KR101490286B1

KR101490286B1 - Integrated automatic test equipment

Info

Publication number: KR101490286B1
Application number: KR20140142945A
Authority: KR
Inventors: 반병도; 장경훈
Original assignee: 주식회사 아이티엔티
Priority date: 2014-10-21
Filing date: 2014-10-21
Publication date: 2015-02-04

Abstract

The present invention relates to an automatic integrated test apparatus, and more specifically, to an automatic integrated test apparatus including: a manipulator which forms an arrangement space where a test head and a hi-fix are installed; a power unit which supplies power necessary drive a test; a test head which tests a tested device; and a hi-fix which is connected between the tested device and the test head. The automatic integrated test apparatus of the present invention can save manufacturing costs and space of the automatic integrated test apparatus by disposing the power unit to the internal space of the manipulator.

Description

[0001] INTEGRATED AUTOMATIC TEST EQUIPMENT [0002]

본 발명은 일체형 자동 테스트 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 자동 테스트 장치(ATE) 설비의 한 형태로 테스트 헤드와, 하이픽스와, 매니퓰레이터, 및 파워 유닛이 일체형으로 설계 구성되는 새로운 개념의 설비 배치구조를 갖도록 하는 일체형 자동 테스트 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an integrated automatic test apparatus, and more particularly, to a new automatic test apparatus (ATE) facility in which a test head, a high fix, a manipulator, and a power unit are integrally designed Structure of the present invention.

일반적으로 제조가 완료된 메모리용 반도체들은 출하되기에 앞서 전기 특성 테스트와 번인(Burn-in) 테스트 등을 거치게 된다. 이는 메모리와 반도체의 신뢰성을 검사하기 위한 것으로, 전기 특성 테스트에서는 반도체의 입출력 특성, 펄스 특성, 잡음 허용 오차 등의 전기적 특성을 테스트하게 되며, 번인 테스트에서는 정상 동작 환경보다 높은 온도의 환경에서 정격 전압보다 높은 전압을 일정시간 인가하여 반도체에 문제가 발생하는지의 여부를 테스트하게 된다. 이와 같은 메모리용 반도체들의 신뢰도 테스트를 진행하기 위한 장비로 자동 테스트 장치(Automatic test equipment)가 사용되고 있다.
In general, memory semiconductors that have been manufactured are subjected to an electrical characteristic test and a burn-in test before they are shipped. This is to check the reliability of the memory and the semiconductor. In the electrical characteristic test, the electrical characteristics such as the input / output characteristics of the semiconductor, the pulse characteristics, and the noise tolerance are tested. In the burn-in test, A higher voltage is applied for a predetermined time to test whether or not a problem occurs in the semiconductor. Automatic test equipment has been used as a device for testing the reliability of memory semiconductors.

도 1은 종래의 자동 테스트 장치의 전체적인 시스템 구성을 도시한 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 자동 테스트 장치(ATE)는, 피시험 디바이스(반도체)를 테스트하는 테스트 헤드(2), 일정 수량의 피시험 디바이스를 반송하여 테스트가 이루어지도록 하고 이 테스트 결과에 따라 피시험 디바이스들을 등급별로 분류하여 적재하는 핸들러(3), 및 테스트 헤드(2)와 핸들러(3) 사이에 개재되어 피시험 디바이스와 테스트 헤드(2) 사이의 전기적인 연결을 확립하는 하이픽스(1)를 포함하여 구성된다. 이때, 자동 테스트 장치(ATE)의 피시험 디바이스의 테스트 구동에 필요한 전력을 공급하기 위한 파워 유닛(5)은 테스터 외부에 외함 형태로 별도 구성되고, 테스트 헤드(2)와 하이픽스(1)를 핸들러(3)에 도킹하기 위한 매니퓰레이터(4)가 하이픽스(1)와 테스트 헤드(2) 하부에 설치된다. 즉, (m×n)행렬의 소켓이 배열된 하이픽스(1)와 핸들러(3)의 테스트부가 정합한 상태에서 테스트 트레이 상의 인서트 내에 안착된 피시험 디바이스와 하이픽스 상의 소켓이 서로 접촉함으로써 (m×n)개의 피시험 디바이스의 소자가 동시에 테스트될 수 있게 된다.
1 is a diagram showing the overall system configuration of a conventional automatic test apparatus. As shown in FIG. 1, a conventional automatic test apparatus (ATE) includes a test head 2 for testing a device under test (semiconductor), a test device 2 for carrying a predetermined number of test devices, And a handler 3 interposed between the test head 2 and the handler 3 for establishing an electrical connection between the device under test and the test head 2 And a fix (1). At this time, the power unit 5 for supplying the power required for the test drive of the device under test of the automatic test equipment ATE is separately provided in the form of an enclosure outside the tester, and the test head 2 and the Hi- A manipulator 4 for docking to the handler 3 is provided under the Hi-FIX 1 and the test head 2. That is, the test device placed in the insert on the test tray and the socket on the hi-fix are in contact with each other with the test portion of the handler 3 matched with the high-fix (1) in which the sockets of the (m × n) matrix are arranged m x n) devices under test can be tested simultaneously.

종래의 자동 테스트 장치(ATE) 설비는 도 1에 도시된 바와 같이, 테스트 헤드(2), 하이픽스(1), 핸들러(3), 및 매니퓰레이터(4)를 구비하고, 전력을 공급하기 위한 파워 유닛(5)을 외함 형태로 별도 구성하게 된다. 이들 각각의 구성들은 앞서 설명한 바와 같은 각자의 기능을 수행하며, 유지 보수 및 핸들링(Handling)을 위해 유닛(Unit)으로 분리 결합하도록 구성된다. 특히, 각 유닛(Unit)을 분리/결합할 때에는 보드에 커넥터(Connector)와 포고 핀(Pogo pin)을 사용하게 되는데 각 유닛이 도킹(결합)되는 위치에서 보드 간 접촉(Contact) 문제가 발생할 소지가 크다. 또한, 각 유닛을 도킹하기 위해서 여러 가지 기구적인 요소가 필요하게 되며, 이러한 요소들에 의해 공간이 더 많이 필요하게 되는 문제가 있었다. 대한민국 등록특허공보 제10-0816796호는 반도체 디바이스 테스트 시스템을 선행기술 문헌을 개시하고 있다.A conventional automatic test equipment (ATE) facility includes a test head 2, a high fix 1, a handler 3, and a manipulator 4, as shown in FIG. 1, The unit 5 is separately constructed as an enclosure. Each of these components performs their respective functions as described above, and is configured to separate and connect to a unit for maintenance and handling. Particularly, when separating / combining each unit, a connector and a pogo pin are used on the board, and there is a possibility that a contact problem between boards occurs at a position where each unit is docked . Further, various mechanical elements are required to dock each unit, and there is a problem that space is required more by these elements. Korean Patent Registration No. 10-0816796 discloses a prior art document for a semiconductor device test system.

본 발명은 기존에 제안된 방법들의 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위해 제안된 것으로서, 자동 테스트 장치(ATE) 설비의 한 형태로 구비되는 테스트 헤드와, 하이픽스와, 매니퓰레이터, 및 파워 유닛이 일체형으로 배치되는 구조를 갖도록 구성하되, 종래의 자동 테스트 장치(ATE)에서 매니퓰레이터는 테스트 헤드와 하이픽스를 장착하여 테스트 핸들러에 도킹하기 위한 기구적인 장치였으나, 외함 형태로 구비되는 파워 유닛(전장)을 매니퓰레이터의 내부 공간에 배치될 수 있도록 구성함으로써, 자동 테스트 장치 설비의 제작비용 및 공간을 절약할 수 있게 하고, 설비 설치 및 사용을 편리하게 할 수 있도록 하는, 일체형 자동 테스트 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been proposed in order to solve the above-mentioned problems of the conventional methods, and it is an object of the present invention to provide a test head which is provided as an automatic test equipment (ATE) facility, In a conventional ATE, a manipulator is a mechanical device for docking a test head and a high fix to a test handler. However, a power unit (electric field) provided in an enclosure form may be connected to a manipulator It is possible to save the manufacturing cost and space of the automatic test equipment facility and to facilitate the installation and use of the equipment. do.

또한, 본 발명은, 파워 및 전기 장치를 설비 내부에 배치하여 자동 테스트 장치를 일체형으로 구성하되, 매니퓰레이터와 테스트 헤드의 외측에서 파워 유닛 및 전장들을 유지보수 및 교체를 할 수 있도록 구성함으로써, 자동 테스트 장치(ATE)에서 각 테스트용 보드의 유지 보수 및 교체가 효율적으로 이루어질 수 있도록 하며, 또한 전장들이 테스터의 바로 아래의 위치에 있어 배선의 길이가 짧아져 전기적인 연결 접속의 효율성이 증가되고, 핸들러와 도킹을 위한 하이픽스 플로팅 및 전/후진 이송의 기능이 모두 구현될 수 있는 구조를 갖도록 하는 등 자동 테스트 장치가 설치되는 공간의 활용도가 극대화될 수 있도록 하는, 일체형 자동 테스트 장치를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.In addition, the present invention can be configured such that the power and electric apparatuses are arranged in the facility to constitute an integrated automatic test apparatus, and that the power units and the electric fields can be maintained and replaced from the outside of the manipulator and the test head, It is possible to efficiently perform maintenance and replacement of each test board in the ATE, and also, since the electric fields are located directly below the tester, the length of the wiring is shortened and the efficiency of the electrical connection connection is increased, And a structure in which both the function of high-speed floating for docking and the function of forward / backward transfer can be realized, thereby maximizing the utilization of the space in which the automatic test apparatus is installed. For other purposes.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따른 일체형 자동 테스트 장치는,According to an aspect of the present invention, there is provided an integrated automatic testing apparatus comprising:

일체형 자동 테스트 장치로서,An integrated automatic test apparatus,

테스트 헤드 및 하이픽스가 설치될 배치공간을 형성하고, 상기 배치공간의 테두리를 따라 돌출된 구조로‘ㄷ’자형의 랙 공간부를 형성하는 매니퓰레이터(Manipulator);A manipulator for forming an arrangement space in which the test head and the high fix are to be installed and forming a 'C' shaped rack space portion with a structure protruding along the rim of the arrangement space;

상기 매니퓰레이터의 랙 공간부의 설비 내부에 배치되어 일체형으로 구성되며, 자동 테스트 장치의 피시험 디바이스의 테스트 구동에 필요한 전력 공급 및 전기 장치 배치를 위한 파워 유닛(Power Unit);A power unit disposed in the rack space portion of the manipulator for integrally forming a power supply unit and a power unit for testing and driving the device under test of the automatic test apparatus;

상기 매니퓰레이터의 배치공간의 상부 일 측에 일체형으로 배치되며, 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 테스트 헤드(Test Head); 및A test head disposed integrally on an upper side of the arrangement space of the manipulator for testing the device under test; And

상기 매니퓰레이터의 배치공간에 배치된 테스트 헤드와 연결 접속되도록 일체형으로 배치되어, 피시험 디바이스와 테스트 헤드 사이의 전기적 연결을 확립하는 하이픽스(Hi-Fix)를 포함하는 것을 그 구성상의 특징으로 한다.
(Hi-Fix), which is integrally disposed so as to be connected to the test head disposed in the arrangement space of the manipulator, and establishes an electrical connection between the device under test and the test head.

바람직하게는, 상기 자동 테스트 장치는,Preferably, the automatic test apparatus includes:

상기 매니퓰레이터의 내부에 파워 유닛이 배치되고, 상기 매니퓰레이터의 배치공간의 상부로 테스트 헤드 및 하이픽스가 배치되는 일체형 구조로 구성할 수 있다.
A power unit may be disposed inside the manipulator, and a test head and a high fix may be disposed above the manipulator.

바람직하게는, 상기 매니퓰레이터는,Advantageously, the manipulator comprises:

상기 배치공간의 테두리를 따라 돌출된 ‘ㄷ’자형의 랙 공간부의 내부로 전기장치 부품의 전장1과, 전장2, 및 전장3이 각각 배치되고, 랙 공간부의 외부에는 개폐되는 도어가 형성되는 구조로 구성할 수 있다.
A total length 1, an electric length 2 and a total length 3 of the electric device parts are disposed inside the rack space part of the 'C' shaped protruding along the rim of the arrangement space, and a door that is opened and closed is formed outside the rack space part .

더욱 바람직하게는, 상기 테스트 헤드는,More preferably, the test head comprises:

상기 하이픽스가 배치된 좌우로 전기장치 부품의 전장4 및 전장5를 유지 보수 및 교체가 가능하도록 배치 구성할 수 있다.
It is possible to arrange the electric device part 4 and the electric device 5 of the electric device part so that the maintenance and replacement of the electric device part can be performed on the right and left sides where the high fix is disposed.

더욱 더 바람직하게는, 상기 하이픽스는,Even more preferably, the high-

상기 테스트 핸들러와 도킹에 필요한 플로팅(Floating) 기능을 포함하여 하이픽스 유닛의 전체 높이를 조절하면서 플로팅하는 방식으로 도킹이 용이하게 이루어지도록 구성할 수 있다.The docking can be easily performed by floating the test fixture while adjusting the height of the high fix unit including the floating function required for docking with the test handler.

본 발명에서 제안하고 있는 일체형 자동 테스트 장치에 따르면, 자동 테스트 장치(ATE) 설비의 한 형태로 구비되는 테스트 헤드와, 하이픽스와, 매니퓰레이터, 및 파워 유닛(전장)이 일체형으로 배치되는 구조를 갖도록 구성하되, 종래의 자동 테스트 장치(ATE)에서 외함 형태로 구비되는 파워 유닛(전장)을 매니퓰레이터의 내부 공간에 배치될 수 있도록 구성함으로써, 자동 테스트 장치 설비의 제작비용 및 공간을 절약할 수 있게 하고, 설비 설치 및 사용을 편리하게 할 수 있다.
According to the integrated automatic testing apparatus proposed in the present invention, a test head provided as a form of an automatic test equipment (ATE), and a structure in which a high fix, a manipulator, and a power unit In this case, the power unit (electric field) provided in the form of an enclosure in the conventional automatic test equipment (ATE) can be arranged in the internal space of the manipulator, so that the manufacturing cost and space of the automatic test equipment facility can be saved , Facility installation and use can be made convenient.

또한, 본 발명에 따르면, 파워 및 전기 장치를 설비 내부에 배치하여 자동 테스트 장치를 일체형으로 구성하되, 매니퓰레이터와 테스트 헤드의 외측에서 파워 유닛 및 전장들을 유지보수 및 교체를 할 수 있도록 구성함으로써, 자동 테스트 장치(ATE)에서 각 테스트용 보드의 유지 보수 및 교체가 효율적으로 이루어질 수 있도록 하며, 또한 전장들이 테스터의 바로 아래의 위치에 있어 배선의 길이가 짧아져 전기적인 연결 접속의 효율성이 증가되고, 핸들러와 도킹을 위한 하이픽스 플로팅 및 전/후진 이송의 기능이 모두 구현될 수 있는 구조를 갖도록 하는 등 자동 테스트 장치가 설치되는 공간의 활용도가 극대화될 수 있도록 할 수 있다.In addition, according to the present invention, the power and electric apparatuses are disposed inside the apparatus to configure the automatic test apparatus as an integral unit, and the power unit and the electric fields can be maintained and replaced from outside the manipulator and the test head, It is possible to efficiently perform maintenance and replacement of each test board in the test apparatus (ATE), and also, since the electric fields are located directly below the tester, the wiring length is shortened, the efficiency of the electric connection connection is increased, It is possible to maximize the utilization of the space in which the automatic test apparatus is installed, for example, a structure in which both the handler and the function of high-speed floating and forward / backward transfer for docking can be realized.

도 1은 종래의 자동 테스트 장치의 전체적인 시스템 구성을 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 일체형 자동 테스트 장치의 개략적인 구성을 도시한 도면.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 일체형 자동 테스트 장치의 사시도 구성을 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 일체형 자동 테스트 장치의 도어가 개방된 사시도 구성을 도시한 도면.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 일체형 자동 테스트 장치의 도어가 개방된 다른 각도에서 바라본 사시도 구성을 도시한 도면.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 일체형 자동 테스트 장치에 적용되는 보드 간의 연결 구성을 도시한 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a diagram showing the overall system configuration of a conventional automatic test apparatus. Fig.
2 shows a schematic configuration of an integrated automatic testing apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view of an integrated automatic testing apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view of a door of an integrated automatic test apparatus according to an embodiment of the present invention.
5 is a perspective view of a door of an integrated automatic test apparatus according to an embodiment of the present invention viewed from an open angle;
6 is a view illustrating a connection configuration between boards applied to an integrated automatic test apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, in order that those skilled in the art can easily carry out the present invention. In the following detailed description of the preferred embodiments of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear. In the drawings, like reference numerals are used throughout the drawings.

덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 ‘연결’ 되어 있다고 할 때, 이는 ‘직접적으로 연결’ 되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 ‘간접적으로 연결’ 되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성요소를 ‘포함’ 한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.
In addition, in the entire specification, when a part is referred to as being 'connected' to another part, it may be referred to as 'indirectly connected' not only with 'directly connected' . Also, to "include" an element means that it may include other elements, rather than excluding other elements, unless specifically stated otherwise.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 일체형 자동 테스트 장치의 개략적인 구성을 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 일체형 자동 테스트 장치의 사시도 구성을 도시한 도면이며, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 일체형 자동 테스트 장치의 도어가 개방된 사시도 구성을 도시한 도면이고, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 일체형 자동 테스트 장치의 도어가 개방된 다른 각도에서 바라본 사시도 구성을 도시한 도면이다. 도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 일체형 자동 테스트 장치(100)는, 매니퓰레이터(110), 파워 유닛(120), 테스트 헤드(130), 및 하이픽스(140)를 포함하여 구성될 수 있다.
FIG. 2 is a view showing a schematic configuration of an integrated automatic testing apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a perspective view of an integrated automatic testing apparatus according to an embodiment of the present invention, 4 is a view showing a perspective view of a door of an integrated automatic testing apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a sectional view of a door of the integrated automatic testing apparatus according to an embodiment of the present invention, And FIG. 2 to 5, an integrated automatic testing apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a manipulator 110, a power unit 120, a test head 130, and a HiFix 140 ). &Lt; / RTI >

매니퓰레이터(110)(Manipulator)는, 테스트 헤드(130) 및 하이픽스(140)가 설치될 배치공간(111)을 형성하고, 배치공간(111)의 테두리를 따라 돌출된 구조로‘ㄷ’자형의 랙 공간부(112)를 형성한다. 이러한 매니퓰레이터(110)는 배치공간(111)의 테두리를 따라 돌출된 ‘ㄷ’자형의 랙 공간부(112)의 내부로 전기장치 부품의 전장1(113)과, 전장2(114), 및 전장3(115)이 각각 배치되고, 랙 공간부(112)의 외부에는 개폐되는 도어(116)가 형성되는 구조로 구성할 수 있다. 여기서, 매니퓰레이터(110)는 후술하게 될 테스트 헤드(130)와 하이픽스(140)를 테스트 핸들러에 도킹하는 장치로서, 통상의 종래 자동 테스트 장치(ATE)에서 파워 유닛(5)(도1 참조)은 테스터 외부에 외함 형태로 별도 구성되나, 본 발명의 매니퓰레이터(110)는 내부 공간에 후술하게 될 파워 유닛(120)을 배치하여 포함시킴으로써, 자동 테스트 장치(100)의 공간 절약이 가능하도록 하고 있다.
The manipulator 110 forms a placement space 111 in which the test head 130 and the high fix 140 are to be installed and has a structure that is protruded along the rim of the placement space 111, Thereby forming the rack space portion 112. The manipulator 110 is disposed inside the rack space 112 protruding along the rim of the arrangement space 111 to accommodate the electric field 1 113, the electric field 2 114, And a door 116 is formed outside the rack space portion 112. The door 116 is opened and closed at the outside of the rack space portion 112. [ Here, the manipulator 110 is a device for docking the test head 130 and the HiFix 140 to a test handler, which will be described later. The power unit 5 (see FIG. 1) in a conventional automatic test apparatus (ATE) The manipulator 110 according to the present invention includes a power unit 120 to be described later in an internal space so as to save space in the automatic test apparatus 100 .

파워 유닛(120)은, 매니퓰레이터(110)의 랙 공간부(112)의 설비 내부에 배치되어 일체형으로 구성되며, 자동 테스트 장치(100)의 피시험 디바이스의 테스트 구동에 필요한 전력 공급 및 자동 테스트 장치와 매니퓰레이터 가동을 위한 전장 배치를 하기 위한 구성이다. 이러한 파워 유닛(120)은 자동 테스트 장치(100)에서 전력을 공급하는 역할 및 이것을 가동하는 역할을 수행하며, DRAM 계열 또는 FLASH 계열을 포함하는 피시험 디바이스(반도체)의 테스트에 적합성을 가지는 것으로, 피시험 디바이스의 특성 및 종류에 따라 영향을 거의 받지 않는다.
The power unit 120 is disposed within the equipment of the rack space portion 112 of the manipulator 110 so as to be integrally formed with the power supply unit 120. The power unit 120 supplies power required for test driving of the device under test of the automatic testing apparatus 100, And arrangement of the electric field for the operation of the manipulator. The power unit 120 plays a role of supplying power to the automatic test apparatus 100 and activates the power unit 120. The power unit 120 is suitable for testing a device under test (semiconductor) including a DRAM series or a FLASH series. It is hardly affected by the characteristics and type of the device under test.

테스트 헤드(130)는, 매니퓰레이터(110)의 배치공간(111)의 상부 일 측에 일체형으로 배치되며, 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 테스터의 구성이다. 이러한 테스트 헤드(130)는 하이픽스(140)가 배치된 좌우로 전기장치 부품의 전장4(131) 및 전장5(132)를 유지 보수 및 교체가 가능하도록 배치 구성할 수 있다.
The test head 130 is arranged integrally on one upper side of the arrangement space 111 of the manipulator 110 and is a configuration of a tester for testing the device under test. The test head 130 can be arranged such that the electric field 4 131 and the electric field 5 132 of the electric device part can be maintained and replaced to the left and right where the high fix 140 is disposed.

하이픽스(140)는, 매니퓰레이터(110)의 배치공간(111)에 배치된 테스트 헤드(130)와 연결 접속되도록 일체형으로 배치되어, 피시험 디바이스와 테스트 헤드(130) 사이의 전기적 연결을 확립하는 구성이다. 이러한 하이픽스(140)는 테스트 핸들러와 도킹에 필요한 플로팅(Floating) 기능을 포함하여 하이픽스(140) 유닛의 전체 높이를 조절하면서 플로팅하는 방식으로 도킹이 용이하게 이루어지도록 구성할 수 있다.
The high fix 140 is integrally disposed so as to be connected to the test head 130 arranged in the arrangement space 111 of the manipulator 110 to establish an electrical connection between the device under test and the test head 130 . The hi-fix 140 may be configured to facilitate docking in a floating manner while adjusting the height of the hi-fix 140 unit, including a test handler and a floating function required for docking.

즉, 본 발명에 따른 자동 테스트 장치(100)는 앞서 설명한 바와 같이, 매니퓰레이터(110)의 내부에 파워 유닛(120)이 배치되고, 매니퓰레이터(110)의 배치공간(111)의 상부로 테스트 헤드(130) 및 하이픽스(140)가 배치되는 일체형 구조로 구성할 수 있다. 또한, 일체형으로 구성되는 자동 테스트 장치(100)는 보드 간 접촉 문제가 발생하지 않게 보드 간 연결은 도 6에 도시된 바와 같이, 커넥터를 이용하되 도킹(docking)은 하지 않으며, 유닛 간 도킹을 위한 기구적인 요소를 제거하고 파워 및 전장 부품을 매니퓰레이터(110)와 테스트 헤드(130)에 배치하여 공간을 획기적으로 절약할 수 있게 하고 이에 따른 비용도 절감할 수 있게 하는 신개념의 설비 배치구조를 제공하게 된다. 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 일체형 자동 테스트 장치에 적용되는 보드 간의 연결 구성을 일례로서 나타내고 있다.
That is, as described above, the automatic test apparatus 100 according to the present invention includes a power unit 120 disposed inside the manipulator 110, a test head (not shown) disposed above the placement space 111 of the manipulator 110, 130 and a hi-fix 140 are disposed. In addition, in the automatic test apparatus 100 configured as a single unit, the inter-board connection is not docked using the connector as shown in FIG. 6 so that the inter-board contact problem does not occur, The present invention provides a new concept of facility layout structure that can reduce the space and dramatically save the space by removing the mechanical elements and disposing the power and electric parts in the manipulator 110 and the test head 130 do. 6 shows an example of connection configuration between boards applied to an integrated automatic test apparatus according to an embodiment of the present invention.

상술한 바와 같은 본 발명의 일실시예에 따른 일체형 자동 테스트 장치에 따르면, 일체형 자동 테스트 장치 설비의 운반에서부터 셋-업(Set-up)에 이르는 일련의 과정에서도 핸들링(Handling)이 용이하며, 각 보드의 유지 보수도 간편하게 설비의 전/후에서 가능하게 구성되어 있다. 특히, 전장들이 테스터의 바로 아래에 위치에 있어 배선의 길이가 짧아져 전기적인 부분에서도 효율적이라 할 수 있으며, 이러한 일체형 자동 테스트 장치(ATE)는 향후 ATE의 새로운 배치구조를 갖는 혁신적인 방안으로 제시될 수 있다.
According to the integrated automatic testing apparatus of the present invention as described above, it is easy to handle even a series of processes from the transportation to the set-up of the integrated automatic testing apparatus facility, The maintenance of the board can be done easily before and after the installation. Particularly, since the electric fields are located directly below the tester, the length of the wiring is shortened and it is efficient even in the electric part. Such an integrated automatic testing device (ATE) is proposed as an innovative solution with a new arrangement structure of ATE in the future .

이상 설명한 본 발명은 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 다양한 변형이나 응용이 가능하며, 본 발명에 따른 기술적 사상의 범위는 아래의 특허청구범위에 의하여 정해져야 할 것이다.The present invention may be embodied in many other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics of the invention.

100: 본 발명의 일실시예에 따른 일체형 자동 테스트 장치
110: 매니퓰레이터 111: 배치공간
112: 랙 공간부 113: 전장1
114: 전장2 115: 전장3
116: 도어 120: 파워 유닛
130: 테스트 헤드 131: 전장4
132: 전장5 140: 하이픽스100: An integrated automatic test apparatus according to an embodiment of the present invention
110: Manipulator 111: Arrangement space
112: rack space part 113: total length 1
114: Battlefield 2 115: Battlefield 3
116: Door 120: Power unit
130: test head 131: total length 4
132: total length 5 140: high fix

Claims

An integrated automatic testing apparatus (100)
A rack space portion 112 having a U shape is formed by projecting along the rim of the arrangement space 111. The rack space portion 112 is formed in a rectangular shape, A manipulator 110 (Manipulator);
The power supply necessary for the test drive of the device under test of the automatic test apparatus 100 and the electric field arrangement necessary for the operation of the device are disposed in the rack space portion 112 of the manipulator 110, A power unit 120 (Power Unit);
A test head 130 integrally disposed on one upper side of the arrangement space 111 of the manipulator 110 for testing the device under test; And
A hi-fix 140 (which is integrally disposed so as to be connected to the test head 130 disposed in the arrangement space 111 of the manipulator 110) for establishing an electrical connection between the DUT and the test head 130 Hi-Fix). &Lt; / RTI >

The automatic test apparatus (100) according to claim 1,
A power unit 120 is disposed in the manipulator 110 and a test head 130 and a high fix 140 are disposed in an upper part of the arrangement space 111 of the manipulator 110 Wherein the automatic test apparatus comprises:

3. The apparatus according to claim 1 or 2, wherein the manipulator (110)
The electric field 1 113, the electric field 2 114 and the electric field 3 115 of the electric device part are inserted into the 'C' shaped rack space part 112 protruding along the rim of the arrangement space 111 And a door (116) which is opened and closed is formed outside the rack space part (112).

4. The apparatus of claim 3, wherein the test head (130)
And the electric field 4 (131) and the electric field 5 (132) of the electric device parts are arranged so as to be able to be maintained and replaced on the left and right where the high fix 140 is disposed.

5. The apparatus of claim 4, wherein the high-
And the docking is easily performed by floating the height of the high fix unit (140) while adjusting the height of the high handler unit (140) including the floating function required for docking with the test handler.