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KR101759550B1 - Organic electroluminescence device and method for fabricating the same - Google Patents

Organic electroluminescence device and method for fabricating the same Download PDF

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KR101759550B1
KR101759550B1 KR1020080124919A KR20080124919A KR101759550B1 KR 101759550 B1 KR101759550 B1 KR 101759550B1 KR 1020080124919 A KR1020080124919 A KR 1020080124919A KR 20080124919 A KR20080124919 A KR 20080124919A KR 101759550 B1 KR101759550 B1 KR 101759550B1
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South Korea
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substrate
organic
cell
electroluminescent device
electrode
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이재윤
김옥희
이강주
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엘지디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명은 유기전계 발광소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 기판과 캐소드전극을 전기적으로 접속시켜 전극 저항을 감소시키고, 각 셀의 애노드전극 각각을 복수개로 분할시켜 밴딩(bending)에 대한 내구성을 향상시킨다. The present invention relates to an organic electroluminescent device and a method of manufacturing the same, and more particularly, it relates to an organic electroluminescent device and a method of manufacturing the same, .

본 발명에 따른 유기전계 발광소자는, 기판의 일부를 노출시키는 기판 상의 유기막, 각 셀에 위치하는 유기막 상의 반사전극, 각 셀의 반사전극 각각의 상부에 위치하는 복수 개로 분할된 애노드전극 및 각 셀을 분리시키고 각 셀에 있는 복수의 애노드 전극 각각을 일정 간격만큼 이격시키는 절연막패턴을 포함한다.An organic electroluminescent device according to the present invention includes an organic film on a substrate for exposing a part of a substrate, a reflective electrode on the organic film located in each cell, a plurality of divided anode electrodes located on each of the reflective electrodes of each cell, And an insulating film pattern that separates each cell and separates a plurality of anode electrodes in each cell by a predetermined distance.

또한, 절연막패턴은 기판의 일부 영역을 노출시키는 콘택홀을 구비하며, 이러한 콘택홀을 통해 노출된 기판과 전기적으로 접속하는 캐소드전극을 포함한다.Further, the insulating film pattern has a contact hole exposing a part of the substrate, and includes a cathode electrode electrically connected to the substrate exposed through the contact hole.

이러한 유기전계 발광소자의 제조방법은, 기판상에 유기막을 형성하는 단계, 각 셀에 위치하는 유기막 상에 반사전극을 각 셀마다 분리 형성하는 단계, 각 셀에 복수의 애노드 전극을 독립적으로 분리 형성하는 단계 및 복수의 애노드 전극을 이격시키며, 기판의 일부를 노출시키는 콘택홀을 구비하도록 절연막패턴을 형성하는 단계를 포함한다.A method for manufacturing such an organic electroluminescent device includes the steps of forming an organic film on a substrate, separating and forming reflection electrodes for each cell on an organic film positioned in each cell, separating a plurality of anode electrodes independently And forming an insulating film pattern so as to have a plurality of anode electrodes spaced apart from each other and having a contact hole exposing a part of the substrate.

캐소드전극, 애노드전극, 보조전극, 유기전계 발광소자, 유기발광층 A cathode electrode, an anode electrode, an auxiliary electrode, an organic electroluminescent device,

Description

유기전계 발광소자 및 그 제조방법{ORGANIC ELECTROLUMINESCENCE DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME} BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an organic electroluminescent device,

본 발명은 유기전계 발광소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유기전계 발광소자에서 전극 저항을 감소시켜 저항의 불균일에 의한 화질의 불균일해지는 것을 제거할 수 있는 유기전계 발광소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an organic electroluminescent device, and more particularly, to an organic electroluminescent device capable of reducing electrode resistance in an organic electroluminescent device, .

최근에, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 액정표시장치 (Liquid Crystal Display), 전계방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 디스플레이패널(Plasma Display Panel) 및 전계발광소자(Electro Luminescence Device: 이하 "EL"이라 함)표시소자 등이 있다. 특히, 전계 발광소자는 기본적으로 정공수송층, 발광층, 전자수송층으로 이루어진 유기발광층의 양면에 전극을 붙인 형태의 것으로서, 넓은 시야각, 고개구율, 고색도 등의 특징때문에 차세대 평판표시장치로서 주목받고 있다.Recently, a variety of flat panel display devices capable of reducing weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes (CRTs), have been developed. Examples of such flat panel display devices include a liquid crystal display, a field emission display, a plasma display panel, and an electroluminescence device (EL) Devices. In particular, an electroluminescent device basically has electrodes on both surfaces of an organic light emitting layer composed of a hole transporting layer, a light emitting layer, and an electron transporting layer, and is attracting attention as a next generation flat panel display device because of its wide viewing angle, high aperture ratio and high color.

이러한 전계 발광소자는 사용하는 재료에 따라 크게 무기전계 발광소자와 유기전계 발광소자로 나뉘어진다. 이중 유기전계 발광소자는 정공 주입전극과 전자 주입전극사이에 형성된 유기EL층에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬후 소멸하면서 빛을 내기 때문에 무기전계 발광소자에 비해 낮은 전압으로 구동 가능하다는 장점이 있다.Such an electroluminescent element is divided into an inorganic electroluminescent element and an organic electroluminescent element depending largely on the material used. In the dual organic electroluminescent device, when an electric charge is injected into the organic EL layer formed between the hole injection electrode and the electron injection electrode, electrons and holes are paired and then emitted, There are advantages.

또한, 상기 유기전계 발광소자는 플라스틱과 같은 휠 수 있는(flexible) 투명기판위에도 소자를 형성할 수 있을 뿐 아니라, PDP나 무기전계 발광소자에 비해 10V 이하의 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 전력 소모가 비교적 작으며, 색감이 뛰어나다.In addition, the organic electroluminescent device not only can form devices on a flexible transparent substrate such as a plastic but also can be driven at a voltage as low as 10 V or less as compared with a PDP or an inorganic electroluminescent device, Is relatively small and excellent in color.

이러한 특성을 갖고 있는 종래기술에 따른 유기전계 발광소자에 대해 도 1을 참조하여 설명하면 다음과 같다.A conventional organic electroluminescent device having such characteristics will be described with reference to FIG.

도 1은 종래기술에 따른 유기전계 발광소자를 개략적으로 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing an organic electroluminescent device according to the prior art.

도 1을 참조하면, 종래기술에 따른 유기전계 발광소자는 기판(11)상에 유기막(13) 및 무기막(15)가 적층되어 있다.Referring to FIG. 1, an organic electroluminescent device according to the related art includes an organic layer 13 and an inorganic layer 15 stacked on a substrate 11.

또한, 상기 무기막(15)상에는 애노드전극(17)과 캐소드전극(23)이 서로 교차하는 방향으로 형성되어 있다. 여기서, 상기 애노드전극(17)은 기판(11)상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다.Further, the anode electrode 17 and the cathode electrode 23 are formed on the inorganic film 15 in a direction crossing each other. Here, the anode electrodes 17 are formed on the substrate 11 at a predetermined interval.

이러한 애노드전극(17)이 형성된 기판(11)상에는 유기전계셀(EL)영역마다 개구부(미도시)를 갖는 절연막(21)이 형성된다.On the substrate 11 on which the anode electrode 17 is formed, an insulating film 21 having openings (not shown) is formed for each of the organic EL cells.

그리고, 상기 절연막(21)상에는 그 위에 형성되어질 유기발광층(19) 및 캐소드전극(23)의 분리를 위한 격벽(25)이 위치한다. 여기서, 상기 격벽(25)은 상기 애 노드전극(17)을 가로 지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 역테이퍼(taper) 구조를 갖게 된다.A barrier rib 25 for separating the organic light emitting layer 19 and the cathode electrode 23 to be formed thereon is disposed on the insulating film 21. Here, the barrier rib 25 is formed in a direction crossing the anode electrode 17, and has an inverted taper structure in which the upper end portion has a wider width than the lower end portion.

상기 격벽(25)이 형성된 절연막(21)사이에 위치하는 애노드전극(17)상에는 유기화합물로 구성되는 유기발광층(19)과 캐소드전극(23)이 순차적으로 전면 증착된다.The organic light emitting layer 19 and the cathode electrode 23 are sequentially and entirely deposited on the anode electrode 17 located between the insulating films 21 on which the barrier ribs 25 are formed.

상기 유기발광층(19)은, 도면에는 도시하지 않았지만, 애노드전극(17)상에 정공주입층(미도시), 정공수송층(미도시), 발광층(미도시) 및 전자수송층(미도시), 전자주입층(미도시)이 적층되어 형성된다.(Not shown), a light emitting layer (not shown), an electron transporting layer (not shown), and an electron transporting layer (not shown) are formed on the anode electrode 17, And an injection layer (not shown) are stacked.

이러한 수동형 전계 발광소자는 애노드전극(17)과 캐소드전극(23)에 구동신호가 인가되면 전자와 정공이 방출되고, 애노드전극(17) 및 캐소드전극(23)에서 방출된 전자와 정공은 유기발광층(19)내에서 재결합하면서 가시광을 발생하게 된다. 이때, 발생된 가시광은 애노드전극(17)을 통하여 외부로 나오게 되어 소정의 화상 또는 영상을 표시하게 된다.In this passive type electroluminescent device, electrons and holes are emitted when driving signals are applied to the anode electrode 17 and the cathode electrode 23, and electrons and holes emitted from the anode electrode 17 and the cathode electrode 23 pass through the organic light- And recombine in the light guide plate 19 to generate visible light. At this time, the generated visible light is emitted to the outside through the anode electrode 17 to display a predetermined image or image.

그러나, 종래기술에 따른 유기전계 발광소자의 경우, 구조상 빛이 캐소드전극을 통과해야 하기 때문에 캐소드전극의 금속 두께를 매우 얇게 해야 하므로 저항이 커지고, 패널의 위치별로 휘도의 편차가 커지는 단점이 발생한다.However, in the case of the conventional organic electroluminescent device according to the related art, due to the structure, light must pass through the cathode electrode, so the thickness of the cathode electrode must be made very thin, so that the resistance becomes large and the deviation of brightness varies depending on the position of the panel .

한편, 전술하지는 않았지만, 바텀(bottom)형 유기전계 발광소자의 경우, 유기발광층상에 투명한 애노드전극을 형성하는데, 이때 애노드전극은 일반적으로 저항이 매우 큰 ITO를 사용하기 때문에 전술한 유기전계 발광소자 구조에서와 동일한 문제들이 발생한다.Meanwhile, although not described above, in the case of a bottom type organic electroluminescent device, a transparent anode electrode is formed on the organic light emitting layer. Since the anode electrode generally uses ITO having a very large resistance, The same problems as in the structure occur.

이에 본 발명은 상기 종래기술에 따른 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 유기전계 발광소자에서 SUS 또는 Al 등의 기판을 사용하여 기판 자체를 보조전극 또는 전극으로 사용함으로써 배선 저항을 낮추어 휘도 균일도를 개선시킬 수 있는 유기전계 발광소자 및 그 제조방법을 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been accomplished in order to solve the above problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide an organic electroluminescent device, which uses a substrate such as SUS or Al, Which can improve luminance uniformity, and a method of manufacturing the organic electroluminescent device.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기전계 발광소자는 기판상에 형성되고, 상기 기판일부를 노출시키는 유기막; 상기 유기막상에 형성되고, 일정간격으로 이격된 다수개의 애노드전극; 상기 다수개의 애노드전극들사이에 이들 애노드전극 각각을 절연시키고, 상기 기판 일부를 노출시키는 콘택홀이 구비된 절연막패턴; 상기 절연막패턴사이의 애노드전극상에 형성된 유기발광층; 및 상기 유기발광층과 절연막패턴을 포함한 상기 콘택홀을 통해 상기 기판과 전기적으로 접속되는 캐소드전극;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an organic electroluminescent device comprising: an organic layer formed on a substrate and exposing a part of the substrate; A plurality of anode electrodes formed on the organic film and spaced apart at regular intervals; An insulating film pattern provided between the plurality of anode electrodes to insulate each of the anode electrodes and to expose a portion of the substrate; An organic light emitting layer formed on the anode electrode between the insulating film patterns; And a cathode electrode electrically connected to the substrate through the contact hole including the organic light emitting layer and the insulating film pattern.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기전계 발광소자는 발광영역과 비발광영역으로 정의된 캐소드전극기판; 상기 캐소드전극기판의 비발광영역상에 형성되고, 캐소드전극기판 일부를 노출시키는 유기막; 상기 유기막상에 형성되고, 일정간격으로 이격된 다수개의 격벽; 상기 캐소드전극기판상에 형성되고, 상기 다수개의 격벽에 의해 분리된 유기발광층; 및 상기 유기발광층상에 형성되고, 상기 다 수개의 격벽에 의해 분리된 애노드전극;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an organic electroluminescent device comprising: a cathode electrode substrate defined as a light emitting region and a non-emitting region; An organic layer formed on the non-emitting region of the cathode electrode substrate and exposing a part of the cathode electrode substrate; A plurality of barrier ribs formed on the organic film and spaced apart at regular intervals; An organic light emitting layer formed on the cathode electrode substrate and separated by the plurality of barrier ribs; And an anode electrode formed on the organic light emitting layer and separated by the plurality of barrier ribs.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조방법은, 발광영역과 비발광영역으로 정의된 기판상에 유기막을 형성하는 단계; 상기 유기막상에 상기 기판의 발광영역 일부를 노출시키는 유기막을 형성하는 단계; 상기 유기막상에 일정간격으로 이격된 다수개의 애노드전극을 형성하는 단계; 상기 다수개의 애노드전극들사이에 이들 애노드전극 각각을 절연시키고, 상기 기판 일부를 노출시키는 콘택홀을 구비한 절연막패턴을 형성하는 단계; 상기 절연막패턴사이의 애노드전극상에 유기발광층을 형성하는 단계; 및 상기 유기발광층과 절연막패턴을 포함한 상기 콘택홀을 통해 상기 기판과 전기적으로 접속되는 캐소드전극을 형성하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of fabricating an organic electroluminescent device, including: forming an organic layer on a substrate defined as a light emitting region and a non-light emitting region; Forming an organic layer on the organic layer to expose a part of the emission region of the substrate; Forming a plurality of anode electrodes spaced apart at regular intervals on the organic layer; Forming an insulating film pattern having a plurality of anode electrodes insulated from each other and a contact hole exposing a part of the substrate; Forming an organic light emitting layer on the anode electrode between the insulating film patterns; And forming a cathode electrode electrically connected to the substrate through the contact hole including the organic light emitting layer and the insulating film pattern.

본 발명에 따른 유기전계 발광소자 및 그 제조방법에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.The organic electroluminescent device and the method of manufacturing the same according to the present invention have the following effects.

본 발명에 따른 유기전계 발광소자 및 그 제조방법은 저항이 높은 캐소드전극 또는 애노드전극을 저항이 낮은 Al 또는 SUS 등의 플렉서블(flexible) 재질로 구성된 기판과 연결하여 기판을 전극으로 사용하므로써 전체 저항을 낮추므로써 화질을 개선시킬 수 있다.The organic electroluminescent device and the method of manufacturing the same according to the present invention connect a cathode electrode or an anode electrode having a high resistance to a substrate made of a flexible material such as Al or SUS having low resistance, By lowering the picture quality can be improved.

또한, 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 및 그 제조방법은 Al 또는 SUS 등의 기판을 전극으로 사용하므로 인해 전극 저항이 감소함으로써 휘도 균일도가 향상되고, 면저항 크기가 개선된다.In addition, the organic electroluminescent device and the method of manufacturing the same according to the present invention use a substrate such as Al or SUS as an electrode to reduce the electrode resistance, thereby improving the luminance uniformity and improving the sheet resistance.

이하, 본 발명에 따른 유기전계 발광소자에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an organic electroluminescent device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 유기 EL표시소자를 개략적으로 나타낸 단면도이다.2 is a cross-sectional view schematically showing an organic EL display device according to the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 유기전계 발광소자는 휘기 쉬운 기판(101)상에 적층된 유기막(103)과 무기막(105)과; 상기 무기막(105)상에 형성되고, 일정 간격만큼 이격된 다수개의 적층구조의 반사전극(109a) 및 애노드전극(111a)와; 다수개의 적층구조의 반사전극(109a) 및 애노드전극(111a)의 사이에 각 셀을 독립적으로 분리 형성되고, 상기 기판(101)의 일부영역을 노출시키는 콘택홀(미도시; 도 3e의 115 참조)을 구비한 절연막패턴(113)과; 상기 애노드전극(111a)을 포함한 절연막패턴(113)상에 형성된 유기발광층(117)과; 상기 유기발광층(117)을 포함한 절연막패턴(113) 및 콘택홀(115)상에 형성되고, 상기 기판(101)과 전기적으로 접속된 캐소드전극(119)을 포함하여 구성된다.2, an organic electroluminescent device according to the present invention includes an organic layer 103 and an inorganic layer 105 stacked on a flexible substrate 101; A plurality of laminated reflective electrodes 109a and an anode electrode 111a formed on the inorganic film 105 and spaced apart by a predetermined distance; (Not shown in FIG. 3E, see FIG. 3 (e)) for exposing a part of the substrate 101, and each cell is independently formed between the reflective electrode 109a and the anode electrode 111a having a plurality of stacked structures. An insulating film pattern 113 having an insulating film pattern 113; An organic light emitting layer 117 formed on the insulating film pattern 113 including the anode electrode 111a; An insulating film pattern 113 including the organic light emitting layer 117 and a cathode electrode 119 formed on the contact hole 115 and electrically connected to the substrate 101.

여기서, 상기 기판(101)은 PEN, PET, PES 등의 투명 플라스틱에 전도성 금속을 코팅한 기판, 또는 SUS, Al 등의 불투명재질의 기판을 사용할 수 있다.Here, the substrate 101 may be a substrate coated with a conductive metal such as PEN, PET, or PES, or a substrate made of an opaque material such as SUS or Al.

또한, 상기 반사전극(109a)은 Ag와 같은 금속재질로 형성되며, 상기 애노드전극(111a)은 ITO (Indium Tin Oxide), IZO 또는 SnO2 등이 사용된다.The reflective electrode 109a is formed of a metal such as Ag, and the anode electrode 111a is formed of indium tin oxide (ITO), IZO, or SnO 2 .

그리고,상기 유기발광층(111)은, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 애노드전극 (111a)상에 정공주입층(미도시), 정공수송층(미도시), 발광층(미도시) 및 전 자수송층(미도시), 전자주입층(미도시)이 적층되어 형성된다.(Not shown), a hole transport layer (not shown), a light emitting layer (not shown), and an electron transport layer (not shown) are formed on the anode electrode 111a And an electron injection layer (not shown) are stacked.

또한, 상기 캐소드전극(119)은 상기 애노드전극(111a)과 서로 교차하는 방향으로 형성된다. 이때, 상기 캐소드전극(119)은 Al, Mg, Ca 등 금속재질로 형성되며, 그 두께는 빛이 투과될 정도의 범위, 즉 10 ∼ 500Å 정도로 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the cathode electrode 119 is formed in a direction crossing the anode electrode 111a. At this time, the cathode electrode 119 is formed of a metal material such as Al, Mg, Ca, and the thickness of the cathode electrode 119 is preferably in the range of 10 to 500 ANGSTROM.

이러한 수동형 유기전계 발광소자는 애노드전극(111a)과 캐소드전극(119)에 구동신호가 인가되면, 전자와 정공이 방출되고, 애노드전극(111a) 및 캐소드전극 (119)에서 방출된 전자와 정공은 유기발광층(117)내에서 재결합하면서 가시광을 발생하게 된다. 이때, 발생된 가시광은 애노드전극(111a)을 통하여 외부로 나오게 되어 소정의 화상 또는 영상을 표시하게 된다.When a driving signal is applied to the anode electrode 111a and the cathode electrode 119, electrons and holes are emitted, and electrons and holes emitted from the anode electrode 111a and the cathode electrode 119 are emitted from the passive organic electroluminescent device Visible light is generated while recombining in the organic light emitting layer 117. At this time, the generated visible light is emitted to the outside through the anode electrode 111a to display a predetermined image or image.

따라서, 본 발명에 따른 유기전계 발광소자는 Al 또는 SUS로 구성된 기판(101)에 캐소드전극(119)를 직접 전기적으로 연결시켜 주므로써 캐소드전극 (119)의 저항을 크게 낮출 수 있어 휘도 균일도를 향상시킬 수 있으며, 면 저항 사이즈도 개선시킬 수 있다.Therefore, the organic electroluminescent device according to the present invention can directly lower the resistance of the cathode electrode 119 by directly connecting the cathode electrode 119 to the substrate 101 made of Al or SUS, thereby improving the luminance uniformity And the surface resistance size can be improved.

또한, 본 발명에 따른 유기전계 발광소자는 Al 등의 기판을 전극으로 사용하므로 인해 제품의 신축성(flexibility)을 향상시킬 수 있다.In addition, the organic electroluminescent device according to the present invention can improve the flexibility of a product by using a substrate such as Al as an electrode.

상기와 같은 구성으로 이루어지는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조방법에 대해 도 3a 및 3f를 참조하여 설명하면 다음과 같다.A method of manufacturing an organic electroluminescent device according to the present invention having the above-described structure will be described with reference to FIGS. 3A and 3F.

도 3a 내지 도 3f는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조방법을 설명하기 위한 개략적인 공정 단면도이다.3A to 3F are schematic cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic electroluminescent device according to the present invention.

도 3a에 도시된 바와 같이, 휘기 쉬운(flexible) 재질로 이루어진 기판(101)상에 유기막(103)과 무기막(105)을 차례로 전면 증착한다. 이때, 상기 기판(101)으로는 PEN, PET, PES 등의 투명 플라스틱에 전도성 금속을 코팅한 기판, 또는 SUS, Al 등의 불투명재질의 기판을 사용할 수 있다.As shown in Fig. 3A, the organic film 103 and the inorganic film 105 are sequentially deposited on the substrate 101, which is made of a flexible material. As the substrate 101, a transparent plastic such as PEN, PET, or PES may be coated with a conductive metal, or an opaque substrate such as SUS or Al may be used.

그다음, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 무기막(105)상에 제1감광막(미도시)을 도포한후 포토리소그래피 공정기술 및 식각공정에 의해 패터닝하여 제1 감광막패턴(미도시)을 형성한다.Then, a first photoresist film (not shown) is coated on the inorganic film 105, and then a first photoresist pattern (not shown) is formed by photolithography and etching.

이어서, 도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 제1 감광막패턴(미도시)을 마스크로 상기 무기막(105)과 유기막(103)을 순차적으로 식각하여 상기 기판(101)의 일부를 노출시키는 제1콘택홀(107)을 형성한다.3B, the inorganic film 105 and the organic film 103 are sequentially etched using the first photoresist pattern (not shown) as a mask to expose a part of the substrate 101. Then, 1 contact holes 107 are formed.

그다음, 도 3c에 도시된 바와 같이, 상기 제1 감광막패턴(미도시)을 제거한후 상기 기판 전면에 스퍼터링방법을 이용하여 반사금속막(109)과 애노드 금속막 (111)을 차례로 증착한다. 3C, after the first photoresist pattern (not shown) is removed, a reflective metal film 109 and an anode metal film 111 are sequentially deposited on the entire surface of the substrate using a sputtering method.

이때, 상기 반사금속막(109)으로 이용하는 금속물질로는 Al와 같은 반사특성이 있는 금속물질을 이용한다. 또한, 상기 애노드 금속막(111)으로는 ITO (Indium Tin Oxide) 또는 SnO2 등을 이용한다. At this time, as the metal material used as the reflective metal film 109, a metal material having a reflection characteristic such as Al is used. As the anode metal film 111, ITO (Indium Tin Oxide) or SnO 2 is used.

이어서, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 에노드금속막(111)상에 제2 감광막을 도포한후 이를 노광마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정 및 식각공정에 의해 패터닝하여 제2 감광막패턴(미도시)을 형성한다.Next, although not shown in the drawing, a second photoresist pattern (not shown) is formed by applying a second photoresist on the node metal film 111 and patterning the second photoresist by a photolithography process and an etching process using an exposure mask .

그다음, 3d에 도시된 바와 같이, 상기 제2 감광막패턴(미도시)을 마스크로 상기 애노드금속막(111) 및 반사금속막(109)을 순차적으로 제거하여 일정 간격만큼 이격된 다수의 적층구조인 반사전극(109a)과 애노드전극(111a)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 3D, the anode metal film 111 and the reflective metal film 109 are sequentially removed using the second photoresist pattern (not shown) as a mask to form a plurality of stacked structures The reflective electrode 109a and the anode electrode 111a are formed.

이어서, 상기 제2 감광막패턴(미도시)을 제거하고 이어 상기 애노드전극 (111a)을 포함한 기판 전면에 유기감광성 물질을 이용하여 절연막(미도시)을 증착한다. 이때, 상기 절연막(미도시)으로 유기감광성 물질을 이용하고 있지만, 무기 절연물질도 이용할 수도 있다.Next, the second photoresist pattern (not shown) is removed, and an insulating layer (not shown) is deposited on the entire surface of the substrate including the anode electrode 111a using an organic photosensitive material. At this time, although the organic photosensitive material is used as the insulating film (not shown), an inorganic insulating material may also be used.

그다음, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 절연막(미도시)을 이를 노광마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정 및 식각공정에 의해 패터닝하여 적층구조인 상기 다수의 반사전극(109a)과 애노드전극(111a)을 독립적으로 절연시켜 주는 절연막패턴(113)을 형성한다. 이때, 상기 절연막패턴(113) 형성시에, 상기 제1콘택홀(107)아래의 기판(101)일부를 노출시키는 제2콘택홀(115)도 함께 형성된다. Next, although not shown in the drawing, the insulating film (not shown) is patterned by a photolithography process and an etching process using an exposure mask to form the plurality of reflective electrodes 109a and the anode electrodes 111a, The insulating film pattern 113 is formed. At this time, a second contact hole 115 exposing a part of the substrate 101 under the first contact hole 107 is formed at the time of forming the insulating film pattern 113.

그다음, 3f에 도시된 바와 같이, 상기 절연막패턴(113)과 애노드전극(111a)상에 유기발광층(117)을 형성한다. 이때, 상기 유기발광층(117)은 정공주입층(미도시), 정공수송층(미도시), 발광층(미도시) 및 전자수송층(미도시), 전자주입층(미도시)이 순차적으로 적층하여 형성한다. Then, an organic light emitting layer 117 is formed on the insulating film pattern 113 and the anode electrode 111a, as shown in 3f. The organic light emitting layer 117 is formed by sequentially laminating a hole injecting layer (not shown), a hole transporting layer (not shown), a light emitting layer (not shown), an electron transporting layer (not shown) do.

이어서, 상기 유기발광층(117)을 포함한 상기 제2 콘택홀(115)을 절연막패턴 (113)상에 금속물질, 예를들어 Al, Mg, Ca 등 금속재질을 스퍼터링방법에 의해 얇게 증착하여 캐소드전극(119)을 형성한다. 이때, 상기 캐소드전극(119)은 상기 제2 콘택홀(115)을 통해 상기 기판(101)과 전기적으로 접속된다. 또한, 상기 캐소드전 극(119)의 두께는 빛이 투과될 정도의 범위, 즉 10 ∼ 500Å 정도로 형성하는 것이 바람직하다.Subsequently, the second contact hole 115 including the organic light emitting layer 117 is thinly deposited on the insulating layer pattern 113 by sputtering a metal material such as Al, Mg, Ca, (119). At this time, the cathode electrode 119 is electrically connected to the substrate 101 through the second contact hole 115. In addition, it is preferable that the thickness of the cathode electrode 119 is in the range of the extent that light is transmitted, that is, about 10 to 500 ANGSTROM.

따라서, Al, 또는 SUS와 같은 플렉서블(flexible)한 기판(101)을 캐소드전극 (119)와 제2 콘택홀(115)을 통해 전기적으로 병렬접속시켜 주므로써 얇은 두께의 캐소드전극(119)의 저항을 크게 낮출 수 있다.Therefore, a flexible substrate 101 such as Al or SUS is electrically connected in parallel through the cathode electrode 119 and the second contact hole 115, so that the resistance of the thinner cathode electrode 119 Can be greatly reduced.

또한, 상기 애노드전극(111a)하부에 Ag 등의 반사전극(109a)을 형성시켜 주므로써 광효율 및 전극 저항을 줄일 수 있음과 동시에 플렉서블(flexible) 용도로 사용시에 신축성(flexibiliy)을 향상시킬 수 있다.In addition, since the reflective electrode 109a such as Ag is formed under the anode electrode 111a, the light efficiency and the electrode resistance can be reduced, and at the same time, the flexibility can be improved when the device is used for a flexible use .

한편, 본 발명의 다른 실시예로써, 바텀(bottom) 타입의 유기전계 발광소자, 즉 애노드전극과 캐소드전극 배치를 서로 변경하여 애노드전극과 기판을 전기적으로 병렬연결하는 경우에도, 전술한 실시예에서와 같이 애노드전극의 저항을 크게 낮출 수 있음을 밝혀 두기로 한다.Meanwhile, as another embodiment of the present invention, even when the bottom electrode type organic electroluminescent device, that is, the anode electrode and the cathode electrode arrangement are mutually changed to electrically connect the anode electrode and the substrate in parallel, The resistance of the anode electrode can be greatly lowered.

한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계 발광소자 및 그 제조방법에 대해 도 4를 참조하여 설명하면 다음과 같다.An organic electroluminescent device and a method of manufacturing the same according to another embodiment of the present invention will now be described with reference to FIG.

도 4는 본 발명에 다른 실시예에 따른 유기전계 발광소자를 개략적으로 도시한 단면도이다.4 is a cross-sectional view schematically showing an organic electroluminescent device according to another embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계 발광소자는 휘기 쉬운 기판(201)상에 적층된 유기막(203)과 무기막(205)과; 상기 무기막(205) 상의 각 셀에 형성되고, 일정 간격만큼 이격되어 적층구조로 구성되는 반사전극(209a) 및 상기 반사전극(209a) 상에 분리 형성된 복수의 애노드전극(211a)와; 상기 적층구조의 반사전극(209a) 및 복수의 애노드전극(211a)을 각 셀마다 독립적으로 분리 형성함과 동시에 각 셀의 복수의 애노드전극(211a)을 상기 반사전극(209a) 위에서 일정 간격만큼 이격되도록 분할시키고, 상기 기판(201)의 일부 영역을 노출시키는 콘택홀(215)을 구비한 절연막패턴(213, 213a)과; 상기 각 셀에 있는 복수의 애노드전극(211a)을 포함한 절연막패턴(213)상에 형성된 유기발광층(217)과; 상기 유기발광층(217)을 포함한 절연막패턴(213) 및 콘택홀(215)상에 형성되고, 상기 기판(201)과 전기적으로 접속된 캐소드전극(219)을 포함하여 구성된다.4, an organic electroluminescent device according to another embodiment of the present invention includes an organic layer 203 and an inorganic layer 205 stacked on a flexible substrate 201; A reflective electrode 209a formed in each cell on the inorganic film 205 and having a stacked structure spaced apart by a predetermined distance, and a plurality of anode electrodes 211a formed on the reflective electrode 209a; The reflective electrode 209a and the plurality of anode electrodes 211a of the laminated structure are separately formed for each cell and a plurality of anode electrodes 211a of each cell are separated from the reflective electrode 209a by a predetermined distance An insulating film pattern 213, 213a having a contact hole 215 for dividing the substrate 201 and exposing a part of the substrate 201; An organic light emitting layer 217 formed on an insulating film pattern 213 including a plurality of anode electrodes 211a in each cell; An insulating film pattern 213 including the organic light emitting layer 217 and a cathode electrode 219 formed on the contact hole 215 and electrically connected to the substrate 201.

여기서, 상기 기판(201)은 PEN, PET, PES 등의 투명 플라스틱에 전도성 금속을 코팅한 기판, 또는 SUS, Al 등의 불투명재질의 기판을 사용할 수 있다.Here, the substrate 201 may be a substrate coated with a conductive metal such as PEN, PET, or PES, or a substrate made of an opaque material such as SUS or Al.

또한, 상기 반사전극(209a)은 Ag와 같은 금속재질로 형성되며, 상기 애노드전극(111a)은 ITO (Indium Tin Oxide), IZO 또는 SnO2 등이 사용된다.The reflective electrode 209a is formed of a metal such as Ag. The anode electrode 111a may be formed of indium tin oxide (ITO), IZO, or SnO 2 .

그리고,상기 유기발광층(217)은, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 애노드전극 (211a)상에 정공주입층(미도시), 정공수송층(미도시), 발광층(미도시) 및 전자수송층(미도시), 전자주입층(미도시)이 적층되어 형성된다.(Not shown), a hole transporting layer (not shown), a light emitting layer (not shown), and an electron transporting layer (not shown) are formed on the anode electrode 211a And an electron injection layer (not shown) are stacked.

또한, 상기 캐소드전극(219)은 상기 애노드전극(211a)과 서로 교차하는 방향으로 형성된다. Also, the cathode electrode 219 is formed in a direction crossing the anode electrode 211a.

이때, 상기 캐소드전극(119)은 Al, Mg, Ca 등 금속재질로 형성되며, 그 두께는 빛이 투과될 정도의 범위, 즉 10 ∼ 500Å 정도로 형성되는 것이 바람직하다.At this time, the cathode electrode 119 is formed of a metal material such as Al, Mg, Ca, and the thickness of the cathode electrode 119 is preferably in the range of 10 to 500 ANGSTROM.

이러한 수동형 유기전계 발광소자는 애노드전극(211a)과 캐소드전극(219)에 구동신호가 인가되면, 전자와 정공이 방출되고, 애노드전극(211a) 및 캐소드전극 (219)에서 방출된 전자와 정공은 유기발광층(217)내에서 재결합하면서 가시광을 발생하게 된다. When a driving signal is applied to the anode electrode 211a and the cathode electrode 219, electrons and holes are emitted and electrons and holes emitted from the anode electrode 211a and the cathode electrode 219 pass through the passive organic electroluminescent device Visible light is generated while recombining in the organic light emitting layer 217.

이때, 상기 발생된 가시광은 애노드전극(211a)을 통하여 외부로 나오게 되어 소정의 화상 또는 영상을 표시하게 된다.At this time, the generated visible light is emitted to the outside through the anode electrode 211a to display a predetermined image or image.

따라서, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계 발광소자는 각 셀에 배치된 애노드전극(211a)을 복수개의 부분으로 분할시켜 주므로써 밴딩(bending)에 대한 내구성을 더욱 향상시키게 된다.Accordingly, the organic electroluminescent device according to another embodiment of the present invention further improves the durability against bending by dividing the anode electrode 211a disposed in each cell into a plurality of portions.

또한, 상기 애노드전극(211a)하부에 Ag 등의 반사전극(209a)을 형성시켜 주므로써 광효율 및 전극 저항을 줄일 수 있음과 동시에 플렉서블(flexible) 용도로 사용시에 신축성(flexibiliy)을 향상시킬 수 있다.In addition, a reflective electrode 209a made of Ag or the like is formed under the anode electrode 211a, thereby reducing the light efficiency and the electrode resistance, and at the same time, it is possible to improve flexibiliy when used for a flexible use .

한편, 상기 구성으로 이루어지는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조방법은, 애노드전극(211a)을 복수개의 부분으로 분할하는 공정을 제외한 나머지 공정에 대해서는 전술한 실시예의 제조방법과 동일하므로 여기서는 그에 대한 설명은 생략하기로 한다.Meanwhile, the method of manufacturing an organic electroluminescent device according to another embodiment of the present invention having the above-described structure is the same as the manufacturing method of the above-described embodiment except for the step of dividing the anode electrode 211a into a plurality of parts A description thereof will be omitted here.

또한편, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기전계 발광소자 및 그 제조방법에 대해 도 5를 참조하여 설명하면 다음과 같다.In addition, an organic electroluminescent device and a method of manufacturing the same according to still another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

도 5는 본 발명의 또다른 실시예에 따른 유기전계 발광소자 및 그 제조방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.5 is a cross-sectional view illustrating an organic electroluminescent device and a method of manufacturing the same according to another embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 본 발명의 또다른 실시예에 따른 유기전계 발광소자는, 캐소드전극으로 사용되는 기판(301)과; 상기 기판(301)상에 형성되고, 발광영역과 비 발광영역을 정의하는 유기막(303)과 무기막 (305)의 적층구조와; 상기 유기막(303)과 무기막(305)의 적층구조상에 형성된 격벽(311)과; 상기 격벽(311)사이에 노출된 기판(301)상에 형성된 유기발광층(317)과; 상기 기판(301)과 전기적으로 접속되는 애노드전극(319)을 포함하여 구성된다.Referring to FIG. 5, an organic electroluminescent device according to another embodiment of the present invention includes a substrate 301 used as a cathode electrode; A stacked structure of an organic film 303 and an inorganic film 305 formed on the substrate 301 and defining a light emitting region and a non-emitting region; A partition wall 311 formed on the laminated structure of the organic film 303 and the inorganic film 305; An organic emission layer 317 formed on the substrate 301 exposed between the barrier ribs 311; And an anode electrode 319 electrically connected to the substrate 301.

한편, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기전계 발광소자 제조방법에 대해 도 5를 참조하여 설명하면 다음과 같다.A method of fabricating an organic electroluminescent device according to another embodiment of the present invention will now be described with reference to FIG.

도 5에 도시된 바와 같이, 휘기 쉬운(flexible) 재질로 이루어진 기판(301)을 준비한다. 이때, 상기 기판(301)은 캐소드전극으로 사용된다. 또한, 상기 기판(301)으로 사용되는 재질로는 PEN, PET, PES 등의 투명 플라스틱에 전도성 금속을 코팅한 기판이거나, 또는 SUS, Al 등의 불투명재질의 기판을 사용할 수 있다.As shown in Fig. 5, a substrate 301 made of a flexible material is prepared. At this time, the substrate 301 is used as a cathode electrode. As the material used for the substrate 301, a transparent metal such as PEN, PET, or PES may be coated with a conductive metal, or an opaque substrate such as SUS or Al may be used.

그다음, 상기 캐소드전극으로 사용되는 기판(301)상에 유기막(303)과 무기막(305)을 차례로 전면 증착한다. Then, the organic film 303 and the inorganic film 305 are sequentially deposited on the substrate 301, which is used as the cathode electrode.

이어서, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 무기막(305)상에 제1감광막(미도시)을 도포한후 포토리소그래피 공정기술 및 식각공정에 의해 패터닝하여 제1 감광막패턴(미도시)을 형성한다.Next, a first photoresist film (not shown) is coated on the inorganic film 305 and then patterned by a photolithography process and an etching process to form a first photoresist pattern (not shown).

이어서, 상기 제1 감광막패턴(미도시)을 마스크로 상기 무기막(305)과 유기막(303)을 순차적으로 식각하여 상기 기판(301)의 일부를 노출시키는 콘택홀(307)을 형성한다. 이때, 상기 콘택홀(307)이 형성된 지역은 발광영역으로 정의된다.Subsequently, the inorganic film 305 and the organic film 303 are sequentially etched using the first photoresist pattern (not shown) as a mask to form a contact hole 307 exposing a part of the substrate 301. At this time, the region where the contact hole 307 is formed is defined as a light emitting region.

그다음, 상기 제1 감광막패턴(미도시)을 제거한후 상기 기판 전면에 네거티브성 감광성 유기물질을 도포한후 노광마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정 및 식 각공정에 의해 패터닝하여 격벽(311)을 형성한다. 이때, 상기 격벽(311) 형성시에 상기 발광영역으로 정의되는 기판(301) 상면에 있는 감광성 유기물질은 완전히 제거된다. Next, after removing the first photoresist pattern (not shown), a negative photosensitive organic material is applied to the entire surface of the substrate, and then patterned by a photolithography process and an etching process using an exposure mask to form a barrier rib 311 . At this time, the photosensitive organic material on the upper surface of the substrate 301, which is defined as the light emitting region, is completely removed when the barrier rib 311 is formed.

이어서, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 격벽(311)을 마스크로 상기 발광영역으로 정의되는 기판(301)상에 유기발광층(317)을 형성한다. 이때, 상기 유기발광층(317)은 정공주입층(미도시), 정공수송층(미도시), 발광층(미도시) 및 전자수송층(미도시), 전자주입층(미도시)이 순차적으로 적층하여 형성한다. 5, an organic emission layer 317 is formed on the substrate 301 defined as the emission region using the partition 311 as a mask. The organic light emitting layer 317 is formed by sequentially laminating a hole injecting layer (not shown), a hole transporting layer (not shown), a light emitting layer (not shown), an electron transporting layer (not shown) do.

그다음, 상기 유기발광층(311)을 형성한후 상기 격벽(311)을 마스크로 상기 유기발광층(317)상에 스퍼터링방법에 의해 애노드전극(319)을 형성한다. 이때, 상기 애노드전극(319)을 증착과 동시에 각 셀영역마다 전기적으로 분할되어 형성된다. 또한, 상기 애노드 전극(319)은 ITO (Indium Tin Oxide), IZO 또는 SnO2 등이 사용된다. 또한, 상기 애노드전극(319)의 두께는 빛이 투과될 정도의 범위, 즉 10 ∼ 500Å 정도로 형성하는 것이 바람직하다.After the organic light emitting layer 311 is formed, an anode electrode 319 is formed on the organic light emitting layer 317 by a sputtering method using the partition 311 as a mask. At this time, the anode electrode 319 is formed by electrically dividing each cell region simultaneously with the deposition. As the anode electrode 319, ITO (Indium Tin Oxide), IZO, SnO 2 or the like is used. In addition, the thickness of the anode electrode 319 is preferably in the range of about 10 to 500 ANGSTROM.

따라서, Al 등으로 구성된 기판(301)을 캐소드전극으로 사용하므로써 전극 저항을 감소시킬 수 있으며, 이로 인해 휘도 균일도 향상 및 면저항 사이즈를 개선시킬 수 있다.Therefore, by using the substrate 301 made of Al or the like as a cathode electrode, it is possible to reduce the electrode resistance, thereby improving the luminance uniformity and the sheet resistance.

또한, 본 발명은 휘기 쉬운 재질인 Al 또는 SUS 등의 기판을 사용하기 때문에 제품의 신축성(flexibility)을 향상시킬 수 있다.Further, since the present invention uses a substrate such as Al or SUS which is a flexible material, the flexibility of the product can be improved.

본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으 나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주지해야 한다. 또한, 본 발명의 기술분야에서 당업자는 본 발명의 기술사상의 범위내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.It is to be noted that the technical spirit of the present invention has been specifically described in accordance with the above preferred embodiments, but it is to be understood that the above-described embodiments are intended to be illustrative and not restrictive. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention.

도 1은 종래기술에 따른 유기전계 발광소자를 개략적으로 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing an organic electroluminescent device according to the prior art.

도 2는 본 발명에 따른 유기 EL표시소자를 개략적으로 나타낸 단면도이다.2 is a cross-sectional view schematically showing an organic EL display device according to the present invention.

도 3a 내지 도 3f는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조방법을 설명하기 위한 개략적인 공정 단면도이다.3A to 3F are schematic cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic electroluminescent device according to the present invention.

도 4는 본 발명에 다른 실시예에 따른 유기전계 발광소자를 개략적으로 도시한 단면도이다.4 is a cross-sectional view schematically showing an organic electroluminescent device according to another embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 또다른 실시예에 따른 유기전계 발광소자 및 그 제조방법을 설명하기 위한 공정 단면도이다.5 is a cross-sectional view illustrating an organic electroluminescent device and a method of manufacturing the same according to another embodiment of the present invention.

*** 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 ****** Description of the main parts of drawings ***

101 : 기판 103 : 유기막101: substrate 103: organic film

105 : 무기막 107 : 제1 콘택홀105: inorganic film 107: first contact hole

109a : 반사전극 111a : 애노드전극109a: reflective electrode 111a: anode electrode

113 : 절연막패턴 115 : 제2 콘택홀113: insulating film pattern 115: second contact hole

117 : 유기발광층 119 : 캐소드전극117: organic light emitting layer 119: cathode electrode

Claims (13)

기판의 일부를 노출시키는 상기 기판상의 유기막;An organic film on the substrate to expose a portion of the substrate; 상기 유기막 중 각 셀에 위치하는 유기막 상의 반사전극;A reflective electrode on an organic film located in each cell of the organic film; 각 셀의 상기 반사전극 각각의 상부에 위치하는 복수 개로 분할된 애노드전극;A plurality of divided anode electrodes located on top of each of the reflective electrodes of each cell; 각 셀을 독립적으로 분리시키고, 각 셀에 있는 상기 복수의 애노드전극 각 각을 일정 간격만큼 이격시키며, 상기 기판의 일부 영역을 노출시키는 콘택홀을 구비한 절연막패턴;An insulating film pattern having independent contact holes for independently separating each cell, spacing apart the plurality of anode electrodes of each cell at a predetermined interval, and exposing a part of the substrate; 상기 절연막패턴사이 및 상부에 위치하며 각 셀에 있는 상기 복수의 애노드 전극 상에 배치된 유기발광층; 및An organic light emitting layer disposed between and above the insulating film patterns and disposed on the plurality of anode electrodes in each cell; And 상기 콘택홀을 통해 상기 기판과 전기적으로 접속되는 상기 유기발광층과 절연막패턴 상의 캐소드전극;을 포함하는 유기전계 발광소자.And a cathode electrode on the insulating layer pattern and the organic light emitting layer electrically connected to the substrate through the contact hole. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 기판은 PEN, PET 또는 PES의 플라스틱에 전도성 금속이 코팅된 기판, 또는 불투명 재질인 SUS 또는 Al으로 이루어진 기판인 유기전계 발광소자.The organic electroluminescent device according to claim 1, wherein the substrate is a substrate made of PEN, PET or PES coated with a conductive metal, or a substrate made of SUS or Al, which is an opaque material. 제1항에 있어서, 상기 캐소드전극은 Al, Mg, 또는 Ca의 금속물질로 형성되며, 그 두께는 빛이 투과될 정도의 범위인 10 ∼ 500Å 인 유기전계 발광소자.The organic electroluminescent device according to claim 1, wherein the cathode electrode is formed of a metal material such as Al, Mg, or Ca, and has a thickness ranging from 10 to 500 Å. 제1항에 있어서, 상기 유기막과 애노드전극사이에 무기막이 더 구비된 유기전계 발광소자.The organic electroluminescent device according to claim 1, further comprising an inorganic film between the organic layer and the anode electrode. 삭제delete 발광영역과 비발광영역으로 정의된 기판상에 유기막을 형성하는 단계;Forming an organic film on a substrate defined as a luminescent region and a non-luminescent region; 상기 유기막 중 각 셀에 위치하는 상기 유기막 부분 상에 반사 전극을 각 셀마다 분리 형성하는 단계;Separating and forming a reflective electrode for each cell on the organic film portion located in each cell of the organic film; 각 셀에 있는 반사 전극 각각의 상부에 복수 개의 애노드전극을 분리형성하는 단계; Separating and forming a plurality of anode electrodes on each of the reflective electrodes in each cell; 각 셀마다 분리 형성된 상기 반사전극 및 복수의 애노드전극과, 상기 셀에 있는 복수의 애노드전극 각 각을 일정 간격만큼 이격되도록 분할시키며 상기 기판의 일부를 노출시키는 콘택홀을 구비한 절연막패턴을 형성하는 단계;Forming an insulating film pattern having a plurality of anode electrodes separated from each other in each cell and a contact hole dividing the plurality of anode electrodes in the cell so as to be spaced apart from each other by a predetermined distance and exposing a part of the substrate step; 각 셀에 있는 상기 절연막패턴사이의 복수의 애노드전극 상에 유기발광층을 형성하는 단계; 및Forming an organic light emitting layer on a plurality of anode electrodes between the insulating film patterns in each cell; And 상기 유기발광층과 절연막패턴 상에 상기 콘택홀을 통해 상기 기판과 전기적으로 접속되는 캐소드전극을 형성하는 단계;를 포함하는 유기전계 발광소자 제조방법.And forming a cathode electrode electrically connected to the substrate through the contact hole on the organic light emitting layer and the insulating film pattern. 삭제delete 제7항에 있어서, 상기 기판은 PEN, PET 또는 PES의 플라스틱에 전도성 금속을 코팅한 기판, 또는 불투명 재질인 SUS 또는 Al으로 이루어진 기판인 유기전계 발광소자 제조방법.[8] The method of claim 7, wherein the substrate is a substrate made of PEN, PET or PES coated with a conductive metal, or a substrate made of SUS or Al which is an opaque material. 제7항에 있어서, 상기 캐소드전극은 Al, Mg, 또는 Ca의 금속물질로 형성되며, 그 두께는 빛이 투과될 정도의 범위인 10 ∼ 500Å 인 유기전계 발광소자 제조방법.The method of claim 7, wherein the cathode electrode is formed of a metal material such as Al, Mg, or Ca, and the thickness of the cathode electrode is in a range of 10 to 500 ANGSTROM. 제7항에 있어서, 상기 유기막과 반사전극 사이에 무기막이 더 구비된 유기전계 발광소자 제조방법.The organic electroluminescent device of claim 7, further comprising an inorganic film between the organic layer and the reflective electrode. 삭제delete 삭제delete
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