KR101456986B1 - Inductive Shunt Type Microwave Pulse Current Sensor - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 초고주파 펄스 신호의 전류 측정에 관한 것으로서, 더 상세하게는 간접적인 계측을 통해 펄스 신호의 간섭을 억제하여 계측의 정확도를 크게 높일 수 있는 펄스 측정 장치에 대한 것이다. The present invention relates to current measurement of a very high frequency pulse signal, and more particularly, to a pulse measurement device capable of greatly increasing the accuracy of measurement by suppressing interference of a pulse signal through indirect measurement.
일반적으로 초고주파 펄스 신호 전류 측정 장치는 초광대역 전자기파 발생원이나 펄스 플라즈마 발생 장치의 진단에 활용된다. 이를 위해, 초고주파 펄스 전류 측정 장치는 펄스 전류가 흐르는 전송선을 둘러싸는 원형 자기장 코어와 권선으로 구성된 로고스키 코일을 이용하여 펄스전류가 전송선을 따라 흐르면 전송선 주위에 발생하는 유도 자기장이 트랜스포머의 원리로 자기장 코어에 집중이 되고 이러한 유도 자기장이 권선에 흐르는 유도 전류를 측정하여 원래 전송선에 흐르는 펄스 전류를 계산하는 것이 일반적이다.In general, a very high frequency pulse signal current measuring device is used for the diagnosis of an ultra-wideband electromagnetic wave source or a pulse plasma generating device. To this end, a very high frequency pulse current measuring device uses a circular magnetic core surrounding a transmission line through which a pulse current flows and a Rogowski coil composed of a winding. When a pulse current flows along a transmission line, an induced magnetic field generated around the transmission line is transformed into a magnetic field It is common to concentrate on the core and to measure the induced current flowing through the winding to calculate the pulse current flowing in the original transmission line.
특히, 전류 측정의 정밀도를 높이기 위해 유도 코어를 통해 유도 자기장을 집중시켜 코어를 따라 감은 전선에 유도되는 전류를 높이는 것이 중요한데, 이를 위해서는 자기장 코어의 투자율이 높은 물질을 사용하고 코어 권선수를 높이는 방법이 적용되고 있다.Particularly, in order to increase the precision of current measurement, it is important to concentrate the induced magnetic field through the induction core to increase the current induced in the wire wound around the core. To do so, use a material having high magnetic permeability of the magnetic core, Is applied.
하지만, 이러한 방식은 투자율이 높은 재료로 자기 코어를 만들고 권선수를 높일 경우 펄스 전류 측정장치의 인덕턴스가 커져서 펄스 신호의 상승시간(rising time)이 늘어나서 초고주파 펄스신호를 측정하는 데 한계가 있을 수 밖에 없다.However, in this method, when a magnetic core is made of a material having a high permeability and the winding current is increased, the inductance of the pulse current measuring device is increased, and the rising time of the pulse signal is increased. none.
또한, 초고주파 펄스가 대전류인 경우 자기코어에 유도되는 자기장의 세기가 커져 자기코어가 포화되어 정확한 측정이 어려워진다.In addition, when the very high frequency pulse is a large current, the intensity of the magnetic field induced in the magnetic core becomes large, and the magnetic core becomes saturated, which makes accurate measurement difficult.
또한, 대형 펄스 전송선일 경우 펄스 전류 측정장치의 자기장 코어가 커져야 하는 데 제조상 어려움이 있을 수밖에 없다. 상대적으로 고전압이 걸리는 펄스 전송선 주위에 로고스키 코일(Rogowskii coil)이 설치되기 때문에 절연파괴를 막기 위한 부가 장치가 필요하다는 한계가 있다. In addition, in the case of a large-sized pulse transmission line, the magnetic field core of the pulse current measuring device must be large, making it difficult to manufacture. A Rogowskii coil is installed around a pulse transmission line that is relatively high in voltage, so there is a limitation that an additional device for preventing dielectric breakdown is needed.
본 발명은 위 배경기술에 따는 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 초고주파 펄스신호가 대전류이고 펄스 전송선이 대형일 경우 펄스 신호 전류를 정밀하게 측정하고 전자기파 신호의 주파수가 높아지더라도 선형적인 펄스 전류 측정이 가능한 유도 갈래형 초고주파 펄스 신호 전류 측정 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION [0008] The present invention has been made in order to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a method and apparatus for accurately measuring a pulse signal current when a very high frequency pulse signal is large current and a pulse transmission line is large, And an object of the present invention is to provide a possible induction-branched type very high frequency pulse signal current measuring apparatus.
본 발명은 위에서 제시된 과제를 달성하기 위해, 초고주파 펄스신호가 대전류이고 펄스 전송선이 대형일 경우 펄스 신호 전류를 정밀하게 측정하고 전자기파 신호의 주파수가 높아지더라도 선형적인 펄스 전류 측정이 가능한 유도 갈래형 초고주파 펄스 신호 전류 측정 장치를 제공한다.In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a method of measuring a pulse signal current when a very high frequency pulse signal is a large current and a pulse transmission line is large, and an inductance type very high frequency pulse A signal current measuring apparatus is provided.
상기 유도 갈래형 초고주파 펄스 신호 전류 측정 장치는,The induction-branched microwave pulse signal current measuring apparatus includes:
입력되는 펄스 신호를 전달하는 펄스 전송선(150)이 내측에 형성되어 일단 내측에 형성되는 부하(160)에 연결되는 챔버 몸통(170); 및A
상기 챔버 몸통(170)의 챔버 외벽(171)에 형성되며, 상기 펄스 신호를 멤돌아가게 만드는 유도형 홈(110)이 형성되고, 상기 유도형 홈(110)의 하단에 양단간 전기적인 접촉이 일어나지 않도록 절연재(120)가 설치되며, 상기 유도형 홈(110)을 따라 돌아가는 펄스 신호의 전위차를 측정하기 위한 리드선(130)이 설치되고, 상기 리드선(130)과 상기 펄스신호의 전기적인 접촉을 막기 위한 측정용 구멍(140)이 형성되는 챔버 플랜지(101);를 포함하는 것을 특징으로 한다.An
이때, 상기 유도형 홈(110)은 고리 형상으로서 측정하고자 하는 펄스 신호의 주파수 및 세기에 대응하여 크기가 정해지는 것을 특징으로 할 수 있다.At this time, the
또한, 상기 절연재(120)는 절연필름 형태이며, 펄스 신호가 상기 유도형 홈내부로 돌아가도록 하는 것을 특징으로 할 수 있다.In addition, the
또한, 상기 유도형 홈(110)은 상기 챔버 플랜지(101)의 원주방향으로 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.Further, the
또한, 상기 유도형 홈(110)의 형상은 직사각형 단면인 것을 특징으로 할 수하는 있다.Further, the shape of the
또한, 상기 절연재(120)는 상기 챔버 외벽(171)을 타고 흐르는 펄스 신호에 대하여 상기 챔버 플랜지(101)의 접합면(102)을 절연하는 것을 특징으로 할 수 있다.The
또한, 상기 유도형 홈(110)의 바깥쪽에는 통전성을 향상시키기 위한 전도성 가스킷이 삽입 설치되고, 상기 유도형 홈(110)의 안쪽에는 펄스 전류가 상기 챔버 플랜지를 통과하지 않도록 상기 절연재(120)가 설치되는 것을 특징으로 할 수 있다.A conductive gasket is inserted into the
또한, 상기 리드선(130)을 통한 유도형 홈(110) 전후의 펄스신호 전위차는 다음 수학식
본 발명에 따르면, 초고주파 펄스신호가 전송선을 따라 부하를 거쳐 접지부로 가는 도중에 직사각형 단면을 갖는 원주 방향으로 나있는 홈을 따라 이동하면서 멤돌이 전류 회로를 구성되어 펄스 신호의 전류를 측정함으로 인해서 펄스 발생장치의 크기가 대형이라도 구애받지 않고 계측할 수 있다는 효과가 있다.According to the present invention, a very high frequency pulse signal moves along a transmission line along a circumferential groove having a rectangular cross section on the way to a ground via a load, and a current mirror circuit is formed to measure a current of the pulse signal, There is an effect that measurement can be performed regardless of the size of the apparatus.
또한, 본 발명의 다른 효과로서는 펄스신호가 부하저항을 통해 그라운드 역할을 하는 외통 플랜지의 홈을 주위로 멤돌아 가는 전류에 의해 발생하는 유도 자기장으로 인한 인덕턴스 성분으로 발생하는 전위차를 측정하기 때문에 자기코어의 자기장으로 인한 포화가 없기 때문에 펄스신호의 주파수가 높아지더라도 원활하게 측정을 할 수 있다는 점을 들 수 있다. Further, as another effect of the present invention, since the pulse signal measures the potential difference generated by the inductance component due to the induced magnetic field generated by the current flowing through the groove around the groove of the outer flange serving as the ground through the load resistor, There is no saturation due to the magnetic field of the pulse signal, so that even if the frequency of the pulse signal is high, the measurement can be performed smoothly.
또한, 본 발명의 또 다른 효과로서는 전압강하는 비교적 간단하게 측정할 수 있고 측정 신호가 미분신호이고 펄스 전류는 측정신호를 적분하여 얻을 수 있기 때문에 노이즈를 줄일 수 있다는 점을 들 수 있다. Another effect of the present invention is that the voltage drop can be measured relatively easily, the measurement signal is a differential signal, and the pulse current can be obtained by integrating a measurement signal, thereby reducing noise.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 유도 갈래형 초고주파 펄스 신호 전류 측정 장치(100)의 측면 레이아웃을 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 유도 갈래형 초고주파 펄스 신호 전류 측정 장치(100)의 정면 레이아웃을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 유도 갈래형 초고주파 펄스 신호 전류 측정 장치의 측정 신호를 보여주는 그래프이다.
도 4는 도 3에 도시된 측정 신호를 적분한 선도를 나타내는 그래프이다.1 is a diagram showing a side layout of an apparatus for measuring an indifferent type ultra-high frequency pulse signal current according to an embodiment of the present invention.
2 is a diagram showing a frontal layout of the device for measuring an indifferent type very high frequency
3 is a graph showing a measurement signal of an apparatus for measuring an indifferent type very high frequency pulse signal according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a graph showing the integration of the measurement signal shown in FIG. 3; FIG.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 구체적으로 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.While the invention is susceptible to various modifications and alternative forms, specific embodiments thereof are shown by way of example in the drawings and will herein be described in detail. It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.
각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용한다.Like reference numerals are used for similar elements in describing each drawing.
제 1, 제 2등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.
예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제 1 구성요소는 제 2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제 2 구성요소도 제 1 구성요소로 명명될 수 있다. "및/또는" 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component. The term "and / or" includes any combination of a plurality of related listed items or any of a plurality of related listed items.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미가 있다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않아야 한다.Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Should not.
이하 본 발명의 실시예를 첨부된 예시도면을 참조로 상세히 설명하기로 한다.
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 유도 갈래형 초고주파 펄스 신호 전류 측정 장치(100)의 측면 레이아웃을 나타내는 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 유도 갈래형 초고주파 펄스 신호 전류 측정 장치(100)의 정면 레이아웃을 나타내는 도면이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 유도 갈래형 초고주파 펄스 신호 전류 측정 장치(100)는, 챔버 몸통(170)과, 상기 챔버 몸통(170)의 챔버 외벽(171)에 형성되는 챔버 플랜지(101) 등으로 구성된다.FIG. 1 is a side view of an
챔버 몸통(170)에는 입력되는 펄스 신호를 전달하는 펄스 전송선(150)과, 내측에 형성되어 일단 내측에 형성되는 부하(160)에 연결되는 챔버 몸통(170) 등으로 구성된다.The
또한, 챔버 플랜지(101)는 상기 챔버 몸통(170)의 챔버 외벽(171)에 형성되며, 상기 펄스 신호를 멤돌아가게 만드는 유도형 홈(110)이 상기 챔버 플랜지(101)의 원주방향으로 형성된다. The
펄스 신호가 펄스 전송선(5)를 따라 부하(6)을 지나 챔버 외벽(7)를 따라 흐르면서 접지로 이동한다. The pulse signal travels along the pulse transmission line 5 through the load 6 and along the chamber outer wall 7 to the ground.
상기 유도형 홈(110)은 입력된 펄스 신호가 유도형 홈(110)을 돌아가면서 유도 자기장이 발생하여 전류의 흐름을 방해하는 인덕터의 역할을 수행하여 펄스 신호의 전위차를 발생시킨다.The
상기 유도형 홈(110)의 하단에 양단간 전기적인 접촉이 일어나지 않도록 절연재(120)가 설치된다. 또한, 상기 유도형 홈(110)을 따라 돌아가는 펄스 신호의 전위차를 측정하기 위한 리드선(130)이 설치된다. 물론, 상기 리드선(130)과 상기 펄스신호의 전기적인 접촉을 막기 위한 측정용 구멍(140)이 리드선(130)에 형성된다.An
절연재(120)는 챔버 외벽(171)을 타고 흐르는 펄스 신호가 챔버 플랜지(101)의 접합면(102)을 절연하는 역할을 한다. 부연하면, 챔버 플랜지(101)와 챔버 몸통(170)은 각각 한 쌍으로 구성되며, 이들이 접합면(102)을 기준으로 서로 접합된다. 즉, 우측에 있는 제 1 챔버 몸통과 상기 제 1 챔버 몸통의 챔버 외벽에 형성되는 제 1 챔버 플랜지가 좌측에 있는 제 2 챔버 몸통과 상기 제 2 챔버 몸통의 챔버 외벽에 형성되는 제 2 챔버 플랜지와 접합된다. 물론, 이러한 챔버 몸통과 챔버 플랜지는 동시에 형성될 수 있다. The
상기 리드선(130)은 유도형 홈을 지나기 전후의 펄스 신호의 전위차를 측정하기 위한 역할을 한다.The
이때, 상기 유도형 홈(110)은 고리 형상으로서 측정하고자 하는 펄스 신호의 주파수 및 세기에 대응하여 크기가 정해지는 것을 특징으로 할 수 있다.At this time, the
또한, 상기 유도형 홈(110)의 형상은 직사각형 단면이 될 수 있다.In addition, the shape of the
또한, 상기 절연재(120)는 상기 챔버 외벽(171)을 타고 흐르는 펄스 신호에 대하여 상기 챔버 플랜지(101)의 접합면(102)을 절연한다. 이 절연재(120)는 절연필름 형태가 될 수 있으며, 상기 유도형 홈(110)의 안쪽에 설치된다. 이 절연재(120)는 펄스 신호가 상기 유도형 홈내부로 돌아가도록 기능한다.The insulating
또한, 상기 유도형 홈(110)의 바깥쪽에는 통전성을 향상시키기 위한 전도성 가스킷이 삽입 설치된다.In addition, a conductive gasket for enhancing the electrical conductivity is inserted outside the
부연하면, 초고주파 전자기파가 펄스 전송선(150)을 따라 부하(160)를 지나 챔버 외벽(171)을 타고 접지(Ground)로 가는 펄스 전류가 챔버 플랜지(101) 양쪽에 직사각형 단면을 갖도록 원주방향으로 유도형 홈(110)을 파고 맞붙여 놓는다.A very high frequency electromagnetic wave is induced in the circumferential direction along the
유도형 홈(110)의 바깥은 펄스 전류가 도통이 되도록 밀착시키고 추가로 통전성을 향상시키기 위한 전도성 가스킷을 삽입하고 유도형 홈(110)의 안쪽은 펄스 전류가 플랜지를 통과하지 않도록 하기 위해 얇은 절연재를 삽입하여 절연한다.A conductive gasket is inserted outside the
펄스 전류가 챔버 외벽(171)을 타고 흐르면서 유도형 홈(110)을 끼고 돌아가면서 자기장이 발생한다. 이러한 유도형 홈(110)이 인덕터의 역할을 하며 전압강하가 발생한다. 전압강하와 펄스 신호의 전류 사이에는 다음과 같은 관계식이 성립한다.A magnetic field is generated as the pulse current flows along the
여기서, here,
V = 멤돌아가는 펄스 신호의 전압차 V = Voltage difference of the pulse signal passing through the membrane
i = 펄스 전류,i = pulse current,
L = 유도형 홈(110)으로 인한 인덕턴스 성분 =
μ0I = 공기의 유전율,μ 0 I = permittivity of air,
l = 유도형 홈(110)의 길이l = length of
ro , ri = 유도형 홈(110)의 내경(ri)및 외경(ro)r o r i = inner diameter r i and outer diameter r o of induction groove 110,
전압강하에서 펄스 전류를 얻으려면 위 수학식을 적분하면 다음식과 같이 전류를 산출할 수 있다. To obtain the pulse current at the voltage drop, the current can be calculated by the following equation by integrating the above equation.
한편, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 유도 갈래형 초고주파 펄스 신호 전류 측정 장치의 측정 신호를 보여주는 그래프이고, 도 4는 도 3에 도시된 측정 신호를 적분한 선도를 나타내는 그래프이다.FIG. 3 is a graph showing a measurement signal of the device for measuring an indifferent type very high frequency pulse signal according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a graph illustrating the integration of the measurement signal shown in FIG.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 측정된 펄스 신호로부터 전류 정보를 산출할 수 있음을 실험적으로 볼 수 있다. It can be experimentally observed that the current information can be calculated from the measured pulse signal as shown in FIGS. 3 and 4.
전술된 바와 같이, 본 실시 예에 따른 유도 갈래형 초고주파 펄스 전류 측정 장치는 유도형 홈의 형상을 통해 인덕턴스 성분을 조절할 수 있어, 측정하고자 하는 펄스 신호의 주파수에 유연하게 대응할 수 있다.As described above, the inductance-type microwave pulse current measuring apparatus according to the present embodiment can adjust the inductance component through the shape of the induction groove, and can flexibly respond to the frequency of the pulse signal to be measured.
또한, 유도 갈래형 초고주파 펄스 전류 측정 장치의 챔버 외벽에 설치되어 펄스 발생 장치에 대한 간섭을 최소화하며, 안전성을 높이는 구조로 구현할 수 있다. Further, it can be implemented in a structure that is installed on the outer wall of the chamber of the induction-branched microwave pulse current measuring apparatus to minimize the interference to the pulse generating device and to enhance the safety.
1 : 유도형 홈 2 : 전기 절연재
3 : 리드선 4 : 리드선 절연용 구멍
5 : 펄스 전송선 6 : 부하
7 : 외벽 챔버1: Inductive groove 2: Electrical insulating material
3: Lead wire 4: Lead wire insulation hole
5: Pulse transmission line 6: Load
7: outer wall chamber
Claims (7)
상기 챔버 몸통(170)의 챔버 외벽(171)에 형성되며, 상기 펄스 신호를 멤돌아가게 만드는 유도형 홈(110)이 형성되고, 상기 유도형 홈(110)의 하단에 양단간 전기적인 접촉이 일어나지 않도록 절연재(120)가 설치되며, 상기 유도형 홈(110)을 따라 돌아가는 펄스 신호의 전위차를 측정하기 위한 리드선(130)이 설치되고, 상기 리드선(130)과 상기 펄스신호의 전기적인 접촉을 막기 위한 측정용 구멍(140)이 형성되는 챔버 플랜지(101);
를 포함하는 것을 특징으로 하는 유도 갈래형 초고주파 펄스 신호 전류 측정 장치.
A chamber body 170 having a pulse transmission line 150 for transferring a pulse signal to be inputted therein and connected to a load 160 formed on the inner side; And
An induction groove 110 is formed in the chamber outer wall 171 of the chamber body 170 to induce the pulse signal to be turned around and electrical contact is established between the ends of the induction groove 110, A lead wire 130 for measuring a potential difference of a pulse signal traveling along the induction groove 110 is provided and the electrical contact of the pulse signal with the lead wire 130 is blocked A chamber flange 101 on which a measurement hole 140 is formed;
And a second high frequency pulse signal current measuring unit for measuring the current of the second high frequency pulse signal.
상기 유도형 홈(110)은 고리 형상으로서 측정하고자 하는 펄스 신호의 주파수 및 세기에 대응하여 크기가 정해지는 것을 특징으로 하는 유도 갈래형 초고주파 펄스 신호 전류 측정 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the induction groove (110) has a ring shape and is dimensioned to correspond to a frequency and intensity of a pulse signal to be measured.
상기 절연재(120)는 절연필름 형태이며, 펄스 신호가 상기 유도형 홈내부로 돌아가도록 하는 것을 특징으로 하는 유도 갈래형 초고주파 펄스 신호 전류 측정 장치
The method according to claim 1,
Wherein the insulating material (120) is in the form of an insulating film, and a pulse signal is returned to the inside of the induction groove.
상기 유도형 홈(110)은 상기 챔버 플랜지(101)의 원주방향으로 형성되며, 상기 유도형 홈(110)의 형상은 직사각형 단면인 것을 특징으로 하는 유도 갈래형 초고주파 펄스신호 전류 측정장치.
The method according to claim 1,
Wherein the induction groove (110) is formed in a circumferential direction of the chamber flange (101), and the shape of the induction groove (110) is a rectangular cross section.
상기 절연재(120)는 상기 챔버 외벽(171)을 타고 흐르는 펄스 신호에 대하여 상기 챔버 플랜지(101)의 접합면(102)을 절연하는 것을 특징으로 하는 유도 갈래형 초고주파 펄스신호 전류 측정장치.
The method according to claim 1,
Wherein the insulating material (120) insulates the bonding surface (102) of the chamber flange (101) against a pulse signal flowing through the chamber outer wall (171).
상기 유도형 홈(110)의 바깥쪽에는 통전성을 향상시키기 위한 전도성 가스킷이 삽입 설치되고, 상기 유도형 홈(110)의 안쪽에는 펄스 전류가 상기 챔버 플랜지를 통과하지 않도록 상기 절연재(120)가 설치되는 것을 특징으로 하는 유도 갈래형 초고주파 펄스신호 전류 측정장치.
The method according to claim 1,
A conductive gasket is inserted into the induction grooves 110 to improve electrical conductivity. The insulator 120 is installed inside the induction grooves 110 so that a pulse current does not pass through the chamber flanges. Wherein the first and second high-frequency pulse signal current measuring devices are connected to each other.
상기 리드선(130)을 통한 유도형 홈(110) 전후의 펄스신호 전위차는 다음 수학식
The method according to claim 1,
The pulse signal potential difference before and after the induction type groove 110 through the lead wire 130 is expressed by the following equation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117388562A (en) * | 2023-12-11 | 2024-01-12 | 珅斯电子(上海)有限公司 | Variable magneto-inductive current sensor and calibration method thereof |
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2014
- 2014-10-01 KR KR1020140132357A patent/KR101456986B1/en active IP Right Grant
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