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KR101349532B1 - A film load cassette for preventing wrinkle - Google Patents

A film load cassette for preventing wrinkle Download PDF

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KR101349532B1
KR101349532B1 KR1020110120085A KR20110120085A KR101349532B1 KR 101349532 B1 KR101349532 B1 KR 101349532B1 KR 1020110120085 A KR1020110120085 A KR 1020110120085A KR 20110120085 A KR20110120085 A KR 20110120085A KR 101349532 B1 KR101349532 B1 KR 101349532B1
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KR
South Korea
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film
moving part
fixing means
wrinkle
cassette
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KR1020110120085A
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Inventor
박성배
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(주)케이엠
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Publication date
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Abstract

본 발명에 의한 주름방지용 필름 적재 카세트는 베이스 부재(2); 상기 베이스 부재(2)의 길이방향을 따라 일정간격으로 수직하게 설치되는 복수의 측면 프레임(3); 상기 측면 프레임(3)의 상부에 접촉하여 설치되는 상판(4); 상기 베이스 부재(2)에 평행하도록 측면 프레임의 내부 양측면에 설치되어 필름(6)을 적재하는 2개 이상의 지지부(11); 상기 적재된 필름(6)을 고정하기 위해 상기 각각의 지지부(11)에 형성되는 제1 고정수단(12); 상기 제1 고정수단(12)에 의해 상기 각각의 지지부(11)에 고정된 상기 필름(6)에 형성된 주름을 제거하기 위해 이동하는 적어도 1개 이상의 블록(13')으로 형성되는 이동부(13); 및 상기 적재된 필름(6)을 상기 이동부에 고정하기 위해 상기 이동부(13)에 형성되는 제2 고정수단(14)으로 이루어진다.Anti-wrinkle film stack cassette according to the present invention is a base member (2); A plurality of side frames 3 installed vertically at regular intervals along the longitudinal direction of the base member 2; An upper plate (4) installed in contact with an upper portion of the side frame (3); Two or more support parts 11 mounted on both inner side surfaces of the side frame so as to be parallel to the base member 2 for loading the film 6; First fixing means (12) formed on each of the support parts (11) to fix the loaded film (6); A moving part 13 formed of at least one block 13 'that moves to remove wrinkles formed in the film 6 fixed to the respective supporting parts 11 by the first fixing means 12. ); And second fixing means 14 formed on the moving part 13 to fix the loaded film 6 to the moving part.

Description

주름방지용 필름 적재 카세트{A film load cassette for preventing wrinkle}A film load cassette for preventing wrinkle}

본 발명은 1개 이상의 구동수단에 의해 구동하는 1개 이상의 블록으로 형성되는 1개 이상의 이동부를 통해 필름 적재 카세트에 적재된 필름에 발생 된 주름을 제거하기 위한 필름 적재용 카세트에 관한 것이다.
The present invention relates to a film stacking cassette for removing wrinkles generated in a film loaded on a film stacking cassette through one or more moving parts formed by one or more blocks driven by one or more driving means.

일반적으로 기판이나 필름을 적재하기 위한 적재용 카세트는 LCD 기판 등과 같은 기판을 적재하는데 사용된다. 다수의 공정을 거쳐야 하는 기판이나 필름이 적재용 카세트에 일정한 간격으로 배치되어 적재된다. 이러한 기판이나 필름은 다수의 공정을 수행하는 과정에서 기판이나 필름을 보관할 필요가 있고, 이때 카세트가 사용된다. 일반적으로 이러한 카세트는 그 형태에 따라 Back Support Bar 형태의 카세트와 Cross Bar 형태의 카세트로 구분할 수 있다. 도 1은 종래 기판 적재용 카세트(1)를 나타낸다. 이러한 필름적재용 카세트(1)는 베이스 부재(2), 베이스 부재에 대해 수직으로 설치되는 복수의 측면 프레임(3), 측면 프레임의 상부에 설치되는 상판(4), 및 각가의 측면 프레임에 설치되어 기판이 안착 지지되는 기판받이(5)로 이루어진다. In general, a stacking cassette for loading a substrate or film is used to load a substrate such as an LCD substrate. Substrates or films that must go through a number of processes are placed and stacked at regular intervals in the stacking cassette. Such substrates or films need to store the substrates or films in the course of performing a number of processes, wherein a cassette is used. In general, such a cassette may be classified into a cassette having a back support bar and a cassette having a cross bar according to its shape. 1 shows a conventional substrate stacking cassette 1. The film stacking cassette 1 is installed on the base member 2, a plurality of side frames 3 installed perpendicular to the base member, an upper plate 4 installed on the upper side of the side frame, and each side frame. Thus, the substrate is made of a substrate support (5) is seated and supported.

LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등과 같은 기판의 경우에는 기판의 자체 강성과 두께에 의해 기판이 큰 사이즈라 하더라도 자중에 의해 주름이 생기는 것을 방지할 수 있다. 그러나, 기판을 코팅하거나 다른 여러 액정표시장치의 표면 등을 보호하기 위한 필름의 경우에는, 필름 자체의 두께가 매우 얇고, 유연한 소재로 형성되어 자중에 의해 카세트에 적재된 필름에 주름이 발생하는 문제점이 있었다.In the case of substrates such as liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), field emission displays (FEDs), and vacuum fluorescent displays (VFDs), due to their own rigidity and thickness, Wrinkles can be prevented. However, in the case of a film for coating a substrate or protecting the surface of other liquid crystal display devices, the film itself is very thin and formed of a flexible material, which causes wrinkles in the film loaded on the cassette due to its own weight. There was this.

이러한 필름에 형성된 주름은 필름의 품질을 저하시키고, 필름의 불량품 발생률을 증가시켜 필름 생산비용을 증가시키는 문제점이 있었다.Wrinkles formed on such a film has a problem of lowering the quality of the film, increasing the defective rate of the film to increase the film production cost.

또한, 필름에 형성된 주름을 제거하기 위한 별도의 공정을 필요로 하여, 필름의 제작시간을 증가시키는 문제점이 있었다.
In addition, it requires a separate process for removing the wrinkles formed on the film, there was a problem to increase the production time of the film.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 필름을 적재하기 위해 카세트에 적재된 필름에 발생된 주름을 제거하기 위해 2개 이상의 지지부와, 적어도 1개 이상의 블록으로 형성되는 이동부를 구비하고, 지지부와 이동부에 형성된 각각의 고정수단에 의해 필름을 압착고정한 후, 필름에 형성된 주름을 이동부의 이동을 통해 펼침으로써 필름의 주름을 방지할 수 있는 필름 적재 카세트를 제공하는 것을 목적으로 한다.
The present invention is to solve the above problems, the present invention is to move the film formed by at least one support and at least one block to remove wrinkles generated in the film loaded in the cassette for loading the film The present invention provides a film stacking cassette capable of preventing wrinkles of the film by pressing and fixing the film by respective fixing means formed on the support and the moving part, and then unfolding the wrinkles formed on the film through the movement of the moving part. do.

본 발명의 목적을 달성하기 위해 본 발명에 의한 주름방지용 필름 적재 카세트는 베이스 부재; 상기 베이스 부재의 길이방향을 따라 일정간격으로 수직하게 설치되는 복수의 측면 프레임; 상기 측면 프레임의 상부에 접촉하여 설치되는 상판; 상기 베이스 부재에 평행하도록 측면 프레임의 내부 양측면에 설치되어 필름을 적재하는 2개 이상의 지지부; 상기 적재된 필름을 고정하기 위해 상기 각각의 지지부에 형성되는 제1 고정수단; 상기 제1 고정수단에 의해 상기 각각의 지지부에 고정된 상기 필름에 형성된 주름을 제거하기 위해 이동하는 적어도 1개 이상의 블록으로 형성되는 이동부; 및 상기 적재된 필름을 상기 이동부에 고정하기 위해 상기 이동부에 형성되는 제2 고정수단으로 이루어진다.In order to achieve the object of the present invention, the wrinkle preventing film stacking cassette according to the present invention comprises: a base member; A plurality of side frames installed vertically at regular intervals along the longitudinal direction of the base member; An upper plate installed in contact with an upper portion of the side frame; Two or more support parts installed on both inner side surfaces of the side frame so as to be parallel to the base member to load the film; First fixing means formed on each of the supporting portions to fix the loaded film; A moving part formed of at least one block moving to remove wrinkles formed in the films fixed to the respective supporting parts by the first fixing means; And second fixing means formed on the moving part to fix the loaded film to the moving part.

또한, 본 발명에 의한 주름방지용 필름 적재 카세트의 바람직한 다른 실시예에서, 이동부는 상기 2개 이상의 지지부 중 적어도 1개의 지지부의 측면에 결합되고, 상기 이동부의 상부표면의 높이와 상기 이동부가 결합되는 지지부의 상부표면의 높이가 동일하게 형성될 수 있다.In addition, in another preferred embodiment of the anti-wrinkle film stack cassette according to the present invention, the moving portion is coupled to the side of at least one of the two or more supports, the height of the upper surface of the moving portion and the support portion coupled to the moving portion The height of the upper surface of the same can be formed.

또한, 본 발명에 의한 주름방지용 필름 적재 카세트의 바람직한 다른 실시예에서, 이동부를 형성하는 각각의 블록은 적어도 1개 이상의 구동수단에 의해 상기 블록이 결합된 상기 지지부의 측면으로 이동하고, 상기 구동수단은 상기 각각의 블록이 결합되는 지지부에 장착된다.Further, in another preferred embodiment of the anti-wrinkle film stacking cassette according to the present invention, each block forming the moving portion moves to the side of the support portion to which the block is coupled by at least one driving means, and the driving means Is mounted to the support to which each of the blocks are coupled.

또한, 본 발명에 의한 주름방지용 필름 적재 카세트의 바람직한 다른 실시예에서, 구동수단은 유압실린더 또는 공압실린더의 구동에 의해 구동된다.Further, in another preferred embodiment of the anti-wrinkle film stacking cassette according to the present invention, the driving means is driven by the driving of the hydraulic cylinder or the pneumatic cylinder.

또한, 본 발명에 의한 주름방지용 필름 적재 카세트의 바람직한 다른 실시예에서, 제1, 2 고정수단은 상기 각각의 지지부 또는 상기 각각의 블록의 상부표면에 형성된 흡착구 형태로 이루어질 수 있다.In addition, in another preferred embodiment of the anti-wrinkle film stack cassette according to the present invention, the first and second fixing means may be formed in the form of a suction port formed on the upper surface of each of the support or the respective blocks.

또한, 본 발명에 의한 주름방지용 필름 적재 카세트의 바람직한 다른 실시예에서, 제1, 2 고정수단은 상기 각각의 지지부 또는 이동부의 길이방향을 따라서 각각의 상부표면 전체에 걸쳐 소정의 비율로 각각의 상부표면에 형성된 다공성 흡착구 형태로 이루어질 수 있다.Further, in another preferred embodiment of the anti-wrinkle film stack cassette according to the present invention, the first and second fixing means are each upper portion at a predetermined ratio over the entire upper surface along the longitudinal direction of the respective supporting portion or the moving portion. It may be formed in the form of a porous suction hole formed on the surface.

또한, 본 발명에 의한 주름방지용 필름 적재 카세트의 바람직한 다른 실시예에서, 제1, 2 고정수단은 다공성 흡착구를 통해 진공흡착방식으로 이루어질 수 있다.In addition, in another preferred embodiment of the anti-wrinkle film stack cassette according to the present invention, the first and second fixing means may be made in a vacuum adsorption method through a porous suction hole.

또한, 본 발명에 의한 주름방지용 필름 적재 카세트의 바람직한 다른 실시예에서, 이동부는 세락믹 재료로 형성될 수 있다.
In addition, in another preferred embodiment of the anti-wrinkle film stack cassette according to the present invention, the moving part may be formed of a ceramic material.

본 발명에 의한 주름방지용 필름 적재 카세트는 카세트에 적재된 필름에 형성된 주름을 제거할 수 있다. 필름에 형성된 주름을 제거함으로써 필름의 품질을 향상시키고, 필름의 불량품 발생률을 최소화하여 필름의 제조원가를 절감할 수 있는 효과가 있다.The anti-wrinkle film stack cassette according to the present invention can remove wrinkles formed on the film loaded on the cassette. By removing the wrinkles formed on the film to improve the quality of the film, there is an effect that can reduce the manufacturing cost of the film by minimizing the occurrence rate of defective products of the film.

또한, 필름에 형성된 주름을 별도의 공정을 통해 제거하는 것이 아니라, 카세트에 적재된 상태에서 필름의 주름을 제거하여 제조공정 시간을 단축하여, 필름의 생산성을 증가시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, rather than removing the wrinkles formed in the film through a separate process, by removing the wrinkles of the film in a state loaded on the cassette to shorten the manufacturing process time, there is an effect that can increase the productivity of the film.

또한, 다수의 블록으로 이동부가 형성되고, 이러한 다수의 블록이 독립하여 구동할 수 있어, 필름의 일부에만 형성된 주름을 효과적으로 제거할 수 있는 효과가 있다.In addition, the moving portion is formed of a plurality of blocks, the plurality of blocks can be driven independently, there is an effect that can effectively remove the wrinkles formed only on a part of the film.

또한, 다공성 흡착구를 통해 진공흡착방식으로 필름을 측면 프레임과 이동부에 고정함으로써 필름의 손상을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
In addition, it is possible to minimize the damage of the film by fixing the film to the side frame and the moving unit by the vacuum adsorption method through the porous adsorption holes.

도 1은 종래 필름 적재용 카세트를 나타낸다.
도 2는 본 발명에 의한 주름방지용 필름 적재 카세트의 사시도를 나타낸다.
도 3은 본 발명에 의한 주름방지용 필름 적재 카세트의 제2 고정수단 및 이동부에 대한 제1 실시예의 부분사시도 및 부분확대도를 나타낸다.
도 4은 본 발명에 의한 주름방지용 필름 적재 카세트의 제2 고정수단 및 이동부에 대한 제2 실시예의 부분사시도 및 부분확대도를 나타낸다.
도 5는 본 발명에 의한 주름방지용 필름 적재 카세트의 제2 고정수단 및 이동부에 대한 제3 실시예의 부분사시도 및 부분확대도를 나타낸다.
도 6는 도2 에 도시된 주름방지용 필름 적재 카세트의 일부에 필름이 적재된 상태의 개략적인 측단면도를 나타낸다.
도 7a는 본 발명에 의한 주름방지용 필름 적재 카세트의 이동부의 구동전의 상태를, 도 7b는 이동부의 구동후의 상태를 나타낸다. 1 shows a conventional film stacking cassette.
Figure 2 shows a perspective view of a wrinkle preventing film stacking cassette according to the present invention.
Figure 3 shows a partial perspective view and a partially enlarged view of the first embodiment of the second fixing means and the moving portion of the anti-wrinkle film stack cassette according to the present invention.
Figure 4 shows a partial perspective view and a partially enlarged view of a second embodiment of the second fixing means and the moving portion of the anti-wrinkle film stack cassette according to the present invention.
5 is a partial perspective view and a partially enlarged view of a third embodiment of the second fixing means and the moving part of the anti-wrinkle film stack cassette according to the present invention.
FIG. 6 shows a schematic side cross-sectional view of a state in which a film is loaded on a part of the anti-wrinkle film stacking cassette shown in FIG.
Fig. 7A shows a state before driving of the moving part of the wrinkle preventing film stacking cassette according to the present invention, and Fig. 7B shows a state after driving of the moving part.

본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 동일한 부호를 가지도록 하고 있다.
Preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, in adding reference numerals to components of each drawing, the same components are designated by the same reference numerals.

도 2는 본 발명에 의한 주름방지용 필름 적재 카세트의 사시도를 나타낸다. 도 3은 본 발명에 의한 주름방지용 필름 적재 카세트의 제2 고정수단 및 이동부에 대한 제1 실시예의 부분사시도 및 부분확대도를 나타낸다. 도 4은 본 발명에 의한 주름방지용 필름 적재 카세트의 제2 고정수단 및 이동부에 대한 제2 실시예의 부분사시도 및 부분확대도를 나타낸다. 도 5는 본 발명에 의한 주름방지용 필름 적재 카세트의 제2 고정수단 및 이동부에 대한 제3 실시예의 부분사시도 및 부분확대도를 나타낸다.
Figure 2 shows a perspective view of a wrinkle preventing film stacking cassette according to the present invention. Figure 3 shows a partial perspective view and a partially enlarged view of the first embodiment of the second fixing means and the moving portion of the anti-wrinkle film stack cassette according to the present invention. Figure 4 shows a partial perspective view and a partially enlarged view of a second embodiment of the second fixing means and the moving portion of the anti-wrinkle film stack cassette according to the present invention. 5 is a partial perspective view and a partially enlarged view of a third embodiment of the second fixing means and the moving part of the anti-wrinkle film stack cassette according to the present invention.

본 발명에 의한 주름방지용 필름 적재 카세트(1)는 베이스 부재(2), 복수의 측면 프레임(3), 2개 이상의 지지부(11), 제1 고정수단(12), 적어도 1개 이상의 블록(13')으로 형성되는 이동부(13), 및 제2 고정수단(12)으로 이루어진다. The anti-wrinkle film stacking cassette 1 according to the present invention includes a base member 2, a plurality of side frames 3, two or more support parts 11, first fixing means 12, and at least one or more blocks 13 ') Is formed of a moving part 13, and the second fixing means (12).

도 2 내지 도 5에서 알 수 있는 것처럼, 본 발명에 의한 주름방지용 필름 적재 카세트(1)의 베이스 부재(2)는 바닥과 밀착하여 필름 적재용 카세트를 지탱하는 기능을 한다. 이러한 베이스 부재는 다수의 프레임 형태로 형성되나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 일체형 판형태로 구성될 수도 있다. 복수의 측면 프레임(3)이 베이스 부재(2)의 길이방향을 따라서 일정간격으로 베이스 부재에 수직하게 설치된다. 베이스 부재에 설치되는 측면 프레임(3)의 개수는 적재하기 위한 필름(6)의 크기에 따라 다양하게 적용될 수 있다. 상판(4)이 측면 프레임의 상부와 밀착하여 설치된다. 상판(4)은 베이스 부재(2)와 동일한 형태와 크기인 것이 바람직하다. 바람직하게는, 측면 프레임(3)과 베이스 부재(2), 측면 프레임(3)과 상판(4)은 용접 또는 볼트결합으로 결합된다. 다만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 베이스 부재(2)와 상판(4)에 형성된 홈(도면에 도시되지 않음)에 스냅결합의 형태 등 공지의 결합방식에 의해 결합 될 수 있다. 동일한 가상의 평면(즉, 바꿔말하면 향후 필름이 적재되는 평면, 도면에 도시되지 않음)상에서 지지부(11)가 베이스 부재(2)와 평행하고 서로 마주하도록 측면 프레임(3)의 내부 양측면에 설치된다. 이러한 각각의 지지부(11)는 지지부 상에 적재되는 필름(6)을 지지부에 밀착고정하기 위해 제1 고정수단(12)을 구비한다. 이에 따라 1차적으로 지지부(11)에 적재된 필름(6)에 주름이 형성되는 것을 방지할 수 있다. 제1 고정수단(12)에 의해 각각의 지지부(11)에 필름(6)이 밀착고정된다 하더라도, 필름(6)이 두께가 매우 얇고 비교적 유연한 소재로 형성됨에 따라 자중에 의해 필름(6)의 중심부나 각각의 지지부(11)와 밀착된 부분에 주름이 형성될 수 있다. 따라서, 이러한 제1 고정수단(12)에 의해 각각의 지지부(11)에 밀착고정된 필름(6)에 자중에 의한 주름이 형성될 경우, 이러한 주름을 제거하기 위해 적어도 1개 이상의 블록(13')으로 형성된 이동부(13)가 동일한 가상의 평면상의 적어도 1개의 지지부에 형성된다. 본 발명에 의한 주름방지용 필름 적재 카세트(1)의 이동부(13)는 2개 이상의 지지부(11) 중 적어도 1개의 지지부(11)의 측면에 결합되고, 이러한 이동부의 상부표면(15)의 높이와 이동부가 결합되는 지지부의 상부표면(16)의 높이가 동일하게 형성된다. 따라서, 필름(6)이 이동부(13)와 지지부(11)에 밀착고정될 때 필름에 주름이 발생되는 것을 최소화할 수 있다. 필름의 주름을 균일하게 제거하기 위해 상술한 이동부는 1개의 일체형 블록(13')으로 형성되는 것이 바람직하다. 이동부(13)에 적재된 필름을 밀착고정하기 위해 제2 고정수단(14)을 구비한다. 반드시 이에 한정되는 것은 아니지만 본 발명에 의한 주름방지용 필름 적재 카세트(1)의 제1, 2 고정수단(12, 14)은 진공흡착방식으로 이루어진다. 즉, 도면에 도시되지는 않았지만, 진공펌프에 의해 흡착구(18) 또는 다공성 흡착구(19)를 통과하는 공기를 빨아들이게 되고, 이러한 진공흡착에 의해 필름(6)을 각각의 지지부(11) 및 이동부(13)에 밀착고정하게 된다. 도 7a 및 7b에 도시된 것처럼, 이동부의 상부표면의 높이(15)와 이동부가 결합하는 지지부의 상부표면(16)의 높이가 동일하게 형성된다. 이에 의해, 지지부(11)와 이동부(13)에 필름(6)이 적재되는 동안에 주름이 형성되는 것을 방지할 수 있다. 본 발명의 바람직한 실시예에서 이동부(13)는 세라믹 재료로 형성될 수 있다. 다만 필요에 따라 플라스틱, 금속재, 또는 지지부와 동일한 재료로 형성될 수도 있다.
As can be seen in Figures 2 to 5, the base member 2 of the anti-wrinkle film stacking cassette 1 according to the present invention serves to support the film stacking cassette in close contact with the bottom. The base member is formed in the form of a plurality of frames, but is not necessarily limited thereto, and may be configured in the form of an integral plate. A plurality of side frames 3 are installed perpendicular to the base member at regular intervals along the longitudinal direction of the base member 2. The number of side frames 3 installed in the base member may be variously applied depending on the size of the film 6 for loading. The top plate 4 is installed in close contact with the top of the side frame. The top plate 4 is preferably the same shape and size as the base member 2. Preferably, the side frame 3 and the base member 2, the side frame 3 and the top plate 4 are joined by welding or bolting. However, the present invention is not limited thereto, and may be coupled to a groove (not shown) formed in the base member 2 and the upper plate 4 by a known coupling method such as a snap coupling type. On the same imaginary plane (i.e., the plane on which the film is loaded in the future, not shown in the figure), the support portions 11 are installed on both inner sides of the side frame 3 so as to be parallel to the base member 2 and to face each other. . Each of these supports 11 has a first fixing means 12 for tightly fixing the film 6 loaded on the supports to the support. As a result, wrinkles may be prevented from being formed on the film 6 primarily loaded on the support part 11. Although the film 6 is tightly fixed to each support 11 by the first fixing means 12, the film 6 is formed by a self-weight as the film 6 is formed of a very thin and relatively flexible material. Wrinkles may be formed in the center portion or in close contact with the respective support portions 11. Therefore, when wrinkles are formed on the films 6 tightly fixed to the respective support portions 11 by such first fixing means 12, at least one block 13 ′ is removed to remove such wrinkles. The moving part 13 formed by the () is formed in at least one support part on the same imaginary plane. The moving part 13 of the anti-wrinkle film stack cassette 1 according to the present invention is coupled to the side of at least one support part 11 of the two or more support parts 11, and the height of the upper surface 15 of this moving part. And the height of the upper surface 16 of the support to which the moving part is coupled are formed equal. Therefore, it is possible to minimize the occurrence of wrinkles in the film when the film 6 is tightly fixed to the moving portion 13 and the support portion (11). In order to uniformly remove wrinkles of the film, the above-mentioned moving part is preferably formed of one integrated block 13 '. The second fixing means 14 is provided to closely fix the film loaded on the moving part 13. Although not necessarily limited thereto, the first and second fixing means 12 and 14 of the anti-wrinkle film stack cassette 1 according to the present invention are made of a vacuum suction method. That is, although not shown in the drawing, the vacuum pump sucks the air passing through the adsorption port 18 or the porous adsorption port 19, and by this vacuum adsorption, the film 6 is supported by the respective support parts 11. And it is fixed in close contact with the moving part (13). As shown in Figs. 7A and 7B, the height 15 of the upper surface of the moving part and the height of the upper surface 16 of the supporting part to which the moving part is coupled are formed the same. Thereby, wrinkles can be prevented from forming while the film 6 is being mounted on the support part 11 and the moving part 13. In a preferred embodiment of the present invention, the moving part 13 may be formed of a ceramic material. However, if necessary, it may be formed of the same material as plastic, metal, or support.

도 3 내지 도 5를 참조하여, 본 발명의 바람직한 제1 내지 제3 실시예를 이하에서 설명한다. 본 발명의 제1 실시예에서(도 3) 이동부(13)는 2개 이상의 블록(13')으로 형성되고, 개개의 블록(13')은 적어도 1개 이상의 구동수단(17)에 의해 블록(13')이 결합된 지지부(11)의 측면으로 이동하고, 이러한 구동수단(17)은 각각의 블록(13')이 결합된 지지부(11)에 장착된다. 상술한 구동수단(17)은 유압실린더 또는 공압실린더에 의해 구동한다. 본 발명의 제1 실시예에서 제1, 2 고정수단(12, 14)은 각각의 지지부(11)와 블록(13')의 상부표면에 형성된 흡착구(18) 형태로 형성된다. 따라서, 개개의 구동수단과 고정수단에 의해 개개의 블록(13')이 독립적으로 이동할 수 있고, 필름의 일부에만 형성된 주름을 제거할 수 있는 효과가 있다. 본 발명의 바람직한 제2 실시예(도 4)는 제1 실시예와 거의 유사하나, 제1, 2 고정수단(12. 14)이 각각의 지지부(11) 또는 이동부(13)의 길이방향을 따라서 각각의 상부표면 전체에 걸쳐 소정의 비율로 각각의 상부표면에 형성된 다공성 흡착구(19) 형태로 형성되는 점에서 제1 실시예와 차별화된다. 제1, 2 고정수단(12, 14)이 다공성 흡착구(19) 형태로 형성됨에 따라, 필름(6)을 밀착고정하는 과정에서 필름(6)에 주름이 발생하는 것을 최소화할 수 있다. 바람직하게는, 이러한 다공성 흡착구(19)는 지지부나 이동부의 상부표면적의 30%에서 80%의 비율로 각각의 상부표면(15, 16)에 형성된다. 본 발명의 바람직한 제3 실시예(도 5)는 제2 실시예와 거의 유사하나, 이동부(13)가 1개의 블록(13')으로 형성된다는 점에서 제2 실시예와 차별화 된다. 제3 실시예는 본 발명에 의한 가장 바람직한 실시예로, 이동부(13)가 일체로 이루어진 1개의 블록(13')으로 형성되고, 다공성 흡착구(19)로 형성되어, 필름(6)에 발생된 주름을 최소화하고, 필름의 주름을 전체적으로 균일하게 제거할 수 있다. 따라서, 생성된 필름의 균일한 품질과 필름 제거 공정의 시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.
3 to 5, preferred first to third embodiments of the present invention will be described below. In the first embodiment of the invention (FIG. 3), the moving part 13 is formed of two or more blocks 13 ′, and each block 13 ′ is blocked by at least one or more driving means 17. 13 'is moved to the side of the coupled support 11, and this drive means 17 is mounted to the support 11 to which each block 13' is coupled. The driving means 17 described above is driven by a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder. In the first embodiment of the present invention, the first and second fixing means 12 and 14 are formed in the form of suction holes 18 formed on the upper surface of each support 11 and the block 13 '. Therefore, the individual blocks 13 'can be moved independently by the individual driving means and the fixing means, and there is an effect that the wrinkles formed only on a part of the film can be removed. The second preferred embodiment of the present invention (FIG. 4) is almost similar to the first embodiment, but the first and second fastening means 12. 14 are directed to the longitudinal direction of each support 11 or moving part 13, respectively. Therefore, the first embodiment differs from the first embodiment in that it is formed in the form of porous adsorption holes 19 formed on each upper surface at a predetermined ratio over each upper surface. As the first and second fixing means 12 and 14 are formed in the shape of the porous suction hole 19, it is possible to minimize the occurrence of wrinkles in the film 6 in the process of closely fixing the film 6. Preferably, such porous adsorption holes 19 are formed on the respective upper surfaces 15, 16 at a rate of 30% to 80% of the upper surface area of the support or the moving part. The third preferred embodiment of the present invention (Fig. 5) is almost similar to the second embodiment, but differs from the second embodiment in that the moving part 13 is formed of one block 13 '. The third embodiment is the most preferred embodiment according to the present invention, which is formed of one block 13 ′ in which the moving part 13 is integrally formed, and is formed of the porous suction hole 19, The wrinkles generated can be minimized and the wrinkles of the film can be removed uniformly throughout. Therefore, there is an effect that can shorten the uniform quality of the resulting film and the time of the film removal process.

도 6는 도2 에 도시된 주름방지용 필름 적재 카세트의 일부에 필름이 적재된 상태의 개략적인 측단면도를 나타낸다. 도 7a는 본 발명에 의한 주름방지용 필름 적재 카세트의 이동부의 구동전의 상태를, 도 7b는 이동부의 구동후의 상태를 나타낸다. 도 6 및 도 7a 및 7b를 참조하여, 주름방지용 필름 적재 카세트(1)에서 주름 방지 원리를 이하에서 설명한다. 1개 이상의 블록(13')으로 형성되는 1개 이상의 이동부(13)를 구비한 각각의 지지부(11)에 필름(6)이 적재되면, 진공펌프가 작동하여 필름(6)이 흡착구(18) 또는 다공성 흡착구(19)를 구비한 제1, 2 고정수단(12, 14)에 의해 각각의 지지부와 이동부(또는 블록)에 밀착고정된다. 필름의 적재중에 필름(6)에 주름이 형성되면, 이동부(13)를 형성하는 1개 이상의 블록(13')은 적어도 1개 이상의 구동수단(17)에 의해 블록(13')이 결합된 지지부(11)를 향해 지지부(11)의 내부에 설치된 피스톤(20)이 유압이나 공압에 의해 행정거리(21) 만큼 이동하게 된다. 필름(6)에 형성된 주름의 양과 위치에 따라, 개개의 블록(13')이 일정거리만큼 이동하여 제1, 2 고정수단(12, 14)에 의해 지지부(11)와 이동부(13)에 밀착고정된 필름(6)에 장력을 가함으로써 필름에 발생된 주름을 제거하게 된다. 따라서, 필름(6)에 주름이 형성되지 않을 경우에는 구동수단(17)을 동작시킬 필요가 없어 불필요한 에너지 소모를 방지하고, 제작공정을 단축할 수 있게 된다. 또한, 필름(6)에 주름이 발생된 경우에는, 필름(6)을 적재하는 도중에 이동부(13)를 이동시켜 필름(6)에 형성된 주름을 제거함으로써, 별도의 필름의 주름제거 공정을 거치지 않아도 되므로 제조시간을 단축할 수 있고, 필름의 주름을 제거하여 필름의 품질과 생산성을 향상시킬 수 있게 된다. 더욱이, 필름의 일부에만 주름이 형성될 경우에는 일부의 블록(13')만을 독립적으로 이동시켜 필름의 주름을 제거할 수 있어 유지비용을 절감할 수 있다.
FIG. 6 shows a schematic side cross-sectional view of a state in which a film is loaded on a part of the anti-wrinkle film stacking cassette shown in FIG. Fig. 7A shows a state before driving of the moving part of the wrinkle preventing film stacking cassette according to the present invention, and Fig. 7B shows a state after driving of the moving part. 6 and 7A and 7B, the anti-wrinkle principle in the anti-wrinkle film stack cassette 1 will be described below. When the film 6 is loaded on each support part 11 having one or more moving parts 13 formed of one or more blocks 13 ', the vacuum pump is operated so that the film 6 is attached to the suction hole ( 18) or by the first and second fixing means 12, 14 having a porous suction port 19, it is fixed to each support portion and the moving portion (or block). If wrinkles are formed in the film 6 during loading of the film, the one or more blocks 13 ′ forming the moving part 13 are coupled to the blocks 13 ′ by at least one or more driving means 17. The piston 20 provided in the inside of the support part 11 toward the support part 11 moves by the stroke distance 21 by hydraulic or pneumatic pressure. According to the amount and position of the wrinkles formed in the film 6, the individual blocks 13 'are moved by a predetermined distance to the support portion 11 and the moving portion 13 by the first and second fixing means 12 and 14. By applying tension to the tightly fixed film 6, wrinkles generated in the film are removed. Therefore, when wrinkles are not formed in the film 6, it is not necessary to operate the driving means 17, thereby preventing unnecessary energy consumption and shortening the manufacturing process. In addition, when wrinkles are generated in the film 6, the moving part 13 is moved in the middle of loading the film 6 to remove the wrinkles formed in the film 6, so that the wrinkle removal process of the separate film is not performed. Since it is not necessary to reduce the manufacturing time, it is possible to improve the quality and productivity of the film by removing the wrinkles of the film. Furthermore, when wrinkles are formed only on a part of the film, only some of the blocks 13 'may be moved independently to remove the wrinkles of the film, thereby reducing maintenance costs.

본 발명은 도면에 도시된 변형예와 상기에서 설명된 실시예에 국한되지 않으며, 첨부된 청구항의 범주내에 속하는 다른 실시예로 확장될 수 있다.
The present invention is not limited to the modifications shown in the drawings and the embodiments described above, but may be extended to other embodiments falling within the scope of the appended claims.

1 : 필름 적재 카세트, 2 : 베이스 부재,
3 : 측면 프레임, 4 : 상판,
5 : 기판받이, 6 : 필름
11 : 지지부, 12 : 제1 고정수단,
13 : 이동부, 13' : 블록,
14 : 제2 고정수단, 15 : 이동부의 상부표면,
16 : 지지부의 상부표면, 17 : 구동수단,
18 : 흡착구, 19 : 다공성 흡착구,
20 : 피스톤, 21 : 행정거리. 1: film loading cassette, 2: base member,
3: side frame, 4: top plate,
5: substrate receiving, 6: film
11: support portion, 12: first fixing means,
13: moving part, 13 ': block,
14, the second fixing means, 15: the upper surface of the moving part,
16: upper surface of the support, 17: drive means,
18: adsorption port, 19: porous adsorption port,
20: piston, 21: stroke.

Claims (8)

베이스 부재(2);
상기 베이스 부재(2)의 길이방향을 따라 일정간격으로 수직하게 설치되는 복수의 측면 프레임(3);
상기 측면 프레임(3)의 상부에 접촉하여 설치되는 상판(4);
상기 베이스 부재(2)에 평행하도록 측면 프레임의 내부 양측면에 설치되어 필름(6)을 적재하는 2개 이상의 지지부(11);
상기 적재된 필름(6)을 고정하기 위해 상기 각각의 지지부(11)에 형성되는 제1 고정수단(12);
상기 제1 고정수단(12)에 의해 상기 각각의 지지부(11)에 고정된 상기 필름(6)에 형성된 주름을 제거하기 위해 이동하는 적어도 1개 이상의 블록(13')으로 형성되는 이동부(13); 및
상기 적재된 필름(6)을 상기 이동부에 고정하기 위해 상기 이동부(13)에 형성되는 제2 고정수단(14);을
구비하는 것을 특징으로 하는 주름방지용 필름 적재 카세트.
Base member 2;
A plurality of side frames 3 installed vertically at regular intervals along the longitudinal direction of the base member 2;
An upper plate (4) installed in contact with an upper portion of the side frame (3);
Two or more support parts 11 mounted on both inner side surfaces of the side frame so as to be parallel to the base member 2 for loading the film 6;
First fixing means (12) formed on each of the support parts (11) to fix the loaded film (6);
A moving part 13 formed of at least one block 13 'that moves to remove wrinkles formed in the film 6 fixed to the respective supporting parts 11 by the first fixing means 12. ); And
Second fixing means (14) formed on the moving part (13) to fix the loaded film (6) to the moving part;
Anti-wrinkle film stacking cassette characterized in that it comprises.
제1항에 있어서,
상기 이동부(13)는 상기 2개 이상의 지지부(11) 중 적어도 1개의 지지부의 측면에 결합되고,
상기 이동부의 상부표면(15)의 높이와 상기 이동부가 결합되는 지지부의 상부표면(16)의 높이가 동일하게 형성되는 것을 특징으로 하는 주름방지용 필름 적재 카세트.
The method of claim 1,
The moving part 13 is coupled to the side of at least one of the two or more support parts 11,
The height of the upper surface (15) of the moving part and the height of the upper surface (16) of the support portion to which the moving part is coupled to the same, characterized in that the film loading cassette for preventing wrinkles.
제2항에 있어서,
상기 이동부(13)를 형성하는 각각의 블록(13')은 적어도 1개 이상의 구동수단(17)에 의해 상기 블록(13')이 결합된 상기 지지부(11)의 측면으로 이동하고,
상기 구동수단(17)은 상기 각각의 블록(13')이 결합되는 지지부(11)에 장착되는 것을 특징으로 하는 주름방지용 필름 적재 카세트.
3. The method of claim 2,
Each block 13 'forming the moving part 13 is moved to the side of the support part 11 to which the block 13' is coupled by at least one or more driving means 17,
The driving means (17) is a wrinkle preventing film stacking cassette, characterized in that mounted to the support portion (11) to which the respective blocks (13 ') are coupled.
제3항에 있어서,
상기 구동수단(17)은 유압실린더 또는 공압실린더의 구동에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는 주름방지용 필름 적재 카세트.
The method of claim 3,
The driving means (17) is wrinkled film loading cassette, characterized in that driven by the drive of the hydraulic cylinder or pneumatic cylinder.
제1항에 있어서,
상기 제1, 2 고정수단(12, 14)은 상기 각각의 지지부(11) 또는 상기 각각의 블록(13')의 상부표면에 형성된 흡착구(18) 형태인 것을 특징으로 하는 주름방지용 필름 적재 카세트.
The method of claim 1,
The first and second fixing means (12, 14) is an anti-wrinkle film stacking cassette, characterized in that in the form of a suction port 18 formed on the upper surface of each of the support portion 11 or the block (13 '). .
제1항에 있어서,
상기 제1, 2 고정수단(12, 14)은 상기 각각의 지지부(11) 또는 이동부(13)의 길이방향을 따라서 각각의 상부표면 전체에 걸쳐 소정의 비율로 각각의 상부표면에 형성된 다공성 흡착구(19) 형태인 것을 특징으로 하는 주름방지용 필름 적재 카세트.
The method of claim 1,
The first and second fixing means (12, 14) is porous adsorption formed on each upper surface at a predetermined rate over the entire upper surface along the longitudinal direction of each of the support portion 11 or the moving portion (13) Wrinkle resistant film stacking cassette, characterized in that the sphere (19).
제6항에 있어서,
상기 제1, 2 고정수단(12, 14)은 진공흡착방식으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 주름방지용 필름 적재 카세트.
The method according to claim 6,
The first and second fixing means (12, 14) is a wrinkle preventing film stacking cassette, characterized in that the vacuum adsorption method.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 이동부는 세라믹 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 주름방지용 필름 적재 카세트.
The antiwrinkle film loading cassette according to any one of claims 1 to 7, wherein the moving part is formed of a ceramic material.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170057675A (en) * 2015-11-17 2017-05-25 세메스 주식회사 Apparatus for loading a substrate

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020059040A (en) * 2000-12-30 2002-07-12 안민혁 Apparatus to prevent bending of large size substrate board
KR100447964B1 (en) 2003-08-22 2004-09-08 (주)애드컴텍 Cassette for substrate loading
JP2007096027A (en) 2005-09-29 2007-04-12 Daihen Corp Substrate housing device
JP2008063020A (en) 2006-09-04 2008-03-21 Olympus Corp Substrate carrying device, and substrate inspection system using it

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020059040A (en) * 2000-12-30 2002-07-12 안민혁 Apparatus to prevent bending of large size substrate board
KR100447964B1 (en) 2003-08-22 2004-09-08 (주)애드컴텍 Cassette for substrate loading
JP2007096027A (en) 2005-09-29 2007-04-12 Daihen Corp Substrate housing device
JP2008063020A (en) 2006-09-04 2008-03-21 Olympus Corp Substrate carrying device, and substrate inspection system using it

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170057675A (en) * 2015-11-17 2017-05-25 세메스 주식회사 Apparatus for loading a substrate
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