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KR101758647B1 - 비평면 디스플레이 패널 검사장치 - Google Patents

비평면 디스플레이 패널 검사장치 Download PDF

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Publication number
KR101758647B1
KR101758647B1 KR1020160050226A KR20160050226A KR101758647B1 KR 101758647 B1 KR101758647 B1 KR 101758647B1 KR 1020160050226 A KR1020160050226 A KR 1020160050226A KR 20160050226 A KR20160050226 A KR 20160050226A KR 101758647 B1 KR101758647 B1 KR 101758647B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
display panel
planar display
camera
illumination
photographing
Prior art date
Application number
KR1020160050226A
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English (en)
Inventor
류정식
Original Assignee
주식회사 제이이노텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by 주식회사 제이이노텍 filed Critical 주식회사 제이이노텍
Priority to KR1020160050226A priority Critical patent/KR101758647B1/ko
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Abstract

본 발명은 비평면 디스플레이 패널 검사장치에 관한 것으로, 검사 대상물인 비평면 디스플레이 패널(10)이 안착되는 안착 플레이트(15)와; 상기 안착 플레이트(15)를 좌,우 방향으로 회전시키며, 일측에 배치된 회전 변위센서(20)를 구비한 회전장치(25)와; 상기 회전장치(25)의 하부에 배치되어 회전장치(25)를 이동시키는 스테이지(30)와; 상기 안착 플레이트(15)에 안착된 비평면 디스플레이 패널(10)을 촬영하기 위한 렌즈부(42)를 갖는 카메라(40)와, 상기 카메라(40)가 촬영하는 비평면 디스플레이 패널(10)의 상부에 빛을 조사하기 위한 조명장치(45)로 이루어진 촬영장치(50)와; 상기 촬영장치(50)의 위치를 상하 및 좌우 방향으로 이동시키는 제1 및 제2 이송유닛(60,70)과;상기 스테이지(30)를 검사위치로 이동시키는 제3 이송유닛(80)을 포함하게 된다.

Description

비평면 디스플레이 패널 검사장치{Inspection apparatus of non-planar display panel}
본 발명은 비평면 디스플레이 패널 검사장치에 관한 것으로, 특히 곡면이나 엣지등의 다양한 비평면으로 이루어진 디스플레이 패널의 검사를 수행할 수 있는 비평면 디스플레이 패널 검사장치에 관한 것이다.
최근, 평판형 디스플레이 패널의 하나인 엘씨디(LCD)나 엘이디(LED)는 음극선관(CRT)에 비해 시인성이 우수하고 평균소비전력도 같은 화면크기의 CRT에 비해 작을 뿐만 아니라 발열량도 작기 때문에 최근에 휴대폰이나 컴퓨터의 모니터, 텔레비젼의 차세대 디스플레이 장치로서 각광받고 있다. 이와 같은 평판형 디스플레이 패널은 두께는 얇아지고 무게가 가벼워져서 그 사용의 범위가 광범위하게 늘고 있다.
상기 엘씨디나 엘이디는 다양한 제조과정을 거쳐서 완성되는데, 각 제조 공정들을 시작하거나 끝마칠 때에는 반드시 선행 제조공정 또는 해당 제조공정에서 발생될 수 있는 결함을 검사하기 위한 검사공정을 필수적으로 거치게 되어 있다.
한국공개특허 제2015-0137676호(특허문헌 1)는 곡면 디스플레이 패널에 대한 광학계 검사를 수행할 수 있는 곡면 디스플레이 패널 검사장치에 관한 것으로, 피검사물인 곡면 디스플레이 패널이 안착되는 곡면판과 상기 곡면판을 정역회전시키는 회전유닛이 구비된 검사 스테이지와, 상기 곡면판의 상부에 이격되게 설치되어 곡면판에 안착된 곡면 디스플레이 패널의 광학검사를 수행하는 카메라와, 상기 카메라의 위치를 이동시키는 제1이송유닛과, 상기 검사스테이지의 위치를 이동시키는 제2이송유닛을 포함하여 구성된다. 그러나, 이와 같은 곡면 디스플레이 패널 검사장치는 폭 넓은 곡면 검사에는 적합하지만 폭이 좁은 곡면이나 엣지에는 정상적인 검사가 이루어지기 힘든 문제점을 내포하고 있다. 또한, 곡면 디스플레이 패널의 내부를 검사할 수 없는 문제점도 내포하고 있다.
특허문헌 1: 한국공개특허 제2015-0137676호(공개일: 2015.12.09)
본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 비평면 디스플레이 패널에 대하여 신속하고 정확하게 광학계 검사를 수행할 수 있는 비평면 디스플레이 패널 검사장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 비평면 디스플레이 패널이나 카메라를 소정 각도로 회전시켜 비평면 디스플레이 패널에 형성된 비평면부(A)의 영상을 카메라로 정확하게 촬영하여 검사할 수 있는 비평면 디스플레이 패널 검사장치를 제공함에 있다.
본 발명의 비평면 디스플레이 패널 검사장치는 검사 대상물인 비평면 디스플레이 패널이 안착되는 안착 플레이트와; 상기 안착 플레이트의 하부에 배치되며, 안착 플레이트를 좌,우 방향으로 회전시키며, 일측에 배치된 회전 변위센서를 구비한 회전장치와; 상기 회전장치의 하부에 배치되어 회전장치를 이동시키는 스테이지와; 상기 안착 플레이트의 상부에 간격을 두고 배치되며, 안착 플레이트에 안착된 비평면 디스플레이 패널을 촬영하기 위한 렌즈부를 갖는 카메라와, 상기 카메라가 촬영하는 비평면 디스플레이 패널의 상부에 빛을 조사하기 위한 조명장치로 이루어진 촬영장치와; 상기 촬영장치의 위치를 상하 및 좌우 방향으로 이동시키는 제1 및 제2 이송유닛과; 상기 스테이지를 검사위치로 이동시키는 제3 이송유닛을 포함하는 점에 있다.
본 발명의 비평면 디스플레이 패널 검사장치의 요부인 촬영장치는 비평면 디스플레이 패널에 대한 카메라의 촬영 각도가 변하도록 카메라를 회전시키는 카메라 회전장치를 더 포함하는 점에 있다.
본 발명의 비평면 디스플레이 패널 검사장치의 요부인 촬영장치는 비평면 디스플레이 패널에 대한 카메라의 촬영시 조명의 밝기를 조절하도록 조명장치를 틸팅시키는 조명 틸팅장치와, 상기 조명장치를 이동시키는 조명 이동장치를 더 포함하는 점에 있다.
본 발명의 비평면 디스플레이 패널 검사장치는 검사 스테이지에 안착된 비평면 디스플레이 패널의 회전시 3차원 변위센서를 이용하여 현재위치를 정확히 측정하여 카메라의 위치를 제어하면서 광학계 검사를 수행하게 되므로 종래 기술에 비하여 정밀한 검사를 수행할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명의 비평면 디스플레이 패널 검사장치는 카메라가 오토 포커싱을 수행함과 더불어 카메라가 장착된 헤드의 하부에 8방위에 대응하는 8개의 조명을 이용하여 영상의 밝기를 조절할 수 있으므로 그림자 영역이 생기지 않는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 비평면 디스플레이 패널 검사장치의 측면도,
도 2는 본 발명의 요부인 회전장치와 스테이지를 나타낸 정면도,
도 3은 본 발명의 요부인 촬영장치를 나타낸 정면도,
도 4는 본 발명의 요부인 촬영장치와 조명장치를 나타낸 도면,
도 5는 도 1의 대향 부분을 나타낸 측면도,
도 6은 비평면 디스플레이 패널을 소정각도 회전시킨 상태에서 촬영장치로 촬영하는 상태를 나타낸 도면,
도 7은 비평면 디스플레이 패널을 소정각도 회전시킨 상태에서 촬영장치도 미세 회전시킨 상태에서 촬영하는 상태를 나타낸 도면이다.
이하, 본 발명의 비평면 디스플레이 패널 검사장치의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 비평면 디스플레이 패널 검사장치는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 안착 플레이트(15)와, 회전장치(25)와, 스테이지(30)와, 촬영장치(50)와, 제1 및 제2 이송유닛(60,70) 및 제3 이송유닛(80)으로 크게 이루어지게 된다.
상기 안착 플레이트(15)에는 검사 대상물인 비평면 디스플레이 패널(10)이 안착되게 된다. 상기 비평면 디스플레이 패널(10)은 그 일측이나 양측에 곡면(오목 또는 볼록), 구면, 엣지 등과 같은 비평면부(A)가 형성된다.
상기 회전장치(25)는 상기 안착 플레이트(15)의 하부에 배치되며, 안착 플레이트(15)를 좌,우 방향으로 회전시키며, 일측에 회전 변위센서(20)를 구비하게 된다. 그리고, 상기 회전장치(25)는 도 2에 도시된 바와 같이, 그 내측에 회전축(27)을 구비하고, 상기 회전축(27)은 구동원인 모터(29)의 축(도시되지 않음)에 연결된다.
상기 회전장치(25)의 변위센서(20)는 포텐쇼미터, LVDT(Linear variable differential transformer), 싱크로(Syncro), 리졸버(Resolver), 정전용량형, 광학 인코더, 자기식 인코더 중의 어느 하나를 적용하게 된다. 상기 포텐쇼미터, LVDT(Linear variable differential transformer)는 직선 변위센서이고, 상기 싱크로(Syncro), 리졸버(Resolver), 정전용량형, 광학 인코더, 자기식 인코더는 회전변위 센서이다.
상기 스테이지(30)는 회전장치(25)의 하부에 배치되며, 회전장치(25)를 이동시키는 역할을 하게 된다.
상기 촬영장치(50)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 안착 플레이트(15)의 상부에 간격을 두고 배치되며, 안착 플레이트(15)에 안착된 비평면 디스플레이 패널(10)을 촬영하기 위한 렌즈부(42)를 갖는 카메라(40)와, 상기 카메라(40)가 촬영하는 비평면 디스플레이 패널(10)의 상부에 빛을 조사하기 위한 조명장치(45)로 이루어지게 된다.
상기 촬영장치(50)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 비평면 디스플레이 패널(10)에 대한 카메라(40)의 촬영 각도가 변하도록 카메라를 회전시키는 카메라 회전장치(44)를 더 포함하게 된다. 상기 카메라 회전장치(44)는 카메라(40)를 미세하게 회전시키는 모터와 같은 장치로서, 상기 비평면 디스플레이 패널(10)의 비평면을 촬영한 촬영 데이터가 저장된 데이터(비평면 데이터)에 비하여 열악한 경우 다시 카메라(40)를 미세 회전시켜 촬영하기 위한 장치이다.
상기 비평면의 촬영한 데이터가 불량하거나 비평면의 내부를 촬영하고자 하는 경우에는 카메라 회전장치(44)를 동작시켜 카메라(40)를 회전(이동)함에 의해 비평면 디스플레이 패널(10)의 표면 이외에 내부를 촬영하여 촬영한 데이터를 이용하여 검사하게 된다(촬영한 데이터와 저장된 데이터를 비교하여 검사하게 된다). 여기서, 카메라 회전장치(44)를 카메라(40)를 회전시키는 개념이 아니라 카메라(40)를 소정각도로 회전(이동)시키는 개념으로 이해하기 바란다.
상기 촬영장치(50)는 비평면 디스플레이 패널(10)에 대한 카메라(40)의 촬영시 조명의 밝기를 조절하도록 조명장치(45)를 틸팅시키는 조명 틸팅장치(41)와, 상기 조명장치(45)를 이동시키는 조명 이동장치(43)를 더 포함하게 된다.
상기 조명 틸팅장치(41)는 도 4에 도시된 바와 같이, 지지체(47)의 내측에 배치되며, 조명장치(45)를 틸팅하기 모터이고, 상기 조명 이동장치(43)는 조명장치(45)를 이동하기 위한 실린더이다. 상기 조명 틸팅장치(41) 및 조명 이동장치(43)는 카메라(40)로부터 촬영한 데이터(영상 이미지)가 열악한 경우 제어부(도시되지 않음)에서 조명을 조정하여 양호한 촬영 데이터를 얻기 위하여 작동시키게 된다.
상기 촬영장치(50)의 조명장치(45)는 지지체(47)의 내측 외주연에 4개 방위나 8개 방위에 상응하여 4개나 8개가 배치되게 된다. 상기 조명장치(45)는 엘이디나 램프와 같은 광원을 적용하게 된다. 즉, 4개나 8개의 조명장치(45)는 도 4에 도시된 바와 같이 일정한 간격으로 이격되어 배치되며 각각의 일측에 상기 조명 이동장치(43)가 연결되고 상기 조명 이동장치(43)의 일측에는 상기 조명 틸팅장치(41)가 연결된다.
상기 제1 및 제2 이송유닛(60,70)은 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 촬영장치(50)의 위치를 상하 및 좌우 방향으로 이동시키는 역할을 수행하게 된다.
상기 제1 이송유닛(60)은 촬영장치(50)의 위치를 상하 방향(Y 방향)으로 이동시키는 것으로, 촬영장치(50)를 지지부재(72)에 의해 연결한 제1 엘엠 가이드(LM(Linear Motion) guide)(64)와, 상기 제1 엘엠 가이드(64)와 연결된 제1 엘엠 레일(LM rail)(66)로 이루어지게 된다. 상기 촬영장치(50)는 그 상부에 배치된 연결편(51)을 거쳐서 지지부재(52)에 연결된다.
상기 제2 이송유닛(70)은 제1 이송유닛(60)의 제1 엘엠 레일(66)의 하부에 배치된 베이스 플레이트(68)와 연결되는 제2 엘엠 가이드(74)와, 상기 제2 엘엠 가이드(74)와 연결된 제2 엘엠 레일(76)으로 이루어지게 된다.
상기 제3 이송유닛(80)은 스테이지(30)를 검사위치로 이동시키는 역할을 수행하게 된다.
상기 제3 이송유닛(80)은 상기 스테이지(30)와 연결된 제3 엘엠 가이드(LM(Linear Motion) guide)(84)와, 상기 제3 엘엠 가이드(84)와 연결된 제3 엘엠 레일(LM rail)(86)로 이루어지게 된다. 그리고, 상기 제3 엘엠 레일(86)은 베이스 플레이트(88)상에 배치된다.
이와 같이 구성된 본 발명의 비평면 디스플레이 패널 검사장치의 동작과정에 대하여 설명하기로 한다.
사용자나 이송 로봇(도시되지 않음)에 의해 비평면 디스플레이 패널(10)을 안착 플레이트(15)에 안착하게 되면, 제3 이송유닛(80)이 동작하여 소정의 검사 위치로 스테이지(30)를 이송하게 된다. 상기 스테이지(30)는 제3 엘엠 가이드(84)와 연결되므로 제3 엘엠 가이드(84)가 제3 엘엠 레일(86)을 따라 소정의 검사 위치로 이동하게 된다.
상기 스테이지(30)가 검사 위치에 도달하게 되면, 제1 이송유닛(60)이 동작하여 촬영장치(50)를 하강시키게 된다. 상기 촬영장치(50)는 제1 엘엠 가이드(64)에 연결되므로 제1 엘엠 가이드(64)가 제1 엘엠 레일(66)을 따라 하강함에 의해 촬영장치(50)의 카메라(40)도 하강하게 된다.
상기 과정을 거쳐서 촬영장치(50)의 카메라(40)와 스테이지(30)의 위치가 설정되면, 상기 촬영장치(50)의 카메라(40)는 비평면 디스플레이 패널(10)의 평면 부분을 촬영하여 검사하게 된다. 이때, 상기 촬영장치(50)의 카메라(40)의 촬영시, 4개 또는 8개의 방위에 대응하여 배치된 4개 또는 8개의 조명장치(45)도 온(On)하게 된다. 여기서, 카메라(40)의 정밀한 촬영을 위하여 8개의 조명장치(45)를 사용하는 것이 바람직하다.
한편, 비평면 디스플레이 패널(10)의 비평면부(A)를 검사할 경우에는 회전장치(25)을 소정 각도로 회전시키게 되면 스테이지(30)에 배치된 안착 플레이트(15)도 회전하게 된다. 이때, 회전장치(25)에 배치된 변위센서(20)를 이용하여 비평면 디스플레이 패널(10)이 이동한 거리(위치)를 계측하여 회전장치(25)의 회전각도가 정확한지를 판단하게 된다. 따라서, 모터(29)를 구동함에 의해 회전하는 회전장치(25)의 회전량(회전 각도)이 정확한지 아닌지를 변위센서(20)에 의해 확인할 수 있다.
이와 같이, 비평면 디스플레이 패널(10)의 비평면부(A)가 소정각도로 경사지게 배치되면, 촬영장치(50)를 제1 및 제2 이송유닛(60,70)을 이용하여 검사위치로 이동시키게 된다.
상기 비평면 디스플레이 패널(10)의 소정 각도로 회전시킨 상태에서 촬영장치(50)의 카메라(40)를 도 6에 도시된 바와 같이, 고정된 상태에서 촬영하여 검사하게 된다. 조명장치(45)는 카메라(40)가 비평면 디스플레이 패널(10)의 비평면부(A)의 선명한 이미지를 획득할 수 있도록 카메라(40)가 촬영하는 부분에 빛을 조사하게 된다. 상기 카메라(40)는 한 번 촬영에 비평면 디스플레이 패널(10)의 부분적 이미지만을 획득할 수 있으므로, 수차례에 걸쳐 촬영을 반복하여 비평면 디스플레이 패널(10)의 전체 영상 이미지(데이터)를 획득하게 된다.
그러나, 상기 비평면 디스플레이 패널(10)의 비평면부(A)의 정확한 검사를 위하여 상기 비평면 디스플레이 패널(10)의 소정 각도로 회전시킴과 아울러 촬영장치(50)의 카메라(40)를 도 7에 도시된 바와 같이, 미세 회전시킨 상태에서 촬영하여 검사할 수도 있다. 즉, 상기 비평면 디스플레이 패널(10)의 비평면부(A)가 협소하거나 굴곡이나 요철이 있는 경우 카메라(40)를 미세 회전시킨 상태에서 촬영하게 되면 양호한 영상 데이터(이미지)를 얻을 수 있다.
또한, 상기 비평면부(A)는 비평면 디스플레이 패널(10)의 일측이나 양측 또는 외주연 전부에 설치되므로 설치부위에 따라 회전장치(25) 및 촬영장치(50)를 회전시키면서 촬영장치(50)의 카메라(40)로 촬영하여 검사를 수행하게 된다. 즉, 비평면부(A)의 배치 위치에 상응하여 회전장치(25)를 좌,우로 이동시키며, 이에 따라 촬영장치(50)를 제1 및 제2 이송장치(60,70)를 이동시켜 소정위치에 배치시켜 바람직한 촬영위치를 찾아서 촬영하여 검사하게 된다.
게다가, 카메라(40)를 카메라 회전장치(44)에 의해 미세 회전(이동)한 상태에서는 비평면부(A)에 그림자가 발생할 수 있으므로 이를 제거하기 위하여 조명장치(45)의 위치를 조명 이동장치(43)를 이동시키거나 소정위치에 적합하게 조명장치(45)를 조명 틸팅장치(41)를 이용하여 틸팅한 상태로 하여 카메라(40)로 촬영하게 되면 그림자의 발생을 제거할 수 있다. 또한, 카메라(40)를 미세 회전한 상태에서는 비평면 디스플레이 패널(10)의 내부를 촬영하기 위하여 조명장치(45)의 위치를 조명 이동장치(43)를 이동시키거나 소정위치에 적합하게 조명장치(45)를 조명 틸팅장치(41)를 이용하여 틸팅한 상태로 하여 카메라(40)로 촬영하게 되면 이물질이나 스크래치 등을 검사할 수 있다.
상기 조명 틸팅장치(41)는 조명장치(45)를 소정 방향으로 틸팅하게 되므로 비평면 디스플레이 패널(10)에 대한 조명장치(45)의 광조사 각도 및 광조사 영역이 변하게 되어 비평면 디스플레이 패널(10)의 외부 영역은 물론 내부 영역을 촬영하는 경우에 비평면 디스플레이 패널(10)의 내부로 빛을 용이하게 조사할 수 있게 된다.
이와 같이 구성된 본 발명의 비평면 디스플레이 패널 검사장치는 회전 변위센서(20)를 이용하여 비평면 디스플레이 패널(10)이 안착되는 안착 플레이트(15)를 소정 각도로 회전시키고 아울러 촬영장치(50)를 고정 또는 회전시킴에 의해 비평면 디스플레이 패널(10)의 비평면부(A)를 촬영하여 검사하게 되므로 종래에 비하여 보다 정확한 검사를 수행할 수 있다. 아울러, 조명장치(45)는 조명 틸팅장치(41) 및 조명 이동장치(43)를 구비하므로 스테이지(30)나 카메라(40)의 위치에 따라 밝기를 조절할 수 있으므로 비평면 디스플레이 패널(10)에 생기는 그림자를 제거하고 카메라(40)로 양호한 영상 이미지(데이터)를 취득할 수 있다.
본 발명의 비평면 디스플레이 패널 검사장치는 다양한 종류의 디스플레이 패널의 검사장치 및 검사시스템 분야에 널리 적용가능하다.
10: 비평면 디스플레이 패널 15: 안착 플레이트
20; 회전 변위센서 25: 회전장치
30: 스테이지 40: 카메라
45: 조명장치 50: 촬영장치
60,70: 제1 및 제2 이송유닛 80: 제3 이송유닛

Claims (7)

  1. 검사 대상물인 비평면 디스플레이 패널(10)이 안착되는 안착 플레이트(15)와;
    상기 안착 플레이트(15)의 하부에 배치되며, 안착 플레이트(15)를 좌,우 방향으로 회전시키며, 일측에 배치된 회전 변위센서(20)를 구비한 회전장치(25)와;
    상기 회전장치(25)의 하부에 배치되어 회전장치(25)를 이동시키는 스테이지(30)와;
    상기 안착 플레이트(15)의 상부에 간격을 두고 배치되며, 안착 플레이트(15)에 안착된 비평면 디스플레이 패널(10)을 촬영하기 위한 렌즈부(42)를 갖는 카메라(40)와, 상기 카메라(40)가 촬영하는 비평면 디스플레이 패널(10)의 상부에 빛을 조사하기 위한 조명장치(45)로 이루어진 촬영장치(50)와;
    상기 촬영장치(50)의 위치를 상하 및 좌우 방향으로 이동시키는 제1 및 제2 이송유닛(60,70)과;
    상기 스테이지(30)를 검사위치로 이동시키는 제3 이송유닛(80)을 포함하고,
    상기 촬영장치(50)는 비평면 디스플레이 패널(10)에 대한 카메라(40)의 촬영 각도가 변하도록 카메라를 회전시키는 카메라 회전장치(44)를 더 포함하며,
    상기 카메라 회전장치의 동작에 의해 카메라(40)를 회전시켜 비평면 디스플레이 패널(10)의 표면이나 내부를 촬영하여 검사하며,
    상기 촬영장치(50)는 비평면 디스플레이 패널(10)에 대한 카메라(40)의 촬영시 조명의 밝기를 조절하도록 조명장치(45)를 틸팅시키는 조명 틸팅장치(41)와, 상기 조명장치(45)를 이동시키는 조명 이동장치(43)를 더 포함하며,
    상기 촬영장치(50)의 조명장치(45)는 지지체(47)의 내측에 4개 방위나 8개 방위에 상응하여 4개나 8개가 배치되며, 상기 4개나 8개의 조명장치(45)는 일정한 간격으로 이격되어 배치되며 각각 일측에 상기 조명 이동장치(43)가 연결되고 상기 조명 이동장치(43)의 일측에는 상기 조명 틸팅장치(41)가 연결되는 것을 특징으로 하는 비평면 디스플레이 패널 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 회전장치(25)의 변위센서(20)는 포텐쇼미터, LVDT(Linear variable differential transformer), 싱크로(Syncro), 리졸버(Resolver), 정전용량형, 광학 인코더, 자기식 인코더 중의 어느 하나를 적용하는 것을 특징으로 하는 비평면 디스플레이 패널 검사장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1 이송유닛(60)은 촬영장치(50)를 지지부재(52)에 의해 연결한 제1 엘엠 가이드(LM(Linear Motion) guide)(64)와, 상기 제1 엘엠 가이드(64)와 연결된 제1 엘엠 레일(LM rail)(66)로 이루어지며,
    상기 제2 이송유닛(70)은 제1 이송유닛(60)의 제1 엘엠 레일(66)의 하부에 배치된 베이스 플레이트(68)와 연결되는 제2 엘엠 가이드(74)와, 상기 제2 엘엠 가이드(74)와 연결된 제2 엘엠 레일(76)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 비평면 디스플레이 패널 검사장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제3 이송유닛(80)은 스테이지(30)와 연결된 제3 엘엠 가이드(LM(Linear Motion) guide)(84)와, 상기 제3 엘엠 가이드(84)와 연결된 제3 엘엠 레일(LM rail)(86)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 비평면 디스플레이 패널 검사장치.
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