KR101839464B1

KR101839464B1 - 표시 패널의 접합 장치, 및 접합 방법

Info

Publication number: KR101839464B1
Application number: KR1020167015478A
Authority: KR
Inventors: 다이스케 고모다
Original assignee: 클라임 프로덕츠 가부시키가이샤
Priority date: 2015-02-17
Filing date: 2015-09-17
Publication date: 2018-03-16
Anticipated expiration: 2035-09-17
Also published as: EP3159873A4; US10551647B2; WO2016132582A1; JP6151288B2; US20170269397A1; EP3159873B1; JP2016151646A; KR20160113583A; CN106463076B; EP3159873A1; CN106463076A

Abstract

접합 시에 기포가 접합면에 봉입되는 것을 해소하면서, 접합 후에 발생한 기포도 확실하게 탈기(脫氣)하여, 접합체의 불량율을 현저하게 저하시키고, 접합 작업의 생산성을 향상시킬 수 있는 표시 패널의 접합 장치를 제공한다.
챔버 본체(10)와 챔버 커버체(11)로 진공 챔버 유닛(3)을 구성한다. 챔버 본체(10)의 내부에 댐 지그(13)를 구비한 고정 접합대(12)를 설치하고, 챔버 커버체(11)의 내부에 가동 접합대(16)를 설치한다. 댐 지그(13) 및 가동 접합대(16)에 장착한, 표시 패널(P1)과 접합 대상(P2)을 진공 환경 하에서 접합한 후, 진공 챔버 유닛(3)을 챔버 경동 장치로 경사 자세로 하여, 댐 지그(13)로 봉지(封止)되어 있지 않은 미봉지부(34)를 표시 패널(P1)의 경사 상단에 위치시켜, 접착제가 경화되는 과정에서 접합면에서 발생한 기포를 상기 미봉지부(34)로부터 탈기한다.

Description

표시 패널의 접합 장치, 및 접합 방법{ATTACHMENT DEVICE OF DISPLAY PANEL AND ATTACHMENT METHOD}

본 발명은, 예를 들면, 액정 패널이나 터치 패널 등의 표시 패널을 접합 대상에 접합하기 위한 접합 장치와 접합 방법에 관한 것이다. 터치 패널을 접합 대상으로 하고, 여기에 액정 패널을 접합하는 경우도 있다.

본 발명에 따른 접합 장치에서는, 진공 챔버 내에 수용한 표시 패널과 접합 대상을 진공 환경 하에서 접합하지만, 이러한 종류의 접합 장치는 본 출원인이 먼저 제안한 특허 문헌 1에 개시되어 있다. 이에 따르면, 진공 챔버의 내부에, 공작물 홀더를 지지하는 테이블과, 접합 다이어프램과, 테이블을 접합 다이어프램을 향해 가압 조작하는 테이블 구동 구조 등을 설치하고 있다. 공작물 홀더는, 제1 공작물을 지지하는 접합 테이블과, 제2 공작물을 제1 공작물에 대하여 소정의 간극을 둔 상태로 지지하는 공작물 유지 구조를 구비하고 있다. 접합 시에는, 양 공작물 중 어느 한쪽의 접합면에 접착재를 도포해 두고, 진공 챔버 내의 공기를 배기하고, 접합 다이어프램의 다이어프램 막을 팽창 변형시킨 상태에서, 테이블을 접합 다이어프램에 가압 조작하여, 제2 공작물을 제1 공작물에 대하여 중앙 부분으로부터 주변부를 향해 접합한다.

본 발명의 접합 장치에서는, 복수의 스테이지의 사이에서 진공 챔버를 회전 이동시키고, 각각의 스테이지에서 상이한 접합 처리를 동시에 행하여, 접합체의 생산성을 향상시키지만, 이러한 접합 장치는 본 출원인의 제안에 따른 특허 문헌 2에 개시되어 있다. 이에 따르면, 각각 4개의 흡착면을 구비한 제1 회전대 및 제2 회전대를 상하로 인접 배치하고, 흡착면끼리를 소정의 접합 간극을 사이에 두고 정면으로 마주보게 하고 있다. 양 회전대의 주위에는 각각 상이한 접합 처리를 행하는 제1 스테이지∼제4 스테이지가 설치되어 있고, 각각의 회전대를 90°씩 회전시키고, 흡착면에 흡착된 제1 공작물 및 제2 공작물을 각각의 스테이지에 임하게 하여 접합 처리를 행한다. 각각의 스테이지에서는, 공작물의 공급 및 접합된 공작물의 취출과, 보호지의 박리와, 양 공작물의 위치 결정과, 공작물끼리의 접합을 행하고 있다.

일본 특허 제5062897호 공보(단락 번호 0033∼0034, 도 1) 일본공개특허 제2011-26143호 공보(단락 번호 0046∼0048, 도 1)

공작물과 접합 대상을 접합하는 경우에는, 표시 패널 등의 공작물 또는 접합 대상의 표면에 접착제를 도포하지만, 대기 중에서 접착제를 도포하는 경우에, 접착제층에 미세한 공기의 거품이 포함되는 것을 피할 수 없다. 이에 따라, 진공 환경 하에서 공작물과 접합 대상을 접합할 때, 접착제층에 포함되어 있던 공기가 접착제층으로부터 분리하여 접합면에 기포가 발생하여, 접착 불량이 생기기 쉽다. 또한, 접착제가 경화되는 과정에서는, 접착제에 포함되어 있던 용제가 휘발하여, 접합면에서 기포를 형성하기 때문에 접착 불량이 생기기 쉽다. 이러한 기포의 발생을 방지하는 것에 관하여, 특허 문헌 1의 접합 장치와 같이, 진공 환경 하에서 제2 공작물을 제1 공작물에 대하여 중앙 부분으로부터 주변부를 향하여 접합하면, 접합면에서 발생한 기포를 중앙 부분으로부터 주변부를 향하여 밀어내면서 배출할 수 있으므로, 접합면에 기포가 남는 것을 억지할 수 있다. 그러나, 접착제에 따라서는, 공작물과 접합 대상을 접합 완료한 후, 경화가 종료할 때까지의 사이에 용제의 기포를 발생하는 경우가 있으며, 특히 진공 환경 하에서는 기포가 발생하기 쉬우므로, 접합체의 불량율의 저하를 도모하는 데 있어서 큰 장애가 되고 있다.

본 발명자는, 기포를 중앙 부분으로부터 주변부를 향해 강제적으로 배출하면서 접합을 행하는 전술한 접합 장치는 물론, 새롭게 시작(試作)한 접합 장치를 사용하여, 기포가 접합면에 남지 않는 접합 처리의 방법을 모색했다. 특히, 접합 후에 기포가 발생하는 것에 관하여, 어떻게 하면 기포를 제거할 수 있는지를 검토하여 시행 착오를 거듭하여, 본 발명의 핵심에 이르는 착상에 도달하여, 본 발명을 제안하기에 이른 것이다.

본 발명의 목적은, 접합 시에 기포가 접합면에 봉입되는 것을 해소하면서, 접합 후에 발생한 기포도 확실하게 배출할 수 있고, 따라서, 접합체의 불량율을 현저하게 저하시켜 접합 작업의 생산성을 향상시킬 수 있는 표시 패널의 접합 장치, 및 접합 방법을 제공하는 것에 있다.

본 발명에 따른 표시 패널의 접합 장치는, 진공 챔버 유닛(3)과, 진공 챔버 유닛(3) 내의 공기를 배기하는 진공원을 구비하고 있다. 진공 챔버 유닛(3)은, 챔버 본체(10)와 챔버 커버체(11)로 구성되며, 챔버 본체(10)의 내부에 댐(dam) 지그(13)를 구비한 고정 접합대(12)가 설치되고, 챔버 커버체(11)에 가동(可動) 접합대(16)가 설치되어 있다. 댐 지그(13)는 표시 패널(P1)의 주위면의 태반(太半)을 봉지(封止)하여, 표시 패널(P1)에 도포한 접착제의 유동 확산을 방지하기 위하여 설치되어 있고, 댐 지그(13)와 접촉하고 있지 않은 표시 패널(P1)의 주위에 미봉지부(34)가 노출되어 있다. 챔버 커버체(11)를 닫고, 진공 챔버 유닛(3) 내의 공기를 진공원으로 배기한 진공 환경 하에서, 가동 접합대(16)를 고정 접합대(12)를 향해 가압하여, 접합 대상(P2)을 표시 패널(P1)에 접합한다. 표시 패널(P1)과 접합 대상(P2)을 접합한 진공 환경인 채로, 진공 챔버 유닛(3)을 챔버 경동(傾動) 장치로 기립 자세로 하고, 상기 미봉지부(34)를 표시 패널(P1)의 기립 상단에 위치시키고, 접착제가 경화되는 과정에서 접합면에서 발생한 기포를 상기 미봉지부(34)로부터 탈기(脫氣)하는 것을 특징으로 한다.

챔버 커버체(11)에, 가동 접합대(16)를 고정 접합대(12)를 향해 가압하는 접합 유닛(17)과, 댐 지그(13)에 장착한 표시 패널(P1)과, 가동 접합대(16)를 이동 가능하게 지지하여 접합 대상(P2)의 위치 결정을 행하는 위치 결정 구조(18)를 설치한다. 챔버 커버체(11)를 개방한 상태에서, 위치 결정 구조(18)의 얼라인먼트대(22)를 얼라인먼트 구조(20)로 조정 구동하여, 표시 패널(P1)과 접합 대상(P2)의 위치 결정을 행한다.

복수의 진공 챔버 유닛(3)을 회전 테이블(1)의 주위 방향으로 등 간격을 두고 배치한다. 회전 테이블(1)의 주위에, 진공 챔버 유닛(3)으로부터 접합체를 취출한 후, 표시 패널(P1) 및 접합 대상(P2)을 진공 챔버 유닛(3)에 장착하고, 또한 디스펜서(5)로 표시 패널(P1)에 접착제를 도포하는 준비 스테이지를 설치한다. 회전 테이블(1)을 테이블 구동 구조로 정회전 또는 역회전 이동함으로써, 상이한 진공 챔버 유닛(3)을 준비 스테이지에 임하게 한다. 준비 스테이지에 위치하지 않은 진공 챔버 유닛(3)을 챔버 경동 장치로 경사 자세로 하여, 접합면에서 발생한 기포를 탈기한다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 회전 테이블(1)에 3개의 진공 챔버 유닛(3)을 주위 방향으로 등 간격을 두고 배치한다. 회전 테이블(1)을 120°씩 정회전시켜, 상이한 2개의 진공 챔버 유닛(3)을 준비 스테이지에 개별적으로 임하게 한 후, 회전 테이블(1)을 240° 역회전시켜, 남은 진공 챔버 유닛(3)을 준비 스테이지에 임하게 한다. 준비 스테이지에 임하고 있지 않은 2개의 진공 챔버 유닛(3)의 하나에서, 접합 대상(P2)을 표시 패널(P1)에 접합하고, 남은 진공 챔버(3)를 챔버 경동 장치로 경사 자세로 하여, 접합면에서 발생한 기포를 탈기한다.

챔버 본체(10)에 대하여 요동 개폐하는 커버 지지 프레임(21)에 위치 결정 구조(18)를 설치하고, 위치 결정 구조(18)의 얼라인먼트대(22)에 챔버 커버체(11)를 장착한다. 준비 스테이지에 얼라인먼트대(22)를 조정 구동하는 얼라인먼트 구조(20)를 배치한다. 접합 유닛(17)은, 얼라인먼트대(22)에 고정된 가이드 프레임(24)과, 가이드 프레임(24)에서 상하 이동 가능하게 안내 지지된 복수의 슬라이더(25)와, 각각의 슬라이더(25)를 상하로 슬라이드 구동하는 구동 기구와, 슬라이더(25)의 상하 이동과 동행하여 왕복 슬라이드하는 복수의 접합축(26)을 구비하고 있다. 접합축(26)은 챔버 커버체(11)를 내외로 관통하고, 그 축단(軸端)을 챔버 커버체(11)의 내부에서 가동 접합대(16)의 상부에 연결한다. 챔버 커버체(11)의 관통공과 접합축(26)의 사이는 실링(sealing)체(29)로 통기 불가능하게 봉지한다. 챔버 커버체(11)를 닫고, 진공 챔버 유닛(3)의 내부를 진공으로 한 상태에서, 슬라이더(25)를 구동 기구로 슬라이드 구동하여, 도 8에 나타낸 바와 같이, 가동 접합대(16)를 고정 접합대(12)에 대하여 비평행하게 경사지게 한 상태로 접합 대상(P2)과 표시 패널(P1)의 접합을 개시한다. 가동 접합대(16)의 경사 각도를, 접합 시단(始端)으로부터 접합 종단(終端)을 향해 서서히 작게 하면서, 접합 대상(P2)과 표시 패널(P1)의 접합을 행한다.

댐 지그(13)의 내부에, 열경화성 접착제의 경화를 촉진하는 가열체(33)를 배치한다.

표시 패널(P1)은 사각형상으로 형성하고, 그 주위의 3변을 댐 지그(13)로 봉지하고, 남은 변부에 미봉지부(34)를 노출시킨다.

본 발명에 따른 표시 패널의 접합 방법에서는, 진공 챔버 유닛(3) 내에 수용된 표시 패널(P1)과 접합 대상(P2)을 진공 환경 하에서 접합한다. 상세하게는, 진공 챔버 유닛(3)의 챔버 커버체(11)를 개방하고, 챔버 본체(10)의 내부에 설치된 고정 접합대(12)에 설치된 댐 지그(13)에 표시 패널(P1)을 장착하고, 챔버 커버체(11)의 내부에 설치된 가동 접합대(16)에 접합 대상(P2)을 장착하는 공정과, 디스펜서(5)로 표시 패널(P1)에 접착제를 도포하는 공정과, 챔버 커버체(11)를 지지하는 얼라인먼트대(22)를, 얼라인먼트 구조(20)로 조정 구동하여 표시 패널(P1)과 접합 대상(P2)의 위치 결정을 행하는 공정과, 챔버 커버체(11)를 닫아서, 진공 챔버 유닛(3) 내의 공기를 배기한 진공 환경 하에서, 가동 접합대(16)를 고정 접합대(12)에 가압하여 접합 대상(P2)을 표시 패널(P1)에 접합하는 공정과, 진공 챔버 유닛(3) 전체를 챔버 경동 장치로 경사 자세로 하여, 진공 상태를 유지한 상태인 채로 접합면에서 발생한 기포를 탈기하는 공정을 포함한다. 댐 지그(13)에 표시 패널(P1)을 장착하는 공정에서는, 표시 패널(P1)의 주위면의 태반을 댐 지그(13)로 봉지하여, 표시 패널(P1)에 도포한 접착제의 유동 확산을 막고 있고, 댐 지그(13)와 접촉하고 있지 않은 표시 패널(P1)의 주위에 미봉지부(34)가 노출되도록 한다. 그리고, 기포를 탈기하는 공정에서는, 미봉지부(34)를 표시 패널(P1)의 경사 상단에 위치시켜, 접합면에서 발생한 기포를 상기 미봉지부(34)로부터 배출하는 것을 특징으로 한다.

상기한 접합 방법에서, 복수 개의 진공 챔버 유닛(3)을 회전 테이블(1)에 배치하여, 회전 테이블(1)의 주위에, 표시 패널(P1) 및 접합 대상(P2)을 진공 챔버 유닛(3)에 공급하고, 또한 진공 챔버 유닛(3)으로부터 접합된 접합체를 취출하고, 표시 패널(P1)에 접착제를 도포하는 준비 스테이지를 설치한다. 회전 테이블(1)을 소정 각도만큼 정회전시키고, 또한 회전 테이블(1)을 정회전 시의 회전 각도만큼 역회전시켜, 진공 챔버 유닛(3)을 하나씩 준비 스테이지에 위치시킨다. 준비 스테이지에 위치하고 있지 않은 진공 챔버 유닛(3)을, 챔버 경동 장치로 경사 자세로 하여 접합면에서 발생한 기포를 탈기한다.

본 발명에 따른 접합 장치에서는, 진공 환경 하에서, 접합 대상(P2)을 표시 패널(P1)에 접합한 후, 진공 환경을 유지한 채로 진공 챔버 유닛(3)을 기립 자세로 하여, 미봉지부(34)를 표시 패널(P1)의 기립 상단에 위치시키고, 접착제가 경화되는 과정에서 접합면에서 발생한 기포를 미봉지부(34)로부터 탈기하도록 했다. 이와 같이, 본 발명의 접합 장치에서는, 탈기 처리를 진공 환경 하에서 행하고, 접합 후에 발생한 휘발 가스나 공기의 기포를 아직 경화되어 있지 않은 접착제층을 따라 상 방향으로 유동시켜 미봉지부(34)로부터 방출하므로, 접합면에 기포가 남을 여지가 없어, 접합체의 불량율을 현저하게 저하시켜 접합 작업의 생산성을 향상시킬 수 있다.

챔버 커버체(11)에, 접합 유닛(17)과 위치 결정 구조(18)를 설치하고, 상기 구조(18)의 얼라인먼트대(22)를 얼라인먼트 구조(20)로 조정 구동하여, 표시 패널(P1)과 접합 대상(P2)의 위치 결정을 행하므로, 챔버 커버체(11)에 얼라인먼트 구조(20)를 설치할 필요가 없다. 따라서, 챔버 커버체(11)의 구조를 간소화하여 경량화할 수 있고, 진공 챔버 유닛(3)을 기립할 때의 구동 부하를 경감할 수 있다.

복수의 진공 챔버 유닛(3)을 회전 테이블(1)의 주위 방향으로 등 간격을 두고 배치하고, 진공 챔버 유닛(3)의 하나의 근방에 준비 스테이지를 설치하는 접합 장치에 의하면, 회전 테이블(1)을 테이블 구동 구조로 정회전 또는 역회전 이동함으로써, 상이한 진공 챔버 유닛(3)을 준비 스테이지에 노출시키는 것이 가능하다. 준비 스테이지에 임하게 한 진공 챔버 유닛(3)에 대하여는, 접합체의 인출과, 신규한 표시 패널(P1) 및 접합 대상(P2)의 장착과, 디스펜서(5)에 의한 접착제의 도포를 행할 수 있다. 또한, 준비 스테이지에 위치하고 있지 않은 진공 챔버 유닛(3)에서는, 상기 유닛(3)을 챔버 경동 장치로 경사 자세로 하여, 접합면에서 발생한 기포를 탈기할 수 있다. 따라서, 준비 스테이지로 준비 작업을 하고 있는 동안, 준비 스테이지에 위치하고 있지 않은 진공 챔버 유닛(3)에서 탈기 작업을 병행하여 행할 수 있으므로, 일련의 접합 작업을 더욱 짧은 시간에 행하여, 접합 작업의 생산성을 더욱 향상시킬 수 있다.

회전 테이블(1)에 3개의 진공 챔버 유닛(3)을 등 간격을 두고 배치한 접합 장치에 의하면, 준비 스테이지로 준비 작업을 하고 있는 동안, 접합 대상(P2)을 표시 패널(P1)에 접합하고, 또한 진공 챔버(3)를 챔버 경동 장치로 경사 자세로 하여 접합면에서 발생한 기포를 탈기할 수 있다. 이와 같이, 준비 작업과 접합 작업과 탈기 작업을 동시 병행적으로 행하면, 일련의 접합 작업을 더욱 짧은 시간에 행하여, 접합 작업의 생산성을 더욱 향상시킬 수 있다. 또한, 회전 테이블(1)을 120°씩 정회전시킨 후, 회전 테이블(1)을 240° 역회전시켜, 3개의 진공 챔버 유닛(3) 각각을, 준비 스테이지와 접합 스테이지와 탈기 스테이지에 임하게 하여 접합 처리를 행하므로, 테이블 구동 구조의 구조나, 배선 구조 및 배관 구조를 간소화하여 접합 장치의 전체 비용을 삭감할 수 있다.

커버 지지 프레임(21)에 얼라인먼트 장치(18)를 설치하고, 얼라인먼트 장치(18)의 얼라인먼트대(22)에 챔버 커버체(11)를 장착하는 것은, 가동 접합대(16)에 장착한 접합 대상(P2)을 챔버 커버체(11)마다 조정 이동하여, 표시 패널(P1)에 대한 얼라인먼트를 행하기 위해서이다. 또한, 얼라인먼트대(22)에 고정한 가이드 프레임(24)과, 가이드 프레임(24)으로 안내 지지한 복수의 슬라이더(25)와, 각각의 슬라이더(25)의 구동 기구와, 슬라이더(25)에 동행하는 복수의 접합축(26)으로 접합 유닛(17)을 구성하는 것은, 접합 대상(P2)을 표시 패널(P1)에 경사진 상태로 접합하기 위해서이다. 상세하게는, 가동 접합대(16)를 고정 접합대(12)에 대하여 비평행하게 경사지게 한 상태로 접합 대상(P2)과 표시 패널(P1)의 접합을 개시한다. 또한, 가동 접합대(16)의 경사 각도를, 접합 시단으로부터 접합 종단을 향해 서서히 작게 하면서, 접합 대상(P2)과 표시 패널(P1)의 접합을 행한다. 이와 같이, 가동 접합대(16)의 경사를, 접합 시단으로부터 접합 종단을 향해 서서히 작게 하면서, 접합 대상(P2)을 표시 패널(P1)에 접합하면, 접착제에 포함되어 있던 미세한 공기를 접합 종단을 향해 압출하면서 접합 가능하므로, 접합 시에 기포가 접합면에 봉입되는 것을 해소할 수 있다.

댐 지그(13)의 내부에 가열체(33)를 배치하면, 접합 대상(P2)과 표시 패널(P1)을 접착하는 열경화성 접착제의 경화를 촉진하여, 탈기 처리에 요하는 시간을 단축할 수 있다. 또한, 댐 지그(13)에 가까운 측의 접착제를 경화시킨 후, 댐 지그(13)로부터 먼 표시 패널(P1)의 중앙 부분을 향해 경화를 진행시킬 수 있으므로, 접합 후에 발생한 휘발 가스나 공기의 기포를, 미봉지부(34)를 향해 효과적으로 유동시켜 방출할 수 있다.

사각형상으로 형성된 표시 패널(P1)에서, 그 주위의 3변을 댐 지그(13)로 봉지하고, 남은 변부에 미봉지부(34)를 노출시키면, 댐 지그(13)의 구조를 간소화하여, 그 제조 비용을 삭감할 수 있다. 이는, 표시 패널(P1)의 외형 형상이나 크기의 상이에 대응하여 전용 댐 지그(13)를 준비할 필요가 있어, 댐 지그(13)를 공용할 수 없기 때문이다.

본 발명에 따른 표시 패널의 접합 방법에 의하면, 표시 패널(P1) 및 접합 대상(P2)을 소정 위치에 장착하는 공정과, 디스펜서(5)로 접착제를 도포하는 공정과, 얼라인먼트 장치(18)로 위치 결정을 행하는 공정과, 진공 환경 하에서 접합 대상(P2)을 표시 패널(P1)에 접합하는 공정과, 진공 챔버 유닛(3)을 기립 자세로 하여, 접합면에서 발생한 기포를 탈기하는 공정을 거쳐 접합체를 얻는다. 또한, 기포를 탈기하는 공정에서는, 미봉지부(34)를 표시 패널(P1)의 기립 상단에 위치시켜, 접합면에서 발생한 기포를 상기 미봉지부(34)로부터 배출시키도록 했다. 이러한 접합 방법에 의하면, 접합 후에 발생한 휘발 가스나 공기의 기포를 아직 경화되어 있지 않은 접착제층을 따라 상 방향으로 유동시켜 미봉지부(34)로부터 방출할 수 있으므로, 접합면에 기포가 남을 여지가 없어, 접합체의 불량율을 현저하게 저하하여 접합 작업의 생산성을 향상시킬 수 있다.

상기한 접합 방법에서, 복수 개의 진공 챔버 유닛(3)을 회전 테이블(1)에 배치하고, 회전 테이블(1)의 주위에 준비 스테이지를 설치하여, 준비 작업과 기포의 탈기 작업을 병행하여 행하도록 하면, 일련의 접합 작업을 더욱 짧은 시간에 행하여, 접합 작업의 생산성을 더욱 향상시킬 수 있다. 상세하게는, 준비 스테이지에 임하게 한 진공 챔버 유닛(3)에 대하여, 접합체의 인출과, 신규한 표시 패널(P1) 및 접합 대상(P2)의 장착과, 디스펜서(5)에 의한 접착제의 도포를 행할 수 있다. 동시에, 준비 스테이지에 위치하고 있지 않은 진공 챔버 유닛(3)에서, 상기 유닛(3)을 경사 자세로 하여, 접합면에서 발생한 기포를 탈기할 수 있다. 따라서, 일련의 접합 작업을 더욱 짧은 시간에 행하여, 접합 작업의 생산성을 더욱 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 진공 챔버 유닛을 탈기 자세로 한 종단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 접합 장치의 전체 평면도이다.
도 3은 도 2에서의 A-A선 단면도이다.
도 4는 챔버 본체 및 댐 지그의 평면도이다.
도 5는 챔버 커버체를 닫은 상태의 종단 정면도이다.
도 6은 도 5에서의 B-B선 단면도이다.
도 7은 도 2에서의 화살표 C를 따라 본(arrow view) 도면이다.
도 8은 얼라인먼트 장치의 개략을 나타내는 일부 파단 측면도이다.
도 9는 접합 유닛의 동작 설명도이다.
도 10은 접합 장치의 회동(回動) 동작을 나타낸 설명도이다.

(실시예 1) 도 1 내지 도 10은, 본 발명에 따른 표시 패널의 접합 장치(이하 간단히 접합 장치라고 함)의 실시예를 나타낸다. 도 2에서 접합 장치는, 중앙의 회전 테이블(1)과, 테이블(1)과 동심원형으로 배치한 링형의 가이드 레일(2)을 기대(基臺)로 하여, 회전 테이블(1)의 주위 방향에 등(等) 간격(120°)을 두고 3개의 진공 챔버 유닛(3)을 배치하고, 이들 기기를 입방체형의 부스(4)에 수용하여 구성되어 있다. 도시하지 않지만, 부스(4)의 하반(下半) 하부(下部)에는 진공 챔버 유닛(3) 내의 공기를 배기하는 진공원이 배치되어 있고, 부스(4)의 전면(前面) 상부에는, 표시 패널(P1)에 접착제를 도포하는 디스펜서(5)와, 얼라인먼트 장치(18)용 CCD 카메라(6)가 배치되어 있다(도 3 참조). 회전 테이블(1)은 그 중심축(7)과 함께 회동할 수 있고, 도시하지 않은 테이블 구동 장치(테이블 구동 구조)로 정회전 또는 역회전 구동된다.

도 3에서 진공 챔버 유닛(3)은, 상 방향으로 개구되는 중공 상자형의 챔버 본체(10)와, 챔버 본체(10)의 상측 개구를 개폐 가능하게 닫는 챔버 커버체(11)로 구성되어 있다. 챔버 본체(10)의 내부에는 고정 접합대(12)가 배치되어 있고, 그 상면에 댐 지그(13)가 고정되어 있다. 챔버 커버체(11)는, 챔버 커버체(11)에 대하여 요동축(14)을 통하여 요동 개폐 가능하게 연결되어 있고, 요동축(14)의 축단에는 요동축(14)을 회전 구동시키는 모터(15)가 장착되어 있다. 챔버 커버체(11)의 커버 면(챔버 커버체(11)를 닫은 상태에서 고정 접합대(12)와 정대(正對)하는 측)에는, 고정 접합대(12)에 대응하여 가동 접합대(16)가 배치되어 있다. 또한, 챔버 커버체(11)의 외측 커버 면(챔버 커버체(11)를 닫은 상태에서 상면측)에는, 가동 접합대(16)를 고정 접합대(12)를 향해 가압하는 접합 유닛(17)과, 표시 패널(P1)과 접합 대상(P2)의 위치 결정을 행하는 얼라인먼트 장치가 설치되어 있다. 표시 패널(P1)은 사각형상의 액정 패널로 이루어지고, 댐 지그(13)에 끼워넣어져 장착된다. 접합 대상(P2)은, 액정 패널과 동일한 형태이며 동일한 크기의 터치 패널로 이루어진다. 챔버 본체(10)의 개구 둘레벽의 상단에는 실링 링(sealing ring)(실링체)(19)이 배치되어 있다.

요동축(14)에는 한 쌍의 커버 지지 프레임(21)이 고정되어 있고, 이들 커버 지지 프레임(21)에 위치 결정 구조(18)를 설치하고, 그 얼라인먼트대(22)(도 5 참조)에 챔버 커버체(11)가 고정되어 있다. 얼라인먼트 장치는, 앞서의 위치 결정 구조(18)와, 준비 스테이지에 설치된 얼라인먼트 구조(20)로 구성되어 있다. 위치 결정 구조(18)는, 전후 및 좌우로 슬라이드 가능한 얼라인먼트대(22)를 구비하고 있다. 얼라인먼트 구조(20)는, 앞서 설명한 CCD 카메라(6)로부터 출력되는 화상 정보(위치 정보)를 받아들이고, 표시 패널(P1)의 위치를 기준 위치로 하여 접합 대상(P2)의 위치 어긋남 상태를 확인하고, 조정 이동해야 할 방향과 이동량을 결정한 후, 도 8에 상상선으로 나타낸 바와 같이, 그 구동축(23)을 얼라인먼트대(22)의 수동(受動) 축에 연결하여, 얼라인먼트대(22)를 조정 구동하여 챔버 커버체(11)의 위치를 조정한다. 그리고, 도시하지 않지만, 위치 조정 후에 얼라인먼트대(22)가 움직이는 것을 규제하기 위하여, 위치 결정 구조(18)에는 얼라인먼트대(22)의 이동을 저지하는 브레이크가 설치되어 있다. 위치 어긋남 상태의 확인과, 얼라인먼트대(22)의 조정 이동은 복수 회 행하지만, 이 위치 조정은 몇 초로 완료된다. 상기한 바와 같이, 얼라인먼트 구조(20)를 준비 스테이지에 설치해 두면, 각 진공 챔버 유닛(3)에 얼라인먼트 구조(20)를 설치할 필요가 없다. 따라서, 챔버 커버체(11)의 구조를 간소화하여 경량화할 수 있고, 진공 챔버 유닛(3)을 기립할 때의 구동 부하를 경감할 수 있다.

접합 유닛(17)은, 얼라인먼트대(22)에 고정된 가이드 프레임(24)과, 가이드 프레임(24)으로 상하 이동 가능하게 안내 지지한 복수의 슬라이더(25)와, 각각의 슬라이더(25)를 상하로 슬라이드 구동하는 구동 기구(도시하지 않음)와, 슬라이더(25)의 상하 이동에 동행하여 왕복 슬라이드하는 복수의 접합축(26) 등으로 구성된다. 접합축(26)은 4개소에 배치되고, 챔버 커버체(11)를 내외로 관통하고 있고, 그 하단(下端)은 가동 접합대(16)에 고정된 지지 프레임(27)에 핀(28)으로 연결되어 있다. 챔버 커버체(11)의 관통공과 접합축(26)의 사이는 실링체(29)로 통기 불가능하게 봉지되어 있다. 도 5를 바라볼 때 우측의 접합축(26)은, 지지 프레임(27)에 대하여 핀(28)으로 간단하게 연결되지만, 도 5를 바라볼 때 좌측의 접합축(26)은, 지지 프레임(27)에 대하여 핀(28)으로 긴 구멍(30)을 통하여 연결되어 있다. 이는, 가동 접합대(16)에 장착된 접합 대상(P2)을, 경사지게 한 상태로 표시 패널(P1)에 접합하기 위해서이다.

도 3에 나타낸 바와 같이 디스펜서(5)는, X축, Y축, Z 축 방향으로 왕복 구동하는 3개의 로드레스 실린더(rodless cylinder; 44∼46)에 지지되어 있고, 댐 지그(13)에 장착된 표시 패널(P1)에, 임의의 패턴으로 접착제를 도포할 수 있다. 접착제는, 실리콘계의 2액성의 열경화성 접착제로 이루어진다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 댐 지그(13)는, 표시 패널(P1)의 주위 3변을 에워싸는 ㄷ자형의 고무제의 프레임체로 이루어지고, 그 내부에 접착제의 경화를 촉진하는 히터(가열체)(33)가 배치되어 있다. 댐 지그(13)는 표시 패널(P1)에 도포된 접착제가 유동 확산되는 것을 방지하기 위해 설치되어 있다. 댐 지그(13)와 접촉하고 있지 않은 패널 주위(표시 패널(P1)의 주위)에는 미봉지부(34)가 노출된다. 댐 지그(13)의 두께는, 표시 패널(P1)과 접착제층의 합계 두께보다 약간 크게 설정되지만, 표시 패널(P1)에 접착제층을 통하여 접합 대상(P2)을 접합한 경우의 합계 두께보다는 작게 설정되어 있다(도 1 참조).

진공 챔버 유닛(3)을 수평의 접합 자세로부터, 전체가 경사지는 상태로 기립시키기 위해 챔버 경동 장치를 설치하고 있다. 도 4 및 도 7에서 챔버 경동 장치는, 요동축(14)과 평행한 축심을 따라 챔버 본체(10)의 대향 벽면에 고정되는 한 쌍의 경동축(35)과, 경동축(35)을 회전 구동시키는 경동 모터(36)와, 경동 모터(36)의 회전 이동력을 감속하여 경동축(35)에 전동(傳動)하는 원동(原動) 기어(37) 및 종동(從動) 기어(38)와, 가이드 레일(2)과 교차하는 경동축(35)에 장착된 롤러(39) 등으로 구성되어 있다. 부호 "40"은, 경동축(35)을 회전 가능하게 축 지지하는 한 쌍의 브래킷이며, 양 브래킷(40)과 롤러(39)로 진공 챔버 유닛(3)을 지지하고 있다. 진공 챔버 유닛(3)을 챔버 경동 장치로 기립시킨 상태에서는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 앞서의 미봉지부(34)가 표시 패널(P1)의 경사 상단에 위치하고 있다. 진공 챔버 유닛(3)의 기립 각도는 30°로부터 80°의 범위에서 선정하는 것이 바람직하다. 이는, 기립 각도가 지나치게 크면, 표시 패널(P1) 또는 접합 대상(P2)에 무리한 힘이 가해져 본래의 기능이 손상될 우려가 있기 때문이다. 그러나, 이러한 우려가 없는 표시 패널(P1) 및 접합 대상(P2)에 대해서는, 기립 각도를 90°로 하여 기포를 방출할 수도 있다.

이상과 같이 구성된 진공 챔버 유닛(3)은, 부스(4)의 정면에 위치하는 준비 스테이지와, 접합 스테이지와, 탈기 스테이지를 거쳐 일련의 접합 처리를 행한다. 접합 스테이지는, 회전 테이블(1)을 준비 스테이지로부터 반시계 방향으로 120°만큼 정회전시킨 위치에 있고, 탈기 스테이지는 회전 테이블(1)을 접합 스테이지로부터 반시계 방향으로 120°만큼 더 정회전시킨 위치에 있다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 준비 스테이지에서는, 챔버 커버체(11)를 개방하여, 접합 처리가 완료된 접합체를 댐 지그(13)로부터 인출한다. 또한, 댐 지그(13)에 새로운 표시 패널(P1)을 장착하고, 가동 접합대(16)에 접합 대상(P2)을 장착한다. 다음으로, 로드레스 실린더(44∼46)와 디스펜서(5)를 작동시켜 표시 패널(P1)의 상표면에 접착제를 소정의 패턴으로 도포한다. 이 상태에서 얼라인먼트 장치(18)를 작동시켜, CCD 카메라(6)의 화상 정보에 기초하여, 접합 대상(P2)과 표시 패널(P1)의 위치 결정을 행하고, 챔버 커버체(11)를 닫는 조작을 행한다. 접합 처리가 완료된 접합체의 인출과 표시 패널(P1) 및 접합 대상(P2)의 장착은, 산업 로봇과 수작업 중 어느 하나에 의해 행할 수도 있다.

접합 스테이지에서는, 챔버 커버체(11)를 닫아서 챔버 본체(10)에 접합한 후, 도 7에 나타낸 바와 같이 챔버 커버체(11)를 챔버 본체(10)에 설치된 록 도구(43)로 개방 불가능하게 록 고정시킨다. 다음으로, 진공 챔버 유닛(3)의 내부를 진공 상태로 한 후, 접합 유닛(17)을 작동시켜, 가동 접합대(16)를 고정 접합대(12)에 가압하여, 접합 대상(P2)을 표시 패널(P1)에 접합한다. 또한, 탈기 스테이지에서는, 진공 상태를 유지한 상태인 채로 챔버 경동 장치를 작동시켜, 접합 처리가 종료된 진공 챔버 유닛(3)을 경사 자세로 하여, 접합면에서 발생한 기포를 미봉지부(34)로부터 탈기한다. 탈기에 요하는 시간은 약 20초이다. 진공 상태가 해제되어 진공 챔버 유닛(3)의 내부가 주위의 기압과 동일하게 된 상태에서는, 챔버 커버체(11)가 챔버 본체(10)로부터 분리될 우려가 있다. 이와 같은 챔버 커버체(11)의 분리를 방지하기 위하여, 챔버 커버체(11)를 록 도구(43)로 록 고정하고 있다.

일련의 접합 처리는, 회전 테이블(1)을 120°씩 2회 정회전시켜, 상이한 2개의 진공 챔버 유닛(3)을 준비 스테이지에 임하게 한 후, 회전 테이블(1)을 240° 역회전시켜, 남은 진공 챔버 유닛(3)을 준비 스테이지에 임하게 하여 행한다. 도 10의 (a)∼(d)에 나타낸 바와 같이, 회전 테이블(1)을 120°씩 정회전할 때마다, 3개의 진공 챔버 유닛(3)이 위치하는 스테이지 위치가 상이하고, 회전 테이블(1)을 240° 역회전시킴으로써, 3개의 진공 챔버 유닛(3)을 초기 상태로 되돌릴 수 있다.

접합 스테이지에서의 접합은 도 9에 나타낸 바와 같이 하여 행한다. 먼저, 도 9의 (a)에 나타낸 바와 같이, 진공 환경 하에서 요동축(14)에 가까운 측의 한 쌍의 접합축(26)을 하강시켜, 가동 접합대(16) 및 접합 대상(P2)을 경사지게 한다. 이 때, 접합 대상(P2)의 경사 상단은, 표시 패널(P1)의 미봉지부(34)와 상하로 대응하는 관계에 있다. 다음으로, 도 9의 (b)에 나타낸 바와 같이, 4개의 접합축(26)을 동시에 하강시켜, 접합 대상(P2)의 경사 하단 둘레를 표시 패널(P1)에 가압한다. 즉, 가동 접합대(16)를 고정 접합대(12)에 대하여 비평행하게 경사지게 한 상태에서 접합 대상(P2)과 표시 패널(P1)의 접합을 개시한다.

또한, 도 9의 (b)에 나타낸 바와 같이, 접합 대상(P2)의 경사 상단 둘레의 측을 지지하는 2개의 접합축(26)을 서서히 하강시켜, 가동 접합대(16)의 경사를, 접합 시단으로부터 접합 종단을 향해 서서히 작게 하면서, 접합 대상(P2)을 표시 패널(P1)에 접합한다. 이 때의 핀(28)의 궤적 차를 긴 구멍(30)으로 흡수한다. 최종적으로는, 4개의 접합축(26)으로 가동 접합대(16)를 고정 접합대(12)에 가압하여, 접합 대상(P2)과 표시 패널(P1)의 전체면을, 접착제층을 통하여 밀착시킨다. 상기한 바와 같이, 가동 접합대(16)의 경사를, 접합 시단으로부터 접합 종단을 향해 서서히 작게 하면서, 접합 대상(P2)을 표시 패널(P1)에 접합하면, 접착제에 포함되어 있던 미세한 공기를 접합 종단을 향해 압출하면서 접합 가능하므로, 접합 시에 기포가 접합면에 봉입되는 것을 해소할 수 있다.

탈기 스테이지에서는, 도 1에 나타낸 바와 같이 진공 챔버 유닛(3)이 챔버 경동 장치로 경사 자세로 기립 조작되어, 미봉지부(34)가 표시 패널(P1)의 경사 상단(기립 상단)에 위치하고 있다. 또한, 진공 챔버 유닛(3)의 내부는 진공 상태로 유지되어 있고, 댐 지그(13)에 매설된 히터(33)에 의해 접착제가 가열되어, 댐 지그(13)에 가까운 측으로부터 경화가 시작된다. 이에 따라, 접착제의 경화와 함께, 접착제에 포함되어 있던 용제의 휘발 가스와 접착제층에 포함되어 있던 공기가 합류하여 기포 덩어리를 형성하더라도, 기포 덩어리는 아직 경화되어 있지 않은 접착제층을 상 방향으로 유동하여, 미봉지부(34)로부터 방출된다. 이와 같이, 탈기 처리를 진공 환경 하에서, 미봉지부(34)가 표시 패널(P1)의 경사 상단에 위치하는 상태에서 행하면, 접합 후에 발생한 휘발 가스나 공기의 기포를 신속하게, 또한 확실하게 미봉지부(34)로부터 배출할 수 있으므로, 접합체의 불량율을 현저하게 저하시켜 접합 작업의 생산성을 향상시킬 수 있다.

본 발명에 따른 표시 패널의 접합 방법에서는, 상기한 접합 장치를 사용하여 이하의 형태로 접합을 행할 수 있다.

본 발명에 따른 표시 패널의 접합 방법에서는, 진공 챔버 유닛(3) 내에 수용된 표시 패널(P1)과 접합 대상(P2)을 진공 환경 하에서 접합한다. 상세하게는, 진공 챔버 유닛(3)의 챔버 커버체(11)를 개방하여, 챔버 본체(10)의 내부에 설치된 고정 접합대(12)에 설치된 댐 지그(13)에 표시 패널(P1)을 장착하고, 챔버 커버체(11)의 내부에 설치된 가동 접합대(16)에 접합 대상(P2)을 장착하는 공정과, 디스펜서(5)로 표시 패널(P1)에 접착제를 도포하는 공정과, 챔버 커버체(11)를 지지하는 얼라인먼트대(22)를, 얼라인먼트 구조(20)로 조정 구동하여 표시 패널(P1)과 접합 대상(P2)의 위치 결정을 행하는 공정과, 챔버 커버체(11)를 닫고, 진공 챔버 유닛(3) 내의 공기를 배기한 진공 환경 하에서, 가동 접합대(16)를 고정 접합대(12)에 가압하여 접합 대상(P2)을 표시 패널(P1)에 접합하는 공정과, 진공 챔버 유닛(3) 전체를 챔버 경동 장치로 경사 자세로 하여, 진공 상태를 유지한 상태인 채로 접합면에서 발생한 기포를 탈기하는 공정을 포함한다. 댐 지그(13)에 표시 패널(P1)을 장착하는 공정에서는, 표시 패널(P1)의 주위면의 태반을 댐 지그(13)로 봉지하여, 표시 패널(P1)에 도포한 접착제의 유동 확산을 막고 있고, 댐 지그(13)와 접촉하고 있지 않은 표시 패널(P1)의 주위에 미봉지부(34)가 노출된다. 기포를 탈기하는 공정에서는, 상기 미봉지부(34)를 표시 패널(P1)의 경사 상단에 위치시켜, 접합면에서 발생한 기포를 상기 미봉지부(34)로부터 배출하는 것을 특징으로 한다.

상기한 접합 방법에서는, 복수 개의 진공 챔버 유닛(3)을 회전 테이블(1)에 배치하여, 회전 테이블(1)의 주위에, 표시 패널(P1) 및 접합 대상(P2)을 진공 챔버 유닛(3)에 공급하고, 또한 진공 챔버 유닛(3)으로부터 접합된 접합체를 취출하고, 표시 패널(P1)에 접착제를 도포하는 준비 스테이지를 설치한다. 회전 테이블(1)을 소정 각도만큼 정회전시키고, 또한 회전 테이블(1)을 정회전 시의 회전 각도만큼 역회전시켜, 진공 챔버 유닛(3)을 하나씩 준비 스테이지에 위치시킨다. 준비 스테이지에 위치하고 있지 않은 진공 챔버 유닛(3)을, 챔버 경동 장치로 경사 자세로 하여 접합면에서 발생한 기포를 탈기한다.

상기한 실시예에서는, 회전 테이블(1)의 주위에 준비 스테이지와 접합 스테이지와 탈기 스테이지를 설치하였으나 반드시 그렇게 할 필요는 없다. 예를 들면, 회전 테이블(1)의 주위의 대향 위치에 2개의 진공 챔버 유닛(3)을 배치해 두고, 상기 유닛을 180°만큼 정회전 이동한 후, 180°만큼 역회전 이동시켜, 일련의 접합 처리를 행할 수 있다. 그러한 경우에는, 회전 테이블(1)의 주위의 대향 위치의 한쪽에 준비 스테이지를 설치하고, 다른 쪽에 접합과 탈기를 행하는 스테이지를 설치하면 된다. 마찬가지로, 회전 테이블(1)의 주위의 4개소 이상에 진공 챔버 유닛(3)을 배치하여, 일련의 접합 처리를 동시 진행적으로 행할 수 있다.

가열체(33)는 히터 이외의 열원이라도 되고, 고정 접합대(12)에 배치되어 있어도 된다. 또한, 고정 접합대(12)의 미봉지부(34)로부터 가장 먼 위치로부터, 미봉지부(34)를 향해 가열체(33)를 평행하게 배치해 두고, 미봉지부(34)로부터 가장 먼 위치에 배치된 가열체(33)로부터, 미봉지부(34)의 측을 향해 순차적으로 가열체(33)를 작동시켜 탈기를 행할 수 있다. 댐 지그(13)는 표시 패널(P1)의 외형에 따라, 다각형상이나 원형 등으로 형성할 수 있지만, 그 일부에 미봉지부(34)를 형성하기 위한 개방 부분을 설치하면 된다. 회전 테이블(1)이 회전할 때의 정회전 방향은 시계 방향이라도 된다. 회전 테이블(1)의 직경을 크게 하여, 그 상면에 복수의 진공 챔버 유닛(3)을 배치할 수 있다. 그러한 경우에는, 진공 챔버 유닛(3)과 정대(正對)하는 테이블 면에, 진공 챔버 유닛(3)의 경동을 허용하는 경동 창을 개구해 두면 된다. 상기한 실시예에서는, 진공 챔버 유닛(3)을 회전 테이블(1)과 가이드 레일(2)로 양 쪽으로 지지하였지만, 가이드 레일(2) 및 롤러(39)를 생략하여, 한쪽으로 지지해도 된다.

1: 회전 테이블 2: 가이드 레일
3: 진공 챔버 유닛 5: 디스펜서
10: 챔버 본체 11: 챔버 커버체
12: 고정 접합 테이블 13: 댐 지그
16: 가동 접합 테이블 17: 접합 유닛
18: 위치 결정 구조 20: 얼라인먼트 구조
26: 접합축 33: 가열체(히터)
34: 미봉지부
P1: 표시 패널 P2: 접합 대상

Claims

진공 챔버 유닛(3)과, 진공 챔버 유닛(3) 내의 공기를 배기하는 진공원을 구비하고 있고,
진공 챔버 유닛(3)은, 챔버 본체(10)와 챔버 커버체(11)로 구성되고, 챔버 본체(10)에 댐(dam) 지그(13)를 구비한 고정 접합대(12)가 설치되고, 챔버 커버체(11)에 가동(可動) 접합대(16)가 설치되어 있고,
댐 지그(13)는 표시 패널(P1)의 주위면의 태반(太半)을 봉지(封止)하여, 표시 패널(P1)에 도포한 접착제의 유동 확산을 방지하기 위해 설치되어 있고, 댐 지그(13)와 접촉하고 있지 않은 표시 패널(P1)의 주위에 미봉지부(34)가 노출되어 있고,
챔버 커버체(11)를 닫고, 진공 챔버 유닛(3) 내의 공기를 진공원으로 배기한 진공 환경 하에서, 가동 접합대(16)를 고정 접합대(12)를 향해 가압하여, 접합 대상(P2)을 표시 패널(P1)에 접합하고 있고,
표시 패널(P1)과 접합 대상(P2)을 접합한 진공 환경인 채로, 진공 챔버 유닛(3)을 챔버 경동(傾動) 장치로 기립 자세로 하여, 상기 미봉지부(34)를 표시 패널(P1)의 기립 상단(上端)에 위치시키고, 접착제가 경화되는 과정에서 접합면에서 발생한 기포를 상기 미봉지부(34)로부터 탈기(脫氣)하는, 표시 패널의 접합 장치.
제1항에 있어서,
챔버 커버체(11)에, 가동 접합대(16)를 고정 접합대(12)를 향해 가압하는 접합 유닛(17)과, 가동 접합대(16)를 이동 가능하게 지지하여 댐 지그(13)에 장착된 표시 패널(P1)과 접합 대상(P2)의 위치 결정을 행하는 위치 결정 구조(18)가 설치되어 있고,
챔버 커버체(11)를 개방한 상태에 있어서, 위치 결정 구조(18)의 얼라인먼트대(22)를 얼라인먼트 구조(20)로 조정 구동하여, 표시 패널(P1)과 접합 대상(P2)의 위치 결정을 행하는, 표시 패널의 접합 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
복수의 진공 챔버 유닛(3)이 회전 테이블(1)의 주위 방향으로 등(等) 간격을 두고 배치되어 있고,
회전 테이블(1)의 주위에, 진공 챔버 유닛(3)으로부터 접합체를 취출한 후, 표시 패널(P1) 및 접합 대상(P2)을 진공 챔버 유닛(3)에 장착하고, 또한, 디스펜서(5)로 표시 패널(P1)에 접착제를 도포하는 준비 스테이지가 설치되어 있고,
회전 테이블(1)을 테이블 구동 구조로 정회전 또는 역회전 이동함으로써, 상이한 진공 챔버 유닛(3)을 준비 스테이지에 임하도록 하고,
준비 스테이지에 위치하지 않은 진공 챔버 유닛(3)을 챔버 경동 장치로 경사 자세로 하여, 접합면에서 발생한 기포를 탈기(脫氣)하는, 표시 패널의 접합 장치.
제3항에 있어서,
회전 테이블(1)에 3개의 진공 챔버 유닛(3)이 주위 방향으로 등 간격을 두고 배치되어 있고,
회전 테이블(1)을 120°씩 정회전시켜, 상이한 2개의 진공 챔버 유닛(3)을 준비 스테이지에 개별적으로 임하게 한 후, 회전 테이블(1)을 240° 역회전시켜, 남은 진공 챔버 유닛(3)을 준비 스테이지에 임하게 하고,
준비 스테이지에 임하고 있지 않은 2개의 진공 챔버 유닛(3) 중 하나로는, 접합 대상(P2)을 표시 패널(P1)에 접합하고, 남은 진공 챔버(3)는 챔버 경동 장치로 경사 자세로 하여 접합면에서 발생한 기포를 탈기하는, 표시 패널의 접합 장치.
제4항에 있어서,
챔버 본체(10)에 대하여 요동(搖動) 개폐하는 커버 지지 프레임(21)에 위치 결정 구조(18)가 설치되고, 위치 결정 구조(18)의 얼라인먼트대(22)에 챔버 커버체(11)가 장착되어 있고,
준비 스테이지에 얼라인먼트대(22)를 조정 구동하는 얼라인먼트 구조(20)가 배치되어 있고,
접합 유닛(17)이, 얼라인먼트대(22)에 고정된 가이드 프레임(24)과, 가이드 프레임(24)으로 상하 이동 가능하게 안내 지지된 복수의 슬라이더(25)와, 각각의 슬라이더(25)를 상하로 슬라이드 구동하는 구동 기구와, 슬라이더(25)의 상하 이동에 동행하여 왕복 슬라이드하는 복수의 접합축(26)을 구비하고 있고,
접합축(26)은 챔버 커버체(11)를 내외로 관통하고, 그 축단(軸端)이 챔버 커버체(11)의 내부에서 가동 접합대(16)의 상부에 연결되어 있고,
챔버 커버체(11)의 관통공과 접합축(26)의 사이는 실링(sealing)체(29)로 통기 불가능하게 봉지되어 있고,
챔버 커버체(11)를 닫고, 진공 챔버 유닛(3)의 내부를 진공으로 한 상태에 있어서, 슬라이더(25)를 구동 기구로 슬라이드 구동하여, 가동 접합대(16)를 고정 접합대(12)에 대하여 비평행하게 경사지게 한 상태에서 접합 대상(P2)과 표시 패널(P1)의 접합을 개시하고,
가동 접합대(16)의 경사 각도를, 접합 시단(始端)으로부터 접합 종단(終端)을 향해 서서히 작게 하면서, 접합 대상(P2)과 표시 패널(P1)의 접합을 행하는, 표시 패널의 접합 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
댐 지그(13)의 내부에, 열경화성 접착제의 경화를 촉진하는 가열체(33)가 배치되어 있는, 표시 패널의 접합 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
표시 패널(P1)이 사각형상으로 형성되고, 그 주위의 3변이 댐 지그(13)로 봉지되고, 남은 변부에 미봉지부(34)가 노출되어 있는, 표시 패널의 접합 장치.
진공 챔버 유닛(3) 내에 수용된 표시 패널(P1)과 접합 대상(P2)을 진공 환경 하에서 접합하는 표시 패널의 접합 방법으로서,
진공 챔버 유닛(3)의 챔버 커버체(11)를 개방하고, 챔버 본체(10)의 내부에 설치된 고정 접합대(12)에 설치된 댐 지그(13)에 표시 패널(P1)을 장착하고, 챔버 커버체(11)의 내부에 설치된 가동 접합대(16)에 접합 대상(P2)을 장착하는 공정;
디스펜서(5)로 표시 패널(P1)에 접착제를 도포하는 공정;
챔버 커버체(11)를 지지하는 얼라인먼트대(22)를, 얼라인먼트 구조(20)로 조정 구동하여 표시 패널(P1)과 접합 대상(P2)의 위치 결정을 행하는 공정;
챔버 커버체(11)를 닫고, 진공 챔버 유닛(3) 내의 공기를 배기한 진공 환경 하에서, 가동 접합대(16)를 고정 접합대(12)에 가압하여 접합 대상(P2)을 표시 패널(P1)에 접합하는 공정; 및
진공 챔버 유닛(3) 전체를 챔버 경동 장치로 경사 자세로 하여, 진공 상태를 유지한 상태인 채로 접합면에서 발생한 기포를 탈기하는 공정
을 포함하고,
댐 지그(13)에 표시 패널(P1)을 장착하는 공정에서는, 표시 패널(P1)의 주위면의 태반을 댐 지그(13)로 봉지하여, 표시 패널(P1)에 도포한 접착제의 유동 확산을 막고 있고, 댐 지그(13)와 접촉하고 있지 않은 표시 패널(P1)의 주위에 미봉지부(34)가 노출되도록 되어 있고,
기포를 탈기하는 공정에서는, 상기 미봉지부(34)를 표시 패널(P1)의 경사 상단에 위치시켜, 접합면에서 발생한 기포를 상기 미봉지부(34)로부터 배출하는, 표시 패널의 접합 방법.
제8항에 있어서,
복수 개의 진공 챔버 유닛(3)이 회전 테이블(1)에 배치되고, 회전 테이블(1)의 주위에, 표시 패널(P1) 및 접합 대상(P2)을 진공 챔버 유닛(3)에 공급하고, 또한 진공 챔버 유닛(3)으로부터 접합된 접합체를 취출하고, 표시 패널(P1)에 접착제를 도포하는 준비 스테이지가 설치되어 있고,
회전 테이블(1)을 소정 각도만큼 정회전시키고, 또한 회전 테이블(1)을 정회전 시의 회전 각도만큼 역회전시켜, 진공 챔버 유닛(3)을 하나씩 준비 스테이지에 위치시키고,
준비 스테이지에 위치하고 있지 않은 진공 챔버 유닛(3)을, 챔버 경동 장치로 경사 자세로 하여 접합면에서 발생한 기포를 탈기하는, 표시 패널의 접합 방법.