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KR101382111B1 - Sample stage for scanning electron microscope of movable prove and scanning electron microscope of the same - Google Patents

Sample stage for scanning electron microscope of movable prove and scanning electron microscope of the same Download PDF

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Publication number
KR101382111B1
KR101382111B1 KR1020120067294A KR20120067294A KR101382111B1 KR 101382111 B1 KR101382111 B1 KR 101382111B1 KR 1020120067294 A KR1020120067294 A KR 1020120067294A KR 20120067294 A KR20120067294 A KR 20120067294A KR 101382111 B1 KR101382111 B1 KR 101382111B1
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KR
South Korea
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sample
probe
electron microscope
scanning electron
adjusting
Prior art date
Application number
KR1020120067294A
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Korean (ko)
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강치중
최영진
유은지
Original Assignee
명지대학교 산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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Abstract

본 발명은 주사전자현미경의 시료 스테이지에 관한 것으로, 본 발명의 주사전자현미경의 시료 스테이지는, 시료의 특성을 분석하는 주사전자현미경 내에 배치되는 것으로서, 시료가 장착되는 시료부; 상기 시료부에 장착된 시료의 특성을 확인하기 위해 시료와 접촉하는 탐침부; 및 일 측이 상기 시료부에 고정되고, 타 측이 상기 탐침부와 결합되며, 상기 시료부에 대한 상기 탐침부의 위치를 조절하는 위치조절부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 주사전자현미경에 탐침의 위치를 국소적으로 이동시킬 수 있어 기계적 또는 전기적 특성을 동시에 확인할 수 있는 효과가 있다. The present invention relates to a sample stage of a scanning electron microscope, the sample stage of the scanning electron microscope of the present invention is disposed in the scanning electron microscope for analyzing the characteristics of the sample, the sample portion is mounted; A probe part contacting the sample to check characteristics of the sample mounted on the sample part; And one side is fixed to the sample portion, the other side is coupled to the probe portion, characterized in that it comprises a position adjusting portion for adjusting the position of the probe portion relative to the sample portion. According to the present invention, it is possible to move the position of the probe locally to the scanning electron microscope, which has the effect of simultaneously confirming mechanical or electrical properties.

Description

탐침의 이동이 가능한 주사전자현미경의 시료 스테이지 및 그 주사전자현미경{SAMPLE STAGE FOR SCANNING ELECTRON MICROSCOPE OF MOVABLE PROVE AND SCANNING ELECTRON MICROSCOPE OF THE SAME}SAMPLE STAGE FOR SCANNING ELECTRON MICROSCOPE OF MOVABLE PROVE AND SCANNING ELECTRON MICROSCOPE OF THE SAME}

본 발명은 주사전자현미경의 시료 스테이지 및 주사전자현미경에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 시료의 특성을 확인할 수 있도록 주사전자현미경 내에 장착되는 시료 스테이지 및 그 시료 스테이지가 장착된 주사전자현미경에 관한 것이다.
The present invention relates to a sample stage and a scanning electron microscope of a scanning electron microscope, and more particularly to a sample stage mounted in a scanning electron microscope and a scanning electron microscope equipped with the sample stage so as to confirm the characteristics of the sample.

최근 메모리 소자의 연구는 메탈-유전체-메탈 구조를 가지는 메모리 소자에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 상기와 같은 구조를 가지는 커패시터 샘플은 프로브스테이션과 반도체 측정 장비 등을 이용하여 전기적 특성을 분석한다. 그런데, 프로브스테이션에 장착된 광학현미경을 이용해서는 수십 혹은 수백 나노미터 단위로 증착된 박막에 프로브를 정확하게 위치시키는 것이 쉽지 않다.Recently, research on memory devices has been actively conducted on memory devices having a metal-dielectric-metal structure. The capacitor sample having the structure described above analyzes electrical characteristics by using a probe station and a semiconductor measuring device. However, using an optical microscope mounted on the probe station, it is not easy to accurately position the probe on the thin film deposited in tens or hundreds of nanometers.

더욱이 나노 사이즈의 나노선이나 나노 입자 개개의 전기적 특성을 분석하는 경우에는 원자간힘현미경의 탐침을 이용하여 특성을 분석한다. 이때에도 광학현미경을 통해 탐침의 위치를 확인하는데, 광학현미경 분해능의 한계로 인해 원하는 위치를 정확하게 찾아가기 어렵다. 그리고 수 나노미터에 불과한 탐침 끝이 마모되면서 탐침의 접촉저항이 변화하는데, 이 역시 광학현미경 분해능의 한계로 확인하기 어려운 문제가 있다.
Moreover, when analyzing the electrical characteristics of nano-sized nanowires or individual nanoparticles, the characteristics are analyzed by using an atomic force microscope probe. In this case, the position of the probe is confirmed through an optical microscope, but it is difficult to accurately locate a desired position due to the limitation of the resolution of the optical microscope. In addition, the contact resistance of the probe changes as the tip of the probe, which is only a few nanometers, is worn, which is also difficult to identify as a limitation of optical microscope resolution.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 마이크로 단위 혹은 나노 단위의 시료에 대해 기계적 혹은 전기적 특성을 확인하고, 마이크로 단위 이하 크기의 영역에서 변화를 확인하여 측정의 신뢰성을 높일 수 있도록 주사전자현미경 내에 장착되는 시료 스테이지와 이러한 시료 스테이지가 장착된 주사전자현미경을 제공하는데 목적이 있다.
The present invention is to solve the above-described problems, the present invention is to check the mechanical or electrical properties of the sample in the micro unit or nano unit, and to check the change in the area of the sub-micro unit size to increase the reliability of the measurement It is an object to provide a sample stage mounted in a scanning electron microscope and a scanning electron microscope equipped with such a sample stage.

이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 주사전자현미경의 시료 스테이지는, 시료의 특성을 분석하는 주사전자현미경 내에 배치되는 것으로서, 시료가 장착되는 시료부; 상기 시료부에 장착된 시료의 특성을 확인하기 위해 시료와 접촉하는 탐침부; 및 일 측이 상기 시료부에 고정되고, 타 측이 상기 탐침부와 결합되며, 상기 시료부에 대한 상기 탐침부의 위치를 조절하는 위치조절부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the sample stage of the scanning electron microscope of the present invention comprises: a sample unit disposed in the scanning electron microscope for analyzing the characteristics of the sample; A probe part contacting the sample to check characteristics of the sample mounted on the sample part; And one side is fixed to the sample portion, the other side is coupled to the probe portion, characterized in that it comprises a position adjusting portion for adjusting the position of the probe portion relative to the sample portion.

이때, 상기 위치조절부는, 주사전자현미경에서 상기 시료부에 장착된 시료를 관측하는 방향인 z축 방향으로 상기 탐침부의 위치를 조절하는 z축 위치조절기; 상기 z축 방향과 수직한 방향으로 상기 탐침부의 위치를 조절하는 x축 위치조절기; 및 상기 z축 방향 및 x축 방향과 수직한 방향으로 상기 탐침부의 위치를 조절하는 y축 위치조절기를 포함하는 것이 바람직하다.At this time, the position adjusting unit, a z-axis position adjuster for adjusting the position of the probe in the z-axis direction that is the direction of observing the sample mounted on the sample in the scanning electron microscope; An x-axis position adjuster for adjusting the position of the probe in a direction perpendicular to the z-axis direction; And it is preferable to include a y-axis position adjuster for adjusting the position of the probe in a direction perpendicular to the z-axis direction and the x-axis direction.

그리고 상기 x축 위치조절기, y축 위치조절기 및 z축 위치조절기 중 적어도 하나는 나노미터 단위의 변위를 발생시키는 나노 포지셔너인 것이 바람직하며, 상기 시료부 및 상기 위치조절부는 상기 z축 방향을 기준으로 소정의 각도만큼 일시적으로 기울어질 수 있도록 구비될 수 있다.And at least one of the x-axis positioner, y-axis positioner and the z-axis positioner is preferably a nano positioner for generating a displacement in nanometers, the sample portion and the position adjuster based on the z-axis direction It may be provided so that it can be temporarily inclined by a predetermined angle.

또한, 상기 위치조절부의 일 측이 상기 시료부에 고정되도록 상기 위치조절부를 지지하는 지지부를 더 포함할 수 있으며, 상기 탐침부와 위치조절부를 연결하는 연결부를 더 포함할 수도 있다. 이때, 상기 연결부의 일 측은 상기 위치조절부의 상단에 고정되고, 타 측에는 탐침부가 결합된 캔틸레버(cantilever) 형상인 것이 바람직하다. 그리고 상기 연결부의 재질은 절연체인 것이 바람직하며, 세라믹인 것이 더 바람직하다.
In addition, one side of the position adjusting portion may further include a support for supporting the position adjusting portion to be fixed to the sample portion, may further include a connecting portion connecting the probe and the position adjusting portion. At this time, one side of the connecting portion is fixed to the upper end of the position adjusting portion, the other side is preferably a cantilever (cantilever) shape coupled to the probe. And the material of the connecting portion is preferably an insulator, more preferably a ceramic.

한편, 이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 주사전자현미경의 시료 스테이지는, 시료의 특성을 분석하는 주사전자현미경 내에 배치되는 것으로서, 시료가 장착되는 시료부; 상기 시료부의 상단에 시료를 장착시키기 위해 일정 공간이 형성된 내부에 시료가 거치되는 시료거치대; 상기 시료거치대에 거치된 시료에 전기적으로 연결되는 전기연결팁; 상기 시료부에 장착된 시료의 특성을 확인하기 위해 시료와 접촉하는 탐침부; 및 상기 시료부에 대한 상기 탐침부의 위치를 조절하는 위치조절부를 포함하고, 시료의 전기적 특성을 확인하기 위해 상기 전기연결팁과 탐침부가 서로 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 한다.On the other hand, in order to achieve this object, the sample stage of the scanning electron microscope of the present invention, which is disposed in the scanning electron microscope for analyzing the characteristics of the sample, the sample portion is mounted; A sample holder in which a sample is placed inside a predetermined space in which a sample is mounted on an upper end of the sample part; An electrical connection tip electrically connected to the sample mounted on the sample holder; A probe part contacting the sample to check characteristics of the sample mounted on the sample part; And a position adjusting unit for adjusting the position of the probe unit with respect to the sample unit, wherein the electric connection tip and the probe unit are electrically connected to each other to check electrical characteristics of the sample.

이때, 상기 시료거치대의 재질은 절연체인 것이 바람직하며, 세라믹인 것이 더 바람직하다.In this case, the material of the sample holder is preferably an insulator, more preferably a ceramic.

그리고 상기 위치조절부는 나노미터 단위의 변위를 발생시키는 나노 포지셔너인 것이 바람직하며, 상기 시료부, 시료거치대 및 상기 위치조절부는 상기 x축 방향을 기준으로 소정의 각도만큼 일시적으로 기울어질 수 있도록 구비될 수 있다. 이때, 상기 z축 방향은 주사전자현미경에서 상기 시료거치대에 거치된 시료를 관측하기 위한 방향이다.
The position adjusting unit is preferably a nano positioner for generating displacement in nanometers, and the sample unit, the sample holder, and the position adjusting unit may be temporarily tilted by a predetermined angle with respect to the x-axis direction. Can be. At this time, the z-axis direction is a direction for observing the sample placed on the sample holder in the scanning electron microscope.

또 한편, 이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 주사전자현미경은, 전자총, 마그네틱 집광렌즈, 주사코일, 마그네틱 대물렌즈 및 전자검출기를 포함하는 주사전자현미경의 본체; 및 상기 본체의 내부에 배치되어 관측 대상물인 시료가 장착되는 시료 스테이지를 포함하고, 상기 시료 스테이지는, 시료가 장착되는 시료부; 상기 시료부에 장착된 시료의 특성을 확인하기 위해 시료와 접촉하는 탐침부; 및 일 측이 상기 시료부에 고정되고, 타 측이 상기 탐침부와 결합되며, 상기 시료부에 대한 상기 탐침부의 위치를 조절하는 위치조절부를 포함하는 것을 특징으로 한다.On the other hand, in order to achieve this object, the scanning electron microscope of the present invention, the main body of the scanning electron microscope including an electron gun, a magnetic condenser lens, a scanning coil, a magnetic objective lens and an electron detector; And a sample stage disposed inside the main body and to which a sample which is an object to be observed is mounted, wherein the sample stage comprises: a sample unit on which a sample is mounted; A probe part contacting the sample to check characteristics of the sample mounted on the sample part; And one side is fixed to the sample portion, the other side is coupled to the probe portion, characterized in that it comprises a position adjusting portion for adjusting the position of the probe portion relative to the sample portion.

이때, 상기 위치조절부는, 주사전자현미경에서 상기 시료부에 장착된 시료를 관측하는 방향인 z축 방향으로 상기 탐침부의 위치를 조절하는 z축 위치조절기; 상기 z축 방향과 수직한 방향으로 상기 탐침부의 위치를 조절하는 x축 위치조절기; 및 상기 z축 방향 및 x축 방향과 수직한 방향으로 상기 탐침부의 위치를 조절하는 y축 위치조절기를 포함하는 것이 바람직하다.At this time, the position adjusting unit, a z-axis position adjuster for adjusting the position of the probe in the z-axis direction that is the direction of observing the sample mounted on the sample in the scanning electron microscope; An x-axis position adjuster for adjusting the position of the probe in a direction perpendicular to the z-axis direction; And it is preferable to include a y-axis position adjuster for adjusting the position of the probe in a direction perpendicular to the z-axis direction and the x-axis direction.

그리고 상기 x축 위치조절기, y축 위치조절기 및 z축 위치조절기 중 적어도 하나는 나노미터 단위의 변위를 발생시키는 나노 포지셔너인 것이 바람직하며, 상기 시료부 및 상기 위치조절부는 상기 z축 방향을 기준으로 소정의 각도만큼 일시적으로 기울어질 수 있도록 구비될 수 있다.And at least one of the x-axis positioner, y-axis positioner and the z-axis positioner is preferably a nano positioner for generating a displacement in nanometers, the sample portion and the position adjuster based on the z-axis direction It may be provided so that it can be temporarily inclined by a predetermined angle.

또한, 상기 시료 스테이지는, 상기 위치조절부의 일 측이 상기 시료부에 고정되도록 상기 위치조절부를 지지하는 지지부를 더 포함할 수 있으며, 상기 탐침부와 위치조절부를 연결하는 연결부를 더 포함할 수도 있다. 이때, 상기 연결부의 일 측은 상기 위치조절부의 상단에 고정되고, 타 측에는 탐침부가 결합된 캔틸레버(cantilever) 형상인 것이 바람직하다. 그리고 상기 연결부의 재질은 절연체인 것이 바람직하며, 세라믹인 것이 더 바람직하다.
In addition, the sample stage may further include a support for supporting the position adjusting unit so that one side of the position adjusting unit is fixed to the sample unit, and may further include a connection unit connecting the probe and the position adjusting unit. . At this time, one side of the connecting portion is fixed to the upper end of the position adjusting portion, the other side is preferably a cantilever (cantilever) shape coupled to the probe. And the material of the connecting portion is preferably an insulator, more preferably a ceramic.

또 다른 한편, 이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 주사전자현미경은, 전자총, 마그네틱 집광렌즈, 주사코일, 마그네틱 대물렌즈 및 전자검출기를 포함하는 주사전자현미경의 본체; 및 상기 본체의 내부에 배치되어 관측 대상물인 시료가 장착되는 시료 스테이지를 포함하고, 상기 시료 스테이지는, 시료가 장착되는 시료부; 상기 시료부의 상단에 시료를 장착시키기 위해 일정 공간이 형성된 내부에 시료가 거치되는 시료거치대; 상기 시료거치대에 거치된 시료에 전기적으로 연결되는 전기연결팁; 상기 시료부에 장착된 시료의 특성을 확인하기 위해 시료와 접촉하는 탐침부; 및 상기 시료부에 대한 상기 탐침부의 위치를 조절하는 위치조절부를 포함하고, 시료의 전기적 특성을 확인하기 위해 상기 전기연결팁과 탐침부가 서로 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 한다.On the other hand, the scanning electron microscope of the present invention to achieve this object, the main body of the scanning electron microscope including an electron gun, a magnetic condenser lens, a scanning coil, a magnetic objective lens and an electron detector; And a sample stage disposed inside the main body and to which a sample which is an object to be observed is mounted, wherein the sample stage comprises: a sample unit on which a sample is mounted; A sample holder in which a sample is placed inside a predetermined space in which a sample is mounted on an upper end of the sample part; An electrical connection tip electrically connected to the sample mounted on the sample holder; A probe part contacting the sample to check characteristics of the sample mounted on the sample part; And a position adjusting unit for adjusting the position of the probe unit with respect to the sample unit, wherein the electric connection tip and the probe unit are electrically connected to each other to check electrical characteristics of the sample.

이때, 상기 시료거치대의 재질은 절연체인 것이 바람직하며, 세라믹인 것이 더 바람직하다.In this case, the material of the sample holder is preferably an insulator, more preferably a ceramic.

그리고 상기 위치조절부는 나노미터 단위의 변위를 발생시키는 나노 포지셔너인 것이 바람직하며, 상기 시료부, 시료거치대 및 상기 위치조절부는 상기 x축 방향을 기준으로 소정의 각도만큼 일시적으로 기울어질 수 있도록 구비될 수 있다. 이때, 상기 z축 방향은 주사전자현미경에서 상기 시료거치대에 거치된 시료를 관측하기 위한 방향이다.
The position adjusting unit is preferably a nano positioner for generating displacement in nanometers, and the sample unit, the sample holder, and the position adjusting unit may be temporarily tilted by a predetermined angle with respect to the x-axis direction. Can be. At this time, the z-axis direction is a direction for observing the sample placed on the sample holder in the scanning electron microscope.

본 발명에 의하면, 주사전자현미경에 탐침의 위치를 국소적으로 이동시킬 수 있어 기계적 또는 전기적 특성을 동시에 확인할 수 있는 효과가 있다. 특히, 산화아연나노선 등의 시료에 물리적 압력을 가하여 시료가 휘어진 상태에서 전류를 통하게 할 수 있어, 시료가 휘어짐에 따라 변화하는 전기적 특성을 실시간으로 확인할 수 있는 효과가 있다.
According to the present invention, it is possible to move the position of the probe locally to the scanning electron microscope, which has the effect of simultaneously confirming mechanical or electrical properties. In particular, by applying a physical pressure to the sample, such as zinc oxide nanowire, it is possible to pass the current in the state where the sample is bent, there is an effect that can be confirmed in real time the electrical properties that change as the sample is bent.

도 1은 본 발명의 주사전자현미경의 시료 스테이지를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 주사전자현미경의 시료 스테이지를 기울인 상태를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 주사전자현미경의 시료 스테이지 중 위치조절부를 도시한 도면이다.
도 4는 탐침부가 시료인 나노 와이어에 압력을 가하는 것을 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 주사전자현미경의 시료 스테이지 중 시료거치대를 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 주사전자현미경의 시료 스테이지에 전기적 특성을 확인할 수 있는 회로를 구성한 것으로 도시한 도면이다.1 is a diagram showing a sample stage of a scanning electron microscope of the present invention.
2 is a view showing a state in which the sample stage of the scanning electron microscope of the present invention is inclined.
Figure 3 is a view showing a position adjusting portion of the sample stage of the scanning electron microscope of the present invention.
4 is a diagram showing that the probe unit pressurizes the nanowire as a sample.
5 is a view showing a sample holder of the sample stage of the scanning electron microscope of the present invention.
FIG. 6 is a diagram illustrating a circuit capable of confirming electrical characteristics in a sample stage of a scanning electron microscope according to the present invention.

본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 더 구체적으로 설명한다.Preferred embodiments of the present invention will be described more specifically with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 주사전자현미경(scanning electron microscope)의 시료 스테이지는 주사전자현미경 내에 설치되는 것으로, 시료 스테이지에 시료가 장착되어 주사전자현미경을 통해 시료를 확인할 수 있다.The sample stage of the scanning electron microscope of the present invention is installed in the scanning electron microscope, and the sample is mounted on the sample stage so that the sample can be identified through the scanning electron microscope.

주사전자현미경은 본체와 시료 스테이지로 구분할 수 있으며, 주사전자현미경의 본체는 전자총, 마그네틱 집광렌즈, 주사코일, 마그네틱 대물렌즈 및 전자검출기를 포함하여 구성된다.The scanning electron microscope can be classified into a main body and a sample stage. The main body of the scanning electron microscope includes an electron gun, a magnetic condenser lens, a scanning coil, a magnetic objective lens, and an electron detector.

그리고 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 시료 스테이지(100)는 시료부(110), 탐침부(120), 연결부(130), 위치조절부(140) 및 지지부(150)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 1, the sample stage 100 of the present invention includes a sample unit 110, a probe unit 120, a connection unit 130, a position adjusting unit 140, and a support unit 150. do.

시료부(110)는 시료(S)가 장착되는 곳이다. 시료부(110)에 장착된 시료(S)에 대해 기계적 또는 전기적 특성을 확인하며, 시료(S)의 위치는 주사전자현미경을 통해 확인할 수 있다.The sample unit 110 is where the sample S is mounted. Check the mechanical or electrical properties of the sample (S) mounted on the sample unit 110, the position of the sample (S) can be confirmed through a scanning electron microscope.

탐침부(120)는 시료(S)에 직접 접촉할 수 있으며, 시료(S)에 직접 접촉되어 시료(S)에 물리적인 압력을 가할 수 있다. 그에 따라 시료(S)의 기계적 특성을 확인할 수 있다. 이때, 탐침부(120)에는 금, 은, 알루미늄, 구리 및 크롬 등의 금속으로 코팅하여 시료(S)와 금속 간의 전기적 특성을 확인할 수 있다. 그리고 주사전자현미경을 통해 탐침부(120) 끝의 마모 정도를 확인하는 것이 가능하기 때문에 마모 정도에 따른 접촉저항을 확인할 수 있어 측정값의 변화를 확인할 수 있어 그에 따른 오차를 감소시킬 수 있다.The probe unit 120 may directly contact the sample S and may directly contact the sample S to apply physical pressure to the sample S. Thereby, the mechanical properties of the sample S can be confirmed. In this case, the probe unit 120 may be coated with a metal such as gold, silver, aluminum, copper, and chromium to check electrical properties between the sample S and the metal. In addition, since it is possible to check the wear level of the tip of the probe unit 120 through the scanning electron microscope, it is possible to check the contact resistance according to the wear level, thereby confirming the change in the measured value, thereby reducing the error thereof.

연결부(130)는 탐침부(120)와 위치조절부(140)를 연결한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 연결부(130)의 일 측은 위치조절부(140) 상단에 고정된 상태에서 타 측으로 길게 연장되며, 타 측단에 탐침부(120)가 연결 고정된다. 즉, 연결부(130)는 캔틸레버(cantilever) 형상을 가지며, 타 측은 받쳐지지 않은 상태의 형상으로 형성된다.The connecting unit 130 connects the probe unit 120 and the position adjusting unit 140. As shown in Figure 2, one side of the connecting portion 130 is extended to the other side in a fixed state on the top of the position adjusting unit 140, the probe portion 120 is fixed to the other side end. That is, the connecting portion 130 has a cantilever shape, and the other side is formed in a shape of not being supported.

여기서, 위치조절부(140)의 위치는 주사전자현미경을 통해 시료(S)를 관측할 때 방해되지 않도록 위치조절부(140)가 시료부(110)와 일정 거리 이격된 상태에 위치하는 것이 바람하다. 그렇기 때문에 탐침부(120)가 시료부(110)에 접하기 위해서는 연결부(130)의 형상이 캔틸레버 형상으로 형성되는 것이 바람직하다. 더욱이, 연결부(130)가 캔틸레버 형상으로 형성되므로 주사전자현미경에서 시료(S)를 관측할 때 연결부(130)의 영향이 최소화될 수 있다.Here, the position of the position adjusting unit 140 is preferably located in a position spaced apart from the sample unit 110 by a predetermined distance so that the position adjusting unit 140 is not disturbed when observing the sample (S) through the scanning electron microscope. Do. For this reason, in order for the probe part 120 to contact the sample part 110, it is preferable that the shape of the connection part 130 is formed in a cantilever shape. Furthermore, since the connection part 130 is formed in a cantilever shape, the influence of the connection part 130 may be minimized when the sample S is observed in the scanning electron microscope.

그리고 연결부(130)는 전류가 통하지 않는 절연체가 사용되는 것이 바람직하며, 타 측단에 연결되는 탐침부(120)에 물리적인 힘이 전달될 수 있도록 구조적인 강성을 가지는 것이 바람직하다. 그러므로 연결부(130)는 세라믹 재질로 제조되는 것이 가장 바람직하다.In addition, the connection unit 130 preferably uses an insulator through which current does not pass, and preferably has structural rigidity so that a physical force can be transmitted to the probe unit 120 connected to the other side end. Therefore, the connecting portion 130 is most preferably made of a ceramic material.

위치조절부(140)는 탐침부(120)의 위치를 조절한다. 이를 위해 위치조절부(140)는 x축 위치조절기(142), y축 위치조절기(144) 및 z축 위치조절기(146)로 구성된다. x축 위치조절기(142), y축 위치조절기(144) 및 z축 위치조절기(146)는 각각 x축 방향, y축 방향 및 z축 방향으로 탐침부(120)의 위치를 조절할 수 있다.The position adjusting unit 140 adjusts the position of the probe unit 120. To this end, the position adjusting unit 140 is composed of an x-axis position adjuster 142, a y-axis position adjuster 144, and a z-axis position adjuster 146. The x-axis position adjuster 142, the y-axis position adjuster 144, and the z-axis position adjuster 146 may adjust the position of the probe unit 120 in the x-axis direction, the y-axis direction, and the z-axis direction, respectively.

이때, z축 방향은 전자주사현미경에서 시료(S)를 확인할 수 있는 방향을 의미하며, x축 방향은 z축 방향에 수직한 방향이다. 그리고 y축 방향은 z축 방향 및 x축 방향에 모두 수직인 방향이다. 그러므로 x축 방향과 y축 방향은 시료(S)가 장착되는 시료부(110)와 동일한 평면상에서 탐침부(120)의 위치를 조절하는 방향이 되며, z축 방향은 시료(S)가 놓인 평면에 수직한 방향이 된다. 상기와 같이, 위치조절부(140)는 탐침부(120)의 위치를 공간상에서 자유롭게 조절할 수 있다.At this time, the z-axis direction means the direction in which the sample (S) can be confirmed by the electron scanning microscope, the x-axis direction is a direction perpendicular to the z-axis direction. The y-axis direction is a direction perpendicular to both the z-axis direction and the x-axis direction. Therefore, the x-axis direction and the y-axis direction are directions for adjusting the position of the probe unit 120 on the same plane as the sample unit 110 on which the sample S is mounted, and the z-axis direction is the plane on which the sample S is placed. Is perpendicular to. As described above, the position adjusting unit 140 may freely adjust the position of the probe unit 120 in space.

그리고 본 발명에서는 위치조절부(140)의 x축, y축 및 z축 방향으로 마이크로 단위 또는 나노 단위 내에서 이동이 가능하도록 조절할 수 있다. 이때, x축 위치조절기(142), y축 위치조절기(144) 및 z축 위치조절기(146)는 압전 세라믹(piezo electric ceramics)을 이용하여 유도봉을 늘리거나 줄이면서 각 방향으로 위치를 조절할 수 있다.In the present invention, the position adjusting unit 140 may be adjusted to be movable within a micro unit or a nano unit in the x-axis, y-axis, and z-axis directions. At this time, the x-axis position adjuster 142, the y-axis position adjuster 144 and the z-axis position adjuster 146 can adjust the position in each direction while increasing or decreasing the induction rods using piezo electric ceramics (piezo electric ceramics). have.

지지부(150)는 시료부(110)에 고정 결합되어 있으며, 위치조절부(140)를 지지한다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 지지부(150)는 시료부(110)의 일 측에 고정되며, 위치조절부(140)가 시료부(110)에 고정되도록 위치조절부(140)를 지지한다. 그럼으로써, 시료부(110)와 위치조절부(140) 및 탐침부(120)가 서로 고정된다.The support part 150 is fixedly coupled to the sample part 110 and supports the position adjusting part 140. That is, as shown in FIG. 1, the support part 150 is fixed to one side of the sample part 110, and supports the position adjusting part 140 so that the position adjusting part 140 is fixed to the sample part 110. do. As a result, the sample unit 110, the position adjusting unit 140, and the probe unit 120 are fixed to each other.

이때, 도 3에 도시된 바와 같이, 시료부(110)는 하단의 일축을 기준으로 회전되어 기울어질 수 있다. 시료부(110)가 기울어지는 정도는 임의 조정이 가능하며, 수동으로 시료부(110)를 기울일 수 있고 구동장치가 구비되어 시료부(110)를 자동으로 기울이는 것도 가능하다.In this case, as shown in FIG. 3, the sample unit 110 may be rotated and tilted based on one axis of the lower end. The degree of inclination of the sample unit 110 may be arbitrarily adjusted, and the sample unit 110 may be manually inclined, and a driving device may be provided to automatically incline the sample unit 110.

그리고 위치조절부(140)가 지지대에 의해 시료부(110)에 고정된 상태이므로, 시료부(110)의 기울어짐에 따라 위치조절부(140)도 같이 기울어진다. 그렇기 때문에 위치조절부(140)의 x축 조절기의 이동 방향 및 y축 조절기의 이동 방향은 시료부(110)와 동일 평면을 유지하게 된다.Since the position adjusting unit 140 is fixed to the sample unit 110 by the support, the position adjusting unit 140 is also inclined as the sample unit 110 is inclined. For this reason, the moving direction of the x-axis controller and the moving direction of the y-axis controller of the position adjusting unit 140 maintain the same plane as the sample unit 110.

상기와 같이, 시료부(110)가 기울어지도록 하는 것은 주사전자현미경에서 시료부(110)를 관측하는 방향과 z축 위치조절기(146)의 이동 방향이 동일하여 z축 위치조절기(146)의 이동을 주사전자현미경을 통해 확인하는 것이 어렵기 때문이다. 이렇게 시료부(110)를 어느 정도 기울임으로써, 주사전자현미경을 통해 관측자는 z축 위치조절기(146)의 이동을 확인할 수 있다. 그러므로 시료(S)와 탐침부(120) 간의 거리를 확인할 수 있으며, 탐침부(120)가 제대로 시료(S)와 접촉이 이루어졌는지 등을 확인할 수 있다.As described above, the sample unit 110 is inclined so that the direction in which the sample unit 110 is observed in the scanning electron microscope and the movement direction of the z-axis position controller 146 are the same, so that the movement of the z-axis position controller 146 is performed. This is because it is difficult to confirm by means of a scanning electron microscope. By tilting the sample unit 110 to some extent, the observer can confirm the movement of the z-axis position controller 146 through the scanning electron microscope. Therefore, the distance between the sample (S) and the probe unit 120 can be confirmed, and whether the probe unit 120 is properly in contact with the sample (S) can be confirmed.

즉, 시료부(110)의 기울임 정도는 주사전자현미경에서 z축 위치조절기(146)의 이동을 확인할 수 있을 정도이면 충분하며, 필요에 따라 90도까지 기울어 질 수도 있다.That is, the degree of inclination of the sample unit 110 is sufficient to confirm the movement of the z-axis position adjuster 146 in the scanning electron microscope, and may be inclined to 90 degrees if necessary.

그리고 시료부(110)를 기울이는 것은 탐침부(120)가 시료에 접촉했는지를 확인하기 위해 기울이는 것이므로, z축 위치조절기(146)의 동작으로 탐침부(120)가 이동하는 동안에만 시료부(110)가 일시적으로 기울어지도록 하는 것도 가능하다.And since the inclination of the sample unit 110 is inclined to check whether the probe unit 120 is in contact with the sample, the sample unit 110 only while the probe unit 120 is moved by the operation of the z-axis position controller 146. It is also possible to make the) temporarily tilt.

그리고 도 4에 도시된 바와 같이, 나노 와이어가 시료(S)로 사용되는 경우, 나노 와이어의 휘어지는 정도를 확인하기 위해 탐침부(120)가 나노 와이어에 접촉한 상태에서 z축 위치조절기(146)를 조절하여 나노 와이어에 압력을 가할 수 있다. 그러면, 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 나노 와이어는 휘어지고 그에 따라 전자주사현미경을 통해 나노 와이어의 휘어지는 정도를 확인할 수 있다.And, as shown in Figure 4, when the nanowires are used as the sample (S), the z-axis position adjuster 146 in the state in which the probe unit 120 in contact with the nanowires to check the degree of bending of the nanowires The pressure can be applied to the nanowires by adjusting. Then, as shown in (b) of FIG. 4, the nanowires are bent and thus the degree of bending of the nanowires can be confirmed through the electron scanning microscope.

그리고 도 5에 도시된 바와 같이, 시료부(110)에는 시료(S)가 시료부(110)에 그대로 장착되지 않고, 시료거치대(160)에 시료(S)가 거치되어 장착될 수 있다.As shown in FIG. 5, the sample part 110 may be mounted on the sample holder 160 without being mounted on the sample part 110 as it is.

시료거치대(160)는 내부에 일정 공간이 형성되며, 형성된 공간에 시료(S)가 거치된다. 그리고 시료거치대(160)에 거치된 시료(S)의 상단에 전기연결팁(170)이 연결되어 시료(S)에 전기적인 연결이 가능하도록 할 수 있다. 그에 따라 전기연결팁(170)은 시료(S)와 전기적으로 연결되고, 외부와 전기적으로 연결될 수 있는 단자가 구비된다.The sample holder 160 has a predetermined space formed therein, and the sample S is mounted in the formed space. And the electrical connection tip 170 is connected to the upper end of the sample (S) mounted on the sample holder 160 can be electrically connected to the sample (S). Accordingly, the electrical connection tip 170 is electrically connected to the sample (S), it is provided with a terminal that can be electrically connected to the outside.

이때, 전기연결팁(170)으로 인해 전자주사현미경에서 시료(S)의 관찰이 방해되지 않도록 일정 길이의 막대의 형상으로 형성될 수 있다.At this time, the electrical connection tip 170 may be formed in the shape of a rod of a predetermined length so that observation of the sample (S) in the electron scanning microscope is not disturbed.

이렇게 시료거치대(160)가 시료부(110)에 장착되면, 도 6에 도시된 바와 같이, 전기연결팁(170)의 단자와 탐침부(120)를 전기적으로 연결하고, 전압인가기 및 전류측정기를 연결하여 시료(S)의 전기적 특성을 확인할 수 있는 회로를 구성할 수 있다.When the sample holder 160 is mounted on the sample unit 110 as shown in FIG. 6, the terminal of the electrical connection tip 170 and the probe unit 120 are electrically connected to each other, and a voltage applicator and a current meter are used. By connecting the circuit can be configured to check the electrical properties of the sample (S).

이를 통해 위치조절기를 자유롭게 이동시켜 시료(S)의 원하는 위치에서 시료(S)에 대한 전기적 특성을 확인할 수 있다.Through this, the position controller can be freely moved to check the electrical characteristics of the sample S at the desired position of the sample S.

또한, 시료(S)에 전기적 특성을 확인할 수 있는 회로를 구성한 상태에서 도 4에 도시된 바와 같이, 휘어진 나노 와이어에 대한 전기적 특성도 확인할 수 있다. 즉, 본 발명의 주사전자현미경의 시료 스테이지(100)를 통해 시료(S)의 기계적 특성 및 전기적 특성을 동시에 실시간으로 확인할 수 있다.In addition, as shown in FIG. 4 in a state in which a circuit capable of confirming electrical characteristics of the sample S is configured, electrical characteristics of the curved nanowires may also be confirmed. That is, through the sample stage 100 of the scanning electron microscope of the present invention, the mechanical and electrical properties of the sample S can be simultaneously confirmed in real time.

이때, 탐침부(120)에는 상기에서 언급한 바와 같이, 금, 은, 알루미늄, 구리 및 크롬 등의 금속을 코팅하여, 시료(S)와 해당 금속 간의 전기적 특성을 확인할 수 있다.
In this case, as mentioned above, the probe unit 120 may be coated with a metal such as gold, silver, aluminum, copper, and chromium to check electrical properties between the sample S and the metal.

위에서 설명한 바와 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이므로, 본 발명이 상기 실시예에만 국한되는 것으로 이해돼서는 안 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어야 할 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. It should be understood that the scope of the present invention is to be understood as the scope of the following claims and their equivalents.

100: 시료 스테이지
110: 시료부 120: 탐침부
130: 연결부
140: 위치조절부 142: x축 위치조절기
144: y축 위치조절기 146: z축 위치조절기
150: 지지부 160: 시료거치대
170: 전기연결팁
S: 시료100: sample stage
110: sample portion 120: probe portion
130:
140: position adjuster 142: x-axis position adjuster
144: y-axis positioner 146: z-axis positioner
150: support 160: sample holder
170: electrical connection tip
S: Sample

Claims (28)

시료의 특성을 분석하는 주사전자현미경 내에 배치되는 것으로서, 시료가 장착되는 시료부;
상기 시료부에 장착된 시료의 특성을 확인하기 위해 시료와 접촉하는 탐침부; 및
일 측이 상기 시료부에 고정되고, 타 측이 상기 탐침부와 결합되며, 상기 시료부에 대한 상기 탐침부의 위치를 조절하는 위치조절부를 포함하되,
상기 위치조절부는 나노미터 단위의 변위를 발생시키는 나노 포지셔너로 이루어지는,
주사전자현미경에서 상기 시료부에 장착된 시료를 관측하는 방향인 z축 방향으로 상기 탐침부의 위치를 조절하는 z축 위치조절기;
상기 z축 방향과 수직한 방향으로 상기 탐침부의 위치를 조절하는 x축 위치조절기; 및
상기 z축 방향 및 x축 방향과 수직한 방향으로 상기 탐침부의 위치를 조절하는 y축 위치조절기를 포함하고,
상기 탐침부와 위치조절부를 연결하는 연결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경의 시료 스테이지.A sample unit disposed in the scanning electron microscope for analyzing the characteristics of the sample, wherein the sample is mounted;
A probe part contacting the sample to check characteristics of the sample mounted on the sample part; And
One side is fixed to the sample portion, the other side is coupled to the probe portion, including a position adjusting unit for adjusting the position of the probe portion relative to the sample portion,
The position adjusting unit is made of a nano positioner for generating displacement in nanometers,
A z-axis position adjuster for adjusting the position of the probe in a z-axis direction, which is a direction for observing a sample mounted on the sample in a scanning electron microscope;
An x-axis position adjuster for adjusting the position of the probe in a direction perpendicular to the z-axis direction; And
It includes a y-axis position adjuster for adjusting the position of the probe in a direction perpendicular to the z-axis direction and the x-axis direction,
A sample stage of a scanning electron microscope, characterized in that it further comprises a connecting portion for connecting the probe and the position adjusting portion. 삭제delete 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 시료부 및 상기 위치조절부는 상기 z축 방향을 기준으로 소정의 각도만큼 일시적으로 기울어질 수 있도록 구비되는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경의 시료 스테이지.The method according to claim 1,
The sample unit of the scanning electron microscope, characterized in that the sample portion and the position adjusting portion is provided to be temporarily inclined by a predetermined angle with respect to the z-axis direction. 청구항 1에 있어서,
상기 위치조절부의 일 측이 상기 시료부에 고정되도록 상기 위치조절부를 지지하는 지지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경의 시료 스테이지.The method according to claim 1,
The sample stage of the scanning electron microscope, characterized in that further comprising a support for supporting the position adjusting portion so that one side of the position adjusting portion is fixed to the sample portion. 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 연결부의 일 측은 상기 위치조절부의 상단에 고정되고, 타 측에는 탐침부가 결합된 캔틸레버(cantilever) 형상인 것을 특징으로 하는 주사전자현미경의 시료 스테이지.The method according to claim 1,
One side of the connecting portion is fixed to the upper end of the position adjusting portion, the other side of the sample stage of the scanning electron microscope, characterized in that the cantilever (cantilever) shape coupled to the probe. 청구항 1에 있어서,
상기 연결부의 재질은 절연체인 것을 특징으로 하는 주사전자현미경의 시료 스테이지.The method according to claim 1,
The sample stage of the scanning electron microscope, characterized in that the material of the connection portion is an insulator. 청구항 8에 있어서,
상기 연결부의 재질은 세라믹인 것을 특징으로 하는 주사전자현미경의 시료 스테이지.The method of claim 8,
The sample stage of the scanning electron microscope, characterized in that the material of the connection portion is ceramic. 시료의 특성을 분석하는 주사전자현미경 내에 배치되는 것으로서, 시료가 장착되는 시료부;
상기 시료부의 상단에 시료를 장착시키기 위해 일정 공간이 형성된 내부에 시료가 거치되는 시료거치대;
상기 시료거치대에 거치된 시료에 전기적으로 연결되는 전기연결팁;
상기 시료부에 장착된 시료의 특성을 확인하기 위해 시료와 접촉하는 탐침부; 및
상기 시료부에 대한 상기 탐침부의 위치를 조절하는 위치조절부를 포함하고,
시료의 전기적 특성을 확인하기 위해 상기 전기연결팁과 탐침부가 서로 전기적으로 연결되,
상기 위치조절부는 나노미터 단위의 변위를 발생시키는 나노 포지셔너로 이루어지는,
주사전자현미경에서 상기 시료부에 장착된 시료를 관측하는 방향인 z축 방향으로 상기 탐침부의 위치를 조절하는 z축 위치조절기;
상기 z축 방향과 수직한 방향으로 상기 탐침부의 위치를 조절하는 x축 위치조절기; 및
상기 z축 방향 및 x축 방향과 수직한 방향으로 상기 탐침부의 위치를 조절하는 y축 위치조절기를 포함하고,
상기 탐침부와 위치조절부를 연결하는 연결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경의 시료 스테이지.A sample unit disposed in the scanning electron microscope for analyzing the characteristics of the sample, wherein the sample is mounted;
A sample holder in which a sample is placed inside a predetermined space in which a sample is mounted on an upper end of the sample part;
An electrical connection tip electrically connected to the sample mounted on the sample holder;
A probe part contacting the sample to check characteristics of the sample mounted on the sample part; And
It includes a position adjusting unit for adjusting the position of the probe relative to the sample portion,
In order to check the electrical properties of the sample the electrical connection tip and the probe is electrically connected to each other,
The position adjusting unit is made of a nano positioner for generating displacement in nanometers,
A z-axis position adjuster for adjusting the position of the probe in a z-axis direction, which is a direction for observing a sample mounted on the sample in a scanning electron microscope;
An x-axis position adjuster for adjusting the position of the probe in a direction perpendicular to the z-axis direction; And
It includes a y-axis position adjuster for adjusting the position of the probe in a direction perpendicular to the z-axis direction and the x-axis direction,
A sample stage of a scanning electron microscope, characterized in that it further comprises a connecting portion for connecting the probe and the position adjusting portion. 청구항 10에 있어서,
상기 시료거치대의 재질은 절연체인 것을 특징으로 하는 주사전자현미경의 시료 스테이지.The method of claim 10,
The sample stage of the scanning electron microscope, characterized in that the material of the sample holder is an insulator. 청구항 11에 있어서,
상기 시료거치대의 재질은 세라믹인 것을 특징으로 하는 주사전자현미경의 시료 스테이지.The method of claim 11,
The sample stage of the scanning electron microscope, characterized in that the material of the sample holder is ceramic. 삭제delete 청구항 10에 있어서,
상기 시료부, 시료거치대 및 상기 위치조절부는 상기 x축 방향을 기준으로 소정의 각도만큼 일시적으로 기울어질 수 있도록 구비되며,
상기 z축 방향은 주사전자현미경에서 상기 시료거치대에 거치된 시료를 관측하기 위한 방향인 것을 특징으로 하는 주사전자현미경의 시료 스테이지.The method of claim 10,
The sample part, the sample holder and the position adjusting part are provided to be temporarily tilted by a predetermined angle with respect to the x-axis direction,
And the z-axis direction is a direction for observing a sample placed on the sample holder in the scanning electron microscope. 전자총, 마그네틱 집광렌즈, 주사코일, 마그네틱 대물렌즈 및 전자검출기를 포함하는 주사전자현미경의 본체; 및
상기 본체의 내부에 배치되어 관측 대상물인 시료가 장착되는 시료 스테이지를 포함하고,
상기 시료 스테이지는,
시료가 장착되는 시료부;
상기 시료부에 장착된 시료의 특성을 확인하기 위해 시료와 접촉하는 탐침부; 및
일 측이 상기 시료부에 고정되고, 타 측이 상기 탐침부와 결합되며, 상기 시료부에 대한 상기 탐침부의 위치를 조절하는 위치조절부를 포함하되,
상기 위치조절부는 나노미터 단위의 변위를 발생시키는 나노 포지셔너로 이루어지는,
주사전자현미경에서 상기 시료부에 장착된 시료를 관측하는 방향인 z축 방향으로 상기 탐침부의 위치를 조절하는 z축 위치조절기;
상기 z축 방향과 수직한 방향으로 상기 탐침부의 위치를 조절하는 x축 위치조절기; 및
상기 z축 방향 및 x축 방향과 수직한 방향으로 상기 탐침부의 위치를 조절하는 y축 위치조절기를 포함하고,
상기 탐침부와 위치조절부를 연결하는 연결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경.A main body of a scanning electron microscope including an electron gun, a magnetic condenser lens, a scanning coil, a magnetic objective lens, and an electron detector; And
A sample stage disposed inside the main body, on which a sample as an object to be observed is mounted,
The sample stage,
A sample unit on which a sample is mounted;
A probe part contacting the sample to check characteristics of the sample mounted on the sample part; And
One side is fixed to the sample portion, the other side is coupled to the probe portion, including a position adjusting unit for adjusting the position of the probe portion relative to the sample portion,
The position adjusting unit is made of a nano positioner for generating displacement in nanometers,
A z-axis position adjuster for adjusting the position of the probe in a z-axis direction, which is a direction for observing a sample mounted on the sample in a scanning electron microscope;
An x-axis position adjuster for adjusting the position of the probe in a direction perpendicular to the z-axis direction; And
It includes a y-axis position adjuster for adjusting the position of the probe in a direction perpendicular to the z-axis direction and the x-axis direction,
Scanning electron microscope, characterized in that it further comprises a connecting portion for connecting the probe and the position control. 삭제delete 삭제delete 청구항 15에 있어서,
상기 시료부 및 상기 위치조절부는 상기 z축 방향을 기준으로 소정의 각도만큼 일시적으로 기울어질 수 있도록 구비되는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경.16. The method of claim 15,
The specimen and the position adjusting unit is provided with a scanning electron microscope, characterized in that it is provided so that it can be temporarily inclined by a predetermined angle relative to the z-axis direction. 청구항 15에 있어서,
상기 시료 스테이지는,
상기 위치조절부의 일 측이 상기 시료부에 고정되도록 상기 위치조절부를 지지하는 지지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경.16. The method of claim 15,
The sample stage,
Scanning electron microscope, characterized in that further comprising a support for supporting the position adjusting portion so that one side of the position adjusting portion is fixed to the sample portion. 삭제delete 청구항 15에 있어서,
상기 연결부의 일 측은 상기 위치조절부의 상단에 고정되고, 타 측에는 탐침부가 결합된 캔틸레버(cantilever) 형상인 것을 특징으로 하는 주사전자현미경.16. The method of claim 15,
One side of the connection portion is fixed to the upper end of the position adjusting portion, the other side is a scanning electron microscope, characterized in that the cantilever (cantilever) shape coupled to the probe. 청구항 15에 있어서,
상기 연결부의 재질은 절연체인 것을 특징으로 하는 주사전자현미경.16. The method of claim 15,
Scanning electron microscope, characterized in that the material of the connection portion is an insulator. 청구항 22에 있어서,
상기 연결부의 재질은 세라믹인 것을 특징으로 하는 주사전자현미경.23. The method of claim 22,
Scanning electron microscope, characterized in that the material of the connection portion is a ceramic. 전자총, 마그네틱 집광렌즈, 주사코일, 마그네틱 대물렌즈 및 전자검출기를 포함하는 주사전자현미경의 본체; 및
상기 본체의 내부에 배치되어 관측 대상물인 시료가 장착되는 시료 스테이지를 포함하고,
상기 시료 스테이지는,
시료가 장착되는 시료부;
상기 시료부의 상단에 시료를 장착시키기 위해 일정 공간이 형성된 내부에 시료가 거치되는 시료거치대;
상기 시료거치대에 거치된 시료에 전기적으로 연결되는 전기연결팁;
상기 시료부에 장착된 시료의 특성을 확인하기 위해 시료와 접촉하는 탐침부; 및
상기 시료부에 대한 상기 탐침부의 위치를 조절하는 위치조절부를 포함하고,
시료의 전기적 특성을 확인하기 위해 상기 전기연결팁과 탐침부가 서로 전기적으로 연결되되,
상기 위치조절부는 나노미터 단위의 변위를 발생시키는 나노 포지셔너로 이루어지는,
주사전자현미경에서 상기 시료부에 장착된 시료를 관측하는 방향인 z축 방향으로 상기 탐침부의 위치를 조절하는 z축 위치조절기;
상기 z축 방향과 수직한 방향으로 상기 탐침부의 위치를 조절하는 x축 위치조절기; 및
상기 z축 방향 및 x축 방향과 수직한 방향으로 상기 탐침부의 위치를 조절하는 y축 위치조절기를 포함하고,
상기 탐침부와 위치조절부를 연결하는 연결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 주사전자현미경.A main body of a scanning electron microscope including an electron gun, a magnetic condenser lens, a scanning coil, a magnetic objective lens, and an electron detector; And
A sample stage disposed inside the main body, on which a sample as an object to be observed is mounted,
The sample stage,
A sample unit on which a sample is mounted;
A sample holder in which a sample is placed inside a predetermined space in which a sample is mounted on an upper end of the sample part;
An electrical connection tip electrically connected to the sample mounted on the sample holder;
A probe part contacting the sample to check characteristics of the sample mounted on the sample part; And
It includes a position adjusting unit for adjusting the position of the probe relative to the sample portion,
The electrical connection tip and the probe are electrically connected to each other to check the electrical properties of the sample,
The position adjusting unit is made of a nano positioner for generating displacement in nanometers,
A z-axis position adjuster for adjusting the position of the probe in a z-axis direction, which is a direction for observing a sample mounted on the sample in a scanning electron microscope;
An x-axis position adjuster for adjusting the position of the probe in a direction perpendicular to the z-axis direction; And
It includes a y-axis position adjuster for adjusting the position of the probe in a direction perpendicular to the z-axis direction and the x-axis direction,
Scanning electron microscope, characterized in that it further comprises a connecting portion for connecting the probe and the position control. 청구항 24에 있어서,
상기 시료거치대의 재질은 절연체인 것을 특징으로 하는 주사전자현미경.27. The method of claim 24,
Scanning electron microscope, characterized in that the material of the sample holder is an insulator. 청구항 25에 있어서,
상기 시료거치대의 재질은 세라믹인 것을 특징으로 하는 주사전자현미경.26. The method of claim 25,
Scanning electron microscope, characterized in that the material of the sample holder is ceramic. 삭제delete 청구항 24에 있어서,
상기 시료부, 시료거치대 및 상기 위치조절부는 상기 x축 방향을 기준으로 소정의 각도만큼 일시적으로 기울어질 수 있도록 구비되며,
상기 z축 방향은 주사전자현미경에서 상기 시료거치대에 거치된 시료를 관측하기 위한 방향인 것을 특징으로 하는 주사전자현미경.27. The method of claim 24,
The sample part, the sample holder and the position adjusting part are provided to be temporarily tilted by a predetermined angle with respect to the x-axis direction,
The z-axis direction is a scanning electron microscope, characterized in that the direction for observing the sample placed on the sample holder in the scanning electron microscope.
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