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KR101651880B1 - Apparatus for mocvd - Google Patents

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KR101651880B1
KR101651880B1 KR1020140137955A KR20140137955A KR101651880B1 KR 101651880 B1 KR101651880 B1 KR 101651880B1 KR 1020140137955 A KR1020140137955 A KR 1020140137955A KR 20140137955 A KR20140137955 A KR 20140137955A KR 101651880 B1 KR101651880 B1 KR 101651880B1
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accommodating chamber
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조광일
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주식회사 테스
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Abstract

본 발명은 본 발명은 유기금속화학기상증착장치에 관한 것으로서, 기판수용챔버 내부에 반응공간형성유닛을 구비함으로써 증착장치 내부의 반응공간을 최소화함으로써, 기판수용챔버 내벽면에 반응가스가 기생증착하는 것을 방지하여 반응기 내부의 오염을 최소화할 수 있고, 증착장치의 이너 챔버의 외부 및 기판수용챔버 내부의 유지관리를 위해 교체하는 회수를 줄일 수 있고, 이로서 유지관리를 위한 장치 내부의 교체로 인한 시간과 비용 및 재가동을 위한 시간 및 비용을 절감할 수 있으므로 전체적으로 쓰루풋을 향상시킬 수 있으며, 가스공급부와 가스안내판 및 가스안내판위치조절부에 의해 챔버내의 반응공간에 공급되는 반응가스의 안정적 흐름을 확보하여 박막의 균일도를 향상시킬 수 있다.The present invention relates to an organometallic chemical vapor deposition apparatus and a reaction space forming unit is provided inside a substrate accommodating chamber to minimize a reaction space inside a deposition apparatus to thereby parasitically deposit reaction gas on a wall surface in a substrate accommodating chamber It is possible to minimize the contamination inside the reactor and to reduce the number of times of replacement for maintenance outside the inner chamber of the deposition apparatus and inside the substrate accommodating chamber, The throughput can be improved as a whole and a stable flow of the reaction gas supplied to the reaction space in the chamber can be secured by the gas supply unit, the gas guide plate, and the gas guide plate position adjustment unit The uniformity of the thin film can be improved.

Description

유기금속화학기상증착장치{APPARATUS FOR MOCVD}[0001] APPARATUS FOR MOCVD [0002]

본 발명은 유기금속화학기상증착장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 증착장치의 반응기 내부의 오염을 최소화하고 반응기 내부의 반응공간을 최소화하여 반응가스의 소모량을 절감함과 동시에 반응가스의 안정적 흐름으로 박막의 균일도를 향상시킬 수 있는 유기금속화학기상증착장치에 관한 것이다.
The present invention relates to an organometallic chemical vapor deposition apparatus, and more particularly, to an apparatus for minimizing contamination inside a reactor of a vapor deposition apparatus and minimizing a reaction space inside a reactor, thereby reducing consumption of reaction gas, And an organic metal chemical vapor deposition apparatus capable of improving uniformity of a thin film.

다양한 산업분야에서 고효율의 발광다이오드(LED)가 점차 사용됨에 따라서, 품질이나 성능의 저하 없이 대량으로 생산할 수 있는 장비가 요구되고 있다. 이러한 발광 다이오드의 제조에 유기금속증착 반응기가 널리 사용되고 있다. As high efficiency light emitting diodes (LEDs) are increasingly used in various industrial fields, there is a demand for equipment capable of mass production without deteriorating quality or performance. Organometallic deposition reactors are widely used for the production of such light emitting diodes.

유기금속화학기상증착(MOCVD: Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 장치는 3족알킬(유기금속원료가스) 및 5족 반응가스와 고순도 캐리어 가스와의 혼합가스를 반응실내에 공급하여 가열된 기판 위에서 열 분해하여 화합물 반도체 결정을 성장시키는 장치이다. 이러한 유기금속화학기상증착장치는 서셉터에 기판을 장착하여 상부로부터 가스를 주입하여 기판 상부에 반도체 결정을 성장시킨다.The metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) apparatus supplies a mixed gas of a Group 3 alkyl (organic metal source gas) and a Group 5 reaction gas and a high purity carrier gas to a reaction chamber, Thereby growing compound semiconductor crystals. In such an organometallic chemical vapor deposition apparatus, a substrate is mounted on a susceptor and a gas is injected from above to grow a semiconductor crystal on the substrate.

종래의 유기금속증착장치로서 한국특허 제1026058호에 개시된 바와 같은 유기금속화학기상증착장치가 제안되고 있다. 도 1에 나타낸 종래의 유기금속화학기상증착장치에 있어서는, 챔버 본체와, 화학물질 전달모듈, 진공시스템, 샤워헤드 조립체를 구비하여, 샤워헤드조립체를 통해 반응가스가 챔버내의 반응공간으로 공급되고, 상기 챔버내의 반응공간에서 원격플라즈마에 의해 기판상에 박막이 증착되는 구조이다. As a conventional organic metal vapor deposition apparatus, an organometallic chemical vapor deposition apparatus as disclosed in Korean Patent No. 1026058 has been proposed. In the conventional metal organic chemical vapor deposition apparatus shown in FIG. 1, a chamber body, a chemical substance delivery module, a vacuum system, and a showerhead assembly are provided so that the reaction gas is supplied to the reaction space in the chamber through the showerhead assembly, And a thin film is deposited on the substrate by a remote plasma in the reaction space in the chamber.

그러나, 상기 종래기술에 의한 유기금속화학기상증착증착장치에 있어서는, 챔버내부로 공급된 반응가스가 챔버의 리드(lid) 내부면 및 챔버 측벽의 내부면에 부착되어 챔버 내부가 오염된다. 그리고, 증착 공정이 완료된 후 상기 기판을 교체하기 위하여 챔버를 개방하는 경우 진동이나 충격 등으로 인해 상기 챔버의 내측면에 기생증착된 불순물(particle)들이 기판상으로 떨어져 기판을 오염시킨다. However, in the above-described conventional MOCVD apparatus, the reaction gas supplied into the chamber adheres to the inner surface of the lid of the chamber and the inner surface of the chamber side wall, so that the inside of the chamber is contaminated. When the chamber is opened to replace the substrate after the deposition process is completed, particles that are parasitically deposited on the inner surface of the chamber due to vibration, shock, or the like fall on the substrate and contaminate the substrate.

또한, 종래의 유기금속화학기상증착장치에 있어서는, 상부의 샤워헤드조립체로부터 반응가스를 공급하는 구조로 이루어져 있다. 이 경우 반응가스의 흐름이 원활하지 못하여, 서셉터 상에 안착된 다수의 기판상에 증착되는 박막의 균일도가 저해되는 문제점이 있었다.
In addition, in the conventional metalorganic chemical vapor deposition apparatus, the reaction gas is supplied from the upper showerhead assembly. In this case, there is a problem that the flow of the reaction gas is not smooth and the uniformity of the thin film deposited on the plurality of substrates placed on the susceptor is hindered.

본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 해결하고자 하는 것으로서, 본 발명의 목적은 증착장치 내부의 반응공간을 최소화하여 반응가스의 소모량을 감소시켜 비용을 절감할 수 있고, 반응기 내부의 오염을 최소화하여, 증착장치의 유지관리 주기를 연장하여 쓰루풋을 향상시킬 수 있는 유기금속화학기상증착장치를 제공하는 것이다. It is an object of the present invention to minimize the reaction space inside the deposition apparatus to reduce the consumption of the reaction gas and to reduce the cost, And an object of the present invention is to provide an organometallic chemical vapor deposition apparatus capable of extending a maintenance cycle of a deposition apparatus to improve throughput.

본 발명의 다른 목적은 챔버내의 반응공간에 공급되는 반응가스의 안정적 흐름을 확보하여 박막의 균일도를 향상시킬 수 있는 유기금속화학기상증착장치를 제공하는 것이다.
It is another object of the present invention to provide an organometallic chemical vapor deposition apparatus capable of securing a stable flow of a reaction gas supplied to a reaction space in a chamber to improve the uniformity of a thin film.

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 유기금속화학기상증착장치는, 챔버리드와 외부벽부와 바닥 플랜지부를 포함하는 기판수용챔버와, 상기 기판수용챔버 내부에 배치되고, 기판이 안착되며 안착된 상기 기판을 가열하는 서셉터부와, 반응가스공급원에 연결되어 상기 기판수용챔버내부로 반응가스를 공급하는 가스공급부와, 상기 가스공급부와 배기홀에 연결되며 상기 기판수용챔버 내부에 별도의 반응공간을 형성하여 상기 기판수용챔버 내부의 오염을 최소화하고 반응가스의 소모량을 감소시키는 반응공간형성유닛을 구비하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, an organometallic chemical vapor deposition apparatus according to the present invention comprises: a substrate accommodating chamber including a chamber lid and an outer wall portion and a bottom flange portion; A gas supply part connected to the reaction gas supply source and supplying a reaction gas into the substrate accommodating chamber, and a gas supply part connected to the gas supply part and the exhaust hole, And a reaction space forming unit for forming a reaction space to minimize contamination of the inside of the substrate accommodating chamber and reduce consumption of the reactive gas.

상기 반응공간형성유닛은, 상기 서셉터부의 상부에 배치되는 열차폐리드를 가지는 상부판과, 상기 상부판에 연결되는 측부판과, 상기 서셉터부의 상부면에 대응하는 위치에 개구가 형성된 하부판을 포함하는 것을 특징으로 한다. The reaction space forming unit includes a top plate having a heat shielding lead disposed on the top of the susceptor unit, a side plate connected to the top plate, and a bottom plate having an opening formed at a position corresponding to the top surface of the susceptor unit .

또한, 상기 반응공간형성유닛은 상기 가스공급부의 복수의 가스공급라인에 연결되는 복수의 노즐이 각각 삽입되는 복수의 가스안내판을 구비하며, 상기 복수의 가스안내판 각각은 상기 노즐로부터 상기 서셉터부를 향하여 경사져 형성되는 것을 특징으로 한다. The reaction space forming unit may further include a plurality of gas guide plates into which a plurality of nozzles connected to the plurality of gas supply lines of the gas supply unit are inserted, respectively, and each of the plurality of gas guide plates extends from the nozzle toward the susceptor unit And is inclined.

상기 복수의 가스안내판은 최상단의 제 1 가스안내판의 경사각도가 가장 크고, 하부로 갈수록 점차 경사각도가 감소하도록 설치되는 것을 특징으로 한다. The plurality of gas guide plates are installed such that the inclination angle of the first gas guide plate at the uppermost stage is the largest and the inclination angle gradually decreases toward the lower side.

상기 복수의 가스안내판은 상기 노즐측을 향한 끝단이 상기 노즐을 중심으로 부채꼴 형상으로 형성되는 것을 특징으로 한다. And the plurality of gas guide plates are formed in the shape of a sector having an end toward the nozzle side with the nozzle as a center.

상기 서셉터부는, 복수의 기판이 안착되고 가열되는 히터블럭과, 상기 히터블럭을 둘러싸도록 배치되어 상기 히터블럭을 가열하는 유도가열부와, 상기 히터블럭과 상기 유도가열부 사이에 배치되는 열적 배리어와, 상기 히터블럭을 지지지하는 샤프트를 구비하는 것을 특징으로 한다. The susceptor portion includes a heater block on which a plurality of substrates are placed and heated, an induction heating portion disposed to surround the heater block to heat the heater block, a thermal barrier disposed between the heater block and the induction heating portion, And a shaft for supporting the heater block.

상기 샤프트와 상기 기판수용챔버의 바닥플랜지부 사이에는 씰링부가 형성되는 것을 특징으로 한다. And a sealing portion is formed between the shaft and the bottom flange portion of the substrate accommodating chamber.

상기 가스공급부의 상기 복수의 가스안내판이 체결된 가스가이드블럭에 연결되어 상기 복수의 가스안내판을 상기 서셉터부측을 향하여 전후로 이동시켜 위치를 조절하는 가스안내판위치조절부를 더욱 구비하는 것을 특징으로 한다. And a gas guide plate position adjusting unit connected to the gas guide blocks fastened to the plurality of gas guide plates of the gas supply unit to adjust the position by moving the plurality of gas guide plates back and forth toward the susceptor.

상기 복수의 가스안내판의 상기 서셉터부측을 향한 끝단은 열차폐리드의 하부에 위치되는 것을 특징으로 한다. And an end of the plurality of gas guide plates facing the susceptor portion is positioned below the heat shield.

상기 열차폐리드는 상기 상부판보다 두껍고, 질화붕소로 이루어지는 것을 특징으로 한다. The heat shielding lid is thicker than the top plate and is made of boron nitride.

상기 챔버리드와 상기 바닥플랜지부에는 냉각매체가 유동하는 냉각유로가 형성되는 것을 특징으로 한다.
And a cooling channel through which the cooling medium flows is formed in the chamber lid and the bottom flange portion.

상술한 구성을 가지는 본 발명에 의하면, 상기 반응공간형성유닛(40)을 구비함으로써 기판수용챔버(10) 내부에 별도의 반응공간을 형성하여 증착장치 내부의 반응공간을 최소화함으로써, 반응가스의 소모량을 감소시켜 비용을 절감할 수 있고, 반응기 내부의 오염을 최소화할 수 있다. According to the present invention having the above-described configuration, by providing the reaction space forming unit 40, a separate reaction space is formed in the substrate accommodating chamber 10 to minimize the reaction space inside the deposition apparatus, The cost can be reduced, and the contamination inside the reactor can be minimized.

이로써 기판수용챔버 내부에 가스반응 격리벽으로 기능하는 상기 반응공간형성유닛에 의해 반응가스의 라미나 플로우(laminar flow)를 유지할 수 있고, 기판수용챔버 내부의 파티클 오염을 최소화하여 상기 반응공간형성유닛의 외부 및 기판수용챔버의 내부의 유지관리를 위한 교체주기를 연장할 수 있고, 교체로 인한 시간과 비용 및 재가동을 위한 시간 및 비용을 절감할 수 있으므로 전체적으로 쓰루풋을 향상시킬 수 있다. Thus, the laminar flow of the reaction gas can be maintained by the reaction space forming unit functioning as the gas reaction isolation wall in the substrate accommodating chamber, and the contamination of the particles in the substrate accommodating chamber can be minimized, The replacement cycle for maintenance of the outside of the substrate accommodating chamber and the inside of the substrate accommodating chamber can be extended, time and cost due to replacement and time and cost for restarting can be reduced, and the throughput as a whole can be improved.

또한, 상기 가스공급부와 상기 가스안내판 및 상기 가스안내판위치조절부에 의해 챔버내의 반응공간에 공급되는 반응가스의 안정적 흐름을 확보하여 박막의 균일도를 향상시킬 수 있다.
In addition, the gas supply unit, the gas guide plate, and the gas guide plate position adjustment unit can secure a stable flow of the reaction gas supplied to the reaction space in the chamber, thereby improving the uniformity of the thin film.

도 1은 종래기술에 의한 유기금속화학기상증착장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명에 의한 유기금속화학기상증착장치를 나타내는 단면도이다.
도 3은 본 발명에 의한 유기금속화학기상증착장치의 가스공급부 및 반응공간형성유닛을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 가스공급부 및 반응공간형성유닛을 나타내는 평면도이다.
도 5는 도 4의 단면도이다. 1 is a view showing an organometallic chemical vapor deposition apparatus according to the prior art.
2 is a cross-sectional view illustrating an apparatus for depositing an organometallic chemical vapor according to the present invention.
3 is a view showing a gas supply unit and a reaction space forming unit of the apparatus for metalorganic chemical vapor deposition according to the present invention.
4 is a plan view showing the gas supply unit and the reaction space forming unit of the present invention.
5 is a cross-sectional view of Fig.

이하에서는 첨부도면을 참조하여, 본 발명에 의한 유기금속화학기상증착장치를 실시예로써 상세하게 설명한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an apparatus for depositing an organometallic chemical vapor deposition apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 의한 유기금속화학기상증착장치(1)를 나타내는 도면이다. 2 is a view showing an apparatus 1 for depositing an organometallic chemical vapor according to the present invention.

도 2에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 의한 유기금속화학기상증착장치(1)는 기판수용챔버(10)와, 서셉터부(20)와, 가스공급부(30)와, 반응공간형성유닛(40)를 구비한다. 2, the organometallic chemical vapor deposition apparatus 1 according to the present invention includes a substrate accommodating chamber 10, a susceptor 20, a gas supply unit 30, a reaction space forming unit 40 .

상기 기판수용챔버(10)는 챔버의 상부를 덮는 챔버리드(11)와, 상기 챔버리드(11)에 체결되며 챔버의 측부를 덮는 외부벽부(12)와, 챔버의 하부 바닥면을 형성하는 바닥플랜지부(13)를 구비한다. The substrate accommodating chamber 10 includes a chamber lid 11 covering an upper portion of the chamber, an outer wall portion 12 fastened to the chamber lid 11 and covering a side portion of the chamber, And a flange portion (13).

상기 챔버리드(11)는 상기 외부벽부(12)에 볼트 등의 체결수단을 통해 분리가능하게 체결될 수 있으며, 상기 챔버리드(11)에는 냉각유로(11a)를 형성할 수 있다. 상기 냉각유로(11a)에는 냉각수 또는 냉각가스 등 냉각매체가 유동되도록 구성되어, 상기 기판수용챔버(10) 내의 증착공정에서 발생하는 고온의 열에 의해 가열된 상기 기판수용챔버(10)를 냉각시키도록 구성된다. The chamber lid 11 can be detachably fastened to the outer wall portion 12 through a fastening means such as a bolt or the like and a cooling channel 11a can be formed in the chamber lid 11. [ The cooling passage 11a is configured to allow a cooling medium such as cooling water or a cooling gas to flow so as to cool the substrate accommodating chamber 10 heated by the high temperature heat generated in the deposition process in the substrate accommodating chamber 10 .

또한, 상기 챔버리드(11)에는 후술하는 반응공간형성유닛(40)내에서 기판상에 증착되는 박막을 광학적으로 측정하기 위한 광학센서(51)의 광측정 통로로서 기능하는 센서튜브(52)가 설치되어 있다. 여기서, 상기 센서튜브(52)에는 퍼지가스를 도입하여 상기 반응공간형성유닛(40)으로부터 반응가스가 상기 센서튜브(52)로 배출되는 것을 방지하도록 구성된다. The chamber lid 11 is also provided with a sensor tube 52 functioning as a light measuring passage of an optical sensor 51 for optically measuring a thin film deposited on a substrate in a reaction space forming unit 40 Is installed. A purge gas is introduced into the sensor tube 52 to prevent the reaction gas from being discharged from the reaction space forming unit 40 to the sensor tube 52.

상기 외부벽부(12)는 상기 챔버리드(11)에 체결되며, 상기 기판수용챔버(10)의 측부를 덮도록 구성된다. 상기 외부벽부(12)에는 배기홀(14)이 형성되며, 상기 배기홀(14)은 가스배기라인(도시하지 않음)에 연결되어, 증착공정의 완료후에 상기 반응공간형성유닛(40)에 잔류하는 반응가스를 상기 배기홀(14)과 상기 가스배기라인(도시하지 않음)을 통해 상기 기판수용챔버(10)의 외부로 배출하도록 구성된다. The outer wall portion 12 is fastened to the chamber lid 11 and is configured to cover the side of the substrate accommodating chamber 10. An exhaust hole 14 is formed in the outer wall portion 12 and the exhaust hole 14 is connected to a gas exhaust line (not shown), so that after the completion of the deposition process, To the outside of the substrate accommodating chamber (10) through the exhaust hole (14) and the gas exhaust line (not shown).

또한, 상기 외부벽부(12)의 내부에는 내부벽부(12a)를 더욱 구비할 수 있다. 상기 내부벽부(12)에는 상기 반응공간형성유닛(40)이 삽입 관통하여 설치되어, 상기 반응공간형성유닛(40)이 안정적으로 설치될 수 있도록 구성된다. In addition, the inner wall 12a may be further provided in the outer wall 12. The reaction space forming unit 40 is inserted through the inner wall part 12 so that the reaction space forming unit 40 can be stably installed.

상기 기판수용챔버의 하부에는 바닥플랜지부(13)가 마련된다. 상기 바닥플랜지부(13)에는 냉각유로(13a)를 형성할 수 있다. 상기 냉각유로(13a)에는 냉각수 또는 냉각가스 등 냉각매체가 유동되도록 구성되어, 상기 기판수용챔버(10) 내의 증착공정에서 발생하는 고온의 열에 의해 가열된 상기 기판수용챔버(10)를 냉각시키도록 구성된다.
A bottom flange portion 13 is provided under the substrate accommodating chamber. A cooling flow path 13a can be formed in the bottom flange portion 13. The cooling passage 13a is formed so that a cooling medium such as cooling water or a cooling gas flows to cool the substrate accommodating chamber 10 heated by the high temperature heat generated in the deposition process in the substrate accommodating chamber 10 .

상기 기판수용챔버 내부에는 기판(W)이 안착되는 서셉터부(20)가 배치된다. A susceptor 20 on which the substrate W is placed is disposed in the substrate accommodating chamber.

상기 서셉터부(20)는, 기판(W)이 안착되고 가열되는 히터블럭(21)과, 상기 히터블럭(21)을 지지하며 회전시키는 샤프트(22)와, 씰링부(23)와, 상기 히터블럭(21)을 가열하는 유도가열부(24)를 포함한다. The susceptor unit 20 includes a heater block 21 on which the substrate W is placed and heated, a shaft 22 for supporting and rotating the heater block 21, a sealing unit 23, And an induction heating portion 24 for heating the heater block 21.

상기 히터블럭(21)은, 상부면에 복수의 기판(W)이 안착될 수 있도록 복수의 홈이 마련되어 있다. The heater block 21 is provided with a plurality of grooves on the upper surface thereof so that a plurality of substrates W can be seated thereon.

상기 샤프트(22)는 일끝단은 상기 히터블럭(21)에 연결되고, 타끝단은 상기 기판수용챔버(10)의 상기 바닥플랜지부(13)를 관통하여 상기 기판수용챔버(10)의 외부에 배치된 회전구동부(도시하지 않음)에 연결되어, 상기 히터블럭(21)을 지지하면서 회전시키도록 구성되어 있다. 상기 샤프트(22)의 내부에는 열전쌍(22a)이 설치되어 상기 유도가열부(24)에 의해 가열되는 상기 히터블럭(21)의 온도를 측정하여 제어할 수 있도록 구성된다. One end of the shaft 22 is connected to the heater block 21 and the other end is connected to the outside of the substrate accommodating chamber 10 through the bottom flange portion 13 of the substrate accommodating chamber 10 (Not shown) arranged to rotate the heater block 21 while supporting the heater block 21. A thermocouple 22a is installed in the shaft 22 to measure and control the temperature of the heater block 21 heated by the induction heating portion 24. [

상기 샤프트(22)와 상기 기판수용챔버(10)의 상기 바닥플랜지부(13) 사이에는 씰링부(23)가 마련되어, 회전하는 상기 샤프트(22)와 상기 바닥플랜지부(13) 사이의 공간을 밀봉하도록 구성된다. 상기 씰링부(23)에는 유체씨일이 충진되며, 본 실시예에 있어서 상기 유체씨일은 마그네틱의 자력에 의해 외부와의 공극을 기밀하게 밀봉하는 자성유체씨일로 구성될 수 있다.A sealing portion 23 is provided between the shaft 22 and the bottom flange portion 13 of the substrate accommodating chamber 10 so that a space between the rotating shaft 22 and the bottom flange portion 13 . The sealing portion 23 is filled with a fluid seal. In this embodiment, the fluid seal may be formed of a magnetic fluid seal sealing the air gap with the outside by the magnetic force of the magnet.

또한, 상기 씰링부(23)의 상부에는 상기 샤프트(22)를 둘러싸며 증착공정 과정에서 발생하는 고온의 열이 상기 반응기 챔버(10) 및 상기 씰링부(23)로 전달되는 것을 방지하는 단열부(26)를 더욱 설치할 수 있다. The upper part of the sealing part 23 surrounds the shaft 22 and prevents heat of high temperature generated during the deposition process from being transmitted to the reactor chamber 10 and the sealing part 23. [ (26) can be further provided.

상기 유도가열부(24)는, 예를 들면 상기 히터블럭(21)을 둘러싸는 인덕션 코일로 형성되어, 상기 유도가열부(24)의 내측에 배치된 상기 히터블럭(21)을 가열하도록 구성된다. The induction heating portion 24 is formed, for example, of an induction coil surrounding the heater block 21 so as to heat the heater block 21 disposed inside the induction heating portion 24 .

상기 유도가열부(24)와 상기 히터블럭(21)과의 사이에는 열적 배리어(25)를 더욱 구비할 수 있다. 상기 열적 배리어(25)는 상기 유도가열부(24)에 의해 가열된 상기 히터블럭(21) 의 고온의 열이 상기 기판수용챔버(10) 내부로 전달되는 것을 방지할 뿐만 아니라 상기 유도가열부(24)도 상기 히터블럭(21)의 고온의 열로부터 보호할 수 있다. 본 실시예에 있어서, 상기 열적 배리어(25)는 예를 들면 고온에 안정적이고 열반사율이 높은 질화붕소의 재질로 형성될 수 있다.
A thermal barrier 25 may further be provided between the induction heating portion 24 and the heater block 21. The thermal barrier 25 prevents the high temperature heat of the heater block 21 heated by the induction heating portion 24 from being transferred into the substrate accommodating chamber 10, 24 can also be protected from the high temperature heat of the heater block 21. In this embodiment, the thermal barrier 25 may be formed of, for example, a material of boron nitride which is stable at high temperatures and has high heat reflectivity.

한편, 상기 기판수용챔버의 일측에는 가스공급부(30)가 설치된다. 상기 가스공급부(30)는 복수의 가스공급라인(도시하지 않음)에 각각 연결되는 복수의 가스공급포트(31)를 구비하며, 상기 복수의 가스공급라인에는 복수의 가스공급원(도시하지 않음)으로부터 반응가스가 공급된다.Meanwhile, a gas supply unit 30 is installed on one side of the substrate accommodating chamber. The gas supply unit 30 includes a plurality of gas supply ports 31 connected to a plurality of gas supply lines (not shown), and the plurality of gas supply lines are connected to a plurality of gas supply sources The reaction gas is supplied.

상기 복수의 가스공급포트(31)는, 예를 들면 Ⅲ족, Ⅴ족 반응가스가 각각 공급되는 반응가스공급라인에 연결되는 반응가스공급포트(31b, 31c)와, 상기 반응가스공급포트의 상부에 마련되며 상기 반응가스의 열적 대류를 방지하고 상기 반응가스가 상기 기판(W)상에 안정적으로 공급되도록 상기 반응가스를 누르는 누름가스가 공급되는 누름가스공급포트(31a)로 구성될 수 있다. The plurality of gas supply ports 31 include reaction gas supply ports 31b and 31c connected to reaction gas supply lines to which Group III and V group reaction gases are respectively supplied, And a pressurized gas supply port 31a for supplying pressurized gas that pressurizes the reactant gas to prevent the thermal convection of the reactant gas and stably supply the reactant gas onto the substrate W. [

여기서, 상기 반응가스공급포트는 단일의 반응가스공급포트로 구성될 수 있음은 물론이다. 또한, 상기 반응가스공급포트(31b, 31c) 및 누름가스공급포트(31a) 이외에, 퍼지가스공급포트(31d)를 더욱 구비할 수 있다. Here, the reaction gas supply port may be a single reaction gas supply port. In addition to the reaction gas supply ports 31b and 31c and the push gas supply port 31a, a purge gas supply port 31d may further be provided.

상기 복수의 가스공급포트(31a, 31b, 31c, 31d)는 각각 가스가이드블럭(35)에 연결되며 각각의 가스가이드블럭(35)의 끝단에는 공급된 반응가스와 누름가스를 상기 기판수용챔버(10)의 내부로 분사하기 위한 노즐(32)이 마련된다. The plurality of gas supply ports 31a, 31b, 31c and 31d are respectively connected to the gas guide block 35. The reaction gas and the pressurized gas supplied to the ends of the gas guide blocks 35 are introduced into the substrate accommodating chamber The nozzle 32 for spraying the ink into the inside of the ink tank 10 is provided.

상기 노즐(32)은, 도 4에 나타낸 바와 같이, 후술하는 복수의 가스안내판(45) 사이에 삽입되어, 복수의 가스안내판(45)에 의해 형성되는 가스안내로를 통해 가스가 유동되도록 구성된다.
4, the nozzle 32 is inserted between a plurality of gas guide plates 45 to be described later so as to flow the gas through a gas guide path formed by the plurality of gas guide plates 45 .

한편, 본 발명에 의한 유기금속화학기상증착장치(1)는 상기 기판수용챔버(10)의 내부에 설치되는 반응공간형성유닛(40)을 더욱 구비한다. Meanwhile, the apparatus for depositing organometallic chemical vapor 1 according to the present invention further includes a reaction space forming unit 40 installed inside the substrate accommodating chamber 10.

상기 반응공간형성유닛(40)은 상기 챔버리드에 대응하는 측에 설치되는 상부판(41)과, 측부판(42)와, 상기 서셉터부에 대응하는 측에 설치되는 하부판(43)을 포함하며, 상기 반응공간형성유닛에 반응가스가 공급되는 측과 상기 배기홀에 연통되는 측이 개구된다. The reaction space forming unit 40 includes an upper plate 41 provided on the side corresponding to the chamber lid, a side plate 42 and a lower plate 43 provided on the side corresponding to the susceptor unit And a side of the reaction space forming unit to which the reaction gas is supplied and a side communicating with the exhaust hole are opened.

상기 반응공간형성유닛(40)의 일측은 상기 기판수용챔버(10)의 내부벽부를 관통하여 상기 가스공급부(30)의 상기 가스가이드블럭(35)에 체결되고, 타측은 상기 외부벽부(12)에 형성된 배기홀(14)에 연통하도록 구성된다.
One side of the reaction space forming unit 40 penetrates through the inner wall of the substrate accommodating chamber 10 and is fastened to the gas guide block 35 of the gas supply unit 30 while the other side is connected to the outer wall 12 And is configured to communicate with the exhaust hole 14 formed therein.

상기 반응공간형성유닛의 상기 상부판(41)에는 열차폐리드(44)를 설치할 수 있다. 상기 열차폐리드(44)는, 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 상기 히터블럭(21)에 대향하는 위치에 설치되며, 상기 상부판보다 두껍고, 상기 히터블럭(21)의 상부면을 향하여 돌출되어, 상기 히터블럭(21)에 안착된 기판(W) 위의 반응공간을 더욱 작게 형성할 수 있다. The top plate (41) of the reaction space forming unit may be provided with a heat shielding lead (44). 2 and 3, the heat shielding lid 44 is provided at a position opposite to the heater block 21, and is thicker than the upper plate, and extends toward the upper surface of the heater block 21 So that the reaction space on the substrate W mounted on the heater block 21 can be further reduced.

또한, 상기 열차폐리드(44)는 상기 상부판(41)과 일체형으로 체결되며, 교체가 용이하도록 상기 상부판(41)과 분리가능하게 구성된다. 또한, 상기 열차폐리드(44)는, 예를 들면 고온에 안정적이고 열반사율이 높은 질화붕소의 재질로 형성될 수 있다. The heat shielding lid 44 is integrally fastened to the upper plate 41 and is detachable from the upper plate 41 so as to be easily replaced. Further, the heat shielding lid 44 may be formed of, for example, boron nitride which is stable at high temperature and has high heat reflectance.

상기 기판수용챔버(10) 내부의 온도는 1000℃ 이상의 고온에 이르기 때문에 상기 히터블럭(21)을 감싸고 있는 열적 배리어(25)와 상기 열차폐리드(44)를 질화붕소 소재를 이용함으로 고온에 안정적으로 구성한다. Since the temperature inside the substrate accommodating chamber 10 reaches a high temperature of 1000 ° C or more, the thermal barrier 25 surrounding the heater block 21 and the heat shielding lid 44 are made of a boron nitride material, .

이로써, 열반사율이 높은 상기 열차폐리드(44)에 의해 기판을 효율적으로 가열함과 동시에 기판의 가열에 소요되는 소비전력을 효율적으로 저감시킬 수 있다. 또한, 기판상에 박막이 성장하는 과정에서 증착공정의 화학적 반응에 의해 부산물이 집중적으로 발생하는 위치에 상기 열차폐리드를 설치하여 부품의 교체주기를 연장함으로써 스루풋을 향상시킬 수 있다.
As a result, the heat-shielded leads 44 having a high heat reflectance can efficiently heat the substrate and efficiently reduce the power consumption required for heating the substrate. In addition, it is possible to improve the throughput by extending the replacement cycle of parts by installing the heat shielding reed at a position where byproducts are intensively generated by the chemical reaction in the process of growing the thin film on the substrate.

상기 하부판(43)은 상기 히터블럭(21)의 상부면에 대응하는 위치에 개구부를 갖도록 구성된다. 즉, 상기 하부판(43)의 개구부의 위치는 상기 히터블럭(21)의 끝단의 위치 또는 기판(W)이 안착되는 위치에 형성되어, 상기 하부판(43)의 개구부의 위치에서 상기 반응가스 및/또는 누름가스가 기판상에 공급되도록 구성될 수 있다.
The lower plate 43 is configured to have an opening at a position corresponding to the upper surface of the heater block 21. That is, the position of the opening of the lower plate 43 is formed at the position of the end of the heater block 21 or the position where the substrate W is seated, so that the reaction gas and / Or push gas may be supplied onto the substrate.

또한, 상기 반응공간형성유닛은 복수의 가스안내판(45)을 구비한다. 상기 가스안내판(45)은 상기 반응공간형성유닛(40) 내에서 상기 가스공급부(30)측에 설치되어 공급되는 반응가스 및/또는 누름가스를 기판상으로 안정적으로 안내하도록 구성된다. Further, the reaction space forming unit includes a plurality of gas guide plates (45). The gas guide plate 45 is configured to stably guide the reaction gas and / or the pressurized gas supplied to the gas supply unit 30 side in the reaction space forming unit 40 on the substrate.

상기 복수의 가스안내판(45)은, 도 5에 나타낸 바와 같이, 상기 반응공간형성유닛(40)의 측부판에 체결되며, 복수의 가스공급라인에 연결되는 복수의 노즐(32)이 각각 삽입되도록 구성된다. 5, the plurality of gas guide plates 45 are connected to the side plates of the reaction space forming unit 40 so that a plurality of nozzles 32 connected to the plurality of gas supply lines are inserted respectively .

예를 들면, 최상단의 제 1 가스안내판(45a)과 그 하부의 제 2 가스안내판(45b) 사이에는 누름가스가 공급되는 누름가스공급포트(31a)에 연결되는 노즐(32)이 삽입되어, 상기 최상단의 제 1 가스안내판(45a)과 그 하부의 제 2 가스안내판(45b)에 의해 형성되는 가스안내로를 통해 누름가스가 유동되도록 구성된다. 또한, 상기 제 2 가스안내판(45b)와 제 3 가스안내판(45c) 사이 및 제 3 가스안내판(45c)과 상기 하부판(43) 사이에는 반응가스가 공급되는 반응가스공급포트(31b, 31c)에 연결되는 노즐(32)이 각각 삽입되어, 상기 제 2 및 제 3 가스안내판(45b, 45c)과 하부판에 의해 형성되는 가스안내로를 통해 반응가스가 유동되도록 구성될 수 있다.
For example, a nozzle 32 connected to the push gas supply port 31a to which the push gas is supplied is inserted between the uppermost first gas guide plate 45a and the lower second gas guide plate 45b, The pressurized gas flows through the gas guide path formed by the uppermost first gas guide plate 45a and the lower second gas guide plate 45b. Between the second gas guide plate 45b and the third gas guide plate 45c and between the third gas guide plate 45c and the lower plate 43 are provided reaction gas supply ports 31b and 31c The nozzles 32 to be connected to the first and second gas guide plates 45b and 45c and the lower plate may be inserted to allow the reaction gas to flow through the gas guide path formed by the second and third gas guide plates 45b and 45c and the lower plate.

또한, 상기 복수의 가스안내판(45)의 타끝단, 즉 가스안내판(45)의 상기 서셉터부(20)측을 향한 끝단은 상기 열차폐리드(44)의 하부에 위치되도록 구성되는 것이 바람직하다.It is preferable that the other end of the plurality of gas guide plates 45, that is, the end of the gas guide plate 45 toward the susceptor 20 side is positioned below the heat shield lid 44 .

또한, 상기 복수의 가스안내판(45) 각각은 상기 노즐(32)측로부터 상기 서셉터부(20)를 향하여 경사져 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 복수의 가스안내판(45)의 경사각도는 서로 다르게 형성될 수 있다. Each of the plurality of gas guide plates 45 is preferably formed to be inclined from the nozzle 32 toward the susceptor 20. In addition, the inclination angles of the gas guide plates 45 may be different from each other.

예를 들면, 최상단의 제 1 가스안내판(45a)의 경사각도가 가장 크고, 그 하부로 갈수록 점차 경사각도가 감소하도록 설치하여, 상기 제 1 내지 제 3 가스안내판들(45a, 45b, 45c)에 의해 형성되는 가스안내로가 상기 기판(W)을 향하여 점차 감소하도록 형성함으로써, 공급되는 가스의 흐름을 상기 기판(W)상을 향하여 안정적으로 이루어지도록 구성할 수 있다. For example, the first gas guide plate 45a at the uppermost stage has the largest inclination angle, and the inclination angle gradually decreases toward the lower end thereof, and the first to third gas guide plates 45a, 45b, 45c So that the flow of the supplied gas can be stably performed toward the substrate W. The gas flow path formed by the gas guide path is formed to be gradually reduced toward the substrate W. [

또한, 상기 가스안내판(45)을 경사지게 형성하고, 상하로 인접하는 가스안내판에 의해 가스안내로를 형성함으로써 공급되는 가스들이 기판 상부의 반응공간 이전에 혼합되어 기상반응하고 기생증착하는 것을 방지하고 반응가스의 소모량을 줄일 수 있다.
In addition, the gas guide plate 45 is inclined, and the gas guide paths are formed by vertically adjoining gas guide plates to prevent gas supplied before the reaction space above the substrate from vapor-phase reaction and parasitic deposition, The consumption of gas can be reduced.

또한, 상기 가스안내판(45)의 일끝단, 즉 상기 가스안내판(45)의 상기 노즐(32)측을 향한 끝단은, 도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 노즐(32)을 중심으로 부채꼴 형상으로 형성되어, 상기 노즐(32)로부터 분사된 가스가 상기 가스안내판(45)을 따라 부채꼴 모양으로 점차 확산되도록 구성되어, 공급되는 반응 가스의 안정적 확산이 이루어지도록 구성될 수 있다.
4, an end of the gas guide plate 45, that is, an end of the gas guide plate 45 facing the nozzle 32 side is formed into a sector shape around the nozzle 32 So that the gas injected from the nozzle 32 is gradually diffused in a fan shape along the gas guide plate 45 so that the supplied reactive gas is stably diffused.

한편, 본 발명에 의한 유기금속화학기상증착장치(1)는 가스안내판위치조절부(33)를 더욱 구비할 수 있다. Meanwhile, the organometallic chemical vapor deposition apparatus 1 according to the present invention may further include a gas guide plate position adjusting unit 33.

상기 가스안내판위치조절부(33)는 가이드 바(34)가 관통되도록 설치되어 상기 가이드바(34)를 따라 전후로 이동가능하게 설치된다. 상기 가이드 바(34)는 일끝단이 상기 기판수용챔버(10)의 외부벽부(12)에 체결되고, 타끝단은 상기 기판수용챔버(10)의 내부벽부(12a)에 체결되도록 구성된다. 또한, 상기 가스안내판위치조절부(33)는 상기 복수의 가스안내판(45)이 체결된 상기 가스가이드블럭(35)에 브라켓이나 볼트 등의 수단에 의해 체결된다. 상기 가스안내판위치조절부(33)를 상기 가이드 바(34)를 따라 전후로 이동시킴으로써, 상기 가스안내판위치조절부(33)에 체결된 상기 가스가이드블럭(35)이 전후로 이동될 수 있다. The gas guide plate position adjusting unit 33 is installed to allow the guide bar 34 to pass therethrough and is movable back and forth along the guide bar 34. One end of the guide bar 34 is fastened to the outer wall portion 12 of the substrate accommodating chamber 10 and the other end of the guide bar 34 is fastened to the inner wall portion 12a of the substrate accommodating chamber 10. The gas guide plate position adjusting portion 33 is fastened to the gas guide block 35 to which the plurality of gas guide plates 45 are fastened by bracket or bolt. The gas guide block 35 fastened to the gas guide plate position adjusting part 33 can be moved back and forth by moving the gas guide plate position adjusting part 33 back and forth along the guide bar 34. [

이로써 상기 가스가이드블럭(35)에 설치된 복수의 가스안내판(45)의 위치를 상기 서셉터부(20)측을 향하여 전후로 이동시켜 상기 반응가스 및/또는 누름가스의 기판(W)상의 공급위치를 조절할 수 있다.
The position of the plurality of gas guide plates 45 provided on the gas guide block 35 is moved back and forth toward the susceptor portion 20 so that the supply position of the reactive gas and / Can be adjusted.

상술한 바와 같이, 가스공급라인의 상단에 위치한 누름가스는 Ⅲ족, Ⅴ족 반응가스를 상단에서 누름으로써 고온 공정으로 인해 발생하는 열적 대류를 억제하는 역할을 하며, Ⅲ족, Ⅴ족 반응가스와 퍼지가스의 Flow Ratio값을 적절히 조절함으로써 박막 성장률이 현저히 개선될 수 있다. As described above, the pushing gas located at the upper end of the gas supply line functions to suppress the thermal convection caused by the high-temperature process by pressing the Group III and Group V reactants at the upper portion, and the Group III and Group V reaction gases By appropriately adjusting the flow ratio of the purge gas, the growth rate of the thin film can be remarkably improved.

또한 상기 가스안내판(45)의 분사구 쪽에 정체되어있는 반응가스들을 상기 누름가스에 의해 상기 반응공간형성유닛(40) 내의 반응공간으로 밀어주고 퍼트려 줌으로써 상기 가스안내판(45)의 경사진 끝단부분에서의 반응 가스의 소진(Depletion)에 의한 박막의 균일도 저하를 방지할 수 있다. The reaction gas stagnated at the injection port side of the gas guide plate 45 is pushed and spread to the reaction space in the reaction space forming unit 40 by the pushing gas so that the gas at the inclined end portion of the gas guide plate 45 The uniformity of the thin film due to the depletion of the reaction gas can be prevented.

또한, 상기 서셉터부(20)의 상부의 상기 열차폐리드(44)에 열분해로 인한 화학적 반응으로 기판 이외의 부품에 박막 성장하는걸 억제할 수 있다. 이에 따라 반응공간형성유닛 내부의 부품의 교체회수 및 유지관리 회수를 감소시켜 스루풋을 향상시킬 수 있다.
In addition, it is possible to suppress thin film growth on parts other than the substrate due to a chemical reaction due to thermal decomposition in the heat shielding leads 44 on the upper part of the susceptor part 20. [ Accordingly, it is possible to reduce the number of replacement and maintenance of components in the reaction space forming unit, thereby improving the throughput.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the inventions. It will be apparent to those of ordinary skill in the art.

1 ; 유기금속화학기상증착장치
10 : 기판수용챔버
20 : 서셉터부
30 : 가스공급부
40 : 반응공간형성유닛One ; Organometallic Chemical Vapor Deposition Device
10: substrate accommodating chamber
20: susceptor part
30: gas supply unit
40: reaction space forming unit

Claims (11)

챔버리드와 외부벽부와 바닥 플랜지부를 포함하는 기판수용챔버와,
상기 기판수용챔버 내부에 배치되고, 복수의 기판이 안착되고 가열되는 히터블럭 및 상기 히터블럭을 둘러싸도록 배치되어 상기 히터블럭을 가열하는 유도가열부를 포함하는 서셉터부와,
상기 기판수용챔버내부로 반응가스를 공급하는 가스공급부와 배기홀에 연통되며 상기 기판수용챔버 내부에 별도의 반응공간을 형성하는 반응공간형성유닛을 구비하고,
상기 반응공간형성유닛은 내부에 복수의 가스안내판을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 유기금속화학기상증착장치.
A substrate receiving chamber including a chamber lid and an outer wall portion and a bottom flange portion,
A susceptor portion disposed in the substrate accommodating chamber, the susceptor portion including a heater block on which a plurality of substrates are mounted and heated, and an induction heating portion disposed to surround the heater block and heating the heater block;
And a reaction space forming unit communicating with the exhaust hole and forming a separate reaction space in the substrate accommodating chamber,
Wherein the reaction space forming unit further comprises a plurality of gas guide plates inside.
제 1 항에 있어서, 상기 반응공간형성유닛은,
상부판과, 상기 상부판에 연결되는 측부판과, 상기 히터블럭의 상부면에 대응하는 위치에 개구가 형성된 하부판을 구비하고,
상기 상부판은 상기 상부판과 결합되는 열차폐리드를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 유기금속화학기상증착장치.
The apparatus according to claim 1, wherein the reaction space forming unit comprises:
A side plate connected to the upper plate, and a lower plate having an opening formed at a position corresponding to an upper surface of the heater block,
Wherein the top plate further comprises a heat shielding lead coupled to the top plate.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 복수의 가스안내판은 최상단의 제 1 가스안내판의 경사각도가 가장 크고, 하부로 갈수록 점차 경사각도가 감소하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 유기금속화학기상증착장치.
The method according to claim 1,
Wherein the plurality of gas guide plates are installed such that the inclination angle of the uppermost first gas guide plate is the largest and the inclination angle gradually decreases toward the lower side.
제 1 항에 있어서,
상기 복수의 가스안내판 사이에 삽입되는 노즐을 더 구비하고,
상기 노즐로부터 분사된 가스는 상기 가스안내판을 따라 부채꼴 형상으로 확산되는 것을 특징으로 하는 유기금속화학기상증착장치.
The method according to claim 1,
Further comprising a nozzle inserted between the plurality of gas guide plates,
Wherein the gas injected from the nozzle is diffused in a fan shape along the gas guide plate.
제 1 항에 있어서,
상기 히터블럭과 상기 유도가열부 사이에는 열적 배리어가 배치되는 것을 특징으로 하는 유기금속화학기상증착장치.
The method according to claim 1,
And a thermal barrier is disposed between the heater block and the guide heating portion.
제 6 항에 있어서,
상기 히터블럭을 지지하는 샤프트와 상기 기판수용챔버의 바닥플랜지부 사이에는 씰링부가 형성되는 것을 특징으로 하는 유기금속화학기상증착장치.
The method according to claim 6,
Wherein a sealing portion is formed between a shaft supporting the heater block and a bottom flange portion of the substrate accommodating chamber.
제 1 항에 있어서,
상기 가스공급부의 상기 복수의 가스안내판이 체결된 가스가이드블럭에 연결되어 상기 복수의 가스안내판을 상기 서셉터부측을 향하여 전후로 이동시켜 위치를 조절하는 가스안내판위치조절부를 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 유기금속화학기상증착장치.
The method according to claim 1,
Further comprising a gas guide plate position adjusting unit connected to the gas guide block fastened to the plurality of gas guide plates of the gas supply unit to adjust the position by moving the plurality of gas guide plates back and forth toward the susceptor side. Metal Chemical Vapor Deposition Apparatus.
제 2 항에 있어서,
상기 서셉터부를 향하여 경사진 복수의 가스안내판의 끝단은 상기 열차폐리드의 하부에 위치되는 것을 특징으로 하는 유기금속화학기상증착장치.
3. The method of claim 2,
And an end of a plurality of gas guide plates inclined toward the susceptor portion is positioned below the heat shielding reed.
제 2 항에 있어서,
상기 열차폐리드는 상기 상부판보다 두껍고, 질화붕소로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기금속화학기상증착장치.
3. The method of claim 2,
Wherein the heat shielding lead is thicker than the top plate and is made of boron nitride.
제 1 항에 있어서,
상기 챔버리드와 상기 바닥플랜지부에는 냉각매체가 유동하는 냉각유로가 형성되는 것을 특징으로 하는 유기금속화학기상증착장치.


The method according to claim 1,
Wherein a cooling channel through which the cooling medium flows is formed in the chamber lid and the bottom flange portion.


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