KR101479633B1

KR101479633B1 - Clamping apparatus

Info

Publication number: KR101479633B1
Application number: KR20130086345A
Authority: KR
Inventors: 김완수; 정상헌
Original assignee: 바이옵트로 주식회사
Priority date: 2013-07-22
Filing date: 2013-07-22
Publication date: 2015-01-07

Abstract

본 발명의 클램핑 장치는 기판을 클램핑하는 복수의 클램핑 유니트를 포함하고, 상기 각 클램핑 유니트는 상기 기판에서 클램핑이 이루어진 각 클램핑 지점 간의 거리가 증가되도록 움직임으로써 상기 기판을 팽팽하게 유지시킬 수 있다.The clamping apparatus of the present invention includes a plurality of clamping units for clamping a substrate, and each of the clamping units can maintain the substrate in tension by moving to increase the distance between each clamping point at which the clamping unit is clamped in the substrate.

Description

CLAMPING APPARATUS

본 발명은 기판을 팽팽하게 유지시키는 클램핑 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a clamping device for holding a substrate in tension.

일반적으로, 인쇄회로기판(PCB : Printed Circuit Board)은 세탁기나 텔레비전 등의 가전제품은 물론 휴대폰을 포함한 생활용품, 또는 자동차, 인공위성 등과 같이 거의 모든 장비에서 기본이 되는 필수 부품 중의 하나이다.In general, a printed circuit board (PCB) is one of the essential components that is essential in almost all the equipment such as home appliances such as washing machines and televisions, household goods including mobile phones, and automobiles and satellites.

근래 들어, 인쇄회로기판을 구성하는 각종 전자부품의 집적도가 높아짐에 따라 그 패턴(pattern)이 상당히 미세화되어 매우 정교한 패턴의 인쇄공정이 요구되고 있으며, 그에 따른 불량률의 증가에 의해 인쇄회로기판에 대한 검사의 중요성이 부각되고 있다. 또한, 검사의 신뢰도 및 생산 공정의 신뢰도를 높이기 위해 플렉시블한 성질의 가요성 기판의 편평도를 유지하는 장치가 요구되고 있다.2. Description of the Related Art [0002] Recently, as the degree of integration of various electronic components constituting a printed circuit board has been increased, the pattern thereof has become significantly finer and a highly accurate pattern printing process has been required. The importance of inspection has been highlighted. Further, there is a demand for a device for maintaining the flatness of the flexible substrate of flexible nature in order to increase the reliability of the inspection and the reliability of the production process.

한국등록특허공보 제0176627호에는 납땜 불량 및 프로브 팁의 진동을 방지하여 안정된 통전 검사를 수행할 수 있고, 납땜부의 다양한 표면 형상에 대해 적응성이 향상된 인쇄회로기판의 통전검사용 프로브 장치가 개시되고 있다. 그러나, 가요성 기판의 편평도를 유지하는 방안은 개시되지 않고 있다.
Korean Patent Registration No. 0176627 discloses a probe apparatus for energizing inspection of a printed circuit board in which a stable energization test can be performed by preventing defective soldering and vibration of a probe tip and adaptability to various surface shapes of a soldering portion is improved . However, a method for maintaining the flatness of the flexible substrate is not disclosed.

한국등록특허공보 제0176627호Korean Patent Registration No. 0176627

본 발명은 기판을 팽팽하게 유지시키는 클램핑 장치를 제공하기 위한 것이다.The present invention is to provide a clamping device for holding a substrate tightly.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory and are not intended to limit the invention to the precise forms disclosed. Other objects, which will be apparent to those skilled in the art, It will be possible.

본 발명의 클램핑 장치는 기판을 클램핑하는 복수의 클램핑 유니트;를 포함하고, 상기 각 클램핑 유니트는 상기 기판에서 클램핑이 이루어진 각 클램핑 지점 간의 거리가 증가되도록 움직임으로써 상기 기판을 팽팽하게 유지시킬 수 있다.The clamping apparatus of the present invention includes a plurality of clamping units for clamping a substrate, and each of the clamping units can maintain the substrate in tension by moving to increase the distance between each clamping point at which the clamping unit is clamped in the substrate.

본 발명의 클램핑 장치는 기판을 클램핑하는 클램핑부 및 상기 클램핑부의 움직임을 가이드하는 가이드부를 포함하고, 상기 가이드부는 상기 클램핑부의 초기 세팅 위치를 결정하며, 상기 클램핑부에는 상기 초기 세팅 위치에서 클램핑된 상기 기판을 잡아당기는 당김부가 마련될 수 있다.
The clamping device of the present invention includes a clamping part for clamping a substrate and a guide part for guiding movement of the clamping part, the guide part determining an initial setting position of the clamping part, and the clamping part, A pulling-out portion for pulling the substrate can be provided.

본 발명의 클램핑 장치는 기판을 클램핑하고 클램핑된 지점 간의 거리가 증가되도록 움직이는 클램핑 유니트를 포함함으로써 기판을 팽팽하게 유지시킬 수 있다.
The clamping device of the present invention can maintain the substrate tight by including a clamping unit that clamps the substrate and moves the distance between the clamped points to increase.

도 1은 본 발명의 클램핑 장치를 나타낸 개략도이다.
도 2는 본 발명의 클램핑 장치에 의해 팽팽하게 유지되는 가요성 기판을 나타낸 개략도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 클램핑 장치를 나타낸 개략도이다.
도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 클램핑 장치를 나타낸 개략도이다.
도 5는 본 발명의 제4 실시예에 따른 클램핑 장치를 나타낸 개략도이다.
도 6은 본 발명의 제5 실시예에 따른 클램핑 장치를 나타낸 개략도이다.
도 7은 본 발명의 제6 실시예에 따른 클램핑 장치를 나타낸 개략도이다.
도 8은 본 발명의 다른 클램핑 장치를 나타낸 개략도이다.1 is a schematic view showing a clamping device of the present invention.
2 is a schematic view showing a flexible substrate held tight by the clamping device of the present invention.
3 is a schematic view showing a clamping device according to a second embodiment of the present invention.
4 is a schematic view showing a clamping device according to a third embodiment of the present invention.
5 is a schematic view showing a clamping device according to a fourth embodiment of the present invention.
6 is a schematic view showing a clamping device according to a fifth embodiment of the present invention.
7 is a schematic view showing a clamping device according to a sixth embodiment of the present invention.
8 is a schematic view showing another clamping device of the present invention.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The sizes and shapes of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience. In addition, terms defined in consideration of the configuration and operation of the present invention may be changed according to the intention or custom of the user, the operator. Definitions of these terms should be based on the content of this specification.

도 1은 본 발명의 클램핑 장치를 나타낸 개략도이고, 도 2는 본 발명의 클램핑 장치에 의해 팽팽하게 유지되는 가요성 기판(1)을 나타낸 개략도이다.Fig. 1 is a schematic view showing a clamping device of the present invention, and Fig. 2 is a schematic view showing a flexible substrate 1 which is held tight by the clamping device of the present invention.

도 1에 도시된 클램핑 장치는 기판(1)을 클램핑하는 복수의 클램핑 유니트를 포함할 수 있다.The clamping apparatus shown in FIG. 1 may include a plurality of clamping units for clamping the substrate 1.

패턴의 생성 공정과 같은 생산 공정 또는 기생성된 패턴의 검사를 위한 검사 공정에서 공정의 신뢰도를 보장하기 위해 기판(1)이 흔들리지 않도록 할 필요가 있다.It is necessary to prevent the substrate 1 from shaking in order to assure the reliability of the process in the production process such as the production process of the pattern or the inspection process for inspection of the pre-generated pattern.

클램핑 유니트는 기판(1)을 클램핑함으로써 생산 공정 또는 검사 공정 중에 기판(1)이 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 기판(1)의 클램핑을 위해 클램핑 유니트는 일예로 제1 면의 평면상 제1 위치에 접촉되는 제1 핑거 부재와, 제2 면의 제1 위치에 접촉되는 제2 핑거 부재를 포함할 수 있다. 양 핑거 부재가 기판(1)에 접촉되고 기판(1)을 가압하는 방향으로 각 핑거 부재가 구동되면 기판(1)을 신뢰성 있게 잡을 수 있다. 기판(1)의 중심에는 각종 회로 패턴이 형성되므로 클램핑 유니트에 의한 기판(1)의 클램핑 위치는 회로 패턴의 영역을 벗어난 기판(1)의 가장자리 부근일 수 있다. The clamping unit can prevent the substrate 1 from being shaken during the production process or inspection process by clamping the substrate 1. For clamping the substrate 1, the clamping unit may comprise, for example, a first finger member which is in contact with a first location on the plane of the first surface and a second finger member which contacts the first location of the second surface . It is possible to reliably hold the substrate 1 when the two finger members are brought into contact with the substrate 1 and each finger member is driven in a direction to press the substrate 1. [ Since various circuit patterns are formed in the center of the substrate 1, the clamping position of the substrate 1 by the clamping unit may be near the edge of the substrate 1 deviated from the area of the circuit pattern.

이러한 클램핑 유니트 복수개가 기판(1)을 클램핑한다면 기판(1)의 고정 신뢰도는 더욱 향상될 것이다.If a plurality of such clamping units clamp the substrate 1, the fixing reliability of the substrate 1 will be further improved.

그런데, 필름 기판과 같이 플렉시블한 성질을 갖는 가요성 기판(1)의 경우에는 기판의 면이 팽팽하지 못하므로 단순한 클램핑만으로는 기판(1)의 신뢰성 있는 검사나 생산이 어렵다. 따라서, 가요성 기판(1)을 팽팽하게 유지시킬 필요가 있다. 이를 위해 클램핑 유니트는 기판(1)에 대한 클램핑이 이루어진 후 기판(1)에서 클램핑이 이루어진 각 클램핑 지점 ①, ②, ③, ④ 간의 거리가 증가되도록 움직일 수 있다. 각 클램핑 지점 간의 거리는 구체적으로 지점 ①과 지점 ② 간의 거리 d₁₂, 지점 ①과 지점 ③ 간의 거리 d₁₃, 지점 ②와 지점 ④ 간의 거리 d₂₄, 지점 ③과 지점 ④ 간의 거리 d₃₄, 지점 ①과 지점 ④ 간의 거리 l₁, 지점 ②와 지점 ③ 간의 거리 l₂일 수 있다. 각 클램핑 지점 간의 거리 증가는 위에서 언급된 각 거리 중 적어도 일부가 증가되는 것을 나타낸다.However, in the case of the flexible substrate 1 having a flexible property like the film substrate, the surface of the substrate can not be tightened, so that reliable inspection or production of the substrate 1 is difficult with simple clamping. Therefore, it is necessary to keep the flexible substrate 1 tight. To this end, the clamping unit can be moved so that the distance between each clamping point 1, 2, 3, 4 is clamped on the substrate 1 after clamping the substrate 1. Specifically, the distance between each clamping point is d ₁₂ , the distance d ₁₃ between point 1 and point 3, the distance d ₂₄ between point 2 and point 4, the distance d ₃₄ between point 3 and point 4, The distance l ₁ between point ④, and the distance l ₂ between point ③ and point ③. The increase in distance between each clamping point indicates that at least a portion of each of the above-mentioned distances is increased.

기판(1) 전체가 고르게 팽팽해지도록 클램핑 유니트는 기판(1)의 중심 a를 가로지르는 가상선 l₁, l₂를 따라 클램핑 지점 ①, ②, ③, ④가 이동하도록 구동될 수 있다.The clamping unit can be driven to move the clamping points 1, 2, 3, and 4 along the imaginary lines l ₁ , l ₂ traversing the center a of the substrate 1 so that the entire substrate 1 is evenly tensioned.

또한, 클램핑 지점 ①, ②, ③, ④ 중 적어도 2개는 기판(1)의 중심 a를 가로지르는 가상선 l₁, l₂ 상에 서로 마주보게 위치할 수 있다. 이때, 마주본다는 것은 가상선 상에서 중심 a를 기준으로 클램핑 지점 2개 중 한 개는 한쪽 방향에 위치하고, 다른 한 개는 다른쪽 방향에 위치하는 것일 수 있다. 도면에는 클램핑 지점 ①, ④가 가상선 l₁ 상에 서로 마주보게 위치하고 있으며, 클램핑 지점 ②, ③이 가상선 l₂ 상에 서로 마주보게 위치하고 있다. 이때, 기판(1)의 중심 a로부터 ①까지의 거리는 중심 a로부터 ④까지의 거리와 동일할 수 있다. 마찬가지로 기판(1)의 중심 a로부터 ②까지의 거리는 중심 a로부터 ③까지의 거리와 동일할 수 있다.At least two of the clamping points 1, 2, 3, and 4 may be positioned on the imaginary lines l ₁ , l ₂ across the center a of the substrate 1. In this case, the opposite direction may be that one of the two clamping points is located in one direction and the other is located in the other direction with respect to the center a on the imaginary line. Drawing the clamping points ①, ④ a phantom line l are located facing each other on the _first, positioned clamping points ②, ③ see facing each other on a virtual line l _2. At this time, the distance from the center a of the substrate 1 to the distance a may be the same as the distance from the center a to the distance d. Similarly, the distance from the center "a" of the substrate 1 to the distance "2" may be equal to the distance from the center "a" to the distance "3".

이러한 구성에 따르면 클램핑 유니트가 기판(1)을 팽팽하게 유지시키는 동작을 취할시 각 클램핑 지점 ①, ②, ③, ④이 도 2의 화살표와 같이 중심 a로부터 대각선을 향하는 방향으로 이동하게 된다. 이로 인해 각 클램핑 지점 ①, ②, ③, ④ 간의 거리가 증가되며 기판(1)이 팽팽하게 유지된다.According to such a configuration, when the clamping unit is operated to tightly hold the substrate 1, the clamping points 1, 2, 3, and 4 move in the direction from the center a to the diagonal line as shown by the arrows in FIG. As a result, the distance between the clamping points 1, 2, 3, and 4 is increased, and the substrate 1 is held tight.

각 클램핑 지점 ①, ②, ③, ④ 간의 거리를 증가시키는 다양한 방안이 가능하다.Various ways of increasing the distance between each clamping point ①, ②, ③, ④ are possible.

제1 실시예는 다음과 같을 수 있다.The first embodiment may be as follows.

먼저, 가상의 공간상에서 서로 직교하는 제1 축, 제2 축 및 제3 축을 정의한다. 도면에서는 제1 축을 x축, 제2 축을 y축, 제3 축을 z축으로 하는 xyz 공간이 개시된다.First, a first axis, a second axis and a third axis orthogonal to each other in a virtual space are defined. In the drawing, an xyz space is described in which a first axis is an x axis, a second axis is a y axis, and a third axis is a z axis.

클램핑 유니트는 제1 축과 제2 축이 형성하는 평면 상에 배치된 기판(1)을 클램핑하는 클램핑부(110), 클램핑부(110)의 움직임을 가이드하는 가이드부(130)를 포함할 수 있다.The clamping unit may include a clamping unit 110 for clamping the substrate 1 disposed on a plane formed by the first axis and the second axis, and a guide unit 130 for guiding the movement of the clamping unit 110 have.

가이드부(130)는 가이드부(130)는 제1 축 방향으로 클램핑부(110)를 가이드하는 제1 가이드부(131), 제2 축 방향으로 클램핑부(110)를 가이드하는 제2 가이드부(132)를 포함할 수 있다.The guide part 130 includes a first guide part 131 for guiding the clamping part 110 in the first axial direction, a second guide part 130 for guiding the clamping part 110 in the second axial direction, (132).

이때, 클램핑부(110)는 제2 가이드부(132)에 마련될 수 있다.At this time, the clamping part 110 may be provided in the second guide part 132. [

구체적으로 제2 가이드부(132)는 제1 가이드부(131)에 가이드되어 제1 축 방향을 따라 움직이고, 클램핑부(110)는 제2 가이드부(132)에 가이드되어 제2 축 방향을 따라 움직일 수 있다. 이때, 제2 가이드부(132)에는 클램핑부(110)가 복수로 마련될 수 있다.Specifically, the second guide portion 132 is guided by the first guide portion 131 and moves along the first axis direction, and the clamping portion 110 is guided by the second guide portion 132 and is guided along the second axis direction Can move. At this time, the second guide part 132 may be provided with a plurality of clamping parts 110.

도 1을 참조하면 평행하게 배치된 한 쌍의 제1 가이드부(131)가 마련되고 있다. 제1 가이드부(131)는 클램프 베이스(150)에 마련될 수 있다. 본 실시예에서 클램프 베이스(150)는 내부에 사각형의 중공이 형성된 장방형의 프레임으로 형성되고, 프레임의 대향하는 변 상에 평행하게 배치된 한 쌍의 제1 가이드부(131)가 형성되고 있다.Referring to FIG. 1, a pair of first guide portions 131 arranged in parallel are provided. The first guide part 131 may be provided on the clamp base 150. In this embodiment, the clamp base 150 is formed as a rectangular frame having a rectangular hollow therein, and a pair of first guide portions 131 arranged parallel to the opposite sides of the frame are formed.

제2 가이드부(132)는 제1 가이드부(131)에 가이드되어 제1 축 방향을 따라 움직일 수 있다. 본 실시예에서는 제1 가이드부(131)를 따라 움직이는 제2 가이드부(132)의 흔들림을 방지하기 위해 한 쌍의 제1 가이드부(131)(양팔보 구조)가 마련되고 있으나, 제2 가이드부(132)의 흔들림이 문제되지 않는다면 하나의 제1 가이드부(131)(외팔보 구조)만 마련되어도 무방하다.The second guide portion 132 can be guided by the first guide portion 131 and move along the first axis direction. In this embodiment, the pair of first guide portions 131 (both of the arm brace structures) are provided to prevent the second guide portion 132 moving along the first guide portion 131 from swinging. However, Only one first guide part 131 (cantilever structure) may be provided if the swing of the part 132 is not a problem.

도면에는 2개의 제2 가이드부(132)가 마련되고 있으며, 하나의 제2 가이드부(132)에는 클램핑부 ①, ③이 마련되고, 다른 제2 가이드부(132)에는 클램핑부 ②, ④가 마련되고 있다. 이때, 클램핑부 ①, ③이 마련된 제2 가이드부(132)와 클램핑부 ②, ④가 마련된 제2 가이드부(132)는 각각 별도로 구분된 제1 가이드부(131a, 131b)를 따라 이동하고 있으나, 이때의 제1 가이드부(131)는 하나로 구성되어도 무방하다.In the drawing, two second guide portions 132 are provided. Clamping portions 1 and 3 are provided on one second guide portion 132 and clamping portions 2 and 4 are provided on the other second guide portion 132 . At this time, the second guide part 132 provided with the clamping parts 1 and 3 and the second guide part 132 provided with the clamping parts 2 and 4 are moved along the first guide parts 131a and 131b, respectively, , And the first guide portion 131 at this time may be configured as one.

제2 가이드부(132)를 따라 클램핑부(110)를 이동시키는 모터 등의 구동부 개수를 줄이기 위해 제2 가이드부(132)당 한 개의 클램핑부(110)는 제2 가이드부(132)에 고정될 수 있다. 도 1에서는 클램핑부 ①과 ②가 각 제2 가이드부(132)에 고정되고 있으며, 클램핑부 ③과 ④가 제2 가이드부(132)를 따라 제2 축 방향으로 이동 가능하도록 구성되고 있다.One clamping part 110 per second guide part 132 is fixed to the second guide part 132 to reduce the number of driving parts such as a motor for moving the clamping part 110 along the second guide part 132. [ . 1, the clamping portions 1 and 2 are fixed to the respective second guide portions 132, and the clamping portions 3 and 4 are configured to be movable along the second guide portion 132 in the second axial direction.

제2 가이드부(132)가 제1 가이드부(131)에 가이드되어 x축 방향을 따라 이동하고, 클램핑부(110)가 제2 가이드부(132)에 가이드되어 y축 방향을 따라 이동하면 기판(1)에서 클램핑이 이루어진 지점은 도 1 및 도 2의 화살표 방향으로 이동한다. 이러한 클램핑 지점의 이동에 따라 기판(1)이 팽팽해진다.When the second guide part 132 is guided by the first guide part 131 and moves along the x axis direction and the clamping part 110 is guided by the second guide part 132 and moves along the y axis direction, The point at which the clamping is performed in the movable member 1 moves in the direction of the arrows in Figs. As the clamping point moves, the substrate 1 becomes taut.

아래에서는 각 클램핑 지점 간의 거리가 증가되는 다양한 실시예를 살펴본다.Various embodiments are described below in which the distance between each clamping point is increased.

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 클램핑 장치를 나타낸 개략도이다.3 is a schematic view showing a clamping device according to a second embodiment of the present invention.

살펴보면, 제2 가이드부(132)가 제1 가이드부(131)에 가이드되어 제1 축 방향을 따라 움직이고, 클램핑부(110)가 제2 가이드부(132)에 가이드되어 제2 축 방향을 따라 움직이는 부분에서는 제1 실시예와 유사하다. 그러나, 제2 실시예에 따르면 제2 가이드부(132)의 개수가 클램핑부(110)의 개수와 동일할 수 있다.The second guide part 132 is guided by the first guide part 131 and moves along the first axis direction so that the clamping part 110 is guided by the second guide part 132 and moves along the second axis direction The moving part is similar to the first embodiment. However, according to the second embodiment, the number of the second guide portions 132 may be the same as the number of the clamping portions 110. [

제1 실시예에 따르면 2개의 클램핑부(110)가 하나의 제2 가이드부(132)에 함께 설치되므로 위 2개의 클램핑부(110)의 x축 좌표는 항상 동일하다. 이러한 구성은 기판(1)이 사각형일 때와 같이 2개의 클램핑부(110)가 x축 방향으로 동일한 위치를 클램핑해도 무방한 경우에 유용하다. 그러나, 도 3과 같이 기판의 형상, 특성 등으로 인해 기판(1)에서 x축 방향으로 다른 위치를 클램핑할 필요가 있는 경우에는 제1 실시예를 적용하기 곤란할 수 있다.According to the first embodiment, since the two clamping portions 110 are installed together in one second guide portion 132, the x-axis coordinates of the two clamping portions 110 are always the same. This configuration is useful when two clamping portions 110 can clamp the same position in the x-axis direction as when the substrate 1 is rectangular. However, in the case where it is necessary to clamp different positions in the x-axis direction on the substrate 1 due to the shape and characteristics of the substrate as shown in Fig. 3, it may be difficult to apply the first embodiment.

제2 실시예에 따르면 제2 가이드부(132)에 1개의 클램핑부(110)가 마련되므로 기판(1)의 형상에 상관없이 소망하는 기판(1) 지점을 클램핑할 수 있다. 따라서, 다양한 형상의 기판(1)을 신뢰성 있게 클램핑할 수 있다.According to the second embodiment, since one clamping part 110 is provided in the second guide part 132, a desired point of the substrate 1 can be clamped regardless of the shape of the substrate 1. [ Therefore, the substrate 1 of various shapes can be reliably clamped.

도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 클램핑 장치를 나타낸 개략도이다.4 is a schematic view showing a clamping device according to a third embodiment of the present invention.

도 4에 도시된 클램핑 장치는 복수의 클램핑 유니트를 포함할 수 있다. 이때, 클램핑 유니트 중 적어도 일부는 기판(1)의 중심점으로부터 기판(1)의 꼭지점을 향하는 방향으로 이동할 수 있다.The clamping device shown in Fig. 4 may include a plurality of clamping units. At this time, at least a part of the clamping units can move in the direction toward the vertex of the substrate 1 from the center point of the substrate 1. [

일예로 사각형의 기판(1)이 클램핑의 목적물인 경우 기판(1)의 중심점 a로부터 기판(1)의 꼭지점 b, c, d, e를 향하는 방향으로 클램핑 유니트가 이동할 수 있다. 이러한 구성에 따르면 제1 축 방향과 제2 축 방향으로 클램핑부(110)를 두번 이동시키는 제1 내지 제2 실시예와 달리 화살표 방향으로 기판(1)을 당기는 기능을 한번의 이동으로 수행할 수 있다. 물론, 제1 실시예 및 제2 실시예의 경우에도 제1 축 방향으로 클램핑부를 이동시키는 동작과, 제2 축 방향으로 클램핑부를 이동시키는 동작을 동시에 수행함으로써 동일한 효과를 도출할 수 있다. 그러나, 가이드부의 규모가 제3 실시예와 비교하여 클 수 있다.For example, when the quadrangular substrate 1 is the object of clamping, the clamping unit can move in the direction from the center point a of the substrate 1 to the vertex b, c, d, e of the substrate 1. [ According to this configuration, unlike the first and second embodiments in which the clamping unit 110 is moved twice in the first axis direction and the second axis direction, the function of pulling the substrate 1 in the arrow direction can be performed by one movement have. Of course, also in the first and second embodiments, the same effect can be obtained by simultaneously performing the operation of moving the clamping portion in the first axial direction and the operation of moving the clamping portion in the second axial direction. However, the size of the guide portion can be larger than that of the third embodiment.

도 4의 (a)에서는 기판(1)을 클램핑하는 클램핑부(110), 클램핑부(110)의 이동을 가이드하며 가이드의 방향이 기판(1)의 중심으로부터 꼭지점을 향하는 방향으로 형성된 가이드부(130)가 마련되고 있다. 기판(1)의 크기, 형상이 달라지면 가이드부(130)의 각도 α가 변경될 필요가 있다. 또한, 서로 마주보는 2개의 클램핑부(110)가 기판(1)의 중심 a를 가로지르는 가상의 직선 상에 배치되도록 위치를 변경할 필요도 있다. 이러한 각도 α의 변경 및 위치 변경은 초기 세팅시에 조정될 수 있다. 다시 말해 기판(1)의 편평도를 유지시키는 동작 중에 가이드부(130)는 위치 및 각도가 변경될 필요가 없으나, 초기 세팅시에는 제3 축을 중심으로 한 회전 자유도, x축 방향의 자유도 및 y축 방향의 자유도를 가질 수 있다.4A shows a clamping part 110 for clamping the substrate 1 and a guiding part for guiding the movement of the clamping part 110 and guiding the guide part in the direction from the center of the substrate 1 to the vertex 130 are provided. The angle? Of the guide portion 130 needs to be changed when the size and shape of the substrate 1 are changed. Further, it is also necessary to change the positions so that the two clamping portions 110 facing each other are arranged on a virtual straight line crossing the center a of the substrate 1. [ The change and the change of the angle? Can be adjusted at the initial setting. In other words, the guide 130 does not need to be changed in position and angle during the operation of maintaining the flatness of the substrate 1, but at the initial setting, the rotation degree of freedom about the third axis, the degree of freedom in the x- it is possible to have a degree of freedom in the y-axis direction.

도 4의 (b)는 엑츄에이터 등으로 가이드부(130)를 형성한 상태를 나타낸다. 일정 방향으로 왕복 운동이 가능한 엑츄에이터의 단부에 가이드부(130)를 형성함으로써 도 4의 (a)와 동일한 효과를 나타낼 수 있다.4 (b) shows a state in which the guide portion 130 is formed by an actuator or the like. By forming the guide portion 130 at the end portion of the actuator capable of reciprocating motion in a predetermined direction, the same effect as that shown in Fig. 4A can be obtained.

도 5는 본 발명의 제4 실시예에 따른 클램핑 장치를 나타낸 개략도이다.5 is a schematic view showing a clamping device according to a fourth embodiment of the present invention.

제4 실시예에서 클램핑 장치를 구성하는 가이드부(130)에는 제3 축을 회전축으로 회전하는 회전부(135)가 마련될 수 있다. 도면에서 제3 축은 z축일 수 있다.In the fourth embodiment, the guide part 130 constituting the clamping device may be provided with the rotation part 135 that rotates the third axis with the rotation axis. In the figure, the third axis may be z-axis.

클램핑부(110)는 회전부(135)에 설치되고, 회전부(135)의 연장 방향을 따라 이동할 수 있다.The clamping part 110 is installed in the rotation part 135 and can move along the extension direction of the rotation part 135. [

도 5의 (a)에는 회전부(135)에 설치된 클램핑부(110)에 의해 기판(1)이 클램핑된 상태를 나타낸다.5 (a) shows a state in which the substrate 1 is clamped by the clamping part 110 provided on the rotation part 135. As shown in FIG.

이후 도 5의 (b)와 같이 z축을 회전축으로 하는 회전부(135)의 회전에 의해 기판(1)이 점선 위치로부터 실선 위치로 이동한다. 다음으로 도 5의 (c)와 같이 클램핑부(110)가 회전부(135)의 연장 방향을 따라 이동함으로써 결과적으로 기판(1)은 도 2의 화살표와 같은 방향으로 당겨지게 된다. 도 5의 (b), (c)에 따른 동작은 순서가 바뀌어도 상관없다. 도 5의 (a) 내지 (c)의 동작은 동시에 이루어질 수 있다.5 (b), the substrate 1 is moved from the dotted line position to the solid line position by the rotation of the rotation unit 135 having the z axis as the rotation axis. Next, as shown in FIG. 5C, the clamping portion 110 moves along the extending direction of the rotation part 135, and as a result, the substrate 1 is pulled in the direction of the arrow in FIG. The operations according to (b) and (c) of FIG. 5 may be changed in order. The operations of (a) to (c) of FIG. 5 can be performed simultaneously.

도 6은 본 발명의 제5 실시예에 따른 클램핑 장치를 나타낸 개략도이다.6 is a schematic view showing a clamping device according to a fifth embodiment of the present invention.

제5 실시예 역시 제4 실시예와 같이 가이드부(130)는 회전부(135)를 포함할 수 있다. 다만, 제5 실시예의 가이드부(130)는 제1 축 방향과 제2 축 방향 중 적어도 하나로 회전부(135)를 이동시키는 제3 가이드부(133)를 포함할 수 있다.As in the fourth embodiment, the guide unit 130 may include the rotation unit 135. In addition, However, the guide unit 130 of the fifth embodiment may include a third guide unit 133 for moving the rotation unit 135 in at least one of a first axial direction and a second axial direction.

도 6의 (a)에는 클램핑부(110)에 의해 클램핑된 상태의 기판(1)이 개시된다. z축을 회전축으로 하는 회전부(135)의 회전으로 기판(1)은 도 6의 (b)와 같은 상태(실선으로 표시)로 이동하고, 도 6의 (c)와 같이 회전부(135)가 y축 방향으로 연장되는 제3 가이드부(133)를 따라 이동한다. 이러한 동작의 결과로 기판(1)은 도 2의 화살표 방향으로 당겨지게 된다. 도 6의 (a) 내지 (c)의 동작은 동시에 이루어질 수 있다.6 (a), the substrate 1 in a clamped state by the clamping unit 110 is started. the substrate 1 is moved to the state shown by the solid line in FIG. 6 (b) by the rotation of the rotation unit 135 having the z axis as the rotation axis, and the rotation unit 135 moves to the y axis Along the third guide portion 133 extending in the direction of the arrow. As a result of this operation, the substrate 1 is pulled in the direction of the arrow in Fig. 6A to 6C can be performed simultaneously.

한편, 클램핑 장치는 제4 실시예에 따른 구성과 제5 실시예에 따른 구성을 모두 포함해도 무방하다.On the other hand, the clamping device may include both the structure according to the fourth embodiment and the structure according to the fifth embodiment.

도 7은 본 발명의 제6 실시예에 따른 클램핑 장치를 나타낸 개략도이다.7 is a schematic view showing a clamping device according to a sixth embodiment of the present invention.

제6 실시예에 따르면 클램핑 유니트는 기판(1)을 클램핑한 상태에서 기판(1)의 평면과 평행한 가상선을 중심축(111)으로 회전할 수 있다. 다시 말해 클램핑 유니트는 기판(1)을 클램핑한 상태에서 기판(1)을 감는 방향으로 회전할 수 있다.According to the sixth embodiment, the clamping unit can rotate an imaginary line parallel to the plane of the substrate 1 with the central axis 111 in a state where the substrate 1 is clamped. In other words, the clamping unit can rotate in a direction of winding the substrate 1 in a state where the substrate 1 is clamped.

도 7의 기판(1)은 제1 축 방향과 제2 축 방향이 형성하는 평면상에 배치된 상태이다. 도 7의 (a)와 같이 클램핑부(110)가 기판(1)을 클램핑한 상태에서 기판(1)을 감는 방향으로 회전하게 되면 도 7의 (b)와 같이 클램핑부(110)는 기판(1)을 당기게 된다. 이때 클램핑부(110)의 회전의 중심은 제1 축 방향과 제2 축 방향이 형성하는 평면과 평행한 직선일 수 있으며, 평면상으로는 기판의 꼭지점 부근에 위치하는 것이 바람직하다.The substrate 1 in Fig. 7 is arranged on a plane formed by the first axis direction and the second axis direction. 7 (a), when the clamping unit 110 rotates in a direction in which the substrate 1 is wound while clamping the substrate 1, the clamping unit 110 is rotated in the direction of winding the substrate 1 1). At this time, the center of rotation of the clamping unit 110 may be a straight line parallel to the plane formed by the first axis direction and the second axis direction, and is preferably located near the vertex of the substrate in plan view.

이때의 회전에 의해 제3 축 방향으로 기판(1)의 위치가 변경되는 현상을 최소화하기 위해 중심축(111)은 기판(1)과 높이(제3 축 방향의 위치)가 다를 수 있다. 도 7에는 제3 축 방향으로 기판(1)과의 위치 차이가 h가 되는 위치에 중심축(111)이 마련되고 있다. 이러한 동작에 따르면 기판(1)이 가장자리가 휘어질 수 있으나, 회전 각도가 작다면 별다른 무리는 없다. 따라서, 작은 각도의 회전으로도 기판(1)을 팽팽하게 유지시킬 수 있는 환경에 적용하는 것이 유리하다. 본 실시예를 적용할 경우 별도의 가이드부(130)를 마련할 필요가 없으므로 클램핑 유니트의 구성을 간소화시킬 수 있다.In order to minimize the phenomenon that the position of the substrate 1 is changed in the third axis direction by the rotation at this time, the center axis 111 may be different from the substrate 1 in height (position in the third axis direction). In Fig. 7, the center axis 111 is provided at a position where the positional difference from the substrate 1 in the third axis direction is h. According to such an operation, the edge of the substrate 1 can be bent, but if the rotation angle is small, there is no difficulty. Therefore, it is advantageous to apply to an environment in which the substrate 1 can be held tightly even with a small angle of rotation. When the present embodiment is applied, it is not necessary to provide a separate guide part 130, so that the configuration of the clamping unit can be simplified.

이상에서 살펴본 실시예에 따르면 결과적으로 기판(1)을 도 2의 화살표 방향으로 당길 수 있으므로 기판(1)을 팽팽하게 유지시킬 수 있다.According to the embodiments described above, the substrate 1 can be pulled in the direction of the arrow in FIG. 2, so that the substrate 1 can be held tight.

팽팽하게 유지된 기판(1)은 클램핑 유니트와 함께 기판(1)의 검사 수단 또는 기판(1)의 생산 수단으로 유입될 수 있다.The tightly held substrate 1 can be introduced into the inspection means of the substrate 1 or the production means of the substrate 1 together with the clamping unit.

도 8은 본 발명의 다른 클램핑 장치를 나타낸 개략도이다.8 is a schematic view showing another clamping device of the present invention.

도 8에 도시된 클램핑 장치는 기판을 클램핑하는 클램핑부(110) 및 클램핑부(110)의 움직임을 가이드하는 가이드부(130)를 포함할 수 있다.8 may include a clamping part 110 for clamping the substrate and a guide part 130 for guiding the movement of the clamping part 110. The clamping part 110 shown in FIG.

가이드부는 앞에서 살펴본 다양한 구성으로 형성될 수 있다. 초기에 기판의 크기에 따라 클램핑부(110)가 적절한 위치에 배치된 후에는 클램핑부(110)의 미세한 움직임만으로 기판을 당길 수 있다. 그런데, 매번 기판을 미세하게 당기기 위해 가이드부를 따라 클램핑부(110)를 이동시키는 것은 자원의 낭비를 초래할 수 있다. 이러한 문제를 해소하기 위해 가이드부는 클램핑부의 초기 세팅 위치를 결정하는 용도로 사용될 수 있다. 이후, 기판을 잡아당기는 것은 클램핑부에서 수행될 수 있다. 이를 위해 클램핑부에는 초기 세팅 위치에서 클램핑된 기판을 잡아당기는 당김부(115)가 마련될 수 있다.The guide portion can be formed in various configurations as described above. The substrate can be pulled only by the fine movement of the clamping portion 110 after the clamping portion 110 is initially disposed at a proper position according to the size of the substrate. However, moving the clamping portion 110 along the guide portion for finely pulling the substrate each time may cause waste of resources. In order to solve this problem, the guide portion can be used for determining the initial setting position of the clamping portion. Subsequently, pulling the substrate can be performed in the clamping portion. To this end, the clamping portion may be provided with a pulling portion 115 for pulling the clamped substrate at the initial setting position.

가상의 공간상에서 서로 직교하는 제1 축, 제2 축 및 제3 축을 정의할 때, 기판은 제1 축과 제2 축이 형성하는 평면상에 배치될 수 있다. 이때, 당김부(115)는 제1 축 또는 제2 축 방향으로 기판을 당길 수 있다. 도면에서는 xy 평면에 기판이 배치되고 있으며, x축 방향으로 기판을 당기고 있다.When defining a first axis, a second axis and a third axis orthogonal to one another in a virtual space, the substrate may be arranged on a plane formed by the first axis and the second axis. At this time, the pulling portion 115 can pull the substrate in the first axis direction or the second axis direction. In the drawing, the substrate is arranged in the xy plane, and the substrate is pulled in the x axis direction.

클램핑부는 가이드부(130)를 따라 움직이는 이동부(113)를 포함할 수 있으며, 당김부(115)는 이동부(113) 상에 설치될 수 있다. 이때, 당김부(115)는 이동부(113)에 대해 상대 이동할 수 있다. 예를 들어 이동부(113) 상에 레일(114)이 형성되고, 당김부(115)는 레일(114)을 따라 이동할 수 있다.The clamping part may include a moving part 113 moving along the guide part 130 and the pulling part 115 may be provided on the moving part 113. [ At this time, the pulling portion 115 can move relative to the moving portion 113. [ For example, a rail 114 is formed on the moving part 113, and the pulling part 115 can move along the rail 114. [

이동부(113)와 당김부(115)에 의하면 가이드부(130)를 따라 움직이는 클램핑부 전체의 움직임이 멈춘 상태에서 당김부(115)만 구동됨으로써 기판을 당길 수 있다. 당김부(115)는 공압 실린더 등의 구동 수단을 포함할 수 있으며, 당김부(115)는 이동부(113)에 대해 x축 방향으로 이동할 수 있다. 이에 따르면 당김부(115)는 기판을 x축 방향으로 당기게 된다. 공압 실린더의 동작을 위해 당김부(115)에는 공기가 출입되는 밸브(116)가 설치될 수 있다.According to the moving part 113 and the pulling part 115, only the pulling part 115 is driven in a state where the entire movement of the clamping part moving along the guide part 130 is stopped, thereby pulling the substrate. The pulling portion 115 may include a driving means such as a pneumatic cylinder, and the pulling portion 115 can move in the x-axis direction with respect to the moving portion 113. Accordingly, the pulling portion 115 pulls the substrate in the x-axis direction. For operation of the pneumatic cylinder, the pulling portion 115 may be provided with a valve 116 through which air enters and exits.

구체적으로 당김부(115)에는 제1 핑거 부재(117), 제2 핑거 부재(118), 핑거 구동부(119), 장홀(123)이 형성될 수 있다.Specifically, the first finger member 117, the second finger member 118, the finger drive unit 119, and the elongated hole 123 may be formed in the pulling part 115.

제1 핑거 부재((117)는 기판(1)의 제1 면에 접촉될 수 있다.The first finger member 117 can be brought into contact with the first surface of the substrate 1. [

제2 핑거 부재(118)는 기판(1)의 제2 면에 접촉될 수 있다. 평면상으로 기판에서 제1 핑거 부재의 접촉면 위치와 제2 핑거 부재의 접촉면 위치는 동일할 수 있다. 따라서, 기판이 개재되지 않는 경우 제1 핑거 부재와 제2 핑거 부재는 서로 맞닿을 수 있다. 다시 말해 제1 핑거 부재와 제2 핑거 부재에 의한 기판의 접촉에 의해 클램핑부는 기판을 클램핑할 수 있다.The second finger member 118 may be in contact with the second side of the substrate 1. The contact surface position of the first finger member and the contact surface position of the second finger member on the substrate in a plane may be the same. Thus, when the substrate is not interposed, the first finger member and the second finger member can abut against each other. In other words, by the contact of the substrate with the first finger member and the second finger member, the clamping portion can clamp the substrate.

제1 핑거 부재(117)는 당김부(115)에 고정될 수 있다. 이때, 제2 핑거 부재(118)는 핑거 회전축(125)을 중심으로 회전할 수 있다. 이때의 회전으로 제2 핑거 부재는 제1 핑거 부재에 맞닿음으로써 기판을 클램핑할 수 있다. 또는 역회전에 의해 제2 핑거 부재는 제1 핑거 부재로부터 떨어질 수 있다.The first finger member 117 can be fixed to the pulling portion 115. At this time, the second finger member 118 may rotate about the finger rotation axis 125. [ At this time, the second finger member can clamp the substrate by abutting against the first finger member. Or the second finger member can be detached from the first finger member by reverse rotation.

제2 핑거 부재(118)의 회전은 핑거 구동부(119)에 의해 이루어질 수 있다. 핑거 구동부(119)는 공압 실린더 등으로 구성되어 도면에서 x축 방향으로 이동할 수 있다. 공압 실린더의 구동을 위해 핑거 구동부(119)에는 공기가 출입되는 밸브(121)가 마련될 수 있다. 핑거 구동부(119)는 제1 핑거 부재의 단부를 밀거나 당길 수 있다. 도면과 같이 제2 핑거 부재(118)가 'L' 형으로 이루어지고 일단부는 제1 핑거 부재(117)에 맞닿도록 구성되고, 타단부가 핑거 구동부(119)에 의해 움직일 때 'L' 형의 제2 핑거 부재(118)에서 꺾인 부분에 핑거 회전축(125)이 마련될 수 있다. 핑거 회전축(125)을 중심으로 한 제2 핑거 부재(118)의 회전시 핑거 회전축(125)의 중심과 제2 핑거 부재에서 핑거 구동부에 연결된 부위까지의 길이는 회전 각도에 따라 달라진다. 따라서, 신뢰성 있는 제2 핑거 부재의 회전을 위해 핑거 회전축(125)는 도면에서 z축 방향으로 움직여야 한다. 이를 위해 당김부(115)에는 장홀(123)이 형성될 수 있다. 장홀(123)은 회전축의 움직임을 가이드할 수 있으며, 이를 위해 장홀(123)은 제1 방향(x축)에 기울어져 형성될 수 있다. 이때의 기울어진 방향은 z축과 x축이 이루는 가상의 평면 상에 형성될 수 있으며, 제2 핑거 부재(117)의 단부를 향할 수 있다.The rotation of the second finger member 118 can be done by the finger drive 119. The finger drive unit 119 is composed of a pneumatic cylinder or the like and can move in the x-axis direction in the drawing. The finger drive unit 119 may be provided with a valve 121 through which air enters and exits to drive the pneumatic cylinder. The finger drive 119 can push or pull the end of the first finger member. As shown in the drawing, the second finger member 118 is formed in an L shape and one end thereof is configured to abut against the first finger member 117, and when the other end is moved by the finger drive unit 119, The finger rotating shaft 125 may be provided at the folded portion of the second finger member 118. [ The length from the center of the finger rotating shaft 125 to the portion connected to the finger driving unit at the time of rotation of the second finger member 118 about the finger rotating shaft 125 varies depending on the rotation angle. Thus, for rotation of the reliable second finger member, the finger rotational axis 125 must move in the z-axis direction in the figure. For this purpose, an elongated hole 123 may be formed in the pulling portion 115. The long hole 123 can guide the movement of the rotation shaft. For this purpose, the long hole 123 can be formed to be inclined in the first direction (x-axis). At this time, the tilted direction can be formed on a virtual plane formed by the z-axis and the x-axis, and can be directed toward the end of the second finger member 117.

이상에서 살펴본 클램핑 장치에 의하면 가이드부에 의해 초기 세팅이 완료된 클램핑 장치에 기판을 올려놓고 클램핑부를 구성하는 당김부가 구동됨으로써 최소의 동력, 시간으로 기판을 잡아당길 수 있다. 이때, 당김부에 의해 당겨지는 기판은 x축 또는 y축 중 하나일 수 있으며, 도면에는 x축 방향으로 당기는 예가 개시된다.According to the above-described clamping device, the substrate is placed on the clamping device in which the initial setting is completed by the guide portion, and the pulling portion constituting the clamping portion is driven, thereby pulling the substrate with minimum power and time. At this time, the substrate pulled by the pulling portion may be one of the x-axis and the y-axis, and an example of pulling in the x-axis direction is shown in the figure.

이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.
While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the following claims.

1...기판 110...클램핑부
111...중심축 113...이동부
114...레일 115...당김부
116, 121...밸브 117...제1 핑거 부재
118...제2 핑거 부재 119...핑거 구동부
123...장홀 125...핑거 회전축
130...가이드부 131...제1 가이드부
132...제2 가이드부 133...제3 가이드부
135...회전부 150...클램프 베이스1 ... substrate 110 ... clamping part
111 ... center shaft 113 ... moving part
114 ... rail 115 ... pull-
116, 121 ... valve 117 ... first finger member
118 ... second finger member 119 ... finger drive unit
123 ... elongated hole 125 ... finger rotating shaft
130 ... guide portion 131 ... first guide portion
132 ... second guide portion 133 ... third guide portion
135 ... rotation part 150 ... clamp base

Claims

And a plurality of clamping units for clamping the substrate,
Wherein each of the clamping units maintains the substrate in tension by moving to increase the distance between each clamping point at which the clamping is made in the substrate,
A first axis, a second axis and a third axis orthogonal to each other in a virtual space are defined,
Wherein the clamping unit includes a clamping unit for clamping the substrate disposed on a plane formed by the first axis and the second axis, and a guide unit for guiding movement of the clamping unit,
And the guide portion includes a rotating portion that rotates the third axis about a rotation axis.

The method according to claim 1,
Wherein the clamping unit is installed in the rotating unit and moves along the extending direction of the rotating unit.

The method according to claim 1,
Wherein the clamping portion is provided in the rotating portion,
And the guide portion includes a third guide portion for moving the rotating portion in at least one of the first axial direction and the second axial direction.

A clamping unit for clamping the flexible substrate; And
And a guiding part for guiding the movement of the clamping part,
The guide portion determines an initial setting position of the clamping portion,
Wherein the clamping portion includes a moving portion moving along the guide portion and a pulling portion provided on the moving portion,
The pulling portion pulls the flexible substrate clamped at the initial setting position,
And the pulling portion is driven only in a state in which the movement of the entire clamping portion moving along the guide portion by the moving portion is stopped at the initial setting position, thereby pulling the flexible substrate.

5. The method of claim 4,
And a clamp base on which the guide portion is provided,
Wherein the clamp base is formed as a rectangular frame having a rectangular hollow,
Wherein the guide portions are disposed parallel to the mutually opposing sides of the frame.

5. The method of claim 4,
A first axis, a second axis and a third axis orthogonal to each other in a virtual space are defined,
Wherein the flexible substrate is disposed on a plane formed by the first axis and the second axis,
And the pulling portion pulls the flexible substrate in the first axis direction or the second axis direction.

5. The method of claim 4,
A rail is formed on the moving part moving along the guide part,
And the pulling portion moves along the rail in a state where the moving portion is stopped.

5. The method of claim 4,
Wherein the pulling portion is provided with a first finger member that contacts the first surface of the flexible substrate and a second finger member that contacts the second surface of the flexible substrate,
Wherein the clamping portion clamps the substrate by contact of the substrate by the first finger member and the second finger member,
Wherein the first finger member is fixed to the pulling portion,
The second finger member rotates about the finger rotation axis and contacts the first finger member,
Wherein the pulling portion is provided with a finger drive portion for pushing or pulling the end of the second finger member, and an elongated hole for guiding movement of the finger rotation shaft.

9. The method of claim 8,
And the elongated hole is formed by being inclined in a direction in which the finger drive unit pushes or pulls the end of the second finger member.

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