KR101791081B1 - 초음파 접합 장치 - Google Patents
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- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 41
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 38
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 7
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 6
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 6
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 4
- 238000005304 joining Methods 0.000 abstract description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 11
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K13/00—Welding by high-frequency current heating
- B23K13/04—Welding by high-frequency current heating by conduction heating
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- H—ELECTRICITY
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- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/36—Assembling printed circuits with other printed circuits
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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- H05K3/36—Assembling printed circuits with other printed circuits
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- B23K2201/42—
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Abstract
상기와 같은 본 발명에 의하면, 초음파의 진폭 조절을 통해 접합대상물의 열에 의한 손상을 방지함과 아울러 보다 견고하게 접합되도록 함에 따라 제품의 불량 발생률이 최소화되어 이에 따른 생산성이 크게 향상된다.
그리고, 접합대상물의 접합 전에 접합대상물을 정확하게 정렬함과 아울러 비전을 통해 정렬 상태를 검사함에 따라 접합대상물의 보다 정확한 위치에 접합할 수 있어 이에 따른 제품의 신뢰도가 향상된다.
또한, 접합대상물을 접합하는 초음파 접합부가 과열되는 것을 방지하는 구조를 제공함에 따라 내구성이 크게 향상되는 효과가 있다.
Description
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 초음파 접합 장치의 초음파 접합부 및 냉각부의 개략적인 측면도.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 초음파 접합 장치의 비전 검사부의 개략적인 측면도.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 초음파 접합장치의 정렬부의 개략적인 측면도.
도 5a 내지 5c는 종래의 열 압착 방식을 설명하기 위한 개략도.
도 6a 및 6b은 본 발명의 일실시예에 따른 초음파 접합 방식을 설명하기 위한 개략도.
11 : 볼 베어링 20 : 본체부
30 : 헤드부 31 : 헤드 본체
32 : 이동력 제공수단 40 : 초음파 접합부
41 : 제 1 프레임 42 : 상하 이동력 제공수단
43 : 초음파 혼 43a : 가압면
50 : 비전 검사부 51 : 제 2 프레임
52 : 영상 촬영수단 53 : 제 1 조명수단
54 : 제 2 조명수단 60 : 정렬부
61 : 제 3 프레임 62 : 상하 이동블럭
63 : 지지 플레이트 63a : 단턱
70 : 냉각부 71 : 볼텍스 튜브
72 : 분사노즐 73 : 단위블럭 조립체
73a : 단위블럭 80 : 진공 흡착부
81 : 흡착노즐 82 : 진공 유도수단
90 : 인터포저 100 : 유리 모재
101 : 투명전극 110 : 연성회로기판
111 : 접속단자부 111a : 상부 강성회로기판
111b : 하부 강성회로기판 111ba : 접속전극
Claims (8)
- 유리모재의 상면에 일정 간격 이격되도록 형성된 다수개의 투명전극과, 상기 투명전극에 대응되도록 연성회로기판 상에 형성된 것으로서 상기 다수개의 투명전극에 가접착된 다수의 접속단자부 간을 초음파를 이용하여 접합하는 초음파 접합장치에 있어서,
설치 대상영역에 설치되고, 상기 유리 모재가 안착되는 베이스부와;
상기 베이스부의 측방에 설치되는 본체부와;
상기 본체부 일측에 설치되고, 복수개의 상기 연성회로기판의 접속단자부가 가접착된 상기 유리모재의 일측 모서리를 따라 이동 가능하게 설치되는 적어도 하나의 헤드부와;
상기 헤드부 일측에 상하 이동 가능하게 설치되고, 상기 접속단자부의 상면을 가압함과 동시에 종방향의 초음파를 인가하는 초음파 접합부를 포함하되,
상기 초음파 접합부는 상기 접속단자부를 균일하게 가압하도록 평탄한 가압면이 형성된 초음파 혼을 포함하고, 상기 초음파 혼은 내부에 홀을 형성하여 진동이 전달되는 경로를 조절하거나, 형상을 가변시켜 상기 가압면의 중앙영역과 가장자리 영역으로 인가되는 초음파의 진폭이 상이하게 조절되도록 설계되어 상기 가압면을 통해 상기 접속단자부의 중심영역에 인가되는 초음파의 강도가 상기 접속단자부의 가장자리 영역에 인가되는 초음파의 강도보다 낮게 전달되도록 하는 것을 특징으로 하는 초음파 접합 장치. - 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 접속단자부의 중심영역에 인가되는 초음파의 진폭은 상기 접속단자부의 가장자리 영역에 인가되는 초음파의 진폭보다 5~20% 작게 설정되는 것을 특징으로 하는 초음파 접합 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 헤드부의 일측 중 상기 초음파 접합부의 측방에 설치되고, 상기 접속단자부의 상부영상을 촬영하여 상기 접속단자부의 정렬 상태를 검사하는 비전 검사부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 접합 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 헤드부의 일측 중 상기 초음파 접합부의 다른 측방에 상하 이동 가능하게 설치되고, 일측이 상기 유리 모재의 일측 모서리에 지지되어 상기 유리 모재의 안착 상태를 정렬하는 정렬부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 접합 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 초음파 접합부 일측에 설치되고, 상기 초음파 접합부에 냉각공기를 분사하는 냉각부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 접합 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 본체부 상면과 상기 유리 모재 사이에 설치되는 연성 재질의 인터포저를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 접합 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 본체부 상면에는 베이스부의 일측 방향을 따라 일정 간격 이격되게 설치되는 복수개의 흡착노즐과;
상기 흡착노즐로부터 외부공기를 흡입하는 진공 유도수단을 포함하는 진공 흡착부가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 초음파 접합장치.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020160124846A KR101791081B1 (ko) | 2016-09-28 | 2016-09-28 | 초음파 접합 장치 |
PCT/KR2017/010072 WO2018062727A1 (ko) | 2016-09-28 | 2017-09-14 | 초음파 접합 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020160124846A KR101791081B1 (ko) | 2016-09-28 | 2016-09-28 | 초음파 접합 장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR101791081B1 true KR101791081B1 (ko) | 2017-11-20 |
Family
ID=60808987
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020160124846A KR101791081B1 (ko) | 2016-09-28 | 2016-09-28 | 초음파 접합 장치 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101791081B1 (ko) |
WO (1) | WO2018062727A1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20070082944A (ko) * | 2006-02-20 | 2007-08-23 | (주)창조엔지니어링 | 초음파 본딩장치 및 초음파 본딩방법 |
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-
2016
- 2016-09-28 KR KR1020160124846A patent/KR101791081B1/ko active IP Right Grant
-
2017
- 2017-09-14 WO PCT/KR2017/010072 patent/WO2018062727A1/ko active Application Filing
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2018062727A1 (ko) | 2018-04-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20160928 |
|
PA0201 | Request for examination | ||
PA0302 | Request for accelerated examination |
Patent event date: 20160928 Patent event code: PA03022R01D Comment text: Request for Accelerated Examination |
|
PN2301 | Change of applicant |
Patent event date: 20161103 Comment text: Notification of Change of Applicant Patent event code: PN23011R01D |
|
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20161128 Patent event code: PE09021S01D |
|
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Final Notice of Reason for Refusal Patent event date: 20170411 Patent event code: PE09021S02D |
|
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20170821 Patent event code: PE09021S01D |
|
PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20170912 |
|
GRNT | Written decision to grant | ||
PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20171023 Patent event code: PR07011E01D |
|
PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20171023 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
PG1601 | Publication of registration | ||
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20201103 Start annual number: 4 End annual number: 4 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20210819 Start annual number: 5 End annual number: 5 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20221214 Start annual number: 7 End annual number: 8 |