KR101472988B1 - 보관고, 보관고 세트 및 보관고 부착 반송 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 예를 들어 반도체 소자 제조용의 각종 기판을 수용하는 짐을 일시적으로 보관하는 보관고에 있어서, 간단한 구성에 의해 효율적으로 짐을 출고/입고하는 것 혹은 효율적으로 보관고 내 반송하는 것을 과제로 한다.

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 의하면, 반송차(2)와의 사이에서 짐(3)의 출고/입고가 행해지는 보관고(10)는, 짐을 반송차로부터 또는 반송차로 이송가능한 포트; 짐을 수용 또는 재치가능한 복수개의 선반부분(15); 짐을 복수개의 선반부분 및 포트 사이 그리고 복수개의 선반부분의 상호 간에 이동가능한 구동 수단(19); 및 복수개의 선반부분으로부터 포트로 짐을 이동시킬 경우, 우선, 복수개의 선반부분 중 1개인 가출고용 선반부분으로 이동시켜, 가출고용 선반부분에 일단 수용 또는 재치 한 후에, 가출고용 선반부분으로부터 짐을 포트로 이동시키도록 구동 수단을 제어하는 제어 수단(20)을 구비한 것을 특징으로 한다.

보관고, 반송차, 선반부분, 구동 수단, 제어 수단, 가출고용 선반부분

Description

보관고, 보관고 세트 및 보관고 부착 반송 시스템{STORAGE, STORAGE SET, AND TRANSPORTING SYSTEM HAVING THE STORAGE}

본 발명은, 예를 들어 반도체 소자 제조용의 각종 기판을 수용하는 FOUP(Front Open Unified Pod) 등의 짐을 궤도상에서 반송하는 반송 시스템에 있어서, 궤도에 인접한 위치에서 짐을 일시적으로 보관하는 스토커(stocker)(혹은 스태커(stacker)) 등의 보관고, 이러한 보관고를 복수개 조합시켜서 이루어진 보관고 세트, 및 상기 보관고를 구비하여 이루어진 보관고 부착 반송 시스템의 기술분야에 관한 것이다.

이 종류의 보관고는, 예를 들어 비히클(vehicle) 등의 반송차가 주행하는 궤도에 인접해서 부설되고, 보관고 내에는 반송차에 의해 반송되는 짐을 다수개 보관하도록 다수의 선반부분이 설치된다. 또한, 이러한 보관고 내와 반송차와의 사이에 있어서의 짐의 수수 또는 출입(즉, 출고/입고)을 행하기 위한 "포트"(port)와 지정된 선반부분과의 사이에 있어서의 짐의 반송(즉, 보관고 내 반송)을 행하기 위한, 스토커 로봇, 스토커 크레인 등으로 불리는 보관고 내 반송 장치가 설치된다. 특히, 스토커 로봇 등에 의해, 종횡 무진하게 확대되는 다수의 선반부분을 포함하 는 보관고 내에 있어서의 반송이 가능하게 되고 있으며, 예를 들어, 수십 개 내지 수백 개라고 하는 다수개의 짐의 출고/입고 및 보관이 가능해지고 있고, 수 톤 내지 수십 톤급의 무게의 대형 보관고도 실용화되고 있다(특허 문헌 1 및 2 참조).

한편, 이 종류의 보관고에는, 연직 방향으로 다수 단 나열된 선반부분의 옆을 따라서 승강가능한 승강대 위에 직접 천정 매달림형의 반송차로부터 짐이 이재되는(즉, 이송되는) 비교적 소형의 보관고도 있다. 이 보관고에서는, 출고 시에는 승강대 위로부터 직접 짐이 반송차로 이송된다(특허 문헌 3 참조).

특허 문헌 1: 일본국 공개 특허 제2006-049454호 공보

특허 문헌 2: 일본국 공개 특허 제2003-182815호 공보

특허 문헌 3: 일본국 공개 특허 제2004-238191호 공보.

그러나, 전술한 특허 문헌 1 및 2에 기재된 보관고에 의하면, 빈 상태의 반송차가 포트에 도착하고 나서, 출고해야 할 짐을 보관하고 있던 선반부분으로부터 포트로 보관고 내 반송하면, 특히, 선반부분의 위치에 따라서는, 보관고 내 반송에 시간이 걸려버린다. 그렇다고 해서, 미리 출고해야 할 짐을 포트에 미리 재치(載置: 얹어 놓기)시켜 둘 경우, 도착하는 반송차가 빈 상태이면 괜찮지만, 짐을 반송하고 있을 가능성이 있다. 그러면, 출고해야 할 짐이 포트에 놓여 있는 것은 반송차로부터 포트에 짐을 이송할 때의 방해로 되어버린다. 가령, 이러한 불편을 피하기 위해서 반송차의 짐의 이송에 대해서 상세한 스케줄을 짜서, 전체 제어하는 것도 이론상은 가능하지만, 복잡하게 뒤얽힌 궤도 상을 고속 주행하는 다수의 반송차, 다수의 짐, 궤도나 포트 또는 스토커 로봇에 있어서의 사용 상태(특히, 혼잡 상태나 정체) 등이 파라미터로서 깊게 관계하므로, 실제 상의 제어는 극도로 곤란하다고 하는 기술적 과제가 있다.

한편, 전술한 특허 문헌 3에 기재된 보관고에 의하면, 승강대 그 자체가 출입고용의 포트로 되어, 입고 시 반송차로부터 매달아서 승강대 위까지 위치 결정하면서 짐을 내리거나 또는 출고 시 반송차에 의해 승강대 위로부터 낚아 올리는 데 시간이 걸린다. 특히, 승강대가 위쪽에 있는 수수 위치에 없으면, 승강대를 그 위치까지 이동시키는 시간이 걸리고, 아래쪽에 있는 승강대에서 수수하는 것도 곤란하다. 그리고, 특히, 이와 같이 시간이 걸리는 출고/입고 작업 중에 의해 승강대 는 독점 사용되므로, 승강대를 사용해서 다른 짐을 보관고 내 반송하는 것은 불가능하다고 하는 기술적 문제점이 있다.

본 발명은, 예를 들어, 전술한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 간단한 구성에 의해 효율적으로 짐을 출고/입고하는 것 혹은 효율적으로 보관고 내 반송하는 것을 가능하게 하는 보관고, 이러한 보관고를 복수개 조합시켜서 이루어진 보관고 세트 및 상기 보관고를 구비한 보관고 부착 반송 시스템을 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명의 보관고는, 상기 과제를 해결하기 위해서, 반송차와의 사이에서 짐의 출고/입고가 행해지는 보관고에 있어서, 상기 짐을 상기 반송차로부터 또는 상기 반송차에 이송가능한 포트; 상기 짐을 수용 또는 재치가능한 복수개의 선반부분; 상기 짐을 상기 복수개의 선반부분 및 상기 포트 사이 그리고 상기 복수개의 선반부분의 상호 간에 이동가능한 구동 수단; 및 상기 복수개의 선반부분으로부터 상기 포트로 상기 짐을 이동시킬 경우에는, 우선 상기 복수개의 선반부분 중 1개인 가출고용 선반부분으로 이동시키고, 상기 가출고용 선반부분에 일단 수용 또는 재치한 후에, 상기 가출고용 선반부분으로부터 상기 짐을 상기 포트로 이동시키도록 상기 구동 수단을 제어하는 제어 수단을 구비한다.

본 발명의 보관고에 의하면, 입고 시에는, 짐은 예를 들어 궤도상을 주행하는 반송차에 의해 포트까지 반송된다. 그래서, 짐은 정지한 반송차로부터 보관고의 포트로 이송된다. 그러면, 짐은 포트로부터, 예를 들어 연직 구동부 및 수평 구동부를 구비하는 구동 수단에 의해서 원하는 선반부분으로 이동된다. 즉, 보관고 내 반송된다.

출고 시에는, 출고해야 할 짐이 복수 또는 다수의 선반부분 중 원하는 선반부분으로부터 구동 수단에 의해서 보관고 내 반송된다.

여기에서 전통적인 스토커에 의하면, 짐이 선반으로부터 스토커 로봇 등에 의해 포트까지 보관고 내 반송된 직후에, 빈 상태의 반송차를 불러들이고, 불러들인 빈 상태의 반송차에 대해서, 짐이 포트에서 이송된다. 또는, 포트에 도착한 빈 상태의 반송차를 대기시켜 두고, 짐은 보관고 내 반송되어서 즉시 포트에서 이송된다. 전자의 경우, 포트에 짐이 놓여진 후에, 이 포트에 짐을 이송하도록 하는 반송차가 도래해버리면, 반송 계획은 부득이하게 변경해야 한다. 후자의 경우, 보관고 내 반송 시간 동안, 반송차는 포트에서 대기하는 것으로 되고, 특히, 대형의 스토커로서 보관고 내 반송 거리가 길 경우에는, 반송차에 이송할 때까지의 시간이 현저하게 길어져버린다. 한편, 보관고 내 반송을 행하는 승강대가 그대로 포트로 되는 간이 구성의 스토커의 경우에는, 이송 기간 동안에 보관고 내 반송은 불가능하게 되어버린다.

그런데, 본 발명에 의하면, 선반부분으로부터 포트에 짐을 보관고 내 반송할 경우에는, 우선, 제어 수단에 의한 제어하에서, 구동 수단에 의해서, 이 짐은 복수개의 선반부분 중 1개인 가출고용 선반부분으로 이동시킬 수 있어, 가출고용 선반부분에 일단 수용 또는 재치된다. 따라서, 이 시점에서는, 가출고용 선반부분으로 이동된 짐에 의해 포트가 점유되는 일은 없다. 즉, 이 시점에서는, 포트는 비어있 어 입고가능한 상태에 있을 가능성도 높다. 계속해서, 전형적으로는 빈 포트에 빈 상태의 반송차가 도착했을 경우, 또는, 반송차로부터 포트로의 이송 및 구동 수단에 의한 그 보관고 내 반송이 행해짐으로써 포트가 비게 되는 동시에 이송에 의해 비게 된 반송차가 포트에서 대기하고 있을 경우, 구동 수단에 의해서, 가출고용 선반부분에 일단 수용 또는 보관되어 있던 짐은 가출고용 선반부분으로부터 포트로 이동시킬 수 있다. 그러면, 포트에서 해당 보관고로부터 짐의 반송차로의 이송이 행해진다.

이와 같이 포트와 가출고용 선반부분은 별도의 것이므로, 포트에 있어서의 이송 작업과 구동 수단에 의한 가출고용 선반부분으로의 보관고 내 반송 작업과는 병행하여 실행가능해지므로, 이송 작업과 보관고 내 반송 작업을 종합한 작업 효율이 현저하게 향상한다. 물론, 예를 들어, 승강대를 포트로서 이용할 경우와 달리, 본 발명에서는, 포트와 구동 수단도 별도의 것이므로, 포트에 있어서의 이송 작업 중에, 구동 수단에 의한 가출고용 선반부분과 무관한 보관고 내 반송 작업(예를 들어, 이송 작업 중에 보관고 내에 있어서의 임의의 선반부분 간에서의 보관고 내 반송 등)을 실행가능하다.

또, 이러한 포트에 있어서의 반송차로의 이송에 앞선 가출고용 선반부분으로의 보관고 내 반송은, 모든 짐에 대해서 혹은 모든 상황에 있어서 실행되어도 된다. 이 경우, 포트로의 반송 및 가출고용 선반부분로의 보관고 내 반송의 제어가 간단하게 끝난다. 혹은, 가출고용 선반부분으로의 보관고 내 반송은, 일부의 짐(예를 들어, 보관고 내에 있어서 포트로부터 상대적으로 먼 쪽에 있는 선반부분)에 대해서 혹은 조건부로(예를 들어, 포트가 다른 짐의 입고용에 사용될 전망이 없다고 하는 조건부 등으로) 실행되어도 된다. 이 경우, 제어가 다소 복잡화되지만, 이송 작업 및 보관고 내 반송 작업의 종합적인 효율을 보다 높이는 것도 가능하다.

이상과 같이, 본 발명의 보관고에 의하면, 간단한 구성에 의해 효율적으로 짐을 출고/입고하는 것 혹은 효율적으로 보관고 내 반송하는 것이 가능해진다.

본 발명의 보관고의 일 양상에서는, 상기 가출고용 선반부분은 상기 복수개의 선반부분 중 상기 포트까지 상기 짐을 이동시키는 시간이 상대적으로 단시간인 것으로서 설정되어 있다.

이 양상에 의하면, 가출고용 선반부분으로부터 포트로의 보관고 내 반송에 걸리는 시간을 단축할 수 있고, 이송 작업 및 보관고 내 반송 작업의 전체의 효율을 한층 높일 수 있다. 여기에 「상대적으로 단시간」이란, 적어도 포트로의 보관고 내 반송에 앞서 해당 가출고용 선반부분으로의 보관고 내 반송이 행해지는 대상으로 되고 있는 선반부분과 비교해서 단시간이라고 하는 의미이다. 이상적으로는, 짐을 포트까지 이동시키는 데 걸리는 시간이 가장 단시간인 것이지만, 이러한 가장 단시간인 것의 부근이어도 된다는 취지이다. 전체 선반부분에 대한 가출고용 선반부분으로의 이동에 걸리는 평균 시간보다도 단시간이면, 본 발명에 의한 상응한 효과를 얻을 수 있다.

본 발명의 보관고의 다른 양상에서는, 상기 제어 수단은, 상기 반송차가 상기 짐을 반송하지 않는 상태에서 상기 포트에 도착한 혹은 도착할 경우 또는 상기 반송차가 상기 짐을 반송하지 않는 상태에서 상기 포트에서 대기하고 있을 경우에, 상기 가출고용 선반부분으로부터 상기 짐을 상기 포트로 이동시키도록 상기 구동 수단을 제어한다.

이 양상에 의하면, 제어 수단에 의한 제어 하에서, 구동 수단에 의해서 가출고용 선반부분에 일단 수용 또는 보관되어 있던 짐은 반송차가 짐을 반송하지 않는 상태에서 포트에 도착한 혹은 도착할 경우에, 포트로 이동시킬 수 있다. 여기서 「도착한」이란, 도착이 검출된 후에라고 하는 의미이며, 「도착할」이란, 사전에 도착이 예측 혹은 추정되는 또는 계획되어 있다라고 하는 의미이다. 혹은, 가출고용 선반부분에 일단 수용 또는 보관되어 있던 짐은, 반송차가 짐을 반송하지 않는 상태에서 포트에서 대기하고 있을 경우에, 포트로 이동시킬 수 있다. 여기서 「반송차가 짐을 반송하지 않는 상태」란, 빈 채로 도착한 상태 이외이거나, 짐을 포트에 이송함으로써 비게 된 상태도 포함하는 의미이다. 이와 같이, 가출고용 선반부분으로부터 포트까지 짐을 반송하면, 즉시 반송차로의 이송이 가능해지는 타이밍에서, 가출고용 선반부분으로부터 포트로의 보관고 반송이 실행된다. 따라서, 포트가 가출고용 선반부분으로부터 보관고 반송된 짐에 의해서 점유되는 시간 혹은 시간 비율을 극히 억제할 수 있다.

본 발명의 보관고 또는 다른 보관고의 다른 양상에서는, 상기 구동 수단은, 상기 짐을 그 밑바닥쪽에서부터 지지가능한 제1재치면을 가지는 재치부; 상기 재치부를 수평 일방향으로 왕복이동가능한 수평 구동부; 및 상기 재치부를 연직 방향으로 왕복이동가능한 연직 구동부를 구비하며, 상기 복수개의 선반부분은, 상기 연직 방향으로 복수 단에 걸쳐서 단마다 상기 수평 구동부에 의해 도달가능한 수평 위치 에 1개 또는 복수개 설치된 동시에, 상기 제1재치면과의 사이에서 상기 짐을 서로 이송가능하게 구성되어 있는 제2재치면을 각각 지니고, 상기 복수개의 선반부분의 적어도 하나가 상기 포트로서 기능하며, 상기 가출고용 선반부분은 상기 포트와 동일한 단에 있는 선반부분이다.

이 양상에 의하면, 선반은, 선반부분을 연직 방향으로 복수 단에 걸쳐서 단마다 수평 일방향으로 1개 또는 복수개 지니고, 구동 수단은, 이러한 선반에 대응해서, 짐을 수평 일방향으로 왕복이동가능한 동시에 연직 방향으로 왕복이동가능하다. 따라서, 연직 방향 및 수평 일방향이라고 하는 2축 운동에 의해서, 출입고용 포트(또는 다른 선반부분)로부터 복수 존재하는 선반부분 중 원하는 선반부분으로 짐을 보관고 내 반송가능해진다. 혹은, 연직 방향 및 수평 일방향이라고 하는 2축 운동에 의해서, 복수 존재하는 선반부분 중 원하는 선반부분으로부터 출입고용 포트(또는 다른 선반부분)로 짐을 보관고 내 반송가능하게 된다.

개개의 보관고에 대해서 말하면, 예를 들어, 선반은 연직 방향으로 m(단, m은 2 이상의 자연수)단, 수평 일방향으로 n(단, n은 1 이상의 자연수)열, 또한 이것에 수직인 남은 수평 일방향(이하, 단순히 「두께 방향」이라 칭함)으로는 1열만으로 한 상태에서 얇은 평판 형상으로 되도록, 전체의 골격이 구성된다

입고 시에는, 예를 들어, 반송차로부터 출입고용 포트로서 기능하는 제2재치면 위에 짐이 이송된다. 계속해서, 포트로서 기능하는 제2재치면 위에 이송된 짐은, 2축 방향으로 이동가능한 재치부의 제1재치면에 이송된다. 예를 들어, 제1 및 제2재치면은, 짐의 바닥면에 있어서의 상이한 부분(전형적으로는, 중앙쪽 부분과 주변쪽 부분)을 지지하도록 구성되어 있어, 어느 쪽인가 한쪽에서 짐을 지지하는 것이 가능하다. 재치부가, 포트로서 기능하는 제2재치면이 존재하는 연직 위치 또한 수평 위치로 이동되었을 때에, 포트로서 기능하는 제2재치면을 대신해서, 제1재치면에서 지지함으로써, 제2재치면으로부터 제1재치면으로의 이송이 행해진다. 전형적으로는, 연직 구동부에 의해 제1재치면이 제2재치면보다 높아질 때까지 이동됨으로써, 짐은 제1재치면에 의해서 지지되는 것으로 된다. 이것에 의해, 입고 시에 있어서의 보관고 내 반송이 개시된다. 여기에서는, 연직 구동부 및 수평 구동부에 의한 간단한 2축 동작에 의해서, 선반에 있어서의 어느 쪽의 제2재치면에도 신속하게 보관고 내 반송이 가능하다.

계속해서, 재치부가 보관에 사용하고자 하는 제2재치면이 존재하는 연직 위치 또한 수평 위치로 이동된 때에는, 제1재치면을 대신해서, 제2재치면에서 지지함으로써, 제1재치면으로부터 제2재치면으로의 이송이 행해진다. 전형적으로는, 연직 구동부에 의해 제1재치면이 제2재치면보다 낮아질 때까지 이동됨으로써, 짐은 제2재치면에 의해서 지지되는 것으로 된다. 이것에 의해, 입고 시에 있어서의 보관고 내 반송이 종료되어, 선반에서의 보관이 개시된다.

이상의 입고 시의 동작은 포트로부터 가출고용 선반부분을 포함하는 전체의 선반부분으로의 보관고 내 반송의 경우에도 마찬가지로 실행된다.

한편, 출고 시에는, 재치부가 출고하고자 하는 짐이 재치되어 있는 제2재치면이 존재하는 연직 위치 또한 수평 위치로 이동된다. 계속해서, 제2재치면을 대신해서, 제1재치면에서 지지함으로써, 제2재치면으로부터 제1재치면으로의 이송이 행해진다. 전형적으로는, 연직 구동부에 의해 제1재치면이 제2재치면보다 높아질 때까지 이동됨으로써, 짐은 제1재치면에 의해서 지지되는 것으로 된다. 이것에 의해, 출고 시에 있어서의 보관고 내 반송이 개시된다. 계속해서, 재치부가 포트로서 기능하는 제2재치면이 존재하는 연직 위치 또한 수평 위치로 이동된다. 여기에서는, 연직 구동부 및 수평 구동부에 의한 간단한 2축 동작에 의해서, 어느 쪽의 제2재치면에서도 신속하게 보관고 내 반송이 가능하다.

계속해서, 제1재치면 대신에 포트로서 기능하는 제2재치면에 의해 지지함으로써 제1재치면으로부터 포트로서 기능하는 제2재치면으로의 이송이 행해진다. 전형적으로는, 연직 구동부에 의해 제1재치면이 제2재치면보다 낮아질 때까지 이동됨으로써, 짐은 제2재치면에 의해서 지지되는 것으로 된다. 이것에 의해 출고 시에 있어서의 보관고 내 반송이 종료되어, 포트로부터 반송차로의 이송이 가능한 상태로 된다.

이상의 출고 시의 동작은, 가출고용 선반부분으로부터 포트로의 보관고 내 반송의 경우에도, 가출고용 선반부분이 아닌 보통의 선반부분으로부터 포트로의 보관고 내 반송의 경우에도, 가출고용 선반부분이 아닌 보통의 선반부분으로부터 가출고용 선반부분으로의 보관고 내 반송의 경우에도, 마찬가지로 실행된다.

그 후, 이미 출입고용 포트에 대면하는 궤도상 위치에서 대기하고 있던 또는 다음에 이 위치에 도착하는 반송차에 의해서, 이 포트로부터 반송차로의 이송이 행해진다.

여기서, 특히, 가출고용 선반부분은 포트와 같은 단에 있는 선반부분이므로, 가출고용 선반부분으로부터 포트로의 짐의 이동은 수평 구동부에 의한 수평 일방향의 이동에 의해서 단순하고도 신속하게 실행가능해진다. 따라서, 2축 방향으로 움직이는 재치부에 의해 가출고의 작업이 매우 효율적으로 행해지는 것으로 된다.

이상의 결과, 구동 수단에 의해 2축 방향으로 움직이는 재치부라고 하는 비교적 간단한 구성 및 간단한 제어에 의해서, 가출고용 선반부분으로부터 포트로의 보관고 내 반송(즉, 가출고 또는 가출고 작업) 및 포트로부터 모든 선반부분으로의 보관고 내 반송을 매우 효율적으로 실행할 수 있다. 게다가, 반송차 및 포트 사이에서 이송을 행하고 있는 한가운데에, 구동 수단에 의한 보관고 내 반송도 가능해지므로, 보관고 내에 있어서의 반송 효율에 대해서도 비약적으로 향상된다.

또, 전형적으로는, 같은 단에 2개 있는 선반부분의 한쪽이 포트로 되고, 다른 쪽이 가출고용 선반부분으로 된다. 혹은, 같은 단에 3개 있는 선반부분 중 1개가 포트로 되고, 나머지 2개가 가출고용 선반부분으로 되어도 된다. 그러면, 수평 구동부의 단순하고도 신속한 수평 일방향의 이동에 의해서, 가출고용 선반부분과 포트와의 사이의 이동이 가능해진다.

본 발명의 보관고 세트는 상기 과제를 해결하기 위해서, 전술한 본 발명에 따른 보관고 또는 다른 보관고(단, 그들의 각종 양상을 포함함)가 복수개 조합되어 이루어지고, 상기 복수개의 보관고는 상기 포트가 일렬로 나열되도록 배열되어 있다.

본 발명의 보관고 세트에 의하면, 전술한 본 발명에 따른 보관고 또는 다른 보관고(단, 그들의 각종 양상을 포함함)를 지니므로, 간단한 구성에 의해 효율적으 로 짐을 출고/입고하는 것 혹은 효율적으로 보관고 내 반송하는 것이 가능해진다.

또한, 공장 내에 부설된 궤도를 따른 방향에 있어서의 각종 장치 등 사이의 간극에 맞춘 수만큼 보관고를 조합시키는 것이 가능해져, 실용상 매우 편리하다. 바꿔 말하면, 궤도를 따라서 부설되는 장치 등 사이의 간극이 큰 설계여도, 작은 설계여도, 본 발명의 보관고 세트를 이용하면, 충분히 허용 범위로 될 수 있다. 게다가, 개개의 보관고 내에 있어서의 보관고 내 반송은, 전술한 바와 같이 두께 방향으로는 얇게 퍼지는, 즉 복수 단에 결쳐서 또한 각 단에 복수개 있는 선반부분을 지니는 선반에 대한, 2축 방향의 운동에 의해서 매우 효율적으로 행해진다.

본 발명의 보관고 부착 반송 시스템은, 상기 과제를 해결하기 위해서, 전술한 본 발명에 따른 보관고 또는 다른 보관고(단, 그들의 각종 양상을 포함함)와, 상기 반송차와, 상기 반송차가 주행하는 궤도를 구비한다.

본 발명의 보관고 부착 반송 시스템에 의하면, 전술한 본 발명에 따른 보관고를 지니므로, 간단한 구성에 의해 효율적으로 짐을 출고/입고하는 것 혹은 효율적으로 보관고 내 반송하는 것이 가능해진다.

이상과 같이, 본 발명의 보관고에 의하면, 간단한 구성에 의해 효율적으로 짐을 출고/입고하는 것 혹은 효율적으로 보관고 내 반송하는 것이 가능해진다.

또, 본 발명의 보관고 부착 반송 시스템에 의하면, 전술한 본 발명에 따른 보관고를 지니므로, 간단한 구성에 의해 효율적으로 짐을 출고/입고하는 것 혹은 효율적으로 보관고 내 반송하는 것이 가능해진다.

본 발명의 작용 및 기타 이득은 다음에 설명하는 발명의 실시를 위한 구체적인 내용으로부터 명백해진다.

이하, 본 발명의 실시예에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.

<제1실시예>

우선, 제1실시예에 따른 보관고의 구성에 대해서 도 1 내지 도 3을 참조해서 설명한다. 여기서, 도 1은 제1실시예에 따른 보관고를 구비한 반송 시스템의 외관을 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 보관고의 내부 구조를 모식적으로 나타낸 단면도이며, 도 3은 제1실시예에 따른 제1 및 제2재치면의 짐에 대한 결합 상태를 나타낸 단면도이다.

도 1에 있어서, 반송 시스템(100)은 레일(1), 반송차(2), 스토커(보관고)(10) 및 컨트롤러(20)를 구비한다. 반송 시스템(100)은 반송차(2)를 구동해서, 레일(1) 위에서 FOUP(3)의 반송을 행한다. 레일(1)은, 본 발명에 따른 「궤도」의 일례로서, 반송차(2)가 주행하기 위한 궤도의 역할을 담당한다.

반송차(2)는 예를 들어 리니어 모터에 의해 구동되는 OHT(Overhead Hoist Transport)(천정 주행차)이며, 스토커(10)나 도시하지 않은 제조 장치, OHT 버퍼, 대형 스토커 등에 FOUP(3)를 반송한다. 반송차(2)는 내부에 연직 방향으로 이동하는 호이스트(hoist)(2a)를 가지고 있다.

호이스트(2a)는, 반송 시, 반송되는 FOUP(3)의 플랜지(4)를 예를 들어 협지(挾持: 사이에 끼워둠) 기구에 의해 유지한다. 호이스트(2a)는 반송차(2)의 본체 에 구비된, 예를 들어, 감기용 벨트 및 풀기용 벨트 등의 승강 기구에 의해, 레일(1)의 아래쪽에서 연직 방향으로 승강가능하게 구성되어 있다. 호이스트(2a)는, 스토커(10)와의 사이에서 FOUP(3)의 출고 또는 입고를 행할 때에, 스토커(10)의 출입고용의 포트의 위쪽 위치까지 이동하고, 다시 포트까지 하강한 위치에서, 플랜지(4)를 유지 또는 해방한다. 이 하강한 위치에서는, FOUP(3)의 밑면이 후술하는 제2재치면(즉, 포트의 바닥면)에 접촉한다.

도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, FOUP(3)는, 본 발명에 따른 「짐」의 일례로서, 스토커(10) 내에서, 반송차(2)에 대한 출고/입고 및 보관 위치의 조정 등을 위해 반송(즉, 보관 내 반송)된다.

도 3에 나타낸 바와 같이, FOUP(3)는 밑면에 오목부(5) 및 오목부(6)를 가지고 있다. 오목부(5)는 후술하는 선반(15)에 형성된 볼록부(16)에 대응하는 크기로 형성되어 있다. 한편, 오목부(6)는 후술하는 재치부(11)에 형성된 볼록부(12)에 대응하는 크기로 형성되어 있다.

재차, 도 1에 있어서, 컨트롤러(20)는, 예를 들어 반도체 소자 제조 공정 스케줄에 의거하여, 반송차(2) 및 스토커(10)에 대해서, FOUP(3)의 반송 및 출고/입고(보관고 내 반송을 포함함)를 지시한다. 이 지시에 응답해서, 반송차(2) 및 스토커(10)가 구동되어, 반송차(2)에 반송되는 FOUP(3)에 각종 처리가 시행됨으로써 반도체 소자가 제조된다.

(보관고 단체)

스토커(10)는, 본 발명에 따른 「보관고」의 일례로서, 레일(1)에 인접해서 부설되어, FOUP(3)를 복수개 보관한다.

도 2에 있어서, 스토커(10)는 재치부(지지부)(11), 수평 구동부(13) 및 연직 구동부(14)로 구성되는 보관고 내 반송 장치, 그리고 복수개의 선반(15)을 구비한다. 보관고 내 반송 장치는 복수개의 선반(15) 사이에서 FOUP(3)를 이송한다. 이 이송에 의해, FOUP(3)가 복수개의 선반(15) 중 특정 선반(즉, 보관용 선반)에 재치됨으로써, FOUP(3)가 스토커(10) 내에 보관된다. 혹은, 나중에 상세히 설명하는 바와 같이, 출입고용의 포트로서 기능하는 선반(15)까지 이송된다.

재치부(11)는, 본 발명에 따른 「구동수단」의 일례로서, 복수개의 선반(15) 사이에서 FOUP(3)를 이송하기 위해서, 수평 구동부(13)에 의해 수평 일방향으로 또한 연직 구동부(14)에 의해 연직 방향으로 이동된다. 재치부(11)는 윗면에 제1재치면(11a)을 가지고 있다. 제1재치면(11a)은, 이송 시, FOUP(3)의 밑면에 접촉하고, FOUP(3)를 그 밑바닥 쪽에서부터 지지한다. 제1재치면(11a)에는 지지부재로서 볼록부(12)가 형성되어 있다. 도 3(b)에 나타낸 바와 같이, 볼록부(12)는 FOUP(3)의 오목부(6)에 대응하는 크기로 형성되어 있어, 이송 시, 이 오목부(6)에 결합된다.

재차, 도 2에 있어서, 수평 구동부(13)는, 본 발명에 따른 「구동수단」의 일례로서, 예를 들어, 도시하지 않은 모터에 의해, 수평 일방향으로 뻗은 수평 가이드(17) 위에서 구동된다. 수평 구동부(13)는 재치부(11)와 연결되어 있고, 재치부(11)를 수평 가이드(17)를 따라서 수평 일방향(D1)으로 왕복이동시킨다.

연직 구동부(14)는, 본 발명에 따른 「구동수단」의 일례로서, 예를 들어, 도시하지 않은 모터에 의해, 연직 방향으로 뻗은 연직 가이드(18) 위에서 구동된다. 연직 구동부(14)에는, 수평 가이드(17)의 중앙부가 고정되어 있다. 연직 구동부(14)는 이 수평 가이드(17)를 연직 가이드(18)를 따라서 연직 방향(D2)으로 왕복 이동시킨다. 이 왕복 이동 시, 재치부(11)는 수평 가이드(17)의 중앙부에 위치한다. 이와 같이, 재치부(11)는 수평 구동부(13) 및 연직 구동부(14)에 의해 연직 방향 및 수평 일방향의 2축 방향으로 이동된다.

복수개의 선반(15)은, 연직 방향으로 7단, 수평 일방향으로 2열, 또한, 두께 방향으로 1열로서, 합계 14개의 선반으로 구성되어 있고, 이들 14개의 선반(15) 사이를 재치부(11)가 이동함으로써 FOUP(3)의 이송이 행해진다. 각 선반(15)은, 윗면에 제2재치면(15a)을 가지고 있고, 이 제2재치면(15a)에 FOUP(3)가 재치된다. 제2재치면(15a)에는, 지지부재로서 볼록부(16)가 형성되어 있다. 도 3(a)에 나타낸 바와 같이, 볼록부(16)는 FOUP(3)의 오목부(5)에 대응하는 크기로 형성되어 있어, 재치(보관) 시, 이 오목부(5)에 결합된다.

재차, 도 2에 있어서, 14개의 선반(15) 중 1개의 선반(바꿔 말하면, 이것이 지닌 제2재치면(15a))은 반송차(2)와의 사이에서 FOUP(3)를 수수하기 위한 출입고용 포트로서 기능한다. 포트에 설정되는 선반(15)은 최상단에 존재하는 2개의 선반 중 한쪽의 선반(도 2에서는, 2점 쇄선으로 표시된 영역(P1)에 위치하는 선반)이며, 이 위쪽 및 옆쪽에 위치하는 스토커 본체(10a)는 FOUP(3)가 출고/입고가능하게 개방되어 있다.

또, 포트에 설정되는 선반(15)뿐만 아니라, 이 선반(15)에 부가해서, 영 역(P1)으로 이동되는 재치부(11)를 포트로서 기능시켜도 되고, 이 재치부(11)만을 포트로서 기능시켜도 된다. 이 경우, 영역(P1)에 선반(15)을 설치하지 않고, FOUP(3)를 재치하지 않고 있는 재치부(11)가 영역(P1)에 배치되면, FOUP(3)가 반송차(2)로부터 직접 입고된다. 또는, FOUP(3)를 재치하고 있는 재치부(11)가 영역(P1)에 배치되면, FOUP(3)가 반송차(2)에 직접 출고된다.

스토커(10)의 배치에 대해서, 포트에 설정되는 선반(15)이 레일(1)의 아래쪽에 배치된다. 구체적으로, 재치부(11)가 이동되는 수평 일방향의 방위가 레일(1)의 방위에 대해서 직각으로 교차한다.

다음에, 본 실시예에 따른 제1 및 제2재치면의 형체에 대해서 도 4(a)를 참조해서 설명한다. 여기서, 도 4(a)는 본 실시예에 따른 재치부의 수평 일방향으로의 동작 상태를 나타낸 평면도이다. 도 4(a)는, 구체적으로는, 도 2에 있어서의 A1-A1 단면에 상당하고 있고, 스토커(10)의 최상단에 설치되는 2열의 선반(15)(제2재치면(15a))을 나타내고 있다.

도 4(a)에 나타낸 바와 같이, 스토커(10)의 윗면 쪽에서 보아서, 제2재치면(15a)은 말굽과 같이 U자형으로 형성되고, 제1재치면(11a)은, 그 U자형의 중앙을 메우는 섬과 같이 사각형으로 형성되어 있다. 따라서, 제1 및 제2재치면(11a), (15a)은 서로 상보적인 평면 형상을 가지고 있다. 이러한 제1재치면(11a)과 제2재치면(15a) 사이에서 FOUP(3)의 이송이 행해진다.

또, 도 3 및 도 4(a)에 나타낸 예에서는, 평면적으로 보아서, 제1재치면(11a) 쪽이 제2재치면(15a)의 안쪽에 위치되어 있어, 외경이 작다. 그러나, 반 대로, 제1재치면(11a) 쪽이 제2재치면(15a)의 바깥쪽에 위치하고 있어, 외경이 커지도록 양자는 구성되어도 된다. 이 경우, 도 4(a)에 나타낸 제1 및 제2재치면의 형체의 변형예로서, 도 4(b)에 나타낸 바와 같이 예를 들어 스토커(30)의 윗면 쪽에서 보아서, 제1재치면(31a)이 말굽과 같이 U자 형상으로 형성되고, 제2재치면(35a)이 그 U자 형상의 중앙을 메우는 섬과 같이 사각형으로 형성되어 있다. 이와 같이, 상하 좌우로 이동되는 제1재치면(31a)을 크게 한 쪽이 FOUP(3)를 재치부(31)에 얹은 보관고 내 반송 시에 있어서의 안정성이 늘어나, FOUP(3)의 낙하 방지나 흔들림 방지에 도움이 된다.

(보관고 내 반송 동작)

다음에, 본 실시예에 따른 보관고 내의 짐의 이송, 즉, 보관고 내 반송의 동작에 대해서, 계속해서 도 2 내지 도 4를 참조해서 설명한다.

도 2 및 도 4에 있어서, 반송차(2)에 의해 입고되어, 영역(P1)의 제2재치면(15a)에 재치되어 있는 FOUP(3)를, 동일한 단의 또 1개의 제2재치면(15a)(도 2 및 도 4에서는, 영역(P2)으로 표시됨)으로 이송한다. 이 경우에, 우선, 영역(P3)의 제2재치면(15a)으로의 FOUP(3)의 이송을 마친 재치부(11)(도 2에서는, 파선으로 표시됨)가 영역(P1)의 제2재치면(15a)의 바로 아래로 이동된다. 이때, 재치부(11)가 수평 구동부(13)에 의해 수평 가이드(17)의 대략 중앙으로 이동된 후, 연직 구동부(14)에 의해 연직 가이드(18)를 따라서 소정의 연직 위치로 이동된다. 이 소정의 연직 위치는 영역(P1)의 제2재치면(15a)보다도 아래쪽이다. 그 후, 소정의 연직 위치에 있는 재치부(11)가 수평 구동부(13)에 의해 수평 가이드(17)를 따라서 소정의 수평 위치(도 2에서는, 실선으로 표시됨)로 이동된다. 도 3(a)에 나타낸 바와 같이, 이 소정의 수평 위치는 FOUP(3)의 오목부(6)의 연직 아래 방향으로 재치부(11)의 볼록부(12)가 존재하는 위치이다.

소정의 연직 위치 또한 수평 위치로 이동된 재치부(11)는 연직 구동부(14)에 의해 상승된다. 이 상승에 의해, 제1재치면(11a)이 제2재치면(15a)의 중앙을 통과해서, 도 3(b)에 나타낸 바와 같이 제2재치면(15a)보다도 높게 된다. 이때, 영역(P1)에 있어서의 오목부(5) 및 볼록부(16)의 결합이 해제되어, 제2재치면(15a)을 대신해서, 제1재치면(11a)에서 FOUP(3)가 지지되는 동시에, 재치부(11)의 볼록부(12) 및 FOUP(3)의 오목부(6)가 서로 결합됨으로써, FOUP(3)가 제2재치면(15a)으로부터 제1재치면(11a)으로 이송된다.

FOUP(3)가 이송된 재치부(11)는, 영역(P2)의 제2재치면(15a)의 바로 위로 이동된다. 이때, 재치부(11)가 수평 구동부(13)에 의해 수평 일방향의 소정의 수평 위치로 이동된다. 이 소정의 수평 위치는, 영역(P2)의 제2재치면(15a)의 볼록부(16)의 연직 위쪽 방향에 FOUP(3)의 오목부(5)가 존재하는 위치이다. 소정의 수평 위치로 이동된 재치부(11)는 연직 구동부(14)에 의해 하강된다. 이 하강에 의해, 제1재치면(11a)이 영역(P2)의 제2재치면(15a)의 중앙을 통과해서, 도 3(a)에 나타낸 바와 같이 제2재치면(15a)보다도 낮아진다. 이때, 영역(P2)에 있어서의 볼록부(12) 및 오목부(6)의 결합이 해제되어, 제1재치면(11a)을 대신해서, 제2재치면(15a)에서 FOUP(3)가 지지되는 동시에, FOUP(3)의 오목부(5) 및 제2재치면(15a)의 볼록부(16)가 서로 결합됨으로써 FOUP(3)가 제1재치면(11a)으로부터 영역(P2)의 제2재치면(15a)으로 이송된다. 이것에 의해, 포트에 설정되는 영역(P1)으로부터 영역(P2)으로의 FOUP(3)의 이송 동작이 완료된다. 또한, 이 이송 공정을 반대 순서로 행하면, 영역(P2)으로부터 영역(P1)으로의 이송동작으로 된다. 따라서, 전술한 포트를 개재한 이송 동작은, 반송차(2)와 스토커(10) 사이에서의 FOUP(3)의 출고/입고 동작이기도 하다.

이와 같이, 본 실시예의 스토커(10)에 의하면, 연직 방향 및 수평 일방향에 확대부를 가지고, 두께 방향에 대해서는, FOUP(3)의 1개분의 두께로 수평 구동부(13) 및 연직 구동부(14)에 필요한 공간을 포함해서 매우 얇게 구성된다. 이 때문에, 레일(1)을 따른 비교적 작은 간극에도 배치가능하다. 또한, 2축 방향으로 이동하는 재치부(11)가 포트와 반송차(2) 사이의 출고/입고 시 불필요하고, 그 출고/입고 작업의 방해로 되지 않으므로, 간단한 구성에 의해 효율적으로 FOUP(3)를 출고/입고하는 것 혹은 효율적으로 보관고 내 반송하는 것이 가능하다.

또, 본 실시예에서는, 복수개의 선반(15)에 대해서, 최상단의 1개의 선반(15)이 출입고용 포트에 설정되거나, 이것을 제외한 복수개의 선반(15)의 어느 것에 출고 직전의 FOUP(3)를 보관하기 위한 가출고용 포트 등을 설정해도 된다.

<제2실시예>

다음에 본 발명의 제2실시예로서, 제1실시예에 따른 구동 수단을 제어하는 제어 수단에 대해서 도 5를 참조해서 설명한다. 여기서, 도 5는 제2실시형태에 따른 보관고 내 반송시의 선반의 설정을 나타내는, 도 2와 동일한 취지의 단면도이며, 구체적으로, 제1실시예에서 설정되는 출입고용 포트(이하, 「출입고 포트」라 칭함) 이외에, 가출고용 포트(이하, 「가출고 포트」라 칭함)의 설정을 나타낸다. 또, 도 5에 나타낸 보관고에 있어서, 도 2에 나타낸 보관고와 동등하게 구성되는 요소에 대해서, 동일한 번호를 붙이고, 그 설명을 생략한다.

도 5에 있어서, 제1실시예와 마찬가지로, 복수개의 선반(15) 중, 영역(P1)에 위치하는 선반(15)이 출입고 포트에 설정된다. 본 실시예에서는 특히 이 출입고 포트에 설정되는 선반(15)을 제외한 복수개의 선반(15) 중, 1개의 선반(15)이 가출고 포트에 설정된다.

가출고 포트는 출고 예정인 FOUP(3)가 출입고 포트(영역(P1))로 이송되는 것 보다 전에, 일단 보관(수용)하는 역할을 다한다. 가출고 포트에는, 출입고 포트와 같은 최상단의 다른 방면의 선반(15)(도 5에서는, 영역(P2)에 위치하는 선반)이 설정된다. 영역(P2)에 위치하는 가출고 포트로부터, 영역(P1)에 위치하는 출입고 포트까지의 이송에 대해서, 재치부(11)에 의해 FOUP(3)는 수평 일방향으로만 이동된다. 이 때문에, 그 이송시간은, 영역(P2)보다 밖에 위치하는 선반(15)으로부터 영역(P1)의 출입고 포트까지의 이송시간과 비교해서 최단이다.

수평 구동부(13) 및 연직 구동부(14)는 제1실시예와 마찬가지로 컨트롤러(20)에 의해 제어된다. 컨트롤러(20)는 출고 또는 입고의 상황에 따라서, 복수개의 선반(15) 중 이송해야 할 선반(15)을 선택하고, 선택된 선반(15)으로의 이송을 행한다. 컨트롤러(20)는 출고 시 출입고 포트 및 가출고 포트를 제외한 복수개의 선반(15)(이후, 「보관용 선반」이라 칭함) 중 어느 하나에 본(本) 보관(본 수용)되어 있는 FOUP(3)를 가출고 포트의 선반(15)(즉, "영역(P2)")으로 이송하도록, 수평 구동부(13) 및 연직 구동부(14)에 의해 재치부(11)를 이동시킨다. 이 후, 출입고 포트에, 출고용의 반송차(2)가 도착한 경우에, 가출고 포트의 선반(15)으로부터 출입고 포트로 이송하도록, 재치부(11)를 이동시킨다.

(가출고용의 포트가 사용되는 보관고 내 반송 동작)

다음에, 제2실시예에 따른 보관고 내 반송 동작 처리 중, 가출고용의 포트를 이용해서 출고를 행할 때의 처리에 대해서, 도 6을 참조해서 설명한다. 도 6은 이 처리를 나타내는 순서도이다.

도 6에 있어서, 우선, 컨트롤러(20)에 의해 스토커(10)에 대해서, 출고 요구가 있는지의 여부가 판정된다(스텝 S21). 이 판정 결과, 출고 요구가 없을 경우에 (스텝 S21: 아니오), 출고 예정인 FOUP(3)를 가출고 포트의 선반(15)으로 이송한다고 하는 준비는 행해지지 않는다. 한편, 출고 요구가 있을 경우에(스텝 S21: 예), 보관용 선반(15)으로 이송되고 있는 FOUP(3)가 재치부(11)의 이동에 의해 제1재치면(11a)으로 이송된다(스텝 S22). 또한, FOUP(3)가 재치된 재치부(11)는 영역(P2)으로 이동되고, FOUP(3)는 가출고 포트의 선반(15)(즉 "영역(P2)")에 이송(수용)된다(스텝 S23).

이 후, 출입고 포트에 도착되는 반송차(2)가 입고용 또는 출고용의 반송차(2)인지의 여부가 판정된다(스텝 S24). 이 판정 결과, 도착한 시점에서 빈 상태로 되어 있는 출고용의 반송차(2)일 경우에(스텝 S24: 출고용 반송차), 가출고 포트의 선반(15)(즉 "영역(P2)")에 수용되어 있는 FOUP(3)가 재치부(11)의 이동에 의해 제1재치면(11a)에 이송된다(스텝 S27b). 또한, FOUP(3)가 재치된 재치부(11)는 영역(P1)으로 이동되고, FOUP(3)는 출입고 포트(즉 "본 포트")에 이송된다(스텝 S28b). 영역(P1)으로 재치된 FOUP(3)는, 출고용의 반송차(2)에 의해 출고된다(스텝 S29b).

한편, 스텝 S24에 있어서의 판정 결과, 도착한 시점에서 짐을 싣고 있는 입고용의 반송차(2)일 경우에(스텝 S24: 입고용 반송차), 입고용의 반송차(2)에 의해, FOUP(3)가 입고되고, 출입고 포트(즉 "본 포트")에 이송된다(스텝 S25). 이 직후에, 출입고 포트에 재치되어 있는 FOUP(3)는, 재치부(11)의 영역(P5)으로의 이동에 의해, 보관용 선반(15)(즉 "영역(P5)")으로 이송된다(스텝 S26). 그 후, 스텝 S27b 내지 스텝 S29b와 같은 이송, 이동 및 이송 동작이 빈 상태로 된 반송차(2)에 대하여 행해진다(스텝 S27a, 스텝 S28a 및 스텝 S29a). 이들에 의해, 반송차(2)에는 출고되어야 할 FOUP(3)가 이송된다.

또, 스텝 S25에 있어서의 입고 후에, 빈 상태로 된 반송차(2)는 가출고 포트에 있는 FOUP(3)를 이송하는 일 없이, 레일(1) 위를 빈 상태인 채로, 다른 장소를 향해서 주행해도 된다. 이 경우, 다른 빈 상태의 반송차(2)가 도착하는 것을 또는 도착한 다른 반송차(2)가 빈 상태로 되는 것을 기다리면 된다.

이와 같이, 본 실시예의 스토커(10)에 의하면, 출입고 포트 외에, 가출고 포트를 설정하므로, 출입고 포트에 있어서의 출입고 작업 및 구동 수단에 의한 가출고 포트에 관한 보관고 내 반송 작업은 병행해서 실행가능해진다. 따라서, 출입고 작업과 보관고 내 반송 작업을 종합한 작업 효율이 현저하게 향상된다.

또, 본 실시예에서는 최상단에 위치하는 2개의 영역(Pl) 및 (P2)에 있어서, 영역(P1)이 출입고 포트로 되고, 영역(P2)이 가출고 포트로 되지만, 영역(Pl)이 출고용 포트로 되고, 영역(P2)이 입고용 포트로 되어, 최상단 이외의 영역이 가출고 포트로 되어도 된다. 또한, 본 실시예에서는, 스토커(10)는 재치부(11)가 이동되는 수평 일방향의 방위가 레일(1)의 방위에 대해서 직각으로 교차하도록 배치되지만, 수평 일방향의 방위가 레일(1)의 방위와 평행하게 되도록 배치되어도 된다.

다음에, 보관고의 배치에 대해서 도 7을 참조해서 설명한다. 여기서, 도 7은 제1실시예에 따른 보관고의 실용상의 배치 상태를 나타낸 평면도이다.

도 7에 나타낸 바와 같이, 보관고는 예를 들어 반도체 소자 제조 공장 등의 공장 내에서, 궤도를 따라서 설치된 제조 장치 등의 장치 간의 간극에 배치된다. 스토커(10)의 두께 방향의 치수는, 제조 장치(9) 사이의 간극에 대응하도록 설계되어 있다. 제조 장치(9) 사이에는, 유지·보수(maintenance)용의 공간(S1)이 설치되어 있다. 이 공간(S1)에, 스토커(10)를 삽입함으로써 유지·보수 때를 제외하고 쓸데 없는 공간으로도 볼 수 있는 공간(S1)을 유효 활용한다. 복수개의 제조 장치(9) 및 이들 제조 장치(9) 사이에 배치되는 스토커(10)는 레일(1)에 대해서 재치부가 이동되는 수평 일방향이 직각으로 교차하도록 배치된다.

본 발명은, 전술한 실시예로 한정되는 것은 아니고, 청구범위 및 명세서 전체로부터 읽어낼 수 있는 발명의 요지 혹은 사상에 반하지 않는 범위에서 적절하게 변경가능하며, 그러한 변경을 수반하는 보관고, 이러한 보관고를 복수개 조합시켜 이루어진 보관고 세트 및 상기 보관고를 구비해서 이루어진 보관고 부착 반송 시스템도 또 본 발명의 기술적 범위에 포함되는 것이다. 예를 들어, 전술한 실시예에 있어서, 이송 시, FOUP를 밑바닥 쪽에서부터 지지하는 바와 같은 구성을 예로 들어서 설명했지만, 해당 보관고에 대해서 FOUP의 정상부에 설치된 플랜지를 지지 또는 유지하는 바와 같은 구성을 채용해도 된다.

도 1은 제1실시예에 따른 보관고를 구비한 반송 시스템의 외관을 나타낸 사시도;

도 2는 제1실시예에 따른 보관고의 내부 구조를 나타낸 단면도;

도 3은 제1실시예에 따른 제1 및 제2재치면의 결합 상태를 나타낸 단면도;

도 4는 실시예에 따른 재치부의 수평 일방향으로의 동작 상태를 나타낸 평면도;

도 5는 제2실시예에 따른 보관고 내 반송 시의 선반의 설정을 나타낸 단면도;

도 6은 제2실시예에 따른 보관고 내 반송의 동작 처리를 나타낸 순서도;

도 7은 제1실시예에 따른 보관고의 실용 상의 배치 상태를 나타낸 평면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1: 레일 2: 반송차(천정 주행차)

3: FOUP(짐) 10: 스토커(보관고)

11: 재치부(지지부) 13: 수평 구동부

14: 연직 구동부 15: 선반

100: 반송 시스템

Claims (6)

1. 반송차와의 사이에서 짐의 출고/입고가 행해지는 보관고에 있어서,

   상기 짐을 상기 반송차로부터 또는 상기 반송차로 이송가능한 출고용 및 입고용을 겸용하는 포트;

   상기 짐을 수용 또는 재치(載置: 얹어 놓기)가능한 복수개의 선반부분;

   상기 짐을 상기 복수개의 선반부분 및 상기 포트 사이 그리고 상기 복수개의 선반부분의 상호 간에 이동가능한 구동 수단;

   상기 짐의 출고 요구가 있는지의 여부를 판정하고, 또한 출고해야 하는 상기 짐을 반송가능한 상기 반송차가 상기 포트에 도착한 혹은 도착할 것을 판정하는 판정수단; 및

   상기 짐의 출고 요구가 있는 것으로 판정되고, 상기 복수개의 선반부분으로부터 상기 포트로 상기 짐을 이동시킬 경우에는, 우선 상기 복수개의 선반부분 중 1개인 가출고용 선반부분으로 이동시키고, 상기 가출고용 선반부분에 일단 수용 또는 재치한 후에, 상기 가출고용 선반부분으로부터 상기 짐을 상기 포트로 이동시키도록 상기 구동 수단을 제어하는 제어 수단을 구비하고,

   상기 제어 수단은, 상기 반송차가 상기 짐을 반송하지 않는 상태에서 상기 포트에 도착한 혹은 도착할 경우, 또는 상기 반송차가 상기 짐을 반송하지 않는 상태에서 상기 포트에 대기하고 있을 경우에, 상기 가출고용 선반부분으로부터 상기 짐을 상기 포트로 이동시키도록 상기 구동 수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 보관고.
2. 제1항에 있어서,

   상기 복수개의 선반부분은, 높이 방향으로 선반부분을 늘어놓은 선반열(棚列)이 수평 방향으로 2열로 나열되도록 배치되고,

   상기 2열의 선반열의 일측에 포함되는 선반부분의 1개가 상기 포트로서 기능하고,

   상기 2열의 선반열의 타측에 포함되는 선반부분 중, 상기 포트로서 기능하는 선반부분과 동일한 높이 레벨에 있는 선반부분이 상기 가출고용 선반부분으로서 기능하는 것을 특징으로 하는 보관고.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 구동 수단은,

   상기 짐을 그 밑바닥쪽에서부터 지지가능한 제1재치면을 가지는 재치부;

   상기 재치부를 수평 일방향으로 왕복이동가능한 수평 구동부; 및

   상기 재치부를 연직 방향으로 왕복이동가능한 연직 구동부를 구비하고,

   상기 복수개의 선반부분은, 상기 연직 방향으로 복수 단에 걸쳐서 단마다 상기 수평 구동부에 의해 도달가능한 수평 위치에 1개 또는 복수개 설치된 동시에, 상기 제1재치면과의 사이에서 상기 짐을 서로 이송가능하게 구성되어 있는 제2재치면을 각각 지니며,

   상기 복수개의 선반부분의 적어도 하나가 상기 포트로서 기능하고,

   상기 가출고용 선반부분은 상기 포트와 동일한 단에 있는 선반부분인 것을 특징으로 하는 보관고.
4. 제1항 또는 제2항에 기재된 보관고가 복수개 조합되어 이루어지고,

   상기 복수개의 보관고는 상기 포트가 일렬로 나열되도록 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 보관고 세트.
5. 제1항 또는 제2항에 기재된 보관고;

   상기 반송차; 및

   상기 반송차가 주행하는 궤도를 구비한 것을 특징으로 하는 보관고 부착 반송 시스템.
6. 삭제

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