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KR101436475B1 - 파티클 방지용 클램프 장치 - Google Patents

파티클 방지용 클램프 장치 Download PDF

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Publication number
KR101436475B1
KR101436475B1 KR1020130050074A KR20130050074A KR101436475B1 KR 101436475 B1 KR101436475 B1 KR 101436475B1 KR 1020130050074 A KR1020130050074 A KR 1020130050074A KR 20130050074 A KR20130050074 A KR 20130050074A KR 101436475 B1 KR101436475 B1 KR 101436475B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
magnet
lever
rotary shaft
pin
frame
Prior art date
Application number
KR1020130050074A
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English (en)
Inventor
박기범
Original Assignee
(주)거성
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by (주)거성 filed Critical (주)거성
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Abstract

파티클 방지용 클램프 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 파티클 방지용 클램프 장치는, LCD용 글라스를 이송용 프레임에 고정시키는데 사용되는 클램프 장치에 있어서, 프레임에 고정되는 프레임고정부; 프레임고정부의 일측에 결합되어 회전축을 형성하는 회전축핀; 일측에 글라스의 단부를 눌러 지지하는 그리퍼가 형성되고, 그리퍼가 글라스를 누르는 방향인 고정방향 및 그 반대방향인 해제방향으로 회전하도록 회전축핀에 결합되는 레버; 레버가 고정방향으로 회전하도록 자기력(磁氣力)이 작용하는 마그넷부; 및 엔지니어링플라스틱으로 이루어져 회전축핀의 적어도 일부를 둘러싸고, 회전축핀이 프레임고정부 또는 레버와 접촉하는 것을 방지하는 부쉬를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 베스펠(VESPEL)과 같은 엔지니어링플라스틱으로 이루어지는 부쉬가 형성되도록 하여 레버가 회전축핀에서 회전됨에 있어서 프레임고정부, 회전축핀 및 레버 간에 금속성 마찰 및 저항이 발생하는 것을 방지하여 마찰에 따른 파티클 발생을 방지하고 수율을 향상시킬 수 있으며, 레버의 회전작동이 원활히 이루어지는 클램프 장치를 제공할 수 있다.

Description

파티클 방지용 클램프 장치{CLAMPING APPARATUS FOR PREVENTING PARTICLE GENERATION}
본 발명은 파티클 방지용 클램프 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, LCD용 글라스를 이송용 프레임에 고정시키는데 있어서 파티클이 발생되지 않도록 하는 클램프 장치에 관한 것이다.
도 1a에는 이송프레임에서 LCD용 글라스가 고정된 상태가 도시되고, 도 1b에는 LCD용 글라스를 고정하는데 사용되는 종래의 클램프 장치가 도시된다.
LCD 기판의 제조 공정 중 많은 공정에서 글라스(1)는 이송프레임(2)에 고정된 상태로 이송된다. 예를 들어, 글라스(1) 상에 금속박막을 증착시키는 스퍼터링공정에서, 글라스(1)가 이송프레임(2)에 고정되고, 특히 기립한 상태에서 스퍼터링챔버로 유입된다.
도 1a 에 나타난 바와 같이, 이송프레임(2)은 글라스(1)가 고정되도록 중앙이 비어있고 외곽에 지지프레임으로 형성된 부재로서 외곽의 지지프레임의 곳곳에 설치된 클램프 장치(3)를 이용하여 글라스(1)를 이송프레임(2)에 고정시킨다.
종래의 클램프 장치(3)는 이송프레임(2)에 고정되는 평판(4), 외력에 의해 회전하는 레버(5), 및 레버에 탄성을 가하도록 연결된 비틀림 스프링(6)을 포함한다. 비틀림 스프링(6)은 레버(5)가 평판을 중심으로 일정각도 회전함에 따라 회전방향과 반대방향으로 탄성력을 가하게 되고 그 탄성력에 의해 글라스(1)를 이송프레임(2)에 고정시킨다. 즉 비틀림의 탄성력에 의해 레버가 글라스(1)에 대해 압착력을 가할 수 있게 한다.
그러나 도 1b에 도시된 형태의 클램프 장치(3)를 사용할 경우, 비틀림 스프링(6)의 작동시 발생되는 마찰 및 저항에 따라 마찰면에서 파티클(금속분말)이 쉽게 발생되고, 이러한 파티클은 LCD 제조시 수율을 현저히 떨어뜨리는 문제점으로 작용하게 된다. 또한, 발생된 파티클이 외부로 쉽게 노출될 수 있도록 이루어져 LCD의 불량률을 더욱 높이게 되는 문제점을 갖는다.
이러한 문제점을 해소하기 위하여, 본 출원인에 의하여 출원되어 등록된 한국등록특허 제10-1117583호는 "LCD용 글래스를 이송프레임에 고정하는 마그네틱 클램프 장치"를 개시하며, 구체적으로 이송프레임에 나란하게 고정된 평판형상의 부재로서, 평판의 중앙에 형성된 중공; 중공을 가로질러 형성된 중공회전축; 및 평판의 하부면으로부터 하부방향으로 돌출된 링크스토퍼를 포함하는 프레임연결베이스; L자형상의 부재로서, L자형상의 수직부분인 수직부의 상부 말단에는 글래스를 움켜쥐도록 돌출된 형상의 그리퍼를 포함하고, 수직부는 중공회전축을 중심으로 프레임연결베이스에 수직방향으로 회전가능하도록 연결된 회전막대부; 회전막대부의 회전운동을 왕복운동으로 변환하는 막대형상의 부재로서, 일단이 회전막대부와 힌지연결되고, 다른 일단이 링크스토퍼에 형성된 링크관통공을 관통하는 마그네틱링크부; 및 자성을 가지는 블록형상의 부재로서, 링크스토퍼의 링크관통공에 대향하는 수평위치에, 프레임연결베이스에서 하부방향으로 돌출형성된 고정마그네틱블록을 포함하고, 마그네틱링크부는 전단부에 자성을 가지는 블록형상의 부재인 이동마그네틱블록을 포함하도록 하고 있다.
한국등록특허 제10-1117583호에서 개시되는 클램프 장치에 의하면, 종래의 비틀림 스프링을 배제하고 자석을 이용하여 작동이 이루어지도록 하여 비틀림 스프링의 마찰에 의한 파티클 형성을 억제할 수 있는 효과가 있다. 다만, 회전막대부의 회전시 여러 부분에서 금속 간의 충돌 및 마찰이 발생하고 이에 따른 파티클 형성이 여전히 이루어지는 문제점이 있었으며, 따라서 이에 대한 개선이 요구된다.
(0001) 대한민국등록특허 제10-1117583호(공고일: 2012.02.24)
본 발명의 목적은, LCD용 글라스를 이송용 프레임에 고정함에 있어서 클램프 장치의 부드러운 작동을 보장하고 파티클 형성을 최소화할 수 있으며 작동에 따른 충격을 완화할 수 있는 파티클 방지용 클램프 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적은, LCD용 글라스를 이송용 프레임에 고정시키는데 사용되는 클램프 장치에 있어서, 상기 프레임에 고정되는 프레임고정부; 상기 프레임고정부의 일측에 결합되어 회전축을 형성하는 회전축핀; 일측에 상기 글라스의 단부를 눌러 지지하는 그리퍼가 형성되고, 상기 그리퍼가 상기 글라스를 누르는 방향인 고정방향 및 그 반대방향인 해제방향으로 회전하도록 상기 회전축핀에 결합되는 레버; 상기 레버가 고정방향으로 회전하도록 자기력(磁氣力)이 작용하는 마그넷부; 및 엔지니어링플라스틱으로 이루어져 상기 회전축핀의 적어도 일부를 둘러싸고, 상기 회전축핀이 상기 프레임고정부 또는 상기 레버와 접촉하는 것을 방지하는 부쉬를 포함하는 것을 특징으로 하는 파티클 방지용 클램프 장치에 의해 달성된다.
여기서, 상기 부쉬는, 상기 프레임고정부와 상기 회전축핀 사이에 개재되는 바디부쉬; 및 상기 회전축핀과 상기 레버 사이에 개재되는 힌지부쉬로 구분되어 이루어질 수 있다.
그리고 상기 레버에는 상기 회전축핀이 삽입되는 제1 핀삽입부가 형성되고, 상기 힌지부쉬는 한쌍으로 구비되어 상기 제1 핀삽입부 양쪽 단부에 밀착되도록 이루어질 수 있다.
또한 상기 프레임고정부에는 상기 회전축핀이 삽입되는 제2 핀삽입부가 형성되고, 상기 제2 핀삽입부는 2 부분으로 구분되어 상기 제1 핀삽입부 양쪽에 위치하며, 상기 힌지부쉬의 바깥쪽 단부는 상기 제2 핀삽입부에 밀착되도록 이루어질 수 있다.
한편, 상기 프레임고정부에는 상기 회전축핀이 삽입되는 제2 핀삽입부가 형성되고, 상기 제2 핀삽입부의 내경은 상기 회전축핀의 외경보다 크게 이루어질 수 있다.
또한 본 발명에 따른 파티클 방지용 클램프 장치에서 상기 마그넷부는, 상기 프레임고정부에 고정되고 자기력을 발생시키는 마그넷; 및 상기 레버에 고정되고, 상기 레버가 고정방향으로 회전하도록 상기 마그넷과의 사이에 인력(引力)이 작용하는 마그넷플레이트로 이루어질 수 있다.
여기서, 상기 프레임고정부는, 상부면이 편평하게 이루어져 상기 프레임의 저면에 밀착되는 클램프바디; 및 상기 클램프바디의 저면에 고정되고 상기 마그넷플레이트를 지지하는 마그넷커버로 구분되어 이루어질 수 있다.
나아가 상기 레버가 고정방향으로 완전히 회전했을 때 상기 마그넷플레이트는 상기 마그넷 아래에 위치하고, 상기 마그넷 상측에는 상기 마그넷과의 사이에 인력(引力)이 작용하는 갭플레이트가 밀착되도록 이루어질 수 있다.
또한 본 발명에 따른 파티클 방지용 클램프 장치에서, 상기 마그넷플레이트에는 제1 스토퍼가 형성되고, 상기 레버가 고정방향으로 회전할 때 상기 제1 스토퍼가 상기 프레임고정부 또는 상기 마그넷의 일측에 밀착되어 상기 마그넷플레이트가 상기 프레임고정부 또는 상기 마그넷에 직접 밀착되는 것을 저지하며, 상기 제1 스토퍼는 엔지니어링플라스틱으로 이루어질 수 있다.
여기서 상기 마그넷플레이트에는 상기 마그넷을 향하고 편평하게 이루어지는 작용면이 형성되고, 상기 제1 스토퍼는 상기 작용면에서 적어도 일부가 돌출되도록 이루어질 수 있다.
나아가 상기 제1 스토퍼는 원통형으로 이루어지고, 상기 마그넷플레이트의 단부 양측에는 상기 제1 스토퍼가 수용되는 결합홈이 형성되며, 상기 결합홈에 수용된 상기 제1 스토퍼를 관통하여 상기 마그넷플레이트에 체결하는 체결볼트가 구비될 수 있다.
한편 본 발명에 따른 파티클 방지용 클램프 장치에서, 상기 프레임고정부에는 상기 레버가 고정방향으로 회전할 때 상기 레버의 일측에 밀착되는 제2 스토퍼가 형성되어 상기 마그넷플레이트가 상기 프레임고정부 또는 상기 마그넷에 직접 밀착되는 것을 저지하고, 상기 제2 스토퍼는 엔지니어링플라스틱으로 이루어질 수 있다.
여기서 상기 레버는, 상기 회전축핀이 삽입되는 제1 핀삽입부; 상기 제1 핀삽입부에서 직교하는 방향으로 절곡형성되고 상측에 상기 그리퍼가 형성되는 그리퍼고정부; 및 상기 그리퍼고정부 하단에서 상기 제1 핀삽입부 반대방향으로 절곡형성되는 가압부로 구분되고, 상기 레버가 고정방향으로 완전히 회전했을 때 상기 제1 핀삽입부의 상부면이 상기 제2 스토퍼에 밀착되도록 이루어질 수 있다.
본 발명에 의하면, PEEK, VESPEL과 같은 엔지니어링플라스틱으로 이루어지는 부쉬가 형성되도록 하여 레버가 회전축핀에서 회전됨에 있어서 프레임고정부, 회전축핀 및 레버 간에 금속성 마찰 및 저항이 발생하는 것을 방지하여 마찰에 따른 파티클 발생을 방지하고 수율을 향상시킬 수 있으며, 레버의 회전작동이 원활히 이루어지는 클램프 장치를 제공할 수 있다.
또한, 부쉬를 바디부쉬 및 힌지부쉬로 구분되도록 하고 한쌍의 힌지부쉬가 제1 핀삽입부의 양쪽 단부에 밀착되도록 하여, 레버의 회전에 따라 제1 핀삽입부 내부에서 회전축핀의 상대적인 회전이 이루어져 양자간의 마찰이 발생되는 경우에도 형성되는 파티클의 외부로의 배출을 방지할 수 있다.
또한, 마그넷플레이트가 마그넷과 근접한 위치에서 이동하도록 하여 양자간의 자기력(인력)을 확보하고, 마그넷플레이트 반대쪽에서 마그넷과 밀착되고 강자성체(强磁性體)로 이루어지는 갭플레이트가 구비되도록 하여 마그넷의 자기력을 강화할 수 있다.
또한, 레버가 고정방향으로 완전히 회전했을 때 제1 스토퍼가 프레임고정부 또는 마그넷과 밀착되도록 하거나 레버가 제2 스토퍼와 밀착되도록 하여, 마그넷플레이트가 마그넷에 의해 당겨지면서 레버가 회전할 때 발생되는 금속 간의 충격을 완화할 뿐 아니라 금속 간의 충격에 의해 발생될 수 있는 파티클 형성을 억제할 수 있다.
도 1a 및 도 1b는 LCD용 글라스를 고정하는 종래의 클램프 장치를 도시한 도면,
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 파티클 방지용 클램프 장치를 도시한 사시도,
도 3은 도 2a에 도시된 파티클 방지용 클램프 장치를 도시한 측면도,
도 4는 도 2a에 도시된 파티클 방지용 클램프 장치를 도시한 정단면도,
도 5는 도 2a에 도시된 파티클 방지용 클램프 장치를 도시한 분해사시도,
도 6a 및 도 6b는 도 2a에 도시된 파티클 방지용 클램프 장치의 작동상태를 도시한 측단면도,
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 파티클 방지용 클램프 장치를 도사한 측단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세하게 설명하면 다음과 같다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 파티클 방지용 클램프 장치(1)를 도시한 사시도이고, 도 3은 도 2a에 도시된 파티클 방지용 클램프 장치(1)를 도시한 측면도이며, 도 4는 도 2a에 도시된 파티클 방지용 클램프 장치(1)를 도시한 정단면도이다.
본 발명에 따른 파티클 방지용 클램프 장치(1)는, LCD를 제조함에 있어서 LCD용 글라스를 고정하거나 이송하는데 사용되는 프레임에 결합되어 사용되며, 프레임 상에 LCD용 글라스가 고정되도록 한다. 프레임은 대체로 사각형 틀과 같은 형태로 이루어질 수 있고, 다수의 파티클 방지용 클램프 장치(1)가 프레임을 따라 고정되어 프레임 내부에 안착된 글라스를 고정시키도록 이루어진다.
이를 위하여 파티클 방지용 클램프 장치(1)는, 프레임고정부(10), 회전축핀(20), 레버(30), 마그넷부(40) 및 부쉬(50)를 포함하여 이루어진다.
본 발명에 따른 파티클 방지용 클램프 장치(1)는 프레임에 고정되어 사용되는 것으로서, 프레임을 누이거나 세우는 등, 프레임의 위치 및 방향에 따라 다양한 방향을 향할 수 있는 것이나, 설명의 편의를 위하여 본 발명에서는 도 2에 도시된 파티클 방지용 클램프 장치(1)를 기준으로 위쪽과 아래쪽을 정하여 설명하도록 한다.
프레임고정부(10)는 프레임에 고정되는 부분이며, 전체적으로 일체로 이루어질 수 있으나, 후술하는 바와 같이 마그넷(41)의 용이한 고정을 위하여 클램프바디(11)와 마그넷커버(12)로 구분되어 이루어지는 것이 바람직하다.
클램프바디(11)는 상부면이 편평하게 이루어져 프레임의 저면에 밀착되며, 프레임에 직접 고정되는 부분이다. 클램프바디(11)의 고정을 위하여 클램프바디(11)의 일측에는 2 이상의 관통공(11a)이 형성되고, 이러한 관통공(11a)에 바디고정수단(볼트, 리벳 등)을 삽입 후 프레임에 체결하여 클램프바디(11)를 프레임에 체결할 수 있다.
본 발명에 따른 파티클 방지용 클램프 장치(1)에서, 프레임고정부(10)에는 제2 핀삽입부(13)가 형성되는데, 특히 이러한 제2 핀삽입부(13)는 클램프바디(11)에 일체로 형성된다. 제2 핀삽입부(13)는 레버(30)를 향하는 쪽에서 클램프바디(11) 양쪽 단부에 형성되고, 내부가 관통되어 회전축핀(20)이 삽입될 수 있도록 이루어진다.
클램프바디(11)는 금속성으로 이루어지고, 특히 스테인리스스틸(stainless steel)인 STS304로 이루어져 마그넷(41)의 자기력이 작용하지 않도록 이루어지는 것이 바람직하다.
마그넷커버(12)는 클램프바디(11) 저면에 결합되고, 커버체결수단(볼트, 리벳 등)을 이용하여 마그넷커버(12)를 클램프바디(11)에 고정시킬 수 있다. 클램프바디(11)에 마그넷커버(12)가 결합된 상태에서 양자 사이에는 수용공간이 형성되고, 이러한 수용공간에 후술하는 마그넷(41) 및 갭플레이트(80)가 수용되어 지지된다.
마그넷커버(12) 또한 클램프바디(11)와 같이 STS304로 이루어지는 것이 바람직하다.
회전축핀(20)은 대체로 원형 봉 형태로 형성되어 프레임고정부(10)에 결합되며, 특히 제2 핀삽입부(13)에 삽입되어 클램프바디(11)에 결합된다.
레버(30)는 회전축핀(20)을 매개로 하여 프레임고정부(10)와 힌지결합할 수 있도록 이루어지며, 제1 핀삽입부(32), 그리퍼고정부(33) 및 가압부(34)로 구분되어 이루어진다. 제1 핀삽입부(32), 그리퍼고정부(33) 및 가압부(34)는 일체로 이루어지는 것이 바람직하다.
제1 핀삽입부(32)는 프레임고정부(10) 쪽으로 돌출된 형태로 이루어지고 제2 핀삽입부(13) 사이에 위치한다. 제1 핀삽입부(32)는 내부가 관통되어 회전축핀(20)이 삽입될 수 있도록 이루어지고, 회전축핀(20)이 제2 핀삽입부(13)와 제1 핀삽입부(32)를 관통하여 체결됨으로써 레버(30)는 프레임고정부(10)와 힌지결합하게 된다.
그리퍼고정부(33)는 제1 핀삽입부(32)에서 상측으로 절곡형성되고, 상측에 그리퍼(31)가 형성된다. 그리퍼(31)는 글라스를 눌러 고정시키는 부분으로서, 그리퍼고정부(33)와 일체로 형성될 수도 있으나, 그리퍼(31)의 용이한 위치조정을 위하여 그리퍼고정부(33)와 분리형성된 후 그리퍼고정부(33)에 별도의 고정수단을 이용하여 고정되도록 이루어지는 것이 바람직하다.
가압부(34)는 그리퍼고정부(33) 하단에서 제1 핀삽입부(32) 반대방향으로 절곡형성되며 대체로 편평한 판 형태로 이루어진다. 가압부(34)는 외력을 이용하여 누를 수 있도록 이루어지는 부분이며, 예컨대 가압부(34)의 저면을 위쪽으로 가압하는 경우, 레버(30)는 회전축핀(20)을 기준으로 회전하게 된다.
도 3에 도시된 바와 같이, 레버(30)가 반시계방향으로 회전하는 경우 레버(30)의 단부에 형성된 그리퍼(31)는 글라스의 모서리 부분을 눌러 구속하며, 이에 따라 글라스가 프레임에 고정되게 된다. 이러한 레버(30)의 회전방향을 '고정방향(A)'으로 정한다.
반대로, 레버(30)가 시계방향으로 회전하는 경우 레버(30)는 글라스를 구속하지 않으며 글라스를 프레임에서 분리할 수 있게 된다. 이러한 레버(30)의 회전방향을 '해제방향(B)'으로 정한다.
레버(30)는 프레임고정부(10)와 같이 STS304로 이루어지는 것이 바람직하며, 이에 따라 내마모성이 우수한 레버(30)를 형성하면서 마그넷(41)에 의한 자기력이 작용하지 않도록 이루어진다.
마그넷부(40)는 레버(30)가 고정방향(A)으로 회전하도록 자기력(磁氣力)이 작용하도록 하며, 이를 위하여 마그넷부(40)는 마그넷(41)과 마그넷플레이트(42)로 이루어진다. 마그넷(41)과 마그넷플레이트(42)는, 어느 하나가 프레임고정부(10)에 고정되는 경우 다른 하나는 레버(30)에 고정되어, 레버(30)가 고정방향(A)으로 회전하는 힘을 받도록 작용한다.
마그넷(41)은 통상의 자석으로 이루어질 수 있으며, LCD용 글라스가 수용되는 챔버 내부에서도 고온에 의한 자력 감쇄를 보완할 수 있도록 사마리움코발트 계열의 자석으로 이루어지는 것이 바람직하다. 마그넷(41)은 사각블록 형태로 이루어져 프레임고정부(10)에 고정되고, 특히 마그넷커버(12)에 의해 지지되어 클램프바디(11)와 마그넷커버(12) 사이에 위치한다.
마그넷(41)의 위쪽에는 갭플레이트(80)가 밀착되며, 갭플레이트(80)는 마그넷(41)과 인력(引力)이 작용하도록 이루어진다. 마그넷(41) 위쪽에서 갭플레이트(80)를 둠으로써 자력을 강화할 수 있으며, 마그넷플레이트(42)와의 사이에 작용하는 자기력이 충분히 발휘될 수 있도록 할 수 있다. 이를 위하여 갭플레이트(80)는 냉간압연강재인 SPCC (steel plate cold commercia)에 니켈도금되는 것이 바람직하다.
또한, 마그넷(41) 위쪽에 갭플레이트(80)가 위치하도록 함으로써 프레임고정부(10) 위쪽에서 마그넷(41)으로 전달되는 열을 차단할 수 있으며, 이에 의하여 LCD 제조시 챔버 내부에서 고온에 따른 마그넷(41)의 자기력 감소를 완화시킬 수 있게 된다.
마그넷플레이트(42)는 레버(30)에 고정되어 마그넷(41)과의 사이에 인력(引力)이 작용하도록 이루어지며, 이에 따라 레버(30)가 고정방향(A)으로 회전하도록 한다. 마그넷플레이트(42)는 대체로 편평한 판 형태로 이루어지고, 소재는 STS420으로 이루어지는 것이 바람직하다.
마그넷플레이트(42)는 레버(30)의 저면에 결합되며, 특히 제1 핀삽입부(32) 아래쪽에서 가압부(34) 반대쪽으로 뻗는 형태로 이루어진다. 레버(30)가 고정방향(A)으로 완전히 회전된 상태에서 마그넷플레이트(42)는 마그넷(41)의 아래쪽에 위치하고 마그넷(41)과 마그넷플레이트(42)는 서로 평행한 상태가 된다. 마그넷플레이트(42)의 위쪽 면(마그넷(41)을 향하는 쪽의 면)을 작용면(42a)으로 칭하도록 한다.
본 발명에 따른 파티클 방지용 클램프 장치(1)에서 마그넷플레이트(42)는, 레버(30)에 결합되는 쪽에 비하여 마그넷(41)의 저면에 위치하는 쪽 부분이 더 넓게 형성된다.(도 2(b) 참조) 즉, 마그넷플레이트(42)에서 후술할 제1 스토퍼(60)가 결합되는 쪽 부분이 더 넓게 형성되며, 마그넷(41)과의 사이에 보다 강한 자기력이 작용할 수 있도록 이루어진다.
마그넷플레이트(42)는 통상의 고정수단(볼트, 리벳 등)을 이용하여 레버(30)에 결합될 수 있다.
별도의 외력이 가해지지 않는 경우 서로 끌어당기는 인력이 작용하는 마그넷(41)과 마그넷플레이트(42)는 서로 근접하거나 밀착된 상태가 유지되고, 가압부(34) 저면을 위쪽으로 가압하는 외력이 작용하는 경우 레버(30)는 해제방향(B)으로 회전하면서 마그넷(41)과 마그넷플레이트(42)는 서로 멀어지게 된다. 다만, 레버(30)의 해제방향(B)으로의 회전은, 마그넷(41)과 마그넷플레이트(42) 사이에 인력(引力)이 작용하는 범위 내에서 이루어지는 것이며, 레버(30)가 해제방향(B)으로 완전히 회전한 경우에도 외력이 제거되면 마그넷(41)이 마그넷플레이트(42)를 당겨 레버(30)가 고정방향(A)으로 회전할 수 있도록 이루어진다. 이를 위하여, 레버(30)의 회전은 약 22°이내의 범위에서 이루어지는 것이 바람직하다.
부쉬(50)는 내열성, 내화학성이 우수할 뿐 아니라 윤활성의 특성을 갖는 엔지니어링 플라스틱(engineering plastics)으로 이루어지는 것이 바람직하며, 이에 의하여 레버(30)가 프레임고정부(10)를 기준으로 회전할 때 금속 간의 마찰을 방지하여 레버(30)의 회전이 원활히 이루어지도록 함은 물론, 마모에 따른 파티클(particle) 형성을 억제하여 LCD의 제조공정에서 수율을 높일 수 있도록 한다.
부쉬(50)는 회전축핀(20)의 적어도 일부를 둘러쌀 수 있도록 원통형으로 이루어져 회전축핀(20)에 끼워지며, 회전축핀(20)이 프레임고정부(10) 또는 레버(30)와 접촉하는 것을 방지한다. 즉, 회전축핀(20)이 프레임고정부(10)와 일체로 이루어진 경우 부쉬(50)는 회전축핀(20)과 레버(30)의 접촉을 방지하게 되고, 회전축핀(20)이 레버(30)와 일체로 이루어진 경우 부쉬(50)는 회전축핀(20)과 프레임고정부(10)의 접촉을 방지하게 된다.
아울러, 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 회전축핀(20), 프레임고정부(10) 및 레버(30)가 모두 별개로 이루어져 조립되는 경우에는, 부쉬(50)는 회전축핀(20)과 프레임고정부(10) 간의 접촉을 방지함은 물론, 회전축핀(20)과 레버(30) 간의 접촉을 방지하도록 이루어진다.
본 발명에 따른 파티클 방지용 클램프 장치(1)에서, 부쉬(50)는 바디부쉬(51)와 힌지부쉬(52)로 구분되어 이루어진다.
바디부쉬(51)는 프레임고정부(10)와 회전축핀(20) 사이에 개재되도록 이루어지고, 한쌍으로 구비되어 회전축핀(20)의 양쪽 단부쪽에 치우쳐 끼워진다. 그리고 이때, 바디부쉬(51)는 제2 핀삽입부(13)의 바깥쪽 단부에 위치한다.
바디부쉬(51)가 결합되는 지점에서 제2 핀삽입부(13)의 내경은 회전축핀(20)의 외경보다 크게 이루어지며, 이에 따라 제2 핀삽입부(13)와 회전축핀(20)의 접촉이 없도록 이루어진다.
힌지부쉬(52)는 한쌍으로 구비되어 제1 핀삽입부(32) 양쪽 단부에 밀착되도록 회전축핀(20)에 끼워지고, 회전축핀(20)과 레버(30)가 조립된 상태에서 회전축핀(20)과 레버(30) 사이에 개재된다. 즉, 힌지부쉬(52)는 제1 핀삽입부(32) 내부에서 회전축핀(20)이 원활히 회전하도록 지지함은 물론, 제1 핀삽입부(32) 내부에서 회전축핀(20)과의 마찰로 인하여 파티클이 형성되는 경우에도 외부로 노출되는 경로를 밀폐시켜 파티클이 LCD용 글라스로 접근하는 것을 차단한다.
다만, 회전축핀(20)의 외경은 제1 핀삽입부(32)의 내경보다 약간 작게 이루어져 양자간의 마찰이 발생되지 않도록 이루어지는 것이 더욱 바람직하다.
힌지부쉬(52)가 회전축핀(20)에 끼워진 상태에서, 힌지부쉬(52)의 바깥쪽 단부는 제2 핀삽입부(13)에 밀착되며, 이에 따라 제1 핀삽입부(32)와 제2 핀삽입부(13) 간의 간격이 일정하게 유지되고, 아울러 힌지부쉬(52)가 제2 핀삽입부(13)와 회전축핀(20) 간의 원활한 회전을 돕는다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 파티클 방지용 클램프 장치(1)에서는, 부쉬(50)를 바디부쉬(51) 및 힌지부쉬(52)로 구분되도록 하고 한쌍의 힌지부쉬(52)가 제1 핀삽입부(32)의 양쪽 단부에 밀착되도록 하여, 레버(30)의 회전에 따라 제1 핀삽입부(32) 내부에서 회전축핀(20)의 상대적인 회전이 이루어져 양자간의 마찰이 발생되는 경우에도 형성되는 파티클의 외부로의 배출을 방지할 수 있게 된다.
도 5는 도 2a에 도시된 파티클 방지용 클램프 장치(1)를 도시한 분해사시도이고, 도 6a 및 도 6b는 도 2a에 도시된 파티클 방지용 클램프 장치(1)의 작동상태를 도시한 측단면도이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 파티클 방지용 클램프 장치(1)에서, 마그넷플레이트(42)에는 제1 스토퍼(60)가 형성되고 제1 스토퍼(60)는 마그넷플레이트(42)가 프레임고정부(10) 또는 마그넷(41)에 직접 밀착되는 것을 저지한다. 즉, 제1 스토퍼(60)는 레버(30)가 고정방향(A)으로 회전할 때 금속간의 충돌을 방지하여 파티클 형성을 억제할 수 있도록 이루어진다.
제1 스토퍼(60)는 PEEK(Polyetheretherketone) 또는 VESPEL과 같은 엔지니어링 플라스틱으로 이루어지고, 원통형으로 형성되어 마그넷플레이트(42)의 단부에 결합된다. 제1 스토퍼(60)는 한 쌍으로 구비되어 마그넷플레이트(42)의 양쪽에서 대칭된 형태로 결합되는 것이 바람직하다. 이때, 마그넷플레이트(42)에는 제1 스토퍼(60)의 결합을 위한 결합홈(42b)이 형성되고, 제1 스토퍼(60)가 결합홈(42b)에 놓인 상태에서 체결볼트(43)가 제1 스토퍼(60)를 관통하여 마그넷플레이트(42)에 체결됨으로써 제1 스토퍼(60)는 마그넷플레이트(42)의 양쪽 단부에 결합된다.
제1 스토퍼(60)는 마그넷플레이트(42)에서 결합됨에 있어서, 작용면(42a)에서 위쪽으로 일부가 돌출된 형태로 형성되며, 이에 의하여 레버(30)가 고정방향(A)으로 완전히 회전한 경우 마그넷플레이트(42)의 작용면(42a)이 프레임고정부(10)의 마그넷(41) 커버 저면에 닿는 것이 아니고 마그넷플레이트(42)의 작용면(42a)과 마그넷(41) 커버의 저면 사이에는 약간의 간극이 형성되고 제1 스토퍼(60)가 마그넷(41) 커버에 닿게 된다.
마그넷(41) 커버가 마그넷(41)을 완전히 차폐하는 형태가 아닌 경우에는, 제1 스토퍼(60)는 마그넷(41)에 닿아 마그넷플레이트(42)의 작용면(42a)이 마그넷(41)에 닿는 것을 방지하도록 이루어질 수 있다.
파티클 방지용 클램프 장치(1)의 반복적인 사용으로, 제1 스토퍼(60)의 손상 내지는 마모가 발생하여 마그넷플레이트(42)의 작용면(42a)이 클램프바디(11)의 저면에 닿게 되는 경우에는, 체결볼트(43)를 풀어 제1 스토퍼(60)를 용이하게 교체할 수 있다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 파티클 방지용 클램프 장치(1)를 도사한 측단면도이다.
본 발명에 따른 파티클 방지용 클램프 장치(1)는, 상술한 제1 스토퍼(60)와 별개인 제2 스토퍼(70)가 형성되어 금속 간의 충돌을 방지할 수 있도록 이루어질 수 있다.
제2 스토퍼(70)는 VESPEL과 같은 엔지니어링플라스틱으로 이루어지고, 납작한 판형태로 이루어질 수 있다. 그리고 제2 스토퍼(70)는 제2 핀삽입부(13)에 인접하여 클램프바디(11)의 저면에 밀착고정되며, 레버(30)가 고정방향(A)으로 완전히 회전시 제1 핀삽입부(32)의 상부면이 제2 스토퍼(70)의 저면에 밀착되도록 이루어진다.
그리고 이때 마그넷플레이트(42)는 프레임고정부(10) 또는 마그넷(41)에 직접 밀착되지 않는다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 파티클 방지용 클램프 장치(1)에서는, 레버(30)가 고정방향(A)으로 완전히 회전했을 때 제1 스토퍼(60)가 프레임고정부(10) 또는 마그넷(41)과 밀착되도록 하거나 레버(30)가 제2 스토퍼(70)와 밀착되도록 하여, 마그넷플레이트(42)가 마그넷(41)에 의해 당겨지면서 레버(30)가 회전할 때 발생되는 금속 간의 충격을 완화할 뿐 아니라 금속 간의 충격에 의해 발생될 수 있는 파티클 형성을 억제할 수 있게 된다.
앞에서, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 일이다. 따라서, 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 기술적 사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안되며, 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
1 : 파티클 방지용 클램프 장치 10 : 프레임고정부
11 : 클램프바디 12 : 마그넷커버
13 : 제2 핀삽입부
20 : 회전축핀 30 : 레버
31 : 그리퍼 32 : 제1 핀삽입부
33 : 그리퍼고정부 34 : 가압부
40 : 마그넷부 41 : 마그넷
42 : 마그넷플레이트 42a : 작용면
42b : 결합홈 43 : 체결볼트
50 : 부쉬 51 : 바디부쉬
52 : 힌지부쉬 60 : 제1 스토퍼
70 : 제2 스토퍼 80 : 갭플레이트

Claims (13)

  1. LCD용 글라스를 이송용 프레임에 고정시키는데 사용되는 클램프 장치에 있어서,
    상기 프레임에 고정되는 프레임고정부;
    상기 프레임고정부의 일측에 결합되어 회전축을 형성하는 회전축핀;
    일측에 상기 글라스의 단부를 눌러 지지하는 그리퍼가 형성되고, 상기 그리퍼가 상기 글라스를 누르는 방향인 고정방향 및 그 반대방향인 해제방향으로 회전하도록 상기 회전축핀에 결합되는 레버;
    상기 레버가 고정방향으로 회전하도록 자기력(磁氣力)이 작용하는 마그넷부; 및
    엔지니어링플라스틱으로 이루어져 상기 회전축핀의 적어도 일부를 둘러싸고, 상기 회전축핀이 상기 프레임고정부 또는 상기 레버와 접촉하는 것을 방지하는 부쉬를 포함하고,
    상기 마그넷부는,
    상기 프레임고정부에 고정되고 자기력을 발생시키는 마그넷; 및
    상기 레버에 고정되고, 상기 레버가 고정방향으로 회전하도록 상기 마그넷과의 사이에 인력(引力)이 작용하는 마그넷플레이트로 이루어지며,
    상기 프레임고정부는,
    상부면이 편평하게 이루어져 상기 프레임의 저면에 밀착되는 클램프바디; 및
    상기 클램프바디의 저면에 고정되고 상기 마그넷플레이트를 지지하는 마그넷커버로 구분되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 파티클 방지용 클램프 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 부쉬는,
    상기 프레임고정부와 상기 회전축핀 사이에 개재되는 바디부쉬; 및
    상기 회전축핀과 상기 레버 사이에 개재되는 힌지부쉬로 구분되는 것을 특징으로 하는 파티클 방지용 클램프 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 레버에는 상기 회전축핀이 삽입되는 제1 핀삽입부가 형성되고,
    상기 힌지부쉬는 한쌍으로 구비되어 상기 제1 핀삽입부 양쪽 단부에 밀착되는 것을 특징으로 하는 파티클 방지용 클램프 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 프레임고정부에는 상기 회전축핀이 삽입되는 제2 핀삽입부가 형성되고,
    상기 제2 핀삽입부는 2 부분으로 구분되어 상기 제1 핀삽입부 양쪽에 위치하며,
    상기 힌지부쉬의 바깥쪽 단부는 상기 제2 핀삽입부에 밀착되는 것을 특징으로 하는 파티클 방지용 클램프 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 프레임고정부에는 상기 회전축핀이 삽입되는 제2 핀삽입부가 형성되고,
    상기 제2 핀삽입부의 내경은 상기 회전축핀의 외경보다 크게 이루어지는 것을 특징으로 하는 파티클 방지용 클램프 장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 레버가 고정방향으로 완전히 회전했을 때 상기 마그넷플레이트는 상기 마그넷 아래에 위치하고,
    상기 마그넷 상측에는 상기 마그넷과의 사이에 인력(引力)이 작용하는 갭플레이트가 밀착되는 것을 특징으로 하는 파티클 방지용 클램프 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 마그넷플레이트에는 제1 스토퍼가 형성되고,
    상기 레버가 고정방향으로 회전할 때 상기 제1 스토퍼가 상기 프레임고정부 또는 상기 마그넷의 일측에 밀착되어 상기 마그넷플레이트가 상기 프레임고정부 또는 상기 마그넷에 직접 밀착되는 것을 저지하며,
    상기 제1 스토퍼는 엔지니어링플라스틱으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 파티클 방지용 클램프 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 마그넷플레이트에는 상기 마그넷을 향하여 편평하게 이루어지는 작용면이 형성되고,
    상기 제1 스토퍼는 상기 작용면에서 적어도 일부가 돌출되는 것을 특징으로 하는 파티클 방지용 클램프 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제1 스토퍼는 원통형으로 이루어지고,
    상기 마그넷플레이트의 단부 양측에는 상기 제1 스토퍼가 수용되는 결합홈이 형성되며,
    상기 결합홈에 수용된 상기 제1 스토퍼를 관통하여 상기 마그넷플레이트에 체결하는 체결볼트가 구비되는 것을 특징으로 하는 파티클 방지용 클램프 장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 프레임고정부에는 상기 레버가 고정방향으로 회전할 때 상기 레버의 일측에 밀착되는 제2 스토퍼가 형성되어 상기 마그넷플레이트가 상기 프레임고정부 또는 상기 마그넷에 직접 밀착되는 것을 저지하고,
    상기 제2 스토퍼는 엔지니어링플라스틱으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 파티클 방지용 클램프 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 레버는,
    상기 회전축핀이 삽입되는 제1 핀삽입부;
    상기 제1 핀삽입부에서 직교하는 방향으로 절곡형성되고 상측에 상기 그리퍼가 형성되는 그리퍼고정부; 및
    상기 그리퍼고정부 하단에서 상기 제1 핀삽입부 반대방향으로 절곡형성되는 가압부로 구분되고,
    상기 레버가 고정방향으로 완전히 회전했을 때 상기 제1 핀삽입부의 상부면이 상기 제2 스토퍼에 밀착되는 것을 특징으로 하는 파티클 방지용 클램프 장치.
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