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KR101804051B1 - 대상체 검사를 위한 센터링장치 - Google Patents

대상체 검사를 위한 센터링장치 Download PDF

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KR101804051B1
KR101804051B1 KR1020160059973A KR20160059973A KR101804051B1 KR 101804051 B1 KR101804051 B1 KR 101804051B1 KR 1020160059973 A KR1020160059973 A KR 1020160059973A KR 20160059973 A KR20160059973 A KR 20160059973A KR 101804051 B1 KR101804051 B1 KR 101804051B1
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Abstract

개시된 본 발명에 의한 대상체의 외형 검사를 위한 센터링장치는, 대상체에 대해 X축 및 Y축 방향으로 가동되어 대상체의 중심 위치를 정렬시키는 센터링유닛 및 중심 위치가 정렬된 대상체를 자세 고정시키는 고정유닛을 포함하며, 센터링유닛 및 고정유닛은 상기 대상체에 접촉시 구동력를 감쇠시키는 완충부가 마련된다. 이러한 구성에 의하면, 대상체의 중심 위치 정렬 정확도를 향상시켜 검사 품질 향상에 기여할 수 있게 된다.

Description

대상체 검사를 위한 센터링장치{CENTERING APPARATUS FOR THE INSPECTION OBJECT}
본 발명은 대상체 검사를 위한 센터링장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 검사 대상체의 외형 검사를 위한 센터링을 가이드하기 위한 센터링 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 웨이퍼 기판이나 액정 유리 기판 등의 제조는 다수의 공정을 거치며, 최종 공정에서 결함을 검출하기 위하여 기판과 같은 대상체의 품질 검사가 수행된다. 이러한 대상체의 품질 검사 항목 중, 외형 검사를 위해서는 대상체를 정확한 중심 위치에 위치하여야만 한다.
이러한 대상체의 중심 위치를 설정하기 위한 일반적인 센터링장치는, 대상체의 종류에 상관없이 동일한 규격에 따라 대상체의 중심 위치를 정렬시킨다. 이는 결국, 다양한 종류의 대상체에 대한 정확한 중심 위치 정렬이 어려움으로써, 대상체 검사 품질 저하가 야기된다. 이에 따라, 근래에는 대상체의 정밀한 중심 위치 정렬을 도모할 수 있는 다양한 센터링장치에 대한 연구가 지속적으로 이루어지고 있는 추세이다.
한국등록특허 제10-1174860호
본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 대상체의 외형 검사를 위한 중심 위치 정렬 정밀도를 향상시킬 수 있는 대상체 검사를 위한 센터링장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 대상체 검사를 위한 센터링장치는, 대상체에 대해 X축 및 Y축 방향으로 가동되어 상기 대상체의 중심 위치를 정렬시키는 센터링유닛 및 중심 위치가 정렬된 상기 대상체를 자세 고정시키는 고정유닛을 포함하며, 상기 센터링유닛 및 고정유닛은 상기 대상체에 접촉시 구동력를 감쇠시키는 완충부가 마련된다.
일측에 의하면, 상기 센터링유닛은, X축 방향으로 가동되는 제1위치부와, 상기 제1위치부와 이웃하되 Y축 방향으로 가동되는 제2위치부를 포함하여, 상기 대상체를 검사하기 위한 기준 위치로 상기 대상체를 정렬시키는 위치결정부, 상기 제1위치부와 마주하며 X축 방향으로 가동되는 제1가압부와, 상기 제1가압부와 이웃하되 상기 제2위치부와 마주하며 Y축 방향으로 가동되는 제2가압부를 포함하여, 상기 위치결정부를 향해 가동되는 중심가압부 및, 상기 위치결정부 및 중심가압부를 지지하되 설치 위치가 정렬되는 지지부를 포함한다.
일측에 의하면, 상기 제1위치부, 제2위치부, 제1가압부 및 제2가압부에는 구동력을 완충시키기 위한 쇼크업소버(Shock Absorber)를 포함하는 상기 완충부가 각각 마련된다.
일측에 의하면, 상기 지지부는 상기 제1 및 제2위치부와 제1 및 제2가압부가 각각 한 변에 마련되는 사각형의 지지 프레임을 포함하여 상기 센터링유닛을 모듈화하며, 상기 지지 프레임의 각 테두리로부터 제1간격으로 이격된 위치에 마련된 제1가이드홀 및 상기 제1가이드홀로부터 대각선 방향으로 이격된 위치에 마련되되 상기 테두리로부터 상기 제1간격과 상이한 제2간격으로 이격된 위치에 마련된 제2가이드홀이 마련되어, 역삽입이 방지된다.
일측에 의하면, 상기 지지 프레임의 각 테두리에는 체크블럭이 복수개 마련되며, 상기 체크블럭을 센싱하여 상기 지지 프레임의 오삽입 여부를 체크한다.
일측에 의하면, 상기 고정유닛은, 상기 센터링유닛에 의해 상기 중심 위치로 정렬된 상기 대상체를 자세 고정시키는 고정체 및 상기 고정체를 구동시키는 고정 구동부를 포함하며, 상기 고정체와 고정 구동부 사이에는 상기 고정체의 가압력을 감쇠시키는 상기 완충부가 마련된다.
일측에 의하면, 상기 고정체는 Z축 방향으로 상기 고정 구동부에 의해 가동되며 가압 또는 흡착 중 적어도 어느 하나의 방법으로 상기 대상체를 자세 고정시킨다.
일측에 의하면, 상기 센터링유닛에 의해 상기 중심 위치로 정렬된 상기 대상체의 외형을 검사하기 위한 센서가 마련된다.
본 발명의 바람직한 일 실시예에 의한 대상체 검사를 위한 센터링장치는, 제1방향과 상기 제1방향에 직교하는 제2방향으로 가동되어 대상체를 중심 위치로 정렬시키는 센터링유닛 및 상기 센터링유닛과 마주하는 위치에서 상기 제1 및 제2방향에 대해 직교하는 제3방향으로 가동되어 중심 위치가 정렬된 상기 대상체를 자세 고정시키는 고정유닛을 포함하며, 상기 센터링유닛 및 고정유닛은 모듈화되며, 상기 대상체에 접촉시 구동력를 감쇠시키는 완충부가 마련된다.
일측에 의하면, 상기 센터링유닛은, X축 방향에 나란한 상기 제1방향으로 가동되는 제1위치부와, 상기 제1위치부와 이웃하되 Y축 방향에 나란한 상기 제2방향으로 가동되는 제2위치부를 포함하여, 상기 대상체를 검사하기 위한 기준 위치로 상기 대상체를 정렬시키는 위치결정부, 상기 제1위치부와 마주하며 상기 제1방향으로 가동되는 제1가압부와, 상기 제1가압부와 이웃하되 상기 제2위치부와 마주하며 상기 제2방향으로 가동되는 제2가압부를 포함하여, 상기 위치결정부를 향해 가동되는 중심가압부 및 상기 위치결정부 및 중심가압부가 모듈화되도록 지지하되 설치 위치가 정렬되는 지지부를 포함한다.
일측에 의하면, 상기 지지부는 상기 제1 및 제2위치부와 제1 및 제2가압부가 각각 한 변에 마련되는 사각형의 지지 프레임을 포함하여 상기 센터링유닛을 모듈화하며, 상기 지지 프레임의 각 테두리로부터 제1간격으로 이격된 위치에 마련된 제1가이드홀 및 상기 제1가이드홀로부터 대각선 방향으로 이격된 위치에 마련되되 상기 테두리로부터 상기 제1간격과 상이한 제2간격으로 이격된 위치에 마련된 제2가이드홀이 마련되어 역삽입이 방지되고, 상기 지지 프레임의 각 테두리에는 체크블럭이 복수개 마련되며, 상기 체크블럭을 센싱하여 상기 지지 프레임의 오삽입 여부를 체크한다.
일측에 의하면, 상기 고정유닛은, 상기 센터링유닛에 의해 상기 중심 위치로 정렬된 상기 대상체를 자세 고정시키는 고정체 및 상기 고정체를 구동시키는 고정 구동부를 포함하며, 상기 고정체는 Z축 방향으로 상기 고정 구동부에 의해 가동되며 가압 또는 흡착 중 적어도 어느 하나의 방법으로 상기 대상체를 자세 고정시킨다.
일측에 의하면, 상기 제1위치부, 제2위치부, 제1가압부 및 제2가압부에는 구동력을 완충시키기 위한 쇼크업소버(Shock Absorber)를 포함하는 상기 완충부가 각각 마련된다.
일측에 의하면, 상기 고정체와 고정 구동부 사이에는 상기 고정체의 구동력을 완충시키기 위한 상기 완충부가 마련된다.
상기와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의하면, 첫째, 대상체를 중심 위치로 정렬함에 있어서 접촉시의 구동력을 감쇠시키는 완충부를 구비함으로써, 대상체의 파손을 방지하여 대상체의 검사 품질을 향상시킬 수 있게 된다.
둘째, 다양한 크기의 대상체에 적용 가능함으로써, 검사 다양성 확보에 유리하다.
셋째, 모듈화된 센터링유닛의 역삽입 및 오삽입을 방지할 수 있어, 중심 위치 정렬 정확도 향상에 기여할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 대상체의 외형 검사를 위한 센터링장치를 개략적으로 도시한 사시도,
도 2는 도 1에 도시된 센터링장치의 센터링유닛을 개략적으로 도시한 평면도,
도 3은 2에 도시된 센터링유닛의 지지부를 개략적으로 도시한 평면도, 그리고,
도 4는 도 1에 도시된 센터링장치의 고정유닛을 개략적으로 도시한 측면도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 일 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 설명한다.
도 1을 참고하면, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 의한 대상체 검사를 위한 센터링장치(1)는 센터링유닛(10) 및 고정유닛(90)을 포함한다.
참고로, 본 발명에서 설명하는 대상체 검사를 위한 센터링장치(1)는 기판과 같은 고정밀 제조 공정이 요구되는 대상체(O)를 중심 위치로 정렬하여 품질을 검사하는 검사기에 적용된다.
상기 센터링유닛(10)은 대상체(O)에 대해 제1방향인 X축 방향 및 제2방향인 Y축 방향으로 가동되어 대상체(O)의 중심 위치를 정렬시킨다. 이러한 센터링유닛(10)은 위치결정부(20), 중심가압부(50) 및 지지부(80)를 포함한다.
상기 위치결정부(20)는 도 2의 도시와 같이, X축 방향으로 가동되는 제1위치부(30), 제1위치부(30)와 이웃하되 Y축 방향으로 가동되는 제2위치부(40)를 포함하여, 대상체(O)를 검사하기 위한 기준 위치로 가동된다. 이를 위해, 상기 제1위치부(30)는 대상체(O)에 밀착 가능한 제1위치체(31)와 제1위치체(31)를 X축 방향으로 구동시키는 제1구동부(32)를 포함하며, 제2위치부(40)도 대상체(O)에 밀착 가능한 제2위치체(41)와 제2위치체(41)를 Y축 방향으로 구동시키는 제2구동부(42)를 포함한다.
이때, 상기 제1 및 제2구동부(32)(42)는 미도시된 구동모터와 같은 구동원과 연결되어 피스톤과 같이 직선 구동력을 발생시키는 실린더를 포함한다. 참고로, 상기 제1 및 제2구동부(32)(42)에는 제1 및 제2위치체(31)(41)미도시된 탄성체가 개재되어, 구동력을 완충시킴이 좋다.
이러한 위치결정부(20)는 제1 및 제2위치부(30)(40)가 기준 위치에 대해 각각 X축 및 Y축 방향으로 전진 및 후진함으로써, 기준 위치에 대상체(O)를 위치시킨다. 이에 따라, 상기 제1 및 제2위치부(30)(40)의 제1 및 제2위치체(31)(41)는 대상체(O)에 선택적으로 밀착되어, 대상체(O)를 위치 정렬시킨다.
상기 중심가압부(50)는 제1위치부(30)와 마주하여 X축 방향으로 가동되는 제1가압부(60)와, 제1가압부(60)와 이웃하되 제2위치부(40)와 마주하여 Y축 방향으로 가동되는 제2가압부(70)를 포함하여, 위치결정부(20)를 향해 가동된다. 이러한 중심가압부(50)의 제1가압부(60)는 대상체(O)에 밀착 가능한 제1가압체(61)와 제1가압체(61)를 X축 방향으로 구동시키는 제3구동부(62)를 포함하며, 제2가압부(70)도 대상체(O)에 밀착 가능한 제2가압체(71)와 제2가압체(71)를 Y축 방향으로 구동시키는 제4구동부(72)를 포함한다.
여기서, 상기 제3 및 제4구동부(62)(72)는 미도시된 구동원과 연결되어 직선 방향으로 피스톤 구동되는 미도시된 실린더와 제1 및 제2가압체(61)(71)를 각각 탄성 가압하는 미도시된 탄성체를 포함한다. 즉, 상술한 위치결정부(20)와 중심가압부(50)의 제1 내지 제4구동부(32)(42)(62)(72)는 상호 유사한 구성을 가진다.
한편, 상기와 같은 구성을 가지는 중심가압부(50)는 위치결정부(20)에 의해 기준 위치에 위치하는 대상체(O)를 가압함으로써, 중심 위치에 위치하도록 정렬시킨다. 이렇게 대상체(O)의 중심 위치를 정렬함에 있어서, 상기 제1위치부(30), 제2위치부(40), 제1가압부(60) 및 제2가압부(70)에는 구동력을 완충시키기 위한 쇼크업소버(Shock Absorber)를 포함하는 완충부(S)가 각각 마련된다. 상기 완충부(S)는 빠른 속도로 제1 및 제2위치부(30)(40)와 제1 및 제2가압부(60)(70)가 대상체(O)를 향해 구동되더라도, 대상체(O)에 접촉되는 시점의 가속도를 줄여줌으로써 대상체(O)에 가해지는 충격을 감쇠시킨다.
상기 지지부(80)는 위치결정부(20) 및 중심가압부(50)를 지지하되 설치 위치가 정렬된다. 이러한 지지부(80)는 제1 및 제2위치부(30)(40)와 제1 및 제2가압부(60)(70)가 각각 한 변에 마련되는 사각형의 지지 프레임(81)을 포함하여 센터링유닛(10)을 모듈화한다. 이때, 상기 지지 프레임(81)이 중심영역은 도 3과 같이, 개방된 형상을 가짐이 좋다.
한편, 도 3의 도시와 같이, 상기 지지 프레임(81)의 각 테두리로부터 제1간격(G1)으로 이격된 위치에 마련된 제1가이드홀(82) 및 제1가이드홀(82)로부터 대각선 방향으로 이격된 위치에 마련되되 테두리로부터 제1간격(G1)과 상이한 제2간격(G2)으로 이격된 위치에 마련된 제2가이드홀(83)이 형성된다.
상기 제1 및 제2가이드홀(82)(83)이 지지 프레임(81)의 테두리로부터 각각 이격된 간격(G1)(G2)이 상이하도록 마련됨으로써, 센터링유닛(10)의 지지 프레임(81)이 미도시된 장착대에 역삽입되어 장착됨을 방지할 수 있게 된다. 즉, 미도시된 장착대에 제1 및 제2가이드홀(82)(83)에 대응되는 가이드돌기(미도시)가 마련됨으로써, 정위치로 지지 프레임(81)이 역삽입됨 없이 설치되어 위치결정부(20)와 중심가압부(50)의 동작을 지지하게 된다.
또한, 도 3과 같이, 상기 지지 프레임(81)의 각 테두리에는 체크블럭(84)이 복수개 마련되며, 체크블럭(84)을 센서(85)가 센싱하여 지지 프레임(81)의 오삽입 여부를 체크한다. 즉, 상기 지지 프레임(81)이 정위치에 위치하는지를 체크블럭(84)의 센싱 여부를 통해 판단한다. 이때, 상기 복수의 체크블럭(84) 중 어느 하나라도 센싱되지 않으면, 지지 프레임(81)이 오삽입되었음을 작업자에게 알린다.
이상과 같이, 상기 지지 프레임(81)이 제1 및 제2가이드홀(82)(83), 체크블럭(84) 및 센서(85)에 의해 정확한 위치에 장착될 수 있음에 따라, 지지 프레임(81)에 지지되는 위치결정부(20)와 중심가압부(50)의 정확한 센터링 동작을 가이드한다.
상기 고정유닛(90)은 중심 위치가 정렬된 대상체(O)를 자세 고정시킨다. 상기 고정유닛(90)은 센터링유닛(10)에 의해 중심 위치로 정렬된 대상체(O)를 가압하여 자세 고정시키는 고정체(91)와, 고정체(91)를 구동시키는 고정 구동부(92)를 포함한다. 이러한 고정체(91)는 X 및 Y축 방향으로 대상체(O)의 중심 위치를 정렬시킨 센터링유닛(10)과 제3방향인 Z축 방향으로 마주하도록 설치되어, 고정 구동부(92)의 구동력에 의해 Z축 방향으로 구동된다. 그로 인해, 상기 고정체(91)는 선택적으로 대상체(O)를 Z축 방향으로 가압하여 자세 고정시킨다. 여기서, 상기 고정유닛(90)의 고정체(91)와 고정 구동부(92)의 사이에도 구동력을 완충시키는 완충부(S)가 마련된다.
한편, 상기 센터링유닛(10)의 일측에는 중심 위치로 정렬된 대상체(O)를 검사하기 위한 광학계를 포함하는 미도시된 센서가 마련되어, 대상체(O)의 외형을 검사한다. 이러한 센서(미도시)를 이용한 대상체(O)의 외형 검사는 본 발명의 요지가 아니므로, 자세한 설명은 생략한다.
상기와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 대상체(O)의 외형 검사를 위한 센터링장치(1)의 센터링 동작을 도 2 내지 도 4의 도시를 참고하여 설명한다.
도 2 및 도 3의 도시와 같이 먼저, 상기 지지부(80)의 지지 프레임(81)이 제1 및 제2가이드홀(82)(83)에 의해 역삽입이 방지되며 체크블럭(84)과 센서(85) 사이의 센싱을 통해 오삽입이 방지된 상태로 미도시된 장착대에 놓여진다. 그러면, 상기 지지 프레임(81)에 지지되어 모듈화된 센터링유닛(10)이 설치 정위치로 설치된다.
이 후, 상기 지지 프레임(81)에 대상체(O)가 놓여지면, 상기 위치결정부(10)의 제1 및 제2위치부(30)(40)가 대상체(O)를 기준 위치로 가압하여 위치시킨다. 참고로, 상기 제1 및 제2위치부(30)(40)는 대상체(O)가 놓여지기 전까지는 각각 기준 위치로부터 벗어난 위치에 있으며, 대상체(O)가 놓여지면 제1 및 제2위치체(31)(41)가 각각 X축 및 Y축 방향으로 이동되어 기준 위치로 대상체(O)를 위치시킨다. 이때, 상기 제1 및 제2위치체(31)(41)의 이동은 제1 및 제2구동부(32)(42)에 이루어지며, 대상체(O)에 접촉되는 순간 완충부(S)에 의해 구동력이 감쇠된다.
또한, 상기 대상체(O)가 기준 위치로 위치함과 아울러, 중심가압부(50)의 제1 및 제2가압부(60)(70)가 각각 X축 및 Y축 방향으로 이동함으로써, 중심 위치로 대상체(O)를 이동시킨다. 이때에도, 상기 제1 및 제2가압부(60)(70)의 제1 및 제2가압체(61)(71)가 제3 및 제4구동부(62)(72)에 의해 구동되며 완충부(S)에 의해 가압력이 완충되어 대상체(O)에 밀착된다.
상기와 같이 위치결정부(20)와 중심가압부(50)에 의해 대상체(O)의 중심위치가 정렬되면, 도 4의 도시와 같이 고정유닛(90)의 고정체(91)가 Z축 방향으로 하강함으로써, 대상체(O)를 자세 고정시킨다. 상기 고정체(91)에 의해 대상체(O)가 중심 위치에 자세 고정되면, 센터링유닛(10)의 위치결정부(20)와 중심가압부(50)는 각각 대상체(O)로부터 벗어나도록 이동하며, 미도시된 광학계를 포함하는 센서에 의해 대상체(O)의 외형 검사가 수행된다.
한편, 본 실시예에서는 도 4의 도시와 같이, 상기 고정유닛(90)의 고정체(91)가 Z축 방향으로 고정 구동부(92)에 의해 구동되어 대상체(O)의 상부를 가압함으로써 대상체(O)를 자세 고정시키는 것으로 도시 및 예시하였으나, 꼭 이에 한정되지 않는다. 예컨대, 자세히 도시되지 않았으나, 상기 고정체(91)가 대상체(O)의 하부에 마련된 흡착력에 의해 중심 위치로 정렬된 대상체(O)를 자세 고정시키는 변형예도 가능하다. 또한, 상기 고정체(91)가 대상체(O)의 상부를 가압하는 제1고정체(미도시)와 대상체(O)의 하부를 흡착하는 제2고정체(미도시)를 동시에 구비하는 또 다른 변형예도 가능하다. 이렇게 상기 고정체(91)가 대상체(O)를 흡착력에 의해 자세 고정시키는 경우에도 대상체(O)에 대해 고정체(91)가 고정 구동부(92)에 의해 대상체(O) 측으로 구동된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
1: 센터링장치
10: 센터링유닛
20: 위치결정부
50: 중심가압부
80: 지지부
90: 고정유닛

Claims (14)

  1. 대상체에 대해 X축 및 Y축 방향으로 가동되어 상기 대상체의 중심 위치를 정렬시키는 센터링유닛; 및
    중심 위치가 정렬된 상기 대상체를 자세 고정시키는 고정유닛;
    을 포함하며,
    상기 센터링유닛 및 고정유닛은 상기 대상체에 접촉시 구동력를 감쇠시키는 완충부가 마련되고,
    상기 센터링유닛은,
    X축 방향으로 가동되는 제1위치부와, 상기 제1위치부와 이웃하되 Y축 방향으로 가동되는 제2위치부를 포함하여, 상기 대상체를 검사하기 위한 기준 위치로 상기 대상체를 정렬시키는 위치결정부;
    상기 제1위치부와 마주하며 X축 방향으로 가동되는 제1가압부와, 상기 제1가압부와 이웃하되 상기 제2위치부와 마주하며 Y축 방향으로 가동되는 제2가압부를 포함하여, 상기 위치결정부를 향해 가동되는 중심가압부; 및
    상기 위치결정부 및 중심가압부를 지지하되 설치 위치가 정렬되는 지지부;
    를 포함하는 대상체 검사를 위한 센터링장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1위치부, 제2위치부, 제1가압부 및 제2가압부에는 구동력을 완충시키기 위한 쇼크업소버(Shock Absorber)를 포함하는 상기 완충부가 각각 마련되는 대상체 검사를 위한 센터링장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 지지부는 상기 제1 및 제2위치부와 제1 및 제2가압부가 각각 한 변에 마련되는 사각형의 지지 프레임을 포함하여 상기 센터링유닛을 모듈화하며,
    상기 지지 프레임의 각 테두리로부터 제1간격으로 이격된 위치에 마련된 제1가이드홀 및 상기 제1가이드홀로부터 대각선 방향으로 이격된 위치에 마련되되 상기 테두리로부터 상기 제1간격과 상이한 제2간격으로 이격된 위치에 마련된 제2가이드홀이 마련되어, 역삽입이 방지되는 대상체 검사를 위한 센터링장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 지지 프레임의 각 테두리에는 체크블럭이 복수개 마련되며, 상기 체크블럭을 센싱하여 상기 지지 프레임의 오삽입 여부를 체크하는 대상체 검사를 위한 센터링장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 고정유닛은,
    상기 센터링유닛에 의해 상기 중심 위치로 정렬된 상기 대상체를 자세 고정시키는 고정체; 및
    상기 고정체를 구동시키는 고정 구동부;
    를 포함하며,
    상기 고정체와 고정 구동부 사이에는 상기 고정체의 구동력을 감쇠시키는 상기 완충부가 마련되는 대상체 검사를 위한 센터링장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 고정체는 Z축 방향으로 상기 고정 구동부에 의해 가동되며 가압 또는 흡착 중 적어도 어느 하나의 방법으로 상기 대상체를 자세 고정시키는 대상체 검사를 위한 센터링장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 센터링유닛에 의해 상기 중심 위치로 정렬된 상기 대상체의 외형을 검사하기 위한 센서가 마련되는 대상체 검사를 위한 센터링장치.
  9. 제1방향과 상기 제1방향에 직교하는 제2방향으로 가동되어 대상체를 중심 위치로 정렬시키는 센터링유닛; 및
    상기 센터링유닛과 마주하는 위치에서 상기 제1 및 제2방향에 대해 직교하는 제3방향으로 가동되어, 중심 위치가 정렬된 상기 대상체를 자세 고정시키는 고정유닛;
    을 포함하며,
    상기 센터링유닛 및 고정유닛은 모듈화되며, 상기 대상체에 접촉시 구동력를 감쇠시키는 완충부가 마련되고,
    상기 센터링유닛은,
    X축 방향에 나란한 상기 제1방향으로 가동되는 제1위치부와, 상기 제1위치부와 이웃하되 Y축 방향에 나란한 상기 제2방향으로 가동되는 제2위치부를 포함하여, 상기 대상체를 검사하기 위한 기준 위치로 상기 대상체를 정렬시키는 위치결정부;
    상기 제1위치부와 마주하며 상기 제1방향으로 가동되는 제1가압부와, 상기 제1가압부와 이웃하되 상기 제2위치부와 마주하며 상기 제2방향으로 가동되는 제2가압부를 포함하여, 상기 위치결정부를 향해 가동되는 중심가압부; 및
    상기 위치결정부 및 중심가압부가 모듈화되도록 지지하되 설치 위치가 정렬되는 지지부;
    를 포함하는 대상체 검사를 위한 센터링장치.
  10. 삭제
  11. 제9항에 있어서,
    상기 지지부는 상기 제1 및 제2위치부와 제1 및 제2가압부가 각각 한 변에 마련되는 사각형의 지지 프레임을 포함하여 상기 센터링유닛을 모듈화하며,
    상기 지지 프레임의 각 테두리로부터 제1간격으로 이격된 위치에 마련된 제1가이드홀 및 상기 제1가이드홀로부터 대각선 방향으로 이격된 위치에 마련되되 상기 테두리로부터 상기 제1간격과 상이한 제2간격으로 이격된 위치에 마련된 제2가이드홀이 마련되어, 역삽입이 방지되고,
    상기 지지 프레임의 각 테두리에는 체크블럭이 복수개 마련되며, 상기 체크블럭을 센싱하여 상기 지지 프레임의 오삽입 여부를 체크하는 대상체 검사를 위한 센터링장치.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 고정유닛은,
    상기 센터링유닛에 의해 상기 중심 위치로 정렬된 상기 대상체를 자세 고정시키는 고정체; 및
    상기 고정체를 구동시키는 고정 구동부;
    를 포함하며,
    상기 고정체는 Z축 방향으로 상기 고정 구동부에 의해 가동되며 가압 또는 흡착 중 적어도 어느 하나의 방법으로 상기 대상체를 자세 고정시키는 대상체 검사를 위한 센터링장치.
  13. 제9항에 있어서,
    상기 제1위치부, 제2위치부, 제1가압부 및 제2가압부에는 구동력을 완충시키기 위한 쇼크업소버(Shock Absorber)를 포함하는 상기 완충부가 각각 마련되는 대상체 검사를 위한 센터링장치.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 고정체와 고정 구동부 사이에는 상기 고정체의 구동력을 감쇠시키는 상기 완충부가 마련되는 대상체 검사를 위한 센터링장치.
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