KR101526581B1 - Printed circuit board and method for manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a printed circuit board and a manufacturing method thereof.
실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법은 제1 금속층이 형성된 캐리어가 준비되는 단계; 상기 제1 금속층 상에 칩을 부착하는 단계; 상기 칩의 연결단자와 제1 금속층을 연결와이어에 의해 연결하는 단계; 상기 제1 금속층 및 상기 칩 상에 절연층을 형성하고, 상기 절연층 상에 제2 금속층을 형성하는 단계; 상기 캐리어를 제거하는 단계; 및 상기 제1 금속층 및 제2 금속층을 선택적으로 제거하여 연결회로패턴을 포함하는 제1 회로패턴 및 제2 회로패턴을 형성하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention includes: preparing a carrier having a first metal layer; Attaching a chip on the first metal layer; Connecting the connection terminal of the chip and the first metal layer by a connection wire; Forming an insulating layer on the first metal layer and the chip, and forming a second metal layer on the insulating layer; Removing the carrier; And selectively removing the first metal layer and the second metal layer to form a first circuit pattern and a second circuit pattern including a connection circuit pattern.
인쇄회로기판 Printed circuit board
Description
본 발명은 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a printed circuit board and a manufacturing method thereof.
최근 전자 제품이 미세화, 패키지화, 소형화되는 추세에 따라, 미세화, 패키지화, 소형화된 인쇄회로기판에 대한 수요도 증가하고 있다.Recently, with the tendency that electronic products are miniaturized, packaged, and miniaturized, demand for miniaturized, packaged, miniaturized printed circuit boards is also increasing.
이에 따라, 인쇄회로기판에 칩을 내장한 내장형(Embedded) 인쇄회로기판에 대한 수요도 증가하고 있다. Accordingly, there is an increasing demand for an embedded printed circuit board in which a chip is embedded in a printed circuit board.
내장형 인쇄회로기판을 제조하는 공정에는, 상기 인쇄회로기판에 내장되는 칩과, 상기 인쇄회로기판의 회로 패턴들을 연결하는 공정이 포함된다.The step of manufacturing the built-in printed circuit board includes a step of connecting the chip embedded in the printed circuit board and the circuit patterns of the printed circuit board.
칩에는 베어 칩(Bare Chip)과, 상기 베어 칩에 재배선층이 형성된 웨이퍼 레벨 패키지 단계의 칩(Wafer Level Package : WLP)이 있을 수 있다. 그런데 베어 칩의 경우, 외부 회로나 소자 등과 연결되기 위한 연결단자가 너무 작거나, 연결단자 간의 피치(Pitch)가 좁아서 회로 패턴과의 연결이 어려운 문제가 있다. 따라서, 상기 베어 칩에 추가적으로 재배선층을 형성하여, 이러한 문제를 해결해왔으나, 상기 재배선층을 형성하는 추가적인 공정이 필요하여, 제조 공정이 효율적이지 못하고 수율이 떨어지며, 제조 단가가 상승하는 문제가 있다. The chip may be a wafer level package (WLP) having a bare chip and a re-wiring layer on the bare chip. However, in the case of a bare chip, there is a problem that a connection terminal to be connected to an external circuit or a device is too small, or a pitch between the connection terminals is narrow, so that connection with a circuit pattern is difficult. Therefore, the re-wiring layer is formed in addition to the bare chip to solve such a problem. However, the additional process for forming the re-wiring layer is required, resulting in a problem that the manufacturing process is not efficient, the yield is low, and the manufacturing cost is increased.
따라서, 상기 베어 칩을 사용하여 외부 회로나 소자를 연결할 수 있는 인쇄회로기판의 제조 방법이 개발될 필요가 있다. Therefore, a method of manufacturing a printed circuit board that can connect an external circuit or a device using the bare chip needs to be developed.
실시예는 새로운 구조의 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 제공한다.An embodiment provides a printed circuit board of a new structure and a method of manufacturing the same.
실시예는 칩과 회로패턴을 간단한 공정에 의해 연결하는 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 제공한다. Embodiments provide a printed circuit board connecting a chip and a circuit pattern by a simple process and a method of manufacturing the same.
본 발명은 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a printed circuit board and a manufacturing method thereof.
실시예에 따른 인쇄회로기판은 연결회로패턴을 포함하는 제1 회로패턴; 상기 제1 회로패턴 상에 칩; 상기 제1 회로패턴에 형성된 위치결정홈; 상기 칩의 연결단자와 상기 연결회로패턴을 연결하는 연결와이어; 상기 칩 및 제1 회로패턴 상에 절연층; 및 상기 절연층 상에 제2 회로패턴을 포함한다. A printed circuit board according to an embodiment includes a first circuit pattern including a connecting circuit pattern; A chip on the first circuit pattern; A positioning groove formed in the first circuit pattern; A connection wire connecting the connection terminal of the chip and the connection circuit pattern; An insulating layer on the chip and the first circuit pattern; And a second circuit pattern on the insulating layer.
실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법은 제1 금속층이 형성된 캐리어가 준비되는 단계; 상기 제1 금속층 상에 칩을 부착하는 단계; 상기 칩의 연결단자와 제1 금속층을 연결와이어에 의해 연결하는 단계; 상기 제1 금속층 및 상기 칩 상에 절연층을 형성하고, 상기 절연층 상에 제2 금속층을 형성하는 단계; 상기 캐리어를 제거하는 단계; 및 상기 제1 금속층 및 제2 금속층을 선택적으로 제거하여 연결회로패턴을 포함하는 제1 회로패턴 및 제2 회로패턴을 형성하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention includes: preparing a carrier having a first metal layer; Attaching a chip on the first metal layer; Connecting the connection terminal of the chip and the first metal layer by a connection wire; Forming an insulating layer on the first metal layer and the chip, and forming a second metal layer on the insulating layer; Removing the carrier; And selectively removing the first metal layer and the second metal layer to form a first circuit pattern and a second circuit pattern including a connection circuit pattern.
실시예는 새로운 구조의 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 제공할 수 있다.The embodiments can provide a printed circuit board of a new structure and a method of manufacturing the same.
실시예는 칩의 연결단자가 작거나, 회로패턴이 미세한 경우에도, 연결와이어 에 의해 간단하고 효율적으로 칩과 회로패턴을 연결하는 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 제공할 수 있다.The embodiment can provide a printed circuit board and a method of manufacturing the same that connect the chip and the circuit pattern simply and efficiently by the connecting wire even when the connection terminal of the chip is small or the circuit pattern is fine.
본 발명에 따른 실시예의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "상/위(on)"에 또는 "하/아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상/위(on)"와 "하/아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 층을 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 층의 위 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.In describing an embodiment according to the present invention, it is to be understood that each layer (film), region, pattern or structure may be referred to as being "on" or "under / under" quot; on "and" under "are to be understood as being" directly "or" indirectly & . In addition, the criteria for above or below each layer will be described with reference to the drawings.
도면에서 각층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다.The thickness and size of each layer in the drawings are exaggerated, omitted, or schematically shown for convenience and clarity of explanation. Also, the size of each component does not entirely reflect the actual size.
도 1 내지 도 11은 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 설명한 도면이다. 1 to 11 are views illustrating a printed circuit board and a method of manufacturing the same according to an embodiment of the present invention.
먼저, 도 11을 참조하면, 도 11에 도시된 인쇄회로기판은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따라 제조된 인쇄회로기판이다. 11. Referring to FIG. 11, the printed circuit board shown in FIG. 11 is a printed circuit board manufactured according to a preferred embodiment of the present invention.
상기 인쇄회로기판은, 연결회로패턴(85)을 포함하는 제1 회로패턴(80); 상기 제1 회로패턴(80) 상에 부착된 칩(40); 상기 칩(40)의 연결단자(41)와 상기 연결회로패턴(85)을 연결하는 연결와이어(25); 상기 칩(40) 및 제1 회로패턴(80) 상에 형성된 제1 절연층(50); 상기 제1 절연층(50) 상에 형성된 제2 회로패턴(81); 상기 제1, 제2 회로패턴(80)(81) 및 제1 절연층(50)을 관통하는 제1 도전비아(70); 상기 제1, 제2 회로패턴(80)(81) 및 제1 도전비아(70)에 형성된 제2 절연층(90); 상기 제2 절연층(90) 상에 형성된 제3 회로패턴(120); 제1, 제2 회로패턴(80)(81)과 제3 회로패턴(120)을 연결하는 제2 도전비아(110)를 포함한다. The printed circuit board includes a first circuit pattern (80) including a connecting circuit pattern (85); A chip (40) attached on the first circuit pattern (80); A
이하, 도 1 내지 도 11을 참조하여, 실시예에 따른 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 대해 보다 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, a printed circuit board according to an embodiment and a method of manufacturing the same will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 11. FIG.
도 1을 참조하면, 제1 금속층(20)이 형성된 캐리어(10)가 준비된다. Referring to FIG. 1, a
상기 제1 금속층(20)은 금속, 예를 들어, 구리(Cu), 주석(Sn), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 금(Au), 은(Ag) 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다. The
상기 제1 금속층(20)은 상기 캐리어(10) 상에 전체적으로 형성되어 준비될 수 있다. The
또는 상기 제1 금속층(20)은 상기 캐리어(10)가 준비된 후, 스퍼터링 공정, 도금 공정 및 적층 공정 등을 통해 형성될 수 있다. Alternatively, the
상기 캐리어(10)는 금속 또는 수지 재질로 형성될 수 있다. 다만, 상기 캐리어(10)는 상기 제1 금속층(20)과 다른 재질로 형성된다.The
도 2를 참조하면, 상기 제1 금속층(20)을 선택적으로 제거하여, 위치결정홈(21)을 형성할 수 있다. 상기 위치결정홈(21)은 상기 인쇄회로기판에 형성될 제1 회로패턴(80) 및 연결회로패턴(85)을 형성하는 위치, 칩(40)을 부착하는 위치 등에 대한 기준이 될 수 있다. 더 상세한 내용은 해당 공정에서 후술한다. Referring to FIG. 2, the
상기 위치결정홈(21)은 상기 제1 금속층(20) 상에 포토레지스트 패턴( 미도시)을 형성한 후, 상기 포토레지스트 패턴(미도시)을 마스크로 하여, 상기 제1 금속층(20)에 에칭을 실시하여 형성할 수 있다. The
예를 들어, 상기 위치결정홈(21)은 상기 제1 금속층(20)의 가장자리에 형성될 수 있다. 즉, 상기 위치결정홈(21)은 후에 형성될 제1 회로패턴(80)에 형성될 수 있으며, 바람직하게는 상기 제1 회로패턴(80)의 가장자리에 형성될 수 있다. 하지만 상기 위치결정홈(21)의 위치는 필요에 따라 다양하게 정해질 수 있다. For example, the
도 3을 참조하면, 상기 제1 금속층(20) 상에 접착층(30)을 형성한 후, 상기 접착층(30) 상에 칩(40)을 부착한다. Referring to FIG. 3, an
상기 접착층(30)은 상기 칩(40)이 부착되는 위치에 국부적으로 형성된 것으로 도시되었으나, 필요에 따라, 상기 제1 금속층(20)에 전체적으로 도포될 수 있다. Although the
상기 접착층(30)은 접착력을 가진 재질, 예를 들어, 에폭시 수지 또는 페놀 수지로 형성될 수 있다. The
상기 칩(40)은 베어 칩(Bare Chip) 이거나, 상기 베어 칩에 재배선층을 형성한 웨이퍼 레벨 패키지(Wafer Level Package : WLP) 단계의 칩 또는 와이어 본딩(Wire Bonding)에 의해 연결될 수 있는 칩을 모두 포함할 수 있다. The
상기 칩(40)은 상기 칩(40)을 외부 회로나 소자 등과 전기적으로 연결하는 연결단자(41)를 포함할 수 있다. The
상기 칩(40)이 부착되는 위치는 상기 위치결정홈(21)에 의해 결정될 수 있다. 상세히 설명하면, 상기 접착층(30)을 상기 위치결정홈(21)을 기준으로, 미리 설계되어 정해진 상기 칩(40)의 부착 위치에 형성하고, 상기 접착층(30) 상에 상기 칩(40)을 부착할 수 있다. The position where the
도 4를 참조하면, 상기 칩(40)의 연결단자(41)와 상기 제1 금속층(20)을 연결와이어(25)에 의해 연결할 수 있다. Referring to FIG. 4, the
상기 연결와이어(25)와 연결되는 상기 제1 금속층(20) 상의 위치는, 상기 위치결정홈(21)에 의해 결정될 수 있다. The position of the
상기 연결와이어(25)와 연결되는 상기 제1 금속층(20) 상의 위치에는 후에 연결회로패턴(85)이 형성된다. 더 자세한 내용은 후술한다. A
종래에는 칩과 회로패턴을 연결할 때, 상기 칩과 회로패턴 사이의 절연층에 도전비아를 형성하여 연결하였다. Conventionally, when connecting a chip and a circuit pattern, a conductive via is formed in the insulating layer between the chip and the circuit pattern and connected.
그런데, 상기한 대로, 상기 칩(40)은 베어 칩(Bare Chip) 이거나, 상기 베어 칩에 재배선층을 형성한 웨이퍼 레벨 패키지(Wafer Level Package : WLP) 단계의 칩 또는 와이어 본딩으로 연결될 수 있는 모든 칩을 포함할 수 있는데, 상기 칩(40)이 베어 칩인 경우, 상기 칩(40)의 연결단자(41) 간의 간격(Pitch)이 좁고(150μm 이하), 상기 연결단자(41)의 너비도 좁아서(100μm 이하), 상기 도전비아를 형성하여 외부 회로나 소자와 연결하기가 어려운 문제가 있다. However, as described above, the
그래서 종래에는 베어 칩(Bare Chip)에 추가적인 공정을 실시하여, 효율성이 떨어지더라도 상기 베어 칩에 재배선층(Redistribution Layer)을 형성함으로써, 외부 회로나 소자와의 연결을 용이하게 하였다. Thus, conventionally, a bare chip is further processed to form a redistribution layer on the bare chip even if the efficiency is lowered, thereby facilitating connection with an external circuit or device.
하지만 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판은, 상기 연결와이어(25)에 의 해 상기 칩(40)의 연결단자(41)와 제1 금속층(20)을 연결하므로, 상기 칩(40)이 베어 칩(Bare Chip)인 경우에도 용이하게 공정을 진행할 수 있다. 즉, 상기 칩(40)에 재배선층을 형성하는 추가적인 공정 및 상기 도전비아를 형성하는 공정이 불필요하여, 제조 공정이 간단하고 효율적인 효과가 있다.However, the printed circuit board according to the embodiment of the present invention connects the
상기 연결와이어(25)는 금속, 예를 들어, 구리(Cu), 주석(Sn), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 금(Au), 은(Ag) 중 적어도 어느 하나일 수 있다. The
도 5를 참조하면, 상기 제1 금속층(20) 및 상기 칩(40) 상에 반경화 상태(B-stage)의 제1 절연층(50)이 준비되고, 상기 제1 절연층(50) 상에 제2 금속층(60)이 준비된다. 5, a first
상기 제1 절연층(50)은, 상기 제1 금속층(20)의 상면 및 상기 칩(40)을 둘러싸며, 상기 칩(40)의 높이에 상응하는 제 1층(51)과, 상기 칩(40)의 상면 및 상기 제1 층(51)을 덮는 제2 층(52)을 포함한다. 또한, 상기 제 1층(51) 및 제 2층(52)은 각각 하나의 층으로 형성되는 것에 한정되지 않고, 각각 여러 개 층으로 형성될 수 있다. The
상기 제1 절연층(50)은 접착력과 절연성을 가진 재질로 준비될 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 절연층(50)은 에폭시 수지, 페놀 수지 등의 수지 재질로 형성될 수 있다. 또는, 상기 제1 절연층(50)은 프리프레그(Prepreg), 폴리이미드(Polyimide) 필름, ABF 필름 등으로 형성될 수도 있다. 즉, 상기 제1 절연층(50)의 재질은 필요에 따라 다양하게 선택될 수 있다. The first
상기 제2 금속층(60)은 금속, 예를 들어, 구리(Cu), 주석(Sn), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 금(Au), 은(Ag) 중 적어도 어느 하나일 수 있다. The
도 6을 참조하면, 반경화 상태로 준비된 상기 제1 절연층(50) 및 상기 제1 절연층(50) 상에 준비된 제2 금속층(60)을, 상기 제1 금속층(20) 및 상기 칩(40)과, 열 및 압력을 가해 압착한다. 이후, 상기 제1 절연층(50)을 열 및 자외선을 가해 경화시킬 수 있다. 6, the first insulating
상기 제1 절연층(50)은 반경화 상태로 준비되기 때문에, 상기 연결와이어(25)를 손상하지 않고, 상기 압착에 의해, 상기 칩(40) 및 상기 제1 금속층(20) 상에 형성될 수 있다. Since the first insulating
또한, 상기 연결와이어(25)는 상기 제1 절연층(50)을 관통하여, 상기 칩(40)의 연결단자(41)와 상기 제1 금속층(20)을 연결하게 된다. The
도 7을 참조하면, 상기 캐리어(10)를 제거하고, 상기 제1, 제2 금속층(20)(60) 및 제1 절연층(50)을 관통하는 제1 도전비아(70)를 형성할 수 있다. 7, the
상기 제1 도전비아(70)는 상기 인쇄회로기판 상면 및 하면에 형성될 회로패턴이 전기적으로 도통될 필요가 있는 경우 형성될 수 있다. The first
상기 제1 도전비아(70)는 상기 제1, 제2 금속층(20)(60) 및 제1 절연층(50)을 관통하는 비아홀(미도시)을 레이저 드릴링(Laser Drilling) 등을 사용해 형성한 후, 상기 비아홀(미도시)에 도금 공정을 실시하여 형성할 수 있다. The first
상기 도금 공정은 무전해도금(Electroless Plating)을 실시하여 씨드층(Seed Layer)를 형성한 후, 전기도금(Electro Plating)을 실시하여 형성될 수 있다.The plating process may be performed by forming a seed layer by performing electroless plating and then performing electroplating.
도 8을 참조하면, 상기 제1, 제2 금속층(20)(60)을 선택적으로 제거하여, 상기 제1 회로패턴(80) 및 제2 회로패턴(81)을 형성한다. 상기 제1 회로패턴(80)은 연결회로패턴(85)을 포함한다. Referring to FIG. 8, the first and second metal layers 20 and 60 are selectively removed to form the
상기 제1, 제2 회로패턴(80)(81) 및 연결회로패턴(85)은 상기 제1, 제2 금속층(20)(60)에 포토레지스트 패턴(미도시)을 형성한 후, 상기 포토레지스트 패턴(미도시)을 마스크로 하여, 상기 제1, 제2 금속층(20)(60)에 에칭을 실시하여 형성할 수 있다. The first and
이때, 상기 제1, 제2 회로패턴(80)(81) 및 연결회로패턴(85)이 형성되는 위치는 상기 위치결정홈(21)을 기준으로 결정될 수 있다. At this time, the positions where the first and
상기 연결회로패턴(85)은 상기 연결와이어(25)가 연결되는 위치에 형성되며, 상기 연결와이어(25)에 의해 상기 칩(40)의 연결단자(41)와 전기적으로 연결된다.The
상기와 같이 상기 제1 금속층(20)을 선택적으로 제거하여 상기 제1, 제2 회로패턴(80)(81) 및 연결회로패턴(85)을 동시에 형성함으로써, 제조 공정이 간단해지는 효과가 있다. As described above, the
도 9를 참조하면, 상기 제1, 제2 회로패턴(80)(81) 및 상기 제1 도전비아(70)에 제2 절연층(90)을 형성하고, 상기 제2 절연층(90) 상에 제3 금속층(100)을 형성할 수 있다. Referring to FIG. 9, a second insulating
상기 제2 절연층(90)은 상기 제1 절연층(50)과 같은 재질일 수 있으므로 상세한 설명은 생략한다. The second insulating
상기 제2 절연층(90) 및 제3 금속층(100)은, 상기 제1, 제2 회로패턴(80)(81) 상에 반경화 상태(B-stage)의 상기 제2 절연층(90)을 준비하고, 상기 제2 절연층(90) 상에 상기 제3 금속층(100)을 준비한 후, 이들을 상기 제1, 제2 회로패턴(80)(81) 및 제1 도전비아(70)에 열과 압력에 의해 압착하여 형성할 수 있다. 이후, 상기 제2 절연층(90)을 경화시킬 수 있다.The second insulating
상기 제3 금속층(100)은 상기 제1, 제2 금속층(20)(60)과 같은 재질일 수 있다. The
도 10을 참조하면, 상기 제3 금속층(100)과 제1, 제2 회로패턴(80)(81)이 전기적으로 연결될 필요가 있는 경우, 제2 도전비아(110)를 형성할 수 있다. Referring to FIG. 10, when the
상기 제2 도전비아(110)는 상기 제2 절연층(90)에 비아홀(미도시)을 형성하고, 상기 비아홀(미도시)에 도금 공정을 실시하여 형성할 수 있다. The second
도 11을 참조하면, 상기 제3 금속층(100)을 선택적으로 제거하여 제3 회로패턴(120)을 형성할 수 있다. Referring to FIG. 11, the
상기 제3 회로패턴(120)을 형성하는 과정은, 상기 제1, 제2 회로패턴(80)(81)을 형성하는 과정과 같을 수 있으므로, 상세한 설명은 생략한다. The process of forming the
한편, 상기 제1, 제2, 제3 회로패턴(80)(81)(120)을 형성하고, 상기 제1, 제2, 제3 회로패턴(80)(81)(120) 사이에 제1, 제2 절연층(50)(90)을 형성하는 공정은 상기 인쇄회로기판 상의 회로구현의 필요에 따라 생략 혹은 반복될 수 있으며, 당업자가 용이하게 실시할 수 있는 범위 내에서 변형되어 실시될 수 있다. The first, second, and
이후, 상기 인쇄회로기판의 회로구현의 필요에 따라, 상기 제3 회로패턴(120) 상에 솔더마스크(Solder Mask) 및 솔더볼(Solder Ball) 등을 형성하 여, 다른 회로나 소자, 혹은 기판들과 연결할 수 있다. Thereafter, a solder mask and a solder ball may be formed on the
이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, It will be understood that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments can be modified and implemented. It is to be understood that all changes and modifications that come within the meaning and range of equivalency of the claims are therefore intended to be embraced therein.
도 1 내지 도 11은 실시예에 따른 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 설명하는 도면이다. 1 to 11 are views for explaining a printed circuit board according to an embodiment and a method of manufacturing the same.
Claims (20)
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KR1020090022532A KR101526581B1 (en) | 2009-03-17 | 2009-03-17 | Printed circuit board and method for manufacturing the same |
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WO2006043388A1 (en) * | 2004-10-21 | 2006-04-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Module with built-in semiconductor and method for manufacturing the module |
KR100697980B1 (en) * | 2005-09-12 | 2007-03-23 | 삼성전기주식회사 | Manufacturing method of printed circuit board having electronic components within |
KR20070100355A (en) * | 2005-12-14 | 2007-10-10 | 신꼬오덴기 고교 가부시키가이샤 | Substrate with built-in chip and method for manufacturing substrate with built-in chip |
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2009
- 2009-03-17 KR KR1020090022532A patent/KR101526581B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
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KR20100104244A (en) | 2010-09-29 |
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