added to the prior art is very low, and their arrangement space is also small.

도 1은 워크의 외관 검사 장치의 평면도.
도 2는 워크를 나타내는 사시도.
도 3은 도 1의 영역(S)을 나타내는 확대 평면도.
도 4는 도 1의 영역(S)을 화살표 Y의 방향에서 본 투시도.
도 5는 워크의 반송 테이블에의 흡착을 나타내는 모식도.
도 6은 본 발명의 전기력선 발생부 및 자력선 발생부를 나타내는 사시도.
도 7은 도 6에 있어서의 반송 테이블 및 정렬 가이드와 전기력선 발생부 및 자력선 발생부와의 상하 방향의 위치 관계를 나타내는 도면.
도 8은 도 6에 있어서의 전기력선 발생부 및 자력선 발생부 부근의 확대 평면도.
도 9는 도 6에 있어서의 전기력선 발생부 및 자력선 발생부 부근을 도 3에 있어서의 화살표 H의 방향에서 본 화살표쪽 도면.
도 10은 도 6에 있어서의 전기력선 발생부 및 자력선 발생부 부근을 도 3에 있어서의 화살표 N의 방향에서 본 화살표쪽 도면.
도 11은 본 발명의 제 2 실시형태를 나타내는 도면.
1 is a plan view of an apparatus for inspecting the appearance of a work.
2 is a perspective view showing a work.
3 is an enlarged plan view showing the area S of Fig. 1; Fig.
4 is a perspective view of the region S of Fig. 1 viewed in the direction of arrow Y. Fig.
5 is a schematic view showing the adsorption of a work to a conveyance table;
6 is a perspective view showing an electric-force generating unit and a magnetic-force generating unit according to the present invention.
7 is a view showing the positional relationship between the conveyance table and alignment guide in Fig. 6, the electric force generating unit and the magnetic force generating unit in the vertical direction.
Fig. 8 is an enlarged plan view of the vicinity of the electric-force generating line and the magnetic-force generating line in Fig. 6; Fig.
Fig. 9 is a side view of the vicinity of the electric-force generating unit and the magnetic-force generating unit in Fig. 6 as viewed from the direction of the arrow H in Fig.
Fig. 10 is a side view of the vicinity of the electric-force-generating portion and the magnetic-force-generating portion in Fig. 6 as viewed from the direction of an arrow N in Fig.
11 is a view showing a second embodiment of the present invention.

<제 1 실시형태>&Lt; First Embodiment >

이하, 도면을 참조해서 본 발명의 실시형태에 대해 설명한다. 도 1 내지 도 10은, 본 발명에 따른 워크의 외관 검사 장치 및 워크의 외관 검사 방법의 제 1 실시형태를 나타내는 도면이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 to 10 are views showing a first embodiment of an apparatus for inspecting the appearance of a work and a method for inspecting the appearance of a work according to the present invention.

우선, 워크의 외관 검사 장치에 의해 검사되는 워크에 대해, 도 2에 의해 설명한다.First, the work to be inspected by the visual inspection apparatus of the work will be described with reference to Fig.

도 2에 있어서, 콘덴서나 저항 등의 칩 부품이 되는 워크(W)는 6면체 형상을 이루고, 절연체로 이루어지는 본체(Wd)와, 본체(Wd)의 길이 방향의 양 단부에 형성된 도전체로 이루어지는 전극(Wa, Wb)을 갖고 있다. 이 워크(W)의 외관 검사를 행할 경우, 후술하는 반송 테이블(2) 상에 워크(W)를 재치하고, 반송 테이블(2)을 도 2 중의 화살표 Z의 방향으로 회전시켜 워크(W)를 반송시킨다. 그리고 촬상 수단(20)에 의해 화살표 A의 방향에서 지면(紙面) 반대쪽의 측면을 촬상하고, 화살표 B의 방향에서 지면 앞쪽의 측면을 촬상하고, 화살표 C의 방향에서 상면을 촬상하고, 화살표 D의 방향에서 하면을 촬상하고, 화살표 E의 방향에서 전면(前面)을 촬상하고, 화살표 F의 방향에서 후면을 촬상한다. 이 때, 유리제의 투명 반송 테이블(2)을 사용함으로써, 워크(W)를 재치한 상태에서 상기 워크(W)의 6면 전체면을 촬상할 수 있다.2, the work W to be a chip component such as a capacitor and a resistor has a hexahedron shape and includes a main body Wd made of an insulator and an electrode made of a conductor formed at both ends in the longitudinal direction of the main body Wd (Wa, Wb). The work W is placed on the transport table 2 to be described later and the transport table 2 is rotated in the direction of the arrow Z in Fig. Return. The image pickup means 20 picks up the side surface opposite to the paper surface in the direction of the arrow A, picks up the front side of the paper in the direction of the arrow B, picks up the image in the direction of the arrow C, The image of the front surface is taken in the direction of the arrow E, and the image of the rear surface is taken in the direction of the arrow F. At this time, by using the transparent transport table 2 made of glass, it is possible to pick up the entire six surfaces of the work W with the work W placed thereon.

다음으로 워크의 외관 검사 장치에 대해 설명한다. 도 1 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 워크의 외관 검사 장치(30)는 워크(W)를 반송하는 리니어 피더(1)와, 리니어 피더(1)로부터 워크(W)가 이재점(4x)에 있어서 이재되고, 이 워크(W)를 재치한 상태로 워크 반송 원호(5) 상에서 반송하는 투명체로 이루어지는 원형 반송 테이블(2)과, 리니어 피더(1)로부터의 워크(W)를 반송 테이블(2) 상에 이재해서 정렬시키는 이재 정렬 수단(21)과, 반송 테이블(2) 상의 워크(W)의 6면을 촬상하는 촬상 수단(20)을 구비하고 있다.Next, an apparatus for inspecting the appearance of a workpiece will be described. 1 and 3, a visual inspection apparatus 30 for a workpiece includes a linear feeder 1 for conveying a workpiece W and a conveyor 2 for conveying the workpiece W from the linear feeder 1 to a transfer point 4x A circular transport table 2 made of a transparent material which is transported on the workpiece carrier 5 in a state where the workpiece W is placed on the transport table 2 and a workpiece W from the linear feeder 1, And an image pickup means 20 for picking up images of six surfaces of the work W on the transport table 2.

이 중 이재 정렬 수단(21)은 워크(W)를 정렬하는 정렬 가이드(7)를 갖고, 정렬 가이드(7)는 워크(W)를 정렬하기 위한 가이드면(7a)을 포함한다. 이 가이드면(7a)은 평면에서 볼 때(위쪽에서 볼 때) 직선 형상을 이루고 있다.The separation sorting means 21 has an alignment guide 7 for aligning the work W and the alignment guide 7 includes a guide surface 7a for aligning the work W. [ The guide surface 7a has a straight shape when viewed in a plan view (viewed from above).

또한 촬상 수단(20)은, 후술하는 바와 같이 측면 카메라부(8)와, 내면 카메라부(9)와, 상면 카메라부(10)와, 하면 카메라부(11)와, 전면 카메라부(12)와, 후면 카메라부(13)를 갖고 있다.The imaging means 20 includes a side camera portion 8, an inner camera portion 9, an upper side camera portion 10, a lower face camera portion 11, a front camera portion 12, And a rear camera unit 13, as shown in Fig.

다음으로 워크의 외관 검사 장치(30)의 각 구성 부분에 대해, 도 1 내지 도 4에 의해 더 설명한다.Next, each constituent part of the visual inspection apparatus 30 of the work will be further described with reference to Figs. 1 to 4. Fig.

여기서 도 1은, 도 2에 나타내는 형상의 워크(W)를 대상으로 한 워크의 외관 검사 장치의 평면도이고, 도 3은 도 1의 파선으로 둘러싼 영역(S)의 확대 평면도이고, 도 4는 도 1에 있어서 영역(S)을 화살표 Y의 방향에서 본 투시도이다.3 is a magnified plan view of a region S surrounded by a broken line in Fig. 1, and Fig. 4 is an enlarged plan view of the region S surrounded by broken lines in Fig. 1. Fig. 1 as viewed in the direction of the arrow Y. As shown in Fig.

도 1에 있어서, 직선 형상의 리니어 피더(1)는 도시되지 않은 구동원에 의해 진동하고, 리니어 피더(1)의 상류 측에 위치하는 도시되지 않은 파츠 피더에 투입된 워크(W)를 일렬로 정렬시켜 진동에 의해 화살표 N의 방향으로 반송한다.1, the linear feeder 1 of a linear shape is vibrated by a drive source (not shown), and the work W fed into a feed feeder (not shown) located on the upstream side of the linear feeder 1 is aligned And is conveyed in the direction of arrow N by vibration.

리니어 피더(1)의 아래쪽에 설치된 반송 테이블(2)은, 투명한 유리제로 되며 수평으로 설치되어 있고, 도시되지 않은 구동원에 의해 회전축(3)을 중심으로 해서 시계 방향(도 1의 화살표 X의 방향)으로 회전한다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 리니어 피더(1)는 반송 테이블(2)을 향해 약간 경사를 갖고 하강하고 있다. 이에 따라, 워크(W)는 리니어 피더(1)로부터 점차 하강해서 반송 테이블(2)에 이재된다.The conveyance table 2 provided below the linear feeder 1 is made of a transparent glass and is horizontally provided and rotates clockwise (in the direction of the arrow X in FIG. 1) about the rotary shaft 3 by a driving source ). As shown in Fig. 4, the linear feeder 1 is lowered toward the transport table 2 with a slight inclination. As a result, the work W is gradually lowered from the linear feeder 1 and is transferred to the transport table 2.

반송 테이블(2)의 상면의 외연(外緣)부 근방에는, 도 1의 일점쇄선으로 나타내는 바와 같이, 회전축(3)을 중심으로 한 원호로서 워크 반송 원호(5)가 형성되고, 워크(W)는 무진동부(4)로부터 반송 테이블(2)에 이재된 후, 후술하는 정렬 가이드(7)의 작용에 의해 워크 반송 원호(5) 상에 정렬한다. 여기서, 워크 반송 원호(5)는 워크(W)를 정렬시키기 위해 상정된 목표 위치이고, 반송 테이블(2)의 상면에 워크 반송 원호(5)를 육안으로 식별 가능한 어떤 표시가 부가되어 있는 것은 아니다.1, a workpiece carrier 5 is formed as an arc around the rotary shaft 3, and a workpiece W (a workpiece W) is provided in the vicinity of the outer edge of the upper surface of the transport table 2, Is transferred from the noninvasive portion 4 to the transfer table 2 and then aligned on the workpiece carrier 5 by the action of the alignment guide 7 which will be described later. Here, the workpiece carrier 5 is the assumed target position for aligning the workpiece W, and no indication is visible on the top surface of the carrier table 2 that the workpiece carrier 5 can be visually recognized .

여기서, 도 4는 도 1에 있어서 파선으로 둘러싼 영역(S)을 화살표 Y의 방향에서 본 투시도이다. 도 4에 있어서 반송 테이블(2)의 아래쪽에는, 도체로 이루어지는 도전판(15)이 반송 테이블(2)의 하면과 약간 극간(隙間)을 두고 배치되어 있다. 도전판(15)은 평면 형상을 이루고, 도 5에 나타내는 바와 같이, 그 표면(15a)은 반송 테이블(2)에 대략 평행이 되어 있다. 또한, 도전판(15)에는 직류 전원(16)이 접속되어 직류 전압이 인가되서, 전장 발생 수단을 구성하고 있다. 도 3에 의해 도전판(15)의 배치 개소를 나타낸다. 도 3은 도 1의 파선으로 둘러싼 영역(S)의 확대 평면도이다. 도 3에 있어서, 도전판(15)은 수평 방향으로 가늘고 긴 형상으로 연장되고, 이재점(4x)으로부터 워크(W)의 반송 테이블(2) 상에 있어서의 워크 반송 원호(5) 및 정렬 가이드(7)의 가이드면(7a)에 대응하는 반송 테이블(2)의 아래쪽에, 길이 방향이 워크(W)의 워크 반송 원호(5)를 따르도록 배치되어 있다.4 is a perspective view of the area S surrounded by the broken line in the direction of arrow Y in Fig. 4, a conductive plate 15 made of a conductor is disposed slightly below the lower surface of the transport table 2 on the lower side of the transport table 2. The conductive plate 15 has a planar shape and its surface 15a is substantially parallel to the transport table 2 as shown in Fig. Further, a DC power supply 16 is connected to the conductive plate 15 and a DC voltage is applied thereto to constitute an electric field generating means. The placement of the conductive plate 15 is shown in Fig. 3 is an enlarged plan view of a region S surrounded by a broken line in Fig. 3, the conductive plate 15 extends in an elongated shape in the horizontal direction and extends from the transfer point 4x to the work transfer arm 5 on the transfer table 2 of the work W, The longitudinal direction is disposed along the workpiece carrier arcs 5 of the workpiece W below the transport table 2 corresponding to the guide surface 7a of the workpiece W.

또한, 상기 각 구성 부분 중, 가이드면(7a)을 갖는 가이드(7)에 의해, 이재 정렬 수단(21)이 구성된다.Among these constituent parts, the guide 7 having the guide surface 7a constitutes the debris arranging means 21.

또한, 도 3에 있어서, 직선 형상의 가이드면(7a)을 갖는 정렬 가이드(7)는, 반송 테이블(2)의 외연부 측의 바로 위에, 반송 테이블(2)과 약간 극간을 갖고 설치되어 있다. 도 3에, 이재점(4x)과 반송 테이블(2)의 회전축(3)을 잇는 직선을 파선(K)으로서 나타낸다.3, the alignment guide 7 having a linear guide surface 7a is disposed slightly above the transport table 2 just above the outer edge side of the transport table 2 . 3 shows a straight line connecting the transfer point 4x and the rotation axis 3 of the transport table 2 as a broken line K. In Fig.

도 3에 나타내는 바와 같이, 정렬 가이드(7)는 가이드면(7a)과 파선(K)이 이루는 각(α)이 75도 ~ 88도의 예각이 되도록, 또한 가이드면(7a)이 이재점(4x)보다 워크(W)의 반송 방향 하류에 위치하는 워크 반송 원호(5)의 합류점(7x)에 있어서 워크 반송 원호(5)의 접선이 되도록 설치되어 있다. 즉, 합류점(7x)과 반송 테이블(2)의 회전축(3)을 잇는 직선을 파선(L)으로 나타냈을 때, 파선(L)과 가이드면(7a)이 이루는 각(β)이 90°가 된다.3, the alignment guide 7 is formed so that the angle? Formed by the guide surface 7a and the broken line K is an acute angle of 75 degrees to 88 degrees, and the guide surface 7a is the clearance point 4x Of the workpiece W is tangent to the workpiece carrier 5 at the confluence point 7x of the workpiece carrier 5 located downstream of the workpiece W in the conveying direction. That is, when the straight line connecting the confluence point 7x and the rotary shaft 3 of the conveyance table 2 is represented by the broken line L, the angle? Formed by the broken line L and the guide surface 7a is 90 degrees do.

또한, 도 1에 나타내는 바와 같이, 반송 테이블(2)의 회전 방향을 따라, 촬상 수단(20)을 구성하는 측면 카메라부(8), 내면 카메라부(9), 상면 카메라부(10), 하면 카메라부(11), 전면 카메라부(12), 후면 카메라부(13)가 설치되어 있다. 이 촬상 수단(20)에 의해, 워크 반송 원호(5) 상의 워크(W)에 대해, 각각 도 2에 화살표 A ~ F로 나타나는 워크(W)의 각 면을 촬상해서 외관 검사를 행할 수 있다. 이 때, 도 2에 화살표 Z로 나타내는 워크(W)의 반송 방향은, 도 1에 있어서의 반송 테이블(2)의 회전 방향(X)과 일치한다.1, the side camera portion 8, the inner surface camera portion 9, the upper surface camera portion 10, and the bottom surface portion 8 constituting the image pickup means 20 are disposed along the rotation direction of the transport table 2, A camera section 11, a front camera section 12, and a rear camera section 13 are provided. The image pickup means 20 can pick up images of the respective surfaces of the work W shown by the arrows A to F in FIG. 2 with respect to the work W on the workpiece carrier 5 to perform the visual inspection. At this time, the conveying direction of the work W indicated by the arrow Z in Fig. 2 coincides with the rotation direction X of the conveying table 2 in Fig.

구체적으로는, 워크(W)에 대해 측면 카메라부(8)가 지면 반대쪽의 측면(A)을 촬상하고, 내면 카메라부(9)가 지면 앞쪽의 측면(B)을 촬상하고, 상면 카메라부(10)가 상면(C)을 촬상하고, 하면 카메라부(11)가 하면(D)을 촬상하고, 전면 카메라부(12)가 전면(E)을 촬상하고, 후면 카메라부(13)가 후면(F)을 촬상한다.More specifically, the side camera portion 8 picks up the side surface A opposite to the ground on the work W, the inner surface camera portion 9 picks up the front side B of the ground surface, 10 picks up the image of the upper face C and the lower camera part 11 picks up the lower face D and the front camera part 12 picks up the front face E and the rear face camera part 13 picks up the rear face F).

또한, 도 1에 나타내는 바와 같이, 촬상 수단(20)으로부터 반송 테이블(2)의 회전 방향의 하류 측에는 배출 수단으로서의 배출부(14)가 설치되어 있다. 외관 검사를 종료한 워크(W)는, 외관 검사의 결과에 대응해서 배출부(14)에 의해 워크 반송 원호 상으로부터 도시되지 않는 수납 상자에 배출된다.As shown in Fig. 1, a discharge unit 14 as a discharge means is provided on the downstream side of the image pickup means 20 in the rotational direction of the transport table 2. The work W that has undergone the appearance inspection is discharged from the workpiece transfer arcuate surface to a storage box (not shown) by the discharge portion 14 in accordance with the result of the appearance inspection.

그런데, 반송 테이블(2)의 아래쪽에는 전기력선 발생부(15e) 및 자력선 발생부(18)가 설치되어 있다. 여기에서 도 6은, 본 발명에 있어서의 전기력선 발생부(15e) 및 자력선 발생부(18)의 사시도이다. 도 6에는 도 3과 마찬가지로, 반송되는 워크(W)(도 2)로서는, 도 3에 있어서 리니어 피더(1)로부터 이재점(4x)에 이재된 직후의 워크(W2) 및 합류점(7x)에 있어서 가이드면(7a)으로부터 이간되어 워크 반송 원호(5) 상을 반송되는 워크(W9)만을 기재하고 있다. 또한, 도 7은 도 6에 있어서의 반송 테이블(2) 및 정렬 가이드(7)와 전기력선 발생부(15e) 및 자력선 발생부(18)와의 상하 방향의 위치 관계를 나타내는 도면이다. 또한, 도 8은 도 6에 있어서의 전기력선 발생부(15e) 및 자력선 발생부(18) 부근의 확대 평면도이다. 설명의 사정상, 일부를 투시도로 하고 있다. 또한, 도 9는 도 6에 있어서의 전기력선 발생부(15e) 및 자력선 발생부(18) 부근을 도 3에 있어서의 화살표 H의 방향에서 본 화살표쪽 도면이다. 그리고, 도 10은 도 6에 있어서의 전기력선 발생부(15e) 및 자력선 발생부(18) 부근을 도 3에 있어서의 화살표 N의 방향에서 본 화살표쪽 도면이다. 또한, 도 8 내지 도 10에 있어서 반송되는 워크(W)(도 2)로서는, 도 3에 있어서 리니어 피더(1)로부터 이재점(4x)에 이재된 직후의 워크(W2) 및 합류점(7x)에 있어서 가이드면(7a)으로부터 이간되어 워크 반송 원호(5) 상을 반송되는 워크(W9) 만을 기재하고 있다.Incidentally, below the conveying table 2, an electric-force generating line 15e and a magnetic-force generating line 18 are provided. Here, Fig. 6 is a perspective view of the electric-force generating section 15e and the magnetic-force-generating section 18 in the present invention. Fig. 6 shows the work W (Fig. 2) to be transported, as in Fig. 3, the work W2 and the confluence point 7x immediately after being transferred from the linear feeder 1 to the transfer point 4x Only the work W9 separated from the guide surface 7a and carried on the workpiece carrier 5 is described. 7 is a view showing the positional relationship between the conveyance table 2 and the alignment guide 7, the electric-force generating unit 15e and the magnetic-force generating unit 18 in the vertical direction in Fig. 8 is an enlarged plan view of the vicinity of the electric-force-generating portion 15e and the magnetic-force-generating portion 18 in Fig. For convenience of explanation, we make a part perspective view. 9 is a view in the vicinity of the electric-force-generating portion 15e and the magnetic-force-generating portion 18 in Fig. 6 as viewed in the direction of the arrow H in Fig. Fig. 10 is a view in the vicinity of the electric-force-generating portion 15e and the magnetic-force-generating portion 18 in Fig. 6 as viewed from the direction of the arrow N in Fig. The work W (Fig. 2) conveyed in Figs. 8 to 10 includes the work W2 and the confluence point 7x immediately after being transferred from the linear feeder 1 to the transfer point 4x in Fig. 3, Only the work W9 separated from the guide surface 7a and carried on the workpiece carrier 5 is described.

도 6에 있어서, 전기력선 발생부(15e)는, 반송 테이블(2)의 아래쪽에 반송 테이블(2)과 약간의 간격을 두고 배치된, 절연체로 이루어지는 도전판 프레임(15f1)에 설치되어 있다. 또한, 자력선 발생부(18)는, 도전판 프레임(15f1)의 내부에 수납되어 있다. 도 7에 이들의 위치 관계를 나타낸다. 즉, 전기력선 발생부(15e) 및 자력선 발생부(18)를 조립할 때에는, 도 7의 최하부에 나타내는 자력선 발생부(18)를 화살표 U1의 방향(수직 위쪽)으로 이재시켜, 도 7의 중앙부에 나타내는 전기력선 발생부(15e)의 도전판 프레임(15f1)의 내부에 수납한다. 그리고, 자력선 발생부(18)를 내부에 수납한 도전판 프레임(15f1)을 화살표 U2의 방향(수직 위쪽)으로 이재시켜, 도 7의 최상부에 나타내는 반송 테이블(2)의 바로 아래에 약간의 극간을 두고 배치한다. 이렇게 해서 조립된 전체가, 도 6에 나타나 있다. 여기에, 반송 테이블(2)과 도전판 프레임(15f1)의 상하 방향의 위치 관계는, 도 9 및 도 10에 나타내는 바와 같이 되어 있다.In Fig. 6, the electric-force-generating portion 15e is provided on a conductive plate frame 15f1 made of an insulator and arranged at a slight distance from the conveying table 2 below the conveying table 2. Fig. The magnetic force line generating portion 18 is accommodated in the conductive plate frame 15f1. Fig. 7 shows these positional relationships. That is, when assembling the electric force line generating portion 15e and the magnetic force line generating portion 18, the magnetic force line generating portion 18 shown at the lowermost portion in Fig. 7 is moved in the direction of the arrow U1 (vertically upward) And stored in the conductive plate frame 15f1 of the electric-force-generating portion 15e. The conductive plate frame 15f1 accommodating therein the magnetic line generating portion 18 is transferred in the direction of the arrow U2 (vertically upward) to form a slight gap (not shown) directly below the transport table 2 . The whole thus assembled is shown in Fig. Here, the positional relationship between the transport table 2 and the conductive plate frame 15f1 in the vertical direction is as shown in Figs. 9 and 10. Fig.

다음으로, 전기력선 발생부(15e)의 상세한 구성에 대해, 도 8을 이용해서 설명한다. 도 6 및 도 7에 나타내는 전기력선 발생부(15e)는, 도전판 프레임(15f1)에 의해 구성된다. 도전판 프레임(15f1)이 배치되어 있는 범위는, 도 8에 나타내는 바와 같이 이재점(4x)의 바로 아래 위치로부터 정렬 가이드(7)를 따라 합류점(7x)을 경유해서, 워크 반송 원호(5) 상에 위치하는 워크(W9)가 반송되는 하류 위치인 정렬 가이드(7)의 전면(7b)까지의, 워크(W)의 반송 경로를 따른 부분이다. 이 중 이재점(4x)의 바로 아래 위치로부터 합류점(7x)의 약간 하류가 되는 위치까지의 도전판 프레임(15f1)의 상면에는, 장방 형상의 오목한 직선 수용 홈(15sd)이 형성되어 있다. 직선 수용 홈(15sd) 내에는, 도전체(도체)로 이루어지는 얇은 직방체 형상으로 형성된 도전판의 직선부(15s)(이후 직선부(15s)라고 기재)가 수용되어 있다. 직선부(15s)를 위에서 보면 장변이 워크(W)의 반송 방향을 따르는 장방형이고, 그 단변의 대략 중간점의 바로 위에는 가이드면(7a)이 위치해 있다.Next, a detailed configuration of the electric-force-generating section 15e will be described with reference to Fig. The electric force line generating portion 15e shown in Figs. 6 and 7 is constituted by a conductive plate frame 15f1. The range in which the conductive plate frame 15f1 is disposed is determined so that the workpiece carrying circle 5 is moved from the position immediately below the transfer point 4x to the position along the alignment guide 7 via the confluence point 7x, Is a portion along the conveyance path of the work W up to the front surface 7b of the alignment guide 7 at the downstream position where the work W9 positioned on the work W is conveyed. A rectangular receiving recess 15sd having a rectangular shape is formed on the upper surface of the conductive plate frame 15f1 from a position immediately below the separation point 4x to a position slightly downstream of the confluence point 7x. A linear portion 15s (hereinafter referred to as a straight portion 15s) of a conductive plate formed in a thin rectangular parallelepiped shape made of a conductor (conductor) is accommodated in the linear receiving groove 15sd. The straight section 15s is a rectangular shape whose long side is along the conveying direction of the work W, and the guide surface 7a is located just above the midpoint of the short side.

또한, 도 8에 있어서, 상기 합류점(7x)의 약간 하류가 되는 위치로부터 더 하류에는, 반송 테이블(2) 상의 워크 반송 원호(5)를 따라, 직선 수용 홈(15sd)과 동일한 깊이를 갖는 오목부인 곡선 수용 홈(15wd)이, 직선 수용 홈(15sd)에 연접(連接)해서 설치되어 있다. 그리고, 곡선 수용 홈(15wd) 내에는, 직선부(15s)에 전기적으로 접속된 도전체로 이루어지는 박판 형상으로 형성된 도전판의 곡선부(15w)(이후 곡선부(15w)라고 기재)가 수용되어 있다. 곡선부(15w)는 도 8에 나타내는 바와 같이, 워크(W)의 반송 방향에 직각이 되는 수평의 폭 방향의 대략 중간점이 워크 반송 원호(5)의 바로 아래를 따르는 형상이다. 그리고, 직선부(15s)에 가까운 위치 즉 상류 측에 있어서의 폭(15wb1)과 먼 위치 즉 하류 측에 있어서의 폭(15wb2)을 비교하면, 15wb1>15wb2인 관계가 있다. 즉, 곡선부(15w)는 그 폭이 하류로 갈수록 좁아진다. 그리고, 워크(W)의 반송 경로에 있어서의 도전판 프레임(15f1)의 최하류 점에 있어서, 곡선부(15w)의 선단(15t)은 뾰족하고, 뾰족한 점은 도 2에 일점쇄선으로 나타내는 W90, 즉 워크(W)의 대향하는 2면(Ws1 및 Ws2)을 구성하는 단변의 폭(We)에 대해, 폭(Wem)이 Wem=We/2가 되는 당해 단변의 중간점끼리를 잇는 선(W90)의 대략 바로 아래에 위치한다. 직선부(15s) 및 곡선부(15w)는 도 5에 나타내는 직류 전원(16)에 접속되어 있지만, 도 6 내지 도 10에 있어서는, 직류 전원(16)은 도시되어 있지 않다.8, a concave portion having the same depth as that of the rectilinear receiving groove 15sd is formed on the downstream side of the position slightly downstream of the confluence point 7x along the workpiece conveyance arbor 5 on the conveyance table 2, The dome-curve receiving groove 15wd is provided so as to be connected to the straight receiving groove 15sd. A curved portion 15w (hereinafter referred to as a curved portion 15w) of a conductive plate formed in a thin plate shape and made of a conductor electrically connected to the straight portion 15s is accommodated in the curved line accommodating groove 15wd . As shown in Fig. 8, the curved portion 15w has a shape in which a substantially intermediate point in the horizontal width direction perpendicular to the carrying direction of the work W follows directly under the work carrying arc 5. When the width 15wb2 at the position far from the width 15wb1 at the position upstream of the straight line 15s is compared with the width 15wb2 at the downstream side, there is a relationship of 15wb1 > 15wb2. That is, the curved portion 15w becomes narrower in width as it goes downstream. The tip end 15t of the curved portion 15w is pointed at the most downstream point of the conductive plate frame 15f1 in the conveyance path of the work W and the sharp point is indicated by a dotted line W90 That is the width W of the short side constituting the two opposing sides Ws1 and Ws2 of the work W and the line Wem connecting the midpoints of the shorter sides having the width Wem = W90). The rectilinear section 15s and the curved section 15w are connected to the DC power supply 16 shown in Fig. 5, but the DC power supply 16 is not shown in Fig. 6 to Fig.

이들 도전판 프레임(15f1), 직선부(15s), 곡선부(15w) 및 도 5에 나타내는 직류 전원(16)에 의해, 전기력선 발생부(15e)가 구성된다. 그리고, 직선부(15s) 및 곡선부(15w)에 의해, 유지 수단으로서의 도체판(도체라고도 함)(15)이 구성되어 있다.The electric power line generating portion 15e is constituted by the conductive plate frame 15f1, the straight portion 15s, the curved portion 15w and the direct current power source 16 shown in Fig. The straight portion 15s and the curved portion 15w constitute a conductor plate (also referred to as a conductor) 15 as a holding means.

다음으로, 자력선 발생부(18)의 상세한 구성에 대해, 도 8 내지 도 10을 이용해서 설명한다. 도 6 및 도 7에 나타내는 자력선 발생부(18)는, 상술한 바와 같이 도전판 프레임(15f1) 내에 수납되어 있다. 자력선 발생부(18)의 주요한 구성 부재는, 도 8 내지 도 10에 나타내는 요소 자석(18m)이다. 요소 자석(18m)은 영구 자석이고, 도 9 및 도 10에 나타내는 바와 같이, 그 길이 방향을 워크(W)의 반송 방향을 따르도록 하고 상하 방향으로 3단 적재한 자석 블록(18mb)을, 워크(W)의 반송 방향으로 3열, 반송 방향에 수직이 되는 수평 방향으로 2열 나열해 있다. 자석 블록(18mb)이 배치되는 위치는, 도 8에 나타내는 바와 같이 정렬 가이드(7)의 가이드면(7a)의 대략 바로 아래이다. 또한, 배치되는 범위는 이재점(4x)의 바로 아래 위치로부터 정렬 가이드(7)를 따라 합류점(7x)의 약간 하류 위치까지의, 워크(W)의 반송 경로를 따른 부분이다.Next, the detailed configuration of the magnetic-force-generating section 18 will be described with reference to Figs. 8 to 10. Fig. The magnetic force line generators 18 shown in Figs. 6 and 7 are accommodated in the conductive plate frame 15f1 as described above. The major constituent members of the magnetic force line generation section 18 are the element magnet 18m shown in Figs. 8 to 10. As shown in Figs. 9 and 10, the element magnet 18m is a permanent magnet, and the magnet block 18mb, which is three-dimensionally stacked in the vertical direction so as to follow the longitudinal direction of the work W in the carrying direction, Three rows are arranged in the conveying direction of the wafers W, and two rows are arranged in the horizontal direction perpendicular to the conveying direction. The position at which the magnet block 18mb is disposed is substantially right below the guide surface 7a of the alignment guide 7 as shown in Fig. The range to be disposed is a portion along the conveyance path of the work W from the position immediately below the release point 4x to the position slightly downstream of the confluence point 7x along the alignment guide 7.

도 9에 있어서는, 육안으로 볼 수 있는 범위의 9개의 요소 자석(18m)에 [m11]부터 [m33]까지의 번호를 개별적으로 부여하고 있다. 여기에, i=1, 2, 3으로 했을 때 [m11] 내지 [m13]이 하나의 자석 블록(18mb)이 된다. 도 8 내지 도 10에 있어서는, 자석 블록(18mb)을 워크(W)의 반송 방향으로 3열, 반송 방향에 수직인 수평 방향으로 2열 나열하고 있지만, 자석 블록(18mb)의 열 수는, 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 큰 영구 자석을 요소 자석(18m)으로서 사용해서, 자석 블록(18mb)을 1개의 요소 자석(18m)으로 구성하는 것, 또는 3열 및 2열로 배치한 자석 블록(18mb) 전체를 1개의 요소 자석(18m)으로 구성할 수 있는 것이라면, 그렇게 해도 된다.In Fig. 9, numerals from [m11] to [m33] are individually assigned to nine element magnets 18m in a range visible to the naked eye. Here, when i = 1, 2, and 3, [m11] to [m13] constitute one magnetic block 18mb. 8 to 10, the magnet blocks 18mb are arranged in three rows in the conveying direction of the work W and in two rows in the horizontal direction perpendicular to the conveying direction. However, the number of rows of the magnet blocks 18mb is But is not limited thereto. It is also possible to use a large permanent magnet as the element magnet 18m to constitute the magnet block 18mb as one element magnet 18m or to arrange the entire magnet block 18mb arranged in three columns and two columns as one element As long as it can be constituted by the element magnet 18m, this may be done.

또한, 도 9 및 도 10에 나타내는 바와 같이, 각 요소 자석(18m)은, 반송 테이블(2)에 가까운 쪽이 N극, 먼 쪽이 S극이 되도록 배치되어 있다. 다만, N극과 S극의 배치는 이에 한정되는 것이 아니라, 반송 테이블(2)에 가까운 쪽이 S극, 먼 쪽이 N극이 되도록 배치해도 된다.As shown in Figs. 9 and 10, each element magnet 18m is arranged such that the N pole is closer to the transport table 2 and the S pole is farther. However, the arrangement of the N pole and the S pole is not limited to this, but may be arranged so that the S pole is closer to the transfer table 2 and the N pole is farther.

자석 블록(18mb) 상에는, 자성체로 이루어지는 자기 중첩 바(18p)가 각 요소 자석(18m)의 길이 방향과 일치한 길이 방향을 향해 배치되어 있다. 자기 중첩 바(18p)는, 워크(W)의 반송 방향을 따라 이재점(4x)으로부터 도전판 프레임(15f1)의 단부, 즉 곡선부(15w)의 선단(15t)의 근방까지 연장되어 있다. 또한, 여기에서는 도 10에 나타내는 바와 같이 자석 블록(18mb)이 반송 방향에 직각이 되는 수평 방향으로 2열 나열되어 있기 때문에, 자기 중첩 바(18p)도 각 열 상에 배치되어 있으며, 2열로 되어 있다. 자기 중첩 바(18p)를 여기에 배치함으로써, 자석 블록(18mb)의 N극에서 나온 자력선은 주위에 확산하는 것이 억제되어, 반송 테이블(2)의 상면에 재치된 워크(W)에 집중하게 된다.On the magnet block 18mb, a magnetic overlapping bar 18p made of a magnetic material is disposed in the longitudinal direction coinciding with the longitudinal direction of each element magnet 18m. The magnetic overlapping bar 18p extends from the transfer point 4x along the carrying direction of the work W to the vicinity of the end of the conductive plate frame 15f1 or the tip end 15t of the curved portion 15w. Here, as shown in Fig. 10, since the magnet blocks 18mb are arranged in two rows in the horizontal direction perpendicular to the conveying direction, the self-stacking bars 18p are arranged on the respective columns, have. By disposing the magnetic overlapping bar 18p in this position, the magnetic force lines coming from the N pole of the magnet block 18mb are prevented from diffusing to the surroundings and concentrated on the workpiece W placed on the top surface of the transport table 2 .

또한, 도 9 및 도 10에 나타내는 바와 같이, 각 자석 블록(18mb)의 아래는 비자성체로 이루어지는 보조 부재(18s)가 배치되어 있다. 도 9에는, 각 자석 블록(18mb)에 대응하는 각 보조 부재(18s)에 [S1] 내지 [S3]의 번호를 부여하고 있다. 보조 부재(18s)는, 자석 블록(18mb)의 최상면과 반송 테이블(2)의 상면과의 거리를 조정해서, 반송 테이블(2)의 상면에 재치된 워크(W)에 최적인 크기의 자기 흡착력을 작용시키기 위한 부재이다. 또한, 도 9 및 도 10에 나타내는 바와 같이, 각 자석 블록(18mb) 및 각 보조 부재(18s)의 하측 및 측면을 L 자형으로 둘러싸서, 비자성체로 이루어지는 자석 고정 프레임(18f)이 배치되어 있다. 도 9에는, 각 자석 블록(18mb) 및 각 보조 부재(18s)에 대응하는 각 자석 고정 프레임(18f)에 [F1] 내지 [F3]의 번호를 부여하고 있다. 각 자석 블록(18mb)과 대응하는 보조 부재(18s) 및 자석 고정 프레임(18f)은, 자기 중첩 바(18p)와 함께 도시되지 않은 고정용 나사에 의해 도전판 프레임(15f1)과 일체로 고정되어 있다.9 and 10, an auxiliary member 18s made of a non-magnetic material is disposed under each of the magnet blocks 18mb. 9, numerals [S1] to [S3] are assigned to the respective auxiliary members 18s corresponding to the respective magnetic blocks 18mb. The auxiliary member 18s adjusts the distance between the uppermost surface of the magnetic block 18mb and the upper surface of the transport table 2 so as to adjust the distance between the top surface of the magnet block 18mb and the top surface of the transport table 2, . 9 and 10, a magnet fixing frame 18f made of a non-magnetic material is disposed so as to surround the lower side and the side surface of each magnet block 18mb and each of the auxiliary members 18s in an L-shape . 9, numbers [F1] to [F3] are assigned to the magnet fixing frames 18f corresponding to the respective magnet blocks 18mb and the respective auxiliary members 18s. The auxiliary member 18s and the magnet fixing frame 18f corresponding to the respective magnetic blocks 18mb are integrally fixed to the conductive plate frame 15f1 by fixing screws not shown together with the magnetic overlapping bars 18p have.

이들 요소 자석(18m), 자기 중첩 바(18p), 보조 부재(18s) 및 자석 고정 프레임(18f)에 의해, 자력선 발생부(18)가 구성된다. 그리고, 요소 자석(18m)과 자기 중첩 바(18p)에 의해, 도약 방지 수단이 구성된다.The magnetic force line generating section 18 is constituted by the element magnet 18m, the magnetic overlapping bar 18p, the auxiliary member 18s and the magnet fixing frame 18f. The element magnet 18m and the magnetic overlapping bar 18p constitute jump preventing means.

다음으로 이러한 구성으로 이루어지는 워크의 외관 검사 장치를 이용한 워크의 외관 검사 방법에 대해 상세히 설명한다.Next, a method for inspecting the appearance of a work using the apparatus for inspecting the work of the work having such a constitution will be described in detail.

도 1에 있어서, 워크(W)가 리니어 피더(1)의 상류 측에 위치하는 도시되지 않는 파츠 피더에 투입되고, 파츠 피더에 투입된 워크(W)는 도시되지 않은 구동원에 의해 진동하는 리니어 피더(1)의 작용에 의해 일렬로 정렬되어, 도 1의 화살표 N의 방향으로 직렬 반송된다. 이 때, 워크(W)는 길이 방향이 반송 방향과 일치하도록 정렬되어, 도 2에 있어서의 화살표 Z가 워크(W)의 반송 방향이 된다. 즉, 도 2에 있어서의 화살표 Z의 방향이 도 1에 있어서의 화살표 N의 방향과 일치한다.1, the work W is fed into a feed feeder (not shown) located on the upstream side of the linear feeder 1, and the work W fed into the feed feeder is fed to a linear feeder 1), and are serially transported in the direction of the arrow N in Fig. At this time, the work W is aligned so that the longitudinal direction thereof coincides with the transport direction, and the arrow Z in Fig. 2 becomes the transport direction of the work W. That is, the direction of the arrow Z in Fig. 2 coincides with the direction of the arrow N in Fig.

다음으로 도 4에 의해, 리니어 피더(1)의 작용을 상세히 설명한다. 도 4는 리니어 피더(1)에 의해 반송되는 워크(W)의 형태를 나타내는 것으로, 도 1에 있어서 파선으로 둘러싼 영역(S)을 화살표 Y의 방향에서 본 투시도이다. 도 4는, 반송 테이블(2) 상의 워크(W)의 형태를 보기 쉽게 하기 위해, 정렬 가이드(7)의 위치를 파선으로 나타낸 투시도로 되어 있다. 또한, 워크(W)에 대해서는, 개개의 구성 부분 상의 워크를 워크(WO ~ W6)로서 나타내고, 장소를 불문하고 일반 워크를 워크(W)로서 나타낸다.Next, the operation of the linear feeder 1 will be described in detail with reference to Fig. Fig. 4 shows the shape of the work W carried by the linear feeder 1, and is a perspective view of the region S surrounded by the broken line in Fig. 1 as seen from the direction of the arrow Y. Fig. 4 is a perspective view showing the position of the alignment guide 7 in broken lines in order to make the shape of the work W on the transfer table 2 easier to see. As for the work W, work on the individual constituent parts is shown as work (WO to W6), and a general work is shown as work (W) regardless of the place.

도 4에 나타내는 바와 같이, 리니어 피더(1)는 그 아래쪽에 수평으로 위치하는 반송 테이블(2)을 향해 약간 경사를 갖고 있어, 리니어 피더(1)의 진동에 의해 후속 워크(W)에 밀려 전진하는 워크(W)는, WO로 나타나는 바와 같이 전후 방향으로 연속해서 반송 테이블(2)을 향해 조금씩 하강한다.As shown in Fig. 4, the linear feeder 1 has a slight inclination toward the transport table 2 horizontally positioned below the linear feeder 1, and is pushed by the follower work W by the vibration of the linear feeder 1, The work W is lowered gradually toward the transport table 2 in the forward and backward directions as shown by WO.

도 3에 있어서, 리니어 피더(1)의 진동에 의해 일렬로 반송된 워크(W)는, 반송 테이블(2) 상의 이재점(4x)에 이재되고, 직류 전원(16)에 접속된 도전판(15)에 생긴 전하의 작용에 의한 정전 유도 및 유전 분극에 의해 반송 테이블(2)의 상면에 흡착된다.3, the work W conveyed in line by the vibration of the linear feeder 1 is transferred to a transfer point 4x on the conveying table 2, 15 and is attracted to the upper surface of the transfer table 2 by dielectric induction and dielectric polarization by the action of electric charges generated in the transfer table 2.

이 흡착 작용의 형태를 도 5에 나타낸다. 도 5에 있어서, 도전판(15)이 반송 테이블(2)의 하면과 약간의 극간을 두고 배치되며, 도전판(15)에는 직류 전원(16)이 접속되어 플러스의 직류 전압이 인가되어 있다. 이 때문에, 도전판(15)에는 플러스의 전하가 나타난다.The shape of this adsorption action is shown in Fig. 5, the conductive plate 15 is disposed with a slight gap between the lower surface of the transport table 2 and the DC power supply 16 is connected to the conductive plate 15, and a positive DC voltage is applied. For this reason, a positive charge appears on the conductive plate 15.

이 플러스의 전하의 작용에 의해 유전 분극이 일어나, 도전판(15)에 대향하는 반송 테이블(2)의 내부 중 하면 측에 마이너스 전하가 나타나고, 상면 측에 플러스 전하가 나타난다. 또한 마찬가지로, 리니어 피더(1)로부터 반송 테이블(2) 상의 이재점(4x)에 이재된 워크(W2)에 있어서 전극(Wa 및 Wb)에는 정전 유도에 의해, 또한 본체(Wd)에는 유전 분극에 의해, 각각 하면 측에 마이너스 전하가 나타나고, 상면 측에 플러스 전하가 나타난다.Dielectric polarization is caused by the action of the positive charge, negative charge appears on the lower surface side of the inside of the transport table 2 opposite to the conductive plate 15, and positive charge appears on the upper surface side. Likewise, in the work W2 transferred from the linear feeder 1 to the transfer point 4x on the transfer table 2, the electrodes Wa and Wb are electrostatically induced and the main body Wd is subjected to dielectric polarization Negative charges appear on the lower surface side and positive charges appear on the upper surface side, respectively.

그리고, 전극(Wa, Wb) 및 본체(Wd)의 하면 측에 나타난 마이너스의 전하와 도전판(15)의 플러스 전하 사이에는, 화살표로 나타낸 정전 흡착력(G)이 작용하고, 이에 의해 워크(W2)는 반송 테이블(2)의 상면에 흡착된 상태로 반송 테이블(2)의 회전에 의해 화살표 X의 방향으로 반송된다.An electrostatic attraction force G indicated by the arrow acts between the negative charges appearing on the lower surfaces of the electrodes Wa and Wb and the body Wd and the positive charge on the conductive plate 15, Is conveyed in the direction of the arrow X by the rotation of the conveying table 2 while being adsorbed on the upper surface of the conveying table 2.

다음으로, 반송 테이블(2) 상의 이재점(4x)에 이재된 워크(W)는, 워크(W2)로서 나타나고, 반송 테이블(2)에 흡착된 상태로 반송 테이블(2)의 회전에 의해 화살표 X의 방향으로 반송된다.The work W transferred to the transfer point 2x on the transfer table 2 appears as a work W2 and is transferred to the transfer table 2 by the rotation of the transfer table 2 X direction.

이 경우, 반송 테이블(2)의 회전에 의한 반송 속도를 리니어 피더(1)에 의한 반송 속도보다 크게 해서, 반송 테이블(2) 상의 워크간(예를 들면 W2와 W3 사이)에 간격을 갖도록 하고 있다. 이렇게 반송 테이블(2) 상의 워크간에 간격을 갖게 함으로써, 도 1의 전면 카메라부(12)가 도 2에 나타내는 워크(W)의 전면(E)을 촬상하고, 또한 도 1의 후면 카메라부(13)가 도 2에 나타내는 워크(W)의 후면(F)을 촬상할 때, 면 전체를 확실하게 촬상하는 것이 가능해진다.In this case, the conveying speed by the rotation of the conveying table 2 is set to be larger than the conveying speed by the linear feeder 1, so that the intervals between the works on the conveying table 2 (for example, between W2 and W3) have. 1 allows the front face E of the work W shown in Fig. 2 to be picked up and the rear face camera unit 13 of Fig. 1 When picking up the rear face F of the work W shown in Fig. 2, it is possible to surely capture the entire face.

즉 워크(W)가 이재점(4x)으로부터 반송 테이블(2)에 이재되어 반송되면, 도 3에 있어서의 구간(P)에 있어서 워크(W)는 정전 흡착된 상태로, W2→W3→W4와 같이 반송 테이블(2)의 반송 속도까지 빠르게 가속되고, 구간(Q)에 있어서 워크의 간격은 예를 들면 W4와 W5 사이와 같이 넓어진다.That is, when the work W is transferred from the transfer point 4x to the transport table 2 and transported, in the section P in Fig. 3, the work W is in the electrostatically adsorbed state and W2 → W3 → W4 And the interval of the work in the section Q is widened as, for example, between W4 and W5.

다음으로 전기력선 발생부(15e) 및 자력선 발생부(18)의 작용에 대해, 도 8 내지 도 10을 이용해서 설명한다. 도 8에 있어서 이재점(4x)에 이재된 워크(W)(도 2)는, 직선부(15s)가 발생하는 전기력선에 의한 정전 흡착과, 아울러 자석 블록(18mb)(도 9에 있어서의 [m11] [m12] [m13]에 의해 구성됨)이 발생하는 자력선에 의한 자기 흡착에 의해, 반송 테이블(2)의 상면에 흡착된다. 여기서, 자석 블록(18mb)이 발생하는 자력선에 대해, 도 9 및 도 10을 이용해서 설명한다. 도 9 및 도 10에, 각 자석 블록(18m)의 상면의 N극을 기점으로 하고, 하면의 S극을 종점으로 하는 자력선을 파선에 의해 나타낸다. 자력선 중, 도 9에 있어서의 자석 블록(18mb)의 양단 부근의 자력선(φ0a1 및 φ0b1)은, 시점부터 종점까지의 전부가 나타나 있다. 그러나, 그 이외의 자력선(φ1N1 및 φ1S1)은, 시점으로부터 매우 먼쪽(경우에 따라 무한원(無限遠))까지 도달하고 나서 종점에 이르기 때문에, 시점 부근 및 종점 부근만을 나타내고 있다. 도 10에 있어서의 자력선(φ0c1 및 φOd1)과, 자력선(φ1N2 및 φ1S2)에 대해서도 마찬가지이다. 여기서, 이재점(4x)에 있어서 워크(W)에 작용하는 자기 흡착은, 반송 테이블(2)을 관통하는 자력선, 즉 도 9에 있어서의 자력선(φ1N1) 및 도 10에 있어서의 자력선(φ1N2)에 의해 생기는 것이다. 이와 같이, 이재점(4x)에 있어서 정전 흡착과 자기 흡착을 병용하기 때문에, 종래기술과 같이 정전 흡착만일 경우에 비해 안정된 흡착을 실현할 수 있다. 이 때문에, 크기가 크고 중량의 있는 워크여도, 혹은 경도가 높은 워크여도, 이재점(4x)에 낙하된 시점에서 도약하지 않고 즉시 반송 테이블(2)의 상면에 흡착되어, 올바른 자세로 재치된다.Next, the actions of the electric-force generating unit 15e and the magnetic-force generating unit 18 will be described with reference to Figs. 8 to 10. Fig. The work W (Fig. 2) transferred to the transfer point 4x in Fig. 8 is subjected to the electrostatic chucking by the electric line of force generated by the straight line portion 15s and the magnet block 18mb m11] [m12] [m13]) is adsorbed on the top surface of the transport table 2 by self-adsorption by the generated magnetic line. Here, magnetic force lines generated by the magnet block 18mb will be described with reference to Figs. 9 and 10. Fig. 9 and 10, the magnetic force lines having the N pole on the upper surface of each magnet block 18m as the starting point and the S pole on the lower surface as the end point are indicated by broken lines. Among the lines of magnetic force, magnetic lines of force phi 0a1 and phi 0b1 near both ends of the magnet block 18mb in Fig. 9 all show from the start point to the end point. However, the magnetic lines of force? 1N1 and? 1S1 other than the magnetic lines of force reach the end point after reaching far from the viewpoint (in some cases, infinite distance), only the vicinity of the view point and the vicinity of the end point are shown. The magnetic force lines? 0c1 and? Od1 in FIG. 10 and the magnetic lines of force? 1N2 and? 1S2 are also the same. Here, magnetic attraction acting on the work W in the transfer point 4x is determined by magnetic force lines passing through the transfer table 2, that is, the magnetic force line 1N1 in Fig. 9 and the magnetic force lines 1N2 in Fig. . As described above, because the electrostatic attraction and the self-attraction are used together at the transfer point 4x, stable adsorption can be realized as compared with the case where electrostatic adsorption is used as in the prior art. Therefore, even if a workpiece having a large size and a high weight or a workpiece having a high hardness is taken, the workpiece is immediately adsorbed on the upper surface of the transport table 2 without being leaped at the time of dropping onto the release point 4x and placed in the correct posture.

다음으로 도 8에 있어서 이재점(4x)에 이재된 워크(W)는, 정전 흡착 및 자기 흡착에 의해 반송 테이블(2)의 상면에 흡착된 상태로, 반송 테이블(2)의 화살표 X의 방향의 회전에 의해, 정렬 가이드(7)의 가이드면(7a)에 가압되어 워크(W2)와 같이 반송된다. 그리고, 이재점(4x)으로부터 합류점(7x)을 향하는 동안 워크(W)는 반송 테이블(2)의 회전 속도까지 가속되고, 합류점(7x)에 있어서 가이드면(7a)으로부터 이간되어 워크 반송 원호(5) 상에 재치 정렬되어 반송된다. 여기서, 워크(W)가 가이드면(7a)으로부터 이간되어 워크 반송 원호(5) 상에 재치 정렬되고 나서 잠시 동안, 구체적으로는 도 8에 있어서 곡선부(15w)의 선단(15t), 즉 워크(W9)의 위치에 도달할 때까지의 동안은, 워크 반송 원호(5)의 바로 아래에 위치하는 곡선부(15w)에 의한 정전 흡착이 워크(W)에 작용한다. 이 때문에, 워크(W)는 곡선부(15w)의 선단(15t)에 대응하는 워크(W9)의 위치에 도달할 때까지, 반송 테이블(2)의 상면에 흡착되어 반송된다. 이와 같이, 이재점(4x)으로부터 합류점(7x)에 이르기까지의 동안 정전 흡착과 자기 흡착을 병용하기 때문에, 종래기술과 같이 정전 흡착만인 경우에 비해 안정된 흡착을 실현할 수 있다. 이 때문에, 워크(W)가 이재점(4x)으로부터 합류점(7x)까지 반송되는 동안 큰 가속도가 인가된 경우에도 안정된 흡착이 실현된다. 이 안정된 흡착에 의해, 워크(W)가 합류점(7x)에 도달하고 나서 워크 반송 원호(5) 상에 재치 정렬되어 반송될 때, 워크(W)가 그 크기에 관계없이 작용하는 원심력에 의해 워크 반송 원호(5)의 외측으로 퇴어나가는 일이 없다. 또한, 워크 반송 원호(5) 상에 재치 정렬된 직후의 워크(W)는, 곡선부(15w)에 의한 정전 흡착에 의해 반송 테이블(2)의 상면에의 흡착이 잠시 계속되기 때문에, 보다 안정된 반송이 가능해진다.8, the work W transferred to the transfer point 4x is attracted to the upper surface of the transfer table 2 by electrostatic attraction and self-attraction, and is transferred in the direction of the arrow X of the transfer table 2 Is pressed against the guide surface 7a of the alignment guide 7 and is transported like the workpiece W2. The workpiece W is accelerated to the rotational speed of the conveyance table 2 while being moved from the transfer point 4x to the confluence point 7x and is separated from the guide surface 7a at the confluence point 7x, 5) and transported. Here, after the work W is separated from the guide surface 7a and placed on the workpiece carrier 5 for a while, specifically, the tip end 15t of the curved portion 15w in Fig. 8, The electrostatic attraction by the curved portion 15w located directly under the workpiece carrier 5 acts on the work W until the position of the workpiece W9 is reached. Therefore, the work W is sucked and carried on the upper surface of the transport table 2 until reaching the position of the work W9 corresponding to the tip end 15t of the curved portion 15w. As described above, since both the electrostatic attraction and the self-attraction are used during the period from the transfer point 4x to the confluence point 7x, stable adsorption can be realized as compared with the case of electrostatic attraction alone as in the prior art. Therefore, stable adsorption is realized even when a large acceleration is applied while the work W is being transported from the transfer point 4x to the confluence point 7x. When the workpiece W arrives at the confluence point 7x and is aligned and transported on the workpiece carrier 5 by stable adsorption, the workpiece W is moved by the centrifugal force regardless of its size, And does not escape to the outside of the conveying arc 5. Since the work W immediately after the placement and alignment on the workpiece carrier 5 continues to be attracted to the upper surface of the transfer table 2 for a while by the electrostatic attraction by the curved portion 15w, It becomes possible to carry it.

또한, 본 발명에 있어서, 곡선부(15w) 및 자력선 발생부(18)가 설치되어 있다. 그 비용은, 후술하는 바와 같이 워크(W)에 작용하는 정전 흡착만으로 큰 흡착력을 얻기 위해 직류 전원을 대용량화한 경우의 비용에 비해 매우 낮다. 또한, 곡선부(15w) 및 자력선 발생부(18)의 배치 방법은, 도체판 프레임(15fO)을 약간 크게 한 도전판 프레임(15f1)의 상면에 곡선부(15w)를 배치하고, 내부에 자력선 발생부(18)를 수납한다고 하는 것이다. 이에 따른 배치 공간의 증가는, 직류 전원을 대용량화한 경우의 체적의 증가에 비해 매우 작다.Further, in the present invention, a curved portion 15w and a magnetic force line generating portion 18 are provided. The cost is much lower than the cost in the case where the DC power source is made large in order to obtain a large attraction force only by the electrostatic attraction acting on the work W as will be described later. The curved portion 15w and the magnetic line generating portion 18 are disposed by arranging the curved portion 15w on the upper surface of the conductive plate frame 15f1 with the conductor plate frame 15fo slightly enlarged, And the generator 18 is stored. Accordingly, the increase in the layout space is very small as compared with the increase in the volume when the DC power source is increased in capacity.

그런데 상술한 바와 같이, 반송 테이블(2)의 회전에 의한 반송 속도가 리니어 피더(1)에 의한 반송 속도보다 크기 때문에, 위치 결정된 워크(W)는 도 3에 있어서의 구간(P)에 있어서 정전 흡착된 상태로 W2→W3→W4와 같이 반송 테이블(2)의 회전에 의한 반송 속도까지 빠르게 가속되고, 구간(Q)에 있어서 워크의 간격은 예를 들면 W4와 W5 사이와 같이 넓어진다. 그리고 워크(W5)는, 구간(P)과 마찬가지로 가이드면(7a)에 가압되면서 반송되어, 점차 워크 반송 원호(5)에 접근해 간다. 그리고, 가이드면(7a)이 워크 반송 원호(5)에 접하는 합류점(7x)에 도달한 워크(W6)의 반송 방향은, 구간(R)에 있어서 워크 반송 원호(5)의 방향과 일치하고, 워크(W6)는 가이드면(7a)으로부터 멀어지는 방향으로 반송된다. 즉, 반송 테이블(2) 상의 워크(W6)에 대해 반송 테이블(2)의 하면에 존재하는 플러스 전하로부터 정전 흡착력이 작용하고 있기 때문에, 워크(W6)는 반송 테이블(2)에 흡착된 채로 가이드면(7a)으로부터 멀어지고, 이후 워크 반송 원호(5) 상에 재치 정렬된 상태로 반송된다.However, as described above, since the conveying speed by the rotation of the conveying table 2 is larger than the conveying speed by the linear feeder 1, the positioned workpiece W is subjected to the interruption The adsorbed state is rapidly accelerated to the conveying speed by the rotation of the conveyance table 2 like W2? W3? W4, and the interval of the work in the section Q is widened, for example, between W4 and W5. The work W5 is conveyed while being pressed against the guide surface 7a in the same manner as the section P and gradually approaches the work transferring arc 5. The carrying direction of the workpiece W6 having reached the confluence point 7x at which the guide surface 7a contacts the workpiece carrier 5 coincides with the direction of the workpiece carrier 5 in the section R, The workpiece W6 is transported in a direction away from the guide surface 7a. That is, since the electrostatic attraction force acts on the work W6 on the conveying table 2 from the positive charge existing on the lower surface of the conveying table 2, the work W6 is attracted to the conveying table 2, Away from the surface 7a, and then conveyed in a state aligned on the workpiece carrier 5.

그 후 워크(W)는 촬상 수단(20)까지 도달하고, 촬상 수단(20)의 측면 카메라부(8), 내면 카메라부(9), 상면 카메라부(10), 하면 카메라부(11), 전면 카메라부(12), 후면 카메라부(13)에 의해, 도 2에 화살표 A ~ F로 나타나는 방향에서 각 면이 촬상되어 외관 검사가 행해진다. 이 경우, 반송 테이블(2)의 하면에 존재하는 전하에 의한 흡착과 가이드면(7a)의 작용에 의해 워크(W)의 위치 결정이 정밀하게 행해지고 있기 때문에, 촬상 수단(20)에 의한 촬상 정밀도가 향상된다. 외관 검사를 종료한 워크(W)는 배출부(14)에 도달하고, 외관 검사의 결과에 따라 도시되지 않은 수납 상자를 향해 배출된다.The work W reaches the imaging means 20 and the side camera portion 8 of the imaging means 20, the inner surface camera portion 9, the upper surface camera portion 10, the lower surface camera portion 11, The front camera section 12 and the rear camera section 13 pick up images of the respective surfaces in the directions indicated by the arrows A to F in Fig. In this case, since the work W is precisely positioned by the attraction by the charge existing on the lower surface of the transfer table 2 and the action of the guide surface 7a, the imaging accuracy by the imaging means 20 . The work W that has undergone the appearance inspection reaches the discharge portion 14 and is discharged toward a storage box (not shown) according to the result of the appearance inspection.

이와 같이 본 실시형태에 따르면, 다음과 같은 작용 효과를 나타낸다.As described above, according to the present embodiment, the following operational effects are exhibited.

일반적으로 워크(W)의 크기가 커진 경우, 혹은 워크(W)의 경도가 높아진 경우에는, 이재점(4x)에 이재될 때 반송 테이블(2) 상에 있어서의 워크(W)의 자세가 변화되기 쉬워진다. 도 3에 있어서, 워크(W)가 리니어 피더(1)로부터 이재점(4x)에 이재될 때에는, 매우 낮은 높이에서 이긴하지만 반송 테이블(2)의 상면에 낙하하게 된다. 여기에서, 크기가 큰 워크(W)는 중량도 커져, 반송 테이블(2)의 상면에 착지할 때의 반발이 커진다. 마찬가지로 경도가 높은 워크(W)도 반송 테이블(2)의 상면에 착지할 때의 반발이 커진다. 이 때문에, 워크(W)가 반송 테이블(2)의 상면에 낙하해서 도약하고 나서 다시 반송 테이블(2)의 상면에 낙하해서 정전 흡착되는 경우가 있다. 그리고 이재점(4x)에 이재된 워크(W)의 반송은, 그때까지의 리니어 피더(1)의 진동에 의한 반송으로부터 반송 테이블(2)의 회전에 의한 반송으로 전환되어, 워크(W)는 반송 테이블(2)의 회전에 의해 빠르게 가속된다. 이 반송의 전환으로 반송 속도가 급격하게 커지는 것도 또한, 워크(W)가 도약하기 쉬워지는 일 요인이다. 그리고 도약에 의해, 이재된 워크(W)가 올바르지 않은 자세로 변화해서 그대로 반송되기 때문에, 올바른 방향에서 촬상할 수 없다.In general, when the size of the work W is increased or when the hardness of the work W is increased, the posture of the work W on the transport table 2 changes when the work W is transferred to the transfer point 4x . 3, when the work W is transferred from the linear feeder 1 to the transfer point 4x, the work W falls on the top surface of the transfer table 2 although it is at a very low height. Here, the work W having a large size is large in weight, and the repulsion when landing on the top surface of the transport table 2 is large. Likewise, the rebound when landing the workpiece W having a high hardness on the top surface of the transport table 2 is large. For this reason, the work W falls on the top surface of the transport table 2 and leaps to the top surface of the transport table 2 to be electrostatically adsorbed. The transfer of the work W transferred to the transfer point 4x is switched from the transfer by the oscillation of the linear feeder 1 until that time until the transfer by the rotation of the transfer table 2, And is rapidly accelerated by the rotation of the transport table 2. The fact that the conveyance speed increases sharply due to the switching of the conveyance is also a factor that makes the work W easier to leap. By the jump, the transferred workpiece W changes to an incorrect posture and is conveyed as it is, so that it can not be picked up in the correct direction.

또한 워크(W)가 반송 테이블(2) 상에 재치되어 반송될 때, 워크(W)에 작용하는 원심력 때문에 워크(W)가 워크 반송 원호(5) 상에서 어긋나기 쉬워진다고 하는 경우가 있다. 상술한 바와 같이, 반송 테이블(2)의 상면에 재치된 워크(W)는, 도 3에 나타내는 바와 같이 이재점(4x)으로부터 합류점(7x)까지 반송되는 동안 반송 테이블(2)의 회전 속도까지 가속된다. 그리고 합류점(7x)에 있어서 정렬 가이드(7)의 가이드면(7a)으로부터 이간된 직후의 워크(W9)에, 반송 테이블(2)의 회전에 기인하는 원심력이 작용해서 워크 반송 원호(5)의 외측으로 튀어나갈 수 있다. 이 경우에도 워크(W)가 올바르지 않은 자세로 변화해서 그대로 반송되기 때문에, 올바른 방향에서 촬상할 수 없다. 또한, 상기의 원심력은 워크(W)의 크기에 관계없이, 어떠한 워크에도 마찬가지로 작용한다. 그 이유를 간단히 설명한다. 원심력을 F, 워크(W)의 질량을 m, 반송 테이블(2)의 회전 속도를 v라고 하면,There is also a case where the workpiece W is easily displaced on the workpiece carrier 5 due to the centrifugal force acting on the workpiece W when the workpiece W is placed on the transport table 2 and transported. As described above, the work W placed on the top surface of the transport table 2 is transported from the transfer point 4x to the confluence point 7x until the rotation speed of the transport table 2 Accelerated. A centrifugal force caused by the rotation of the conveyance table 2 acts on the work W9 just after being separated from the guide surface 7a of the alignment guide 7 at the confluence point 7x, It can protrude outward. Even in this case, the workpiece W is changed to an incorrect posture and is conveyed as it is, so that it can not be picked up in the correct direction. In addition, the centrifugal force acts on any work regardless of the size of the work W. I will briefly explain why. The centrifugal force is F, the mass of the work W is m, and the rotational speed of the transport table 2 is v,

[수식 1][Equation 1]

Figure 112016056258805-pat00001
Figure 112016056258805-pat00001

이다. 그런데 도 3에 있어서, 리니어 피더(1)가 반송하는 워크(W)의 수와 반송 테이블(2)의 회전 속도와의 사이에는, 이하의 관계가 있다. 질량(m)이 큰 워크(W), 즉 크기가 큰 워크(W)인 경우, 리니어 피더(1)가 단위 시간에 반송하는 워크(W)의 수는 적다. 이 때, 반송 테이블(2)에 공급되는 단위 시간당 워크(W)의 수가 적으므로, 반송 테이블(2)의 회전 속도(v)는 작다. 한편, 질량(m)이 작은 워크(W), 즉 크기가 작은 워크(W)인 경우, 리니어 피더(1)가 단위 시간에 반송하는 워크(W)의 수는 많다. 이 때, 반송 테이블(2)에 공급되는 단위 시간당 워크(W)의 수가 많으므로, 반송 테이블(2)의 회전 속도(v)는 크다. 즉, 워크(W)의 질량(m)이 크다면 반송 테이블(2)의 회전 속도(v)는 작고, 워크(W)의 질량(m)이 작으면 반송 테이블(2)의 회전 속도(v)는 커진다. 이 관계를 식 (1)에 대입하면, 워크(W)의 질량(m)의 대소, 즉 크기의 대소에 관계없이, 워크(W)에는 마찬가지의 크기의 원심력이 작용하는 것을 알 수 있다.to be. 3, there is the following relationship between the number of workpieces W carried by the linear feeder 1 and the rotation speed of the transport table 2. In the case of a work W having a large mass m, that is, a work W having a large size, the number of workpieces W conveyed by the linear feeder 1 in a unit time is small. At this time, since the number of workpieces W per unit time supplied to the transport table 2 is small, the rotation speed v of the transport table 2 is small. On the other hand, in the case of the work W having a small mass m, that is, the work W having a small size, the number of the work W carried by the linear feeder 1 in a unit time is large. At this time, since the number of workpieces W per unit time supplied to the transport table 2 is large, the rotation speed v of the transport table 2 is large. That is, if the mass m of the work W is large, the rotation speed v of the transport table 2 is small and if the mass m of the work W is small, the rotation speed v of the transport table 2 ). It can be seen that centrifugal force of the same magnitude acts on the work W irrespective of the magnitude of the mass m of the work W, that is, the magnitude of the magnitude.

상기와 같은 이재시의 도약 및 반송시의 원심력에 기인하는 워크(W)의 자세 변화를 방지하기 위해서는, 반송 테이블(2) 상에 재치된 워크(W)에 작용하는 정전 흡착력을 크게 하는 것이 필요해진다. 그를 위해서는 직선 도전판(5s)에 인가하는 전압을 높게 하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 그것을 실현하기 위해서는 직류 전원의 대용량화가 필요하며, 그에 따라 직류 전원의 체적이 커지고, 또한 비용도 높아진다.It is necessary to increase the electrostatic attraction force acting on the workpiece W placed on the transport table 2 in order to prevent the posture change of the workpiece W due to the centrifugal force at the time of leaping and transporting of the above- . For this purpose, it is conceivable to increase the voltage applied to the linear conductive plate 5s. However, in order to realize this, it is necessary to increase the capacity of the DC power source, thereby increasing the volume of the DC power source and increasing the cost.

이에 대해 본 실시형태에 따르면, 워크의 반송 테이블에의 이재시 및 반송 테이블에 의한 반송시에, 워크가 반송 테이블 상에 충분한 힘으로 안정되게 흡착된다. 이것에 의해, 워크가 올바른 자세로 반송되어 올바르게 촬상할 수 있다.On the other hand, according to this embodiment, the workpiece is stably attracted to the transfer table with sufficient force at the time of transfer of the workpiece to the transfer table and at the time of transfer by the transfer table. As a result, the workpiece is transported in the correct posture and can be properly picked up.

<제 2 실시형태>&Lt; Second Embodiment >

이하, 본 발명의 제 2 실시형태에 대해, 도 11에 의해 설명한다.Hereinafter, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

도 11에 나타내는 제 2 실시형태는, 제 1 실시형태에 무진동부(4)의 구성을 부가한 것이며, 다른 구성은 도 1 내지 도 10에 나타내는 제 1 실시형태와 대략 동일하다. 도 11에 나타내는 제 2 실시형태에 있어서, 도 1 내지 도 10에 나타내는 제 1 실시형태와 동일한 부분에는 동일한 부호를 부여하고 상세한 설명을 생략한다.The second embodiment shown in Fig. 11 is similar to the first embodiment shown in Figs. 1 to 10 except that the non-oscillation portion 4 is added to the first embodiment. In the second embodiment shown in Fig. 11, the same reference numerals are given to the same portions as those in the first embodiment shown in Figs. 1 to 10, and the detailed description is omitted.

즉, 도 11에 나타내는 바와 같이, 리니어 피더(1)의 하류단에, 리니어 피더(1)와 동등한 경사를 가짐과 함께 진동하는 일이 없는 무진동부(4)가 접속되어 있다. 무진동부(4)의 하류단은, 도 4에 있어서의 리니어 피더(1)의 하류단과 마찬가지로 반송 테이블(2)과 약간 극간을 갖고 있다. 이에 의해, 워크(W)는 리니어 피더(1)로부터 무진동부(4)를 거쳐 점차 하강해서, 반송 테이블(2)에 이재된다. 리니어 피더(1)는 그 아래쪽에 수평으로 위치하는 반송 테이블(2)을 향해 약간 경사를 갖고 있으며, 리니어 피더(1)의 진동에 의해 후속의 워크(W)에 밀려 전진하는 워크(W)는, WO로 나타나는 바와 같이 전후 방향으로 연속해서 반송 테이블(2)을 향해 조금씩 하강한다. 리니어 피더(1)가 진동하고 있기 때문에, 워크(W)를 리니어 피더(1)로부터 반송 테이블(2)에 이재할 때 리니어 피더(1)를 반송 테이블(2)의 바로 윗 위치까지 접근시키면, 리니어 피더(1)와 반송 테이블(2)이 맞닿을 우려가 있다. 이를 방지하기 위해, 리니어 피더(1)의 하류단과 반송 테이블(2) 사이에는, 진동하지 않는 무진동부(4)가 설치되어 있다.That is, as shown in Fig. 11, a non-oscillation portion 4 having a slope equal to that of the linear feeder 1 and not oscillating is connected to the downstream end of the linear feeder 1. [ The downstream end of the non-vibration section 4 has a slight gap with the transport table 2 in the same manner as the downstream end of the linear feeder 1 in Fig. Thereby, the work W gradually descends from the linear feeder 1 to the non-vibrating portion 4, and is transferred to the conveying table 2. The linear feeder 1 has a slight inclination toward the conveyance table 2 positioned horizontally below the linear feeder 1 and the work W pushed forward by the subsequent work W due to the vibration of the linear feeder 1 , And gradually descends toward the transport table 2 continuously in the forward and backward directions as shown by WO. When the linear feeder 1 is brought close to the position directly above the transport table 2 when the work W is transferred from the linear feeder 1 to the transport table 2 because the linear feeder 1 is vibrating, There is a fear that the linear feeder 1 and the conveyance table 2 come into contact with each other. In order to prevent this, a vibration-free section 4 which does not vibrate is provided between the downstream end of the linear feeder 1 and the transport table 2. [

또한, 리니어 피더(1)의 진동의 편차에 기인해서, 리니어 피더(1)에 있어서 워크(W)의 반송 속도의 편차가 발생하는 경우도 생각할 수 있지만, 무진동부(4)를 리니어 피더(1)와 반송 테이블(2) 사이에 개재시킴으로써 이 반송 속도를 균일화할 수 있다.It is also conceivable that the deviation of the conveying speed of the workpiece W in the linear feeder 1 due to the deviation of the vibration of the linear feeder 1 may occur. And the conveyance table 2, the conveying speed can be made uniform.

그런데, 무진동부(4)는 리니어 피더(1)와 동등한 경사를 갖고, 반송 테이블(2)의 상면과의 사이에 약간의 극간을 갖고 있다. 무진동부(4) 상의 워크(W)는 리니어 피더(1) 위와 마찬가지로 후속의 워크에 밀려 전진해서, WO로 나타나는 바와 같이 전후로 연속해서 반송 테이블(2)을 향해 조금씩 하강한다.The non-oscillation portion 4 has a slope equivalent to that of the linear feeder 1 and has a slight gap between the upper surface of the transport table 2 and the upper surface. The work W on the non-vibration section 4 is pushed forward by the subsequent work as in the case of the linear feeder 1 and is gradually lowered toward the transport table 2 continuously in the forward and backward directions as shown by WO.

그리고, 무진동부(4)의 하류단에 도달한 워크(W1)는, 직후에 위치하는 워크(WO)에 밀려, 반송 테이블(2) 상의 이재점(4x)에 이재되고, 이후 반송 테이블(2)의 회전에 의해 도 4의 화살표 X의 방향으로 반송된다. 여기서, 무진동부(4)의 길이가 너무 짧으면 반송 속도를 균일화하는 것이 곤란해지고, 반대로 이 길이가 너무 길면 워크(W)가 도중에 정지되게 될 우려가 있다. 본 발명의 실시형태에 있어서는, 무진동부(4)의 길이는 워크의 길이 방향의 치수의 8배가 되어 있으므로, 워크(W)를 정지시키지 않고 워크(W)의 반송 속도의 균일화를 도모할 수 있다.The work W1 that has reached the downstream end of the non-vibration section 4 is pushed by the immediately succeeding workpiece WO and is transferred to the transfer point 4x on the transfer table 2, In the direction of arrow X in Fig. If the length of the vibrationless portion 4 is too short, it is difficult to equalize the conveying speed. Conversely, if the length is too long, there is a fear that the workpiece W is stopped on the way. In the embodiment of the present invention, since the length of the non-vibration section 4 is eight times the length of the work in the longitudinal direction, the conveyance speed of the work W can be made uniform without stopping the work W .

또한, 제 2 실시형태에 있어서는, 무진동부(4)와 도 1에 나타내는 정렬 가이드(7)에 의해 이재 정렬 수단(21)이 구성된다. 이 제 2 실시형태는, 상술한 바와 같이 무진동부(4)를 부가한 것 이외는 제 1 실시형태와 동일하다. 즉, 제 1 실시형태에서 설명한 전기력선 발생부(15e) 및 자력선 발생부(18)의 구성 및 작용은, 제 1 실시형태와 동일하다.Further, in the second embodiment, the de-icing unit 4 is constituted by the vibration-free section 4 and the alignment guide 7 shown in Fig. The second embodiment is the same as the first embodiment except that the noninverting portion 4 is added as described above. That is, the configuration and operation of the electric-force-generating portion 15e and the magnetic-force-generating portion 18 described in the first embodiment are the same as those of the first embodiment.

1 리니어 피더 2 반송 테이블
3 반송 테이블의 중심축 4 무진동부
4x 이재점 5 워크 반송 원호
7 정렬 가이드 7a 가이드면
7x 합류점 8 측면 카메라부
9 내면 카메라부 10 상면 카메라부
11 하면 카메라부 12 전면 카메라부
13 후면 카메라부 14 배출부
15 도전판 15e 전기력선 발생부
15f1 도전판 프레임 15s 도전판의 직선부
15w 도전판의 곡선부 18 자력선 발생부
18f 자석 고정 프레임 18m 요소 자석
18mb 자석 블록 18p 자기 중첩 바
18s 보조 부재 20 촬상 수단
21 이재 정렬 수단 30 워크의 외관 검사 장치
W 워크 Wa, Wb 워크의 전극
Wd 워크의 본체
1 Linear feeder 2 conveying table
3 Central axis of conveyance table 4 Non-
4x Leverage point 5 Workpiece return arc
7 Alignment Guide 7a Guide Face
7x confluence point 8 side camera part
9 Inner camera unit 10 Top camera unit
11, a camera unit 12, a front camera unit
13 Rear camera part 14 Discharge part
15 conductive plate 15e electric line generating unit
15f1 Conducting plate frame 15s Straight line of the conductive plate
Curved portion of 15w conductive plate 18 magnetic force generating portion
18f Magnetic fixing frame 18m Element magnet
18mb Magnet block 18p Self-overlay bar
18s auxiliary member 20 imaging means
21 Laminating device 30 Appearance inspection device for workpiece
W Work Wa, Wb Work electrode
Body of Wd work

Claims (8)

6면체 형상의 워크를 반송하는 리니어 피더와,
리니어 피더로부터 워크가 이재(移載; transfer)점에 있어서 이재되어, 이 워크를 재치(載置)한 상태로 워크 반송 원호 상에서 반송하는 투명체로 이루어지는 회전 가능한 원형 반송 테이블과,
리니어 피더와 반송 테이블 사이에 배설(配設)되고, 리니어 피더로부터의 워크를 반송 테이블 상에 이재해서 정렬시키는 이재 정렬 수단과,
반송 테이블 아래쪽에 배치된 도체로 이루어지고, 이 도체에 직류 전압을 인가하여 전장(電場)을 발생시켜서, 반송 테이블에 재치된 워크를 유지하는 유지 수단과,
반송 테이블 상의 워크의 6면을 촬상하는 촬상 수단을 구비하고,
이재 정렬 수단은 리니어 피더의 하류 측에 설치되고, 워크를 정렬하는 평면에서 볼 때 직선 형상의 가이드면을 갖는 정렬 가이드를 갖고,
정렬 가이드의 가이드면은, 평면상(平面上), 이재점과, 이재점의 하류 측에 있고 워크 반송 원호와 합류하는 합류점을 포함하고 또한 가이드면은 이재점과 합류점을 잇는 직선과, 합류점보다 하류 측의 직선을 포함하고, 이재점과 합류점을 잇는 직선은, 이재점과 반송 테이블의 회전축을 잇는 직선에 대해 예각을 이루고, 또한 합류점보다 하류 측의 직선은, 합류점과 반송 테이블의 회전축을 잇는 직선과 직교하고, 이재점에 이재된 워크는, 유지 수단에 의해 유지되면서, 가이드면의 이재점과 합류점을 잇는 직선에 가압되어 가이드면을 따라 반송되고,
유지 수단의 도체는, 이재점과 합류점을 잇는 직선 및 합류점보다 하류 측의 워크 반송 원호를 따라 배치되며,
반송 테이블 아래쪽에, 이재점과 합류점을 잇는 직선을 따라, 자력선 발생부를 도약 방지 수단으로서 더 배치하는 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 장치.
A linear feeder for feeding a work having a hexahedron shape,
A rotatable circular transport table formed of a transparent body which is transferred from a linear feeder at a transfer point of the work and which carries the work on a work transporting arc,
Disposing alignment means for disposing (arranging) between the linear feeder and the conveyance table and for aligning the work from the linear feeder on the conveyance table,
A holding means for holding a work placed on the conveyance table by generating an electric field by applying a DC voltage to the conductor,
And imaging means for imaging six surfaces of the work on the transfer table,
The discrete alignment means is provided on the downstream side of the linear feeder and has an alignment guide having a linear guide surface when viewed from the plane in which the work is aligned,
The guiding surface of the alignment guide includes a plane surface (on a plane), a separation point, and a confluence point on the downstream side of the separation point and merging with the workpiece transfer arc, and the guide surface has a straight line connecting the separation point and the confluence point, The straight line connecting the transfer point and the transfer point includes an acute angle with respect to a straight line connecting the transfer point and the rotation axis of the transfer table and the straight line downstream of the confluence point is a line connecting the transfer point and the rotation axis of the transfer table The work orthogonal to the straight line and held on the transfer point is pressed by a straight line connecting the transfer point of the guide surface and the confluence point and is conveyed along the guide surface while being held by the holding means,
The conductor of the holding means is arranged along a straight line connecting the transfer point and the confluence point and along a workpiece transfer arc on the downstream side of the confluence point,
Wherein the magnetic force line generating section is further arranged as a jump preventing means along a straight line connecting the transfer point and the confluence point below the transfer table.
제 1 항에 있어서,
이재 정렬 수단은, 리니어 피더와 반송 테이블 사이에 설치된 무진동부를 더 갖는 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the false alignment means further has a non-oscillation portion provided between the linear feeder and the conveyance table.
삭제delete 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
원형 반송 테이블은 투명한 유리체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 장치.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the circular conveying table is made of a transparent glass body.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
반송 테이블에 의한 워크의 반송 속도는, 리니어 피더에 의한 워크의 반송 속도보다 큰 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 장치.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the conveying speed of the work by the conveying table is larger than the conveying speed of the work by the linear feeder.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
정렬 가이드의 가이드면은, 평면상, 이재점과 반송 테이블의 회전축을 잇는 직선에 대해, 75도 ~ 88도의 예각을 형성하는 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 장치.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the guiding surface of the alignment guide forms an acute angle of 75 to 88 degrees with respect to a straight line connecting the transfer point and the rotation axis of the transfer table on a plane.
제 1 항에 기재된 워크의 외관 검사 장치를 이용한 워크의 외관 검사 방법에 있어서,
6면체 형상의 워크를 리니어 피더에 의해 반송하는 공정과,
리니어 피더로부터의 워크를 정렬 가이드를 통해 원형 반송 테이블 상의 이재점에 이재함과 함께, 정렬 가이드의 가이드면에 의해 워크를 정렬시키는 공정과,
유지 수단에 의해 반송 테이블에 재치된 워크를 유지한 상태에서, 워크를 반송 테이블의 워크 반송 원호 상에서 반송하는 공정과,
반송 테이블 상의 워크의 6면을 촬상 수단에 의해 촬상하는 공정
을 구비한 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 방법.
A method for inspecting the appearance of a workpiece using the apparatus for inspecting a workpiece according to claim 1,
A step of transporting a work having a hexahedron shape by a linear feeder,
Moving the work from the linear feeder to the transfer point on the circular transport table through the alignment guide and aligning the work with the guide surface of the alignment guide,
A step of transporting the work on the workpiece carrier arcs of the transport table in a state where the workpiece placed on the transport table is held by the holding means,
A step of picking up images of six surfaces of the work on the transport table by the image pickup means
And a step of inspecting the appearance of the work.
제 2 항에 기재된 워크의 외관 검사 장치를 이용한 워크의 외관 검사 방법에 있어서,
6면체 형상의 워크를 리니어 피더에 의해 반송하는 공정과,
리니어 피더로부터의 워크를 무진동부 및 정렬 가이드를 통해 원형 반송 테이블 상의 이재점에 이재함과 함께, 정렬 가이드의 가이드면에 의해 워크를 정렬시키는 공정과,
유지 수단에 의해 반송 테이블에 재치된 워크를 유지한 상태에서, 워크를 반송 테이블의 워크 반송 원호 상에서 반송하는 공정과,
반송 테이블 상의 워크의 6면을 촬상 수단에 의해 촬상하는 공정
을 구비한 것을 특징으로 하는 워크의 외관 검사 방법.
A method for inspecting the appearance of a work using the apparatus for inspecting appearance of a work according to claim 2,
A step of transporting a work having a hexahedron shape by a linear feeder,
Moving the work from the linear feeder to the transfer point on the circular transport table through the non-vibrating portion and the alignment guide, and aligning the work with the guide surface of the alignment guide;
A step of transporting the work on the workpiece carrier arcs of the transport table in a state where the workpiece placed on the transport table is held by the holding means,
A step of picking up images of six surfaces of the work on the transport table by the image pickup means
And a step of inspecting the appearance of the work.
KR1020160072971A 2015-08-26 2016-06-13 Apparatus and method for inspecting appearance of work KR101851975B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2015-167188 2015-08-26
JP2015167188A JP6529170B2 (en) 2015-08-26 2015-08-26 Work appearance inspection apparatus and work appearance inspection method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170026099A KR20170026099A (en) 2017-03-08
KR101851975B1 true KR101851975B1 (en) 2018-04-25

Family

ID=58209698

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160072971A KR101851975B1 (en) 2015-08-26 2016-06-13 Apparatus and method for inspecting appearance of work

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP6529170B2 (en)
KR (1) KR101851975B1 (en)
CN (1) CN106483141B (en)
MY (1) MY177803A (en)
TW (1) TWI610073B (en)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6879822B2 (en) * 2017-05-18 2021-06-02 株式会社 東京ウエルズ Work appearance inspection device and work appearance inspection method
JP6795479B2 (en) 2017-09-25 2020-12-02 株式会社Screenホールディングス Inspection equipment and inspection method
JP7205846B2 (en) * 2017-11-07 2023-01-17 株式会社 東京ウエルズ CONVEYING DEVICE, CONVEYING METHOD, AND APPEARANCE INSPECTION DEVICE
JP6970432B2 (en) * 2017-11-30 2021-11-24 三星ダイヤモンド工業株式会社 Board alignment device
JP6987400B2 (en) * 2019-09-26 2022-01-05 株式会社 東京ウエルズ Work transfer device and work transfer method
KR102421136B1 (en) * 2021-04-02 2022-07-14 주식회사 다인이엔지 The multi layer ceramic condenser aligner using magnet
CN113720856B (en) * 2021-08-25 2022-07-01 东莞市华石晶电技术有限公司 Detection equipment and detection method thereof
JP7616433B2 (en) * 2021-12-27 2025-01-17 株式会社村田製作所 Parts handling equipment
CN118140135A (en) 2021-12-27 2024-06-04 株式会社村田制作所 Component screening device
WO2023127315A1 (en) * 2021-12-27 2023-07-06 株式会社村田製作所 Component sorting device
CN118804884A (en) 2022-05-31 2024-10-18 株式会社村田制作所 Component inspection device
TWI814542B (en) * 2022-08-17 2023-09-01 產台股份有限公司 Alignment device for workpiece appearance inspection machine

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002179232A (en) * 2000-12-20 2002-06-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd Conveying and supplying device
JP3855733B2 (en) * 2001-10-30 2006-12-13 株式会社村田製作所 Electronic component visual inspection apparatus and visual inspection method
US7190446B2 (en) * 2003-12-19 2007-03-13 Asm Assembly Automation Ltd. System for processing electronic devices
JP2008260594A (en) * 2007-04-10 2008-10-30 Okano Denki Kk Part conveying device
JP5598912B2 (en) * 2009-11-27 2014-10-01 株式会社 東京ウエルズ Work appearance inspection apparatus and work appearance inspection method
CN102079448B (en) * 2009-11-27 2013-09-04 东京威尔斯股份有限公司 Inspection apparatus for appearance of workpiece and inspection method thereof
JP6009167B2 (en) * 2012-01-17 2016-10-19 株式会社 東京ウエルズ Work appearance inspection apparatus and work appearance inspection method
CN203714822U (en) * 2014-01-29 2014-07-16 洛阳久德轴承模具技术有限公司 Conveying and end face detection mechanism for bearing rollers
CN103801518B (en) * 2014-01-29 2016-05-04 洛阳久德轴承模具技术有限公司 A kind of detection system for bearing roller
CN105372245A (en) * 2015-10-14 2016-03-02 上海为寻视自动化科技有限公司 Keyboard thin film detecting equipment

Also Published As

Publication number Publication date
CN106483141A (en) 2017-03-08
CN106483141B (en) 2020-09-22
JP6529170B2 (en) 2019-06-12
KR20170026099A (en) 2017-03-08
JP2017044579A (en) 2017-03-02
MY177803A (en) 2020-09-23
TW201713935A (en) 2017-04-16
TWI610073B (en) 2018-01-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101851975B1 (en) Apparatus and method for inspecting appearance of work
TWI449897B (en) Workpiece appearance inspection device and workpiece appearance inspection method
KR101436449B1 (en) Apparatus and method of inspecting appearance of work
JP7454060B2 (en) Collection availability determination device and collection availability determination method
CN102079448B (en) Inspection apparatus for appearance of workpiece and inspection method thereof
KR101545712B1 (en) Fixing jig, fixing device, and fixing and conveying carrier for parts
KR102172030B1 (en) Conveying apparatus, conveying method, and appearance inspection apparatus
JP2004168516A (en) Alignment apparatus for electronic component
JP2015072785A (en) Separator cutting device and separator cutting method
KR101926410B1 (en) Electronic-component transportation device
CN114249128B (en) Electrostatic induction adsorption type conveyor and electrostatic induction adsorption type conveyor
JP7438450B2 (en) maintenance equipment
KR20140138429A (en) Pick up apparatus for semiconductor module and pick up method thereof
JP2016102024A (en) Method and device for aligning semiconductor chips
JPWO2015129514A1 (en) Alignment supply apparatus and alignment method
CN116964932A (en) Piezoelectric vibration device manufacturing apparatus and piezoelectric vibration device manufacturing method
KR101382173B1 (en) Testing apparatus of electronic parts
JP2021151024A (en) Work-piece alignment device
KR20170041130A (en) Energizing device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20160613

PA0201 Request for examination
PG1501 Laying open of application
E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20170707

Patent event code: PE09021S01D

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

Patent event code: PE07011S01D

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event date: 20180124

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20180419

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20180420

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration
PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20210409

Start annual number: 4

End annual number: 4

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20220408

Start annual number: 5

End annual number: 5