KR101672263B1

KR101672263B1 - An electron microscope holder and probe unit therefor

Info

Publication number: KR101672263B1
Application number: KR1020150057828A
Authority: KR
Inventors: 김영운; 김성일
Original assignee: 서울대학교산학협력단
Priority date: 2015-04-24
Filing date: 2015-04-24
Publication date: 2016-11-17
Also published as: KR20160127239A

Abstract

본 발명은 전자현미경용 홀더장치 및 이에 적용되는 탐침 유니트에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 탐침의 이동 허용 범위를 확대할 수 있는 전자현미경용 홀더장치 및 이에 적용되는 탐침 유니트를 제공하는 것이다. 이를 위해, 본 발명에 따른 전자현미경 홀더장치용 탐침유니트는 축선방향을 따라 연장되는 압전튜브와; 상기 압전튜브의 일단부에 지지되는 고정부재와; 상기 고정부재에 상기 축선방향에 가로방항으로 연장되도록 결합되는 절연막대와; 상기 절연막대에 탈착 가능하게 결합되는 탐침지지부재와; 상기 탐침지지부재에 지지되는 전기전도성의 탐침을 포함한다. 그리고 본 발명에 따른 전자현미경용 홀더장치는 상기 탐침유니트와; 상기 압전튜브를 수용하는 축공을 갖는 프레임과; 상기 프레임에 지지되며 상기 탐침으로부터 상기 축선방향을 따라 이격된 위치에 배치되어 시편이 안착되는 시편안착부를 갖는 시편지지블럭을 포함한다.The present invention relates to a holder apparatus for an electron microscope and a probe unit applied thereto. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a holder apparatus for an electron microscope capable of enlarging the range of movement of a probe and a probe unit applied thereto. To this end, a probe unit for an electron microscope holder apparatus according to the present invention comprises: a piezoelectric tube extending along an axial direction; A fixing member supported at one end of the piezoelectric tube; An insulating rod coupled to the fixing member so as to extend in the axial direction in the transverse direction; A probe support member detachably coupled to the insulating bar; And an electrically conductive probe supported by the probe support member. The holder device for an electron microscope according to the present invention comprises: the probe unit; A frame having a shaft hole for receiving the piezoelectric tube; And a specimen-holding block supported on the frame and having a specimen-placing portion placed at a position spaced apart from the probe in the axial direction.

Description

TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a holder device for an electron microscope and a probe unit applied thereto,

본 발명은 전자현미경용 홀더장치 및 이에 적용되는 탐침 유니트에 관한 것이다.The present invention relates to a holder apparatus for an electron microscope and a probe unit applied thereto.

전자현미경 내에서 분석 대상 시편에 전기적 신호를 가해줌과 동시에 시편의 특성 및 미세구조 변화를 실시간으로 관찰할 수 있는 연구에 대한 관심이 증가하고 있다. 이러한 연구를 위해서는 시편에 전기적 신호를 가해주는 탐침에 대한 안정적이면서도 용이한 제어가 중요한 사항이 된다.There is an increasing interest in research that can apply electrical signals to the specimen to be analyzed and observe the characteristics and microstructural changes of the specimen in real time in the electron microscope. For this research, stable and easy control of the probe that applies electrical signals to the specimen is important.

그러나 종래의 탐침유니트를 갖는 전자현미경용 홀더장치는 탐침의 이동 범위가 비교적 좁고 공간효율성이 낮았으며, 조립 작업성이 떨어지는 문제점이 있었다.However, the conventional holder device for an electron microscope having a probe unit has a problem that the moving range of the probe is relatively narrow, space efficiency is low, and assembling workability is poor.

본 발명의 목적은 탐침의 이동 허용 범위를 확대할 수 있는 전자현미경용 홀더장치 및 이에 적용되는 탐침 유니트를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a holder apparatus for an electron microscope capable of enlarging the range of movement of a probe and a probe unit applied thereto.

본 발명에 따른 전자현미경 홀더장치용 탐침 유니트는 축선방향을 따라 연장되는 압전튜브와; 상기 압전튜브의 일단부에 지지되는 고정부재와; 상기 고정부재에 상기 축선방향에 가로방항으로 연장되도록 결합되는 절연막대와; 상기 절연막대에 탈착 가능하게 결합되는 탐침지지부재와; 상기 탐침지지부재에 지지되는 전기전도성의 탐침을 포함한다.A probe unit for an electron microscope holder apparatus according to the present invention includes: a piezoelectric tube extending along an axial direction; A fixing member supported at one end of the piezoelectric tube; An insulating rod coupled to the fixing member so as to extend in the axial direction in the transverse direction; A probe support member detachably coupled to the insulating bar; And an electrically conductive probe supported by the probe support member.

여기서, 상기 고정부재는 상기 가로방향으로 관통된 수용홀을 가지며, 상기 절연막대는 일단부가 상기 수용홀에 삽입되어 외팔보형태로 지지되는 것이 상기 탐침지지부재가 간단한 구조로 상기 절연막대에 쉽게 탈착 가능하다.Here, the fixing member has the receiving hole penetrating in the transverse direction, and one end of the insulating film is inserted into the receiving hole and is supported in the form of a cantilever, the probe supporting member can be easily detached from the insulating rod with a simple structure .

그리고 상기 탐침지지부재는 상기 절연막대가 삽입 가능한 삽입홀을 가지고 상호 대향하는 한 쌍의 탄성지지부와, 상기 한 쌍의 탄성지지부의 인접한 연부 간을 연결하며 상기 한 쌍의 탄성지지부가 일정 간격을 유지하도록 탄성력을 제공하는 탄성연결부를 포함하며, 상기 탐침은 상기 탄성연결부에 지지되는 것이 상기 탐침지지부재를 상기 절연막대에 용이하게 결합시킬 수 있고 상기 탐침지지부재의 상기 절연막대에 대한 가로방향 및 원주방향 위치이동을 용이하게 할 수 있다.And the probe supporting member includes a pair of elastic supporting portions having mutually opposite insertion holes into which the insulating film can be inserted and connecting the adjacent adjacent portions of the pair of elastic supporting portions so that the pair of elastic supporting portions maintain a predetermined gap Wherein the probe is supported by the elastic connection portion so that the probe supporting member can be easily coupled to the insulating rod and the probe supporting member can be easily coupled to the insulating rod in the transverse direction and the circumferential direction It is possible to facilitate the movement of the position.

또한 상기 고정부재는 상기 축선방향에 가로방향으로 연장되는 편위부와, 상기 편위부로부터 상기 축선방향을 따라 연장되어 상기 절연막대를 지지하는 고정부를 포함하는 것이 상기 시편지지블럭 내에서 상기 절연막대의 길이를 비교적 더 길게 마련할 수 있어 상기 탐침지지부재의 가로방향 이동 범위를 확장할 수 있다.The fixing member may include a flat portion extending in the axial direction in the axial direction and a fixing portion extending from the flat portion in the axial direction to support the insulating bar. In the specimen supporting block, The length of the probe supporting member can be relatively long, and the lateral moving range of the probe supporting member can be extended.

본 발명에 따른 전자현미경용 홀더장치는 상기 탐침유니트와; 상기 압전튜브를 수용하는 축공을 갖는 프레임과; 상기 프레임에 지지되며 상기 탐침으로부터 상기 축선방향을 따라 이격된 위치에 배치되어 시편이 안착되는 시편안착부를 갖는 시편지지블럭을 포함한다.The holder apparatus for an electron microscope according to the present invention comprises: the probe unit; A frame having a shaft hole for receiving the piezoelectric tube; And a specimen-holding block supported on the frame and having a specimen-placing portion placed at a position spaced apart from the probe in the axial direction.

본 발명에 따른 전자현미경용 홀더장치 및 이에 적용되는 탐침 유니트는 컴팩트한 구조로 시편지지블럭의 제한된 공간 내에서 탐침의 이동 허용 범위가 넓어 시편의 다양한 부위에 대한 분석을 가능하게 하며, 일축 정렬(align)이 용이하다. 그리고 절연막대가 외팔보형태로 지지되는 경우, 탐침지지부재가 간단한 구조로 절연막대에 탈착 가능하다. 또한 고정부재가 편위부를 갖는 경우, 시편지지블럭 내에서 절연막대의 길이를 비교적 더 길게 마련할 수 있어 탐침지지부재의 가로방향 이동 범위를 확장할 수 있다. 또 탐침지지부재가 절연막대가 삽입 가능한 삽입홀을 가지고 상호 대향하는 한 쌍의 탄성지지부와, 한 쌍의 탄성지지부의 인접한 연부 간을 연결하며 한 쌍의 탄성지지부가 일정 간격을 유지하도록 탄성력을 제공하는 탄성연결부를 포함하는 경우, 탐침지지부재를 절연막대에 비교적 용이하게 결합시킬 수 있고 탐침지지부재의 절연막대에 대한 가로방향 및 원주방향 위치이동을 쉽게 할 수 있다.The holder device for an electron microscope according to the present invention and the probe unit applied thereto are compact and allow a range of movement of the probe within a limited space of the specimen support block to allow analysis of various parts of the specimen, align. And, when the insulating film base is supported in the form of a cantilever, the probe supporting member is detachable to the insulating bar with a simple structure. In addition, when the fixing member has the deflection portion, the length of the insulating film base in the specimen supporting block can be relatively longer, and the lateral movement range of the probe supporting member can be extended. The probe supporting member may include a pair of elastic supporting portions having insertion holes into which the insulating film base can be inserted and facing each other and elastic supporting portions connecting the adjacent edge portions of the pair of elastic supporting portions and providing a resilient force In the case of including the elastic connecting portion, the probe supporting member can be relatively easily coupled to the insulating rod and the lateral and circumferential positional shifts of the probe supporting member with respect to the insulating rod can be facilitated.

도 1은 탐침 유니트가 설치된 전자현미경용 홀더장치를 나타낸 사시도이고,
도 2는 탐침 유니트 측을 확대하여 나타낸 사시도이고,
도 3은 본 발명에 따른 탐침 유니트를 나타낸 사시도이고,
도 4는 탐침유니트의 분해사시도이며,
도 5는 평면도이다.1 is a perspective view showing a holder apparatus for an electron microscope provided with a probe unit,
2 is an enlarged perspective view of the probe unit side,
3 is a perspective view of a probe unit according to the present invention,
4 is an exploded perspective view of the probe unit,
5 is a plan view.

도 1은 탐침 유니트(10)가 설치된 전자현미경용 홀더장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 탐침 유니트 측을 확대하여 나타낸 사시도이다. 이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 탐침유니트(10)는 전자현미경용 홀더장치에 설치된다. 전자현미경용 홀더장치는 축선방향을 따라 연장된 축공을 갖는 프레임 (110)과, 프레임(110)에 지지되며 축공으로부터 축선방향을 따라 이격된 위치에 배치되어 시편이 안착되는 시편안착부(131)를 갖는 시편지지블럭(130)을 갖는다.Fig. 1 is a perspective view showing an electron microscope holder apparatus provided with a probe unit 10, and Fig. 2 is an enlarged perspective view of the probe unit side. As shown in these drawings, the probe unit 10 is installed in a holder apparatus for an electron microscope. The holder device for an electron microscope includes a frame 110 having a shaft hole extending in the axial direction, a specimen seating part 131 supported by the frame 110 and disposed at a position spaced apart from the shaft hole in the axial direction, (Not shown).

프레임(110)은 전자현미경의 외부로 노출되어 작업자가 조작 가능한 조작부(150)와 연결된다. 조작부(150)는 탐침유니트를 제어하기 위한 X축 조작부(151), Y축 조작부(152) 및 Z축 조작부(153)를 포함한다. X축 조작부(151), Y축 조작부(152) 및 Z축 조작부(153)는 압전튜브(200)와 연결되어 압전튜브(200)를 X축, Y축 및 Z축 방향으로 조절할 수 있다. 압전튜브(200)는 전기적 신호에 따라 기계적 변형이 가능한 압전소자를 포함한다.The frame 110 is exposed to the outside of the electron microscope and is connected to an operation unit 150 that can be operated by an operator. The operation unit 150 includes an X-axis operation unit 151, a Y-axis operation unit 152, and a Z-axis operation unit 153 for controlling the probe unit. The X axis control unit 151, the Y axis control unit 152 and the Z axis control unit 153 are connected to the piezoelectric tube 200 to adjust the piezoelectric tube 200 in the X axis direction, the Y axis direction, and the Z axis direction. The piezoelectric tube 200 includes a piezoelectric element capable of mechanical deformation according to an electrical signal.

도 3은 본 발명에 따른 탐침 유니트를 나타낸 사시도이고, 도 4는 탐침유니트의 분해사시도이며, 도 5는 평면도이다. 이들 도면을 도 1 및 도 2와 참고하여 보면, 본 발명에 따른 탐침 유니트는 시편안착부(131) 측을 향하는 결합단부(210)를 가지고 프레임(110)의 축공에 배치되는 압전튜브(200)를 갖는다. 압전튜브(200)의 결합단부(210)에는 전기절연성 재질로 이루어지는 절연부재(300)가 결합된다. 절연부재(300)에는 삽입공(310)이 형성된다.FIG. 3 is a perspective view of a probe unit according to the present invention, FIG. 4 is an exploded perspective view of the probe unit, and FIG. 5 is a plan view. 1 and 2, a probe unit according to the present invention includes a piezoelectric tube 200 having an engaging end 210 facing the specimen seating part 131 and disposed in the shaft hole of the frame 110, . An insulating member 300 made of an electrically insulating material is coupled to the coupling end 210 of the piezoelectric tube 200. An insertion hole 310 is formed in the insulating member 300.

절연부재(300)의 삽입공(310)에는 고정부재(400)가 삽입되어 결합된다. 고정부재(400)는 축선방향을 따라 연장되어 절연부재(300)의 삽입공(310)에 삽입되는 삽입부(410)와, 축선방향에 가로방향으로 연장되는 편위부(420) 및 편위부(420)로부터 축선방향을 따라 연장되는 고정부(430)를 갖는다. 여기서, 고정부재(400)는 편위부(420) 없이 삽입부(410)와 고정부(430)가 직접적으로 연결될 수도 있다. 고정부(430)는 축선방향에 대해 가로방향으로 관통 형성되는 수용홀(431)을 갖는다. 한편, 고정부재(400)는 절연부재(300)를 매개로 하지 않고 압전튜브(200)의 결합단부(210)에 직접 결합될 수도 있다.The fixing member 400 is inserted and coupled to the insertion hole 310 of the insulating member 300. The fixing member 400 includes an insertion portion 410 extending along the axial direction and inserted into the insertion hole 310 of the insulating member 300, a flat portion 420 and a flat portion 420 extending in the axial direction in the axial direction 420 extending in the axial direction. Here, the fixing member 400 may be directly connected to the insertion portion 410 and the fixing portion 430 without the placement portion 420. The fixing portion 430 has a receiving hole 431 formed to pass through in the transverse direction with respect to the axial direction. The fixing member 400 may be directly coupled to the coupling end 210 of the piezoelectric tube 200 without interposing the insulating member 300.

고정부(430)의 수용홀(431)에는 전기절연성의 절연막대(500)가 가로방향을 따라 삽입되어 외팔보 형태로 결합된다. 절연막대(500)는 원기둥 형상의 루비(ruby)로 이루어지는 것이 바람직하다. 여기서, 루비는 알루미나에 소량의 크롬이 첨가된 단결정체로서, 절연성능과 내마모성이 우수하며 전체적으로 균일한 물성을 나타낸다. 고정부(430)는 수용홀(431)을 갖지 않을 수 있다. 이때, 절연부재(500)는 고정부(430)에 돌기 홈 방식으로 체결되거나 접착제로 결합될 수 있다.In the receiving hole 431 of the fixing portion 430, an insulating insulating bar 500 is inserted along the transverse direction and is coupled in a cantilevered manner. The insulating rod 500 is preferably made of a cylindrical ruby. Here, ruby is a monocrystalline material to which alumina is added with a small amount of chromium, and has excellent insulating performance and abrasion resistance, and exhibits uniform physical properties as a whole. The fixing portion 430 may not have the receiving hole 431. [ At this time, the insulating member 500 may be fastened to the fixing portion 430 in a protruding groove manner or may be bonded with an adhesive.

절연막대(500)에는 탐침지지부재(600)가 탈착 가능하게 결합된다. 탐침지지부재(600)는 절연막대(500)가 삽입 가능한 삽입홀(611)을 가지고 상호 대향하는 한 쌍의 탄성지지부(610)와, 한 쌍의 탄성지지부(610)의 상호 인접한 연부 간을 연결하며 한 쌍의 탄성지지부(610)가 일정 간격을 유지하도록 탄성력을 제공하는 탄성연결부(620)를 갖는다. 이러한 탐침지지부재(600)는 한 쌍의 탄성지지부(610) 간 간격이 좁아진 상태에서 삽입홀(611)을 통해 외팔보 형태로 지지된 절연막대(500)에 삽입되며, 탄성연결부(620)에 의한 탄성력으로 한 쌍의 탄성지지부(610) 간 간격이 다시 벌어지면서 절연막대(500)에 고정된다. 여기서, 삽입홀(611)은 절연막대(500)의 직경보다 약간 큰 것이 바람직하다.The probe supporting member 600 is detachably coupled to the insulating rod 500. The probe supporting member 600 is connected to a pair of elastic supporting portions 610 having mutually opposite insertion holes 611 into which the insulating rod 500 can be inserted and a pair of elastic supporting portions 610, And an elastic connecting portion 620 that provides an elastic force such that the pair of elastic supporting portions 610 maintain a constant gap. The probe supporting member 600 is inserted into the insulating rod 500 supported in the form of a cantilever through the insertion hole 611 in a state where the gap between the pair of elastic supporting portions 610 is narrowed, The gap between the pair of resilient supporting portions 610 is re-opened by the elastic force and fixed to the insulating rod 500. Here, it is preferable that the insertion hole 611 is slightly larger than the diameter of the insulating bar 500.

탄성연결부(620)에는 탐침(800)이 삽입 지지될 수 있는 탐침지지홀(621)이 형성된다. 한 쌍의 탄성지지부(610)는 탄성연결부(620)를 중심으로 소정 각도 벌어진 형상을 갖는다. 한 쌍의 탄성지지부(610) 중 어느 하나는 탄성지지부(610)의 판면으로부터 외측으로 절곡된 전기접촉부(613)를 갖는다. 이러한 전기접촉부(613)는 작업자가 소형의 탐침지지부재(600)를 다루기 용이하게 하며, 후술할 탐침(800)과 전기적으로 연결되는 전기라인의 접촉부로서 역할을 한다.A probe supporting hole 621 through which the probe 800 can be inserted is formed in the elastic connecting portion 620. The pair of elastic supporting portions 610 have a shape that is opened at a predetermined angle about the elastic connecting portion 620. One of the pair of elastic supporting portions 610 has an electrical contact portion 613 bent outward from the plate surface of the elastic supporting portion 610. The electrical contact 613 facilitates the operator to handle the small probe support member 600 and serves as a contact portion of an electric line electrically connected to the probe 800 to be described later.

탐침(800)은 전기전도성의 금속관(700)에 삽입되어 결합되며, 금속관(700)은 탐침지지홀(621)에 삽입되어 결합된다. 여기서, 탐침지지부재(600)와 금속관(700) 및 탐침(800)은 모두 전기전도체로서 상호 전기적으로 연결된다. 탐침(800)은 금속관(700)을 매개로 하지 않고 탐침지지홀(621)에 직접 결합될 수도 있다.The probe 800 is inserted and coupled to the electrically conductive metal tube 700 and the metal tube 700 is inserted into the probe support hole 621 and coupled. Here, the probe support member 600, the metal tube 700, and the probe 800 are both electrically connected to each other as electrical conductors. The probe 800 may be directly coupled to the probe supporting hole 621 without mediating the metal tube 700. [

이러한 구조를 갖는 탐침유니트는 프레임(110) 내부에 배치되는 지지대(140)와 피드스루(160)를 매개로 조작부(150)와 연결된다. 피드스루(160)에는 축선방향을 따라 관통된 복수의 배선공(161)이 원주방향을 따라 소정 간격을 두고 형성되며, 피드스루(160)의 외경에는 동적 오링(163)이 설치된다. 동적오링(163)은 프레임(110) 축공 내부를 밀폐하는 역할을 한다. 복수의 배선공(161)에는 조작부(150)와 압전튜브(200) 및 전기접촉부(613) 간을 전기적으로 연결하는 전기라인들이 배선된다. 전기라인은 조작부(150)와 탐침(800)을 직접적으로 연결할 수도 있다.The probe unit having such a structure is connected to the manipulation unit 150 through the support rod 140 disposed inside the frame 110 and the feedthrough 160. A plurality of wiring holes 161 penetrating along the axial direction are formed in the feedthrough 160 at predetermined intervals along the circumferential direction. A dynamic O-ring 163 is provided on the outer diameter of the feedthrough 160. The dynamic O-ring 163 seals the inside of the shaft hole of the frame 110. Electric lines for electrically connecting the operating portion 150 and the piezoelectric tube 200 and the electrical contact portion 613 are wired to the plurality of wiring holes 161. The electric line may directly connect the operating unit 150 and the probe 800.

한편, 절연막대(500)는 고정부재(400)에 대해 양팔보 형태로 지지될 수 있다.On the other hand, the insulating bar 500 may be supported on both sides of the fixing member 400 in the form of both arms.

탐침지지부재(600)는 집게 방식, 클램프 방식 등으로 절연막대(500)에 탈착 가능하게 결합될 수도 있다.The probe supporting member 600 may be detachably coupled to the insulating rod 500 by a clamping method, a clamping method, or the like.

이러한 구조에 의해, 다음과 같은 과정에 따라 시편안착부(131)에 안착되는 시편의 비교적 넓은 범위에 대해 탐침(800)을 접촉시킬 수 있다.With this structure, the probe 800 can be brought into contact with a relatively wide range of the specimen that is seated on the specimen seating portion 131 according to the following procedure.

먼저, 작업자는 분석하고자 하는 시편의 영역을 설정한 후 해당 영역 내의 다양한 부위에 탐침(800)의 접촉이 이루어질 수 있도록 탐침(800)이 장착된 탐침지지부재(600)를 절연막대(500)의 길이방향을 따라 이동시키면서 적절한 위치에 배치한다. 그리고 필요에 따라 탐침지지부재(600)를 절연막대(500)의 축선을 중심으로 원주방향을 따라 회전시키면서 탐침(800)이 시편을 향하는 방향을 조절한다. 이렇게 탐침지지부재(600)에 대한 위치 설정이 완료되면, 시편안착부(131)에 시편을 올려놓은 상태로 본 홀더장치를 전자현미경에 장착시킨다.First, the operator sets the region of the specimen to be analyzed, and then moves the probe supporting member 600, which is equipped with the probe 800, to the insulating rod 500 so that the probe 800 can be contacted to various regions within the region. Place it in the proper position while moving along the longitudinal direction. If necessary, the probe support member 600 is rotated in the circumferential direction about the axis of the insulating bar 500 to adjust the direction of the probe 800 toward the test piece. When positioning of the probe supporting member 600 is completed, the holder device is mounted on the electron microscope with the specimen placed on the specimen placing part 131.

그리고 조작부(150)를 통해 압전튜브(200)의 X, Y, Z축 위치를 조절하고, 탐침(800)을 통해 분석하고자 하는 시편의 특정 부위에 전기적 신호를 공급하면서 시편의 특성 및 미세구조의 변화를 관찰하고 분석한다. 여기서, 탐침(800)은 시편에 대해 전기적 신호를 부여하는 역할뿐만 아니라, 시편에서 발생되는 전기적 신호를 수령하는 역할도 할 수 있다.The X, Y, and Z axis positions of the piezoelectric tube 200 are adjusted through the operation unit 150 and an electrical signal is supplied to a specific region of the specimen to be analyzed through the probe 800, Observe and analyze changes. Here, the probe 800 may serve not only to impart an electrical signal to the specimen, but also to receive an electrical signal generated from the specimen.

110: 프레임 130: 시편지지블럭
131: 시편안착부 140: 지지대
150: 조작부 151: X축 조작부
152: Y축 조작부 153: Z축 조작부
160: 피드스루 161: 배선공
163: 오링 200: 압전튜브
210: 결합단부 300: 절연부재
310: 고정부재 삽입공 400: 고정부재
410: 삽입부 420: 편위부
430: 고정부 431: 수용홀
500: 절연막대 600: 탐침지지부재
610: 탄성지지부 611: 삽입홀
613: 전기접촉부 620: 탄성연결부
621: 탐침지지홀 700: 금속관
800: 탐침 10: 탐침 유니트110: frame 130: specimen support block
131: specimen seating part 140:
150: operating part 151: X-axis operating part
152: Y axis control unit 153: Z axis control unit
160: Feedthrough 161: Wiring ball
163: O-ring 200: Piezoelectric tube
210: engaging end 300: insulating member
310: fixing member insertion hole 400: fixing member
410: insertion part 420:
430: fixing part 431: receiving hole
500: insulating rod 600: probe supporting member
610: elastic support portion 611: insertion hole
613: electrical contact portion 620: elastic connection portion
621: probe support hole 700: metal tube
800: Probe 10: Probe unit

Claims

A probe unit for an electron microscope holder device,
A piezoelectric tube extending along the axial direction;
A fixing member supported at one end of the piezoelectric tube;
An insulating rod coupled to the fixing member so as to extend in the axial direction in the transverse direction;
A probe support member detachably coupled to the insulating bar;
And an electrically conductive probe supported by the probe support member,
Wherein the fixing member includes a flat portion extending in the axial direction in the axial direction and a fixing portion extending from the flat portion in the axial direction to support the insulating bar. .

The method according to claim 1,
Wherein the fixing member has the receiving hole penetrating in the transverse direction and one end of the insulating film is inserted into the receiving hole and is supported in a cantilevered manner.

3. The method of claim 2,
Wherein the probe support member comprises:
A pair of elastic supporting portions which have mutually opposite insertion holes into which the insulating film can be inserted and elastic connecting portions which connect adjacent adjacent portions of the pair of elastic supporting portions and which provide an elastic force such that the pair of elastic supporting portions maintain a constant interval, / RTI >
Wherein the probe is supported by the elastic connection portion.

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In a holder device for an electron microscope,
A probe unit according to any one of claims 1 to 3;
A frame having a shaft hole for receiving the piezoelectric tube;
And a specimen-holding block supported on the frame and having a specimen-placing part placed at a position spaced apart from the probe in the axial direction, on which the specimen is placed.