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KR101450865B1 - 디스플레이용 유리패널의 연마를 위한 폐연마재의 재생방법 - Google Patents

디스플레이용 유리패널의 연마를 위한 폐연마재의 재생방법 Download PDF

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KR101450865B1
KR101450865B1 KR1020060103546A KR20060103546A KR101450865B1 KR 101450865 B1 KR101450865 B1 KR 101450865B1 KR 1020060103546 A KR1020060103546 A KR 1020060103546A KR 20060103546 A KR20060103546 A KR 20060103546A KR 101450865 B1 KR101450865 B1 KR 101450865B1
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KR
South Korea
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abrasive
metal oxide
rare earth
earth metal
waste
Prior art date
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KR1020060103546A
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명중재
정인
최용석
Original Assignee
동우 화인켐 주식회사
정인
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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Abstract

본 발명은,
디스플레이용 유리패널 연마의 폐슬러지로부터 분리된 연마재 입자에 소결제로서 금속산화물을 고상혼합 또는 액상혼합에 의하여 첨가하는 단계;
금속산화물과 연마재 입자의 혼합물을 소성하는 단계; 및
소결된 연마재를 분쇄 및 분급하는 단계를 포함하는 폐연마재의 재생 방법에 관한 것이다.
본 발명에 의하면, 재생 연마재의 입도 및 강도를 원 연마재와 동일한 수준으로 회복시킬 수 있기 때문에, 원 연마재에 버금가는 연마효율을 가지는 재생 연마재를 제조할 수 있으며, 제조 공정도 간단하여 매우 경제적이다.
연마재, 재생, 소결제, 알칼리용액

Description

디스플레이용 유리패널의 연마를 위한 폐연마재의 재생 방법{Reproduction method of spent abrasives for polishing a glass panel for display}
본 발명은 디스플레이용 유리패널의 연마를 위한 폐연마재의 재생 방법에 관한 것이다. 상세하게는 TFT-LCD 등의 디스플레이용 유리패널을 연마하고 난 후 발생하는 폐연마재를 수집, 재생 하여 동일한 용도로 재 사용할 수 있도록 하는 방법에 관한 것이다.
일반적으로 TV 브라운관이나, 액정 패널로 사용되는 TFT-LCD용 유리패널은 생산공정 중에 표면의 평탄도나 거칠기등이 불량한 상태로 생산되어 원판 유리를 그대로 TV 브라운관이나 액정패널용 유리로 사용하는 것이 어렵다. 특히 액정패널로 사용되고 있는 TFT-LCD용 유리패널은 제품의 휘도, 시야각, 명암차등을 개선하기 위하여 다양한 방법 등이 검토되고있으며, 그러한 특성들은 TFT-LCD용 유리패널의 표면에 의해서도 많은 영향을 받는 것으로 알려져 있다. 이를 위해 유리패널을 생산하는 업체에서는 유리패널의 표면을 개선하기 위한 노력을 하고 있으며, 다양 한 유리패널 연마재가 사용되고 있다. 그 중 일반적인 연마재로 세륨계 연마재가 널리 사용되고 있다.
세륨은 예전부터 TV 브라운관 연마재로 사용되어 왔으며, 최근에는 TFT-LCD용 유리패널의 연마재로 널리 이용되고 있다.
그러나 세륨계 연마재는 일정시간의 유리 연마 공정 이후 연마효율의 감소로 인해 폐슬러지로 폐기 처분되고 있으며, 이를 재활용하기 위한 몇가지 기술이 검토되고 있다.
예를 들어 한국특허출원10-2005-0037510에서는 브라운관 연마재 슬러지를 습식 비중 선별법에 의하여 분리, 재활용하는 방법을 기술하고 있으며, 한국특허출원 10-2002-0081852에서는 세륨 연마재 폐슬러지에서 희토류 성분을 회수하는 방법을 기술하고 있다. 그러나 전자의 기술은 LCD용 유리패널 연마재와는 다른 조성이며, 성분 각각을 분리 회수하는 기술이며, 후자의 기술은 폐슬러지로부터 희토류 성분인 산화세륨만을 분리 회수하는 기술로서 TFT-LCD 용 유리패널 연마재로 사용하기 위해서는 재가공이 필요하다.
또한 일본 특허평 10-280060에서는 희토류 회수 방법에 대해 기술하고 있으나 역시 연마재로 사용하기 위해서는 재가공이 필요하다. 일본 특개 2005-14187에서는 재생처리후의 재가공 단점을 보완하여 재생 처리후 연마재로 사용은 가능하나, 재생 처리 공정중 폐연마재 내에 포함되어 있는 TFT-LCD 유리의 성분인 불순물을 제거하기 위하여 밀도차를 이용한 사이클론을 이용하고 있다. 그러나 이 방법은 미립자 분리시 유리 성분의 미립자와 세륨계 연마재의 명백한 구분이 불가능하며, 사이클론으로 제거시 세륨계 연마재 성분도 다량 함유되어 폐기처분 되기 때문에 연마재의 재생 처리 효율이 낮아진다는 단점을 가지고 있다.
상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 재생 연마재의 입도 및 강도를 원 연마재와 동일한 수준으로 회복시키는 것이 가능하고, 원 연마재에 버금가는 연마효율을 가지며, 제조 공정도 간단하여 매우 경제적인 재생 연마재를 제조하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,
디스플레이용 유리패널 연마의 폐슬러지로부터 분리된 연마재 입자에 소결제로서 금속산화물을 고상혼합 또는 액상혼합에 의하여 첨가하는 단계;
금속산화물과 연마재 입자의 혼합물을 소성하는 단계; 및
소결된 연마재를 분쇄 및 분급하는 단계를 포함하는 폐연마재의 재생 방법을 제공한다.
이하에서 상기의 발명을 상세히 설명한다.
본 발명에서 디스플레이용 유리패널이란 TV 브라운관이나, TFT-LCD에 사용되는 유리패널 등을 포함하는 개념이다.
또한, 본 발명의 폐연마재의 재생 방법에서는 디스플레이용 유리패널의 연마 시에 발생하는 폐슬러지로부터 통상적인 방법으로 분리된 연마재 입자를 사용할 수 있으며, 분리방법에 따라서 연마제 입자의 사용이 제한되지는 않는다.
산화세륨계 연마재를 유리패널 연마후 교체하는 주요 원인은 유리패널 연마효율이 감소하여 생산성이 낮아지기 때문이다. 유리패널 연마공정에서 연마재 사용시 유리패널의 연마 효율이 작아지는 주요 원인은 연마공정을 거치면서 원연마재의 입자 크기 및 입자 평균 분포도가 작아 지기 때문이다. 산화세륨 연마재 연마기에 공급되고 연마패드와 유리패널 사이에서 윤활작용을 하며 유리패널의 연마를 진행하게 된다. 이때 공급된 연마재는 패드와 유리패널 사이의 마찰에 의해 입자 크기가 작아지게 되고 입도 분포 또한 작아지게 되는 것이다. 이와 같이 작아진 산화세륨 입자에 의해서 커다란 입자크기와 입자 분포도를 가지는 원 산화세륨 연마재에 비하여 유리를 제거하는 능력이 작아지게 되는 것이다. 따라서 연마공정을 통해 작아진 산화세륨 입자를 원래의 크기로 조절하여야 하며, 평균크기가 증가된 산화세륨은 입자간 결합력이 우수해야만 한다. 이를 위해 평균입자가 작아진 폐연마재에 소결제를 첨가하여 연마재 입자간 결합력을 향상시킬 수 있다.
입자간 결합력을 증가시키기 위하여 첨가되는 소결제로는 금속 산화물이 바람직하다. 예를 들어 산화세륨, 산화란탄, 산화네오듐 등 희토류 산화물 등이 사 용될 수 있으며, 산화규소(SiO2) 및 산화알루미늄(Al2O3), 산화 나트륨(Na2O) 등은 유리 불순물과 동일하며, 연마제 성분과 상이하므로 가능한 배제하는 것이 바람직하다. 그러나 산화규소 및 산화 알루미늄 등이 유리 연마에 미치는 영향이 적은 경우에는 사용가능하며, 상기 산화물의 첨가제로서 국한되는 것은 아니다.
소결제로 사용되는 금속 산화물의 입자크기는 1nm ~ 1,000nm의 범위를 가지는 미립자를 사용하는 것이 바람직하며, 11nm~100nm의 범위를 가지는 미립자를 사용하는 것이 더욱 바람직하다.
소결제로 미립자를 사용하는 이유는 다음과 같다.
거대입자의 경우 입자의 표면적이 미립자에 비하여 작고 거대 입자간 접촉은 적은 표면 접촉을 형성하게 된다. 따라서 입자의 화학적, 물리적 결합을 형성시키는 열처리 공정을 통해 형성되는 입자간 결합력은 약한 결합력을 유지하게 된다. 그러나 미립자의 경우 입자 표면적이 증가하고 입자간 접촉면적이 증가하면서 입자간 결합력은 증가하게 되어 입자간 결합이 보다 강해지게 된다. 이러한 원리를 이용하여 1μm이상의 평균 입도를 가지는 유리용 산화세륨계 연마재에 nm크기의 미립자를 첨가하여 입자간 접촉면적을 증가시켜 입자간 결합력을 증가시키는 것이 가능하다.
1nm 미만의 미립자도 가능하나 소결제를 1nm미만으로 조절하기가 쉽지 않으며, 1nm 미만의 미립자 제조에 따른 제조비용의 증가로 인해 바람직하지 않다. 또 한 1,000nm 를 초과 하는 입자인 경우는 원 연마재의 입도와 거의 유사하므로 입자간 접촉면적의 증가를 기대하기 어렵다. 따라서 입자간 결합력의 증가를 기대하기 어려워 소결제의 역할을 기대하기 어렵다.
소결제의 첨가량은 폐슬러지로부터 분리된 연마재 입자 100중량부에 대하여 0.01~20중량부인 것이 바람직하다. 소결제가 0.01중량부 미만인 경우 소결효과를 기대하기 어려우며, 소결제가 20중량부를 초과하는 경우에는 연마재의 조성변화로 유리의 연마효과에 영향을 미칠 수가 있으며, 재생된 제품의 원가 상승 요인이 될수 있다.
또한, 소결제의 첨가는 고상혼합 방법 또는 액상혼합 방법 등에 의해 이루어질 수 있으며, 이중 액상 혼합방법으로 소결제를 첨가하는 하는 것이 보다 바람직하다. 여기서 액상 혼합방법이라 함은, 폐슬러지로부터 분리된 연마재 입자를 분산제로 분산시키고, 분산제에 분산되어 있는 연마재 입자에 소결제를 첨가하고 교반하여 연마재 입자와 소결제 간에 균일 혼합을 이루도록 하는 것이다. 이때 사용되는 분산제는 어느 것을 사용하여도 무방하나 통상 물을 이용하는 것이 바람직하다. 또한 분산제의 사용농도는 특별히 한정되지 않으며, 교반이 가능한 수준으로 결정될 수 있다.
액상 혼합방법에서 폐슬러지로부터 분리된 연마재 입자에 소결제를 첨가한 후, 소결제와 연마재 입자의 혼합물만을 추출하기 위하여 고액 분리 공정을 실시할 수 있다. 이는 소결제를 첨가하기 위하여 사용된 분산제 성분을 분리 배출하는 것으로서, 통상적으로 사용되는 방법을 사용할 수 있으며, 필터 프레스, 원심분리기, 데칸터 등의 장치를 이용할 수 있다. 이러한 장비를 이용하는 경우 소결제와 연마재 입자의 혼합물은 5 ~ 50중량% 정도의 함수율을 갖는 상태로 얻어진다. 상기의 장비를 이용하는 경우 5% 미만의 함수율를 가지는 소결제와 연마재 입자의 혼합물을 얻기가 쉽지 않으며, 70% 이상의 함수율를 가지는 소결제와 연마재 입자의 혼합물의 경우 건조 및 소성공정을 통해 분산제를 제거해야 하는 부담이 커져 건조 및 소성로의 처리용량이 증가하게 되므로, 경제적측면에서 바람직 하지 않다. 따라서 고액분리를 통해 분리되는 소결제와 연마재 입자의 혼합물 내의 함수율은 작으면 작을수록 바람직하다.
고액분리 과정을 거쳐 얻어진 소결제와 연마재 입자의 혼합물은 수분을 함유하고 있기 때문에, 이러한 연마재 내의 수분을 제거하기 위하여 건조과정을 거치는 것이 바람직하며, 건조온도는 특별히 한정되지 않지만, 100~250℃가 바람직하다. 건조 방법은 업계에서 통상적으로 사용되는 방법을 사용할 수 있으며, 건조로 등의 장치를 이용할 수 있다. 건조온도가 100℃ 미만인 경우 분산제로 사용되는 물의 건조가 충분하지 않으며, 소결제와 연마재 입자의 혼합물에 포함된 수분을 제거하기 위한 건조시간이 길어지는 단점이 있다. 250℃ 이상의 조건에서도 건조효과는 얻을 수 있으나, 수분건조의 경우 250℃ 이상의 온도로 가열하는 것은 온도 증가에 따른 유지비용 등의 증가가 발생할 수 있는 단점을 가지고 있다. 그러나 목적에 따라 건조온도의 조절은 가능하다.
건조로의 경우, 소성로 앞단에 설치하여 소성 전처리를 해주는 장비로서, 목적에 따라 박스 형태, 터널 형태, 로타리 형태로 이용될 수 있다.
소결제와 연마재 입자의 혼합물을 건조하는 과정은 이러한 혼합물에 함유된 함수율이 건조의 다음과정인 소성과정에서 특별히 문제가 되지 않는 한 생략될 수 있으며, 소성과정으로 바로 진행할 수도 있다.
고상혼합의 경우, 폐슬러지로부터 분리된 연마재 입자에 고형분의 소결제를 혼합하여 고체상태에서 혼합하는 방법으로서, 통상의 혼합기 또는 교반기를 통하여 소결제를 혼합할 수 있다. 고상혼합의 경우, 액상 혼합의 경우와 달리 균일한 혼합을 이루기가 어렵기 때문에 가능한 한 고체상의 입자가 작을수록 바람직하다.
본 발명에서 소결제의 첨가가 고상혼합방법으로 수행되는 경우, 고체상의 입자 크기는 특별히 제한되지 않으며, 고상혼합 방법도 특별히 제한되지 않는다.
소결제와 연마재 입자의 혼합물은 소성과정을 거치면서 소결제에 의한 입자간 결합을 형성하는 한편, 혼합물 내에 포함되어 있는 유기 불순물 등이 제거되게 된다. 일반적으로 소성온도는 250~1,100℃ 정도가 바람직하다. 250℃ 보다 낮은 온도에서는 입자간 계면에서 결합을 이룰 수 있는 소결과정이 이루어지기 어려우며, 입자간 약한 결합상태를 나타내게 되어 유리의 연마효율을 높이기 어려우며, 1,100 ℃를 초과하여 열처리하는 경우 입자간 결합력의 증가효과는 양호하나 입자간 계면에서의 반응성 증가로 입자간 결합력이 증가할 수 있는 요인이 되고, 증가된 입자간 결합력은 입자의 강도를 증가시키는 원인이 될 수 있으며, 증가된 입자의 강도는 유리 연마시 스크래치를 발생시킬수 있는 원인이 될수 있다.
소성공정을 거친 폐연마재는 분쇄 및 분급과정을 거쳐 일정한 입도분포를 가지는 재생 연마재로 사용 가능하게 된다. 이때 분쇄과정에 사용되는 방법으로는 핀밀, 에어 젯밀, ACM 등이 적용될 수 있으며, 통상적인 분쇄 방법을 사용할 수 있다. 분급방법으로는 공기분급기(Air classifier) 등의 건식 분급기를 이용할 수 있으며, 분쇄방법이나 분급방법은 특별히 어느 한 방법이나 장비에 한정되지 않는다.
본 발명은 또한, 상기의 목적을 달성하기 위하여,
디스플레이용 유리패널 연마의 폐슬러지로부터 20~325 메쉬를 이용하여 연마패드 불순물 및 외부 혼입 불순물을 제거하는 단계;
OH 성분을 가지는 알칼리 용액을 이용하여 폐슬러지로부터 무기불순물을 제거하는 단계;
DI(Deionized water)로 폐슬러지를 세정하는 단계;
상기의 공정에 의하여 분리된 연마재 입자에 금속산화물을 고상혼합 또는 액상혼합에 의하여 첨가하는 단계;
금속산화물과 연마재 입자의 혼합물을 소성하는 단계; 및
소결된 연마재를 분쇄 및 분급하는 단계를 포함하는 폐연마재의 재생 방법을 제공한다.
이하에서 상기의 발명을 상세히 설명한다.
본 발명에서, 폐슬러지에 알칼리 용액을 첨가하는 공정은 예컨대, 세륨계 연마재로 TFT-LCD 유리패널을 연마하는 공정에서, 제거된 유리성분이 폐연마재 내에 혼재하고 있기 때문에 이러한 불순물을 제거하기 위하여 이용하고 있다.
유리 불순물을 제거하기 위하여 사용하는 알칼리 용액으로는 OH 성분을 포함하는 화학종이 바람직하다. 유리는 SiO2 및 Al2O3가 주성분으로 비정질 상태의 구조를 가지고 있으며, 이러한 비정질의 SiO2 및 Al2O3등은 OH와 반응하여 Si-OH 또는 Al-OH 구조를 형성하며 SiO2 및 Al2O3등을 용해시키게 되고, 이를 침강법이나 원심분리 등의 분리방법을 통해 폐연마재와 액상성분을 분리함으로써 폐연마재 속에 혼입된 유리 불순물을 제거시킬수 있다. 반면에 산화세륨 등 연마재를 구성하고 있는 희토류 성분은 알칼리 용액에 용해되지 않고 연마재 성분으로 분리가 가능하다.
이러한 알칼리 용액의 구성하는 OH성분으로는 NaOH, KOH, NH4OH 등을 사용할 수 있으며, 그 농도는 0.01~5M이 바람직하다. 0.01M 미만에서는 유리 불순물의 용해성이 부족하여 사용량이 증가할수 있으며, 5M을 초과하는 경우에는 유리 불순물 용해성은 우수하나 원료 사용의 증가 및 폐수처리량 및 폐수 처리비용이 증가하기 때문이다. 그러나, 알칼리 용액의 농도 증가는 특별히 한정되지 않는다.
DI로 세정하는 단계는, 알칼리 용액으로 폐연마재 내의 유리 불순물을 제거한 후, 고액 분리공정을 거쳐 폐연마재를 분리한 후, 폐연마재 내의 함수에 따른 잔류 알칼리 용액 성분을 제거하기 위한 것이다. 세정 횟수는 폐연마재의 pH가 중성이 될 때까지 진행한다.
상기에서 상술한 공정에 의하여 유리 불순물을 포함하여 불순물이 제거된 폐연마재를 얻으며, 재생 연마재의 연마성능을 향상시키기 위하여 소결제 첨가, 건조, 소성 및 분쇄 및 분급공정 등을 진행한다. 그리고 이러한 공정들에 대한 상세한 설명은 [발명의 구성]의 앞부분에 기재된 내용과 동일하다.
이하에서 본 발명을 실시예 비교예 및 시험예를 통하여 구체적으로 설명한다. 그러나, 실시예 및 시험예에 의하여 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
실시예 1: 폐연마재 입자의 분리
TFT-LCD용 유리패널의 연마 시에 발생한 폐슬러지를 25 메쉬로 처리하여 연마패드 불순물 및 외부 혼입 불순물을 제거하고, NaOH 2M 용액에, 고형분 농도를 20중량%로 하여 1시간 이상 교반하여, 유리에서 발생되는 SiO2성분 등 불순물을 제 거하고, 세정과정을 거쳐, 불순물이 제거된 폐연마재를 분리한후 150℃에서 건조하여 수분을 제거하였다.
실시예 2: 분리된 폐연마재 입자의 재생
상기의 실시예 1에서 분리된 폐연마재에 60nm 이하의 소결제(구체적으로 기재바랍니다. 예컨대, 산화세륨)를 분리된 연마재 입자 100중량부에 대하여 1 중량부의 함량으로 액상혼합하여 균일하게 혼합한 후 디캔터(decanter) 장비를 이용하여 함수율이 20중량%정도인 소결제와 연마재 입자의 혼합물을 얻었으며, 수분제거를 위해 200℃에서 건조과정을 실시하였고, 입자의 결합 및 유기 불순물 등을 제거하기 위하여 950℃에서 1시간동안 소성을 하였다. 소성후 분쇄 및 분급공정을 진행하여 재생 연마재를 제조하였다.
비교예 1: 폐연마재 입자의 재생
폐슬러지 내의 미립자를 제거하기 위하여 사이클론을 실시하였다. 얻어진 폐슬러지를 150℃에서 건조한 후 700℃에서 1시간동안 소성하는 종래의 방법으로 재생 연마재를 제조하였다.
시험예 1: 재생 연마재의 연마효율 평가
Figure 112006076914591-pat00001
상술한 바와 같이, 본 발명의 폐연마재의 재생 방법에 의하면, 재생연마재의 입도 및 강도를 원 연마재와 동일한 수준으로 회복시키는 것이 가능하기 때문에 원 연마재에 버금가는 연마효율을 가지며, 제조 공정도 간단하여 매우 경제적인 재생 연마재를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명에서 제시하고 있는 폐슬러지로부터 연마재를 분리하고, 재생하는 방법에 의하면 폐슬러지 내에 포함된 유리 불순물을 용이하게 제거하는 것도 가능하기 때문에, 상기에서 언급한 모든 장점과 함께 경제성을 배가시킬 수 있다.

Claims (22)

  1. 디스플레이용 유리패널 연마의 폐슬러지로부터 연마재 입자를 분리하는 단계;
    상기 분리된 연마재 입자를 액상의 분산제로 분산시키고, 분산제에 분산되어 있는 연마재 입자에 희토류 금속산화물을 첨가하고 교반하여, 연마재 입자와 희토류 금속산화물을 균일하게 혼합시키는 액상혼합 단계;
    액상혼합물로부터 희토류 금속산화물과 연마재 입자의 혼합물만을 분리하기 위한 고액분리 단계;
    상기 희토류 금속산화물과 연마재 입자의 혼합물을 건조하는 단계;
    상기 희토류 금속산화물과 연마재 입자의 혼합물을 소성하는 단계; 및
    소결된 연마재를 분쇄 및 분급하는 단계를 포함하며,
    상기 희토류 금속산화물의 입자의 직경이 11~100nm인 것을 특징으로 하는 폐연마재의 재생 방법.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 청구항 1에 있어서, 희토류 금속산화물이 산화세륨, 산화란탄 및 산화네오듐으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 폐연마재의 재생 방법.
  6. 삭제
  7. 청구항 1에 있어서, 희토류 금속산화물의 첨가량이 폐슬러지로부터 분리된 연마재 입자 100중량부에 대하여 0.01~20중량부인 것을 특징으로 하는 폐연마재의 재생 방법.
  8. 청구항 1에 있어서, 희토류 금속산화물과 연마재 입자의 혼합물의 건조온도가 100~250℃인 것을 특징으로 하는 폐연마재의 재생 방법.
  9. 청구항 1에 있어서, 소성온도가 500~1,100℃인 것을 특징으로 하는 폐연마 재의 재생 방법.
  10. 디스플레이용 유리패널 연마의 폐슬러지로부터 20~325 메쉬를 이용하여 연마패드 불순물 및 외부 혼입 불순물을 제거하는 단계;
    OH 성분을 가지는 알칼리 용액을 이용하여 폐슬러지로부터 무기불순물을 제거하는 단계;
    DI(Deionized water)로 폐슬러지를 세정하는 단계;
    상기의 공정에 의하여 분리된 연마재 입자를 액상의 분산제로 분산시키고, 분산제에 분산되어 있는 연마재 입자에 소결제로서 희토류 금속산화물을 첨가하고 교반하여, 연마재 입자와 희토류 금속산화물을 균일하게 혼합시키는 액상혼합 단계;
    액상혼합물로부터 희토류 금속산화물과 연마재 입자의 혼합물만을 분리하기 위한 고액분리 단계;
    상기 희토류 금속산화물과 연마재 입자의 혼합물을 건조하는 단계;
    상기 희토류 금속산화물과 연마재 입자의 혼합물을 소성하는 단계; 및
    소결된 연마재를 분쇄 및 분급하는 단계를 포함하며,
    상기 희토류 금속산화물의 입자의 직경이 11~100nm인 것을 특징으로 하는 폐연마재의 재생 방법.
  11. 청구항 10에 있어서, OH 성분을 가지는 알칼리 용액이 NaOH, KOH 및 NH4OH로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 성분을 포함하는 것임을 특징으로 하는 폐연마재의 재생 방법.
  12. 청구항 10에 있어서, OH 성분을 가지는 알칼리 용액의 농도가 0.01~5M인 것을 특징으로 하는 폐 연마재의 재생 방법.
  13. 청구항 10에 있어서, 무기불순물이 SiO2 및 Al2O3 성분인 것을 특징으로 하는 폐 연마재의 재생 방법.
  14. 청구항 10에 있어서, DI 세정을 폐슬러지의 pH가 중성이 될 때까지 수행하는 것을 특징으로 하는 폐 연마재의 재생 방법.
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 삭제
  18. 청구항 10에 있어서, 희토류 금속산화물이 산화세륨, 산화란탄 및 산화네오듐으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 폐 연마재의 재생 방법.
  19. 삭제
  20. 청구항 10에 있어서, 희토류 금속산화물의 첨가량이 폐슬러지로부터 분리된 연마재 입자 100중량부에 대하여 0.01~20중량부인 것을 특징으로 하는 폐 연마재의 재생 방법.
  21. 청구항 10에 있어서, 희토류 금속산화물과 연마재 입자의 혼합물의 건조온도가 100~250℃인 것을 특징으로 하는 폐 연마재의 재생 방법.
  22. 청구항 10에 있어서, 소성온도가 500~1,100℃인 것을 특징으로 하는 폐 연마재의 재생 방법.
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