KR101768489B1 - Light organic light emitting display device and method of fabricating the same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 개구율을 향상시킬 수 있는 유기 발광 표시 장치에 관한 것으로, 본 발명의 유기 발광 표시 장치는, 기판; 상기 기판 상에 서로 수직 교차하게 형성되어 화소 영역을 정의하는 게이트 라인과 데이터 라인; 상기 화소 영역에 형성된 스위칭 박막 트랜지스터와 구동 박막 트랜지스터; 드레인 콘택홀을 통해 상기 구동 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 접속하는 제 1 전극; 상기 제 1 전극의 일부 영역을 노출시켜 개구 영역을 정의하는 뱅크 절연막; 상기 뱅크 절연막에 의해 노출된 상기 제 1 전극 상에 형성된 유기 발광층; 및 상기 유기 발광층 상에 형성된 제 2 전극을 포함하며, 상기 드레인 콘택홀은 상기 개구 영역의 폭 방향으로 나란하게 형성된다.The present invention relates to an organic light emitting display device capable of improving an aperture ratio, and an organic light emitting display device of the present invention includes a substrate; A gate line and a data line formed on the substrate so as to be perpendicular to each other and defining a pixel region; A switching thin film transistor and a driving thin film transistor formed in the pixel region; A first electrode connected to a drain electrode of the driving thin film transistor through a drain contact hole; A bank insulating film exposing a part of the first electrode to define an opening region; An organic light emitting layer formed on the first electrode exposed by the bank insulating film; And a second electrode formed on the organic light emitting layer, wherein the drain contact hole is formed to be parallel to the width direction of the opening region.
Description
본 발명은 유기 발광 표시 장치에 관한 것으로 특히, 개구율을 향상시킬 수 있는 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic light emitting display, and more particularly, to an organic light emitting display capable of improving an aperture ratio and a method of manufacturing the same.
다양한 정보를 화면으로 구현하는 영상 표시 장치는 정보 통신 시대의 핵심 기술로, 더 얇고 더 가볍고 휴대가 가능하면서도 고성능의 방향으로 발전하고 있다. 공간성, 편리성의 추구로 구부릴 수 있는 플렉시블 디스플레이가 요구되면서 평판 표시 장치로 유기 발광층의 발광량을 제어하는 유기 발광 표시 장치가 근래에 각광받고 있다.The image display device that implements various information on the screen is a key technology in the era of information and communication, and it is progressing in the direction of being thinner, lighter, more portable, but higher performance. An organic light emitting display device which controls the amount of light emitted from the organic light emitting layer by using a flat panel display device has recently been spotlighted as a flexible display capable of bending due to space and convenience.
유기 발광 표시 장치는 유기 발광층 양단에 형성된 제 1, 제 2 전극에 전계를 가하여 유기 발광층 내에 전자와 정공을 주입 및 전달시켜 서로 결합할 때의 결합 에너지에 의해 발광되는 전계 발광 현상을 이용한 것이다. 전자와 정공은 유기 발광층에서 쌍을 이룬 후 여기상태로부터 기저상태로 떨어지면서 발광한다.The organic light emitting display uses an electroluminescent phenomenon in which an electric field is applied to first and second electrodes formed on both ends of an organic light emitting layer to inject electrons and holes into the organic light emitting layer, Electrons and holes are paired in the organic light emitting layer and then emit while falling from the excited state to the ground state.
이러한 유기 발광 표시 장치는 박막화가 가능하며, 플라스틱 같이 휠 수 있는(Flexible) 투명 기판 위에도 소자를 형성할 수 있을 뿐 아니라, 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel)이나 무기 EL(Electro Luminance) 디스플레이에 비해 낮은 전압에서(약 10V 이하) 구동이 가능하여 전력 소모가 비교적 적다. 또한, 경량성 및 색감에 있어 우수한 특성을 가져 많은 사람들의 관심의 대상이 되고 있다.Such an organic light emitting display device can be formed into a thin film and can be formed on a flexible transparent substrate such as a plastic substrate. In addition, the organic light emitting display device can be manufactured in a low cost compared to a plasma display panel or an inorganic EL (Electro Luminance) It is possible to drive at a voltage (about 10V or less), and power consumption is relatively low. In addition, it has excellent properties in terms of lightness and color, and has become a target of many people.
유기 발광 표시 장치는 기판 상에 형성된 박막 트랜지스터 어레이부와, 박막 트랜지스터 어레이부 상에 위치하는 유기 발광 다이오드 및 유기 발광 다이오드를 외부환경으로부터 격리시키기 위한 글래스 캡을 포함한다.The organic light emitting display includes a thin film transistor array portion formed on a substrate, an organic light emitting diode located on the thin film transistor array portion, and a glass cap for isolating the organic light emitting diode from the external environment.
한편, 유기 발광 표시 장치는 패시브 매트릭스형(Passive Matrix Type)과 액티브 매트릭스형(Active Matrix Type)으로 구분된다. 패시브 매트릭스형은 데이터 라인과 게이트 라인이 교차하며, 매트릭스 형태의 화소 영역을 구동하기 위해 게이트 라인을 시간에 따라 순차적으로 구동한다. 상기와 같은 패시브 매트릭스형은 구성이 단순하여 제조 방법 또한 단순하나, 소비전력이 높고 대면적화가 어려우며, 배선 수가 증가할수록 개구율이 저하된다.Meanwhile, organic light emitting display devices are classified into a passive matrix type and an active matrix type. In a passive matrix type, a data line and a gate line cross each other, and sequentially drive the gate line in time to drive a pixel region in a matrix form. The passive matrix type as described above has a simple structure and a simple manufacturing method. However, the power consumption is high and it is difficult to increase the area, and the aperture ratio decreases as the number of wiring increases.
액티브 매트릭스형은 화소 영역을 온/오프(On/Off)하는 스위칭 소자인 스위칭 박막 트랜지스터가 화소 영역 별로 위치하여 스위칭 박막 트랜지스터와 연결된 화소 전극이 픽셀 단위로 온/오프(On/Off)된다. 상기와 같은 액티브 매트릭스형은 화소 영역에 인가된 전압이 스토리지 캐패시터에 충전되어, 다음 신호가 인가될 때까지 전원을 인가해 주도록 하여 게이트 라인 수에 관계없이 한 화면동안 계속해서 구동한다. 따라서, 최근에는 낮은 전류를 인가하더라도 동일한 휘도를 내며, 저소비전력, 고정세 및 대형화가 가능한 액티브 매트릭스형의 유기 발광 표시 장치를 주로 이용한다.In the active matrix type, a switching thin film transistor, which is a switching element for turning on / off a pixel region, is located for each pixel region, and the pixel electrode connected to the switching thin film transistor is turned on / off in pixel units. In the active matrix type as described above, the voltage applied to the pixel region is charged in the storage capacitor, and power is applied until the next signal is applied, so that the device continues to be driven for one screen regardless of the number of gate lines. Therefore, in recent years, an active matrix type organic light emitting display device capable of achieving the same luminance with low current consumption, low power consumption, high definition and large size is mainly used.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 일반적인 유기 발광 표시 장치를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a general OLED display device will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 일반적인 유기 발광 표시 장치의 평면도이며, 도 2는 미세 금속 마스크(Fine Metal Mask; FMM)를 이용하여 발광층을 형성하는 단면도이다.FIG. 1 is a plan view of a general OLED display, and FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a light emitting layer formed using a fine metal mask (FMM).
도 1과 같이, 일반적인 유기 발광 표시 장치는, 스위칭 박막 트랜지스터(STr), 구동 박막 트랜지스터(DTr), 스토리지 캐패시터(Cst), 유기 발광 다이오드를 포함하여 이루어진다. 도시하지는 않았으나, 유기 발광 다이오드는 제 1 전극, 유기 발광층 및 제 2 전극을 포함하여 이루어져, 제 1, 제 2 전극에 전계를 가하여 유기 발광층 내에 전자와 정공을 주입 및 전달시켜 서로 결합할 때의 결합 에너지에 의해 발광한다. 이 때, 유기 발광층에서 발생된 빛은 개구 영역(10)을 통해 외부로 방출되며, 개구 영역(10)이 넓을수록 단위 면적당 전류 밀도가 낮아져 유기 발광 다이오드의 수명이 길어진다.1, a general organic light emitting display device includes a switching thin film transistor STr, a driving thin film transistor DTr, a storage capacitor Cst, and an organic light emitting diode. Although not shown, the organic light emitting diode includes a first electrode, an organic light emitting layer, and a second electrode. The organic light emitting diode is formed by injecting electrons and holes into the organic light emitting layer by applying an electric field to the first and second electrodes, It emits light by energy. At this time, the light generated in the organic light emitting layer is emitted to the outside through the
특히, 유기 발광 다이오드의 제 1 전극은 드레인 콘택홀(10a)을 통해 구동 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 접속하는데, 드레인 콘택홀(10a)이 형성된 영역은 드레인 콘택홀(10a)의 경사면을 따라 전류가 집중되어 유기 발광층의 열화가 발생하고 확산되어 유기 발광 표시 장치의 수명이 저하된다. 따라서, 드레인 콘택홀(10a)이 형성된 영역은 개구 영역(10)으로 사용하지 않으며 뱅크 절연막을 형성하여 비 개구 영역으로 사용한다.In particular, the first electrode of the organic light emitting diode is connected to the drain electrode of the driving thin film transistor through the
그런데, 도 2와 같이 유기 발광층을 형성하기 위한 미세 금속 마스크(20)의 개구부(20a)가 복수개의 화소 영역을 한꺼번에 노출시키므로, 화소 영역 사이에도 유기 물질이 증착된다. 즉, 드레인 콘택홀(10a)을 개구 영역(10)의 길이와 나란한 방향에 형성하면, 드레인 콘택홀(10a) 상에도 유기 물질이 증착되나 드레인 콘택홀(10a)이 형성된 영역은 비 개구 영역이므로 유기 물질이 증착되어도 이를 개구 영역(10)으로 사용할 수 없다.As shown in FIG. 2, since the opening 20a of the
결국, 개구율이 저하됨에 따라 일정 휘도를 내기 위해 단위 면적당 전류 밀도가 증가하여 유기 발광층의 열화가 확산되어 유기 발광 표시 장치의 수명이 저하될 수 있다. 더욱이, 유기 발광층의 혼색을 방지하고 정상적인 유기 발광층의 두께 확보를 위해 유기 발광층의 개구 영역(10)의 폭을 넓히는 것은 한계가 있다. 따라서, 유기 발광층의 개구 영역(10)의 길이를 늘려야 하나, 일반적인 유기 발광 표시 장치는 개구 영역(10)의 길이 방향과 나란한 위치에 형성된 드레인 콘택홀(10a)로 인해 개구 영역(10)의 길이를 늘리기 어렵다.As a result, as the aperture ratio is lowered, the current density per unit area increases in order to obtain a constant luminance, so that deterioration of the organic light emitting layer is diffused, and the lifetime of the organic light emitting display device may be shortened. Furthermore, there is a limit to increase the width of the
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, 유기 발광 다이오드와 구동 박막 트랜지스터가 접속하는 드레인 콘택홀을 개구 영역의 폭 방향으로 나란하게 형성하여 개구율을 향상시킬 수 있는 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법을 제공하는데, 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide an OLED display device capable of improving the aperture ratio by forming drain contact holes connected to an organic light emitting diode and a driving thin film transistor in a width direction of an opening region, And a method for producing the same.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 유기 발광 표시 장치는, 기판; 상기 기판 상에 서로 수직 교차하게 형성되어 화소 영역을 정의하는 게이트 라인과 데이터 라인; 상기 화소 영역에 형성된 스위칭 박막 트랜지스터와 구동 박막 트랜지스터; 드레인 콘택홀을 통해 상기 구동 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 접속하는 제 1 전극; 상기 제 1 전극의 일부 영역을 노출시켜 개구 영역을 정의하는 뱅크 절연막; 상기 뱅크 절연막에 의해 노출된 상기 제 1 전극 상에 형성된 유기 발광층; 및 상기 유기 발광층 상에 형성된 제 2 전극을 포함하며, 상기 드레인 콘택홀은 상기 개구 영역의 폭 방향으로 나란하게 형성된다.According to an aspect of the present invention, there is provided an organic light emitting diode display comprising: a substrate; A gate line and a data line formed on the substrate so as to be perpendicular to each other and defining a pixel region; A switching thin film transistor and a driving thin film transistor formed in the pixel region; A first electrode connected to a drain electrode of the driving thin film transistor through a drain contact hole; A bank insulating film exposing a part of the first electrode to define an opening region; An organic light emitting layer formed on the first electrode exposed by the bank insulating film; And a second electrode formed on the organic light emitting layer, wherein the drain contact hole is formed to be parallel to the width direction of the opening region.
상기 제 1 전극은 투명 도전성 물질과 불투명 도전성 물질이 적층된 구조이며, 상기 제 2 전극은 투명 도전성 물질로 형성된다.The first electrode may have a structure in which a transparent conductive material and an opaque conductive material are stacked, and the second electrode is formed of a transparent conductive material.
동일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은, 기판 상에 매트릭스 형태로 화소 영역을 정의하기 위한 게이트 라인과 데이터 라인을 형성하고, 스위칭 박막 트랜지스터와 구동 박막 트랜지스터를 형성하는 단계; 상기 스위칭 박막 트랜지스터와 구동 박막 트랜지스터를 포함한 상기 기판 상에 보호막과 평탄화막을 차례로 형성하는 단계; 상기 보호막과 평탄화막을 선택적으로 제거하여, 상기 구동 박막 트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키는 드레인 콘택홀을 형성하는 단계; 상기 평탄화막 상에 상기 드레인 콘택홀을 통해 상기 드레인 전극과 접속하는 제 1 전극을 형성하는 단계; 상기 제 1 전극을 포함한 상기 평탄화층 상에 상기 제 1 전극의 일부 영역을 노출시켜 개구 영역을 정의하는 뱅크 절연막을 형성하는 단계; 상기 노출된 제 1 전극 상에 유기 발광층을 형성하는 단계; 및 상기 유기 발광층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 드레인 콘택홀은 상기 개구 영역의 폭 방향으로 나란하게 형성한다.A method of manufacturing an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention includes forming a gate line and a data line for defining a pixel region in a matrix form on a substrate and forming a switching thin film transistor and a driving thin film transistor ; Forming a protective film and a planarizing film on the substrate including the switching thin film transistor and the driving thin film transistor in order; Selectively removing the protective film and the planarization film to form a drain contact hole exposing a drain electrode of the driving thin film transistor; Forming a first electrode on the planarization layer, the first electrode being connected to the drain electrode through the drain contact hole; Forming a bank insulating layer which exposes a part of the first electrode on the planarization layer including the first electrode to define an opening region; Forming an organic light emitting layer on the exposed first electrode; And forming a second electrode on the organic light emitting layer, wherein the drain contact hole is formed to be parallel to the width direction of the opening region.
상기 유기 발광층을 형성하는 단계는 그릴(Grill) 타입의 미세 금속 마스크(Fine Metal Mask)를 이용하여 형성한다.The organic light emitting layer is formed using a Grill-type fine metal mask.
상기 그릴 타입의 미세 금속 마스크는 같은 열의 화소 영역을 모두 노출시키는 개구부를 갖는다.The grill-type fine metal mask has openings that expose all pixel regions in the same row.
상기 드레인 콘택홀은 상기 미세 금속 마스크의 개구부의 폭 방향과 나란한 위치에 영역에 형성한다.And the drain contact hole is formed in a region in parallel with the width direction of the opening of the fine metal mask.
상기와 같은 본 발명의 유기 발광 표시 장치는, 유기 발광 다이오드와 구동 박막 트랜지스터가 접속하는 드레인 콘택홀을 개구 영역의 폭 방향으로 나란하게 형성하여 개구율을 향상시킬 수 있다. 따라서, 단위 면적당 전류 밀도가 낮아져 유기 발광 다이오드의 수명이 길어진다.The organic light emitting display of the present invention can improve the aperture ratio by forming the drain contact holes connected to the organic light emitting diode and the driving thin film transistor in the width direction of the opening region. Therefore, the current density per unit area is lowered, and the lifetime of the organic light emitting diode is prolonged.
도 1은 일반적인 유기 발광 표시 장치의 평면도.
도 2는 미세 금속 마스크(Fine Metal Mask; FMM)를 이용하여 발광층을 형성하는 단면도.
도 3a는 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 평면도이며, 도 3b는 도 3a의 Ⅰ-Ⅰ'선의 단면도.
도 4a는 일반적인 유기 발광 표시 장치의 개구 영역을 도시한 평면도이며, 도 4b는 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 개구 영역을 도시한 평면도.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 평면도이며, 도 6a 내지 도 6d는 도 5a 내지 도 5d의 Ⅰ-Ⅰ'선의 단면도.
도 7a 내지 도 7c는 미세 금속 마스크를 이용하여 유기 발광층을 형성하는 단계를 나타낸 평면도.1 is a plan view of a general organic light emitting display device.
2 is a cross-sectional view illustrating the formation of a light-emitting layer using a fine metal mask (FMM).
FIG. 3A is a plan view of the organic light emitting diode display of the present invention, and FIG. 3B is a cross-sectional view taken along the line I-I 'of FIG. 3A.
FIG. 4A is a plan view showing an opening region of a general organic light emitting display device, and FIG. 4B is a plan view showing an opening region of the organic light emitting display device of the present invention. FIG.
FIGS. 5A to 5D are plan views showing a method of manufacturing an organic light emitting display according to the present invention, and FIGS. 6A to 6D are cross-sectional views taken along the line I-I 'in FIGS. 5A to 5D.
7A to 7C are plan views showing a step of forming an organic light emitting layer using a fine metal mask.
본 발명의 유기 발광 표시 장치는 액티브 매트릭스형(Active Matrix Type) 유기 발광 표시 장치로, 본 발명의 유기 발광 표시 장치를 구체적으로 설명하면 다음과 같다.The organic light emitting display of the present invention is an active matrix type organic light emitting display, and the organic light emitting display of the present invention will be described in detail as follows.
도 3a는 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 평면도이며, 도 3b는 도 3a의 Ⅰ-Ⅰ'선의 단면도이다.FIG. 3A is a plan view of the organic light emitting diode display of the present invention, and FIG. 3B is a cross-sectional view taken along the line I-I 'of FIG. 3A.
도 3a, 도 3b와 같이, 본 발명의 유기 발광 표시 장치는 기판(100), 기판(100) 상에 수직 교차하는 게이트 라인(GL)과 데이터 라인(DL), 데이터 라인과 나란한 전력 라인(PL), 스위칭 박막 트랜지스터(STr), 구동 박막 트랜지스터(DTr), 스토리지 캐패시터(Cst) 및 유기 발광 다이오드를 포함한다. 이 때, 스위칭 박막 트랜지스터(STr), 구동 박막 트랜지스터(DTr)는 모델 별로 그 위치를 달리할 수 있다.3A and 3B, the organic light emitting diode display of the present invention includes a
구체적으로, 제 1 방향으로 게이트 라인(GL)이 형성되고 게이트 라인(GL)과 수직인 제 2 방향으로 데이터 라인(DL)이 형성되어, 수직 교차하는 게이트 라인(GL)과 데이터 라인(DL)이 매트릭스 형태로 복수개의 화소 영역(P)을 정의한다.Specifically, the gate lines GL are formed in the first direction and the data lines DL are formed in the second direction perpendicular to the gate lines GL, so that the gate lines GL and the data lines DL, A plurality of pixel regions P are defined in this matrix form.
게이트 라인(GL)과 데이터 라인(DL)이 교차하는 부분에는 스위칭 박막 트랜지스터(STr)가 형성되어, 게이트 라인(GL)은 스위칭 박막 트랜지스터(STr)에 스캔 신호를 공급하고, 데이터 라인(DL)은 스위칭 박막 트랜지스터(STr)에 데이터 신호를 공급한다. 그리고, 게이트 라인(GL)과 교차하며 데이터 라인(DL)과 나란하게 형성된 전력 라인(PL)은 구동 박막 트랜지스터(DTr)에 전력 신호를 공급한다.A switching thin film transistor STr is formed at the intersection of the gate line GL and the data line DL so that the gate line GL supplies a scan signal to the switching thin film transistor STr, Supplies a data signal to the switching thin film transistor STr. A power line PL formed in parallel with the gate line GL and in parallel with the data line DL supplies a power signal to the driving thin film transistor DTr.
그리고, 구동 박막 트랜지스터(DTr)의 제 2 게이트 전극(110b)과 제 2 소스 전극(140c) 사이에는 게이트 절연막(120)을 사이에 두고 스토리지 캐패시터(Cst)가 형성된다. 스토리지 캐패시터(Cst)는 구동 박막 트랜지스터(DTr)의 게이트 전압을 인정하게 유지시키기 위한 것으로, 스위칭 박막 트랜지스터(STr)가 오프(Off)되어도 유기 발광 다이오드에 흐르는 전류의 레벨을 일정하게 유지할 수 있다.A storage capacitor Cst is formed between the
스위칭 박막 트랜지스터(STr)는 게이트 라인(GL)과 접속된 제 1 게이트 전극(110a), 데이터 라인(DL)과 접속된 제 1 소스 전극(140a), 제 1 소스 전극(140a)과 마주하며 구동 박막 트랜지스터(DTr)의 제 2 게이트 전극(110b) 및 스토리지 캐패시터(Cst)와 접속된 제 1 드레인 전극(140b), 제 1 소스 전극(140a)과 제 1 드레인 전극(140b) 사이에 채널부를 형성하는 제 1 액티브층(130a)을 구비하여, 게이트 라인(GL)에 스캔 신호가 공급되면 데이터 라인(DL)에 공급된 데이터 신호를 스토리지 캐패시터(Cst) 및 구동 박막 트랜지스터(DTr)의 제 2 게이트 전극(110b)으로 공급한다.The switching thin film transistor STr has a
그리고, 구동 박막 트랜지스터(DTr)는 스위칭 박막트랜지스터(STr)의 제 1 드레인 전극(140b)과 연결 전극(170a)을 통해 접속된 제 2 게이트 전극(110b), 전력 라인(PL)과 접속된 제 2 소스 전극(140c), 제 2 소스 전극(140c)과 마주하며 유기 발광 다이오드의 제 1 전극(170b)과 접속된 드레인 전극(140d), 제 2 소스 전극(140c)과 제 2 드레인 전극(140d) 사이에 채널부를 형성하는 제 2 액티브층(130b)을 포함하여 이루어진다. 구동 박막 트랜지스터(DTr) 제 2 게이트 전극(110b)으로 공급되는 데이터 신호에 응답하여 전력 라인(PL)으로부터 유기 발광 다이오드로 공급되는 전류를 제어하여 유기 발광 다이오드의 발광량을 조절한다.The driving thin film transistor DTr includes a
연결 전극(170a)은 보호막(150)과 평탄화층(160)을 선택적으로 제거하여 형성된 제 1, 제 2 콘택홀(160a, 160b)을 통해 제 1 드레인 전극(140b)과 제 2 게이트 전극(110b)을 접속시킨다. 이 때, 제 1 콘택홀(160a)은 보호막(150)과 평탄화층(160)을 관통하여 제 1 드레인 전극(140b)을 노출시키며, 제 2 콘택홀(160b)은 게이트 절연막(120), 보호막(150), 평탄화층(160)을 관통하여 제 2 게이트 전극(110b)을 노출시킨다.The
유기 발광 다이오드는 평탄화층(160) 상에 형성된 제 1 전극(170b), 제 1 전극(170b) 상에 형성된 유기 발광층(190) 및 유기 발광층(190) 상에 형성된 제 2 전극(200)을 포함하여 이루어진다. 이 때, 제 1 전극(170b)은 화소 전극으로 구동 박막 트랜지스터(DTr)의 제 2 드레인 전극(140d)과 드레인 콘택홀(160c)을 통해 접속하여, 도시하지는 않았으나, 유기 발광층(190)의 상부 및 하부에는 정공 주입층, 정공 수송층, 전가 수송층 및 전자 주입층이 형성된다.The organic light emitting diode includes a
특히, 제 1 전극(170b)의 일부는 뱅크 절연막(180)을 통해 노출되고, 노출된 제 1 전극(170b) 상에 유기 발광층(190)이 형성되어, 노출된 제 1 전극(170b)만큼 단위 화소 영역의 개구 영역이 정의된다.Part of the
그런데, 상술한 바와 같이, 일반적으로 유기 발광층은 그릴(Grill) 타입의 미세 금속 마스크(Fine Metal Mask; FMM)를 이용하여 형성되며, 미세 금속 마스크는 매트릭스 형태로 배열된 화소 영역 중 같은 열의 화소 영역을 모두 노출시키는 개구부를 갖는다. 따라서, 일반적인 유기 발광 표시와 같이 미세 금속 마스크의 개구부의 길이와 나란한 방향에 드레인 콘택홀(160c)을 형성하면, 드레인 콘택홀(160c)이 형성된 영역 상에도 유기 물질이 증착된다.As described above, generally, the organic light emitting layer is formed using a Grill-type fine metal mask (FMM), and the fine metal mask is formed in a pixel region As shown in Fig. Accordingly, when the
그러나, 드레인 콘택홀(160c)이 형성된 영역은 비 개구 영역이므로, 드레인 콘택홀(160c)에 대응되는 영역의 제 1 전극(170b)은 뱅크 절연막(180)으로 덮혀 개구율이 저하된다. 즉, 개구율이 저하됨에 따라 일정 휘도를 내기 위해 단위 면적당 전류 밀도가 증가하여 유기 발광층(190)의 열화가 확산되어 유기 발광 표시 장치의 수명이 저하될 수 있다.However, since the region where the
따라서, 본 발명의 유기 발광 표시 장치는 구동 박막 트랜지스터(DTr)의 제 2 드레인 전극(140d)과 유기 발광 다이오드의 제 1 전극(170b)을 접속시키는 드레인 콘택홀(160c)을 미세 금속 마스크의 개구부가 아닌 차단부에 대응되도록 형성되며, 구체적으로는 미세 금속 마스크의 개구부의 폭 방향과 나란하게 형성된다. 따라서, 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 드레인 콘택홀(160c) 상에는 유기 물질이 증착되지 않으며, 일반적인 유기 발광 표시 장치의 드레인 콘택홀이 형성된 영역까지 개구 영역으로 사용하므로, 일반적인 유기 발광 표시 장치에 비해 개구율이 향상된다.The organic light emitting diode display according to the present invention includes a
도 4a는 일반적인 유기 발광 표시 장치의 개구 영역을 도시한 평면도이며, 도 4b는 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 개구 영역을 도시한 평면도로, 제 1 전극, 드레인 콘택홀, 뱅크 절연막 및 개구 영역만을 도시하였다.FIG. 4A is a plan view showing an opening region of a general organic light emitting display device, FIG. 4B is a plan view showing an opening region of the organic light emitting display according to the present invention, and FIG. 4B is a plan view showing a first electrode, a drain contact hole, Respectively.
도 4a와 같이, 일반적인 유기 발광 표시 장치는, 구동 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 유기 발광 다이오드의 제 1 전극이 접속하는 드레인 콘택홀이 뱅크 절연막에 의해 정의된 개구 영역의 길이 방향과 나란한 영역에 형성된다. 그런데, 상술한 바와 같이 미세 금속 마스크를 이용하여 유기 발광층을 형성하면 드레인 콘택홀이 형성된 영역에도 유기 물질이 증착되나, 드레인 콘택홀이 형성된 영역은 비 개구 영역이므로, R, G, B 유기 발광층의 개구율이 각각 20.3%, 20.3%, 33.2%이다. 이는 화소 영역 중 개구 영역이 차지하는 비율이다.4A, a general organic light emitting display is formed in a region where drain electrodes of a driving thin film transistor and drain contact holes, which are connected to a first electrode of the organic light emitting diode, are aligned with the longitudinal direction of the opening region defined by the bank insulating film . When the organic light emitting layer is formed using the fine metal mask as described above, the organic material is also deposited in the region where the drain contact hole is formed. However, since the region where the drain contact hole is formed is the non- The aperture ratio is 20.3%, 20.3%, and 33.2%, respectively. This is the ratio of the aperture area in the pixel area.
그러나, 도 4b와 같이, 본 발명의 유기 발광 표시 장치는, 구동 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 유기 발광 다이오드의 제 1 전극이 접속하는 드레인 콘택홀이 개구 영역의 폭 방향과 나란한 영역에 형성되므로, 일반적인 유기 발광 표시 장치의 드레인 콘택홀이 형성된 영역까지 개구 영역으로 사용할 수 있으므로 개구 영역이 증가된다. 즉, R, G, B 유기 발광층의 개구율이 각각 22.0%, 22.0%, 35.9%로, 일반적인 유기 발광 표시 장치의 유기 발광층의 개구율보다 약 10% 증가한다.However, as shown in FIG. 4B, the organic light emitting display of the present invention is formed in a region where the drain electrode of the driving thin film transistor and the drain contact hole, which is connected to the first electrode of the organic light emitting diode, are in parallel with the width direction of the opening region. The opening region can be used as an opening region up to the region where the drain contact hole of the organic light emitting display device is formed. That is, the aperture ratios of the R, G, and B organic light emitting layers are 22.0%, 22.0%, and 35.9%, respectively, which is about 10% larger than the aperture ratio of the organic light emitting layer of a general organic light emitting display.
따라서, 본 발명의 유기 발광 표시 장치는 일반적인 유기 발광 표시 장치에 비해 개구율이 증가하므로, 단위 면적당 전류 밀도가 낮아져 유기 발광 다이오드의 수명이 길어진다.Accordingly, the organic light emitting display according to the present invention has an increased aperture ratio as compared with a general organic light emitting display, so that the current density per unit area is lowered, and the lifetime of the organic light emitting diode is prolonged.
한편, 본 발명의 유기 발광 표시 장치는 상부 발광 유기 발광 표시 장치로, 기판의 반대 방향으로 빛을 방출한다. 따라서, 제 1 전극은 TO(Tin Oxide), ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ITZO(Indium Tin Zinc Oxide) 등과 같은 투명 도전성 물질과, 유기 발광층에서 발생된 광을 반사시켜 상부로 방출시키기 위한 Al/Cr, Al/Mo, Al(Nd)/Al, Al(Nd)/Cr, Mo/Al(Nd)/Mo, Cu/Mo, Ti/Al(Nd)/Ti, Mo/Al, Mo/Ti/Al(Nd), Cu 합금/Mo, Cu 합금/Al, Cu 합금/Mo 합금, Cu 합금/Al 합금, Al/Mo 합금, Mo 합금/Al, Al 합금/Mo 합금, Mo 합금/Al 합금, Mo/Al 합금 등과 같은 불투명 도전성 물질이 이중층 이상 적층된 구조인 것이 바람직하다. 특히, 불투명 도전성 물질은 유기 발광층에서 발생된 광을 효과적으로 반사시켜 외부로 방출시키기 위해 반사율이 높은 물질인 것이 바람직하다. 또한, 제 2 전극은 투과율이 높은 투명 도전성 물질로 형성되어 유기 발광층에서 형성된 광을 상부로 방출시킨다.Meanwhile, the organic light emitting diode display of the present invention is an upper light emitting organic light emitting display, and emits light in a direction opposite to the substrate. Accordingly, the first electrode may be formed of a transparent conductive material, such as TO (Tin Oxide), ITO (Indium Tin Oxide), IZO (Indium Zinc Oxide), ITZO (Indium Tin Zinc Oxide) (Nd) / Cr, Mo / Al (Nd) / Mo, Cu / Mo, Ti / Al (Nd) / Ti, Mo / Al, Mo / Ti / Al (Nd), Cu alloy / Mo, Cu alloy / Al, Cu alloy / Mo alloy, Cu alloy / Al alloy, Al / Mo alloy, Mo alloy / Al, Al alloy / An alloy / Al alloy, a Mo / Al alloy, or the like. In particular, the opaque conductive material is preferably a material having high reflectance so as to effectively reflect light emitted from the organic light emitting layer and emit the light to the outside. The second electrode is formed of a transparent conductive material having a high transmittance to emit light formed in the organic light emitting layer upward.
이하, 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a method of manufacturing the organic light emitting display device of the present invention will be described in detail.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 평면도이며, 도 6a 내지 도 6d는 도 5a 내지 도 5의 Ⅰ-Ⅰ'선의 단면도이다. 그리고, 도 7a 내지 도 7c는 미세 금속 마스크를 이용하여 유기 발광층을 형성하는 단계를 나타낸 평면도이다.FIGS. 5A to 5D are plan views showing a method of manufacturing an organic light emitting display according to the present invention, and FIGS. 6A to 6D are cross-sectional views taken along a line I-I 'in FIGS. 7A to 7C are plan views showing a step of forming an organic light emitting layer using a fine metal mask.
도 5a, 도 6a와 같이, 기판(100) 상에 게이트 라인(GL), 데이터 라인(DL), 전력 라인(PL)을 형성하고, 스위칭 박막 트랜지스터(STr)와 구동 박막 트랜지스터(DTr)를 형성한다. 게이트 라인(GL), 데이터 라인(DL), 전력 라인(PL), 스위칭 박막 트랜지스터(STr) 및 구동 박막 트랜지스터(DTr)를 형성하는 방법은 일반적인 방법이므로 생략한다.5A and 6A, a gate line GL, a data line DL and a power line PL are formed on a
스위칭 박막 트랜지스터(STr)와 구동 박막 트랜지스터(DTr)를 포함한 기판(100) 전면에 보호막(150)과 평탄화층(160)을 형성하고, 보호막(150)과 평탄화층(160)을 선택적으로 제거하여 스위칭 박막 트랜지스터(STr)의 제 1 드레인 전극(140b)과 구동 박막 트랜지스터(DTr)의 제 2 게이트 전극(110b)을 각각 노출시키는 제 1, 제 2 콘택홀(160a, 160b)을 형성하고, 동시에 구동 박막 트랜지스터(DTr)의 제 2 드레인 전극(140d)을 노출시키는 드레인 콘택홀(160c)을 형성한다. 이 때, 드레인 콘택홀(160c)은 추후에 정의될 개구 영역의 폭 방향과 나란한 방향에 형성된다. A
그리고, 평탄화층(160) 상에 제 1, 제 2 콘택홀(160a, 160b)을 통해 스위칭 박막 트랜지스터(STr)의 제 1 드레인 전극(140b)과 구동 박막 트랜지스터(DTr)의 제 2 게이트 전극(110b)을 접속시키는 연결 전극(170a)을 형성하고, 드레인 콘택홀(160c)를 통해 구동 박막 트랜지스터(DTr)의 제 2 드레인 전극(140d)과 접속하는 제 1 전극(170b)을 형성한다.The
특히, 본 발명의 유기 발광 표시 장치는 기판(100) 반대 방향으로 광이 방출되는 상부 발광 방식이므로, 제 1 전극(170b)은 투명 도전성 물질과 반사율이 높은 불투명 도전성 물질이 차례로 적층된 구조일 수 있다.In particular, since the organic light emitting display of the present invention is a top emission type in which light is emitted in a direction opposite to the
이어, 도 5b, 도 6b와 같이, 연결 전극(170a)과 제 1 전극(170b)을 포함한 평탄화막(160) 상에 제 1 전극(170b)의 일부를 노출시키는 뱅크 절연막(180)을 형성한다. 이 때, 노출된 제 1 전극(170b)만큼 단위 화소 영역의 개구 영역이 정의된다.5B and 6B, a
그리고, 도 5c, 도 6c와 같이, 개구부를 갖는 미세 금속 마스크를 이용하여 노출된 제 1 전극(170b) 상에 유기 물질을 증착하여 유기 발광층(190)을 형성한다. 구체적으로, 도 7a와 같이, 기판 상에 개구부(30a)를 갖는 미세 금속 마스크(Fine Metal Mask; FMM)(30)를 대응시킨다. 이 때, 미세 금속 마스크(30)는 그릴(Grill) 타입으로 개구부(30a)는 뱅크 절연막(180)을 통해 노출된 제 1 전극(170b)뿐만이 아니라, 복수개의 화소 영역을 한꺼번에 노출시키므로, 슬롯(Solt) 타입의 미세 금속 마스크를 이용하여 유기 발광층을 형성할 때보다 유기 발광 표시 장치의 개구율을 향상시킬 수 있다.5C and 6C, an organic material is deposited on the exposed
따라서, 개구 영역에 노출된 제 1 전극(170b) 상에 적색 발광 물질을 증착하여 적색(R) 발광층을 형성하고, 도 7b, 7c와 같이, 차례로 미세 금속 마스크(30)를 이동시켜 녹색 발광 물질과 청색 발광 물질을 증착하여 녹색(G) 발광층과 청색(B) 발광층을 형성한다.Accordingly, a red light emitting material is deposited on the
이 때, 상술한 바와 같이, 본 발명의 드레인 콘택홀(160b)은 개구 영역의 폭 방향에 나란하게 형성되어있으므로, 미세 금속 마스크(30)의 개구부(30b)에 대응되지 않고 마스크의 차광부(30b)에 대응된다. 따라서, 본 발명의 유기 발광 표시 장치는 일반적인 유기 발광 표시 장치의 드레인 콘택홀이 형성된 위치도 개구 영역으로 사용할 수 있으므로, 개구율을 향상시킬 수 있다.Since the drain contact holes 160b of the present invention are formed so as to be parallel to the width direction of the opening region, the light shielding portions (not shown) of the
마지막으로, 도 5d, 도 6d와 같이, 유기 발광층(190) 상에 제 2 전극(200)을 형성한다. 이 때, 본 발명의 유기 발광 표시 장치는 상부 발광 방식이므로, 제 2 전극(200)은 TO(Tin Oxide), ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ITZO(Indium Tin Zinc Oxide) 등과 같은 투명 도전성 물질로 형성하는 것이 바람직하다.Finally, as shown in FIGS. 5D and 6D, a
한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be the most practical and preferred embodiment, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. Will be apparent to those of ordinary skill in the art.
30: 미세 금속 마스크 30a: 개구부
30b: 차광부 100: 기판
110a: 제 1 게이트 전극 110b: 제 2 게이트 전극
120: 게이트 절연막 130a: 제 1 액티브층
130b: 제 2 액티브층 140a: 제 1 소스 전극
140b: 제 1 드레인 전극 140c: 제 2 소스 전극
140d: 제 2 드레인 전극 150: 보호막
160: 평탄화층 160a: 제 1 콘택홀
160b: 제 2 콘택홀 160c: 드레인 콘택홀
170a: 연결 전극 170b: 제 1 전극
180: 뱅크 절연막 190: 유기 발광층
200: 제 2 전극30:
30b: shielding part 100: substrate
110a:
120:
130b: second
140b:
140d: second drain electrode 150: protective film
160:
160b:
170a:
180: bank insulating film 190: organic light emitting layer
200: second electrode
Claims (6)
상기 기판 상에 서로 수직 교차하여 화소 영역을 정의하는 게이트 라인과 데이터 라인;
상기 화소 영역에 구비된 스위칭 박막 트랜지스터와 구동 박막 트랜지스터;
드레인 콘택홀을 통해 상기 구동 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 접속하는 제 1 전극;
상기 제 1 전극의 일부 영역을 노출시켜 개구 영역을 정의하는 뱅크 절연막;
상기 뱅크 절연막에 의해 노출된 상기 제 1 전극 상에 위치하는 유기 발광층; 및
상기 유기 발광층 상에 위치하는 제 2 전극을 포함하며,
상기 드레인 콘택홀은 상기 게이트 라인 방향으로만, 상기 개구 영역과 마주보는 유기 발광 표시 장치.Board;
A gate line and a data line for defining pixel regions perpendicularly intersecting each other on the substrate;
A switching thin film transistor and a driving thin film transistor provided in the pixel region;
A first electrode connected to a drain electrode of the driving thin film transistor through a drain contact hole;
A bank insulating film exposing a part of the first electrode to define an opening region;
An organic light emitting layer disposed on the first electrode exposed by the bank insulating film; And
And a second electrode located on the organic light emitting layer,
Wherein the drain contact hole faces the opening region only in the gate line direction.
상기 제 1 전극은 투명 도전성 물질과 불투명 도전성 물질이 적층된 구조이며, 상기 제 2 전극은 투명 도전성 물질로 이루어진 유기 발광 표시 장치.The method according to claim 1,
Wherein the first electrode is a structure in which a transparent conductive material and an opaque conductive material are stacked, and the second electrode is a transparent conductive material.
상기 스위칭 박막 트랜지스터와 구동 박막 트랜지스터를 포함한 상기 기판 상에 보호막과 평탄화층을 차례로 형성하는 단계;
상기 보호막과 평탄화층을 선택적으로 제거하여, 상기 구동 박막 트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키는 드레인 콘택홀을 형성하는 단계;
상기 평탄화층 상에 상기 드레인 콘택홀을 통해 상기 드레인 전극과 접속하는 제 1 전극을 형성하는 단계;
상기 제 1 전극을 포함한 상기 평탄화층 상에 상기 제 1 전극의 일부 영역을 노출시켜 개구 영역을 정의하는 뱅크 절연막을 형성하는 단계;
상기 노출된 제 1 전극 상에 유기 발광층을 형성하는 단계; 및
상기 유기 발광층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함하며,
상기 드레인 콘택홀은 상기 게이트 라인 방향으로만, 상기 개구 영역과 마주보는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.Forming a gate line and a data line for defining a pixel region in a matrix form on a substrate, and forming a switching thin film transistor and a driving thin film transistor;
Forming a passivation layer and a planarization layer in this order on the substrate including the switching thin film transistor and the driving thin film transistor;
Selectively removing the protective film and the planarization layer to form a drain contact hole exposing a drain electrode of the driving thin film transistor;
Forming a first electrode on the planarization layer, the first electrode being connected to the drain electrode through the drain contact hole;
Forming a bank insulating layer which exposes a part of the first electrode on the planarization layer including the first electrode to define an opening region;
Forming an organic light emitting layer on the exposed first electrode; And
And forming a second electrode on the organic light emitting layer,
Wherein the drain contact hole faces the opening region only in the gate line direction.
상기 유기 발광층을 형성하는 단계는 그릴(Grill) 타입의 미세 금속 마스크(Fine Metal Mask)를 이용하여 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.The method of claim 3,
Wherein the step of forming the organic light emitting layer is performed using a fine metal mask of a Grill type.
상기 그릴 타입의 미세 금속 마스크는 같은 열의 화소 영역을 모두 노출시키는 개구부를 갖는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.5. The method of claim 4,
Wherein the grill-type fine metal mask has openings for exposing all pixel regions of the same row.
상기 드레인 콘택홀은 상기 미세 금속 마스크의 개구부의 폭 방향과 나란한 위치에 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.6. The method of claim 5,
Wherein the drain contact hole is formed at a position in parallel with the width direction of the opening of the fine metal mask.
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
AMND | Amendment | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
AMND | Amendment | ||
X701 | Decision to grant (after re-examination) | ||
GRNT | Written decision to grant |