KR101594083B1

KR101594083B1 - 전자 부품 제조 장치

Info

Publication number: KR101594083B1
Application number: KR1020090071635A
Authority: KR
Inventors: 김성구
Original assignee: 한화테크윈 주식회사
Priority date: 2009-08-04
Filing date: 2009-08-04
Publication date: 2016-02-16
Anticipated expiration: 2029-08-04
Also published as: US20110030200A1; US8789266B2; CN101998820A; CN101998820B; KR20110013928A

Abstract

본 발명은 전자 부품 제조 장치를 제공한다. 상기 전자 부품 제조 장치는 본체에 승강 가능하게 설치되는 헤드부와, 상기 헤드부에 승강 가능하게 설치되는 노즐부와, 상기 헤드부와 상기 노즐부를 순차적으로 전자 부품이 대기되는 위치로 이동시켜 상기 노즐부를 사용하여 상기 전자 부품을 흡착하도록 하는 위치 조절부를 포함한다. 따라서, 본 발명은 전자 부품의 대기 위치에서 대기 중인 전자 부품을 흡착하기 위하여 헤드 어셈블리를 사용하는 경우에, 헤드부와 이 헤드부에 설치되는 노즐들을 순차적으로 하강시키어 노즐 단부와 전자 부품 간의 흡착시 발생되는 충격을 완화할 수 있다.

Description

전자 부품 제조 장치{APPARATUS FOR MANUFACTURING ELECTRONIC PARTS}

본 발명은 전자 부품 제조 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전자 부품의 대기 위치에서 대기 중인 전자 부품을 흡착하기 위하여 헤드 어셈블리를 사용하는 경우에, 헤드부와 이 헤드부에 설치되는 노즐들을 순차적으로 하강시키어 노즐 단부와 전자 부품 간의 흡착시 발생되는 충격을 완화할 수 있는 전자 부품 제조 장치에 관한 것이다.

종래에는 전자 부품 제조 장치인 부품 실장기는 인쇄회로기판(PCB)에 반도체 패키지 등의 부품을 장착하는 작업을 수행하는 장치이다.

이러한, 부품 실장기는 헤드 어셈블리를 갖는다. 상기 헤드 어셈블리는 다수개의 노즐들을 구비하고, 이들 노즐들은 헤드 어셈블리에 구비되는 모터등에 의하여 각각 승강 작동된다. 그리고, 상기 헤드 어셈블리는 이송 장치에 의하여 상기 노즐들을 일정 위치로 이송시킬 수 있도록 이동된다.

종래의 헤드 어셈블리에 사용되는 노즐들의 승강 메카니즘은 노즐들 각각이 하나의 이동 밸트에 설치되고, 이 이동 밸트는 양단이 한 쌍의 롤러에 의하여 지지되고, 이 한 쌍의 롤러들 중 어느 하나에 연결되는 모터의 구동에 의하여 이루어진 다.

따라서, 상기 모터가 정방향 또는 역방향으로 회전되면, 상기 노즐들은 승강되는 방향을 따라 교차적으로 이동되는 이동 밸트에 설치되어 승강 동작된다.

그러나, 종래의 노즐들은 이동 밸트에 단일개로 설치되기 때문에, 전자 부품을 흡착하는 양이 줄어 결국 생산성이 저하됨과 아울러, 노즐들이 단번에 하강됨으로 인하여 전자 부품을 흡착함으로써, 상기 노즐들의 단부와 전자 부품과의 충격량이 증가되어 전자 부품이 파손되는 문제점이 있다.

이에 더하여, 종래의 헤드 어셈블리에서 노즐들의 하단에는 노즐에 흡착되는 전자 부품의 자세를 영상으로 확인하기 위하여 영상 장치로 노즐에 흡착된 영상을 반사시키는 미러가 위치된다.

그러나, 종래의 미러는 노즐이 하강되면, 별도의 모터를 사용하여 미러를 노즐의 하부로부터 일측으로 이탈시키는 방식을 취하기 때문에, 모터의 이상이 발생되는 경우에 이를 즉시 인식하지 못하여 미러와 하강되는 노즐들과 충돌이 발생되는 문제점을 갖는다.

이에 더하여, 종래에는 미러를 회전시키어 노즐들 하부로부터 이탈 또는 원위치시키는 과정에서 정상적으로 이탈되었는지 또는 정상적으로 원위치에 위치되었는지에 대한 감시가 이루어지지 않고, 정상적으로 이탈 또는 원위치에 위치됨을 실시간으로 보정하여 줄 수 없기 때문에, 상기와 같이 미러와 노즐들 간의 충돌로 인한 장치 파손의 문제점을 해결할 수 없었다.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 본 발명의 목적은 전자 부품의 대기 위치에서 대기 중인 전자 부품을 흡착하기 위하여 헤드 어셈블리를 사용하는 경우에, 헤드부와 이 헤드부에 설치되는 노즐들을 순차적으로 하강시키어 노즐 단부와 전자 부품 간의 흡착시 발생되는 충격을 완화할 수 있는 전자 부품 제조 장치를 제공한다.

본 발명의 또 다른 목적은 헤드부와 이 헤드부에 설치되는 노즐들의 승강 동작과, 노즐들의 하부에 위치되는 미러의 대기 위치 또는 작동 위치로의 동작을 서로 연동시킬 수 있는 전자 부품 제조 장치를 제공한다.

본 발명은 상기와 같은 과제를 해결하기 위한 전자 부품 제조 장치를 제공한다.

상기 전자 부품 제조 장치는 본체에 승강 가능하게 설치되는 헤드부; 상기 헤드부에 승강 가능하게 설치되는 노즐부; 및 상기 헤드부와 상기 노즐부를 순차적으로 전자 부품이 대기되는 위치로 이동시켜 상기 노즐부를 사용하여 상기 전자 부품을 흡착하도록 하는 위치 조절부를 포함한다.

여기서, 상기 헤드부는 상기 노즐부가 설치되는 노즐부 설치 공간 및 상기 노즐부가 하부로 노출되는 개구를 갖는 헤드부 몸체와, 상기 헤드부 몸체의 상단과 상기 본체를 서로 연결하는 볼스크류를 구비하고,

상기 노즐부는 상기 노즐부 설치 공간에서 일정 간격을 이루어 배치되는 다수개의 노즐들과, 상기 노즐들과 연결되며 상기 노즐들이 승강되도록 세워져 배치되는 이동 밸트들과, 상기 이동 밸트들 각각의 양단을 지지하는 한 쌍의 롤러를 구비하는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 이동 밸트들 각각에는 상기 노즐들이 한 쌍 씩 설치되어 2축 연동되되, 상기 한 쌍의 노즐들은 상기 이동 밸트들 각각에서 서로 마주 보도록 상기 이동 밸트에 설치되는 것이 바람직하다.

여기서, 상기 위치 조절부는, 상기 본체에 설치되며 상기 볼 스크류의 일단에 연결되는 제 1모터와, 상기 이동 밸트들 각각의 한 쌍의 롤러들 중 어느 하나와 연결되는 제 2모터와, 상기 제 1모터 및 상기 제 2모터와 전기적으로 연결되며 상기 제 1모터와 상기 제 2모터를 순차적으로 구동시키는 제어기를 구비하고,

상기 제어기에는 상기 전자 부품의 대기 위치 레벨이 기설정되고, 상기 헤드부의 승강 레벨이 기설정되고, 상기 노즐들의 승강 레벨이 기설정되고, 상기 헤드부의 승강 레벨은 헤드부 상승 레벨과 헤드부 하강 레벨로 이루어지고, 상기 노즐들의 승강 레벨은 노즐들 상승 레벨과 노즐들 하강 레벨로 이루어지고,

상기 제어기는 상기 노즐들의 끝단이 상기 대기 위치 레벨에 이르도록 상기 제 1모터와 상기 제 2모터를 구동시켜 상기 헤드부를 상기 헤드부의 하강 레벨에 이르도록 하강시킴과 아울러 상기 노즐들을 상기 노즐들 하강 레벨에 이르도록 하강시키는 것이 바람직하다.

삭제

또한, 상기 노즐들이 2축 연동하는 경우에, 상기 제어기는 상기 제 2모터를 정회전 또는 역회전시키도록 제어하여, 상기 노즐들의 하강 레벨에 축 별로 교차시키어 이르도록 조절하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 위치 조절부는 상기 노즐들로 전자 부품을 흡착하는 진공 흡입력을 제공하는 진공 제공부와 연결되고, 상기 제어기는 상기 노즐들의 끝단이 상기 대기 위치 레벨에 이르면 상기 진공 제공부를 작동시키는 것이 바람직하다.

또한, 상기 헤드부 몸체의 측부에는 상기 헤드부 몸체의 승강 방향을 따라 일정 길이를 갖는 캠 부재가 설치되고,

상기 본체에는 일단이 상기 본체에 힌지 연결되고 타단에 미러가 설치되며 상기 헤드부 몸체의 승강 여부에 따라 상기 미러가 상기 노즐부의 하부에 위치되거나 이탈되는 미러부가 설치되고,

상기 미러부에는 상기 캠 부재의 일면과 밀접되는 종동 부재가 설치되고,

상기 헤드부 몸체가 하강되면, 상기 종동 부재가 상기 캠 부재의 일면에 밀접된 상태로 일측으로 밀려 상기 미러부가 상기 노즐부의 하부로부터 이탈되는 것이 바람직하다.

삭제

한편, 상기 헤드부 몸체의 측부에는 상기 헤드부 몸체의 승강 방향을 따라 일정 길이를 갖고 일면에 기어이가 형성되는 캠 부재가 설치되고, 상기 본체에는 일단이 상기 본체에 힌지 연결되고 타단에 미러가 설치되며 상기 헤드부 몸체의 승강 여부에 따라 상기 미러가 상기 노즐부의 하부에 위치되거나 이탈되는 미러부가 설치되고, 상기 미러부의 일단은 상기 캠 부재의 일면과 기어 연결되고, 상기 헤드부 몸체가 하강되면, 하강되는 상기 캠 부재의 일면에 기어 연결된 상태로 회전되어 상기 미러부가 상기 노즐부의 하부로부터 이탈되는 것이 바람직하다.

이에 더하여, 상기 본체에는 상기 미러에 의하여 반사되는 상기 노즐들의 하단에 흡착되는 전자 부품의 영상을 취득하여 상기 제어기로 전송하는 영상 취득부가 설치되고, 상기 제어기는 상기 전송된 전자 부품의 영상이 기설정된 전자 부품의 영상과 비교하여 흡착 위치가 서로 일치하는 지를 판단하여, 상기 흡착 위치가 서로 다른 경우에 상기 제 1,2모터의 구동을 중지하고, 상기 중지에 대한 알람을 발생하는 알람 발생기와 전기적으로 더 연결되는 것이 바람직하다.

이에 더하여, 상기 미러부의 일단에는 상기 미러부의 회전각을 검출하는 회전각 검출 센서가 더 설치되고, 상기 미러부의 일단은 상기 제어기로부터 제어되는 제 3모터가 더 설치되고, 상기 제어기에는 상기 미러가 상기 노즐부의 하부로부터 이탈되는 경우의 개방 회전각과, 상기 미러가 상기 노즐부의 하부에 위치되는 경우의 폐쇄 회전각이 기설정되고, 상기 제어기는 상기 미러가 상기 노즐부의 하부로부터 이탈되는 경우에 검출되는 회전각이 상기 개방 회전각과 동일해지도록 상기 제 3모터의 구동을 제어하고, 상기 미러가 상기 노즐부의 하부에 위치되는 경우에 검출되는 회전각이 상기 폐쇄 회전각과 동일해지도록 상기 제 3모터의 구동을 제어할 수도 있다.

본 발명은 전자 부품의 대기 위치에서 대기 중인 전자 부품을 흡착하기 위하여 헤드 어셈블리를 사용하는 경우에, 헤드부와 이 헤드부에 설치되는 노즐들을 순차적으로 하강시키어 노즐 단부와 전자 부품 간의 흡착시 발생되는 충격을 완화할 수 있는 효과를 갖는다.

또한, 본 발명은 헤드부와 이 헤드부에 설치되는 노즐들의 승강 동작과, 노즐들의 하부에 위치되는 미러의 대기 위치 또는 작동 위치로의 동작을 서로 연동시킬 수 있는 효과를 갖는다.

또한, 본 발명은 미러의 대기 위치 또는 작동 위치로의 동작이 정상적으로 완료되는 지를 감시하여, 이들의 위치가 정상적으로 위치되도록 실시간으로 보정하여 줄 수 있는 효과를 갖는다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 전자 부품 제조 장치를 설명하도록 한다.

도 1은 본 발명의 전자 부품 제조 장치에서 헤드부와 노즐부의 하강 전의 상태를 보여주는 도면이다. 도 2는 본 발명의 전자 부품 제조 장치에서 헤드부와 노즐부의 하강 후의 상태를 보여주는 도면이다. 도 3은 본 발명에 따르는 헤드부의 제 1예를 따르는 캠 부재가 설치된 헤드부와 미러부의 작동 전 상태를 보여주는 도면이다. 도 4는 도 3의 헤드부와 미러부의 작동 후 상태를 보여주는 도면이다. 도 5는 본 발명에 따르는 헤드부의 제 2예를 따르는 캠 부재가 설치된 헤드부와 미러부의 작동 전 상태를 보여주는 도면이다. 도 6은 도 5의 헤드부와 미러부의 작동 후 상태를 보여주는 도면이다. 도 7은 본 발명에 따르는 미러부의 개방 회전각 위치와 폐쇄 회전각 위치를 보여주는 기구도이다. 도 8은 도 7의 미러부의 개방 회전각 위치에 대한 보정 과정을 보여주는 도면이다. 도 9는 도 7의 미러부의 폐쇄 회전각 위치에 대한 보정 과정을 보여주는 도면이다. 도 10은 본 발명의 전자 부품 제조 장치의 전자 부품 흡착 과정을 보여주는 흐름도이다. 도 11은 도 10의 본 발명의 전자 부품 제조 장치의 전자 부품 흡착 과정에 미러부 회전 위치에 대한 보정 과정이 더 포함된 것을 보여주는 흐름도이다.

먼저, 본 발명의 전자 부품 제조 장치의 구성을 설명하도록 한다.

도 1을 참조 하면, 상기 전자 부품 제조 장치는 헤드부(200)와, 상기 헤드부(200)에 설치되는 노즐부(300)와, 상기 헤드부(200)가 승강 가능하게 설치되는 본체(100)를 갖는다.

상기 본체(100)는 상기 헤드부(200)의 상부에 위치되는 프레임 부(101)와, 상기 헤드부(200)의 저부에 위치되어 전자 부품(1)이 대기되는 베이스 부(102)로 구성될 수 있다.

상기 헤드부(200)는 내부에 상기 노즐부(300)가 설치되는 노즐부 설치 공간(211)을 갖고 저부에 상기 노즐부(300)가 하부로 노출되는 개구(212)를 갖는 헤드부 몸체(210)와, 상기 헤드부 몸체(210)와 상기 본체(100)의 프레임 부(101)를 서로 연결하여 상기 헤드부(200)의 상하로의 이동을 안내하는 볼 스크류(220)로 구성된다.

상기 노즐부(300)는 상기 헤드부(200)의 상하 방향을 따라 세워져 설치되는 다수개의 이동 밸트들(320)과, 상기 다수개의 이동 밸트들(320) 각각의 양단을 지지하는 한 쌍의 롤러(330)와, 상기 이동 밸트들(320) 각각에 설치되는 한 쌍의 노즐들(310)로 구성된다. 여기서, 상기 한 쌍의 롤러(330)는 이동 밸트(320)의 일단을 지지함과 아울러 하기의 제 2모터(420)와 연결되어 상기 제 2모터(420)로 부터 회전력을 전달받는 제 1롤러(331)와 이동 밸트(320)의 타단을 회전 지지하는 제 2롤러(332)로 구성된다.

여기서, 상기 한 쌍의 노즐(310)은 상기 이동 밸트(320)에서 서로 마주 보도록 배치되고, 이동 밸트(320)의 이동 방향에 따라 서로 교차되어 승강되도록 위치된다. 즉, 상기 한 쌍의 노즐(310)은 서로 나란한 2축 연동이 가능하다.

그리고, 본 발명은 상기 헤드부(200)와 상기 노즐부(300)를 순차적으로 전자 부품(1)이 대기되는 위치 레벨(P0)로 이동시켜 상기 노즐부(300)를 사용하여 상기 전자 부품(1)을 흡착하도록 하는 위치 조절부(400)를 갖는다.

여기서, 상기 위치 조절부(400)는 상기 본체(100)의 프레임 부(101)에 설치되며 상기 볼 스크류(220)의 일단에 연결되어 상기 볼 스크류(220)를 정방향 또는 역방향으로 회전시키는 제 1모터(410)와, 상기 이동 밸트들(320) 각각의 한 쌍의 롤러들(330) 중 제 1롤러(331)와 연결되는 제 2모터(420)와, 상기 제 1모터(410) 및 상기 제 2모터(420)와 전기적으로 연결되며 상기 제 1모터(410)와 상기 제 2모터(420)를 순차적으로 구동시키는 제어기(430)로 구성된다.

여기서, 상기 제어기(430)는 진공 제공부(500)와 전기적으로 더 연결된다. 상기 진공 제공부(500)는 상기 노즐들(310) 각각에 연결되어 상기 노즐들(310)의 단부가 전자 부품 대기 위치 레벨(P0)에 이르면 상기 제어기(430)로부터 전기적 신호를 전송 받아 상기 노즐들(310)의 단부에 형성되는 진공홀(미도시)로 진공 흡입력을 제공할 수 있다.

여기서, 상기 제어기(430)에는 상기 전자 부품(1)의 대기 위치 레벨(P0)이 기설정되고, 상기 헤드부(200)의 승강 레벨(P1,P1')이 기설정되고, 상기 노즐들(310)의 승강 레벨(P2,P2')이 기설정된다. 여기서, 상기 P1은 헤드부 상승 레벨이고, 상기 P2는 노즐들의 상승 레벨이고, 상기 P1'는 헤드부 하강 레벨이고, 상기 P2'는 노즐들의 하강 레벨이다. 또한, 이들은 서로 상승 또는 하강되는 방향만 다르고 간격의 폭은 서로 동일하다.

그리고, 상기 제어기(430)는 상기 노즐들(310)의 단부가 상기 대기 위치 레 벨(P0)에 이르도록 상기 제 1모터(410)와 상기 제 2모터(420)를 구동시켜 상기 헤드부(200)의 하강 레벨(P1)과 상기 노즐들(310)의 하강 레벨(P2)을 순차적으로 조절할 수 있다.

바람직하게 본 발명에서는, 상기 제어기(430)는 상기 헤드부(200)를 헤드부(200)의 하강 레벨(P1)로 위치시킨 이후에, 상기 노즐들(310)을 노즐들(310)의 하강 레벨(P2)로 위치시키어 상기 노즐들(310)의 단부가 전자 부품을 흡착할 수 있는 상기 대기 위치 레벨(P0)에 이르도록 상기 제 1모터(410)와 상기 제 2모터(420)를 구동시키는 것이 좋다.

또한, 상기 노즐들(310)이 상기와 같이 이동 밸트들(320) 각각에 서로 마주보도록 배치되어 2축 연동되는 경우에, 상기 제어기(430)는 상기 제 2모터(420)를 정회전 또는 역회전시키도록 제어하고, 상기 노즐들(310)의 하강 레벨(P2)을 축 별로 교차시키어 조절하는 것이 좋다.

그리고, 도 3 및 도 4를 참조 하면, 본 발명은 캠 부재(700)와, 미러부(800)를 더 구비할 수 있다.

상기 캠 부재(700)는 상기 헤드부 몸체(210)의 측부에 설치되고, 상기 헤드부 몸체(210)의 승강 방향을 따라 일정 길이를 갖는다.

그리고, 상기 본체(100)에는 일단이 회전 지지되는 미러부(800)가 설치된다. 상기 미러부(800)는 일정 길이의 미러부 몸체(810)와, 상기 미러부 몸체(810)의 일단에 마련되는 힌지단(820)과, 상기 미러부 몸체(810)의 타단에 마련되는 미러(830)로 구성된다. 여기서, 상기 힌지단(810)은 상기 본체(100)에 힌지 연결되 고, 상기 미러(830)는 상기 헤드부 몸체(210)의 승강 동작에 연동되어 미러부 몸체(810)가 회전되면서 상기 노즐부(300)의 하부에 위치되거나 이탈된다.

그리고, 상기 미러부 몸체(810)에는 상기 캠 부재(700)의 일면과 밀접되는 종동 롤러인 종동 부재(840)가 설치된다. 따라서, 상기 헤드부 몸체(210)가 하강되면, 상기 종동 부재(840)가 상기 캠 부재(700)의 일면에 밀접된 상태로 일측으로 밀려 상기 미러(830)가 상기 노즐부(300)의 하부로부터 이탈되도록 미러부 몸체(810)는 좌측 상향 회전된다.

여기서, 상기 캠 부재(700)의 일면은 상기 헤드부(200)의 하강 방향을 따라 폭이 점진적으로 줄어들도록 형성되고, 상기 본체(100)에는 상기 미러부 몸체(810)의 회전 경로를 따르는 이동 경로(110)가 형성되고, 상기 종동 부재(840)의 중심축(841)은 이동 경로(110)를 따라 이동 가능하게 배치된다. 그리고, 상기 미러부 몸체(810)는 상기 본체(100)의 일정 위치와 탄성 부재(850)에 의하여 연결되어 원위치로 복귀 가능하다.

그리고, 상기 캠 부재(700)의 일면은 상기 종동 부재(840)를 상기 일측으로 밀어 위치되도록 제 1폭을 갖는 제 1면(711)과, 상기 종동 부재(840)를 원위치에 위치되도록 제 2폭을 갖는 제 2면(712)과, 상기 제 1면(711)과 상기 제 2면(712)을 서로 연결하는 경사면(713)으로 이루어진다.

한편, 도 5 및 도 6을 참조 하면, 상기 헤드부 몸체(210)의 측부에는 상기 헤드부 몸체(210)의 승강 방향을 따라 일정 길이를 갖고 일면에 기어이(710')가 형성되는 캠 부재(700')가 설치된다.

그리고, 상기 본체(100)에는 일단에 힌지단(820')이 설치되고 타단에 미러(830')가 마련되는 미러부 몸체(810')가 마련된다. 여기서, 상기 힌지단(820')은 상기 캠 부재(700')의 일면에 형성되는 기어이(710')와 기어 연결된다. 따라서, 상기 힌지단(820')의 외주에는 기어이(821')가 형성된다.

따라서, 상기 헤드부 몸체(210)가 하강되면, 상기 힌지단(820')은 하강되는 상기 캠 부재(700')의 일면에 기어 연결된 상태로 회전되고 미러부 몸체(810')는 상향 회전되고, 이에 따라, 미러(830')는 상기 노즐부(300)의 하부로부터 이탈될 수 있다.

또한, 상기 본체(100)에는 상기 미러(830)에 의하여 반사되는 상기 노즐들(310)의 하단에 흡착되는 전자 부품(1)의 영상을 취득하여 상기 제어기(430)로 전송하는 영상 취득부(600)가 설치되고, 상기 제어기(430)는 상기 전송된 전자 부품(1)의 영상이 기설정된 전자 부품(1)의 영상과 비교하여 흡착 위치가 서로 일치하는 지를 판단하여, 상기 흡착 위치가 서로 다른 경우에 상기 제 1,2모터(410,420)의 구동을 중지하고, 상기 중지에 대한 알람을 발생하는 알람 발생기(610)와 전기적으로 더 연결될 수도 있다.

이에 더하여, 도 7 내지 도 8을 참조 하면, 상기 미러부 몸체(810)의 힌지단(820)에는 상기 미러부 몸체(810)의 회전각을 검출하는 회전각 검출 센서(900)가 더 설치될 수도 있다.

그리고, 상기 미러부 몸체(810)의 힌지단(820)에는 상기 제어기(430)에 의하여 구동이 제어되는 제 3모터(910)가 더 설치될 수도 있다.

그리고, 상기 제어기(430)에는 상기 미러(830)가 상기 노즐부(300)의 하부로부터 이탈되는 경우의 개방 회전각(θ1)과, 상기 미러(830)가 상기 노즐부(300)의 하부에 위치되는 경우의 폐쇄 회전각(θ0)이 기설정될 수 있다.

따라서, 상기 제어기(430)는 상기 미러(830)가 상기 노즐부(300)의 하부로부터 이탈되는 경우에 검출되는 회전각(θ)이 상기 개방 회전각(θ1)과 동일해지도록 상기 제 3모터(910)의 구동을 제어하고, 상기 미러(830)가 상기 노즐부(300)의 하부에 위치되는 경우에 검출되는 회전각(θ)이 상기 폐쇄 회전각(θ0)과 동일해지도록 상기 제 3모터(910)의 구동을 제어할 수도 있다.

다음은, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 전자 부품 제조 장치의 작용을 설명하도록 한다.

도 1을 참조 하면, 본 발명에서의 위치 조절부(400)는 원위치에서 대기중인 헤드부(200)를 헤드부 하강 레벨(P1)로 하강시키고, 이어 노즐들(310)을 노즐 하강 레벨(P2)로 하강시키어 노즐들(310)의 단부가 전자 부품(1)을 흡착 할 수 있는 위치로 안내하는 기능을 갖는다. 즉, 상기 위치 조절부(400)는 헤드부(200) 및 노즐들(210)을 다단 및 순차적으로 하강시키어 전자 부품(1)을 흡착 할 수 있는 전자 부품 대기 위치 레벨(P0)로 안내하여 노즐들(310)이 전자 부품을 흡착하는 경우에 발생되는 충격을 완화할 수 있도록 하는 기능을 갖는다.

도 1, 도 2 및 도 10을 참조 하면, 본 발명에 따르는 제어기(430)에는 전자 부품 대기 위치 레벨(P0)과, 헤드부(200) 및 노즐들(310)의 승강/하강 레벨(P1,P2, P1',P2')이 설정된다(S11,S12). 여기서, 상기 헤드부 및 노즐들의 승강 레벨(P1,P2)은 헤드부(200)와 노즐들(310)이 원위치에 대기될 수 있는 레벨이고, 상기 헤드부 및 노즐들의 하강 레벨(P1',P2')은 헤드부(200)와 노즐들(310)이 순차적으로 하강되어 노즐들(310)의 단부에 전자 부품(1)이 흡착될 수 있는 레벨이다.

이어, 상기 제어기(430)는 헤드부(200) 및 노즐들(310)의 승강 또는 하강을 결정할 수 있다(S13). 여기서, 본체(100)의 베이스 부(102)의 상단에 전자 부품(1)이 대기되고 있는 경우에, 상기 제어기(430)는 상기 하강을 결정할 수 있다. 이때, 도면에 도시되지는 않았지만, 제어기(430)는 전자 부품들(1)을 베이스 부(102)로 공급할 수 있는 전자 부품 공급기와 전기적으로 연결되어 상기 전자 부품(1)이 베이스 부(102)에 공급되는 경우에 상기 전자 부품 공급기로부터 전기적 신호를 전송받아 상기 헤드부(200) 및 노즐들(310)의 하강을 결정한다.

그리고, 상기 헤드부(200) 및 노즐들(310)의 하강이 결정되는 경우에(S20), 상기 제어기(430)는 헤드부(200)를 헤드부 하강 레벨(P1')로 노즐부(300)를 노즐 하강 레벨(P2')로 순차적으로 하강시킨다(S31,S32).

즉, 상기 헤드부(200)의 하강은 상기 제어기(30)가 제 1모터(410)를 구동시키고, 이에 따라 헤드부(200)의 상단에 연결되는 볼 스크류(220)를 일 방향으로 회전시킴으로써 이루어진다. 여기서, 상기 볼 스크류(220)가 역방향으로 회전되면 상기 헤드부(200)는 상승된다. 그리고, 상기 노즐들(310) 중 이동 밸트들(320)에서 일측에 설치되는 노즐들(310)의 하강은 상기 제어기(430)가 제 2모터들(420)을 구동시키고, 이에 따라 이동 밸트들(320)의 일단을 지지하는 제 1롤러들(331)이 회전 되고, 이어 이동 밸트들(320)이 회전됨에 의하여 이루어진다. 여기서, 상기 제 2모터(420)는 상기 제어기(430)의 제어 신호에 의하여 일방향 또는 역방향으로 교차로 구동될 수 있고, 이에 따라, 이동 밸트들(320) 각각에서 서로 마주보도록 설치되는 노즐들(310)은 서로 교차로 상승 또는 하강될 수 있다. 즉, 상기 이동 밸트들(320) 각각에 설치되는 노즐들(310)은 2축 연동될 수 있다.

상기와 같이 헤드부(200)가 헤드부 하강 레벨(P1')로 위치되고, 이어 노즐부(300)가 노즐 하강 레벨(P2')로 위치되면, 상기 제어기(430)는 상기 헤드부 하강 레벨(P1')과 노즐 하강 레벨(P2')의 합이 전자 부품 대기 위치 레벨(P0)과 위치가 일치됨을 판단할 수 있다(S40).

여기서, 상기 헤드부 하강 레벨(P1')과 노즐 하강 레벨(P2')의 합이 전자 부품 대기 위치 레벨(P0)과 위치가 일치되면, 상기 제어기(430)는 진공 제공부(500)를 작동시키어 노즐 하강 레벨(P2')로 위치된 노즐들(310)에 진공 흡입력을 제공하고, 이에 따라 상기 노즐들(310)의 단부에 접촉되는 전자 부품들(1)은 상기 노즐들(310)의 단부에 흡착될 수 있다(S51).

이어, 상기 제어기(430)는 상기 노즐들(310)에 흡착된 전자 부품들(1)을 인쇄 회로 기판(미도시) 상으로 이송하여 실장될 수 있도록 도시되지 않은 이송 장치를 제어할 수 있다(S52).

반면에, 상기 S20에서, 헤드부(200) 및 노즐(310)의 하강이 아닌 경우에, 제어기는 상승됨을 판단하고(S60), 상승됨인 경우에, 상기 제어기(430)는 헤드부(200)를 헤드부 상승 레벨(P1)로 위치시키고 노즐부(300)를 노즐 상승 레벨(P2) 로 위치시킬 수 있다(S71,S72).

그리고, 상기 제어기(430)는 헤드부(200)와 노즐부(300)가 원위치를 이룰 때 까지(S80) 상기 상승 동작을 실시하도록 제 1,2모터(410,420)의 구동을 제어할 수 있다.

한편, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에서는 상기와 같이 전자 부품(1)을 흡착할 수 있도록 헤드부(200)와 노즐부(300)를 순차적으로 하강시키는 경우에, 노즐부(300)의 하부에 마련되는 미러(830)를 일측으로 위치시키고, 헤드부(200) 및 노즐부(300)가 상승되면 미러(830)를 노즐부(300)의 하부에 다시 위치시키는 기구적인 동작을 실시할 수도 있다.

먼저, 도 3을 보면, 미러부(800)가 원위치, 즉 노즐부(300) 하부에 위치되는 작동 전의 상태를 보여주고 있다. 이때, 미러부 몸체(810)에 설치되는 종동 롤러인 종동 부재(840)의 중심축(841)은 본체(100)에 형성되는 이동 경로(110)의 우측 끝단에 위치된다. 그리고, 상기 종동 부재(840)의 외주는 제 1면(711)에서의 폭보다 좁은 폭을 갖는 제 2면(712)에 접촉된다. 여기서, 상기 이동 경로(110)는 상기 미러부 몸체(810)의 힌지단(820)을 중심으로 회전되는 방향을 따라 일정 길이로 형성된다. 그리고, 미러부 몸체(810)는 본체(100)의 일정 부분과 탄성 부재(850)에 의하여 연결된다.

이와 같은 상태에서, 도 4를 참조 하면, 헤드부(200)가 하강되면, 상기 헤드부 몸체(200)의 측부에 설치되는 캠 부재(700) 역시 회전된다. 이때, 종동 부 재(840)는 그 외주가 캠 부재(700)의 제 2면(712)을 따라 경사면(713)을 지나고 제 1면(711)에 위치된다. 여기서, 상기 제 1면(711)에서의 폭은 제 2면(712) 보다 크게 형성되기 때문에, 상기 종동 부재(840)는 좌측으로 밀릴 수 있다. 따라서, 상기 종동 부재(840)의 중심축(841)은 이동 경로(110)의 좌측 끝단에 위치됨과 아울러, 미러부 몸체(810)는 좌측 상방으로 일정 각도 상향 회전되어 위치된다. 여기서의 회전 각도는 하기에 기술되는 개방 회전각(θ1)인 것이 좋다.

이에 따라, 미러(830)는 하강되는 헤드부(200) 및 노즐부(300)의 끝단과 충돌되지 않도록 일측으로 회전되어 위치될 수 있다. 이때의 상태를 미러부(800)의 작동 후라 한다.

이에 더하여, 미러부 몸체(810)와 본체(100)의 일부분을 탄성 지지하는 탄성 부재(850)는 일정 길이 늘어나고 이로 인하여, 상기 탄성 부재(850)는 상기 미러부 몸체(810)를 원위치로 복귀시키려는 일정의 탄성 복원력을 갖게 된다.

여기서, 상기 종동 부재(840)는 상하로 이동되는 캠 부재(700)의 일면에 접촉되는 상태로 이동되는데, 이때, 캠 부재(700)의 경사면(713)은 제 1,2면(711,712)을 이음과 아울러 일정의 곡률을 갖도록 경사지게 때문에, 종동 부재(840)의 이동으로 인하여 발생되는 진동은 상기 경사면(713)에 의하여 완화되어 회전되는 미러부 몸체(810)의 안정적인 회전을 유도할 수 있다.

또 한편, 도 5 및 도 6에는 일면에 기어이(710')가 형성되는 캠 부재(700')와, 상기 캠 부재(700')의 기어이(710')에 기어 연결되어 회전되는 미러부 몸체(810')의 힌지단(820')이 언급된다.

따라서, 헤드부 몸체(210)가 하강되면, 상기 캠 부재(700')의 일면과 기어 연결되는 미러부 몸체(810')의 힌지단(820')은 도 6에 도시된 바와 같이 좌측 상향으로 회전된다. 이에 따라, 미러부 몸체(810')는 좌측 상향으로 회전되고 이에 따라, 미러(830')는 노즐부(300) 하부로부터 이탈되어 위치될 수 있다. 여기서의 회전 각도는 하기에 기술되는 개방 회전각(θ1)인 것이 좋다.

즉, 도 5 및 도 6에는 언급되는 상기 미러부(800')의 힌지단(820')은 승강되는 캠 부재(700')의 작동에 연동된다. 그리고, 미러부 몸체(810')와 본체(100)의 일부분을 탄성 연결하는 탄성 부재(850')의 기능은 상기에 언급된 바와 동일하기 때문에 생략하기로 한다.

또 한편, 본 발명에서의 미러부 몸체(810)의 힌지단(820)에는 회전각 검출 센서(900)가 더 설치되고, 상기 힌지단(820)은 제 3모터(910)와 연결된다. 여기서, 상기 회전각 검출 센서(900)는 미러부 몸체(810)의 회전각을 검출하여 제어기(430)로 전송하고, 상기 제 3모터(910)는 제어기(430)에 의하여 구동이 제어된다.

이를 도 7 내지 도 8 및 도 11을 참조 하여, 좀 더 상세하게 설명하도록 한다.

도 7에는 미러부 몸체(810)의 작동 전 상태의 회전각과, 작동 후 상태의 회전각을 보여주고 있다. 여기서, 상기 미러부 몸체(810)의 작동 전 상태의 회전각을 폐쇄 회전각(θ0)이라하고, 상기 미러부 몸체(810)의 작동 후 상태의 회전각을 개방 회전각(θ1)이라 한다.

도 8은 헤드부(200)가 하강되어 미러부 몸체(810)가 좌측 상향으로 회전되어 위치되는 것을 보여주고 있다.

도 8을 참조 하면, 미러부 몸체(810)가 상기에 언급되는 캠 부재들(700,700')의 하강에 의하여 좌측 상향으로 회전되면, 회전각 검출 센서(900)는 상기 미러부 몸체(810)의 회전각을 검출하여 제어기(430)로 전송한다. 여기서, 상기 제어기(430)에는 개방 회전각(θ1)과 폐쇄 회전각(θ0)이 기설정된다.

이어, 검출된 회전각이 θ 인 경우에, 상기 제어기(430)는 상기 θ가 θ1에 이르도록 상기 제 3모터(910)를 작동시킨다. 즉, 상기 제어기(430)는 미러부 몸체(810)를 θ에 절대치 θ1-θ만큼 더 회전시킬 수 있도록 제 3모터(910)를 작동시키는 것이다.

반면에, 도 9를 참조 하면, 미러부 몸체(810)가 상기에 언급되는 캠 부재들(700,700')의 승강에 의하여 원위치로 회전되면, 회전각 검출 센서(900)는 상기 미러부 몸체(810)의 회전각을 검출하여 제어기(430)로 전송한다. 여기서, 상기 제어기(430)에는 개방 회전각(θ1)과 폐쇄 회전각(θ0)이 기설정된다.

이어, 검출된 회전각이 θ 인 경우에, 상기 제어기(430)는 상기 θ가 θ0에 이르도록 상기 제 3모터(910)를 작동시킨다. 즉, 상기 제어기(430)는 미러부 몸체(810)를 θ에 절대치 θ-θ0만큼 더 회전시킬 수 있도록 제 3모터(910)를 작동시키는 것이다.

즉, 도 7 내지 도 9에 도시된 본 발명에 따르는 회전각 검출 센서(900) 및 제 3모터(910) 및 제어기(430)는, 미러부 몸체(810)의 기설정되는 개방 회전각(θ 1) 또는 폐쇄 회전각(θ0)에 이르도록 미러부 몸체(810)의 회전각을 실시간으로 보정할 수 있다. 이에 따라, 미러(830)가 노즐부(300) 하부로부터 안전하게 이탈되거나, 다시 정상적인 원위치로 위치될 수 있도록 유도함으로써 미러부 몸체(810)의 기구적인 회전 동작에 의하여 발생되는 회전 위치 오차를 용이하게 보정할 수 있다.

도 11을 참조 하여, 미러부(800)에 대한 회전각 보정 과정을 더 설명하도록 한다.

도 11에서, S11 내지 S32는 도 10과 동일하기 때문에 설명을 생략하기로 한다.

헤드부(200)가 하강되면, 제 3모터(910)는 제어기(430)로부터 전기적 신호를 전송 받아 일방향으로 회전된다(S90). 이때, 미러부 몸체(810)는 개방 회전각(θ1)을 이루도록 회전된다. 그리고, 회전각 검출 센서(900)는 미러부 몸체(810)의 회전각(θ)을 검출하여 제어기(430)로 전송한다(S91).

그리고, 상기 제어기(430)는 상기 θ가 θ1과 동일한지 여부를 판단하고(S92), 상기 θ가 θ1과 동일해지도록 상기 제 3모터(30)의 구동을 제어할 수 있다.

반면에, 헤드부(200)가 상승되면, 제 3모터(430)는 제어기(430)로부터 전기적 신호를 전송 받아 역방향으로 회전된다(S100). 이때, 미러부 몸체(810)는 폐쇄 회전각(θ0)을 이루도록 회전된다. 그리고, 회전각 검출 센서(900)는 미러부 몸체(810)의 회전각(θ)을 검출하여 제어기로 전송한다(S110).

그리고, 상기 제어기(430)는 상기 θ가 θ0과 동일한지 여부를 판단하고(S120), 상기 θ가 θ과 동일해지도록 상기 제 3모터의 구동을 제어할 수도 있다.

상기에서 도 7 내지 도 9 및 도 11을 참조 하여 언급한 실시예에서, 본 발명의 도 3 및 도 4에 도시된 미러부(800)를 대표적인 예로하여 설명하였지만, 도 5 및 도 6에 도시된 미러부(800')에도 동일하게 적용될 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형 가능함은 물론이다.

따라서 본 발명의 권리 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허 청구 범위뿐만 아니라, 이 특허 청구 범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

도 1은 본 발명의 전자 부품 제조 장치에서 헤드부와 노즐부의 하강 전의 상태를 보여주는 도면이다.

도 2는 본 발명의 전자 부품 제조 장치에서 헤드부와 노즐부의 하강 후의 상태를 보여주는 도면이다.

도 3은 본 발명에 따르는 헤드부의 제 1예를 따르는 캠 부재가 설치된 헤드부와 미러부의 작동 전 상태를 보여주는 도면이다.

도 4는 도 3의 헤드부와 미러부의 작동 후 상태를 보여주는 도면이다.

도 5는 본 발명에 따르는 헤드부의 제 2예를 따르는 캠 부재가 설치된 헤드부와 미러부의 작동 전 상태를 보여주는 도면이다.

도 6은 도 5의 헤드부와 미러부의 작동 후 상태를 보여주는 도면이다.

도 7은 본 발명에 따르는 미러부의 개방 회전각 위치와 폐쇄 회전각 위치를 보여주는 기구도이다.

도 8은 도 7의 미러부의 개방 회전각 위치에 대한 보정 과정을 보여주는 도면이다.

도 9는 도 7의 미러부의 폐쇄 회전각 위치에 대한 보정 과정을 보여주는 도면이다.

도 10은 본 발명의 전자 부품 제조 장치의 전자 부품 흡착 과정을 보여주는 흐름도이다.

도 11은 도 10의 본 발명의 전자 부품 제조 장치의 전자 부품 흡착 과정에 미러부 회전 위치에 대한 보정 과정이 더 포함된 것을 보여주는 흐름도이다.

*주요부분에 대한 도면 설명*

100 : 본체

110 : 이동 경로

200 : 헤드부

210 : 헤드부 몸체

220 : 볼 스크류

300 : 노즐부

310 : 노즐들

320 : 이동 밸트

330 : 롤러들

400 : 위치 조절부

410 : 제 1모터

420 : 제 2모터

430 : 제어기

500 : 진공 제공부

600 : 영상 취득부

610 : 알람 발생기

700, 700': 캠 부재

800, 800': 미러부

810, 810': 미러부 몸체

820, 820': 힌지단

830, 830': 미러

840 : 종동 부재

900 : 회전각 검출 센서

910 : 제 3모터

Claims

본체에 승강 가능하게 설치되는 헤드부;

상기 헤드부에 승강 가능하게 설치되는 노즐부;

상기 헤드부와 상기 노즐부를 순차적으로 전자 부품이 대기되는 위치로 이동시켜 상기 노즐부를 사용하여 상기 전자 부품을 흡착하도록 하는 위치 조절부; 및,

상기 본체에 회전 가능하게 고정되는 미러부를 포함하되,

상기 미러부는 상기 헤드부의 캠 부재의 일면에 슬라이딩 접촉하며 상기 헤드부의 상하 운동과 연동되어 상기 노즐부의 하단에 위치되거나 상기 노즐부의 하단으로부터 이탈되는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 제조 장치.
제 1항에 있어서,

상기 헤드부는 상기 노즐부가 설치되는 노즐부 설치 공간 및 상기 노즐부가 하부로 노출되는 개구를 갖는 헤드부 몸체와, 상기 헤드부 몸체의 상단과 상기 본체를 서로 연결하는 볼 스크류를 구비하고,

상기 노즐부는 상기 노즐부 설치 공간에서 일정 간격을 이루어 배치되는 다수개의 노즐들과, 상기 노즐들과 연결되며 상기 노즐들이 승강되도록 세워져 배치되는 이동 밸트들과, 상기 이동 밸트들 각각의 양단을 지지하는 한 쌍의 롤러를 구비하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 제조 장치.
제 2항에 있어서,

상기 이동 밸트들 각각에는 상기 노즐들이 한 쌍 씩 설치되어 2축 연동되되,

상기 한 쌍의 노즐들은 상기 이동 밸트들 각각에서 서로 마주 보도록 상기 이동 밸트에 설치되는 것을 특징으로 하는 전자 부품 제조 장치.
제 3항에 있어서,

상기 위치 조절부는,

상기 본체에 설치되며 상기 볼 스크류의 일단에 연결되는 제 1모터와, 상기 이동 밸트들 각각의 한 쌍의 롤러들 중 어느 하나와 연결되는 제 2모터와, 상기 제 1모터 및 상기 제 2모터와 전기적으로 연결되며 상기 제 1모터와 상기 제 2모터를 순차적으로 구동시키는 제어기를 구비하되,

상기 제어기에는 상기 전자 부품의 대기 위치 레벨이 기설정되고, 상기 헤드부의 승강 레벨이 기설정되고, 상기 노즐들의 승강 레벨이 기설정되고, 상기 헤드부의 승강 레벨은 헤드부 상승 레벨과 헤드부 하강 레벨로 이루어지고, 상기 노즐들의 승강 레벨은 노즐들 상승 레벨과 노즐들 하강 레벨로 이루어지고,

상기 제어기는 상기 노즐들의 끝단이 상기 대기 위치 레벨에 이르도록 상기 제 1모터와 상기 제 2모터를 구동시켜 상기 헤드부를 상기 헤드부의 하강 레벨에 이르도록 하강시킴과 아울러 상기 노즐들을 상기 노즐들 하강 레벨에 이르도록 하강시키는 것을 특징으로 하는 전자 부품 제조 장치.
삭제
청구항 6은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 4항에 있어서,

상기 노즐들이 2축 연동하는 경우에,

상기 제어기는 상기 제 2모터를 정회전 또는 역회전시키도록 제어하여, 상기 노즐들의 하강 레벨에 축 별로 교차시키어 이르도록 조절하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 제조 장치.
청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 4항에 있어서,

상기 위치 조절부는 상기 노즐들로 전자 부품을 흡착하는 진공 흡입력을 제공하는 진공 제공부와 연결되고,

상기 제어기는 상기 노즐들의 단부가 상기 대기 위치 레벨에 이르면 상기 진공 제공부를 작동시키는 것을 특징으로 하는 전자 부품 제조 장치.
청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 4항에 있어서,

상기 헤드부 몸체의 측부에는 상기 헤드부 몸체의 승강 방향을 따라 일정 길이를 갖는 캠 부재가 설치되고,

상기 본체에는 일단이 상기 본체에 힌지 연결되고 타단에 미러가 설치되며 상기 헤드부 몸체의 승강 여부에 따라 상기 미러가 상기 노즐부의 하부에 위치되거 나 이탈되는 미러부가 설치되고,

상기 미러부에는 상기 캠 부재의 일면과 밀접되는 종동 부재가 설치되고,

상기 헤드부 몸체가 하강되면, 상기 종동 부재가 상기 캠 부재의 일면에 밀접된 상태로 일측으로 밀려 상기 미러부가 상기 노즐부의 하부로부터 이탈되는 것을 특징으로 하는 전자 부품 제조 장치.
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청구항 11은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 4항에 있어서,

상기 헤드부 몸체의 측부에는 상기 헤드부 몸체의 승강 방향을 따라 일정 길이를 갖고 일면에 기어이가 형성되는 캠 부재가 설치되고,

상기 본체에는 일단이 상기 본체에 힌지 연결되고 타단에 미러가 설치되며 상기 헤드부 몸체의 승강 여부에 따라 상기 미러가 상기 노즐부의 하부에 위치되거나 이탈되는 미러부가 설치되고,

상기 미러부의 일단은 상기 캠 부재의 일면과 기어 연결되고, 상기 헤드부 몸체가 하강되면, 하강되는 상기 캠 부재의 일면에 기어 연결된 상태로 회전되어 상기 미러부가 상기 노즐부의 하부로부터 이탈되는 것을 특징으로 하는 전자 부품 제조 장치.
청구항 12은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

제 8항 또는 제 11항에 있어서,

상기 본체에는 상기 미러에 의하여 반사되는 상기 노즐들의 하단에 흡착되는 전자 부품의 영상을 취득하여 상기 제어기로 전송하는 영상 취득부가 설치되고,

상기 제어기는 상기 전송된 전자 부품의 영상이 기설정된 전자 부품의 영상과 비교하여 흡착 위치가 서로 일치하는 지를 판단하여, 상기 흡착 위치가 서로 다른 경우에 상기 제 1,2모터의 구동을 중지하고, 상기 중지에 대한 알람을 발생하는 알람 발생기와 전기적으로 더 연결되는 것을 특징으로 하는 전자 부품 제조 장치.
청구항 13은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

상기 미러부의 일단에는 상기 미러부의 회전각을 검출하는 회전각 검출 센서가 더 설치되고,

상기 미러부의 일단은 상기 제어기로부터 제어되는 제 3모터가 더 설치되고,

상기 제어기에는 상기 미러가 상기 노즐부의 하부로부터 이탈되는 경우의 개방 회전각과, 상기 미러가 상기 노즐부의 하부에 위치되는 경우의 폐쇄 회전각이 기설정되고,

상기 제어기는 상기 미러가 상기 노즐부의 하부로부터 이탈되는 경우에 검출되는 회전각이 상기 개방 회전각과 동일해지도록 상기 제 3모터의 구동을 제어하고, 상기 미러가 상기 노즐부의 하부에 위치되는 경우에 검출되는 회전각이 상기 폐쇄 회전각과 동일해지도록 상기 제 3모터의 구동을 제어하는 것을 특징으로 하는 전자 부품 제조 장치.