KR101605000B1

KR101605000B1 - 기판 검사장치

Info

Publication number: KR101605000B1
Application number: KR1020140029039A
Authority: KR
Inventors: 이영우; 이제선
Original assignee: 이영우
Priority date: 2014-03-12
Filing date: 2014-03-12
Publication date: 2016-03-21
Also published as: KR20150106672A

Abstract

본 발명은 기판 검사장치에 관한 것으로서, 카메라와, 조명부와, 재귀반사체와, 보조반사체를 포함한다. 카메라는 관통홀을 포함하는 기판을 촬영한다. 조명부는 카메라의 광축과 동일한 방향으로 기판으로 광을 조사한다. 재귀반사체는 조명부에서 조사되는 광을 다시 카메라로 재귀반사시킨다. 보조반사체는 조명부와 기판 사이의 광경로상에 배치되고, 조명부에서 조사되는 광을 재귀반사체로 반사시킨다. 조명부에서 조사되는 광의 일부는 기판에서 반사되어 재귀반사체로 입사되고, 조명부에서 조사되는 광의 다른 일부는 보조반사체에서 반사되어 재귀반사체로 입사되며, 재귀반사체에서 기판으로 재귀반사된 광은 기판에서 반사되어 카메라로 입사되며, 카메라는 기판에서 반사되어 입사되는 광을 획득하여 기판을 촬영한다.

Description

기판 검사장치{Apparatus for inspecting substrate}

본 발명은 기판 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 카메라와 광학계를 이용하여 기판(예를 들어, 관통홀을 포함하는 휴대단말기용 기판)의 표면에 형성된 결함을 검사하는 기판 검사장치에 관한 것이다.

최근 휴대전화, PDA, PMP, MP3 플레이어 등 다양한 휴대단말기는 양호한 품질의 영상을 제공하기 위해 이들에 적용되는 디스플레이 기판은 대형화되고 있는 추세이다. 휴대단말기 자체의 경박화와 이에 적용되는 디스플레이 기판의 대형화 요구를 충족시키기 위하여, 디스플레이 기판과 별도로 마련되는 키 버튼 대신 디스플레이 기판 자체에 사용자의 입력을 가능하게 하는 터치스크린 방식이 주로 채용되고 있다.

이와 같은 휴대단말기용 기판은 제조 공정 또는 취급 과정에서 기판 표면에 스크래치, 돌출 등의 결함이 발생할 수 있는데, 작업자의 육안 검사뿐만 아니라 카메라와 광학계를 포함한 기판 자동검사장치를 이용한 검사를 통해 기판의 결함을 검사하고 있다.

도 1은 종래의 기판 검사장치의 일례를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2는 도 1의 기판 검사장치에 의해 촬영된 기판의 이미지를 개략적으로 도시한 도면이다.

도 1을 참조하면, 종래의 기판 검사장치는, 기판(10)을 촬영하는 카메라(21)와, 카메라의 광축과 동일한 방향으로 기판으로 광을 조사하는 조명부(22)와, 기판(10)에서 반사되어 입사된 광을 기판(10)으로 재귀반사시켜 다시 카메라(21)로 입사시키는 재귀반사체(23)를 구비한다. 기판의 이송방향(A)을 따라 이송되는 기판(10)을 촬영한 이미지를 획득하여 기판(10)의 표면(12) 또는 내부의 결함을 검출할 수 있다.

이러한 기판 검사장치를 이용하여 기판(10), 예를 들어 스마트폰용 커버기판을 검사할 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 스마트폰에 이용되는 기판(10)은 홈버튼, 스피커 등의 설치를 위하여 관통홀(11)을 포함한다.

그러나, 종래의 기판 검사장치를 이용하여 기판(10)에서 관통홀(11)이 형성된 영역 또는 기판(10)의 단부(13)를 검사할 때, 재귀반사되는 광량의 부족으로 인해 관통홀(11)이 형성된 영역 또는 기판(10)의 단부(13)에는 어두운 영역(14)이 촬영된다(도 2의 "14" 표시 부분). 도 1에 도시된 바와 같이, 조명부(22)에서 조사된 광의 일부(L11)는 기판(10)에서 반사되어 재귀반사체(23)로 입사되지만, 조명부(22)에서 조사된 광의 다른 일부(L12)는 기판(10)에서 반사되지 못하고, 기판이송부(16) 측으로 진행하여 손실된다. 도 1에 도시된 상태에서 기판(10)이 기판의 이송방향(A)을 따라 조금더 이송되면 조명부(22)에서 조사된 광의 다른 일부(L12)는 기판(10)에서 반사되지 못하고, 관통홀(11) 측으로 진행하여 손실된다.

이와 같이 기판(10)에서 반사되지 못하고 손실되는 광량으로 인해 재귀반사체(23), 기판(10)을 경유하여 카메라(21)로 입사되는 광량이 부족하게 되고, 광량의 부족으로 인해 관통홀(11)이 형성된 영역 또는 기판(10)의 단부(13)에는 어두운 영역(14)이 형성되는 문제가 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판과 인접하게 보조반사체를 설치하여 기판에서 관통홀이 형성된 영역 또는 기판의 단부 영역에서 광량의 손실을 방지함으로써, 기판 전체 영역에서 좋은 품질의 이미지를 획득할 수 있고, 기판에 대한 검사 정밀도를 향상시킬 수 있는 기판 검사장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 기판 검사장치는, 관통홀을 포함하는 기판의 상측에 배치되고, 상기 기판을 촬영하는 카메라; 상기 카메라의 광축과 동일한 방향으로 상기 기판으로 광을 조사하는 조명부; 상기 기판의 상측에 배치되고, 상기 카메라로부터 수평방향으로 이격되게 배치되며, 상기 조명부에서 조사되는 광을 다시 상기 카메라로 재귀반사시키는 재귀반사체; 및 상기 조명부와 상기 기판 사이의 광경로상에 배치되고, 상기 조명부에서 조사되는 광을 상기 재귀반사체로 반사시키는 보조반사체;를 포함하며, 상기 조명부에서 조사되는 광의 일부는 상기 기판에서 반사되어 상기 재귀반사체로 입사되고, 상기 조명부에서 조사되는 광의 다른 일부는 상기 보조반사체에서 반사되어 상기 재귀반사체로 입사되며, 상기 재귀반사체에서 상기 기판으로 재귀반사된 광은 상기 기판에서 반사되어 상기 카메라로 입사되며, 상기 카메라는 상기 기판에서 반사되어 입사되는 광을 획득하여 상기 기판을 촬영하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 기판 검사장치에 있어서, 상기 보조반사체는 상기 기판의 상측에 배치되고, 상기 보조반사체의 반사면과 상기 기판의 표면은 서로 평행하게 배치될 수 있다.

본 발명에 따른 기판 검사장치에 있어서, 상기 보조반사체는 상기 보조반사체의 단부가 상기 조명부에서 상기 기판으로 조사되는 광의 광축에 접하도록 배치될 수 있다.

본 발명에 따른 기판 검사장치에 있어서, 상기 조명부에서 조사되는 광의 광축과 가까워지거나 상기 조명부에서 조사되는 광의 광축으로부터 멀어지는 방향으로, 상기 보조반사체를 왕복이동시키는 보조반사체 구동유닛;을 더 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 기판 검사장치에 있어서, 상기 조명부에서 조사되는 광의 광축을 기준으로 상기 보조반사체가 설치된 측의 반대측에 상기 보조반사체로부터 일정 거리 이격되게 배치되고, 상기 카메라로 입사되는 광의 일부를 차단하기 위하여 상기 재귀반사체에서 상기 기판으로 재귀반사되는 광의 일부를 흡수하는 흡수체;를 더 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 기판 검사장치에 있어서, 상기 보조반사체와 상기 흡수체 사이의 간격을 조정하기 위하여 상기 보조반사체 및 상기 흡수체 중 적어도 하나를 상기 기판의 이송방향을 따라 왕복이동시키는 간격조정용 구동유닛;을 포함할 수 있다.

본 발명의 기판 검사장치에 따르면, 기판 전체 영역에서 좋은 품질의 이미지를 획득할 수 있고, 기판에 대한 검사 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 기판 검사장치에 따르면, 조명부에서 조사된 광이 보조반사체, 재귀반사체, 다시 보조반사체를 경유하여 다시 카메라로 입사되도록 하여 광량의 손실을 최소한으로 줄일 수 있다.

또한, 본 발명의 기판 검사장치에 따르면, 다양한 상황 또는 다양한 종류의 기판에 대하여 최적의 조명 조건을 설정할 수 있다.

도 1은 종래의 기판 검사장치의 일례를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 2는 도 1의 기판 검사장치에 의해 촬영된 기판의 이미지를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사장치를 개략적으로 도시한 도면이고,
도 4는 도 3의 기판 검사장치에서 보조반사체를 조명부에서 조사되는 광의 광축으로부터 멀어지는 방향으로 이동시킨 상태를 도시한 도면이고,
도 5는 종래의 기판 검사장치에 의해 촬영된 기판의 이미지와 도 3의 기판 검사장치에 의해 촬영된 기판의 이미지를 비교한 도면이고,
도 6은 도 3의 기판 검사장치가 기판의 과다반사영역의 반사량을 억제하는 상태를 도시한 도면이고,
도 7은 종래의 기판 검사장치에 의해 촬영된 과다반사영역의 이미지와 도 3의 기판 검사장치에 의해 촬영된 과다반사영역의 이미지를 비교한 도면이고,
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 검사장치를 개략적으로 도시한 도면이다.

이하, 본 발명에 따른 기판 검사장치의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 4는 도 3의 기판 검사장치에서 보조반사체를 조명부에서 조사되는 광의 광축으로부터 멀어지는 방향으로 이동시킨 상태를 도시한 도면이고, 도 5는 종래의 기판 검사장치에 의해 촬영된 기판의 이미지와 도 3의 기판 검사장치에 의해 촬영된 기판의 이미지를 비교한 도면이고, 도 6은 도 3의 기판 검사장치가 기판의 과다반사영역의 반사량을 억제하는 상태를 도시한 도면이고, 도 7은 종래의 기판 검사장치에 의해 촬영된 과다반사영역의 이미지와 도 3의 기판 검사장치에 의해 촬영된 과다반사영역의 이미지를 비교한 도면이다.

도 3 내지 도 7을 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 검사장치(100)는 카메라와 광학계를 이용하여 기판, 예를 들어 관통홀을 포함하는 휴대단말기용 기판의 표면에 형성된 결함을 검사하는 것으로서, 카메라(110)와, 조명부(120)와, 재귀반사체(130)와, 보조반사체(140)와, 보조반사체 구동유닛을 포함한다.

본 발명의 기판 검사장치에 의해 검사되는 기판(10)은 커버 글래스 기판, 베어 글래스 기판, 프린트된 글래스 기판, 터치 스크린 패널, LCD용 유리 기판, OLED용 유리 기판 등이 될 수 있으며, 본 명세서에서는 홈버튼, 스피커 등의 설치를 위하여 관통홀(11)을 포함하는 휴대단말기용 커버기판을 예로 들어 설명한다.

상기 카메라(110)는 관통홀(11)을 포함하는 기판(10)을 촬영한다.

카메라(110)는 기판(10)에서 반사된 광이 입사되며, 입사되는 광을 이용하여 기판(10)의 표면(12) 또는 내부를 촬영한다. 입사된 광량의 차이로 인한 그레이 레벨(gray-level)의 차이를 이용하여, 획득된 이미지에서 기판(10)의 표면(12) 또는 내부에 존재할 수 있는 결함의 식별이 가능하다.

본 실시예의 카메라(110)로는 라인 카메라(line camera)가 이용되며, 에어리어 카메라(area camera) 등 기판 검사장치에 사용되는 다양한 이미지 캡쳐수단이 이용될 수 있다.

상기 조명부(120)는 카메라의 광축(C1)과 동일한 방향으로 기판(10)으로 광을 조사한다.

조명부(120)는 엘이디(LED) 광원을 이용할 수 있으며, 카메라(110)의 입구부에 동축적으로 설치되어 카메라의 광축(C1)과 조명부(120)의 광축(C2)은 일치하게 된다. 이때, 카메라(110)의 광축(C1)은 보조반사체(140)를 벗어나 기판(10)을 향하도록 배치된다.

상기 재귀반사체(130)는 조명부(120)에서 조사된 광을 다시 카메라(110)로 재귀반사시킨다. 조명부(120)에서 조사되는 광의 일부(L1)는 기판(10)에서 반사되어 재귀반사체(130)로 입사된다. 재귀반사체(130)로 입사된 광(L4)은 기판(10)으로 재귀반사되고(L5,L6), 기판(10)으로 입사된 광(L5,L6)은 기판(10)에서 반사되어 다시 카메라(110)로 입사된다(L7,L8).

상기 보조반사체(140)는 조명부(120)에서 조사된 광을 재귀반사체(130)로 반사시키며, 조명부(120)와 기판(10) 사이의 광경로상에 배치된다. 보조반사체(140)의 반사면(141)으로는 스테인레스 재질의 면 또는 거울면 등이 이용될 수 있다.

조명부(120)에서 조사되는 광의 다른 일부(L2)는 보조반사체(140)에서 반사되어 재귀반사체(130)로 입사된다. 재귀반사체(130)로 입사된 광(L3)은 기판(10)으로 재귀반사되고(L5,L6), 기판(10)으로 입사된 광(L5,L6)은 기판(10)에서 반사되어 다시 카메라(110)로 입사된다(L7,L8).

보조반사체(140)는 기판(10)의 상측에 배치되고, 보조반사체의 반사면(141)과 기판의 표면(12)이 서로 평행하게 배치되는 것이 바람직하다. 보조반사체의 반사면(141)과 기판의 표면(12)이 서로 평행하게 배치되지 않을 경우, 보조반사체(140)에서 반사되어 재귀반사체(130)로 입사되어야 하는 광이 재귀반사체(130)로 제대로 입사되지 못하여 광량의 손실이 발생할 수 있다.

보조반사체의 반사면(141)과 기판의 표면(12)을 서로 평행하게 배치함으로써, 보조반사체(140)에서 반사된 광이 재귀반사체(130), 기판(10)을 경유하여 다시 카메라(110)로 입사되도록 하여 광량의 손실을 최소한으로 줄일 수 있다.

또한, 보조반사체의 단부(142)가 조명부(120)에서 조사되는 광의 광축(C2)에 접하도록 배치될 수 있다. 보조반사체(140)가 이와 같이 배치됨으로써, 조명부(120)에서 조사되는 광의 광축(C2)을 기준으로 일측에서 진행하는 광은 기판(10)을 경유하여 재귀반사체(130)로 입사되고, 조명부(120)에서 조사되는 광의 광축(C2)을 기준으로 타측에서 진행하는 광은 보조반사체(140)를 경유하여 재귀반사체(130)로 입사될 수 있다.

상기 보조반사체 구동유닛(미도시)은, 보조반사체(140)를 수평 방향(B)을 따라 왕복이동시킨다. 보조반사체(140)와 조명부(120)에서 조사되는 광의 광축(C2) 사이의 간격을 조정함으로써, 카메라(110)로 입사되는 광량을 조정할 수 있다. 보조반사체(140)와 광축(C2) 사이의 간격이 넓으면 기판(10)과 보조반사체(140) 사이에 공간이 형성되면서 조명부(120)에서 조사되는 광 중 일부는 기판(10)과 보조반사체(140) 사이로 손실될 수 있기 때문이다.

따라서, 카메라(110)로 입사되는 광량이 부족한 경우에는 보조반사체(140)를 조명부(120)에서 조사되는 광의 광축(C2)과 가까워지는 방향으로 이동시켜 기판(10)과 보조반사체(140) 사이에서 공간이 형성되지 않도록 한다. 따라서, 조명부(120)에서 조사되는 광의 대부분은 기판(10) 및 보조반사체(140)를 경유하여 다시 카메라(110)로 입사됨으로써, 충분한 광량을 확보할 수 있다.

한편, 카메라(110)로 입사되는 광량이 과도한 경우에는 보조반사체(140)를 조명부(120)에서 조사되는 광의 광축(C2)으로부터 멀어지는 방향으로 이동시켜 기판(10)과 보조반사체(140) 사이에서 공간이 형성되도록 한다. 따라서, 조명부(120)에서 조사되는 광의 일부는 기판(10)과 보조반사체(140) 사이로 손실되고, 나머지는 기판(10) 또는 보조반사체(140)를 경유하여 다시 카메라(110)로 입사됨으로써, 과도한 광량을 줄여 이미지 촬영에 필요한 만큼의 광량을 확보할 수 있다.

본 실시예의 보조반사체 구동유닛은 공압에 의해 작동하는 공압 실린더, 회전모터 및 볼스크류를 조합한 구조, 리니어모터 및 직선가이드부재를 조합한 구조 또는 기타 직선구동유닛 등에 의해 구현될 수 있으며, 이러한 구성은 통상의 기술자에게 자명하므로 상세한 설명은 생략한다.

이하, 도 3 내지 도 6을 참조하면서, 본 실시예의 기판 검사장치를 이용하여 기판의 이미지를 촬영하는 원리를 간단하게 설명한다.

도 3을 참조하면, 조명부(120)에서 조사되는 광의 일부(L1)는 기판(10)으로 입사되고, 조명부(120)에서 조사되는 광의 다른 일부(L2)는 보조반사체(140)로 입사된다. 기판(10)에서 관통홀(11)이 형성된 영역 또는 기판(10)의 단부(13) 영역을 검사할 때 조명부(22)에서 조사된 광의 다른 일부(L12)는 기판(10)으로 입사되지 못하고 관통홀(11) 또는 기판이송부(16) 측으로 진행하여 손실되는 도 1의 종래의 기판 검사장치와 비교할 때, 본 실시예의 기판 검사장치(100)에서는 조명부(120)에서 조사되는 대부분의 광이 기판(10) 및 보조반사체(140)로 입사된다.

이후, 기판(10)에서 반사된 광(L4)은 재귀반사체(130)로 입사되고, 보조반사체(140)에서 반사된 광(L3) 역시 재귀반사체(130)로 입사된다. 재귀반사체(130)로 입사된 광(L3,L4)은 일정 각도 확산하면서 기판(10)으로 재귀반사되고(L5,L6), 기판(10)으로 입사된 광(L5,L6)은 기판(10)에서 반사되어 다시 카메라(110)로 입사된다(L7,L8).

이와 같이, 카메라(110)는 기판(10)에서 반사되어 입사되는 광(L7,L8)을 획득하여 기판(10)의 표면 또는 내부를 촬영할 수 있다. 이를 통해 기판(10)에서 관통홀(11)이 형성된 영역 또는 기판의 이송방향(A)을 따라 진입하는 기판(10)의 진입 단부(13) 영역을 검사하는 경우에도 충분한 광량을 확보하여 결함 검출에 적합한 선명한 이미지를 확보할 수 있다.

도 5에는 종래의 기판 검사장치에 의해 촬영된 기판의 이미지와, 본 실시예의 기판 검사장치(100)에 의해 촬영된 기판(10)의 이미지를 비교한 사진이 표시되어 있다. 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 보조반사체(140)를 사용하지 않은 경우에는 관통홀(11)이 형성된 영역 및 기판(10)의 단부(13) 영역에 어두운 영역(14)이 형성되면서 결함의 존재 여부를 식별하기 곤란하다. 반면에 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이, 보조반사체(140)를 사용한 경우에는 관통홀(11)이 형성된 영역 및 기판(10)의 단부(13) 영역의 이미지가 다른 영역의 이미지와 거의 동일할 정도로 선명하여 결함의 존재 여부를 용이하게 식별할 수 있다.

한편, 도 6을 참조하면, 본 실시예의 기판 검사장치(100)는 기판의 과다반사영역(13)의 반사량을 억제할 수 있다.

도 6의 (a)에 도시된 바와 같이, 일반적으로 스마트폰의 커버기판에는 스마트폰 제조사의 명칭 또는 로고 등이 인쇄될 수 있다. 제조사의 명칭 또는 로고는 일반적으로 금속물질 등으로 인쇄되어 기판을 형성하는 주변의 유리물질보다 반사율이 높다. 따라서, 제조사의 명칭 또는 로고 부분에서는 지나치게 많은 광량이 반사되어, 촬영된 이미지를 살펴보면 제조사의 명칭 또는 로고 부분과 인접한 영역에 과다하게 밝은 영역(15)이 형성된다(도 7의 (a) 참조).

보조반사체(140)는 이러한 기판의 과다반사영역(13)의 반사량을 억제함으로써, 과다반사영역(13)에 인접한 영역에서도 결함 검사에 적합한 선명한 이미지를 획득할 수 있다(도 7의 (b) 참조). 본 명세서에서는 제조사의 명칭 또는 로고 부분을 기판의 과다반사영역(13)으로 정의한다.

도 6의 (b)를 참조하면, 보조반사체(140)가 과다반사영역(13)과 조명부(120)에서 조사되는 광의 광축(C2) 사이에 배치됨으로써, 과다반사영역(13)로부터 반사되는 반사량을 일정 부분 차폐하는 효과를 얻을 수 있다. 이를 통해, 과다반사영역(13)로부터 반사되는 반사량을 감소함으로써, 카메라(110)에는 이미지 획득에 적합한 광량이 입사될 수 있다.

상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 기판 검사장치는, 기판 상측에 보조반사체를 설치하여 기판에서 관통홀이 형성된 영역 또는 기판의 단부 영역에서 광량의 손실을 방지함으로써, 기판 전체 영역에서 좋은 품질의 이미지를 획득할 수 있고, 기판에 대한 검사 정밀도를 향상시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 기판 검사장치는, 보조반사체의 반사면과 기판의 표면을 서로 평행하게 배치함으로써, 조명부에서 조사된 광이 보조반사체, 재귀반사체, 다시 보조반사체를 경유하여 다시 카메라로 입사되도록 하여 광량의 손실을 최소한으로 줄일 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 기판 검사장치는, 보조반사체를 왕복이동시키는 보조반사체 구동유닛을 구비하여 카메라로 입사되는 광량을 조정함으로써, 다양한 상황 또는 다양한 종류의 기판에 대하여 최적의 조명 조건을 설정할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 검사장치를 개략적으로 도시한 도면이다. 도 8에 있어서, 도 3 내지 도 7에 도시된 부재들과 동일한 부재번호에 의해 지칭되는 부재들은 동일한 구성 및 기능을 가지는 것으로서, 그들 각각에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.

본 실시예의 기판 검사장치(200)는 흡수체(250)와, 간격조정용 구동유닛(미도시)을 더 포함한다.

상기 흡수체(250)는 카메라(110)로 입사되는 광의 일부를 차단하기 위하여 재귀반사체(130)에서 기판(10)으로 재귀반사되는 광의 일부를 흡수한다. 흡수체(250)는 조명부(120)에서 조사되는 광의 광축(C2)을 기준으로 보조반사체(140)가 설치된 측의 반대측에 설치되고, 보조반사체(140)로부터 일정 거리 이격되게 배치된다.

카메라(110)로 입사되는 광량이 과도한 경우에는, 기판(10)과 재귀반사체(130) 사이의 광경로상에 흡수체(250)를 배치하여 재귀반사체(130)에서 기판(10)으로 재귀반사되는 광의 일부를 흡수한다.

기판(10)에서 반사되어 재귀반사체(130)로 입사되는 광(L4')도 흡수체(250)에 의해 차폐되고, 재귀반사체(130)에서 재귀반사되어 다시 기판(10)으로 입사되는 광(L6')도 흡수체(250)에 흡수된다. 따라서, 기판(10)을 경유하여 카메라(110)로 입사되는 광(L7')의 광량이 줄게 된다. 흡수체(250)를 이용함으로써 필요없는 반사량을 줄일 수 있다.

상기 간격조정용 구동유닛은 보조반사체(140)와 흡수체(250) 사이의 간격(d1)을 조정하기 위하여, 보조반사체(140) 및 흡수체(250) 중 적어도 하나를 기판의 이송방향(A)을 따라 왕복이동시킨다.

보조반사체(140)와 흡수체(250) 사이의 간격(d1)이 넓으면, 보조반사체(140)와 흡수체(250) 사이에서 노출되는 기판(10)의 면적이 넓어지고, 기판(10)에서 반사되는 반사량이 많아져 카메라(110)로 입사되는 광량이 많아진다. 반대로, 보조반사체(140)와 흡수체(250) 사이의 간격(d1)이 좁으면, 보조반사체(140)와 흡수체(250) 사이에서 노출되는 기판(10)의 면적이 좁아지고, 기판(10)에서 반사되는 반사량이 적어져 카메라(110)로 입사되는 광량이 적어진다.

이와 같이 간격조정용 구동유닛은 보조반사체(140)와 흡수체(250) 사이의 간격(d1)을 조정함으로써, 카메라(110)로 입사되는 광량을 조정할 수 있다.

상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 기판 검사장치는, 카메라로 입사되는 광의 일부를 흡수하는 흡수체를 구비하여 카메라로 입사되는 광량을 조정함으로써, 다양한 상황 또는 다양한 종류의 기판에 대하여 최적의 조명 조건을 설정할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.

100 : 기판 검사장치
110 : 카메라
120 : 조명부
130 : 재귀반사체
140 : 보조반사체

Claims

관통홀을 포함하는 기판의 상측에 배치되고, 상기 기판을 촬영하는 카메라;
상기 카메라의 광축과 동일한 방향으로 상기 기판으로 광을 조사하는 조명부;
상기 기판의 상측에 배치되고, 상기 카메라로부터 수평방향으로 이격되게 배치되며, 상기 조명부에서 조사되는 광을 다시 상기 카메라로 재귀반사시키는 재귀반사체; 및
상기 조명부와 상기 기판 사이의 광경로상에 배치되고, 상기 조명부에서 조사되는 광을 상기 재귀반사체로 반사시키는 보조반사체;를 포함하며,
상기 조명부에서 조사되는 광의 일부는 상기 기판에서 반사되어 상기 재귀반사체로 입사되고, 상기 조명부에서 조사되는 광의 다른 일부는 상기 보조반사체에서 반사되어 상기 재귀반사체로 입사되며,
상기 재귀반사체에서 상기 기판으로 재귀반사된 광은 상기 기판에서 반사되어 상기 카메라로 입사되며,
상기 카메라는 상기 기판에서 반사되어 입사되는 광을 획득하여 상기 기판을 촬영하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
제1항에 있어서,
상기 보조반사체는 상기 기판의 상측에 배치되고,
상기 보조반사체의 반사면과 상기 기판의 표면은 서로 평행하게 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
제2항에 있어서,
상기 보조반사체는 상기 보조반사체의 단부가 상기 조명부에서 상기 기판으로 조사되는 광의 광축에 접하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
제1항에 있어서,
상기 조명부에서 조사되는 광의 광축과 가까워지거나 상기 조명부에서 조사되는 광의 광축으로부터 멀어지는 방향으로, 상기 보조반사체를 왕복이동시키는 보조반사체 구동유닛;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
제1항에 있어서,
상기 조명부에서 조사되는 광의 광축을 기준으로 상기 보조반사체가 설치된 측의 반대측에 상기 보조반사체로부터 일정 거리 이격되게 배치되고, 상기 카메라로 입사되는 광의 일부를 차단하기 위하여 상기 재귀반사체에서 상기 기판으로 재귀반사되는 광의 일부를 흡수하는 흡수체;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
제5항에 있어서,
상기 보조반사체와 상기 흡수체 사이의 간격을 조정하기 위하여 상기 보조반사체 및 상기 흡수체 중 적어도 하나를 상기 기판의 이송방향을 따라 왕복이동시키는 간격조정용 구동유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.