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KR101323678B1 - 취성 재료 기판의 브레이크 방법 - Google Patents

취성 재료 기판의 브레이크 방법 Download PDF

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KR101323678B1
KR101323678B1 KR1020127009799A KR20127009799A KR101323678B1 KR 101323678 B1 KR101323678 B1 KR 101323678B1 KR 1020127009799 A KR1020127009799 A KR 1020127009799A KR 20127009799 A KR20127009799 A KR 20127009799A KR 101323678 B1 KR101323678 B1 KR 101323678B1
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KR
South Korea
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scribe line
brake
substrate
roller
brittle material
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KR1020127009799A
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Inventor
카츠노리 이치카와
Original Assignee
미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Publication date
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Abstract

(과제) 지금까지보다도 단면 강도를 강하게 할 수 있는 브레이크 방법을 제공한다.
(해결 수단) 취성 재료 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 공정과, 스크라이브 라인을 따라서 브레이크하는 브레이크 공정으로 이루어지는 취성 재료 기판의 브레이크 방법으로서, 브레이크 공정시에, 테이블 상에 올려놓여진 취성 재료 기판에 대하여, 스크라이브 라인 근방에서 스크라이브 라인으로부터 편측(片側)으로 이격한 위치를 따라서 브레이크 롤러를 전동시켜 압접함으로써 하중을 인가하도록 하고, 저하중으로 절곡하도록 하여 분단한다.

Description

취성 재료 기판의 브레이크 방법{METHOD FOR BREAKING BRITTLE MATERIAL SUBSTRATE}
본 발명은, 취성 재료 기판 상에 형성된 스크라이브 라인(scribing line)을 따라서 분단(dividing)하기 위한 브레이크 방법에 관한 것이다. 여기에서 말하는 취성 재료 기판에는, 유리, 세라믹스(저온 소성 세라믹스 및 고온 소성 세라믹스), 실리콘 등의 반도체 재료, 사파이어 등이 포함된다. 또한, 분단되는 기판의 형태는 단판(單板)뿐만 아니라, 2매의 기판이 접합된 접합 기판도 포함된다.
도 8은, 종래로부터 행해지고 있는 패널 제품 등의 기능막이 형성된 유리 기판을, 브레이크 바(breaking bar)를 이용하여 분단하는 방법의 일 예를 나타내는 도면이다. 우선, 기판(G)을 스크라이브 장치의 테이블 상에 올려놓고, 커터 휠(cutter wheel;W)을 이용하여 제1면의 분단 예정 라인을 따라서 스크라이브 라인(S)을 형성한다(도 8(a)). 이어서, 기판(G)을 브레이크 장치의 탄성 테이블 상에 올려놓고, 제1면과는 반대측의 제2면으로부터 스크라이브 라인(S)의 바로 뒤쪽을 따라서 브레이크 바(F)를 대고 브레이크 하중을 인가함으로써 좌우 대칭으로 굽힘 모멘트를 가하여 브레이크를 행한다(도 8(b))(특허문헌 1 참조). 브레이크 바로 분단을 행하는 경우는, 큰 하중으로 1개의 스크라이브 라인(S)을 한번에 분단하기 때문에, 기판에 가해지는 부하가 커져, 분단면이 파괴되기 쉽고 단면 강도를 강하게 하는 것이 곤란해지기 쉽다.
또한, 종래로부터 행해지고 있는 유리 기판의 다른 분단 방법으로서, 브레이크 롤러를 이용하는 방법도 있다. 예를 들면, 도 9에 나타내는 바와 같이 2매의 기판(G1, G2)이 접합된 셀 기판을 분단할 때에, 미리 스크라이브 라인(S1, S2)을 셀 기판의 양측의 외측면(제1면 및 제2면이 됨)에 형성하고, 스크라이브 라인(S1, S2)을 따라서 롤러(64)를 압접하도록 하여 브레이크 하중을 인가하는 방법이 이루어지고 있다. 롤러(64)는, 스크라이브 라인(S1, S2)에 직접 접촉하지 않도록, 홈(63)이 형성된 롤러(64)를 사용하도록 하고 있다. 따라서, 롤러(64)는 스크라이브 라인(S1, S2)의 좌우 양측을, 거의 균등하게 누르도록 하고 있다(특허문헌 2 참조). 롤러 브레이크에서는, 스크라이브 라인의 일단측(一端側)으로부터 타단측(他端側)을 향하여 기판을 순차로 누르고, 누름 부위의 이동에 대응하여 균열을 신전(伸展)시키기 때문에, 기판을 브레이크 바를 이용하는 경우보다도 작은 하중으로 분단할 수 있어, 기판에 가해지는 부하는 브레이크 바보다도 작아진다.
이와 같이, 단판이든, 접합 기판이든, 기판을 분단할 때에는 제1 공정에서 스크라이브 라인을 형성하고, 제2 공정에서 브레이크를 행하도록 하고 있다. 또한, 제1 공정의 스크라이브에는, 일반적으로 커터 휠을 전동(rolling)함으로써 스크라이브 라인을 형성하는 메커니컬 스크라이브(mechanical scribing), 혹은, 레이저 조사에 의한 가열과 그 후의 냉각에 의한 응력차를 이용하여 스크라이브 라인을 형성하는 레이저 스크라이브 등이 행해진다.
일본공개특허공보 2004-131341호 국제공개 WO 2006/129563호 공보
최근, 플랫 패널용의 유리 기판 등에서는 경량화를 위해, 기판 재료의 박판화, 경질화가 진행되고 있다. 그 때문에, 스크라이브 라인 형성 후에 기판을 브레이크할 때에, 기판의 경질화의 영향으로 분단면이 파괴되기 쉬워져, 칩핑(chipping)이 발생하여, 소망하는 단면 강도를 얻는 것이 곤란해지고 있다. 또한, 보통의 유리 기판이라도, 그 판두께가 두꺼운 경우(예를 들면 1㎜ 이상)에는, 브레이크시에 큰 하중으로 브레이크 바를 눌러댈 필요가 있어, 역시 칩핑이 발생하기 쉬워지고 있다.
그래서, 본 발명은 롤러 브레이크를 이용한 브레이크 방법으로서, 지금까지보다도 단면 강도를 강하게 할 수 있는 브레이크 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에서는 다음과 같은 기술적 수단을 강구했다. 즉, 본 발명의 취성 재료 기판의 브레이크 방법은, 취성 재료 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 공정과, 스크라이브 라인을 따라서 브레이크하는 브레이크 공정으로 이루어지는 취성 재료 기판의 브레이크 방법으로서, 브레이크 공정시에, 테이블 상에 올려놓여진 취성 재료 기판에 대하여, 스크라이브 라인 근방에서 스크라이브 라인으로부터 편측(片側)으로 이격한 위치를 따라서 브레이크 롤러를 전동시켜 압접함으로써 하중을 인가하도록 하고 있다. 여기에서, 스크라이브 라인을 형성하는 공정은, 커터 휠을 압접시키는 메커니컬 스크라이브라도 좋고, 레이저 조사에 의한 열응력을 이용하는 레이저 스크라이브라도 좋다.
본 발명에 의하면, 브레이크 공정시에, 스크라이브 라인의 좌우 양측에 대하여, 균등하게 브레이크 롤러에 의한 브레이크 하중을 인가하는 것이 아니라, 스크라이브 라인의 근방이며 스크라이브 라인의 편측에만 브레이크 하중을 인가하도록 하여, 절곡(bending)하도록 브레이크한다. 이와 같이 하여 얻어지는 분단면은, 예상에 반하여 지금까지 좌우 균등하게 하중을 걸어 분단한 분단면보다도 우수한 단면 강도로 할 수 있었다. 이것은, 하나는 브레이크 롤러가 전동할 때에 기판의 분단면에 가해지는 진동의 영향이 작아지는 것, 나아가서는, 브레이크 롤러의 단(端)과 스크라이브 라인이 수평 방향으로 이격하기 때문에 동일한 하중을 건 경우라도 종래와 같이 스크라이브 라인 바로 위로부터 하중을 인가하는 경우보다도 기판의 휨량이 증대되기 때문에, 저하중에서도 종래 방법과 동등한 휨 변형을 발생시킬 수 있기 때문이라고 생각된다.
또한, 하중을 인가시키는 위치를 스크라이브 라인으로부터 이격시킴으로써, 브레이크시에 하중이 인가되는 위치가 스크라이브 라인으로부터 어긋나 한쪽으로 치우치는 결과, 분단면이 수직으로 되지 않고, 비스듬하게 된다고 생각되고 있었지만(그 때문에 분단면이 수직이 되도록 스크라이브 라인의 바로 위에 인가하고 있었지만), 실제로 분단한 결과는 거의 수직인 분단면이 얻어져, 문제가 되지 않는 것을 알 수 있었다.
상기 발명에 있어서, 브레이크 롤러의 압접면의 단에서 스크라이브 라인까지의 거리가 0.5㎜ 이상 2㎜ 이하이도록 하는 것이 바람직하다. 브레이크 롤러의 압접면의 단에서 스크라이브 라인까지의 거리를 상기 범위로 함으로써, 종래보다도 저하중으로 분단할 수 있어, 단면 강도를 강하게 할 수 있다.
상기 발명에 있어서, 브레이크 공정시에, 탄성체층이 포함되는 테이블을 이용하도록 해도 좋다. 이에 따라, 브레이크 하중을 인가시켰을 때에, 기판의 휨량을 증대시킬 수 있어, 탄성체층이 없는 테이블을 이용한 경우보다 더욱 저하중으로 해도 분단이 가능해지며, 분단면에 부여하는 부하를 작게 할 수 있기 때문에 단면 강도를 더욱 강하게 할 수 있다.
상기 발명에 있어서, 취성 재료가 스크라이브 라인의 편측에 제품 영역이 형성되고, 스크라이브 라인의 다른 한쪽의 편측에 단재(端材) 영역이 형성되어 있는 경우에, 브레이크 롤러는 단재 영역측에서 전동되도록 해도 좋다. 브레이크 롤러의 전동을 단재 영역측에서 행함으로써, 브레이크 롤러의 전동으로 발생하는 압접력에 의해 발생하는 제품의 문제의 발생을 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태인 브레이크 방법을 실시하기 위한 브레이크 장치의 전체 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 X스테이지(21)의 구성을 나타내는 도면이다.
도 3은 도 2의 롤러 헤드(40)의 단면도이다.
도 4는 도 1의 브레이크 롤러의 롤러 부분의 구성을 나타내는 도면이다.
도 5는 분단 대상의 유리 기판의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 6은 도 5의 기판에 스크라이브 라인을 형성할 때의 상태를 나타내는 도면이다.
도 7은 도 6의 기판을 브레이크할 때의 상태를 나타내는 도면이다.
도 8은 유리 기판을 브레이크 바로 분단하는 종래 방법의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 9는 유리 기판을 브레이크 롤러로 분단하는 종래 방법의 일 예를 나타내는 도면이다.
(발명을 실시하기 위한 형태)
이하, 본 발명에 따른 본 발명의 브레이크 방법의 상세를 도면에 기초하여 상세하게 설명한다.
(브레이크 장치) 도 1은, 본 발명에 따른 브레이크 방법을 실시할 때에 이용하는 브레이크 장치(10)의 전체 구성을 나타내는 도면이다. 베이스(11) 상에는, 기판(G)을 올려놓는 테이블(12)이 설치되어 있다. 테이블(12)은, Y방향으로 이동하는 Y축 구동 기구(13)와, 테이블(12)의 하방에 부착되어 테이블(12)을 회전하는 테이블 회전 기구(14)를 구비하고 있다. 테이블(12)의 상면에는 고무(12a)가 깔려 있어, 기판(G)에 위로부터 하중이 인가되었을 때에 기판이 휘기 쉽도록 되어 있다. Y축 구동 기구(13)는, 테이블 회전 기구(14)를 통하여 테이블(12)을 지지하는 Y스테이지(15)와, Y스테이지(15)를 Y방향으로 구동시키는 리니어 모터(16)와, Y방향의 운동을 안내하는 리니어 가이드(17)로 이루어진다. 테이블 회전 기구(14)는, Y스테이지(15) 상에 부착되어 있으며, 모터(도시하지 않음)에 의해 수평면 내에서 테이블(12)을 회전할 수 있도록 되어 있다.
또한, 베이스(11)의 위에는 X스테이지(21) 및 이를 X방향으로 이동시키기 위한 X축 구동 기구(22)가 설치되어 있다. X축 구동 기구(22)는, 테이블(12)을 걸치도록 배치되는 브리지 가이드(24)와 이를 지지하는 지주(支柱; 23)로 이루어진다. 브리지 가이드(24)는, X스테이지(21)를 X방향으로 구동하는 리니어 모터(도시하지 않음)와, X방향의 운동을 안내하는 리니어 가이드(25)를 구비하고 있다.
다음으로, X스테이지(21)에 대해서 설명한다. 도 2는 X스테이지(21)의 구성을 나타내는 도면이다. 또한, 도 1에서는 X스테이지(21)의 외측을 덮는 커버를 부착한 상태를 나타내고 있지만, 도 2에서는 커버를 벗겨 내부 기구가 보이도록 하여 나타내고 있다. X스테이지(21)에는, 리니어 가이드(25)에 의해 안내되는 베이스 플레이트(31)가 설치되어 있으며, 베이스 플레이트(31) 상에는 롤러(32)를 Z방향으로 이동시키기 위한 Z축 구동 기구(33)가 설치되어 있다. Z축 구동 기구(33)는, Z스테이지(34)와, Z스테이지(34)를 Z방향으로 구동시키는 볼 나사 기구(35)와, Z스테이지(34)의 Z방향의 운동을 안내하는 리니어 가이드(36)로 이루어진다.
Z스테이지(34)에는 롤러(32)를 기판(G)으로 눌러댈 때의 가압 기구인 하중 인가 실린더(37)가 부착되어 있고, 하중 인가 실린더(37)의 로드(37a)에는 진동 액츄에이터(38)를 통하여 롤러 헤드(40)가 부착되어 있다. 하중 인가 실린더(37)는 구체적으로는, 에어 실린더, 서보 모터, 보이스 코일 모터 등을 이용할 수 있다. 진동 액츄에이터(38)는 초자왜소자가 내장되어 있고, 필요에 따라서 진동을 부여하기 위한 것이며, 옵션으로서 부착되어 있다. 진동 액츄에이터(38)를 작동시킴으로써, 브레이크 하중이 진동함으로써 보다 강한 브레이크를 행할 수 있게 된다.
하중 인가 실린더(37)는, Z축 구동 기구(33)에 의해 롤러(32)의 높이를 조정한 후에, 롤러(32)가 기판(G)을 압압하는 하중을 조정할 수 있도록 되어 있다.
도 3은, 롤러(32)를 지지함과 함께 진동 액츄에이터(38)의 진동을 롤러(32)에 전달하는 롤러 헤드(40)의 단면도이다. 롤러 헤드(40)는, 진동 액츄에이터(38)가 고정되는 본체부(41)와, 롤러(32)를 회전이 자유롭게 지지(holding)하는 홀더(42)와, 진동 액츄에이터(38)로부터의 진동을 홀더(42)에 전달하는 샤프트(43)와, 샤프트(43)의 운동을 안내하는 가이드(44)를 갖는다. 가이드(44)와 샤프트(43)와의 사이에는, 볼(도시하지 않음)이 끼워 넣어져 샤프트(43)가 가이드(44)에 대하여 매끄럽게 운동할 수 있도록 되어 있다. 진동 액츄에이터(38)의 로드(38a)는, 연결부(45)에서 샤프트(43)와 나사 결합된다. 샤프트(43)의 하단은 본체부(41)로부터 돌출되어 홀더에 나사 결합되어 있다. 홀더(42)의 하단은 두 갈래로 나누어져, 롤러(32)의 회전축을 지지함으로써, 롤러(32)가 회전이 자유롭게 지지된다.
도 4는 롤러(32)의 정면도 및 측면도이다. 롤러(32)는, 원주 형상을 이루고 있고, 지축을 통과하기 위한 구멍(61)이 회전 중심으로 형성되어 있다. 롤러(32)의 구체적 치수는 외경 2㎜∼50㎜, 두께 0.5㎜∼10㎜의 범위에서 선택 가능하고, 재질로서는, 기판과의 접촉면에 흠집이 나기 어렵게 하기 위해, 폴리아세탈, 폴리우레탄 고무 등의 고무 경도 Hs가 20°∼90°인 재료가 사용되고 있다.
브레이크 장치(10)는, 컴퓨터 시스템(도시하지 않음)으로 제어되고, 컴퓨터 시스템에 의해 X축 구동 기구(22), Y축 구동 기구(13), Z축 구동 기구(33), 테이블 회전 기구(14)를 비롯하여, 장치 각부의 조작이 행해진다.
(브레이크 방법) 이어서, 브레이크 장치(10)를 이용한 브레이크 방법의 일 실시 형태에 대해서 도면을 이용하여 설명한다. 일반적으로, 기판을 XY방향으로 브레이크하는 경우에, (1) 맨 처음에 X방향과 Y방향으로 스크라이브 라인을 형성하는 크로스 스크라이브를 행하고, 그 후에, X방향, Y방향으로 브레이크를 행하는 가공 순서와, (2) X방향으로 스크라이브 라인을 형성하고, 이어서, X방향의 브레이크를 행하여, 기판을 단책(短冊) 형상으로 분단한 후, Y방향의 스크라이브를 행하고, 마지막에 Y방향의 브레이크를 행하는 가공 순서의 어느 쪽이 채용된다. 여기에서는, 설명의 편의상, 후자인 (2)의 가공 순서에 있어서의 X방향의 스크라이브 공정 및 브레이크 공정에 대해서 설명하지만, 그 후의 Y방향의 분단에 대해서도 동일한 순서로 분단이 행해진다. 또한, (1)의 크로스 스크라이브를 행하는 경우에 대해서도 브레이크 공정에 대해서는 동일한 순서가 채용된다.
도 5는, 분단하려고 하는 패널 제품(P1∼P6)이 되는 영역이 형성된 유리 기판(M)(머더 기판(mother substrate))의 가공 전의 평면도 및 A-A' 단면도이다. 또한, 도시함에 있어서 편의상, 인접하는 패널 제품끼리의 사이의 단재 영역은 실제보다도 큰 폭으로 그려져 있다. 유리 기판(M)은, 기판(G1)과 기판(G2)이 접합된 구조를 갖고 있고, 각 패널 영역(P1∼P6)에는 단자(T)가 되는 영역이 포함되어 있다.
도 6은 도 5의 유리 기판(M)에 스크라이브 라인을 형성할 때의 상태를 나타내는 평면도 및 B-B' 단면도이다. 유리 기판(M)으로부터 패널(P1∼P6)을 잘라내기 위해, 기판(G1)측에 대해서는, 각 패널의 단변이 되는 위치에 스크라이브 라인(S1∼S6)을 형성한다. 스크라이브 라인(S1∼S6)은, 예를 들면 커터 휠을 각 패널의 단변을 따라서 이동시킴으로써 형성할 수 있다. 이어서, 기판(G1)과 동일하게 기판(G2)에 대해서도 스크라이브 라인(S7∼S12)을 형성한다. 이때 스크라이브 라인(S1)과 스크라이브 라인(S7), 스크라이브 라인(S3)과 스크라이브 라인(S9), 스크라이브 라인(S5)과 스크라이브 라인(S11)은 단자(T)를 노출시키기 위해, 단자(T)의 폭만큼 위치가 어긋나도록 형성된다. 또한, 스크라이브 라인(S2)과 스크라이브 라인(S8), 스크라이브 라인(S4)과 스크라이브 라인(S10), 스크라이브 라인(S6)과 스크라이브 라인(S12)은 대향하도록 형성된다.
도 7은 도 6에서 스크라이브 라인이 형성된 유리 기판(M)에 대하여, 브레이크 롤러(32)(도 1 참조)를 압접시킬 때의 상태를 나타내는 평면도 및 C-C' 단면도이다. 스크라이브 라인(S1∼S6)이 형성된 기판(G1)에 대하여, 순차로 롤러(32)를 압접시킨다. 우선, 스크라이브 라인(S1)에 대한 브레이크를 행하는 경우에, 롤러(32)를 압접시키는 위치는, 스크라이브 라인(S1)을 사이에 끼워 패널(P1)측(도 7에 있어서의 S1의 우측)과는 반대측의 단재 영역측(도 7에 있어서의 S1의 좌측)으로 하고, 스크라이브 라인(S1)의 근방에서 스크라이브 라인(S1)으로부터 1㎜의 거리만큼 이격된 위치(B1)에, 롤러(32)의 단이 오도록 한다. 또한, 스크라이브 라인(S1)과의 거리는 0.5㎜∼2㎜ 정도이면 좋다. 그리고, 스크라이브 라인(S1)에 평행하게 롤러(32)를 압접 전동시킨다. 이에 따라 스크라이브 라인(S1)에는 절곡하여 분단하려고 하는 힘이 가해지도록 한다. 그리고, 스크라이브 라인(S1)과 롤러(32)의 단은, 거리가 1㎜ 정도(0.5㎜∼2㎜) 떨어져 있기 때문에, 종래와 같이 스크라이브 라인(S1) 상을 압접하고 있었을 때보다도 큰 굽힘 모멘트가 가해지게 되어 있다. 그렇기 때문에, 작은 하중으로 분단이 가능해져, 단면 강도도 향상하게 된다.
이어서, 스크라이브 라인(S2)에 대한 브레이크를 행하는 경우의 롤러(32)를 압접시키는 위치는, 스크라이브 라인(S2)을 사이에 끼워 패널(P1)측(도 1에 있어서의 S2의 좌측)과는 반대측의 단재 영역측(도 1에 있어서의 S2의 우측)으로 하고, 스크라이브 라인(S1)의 근방에서 스크라이브 라인(S1)으로부터 1㎜의 거리만큼 이격된 위치(B2)에, 롤러(32)의 단이 오도록 한다. 이 경우도 스크라이브 라인(S2)과의 거리는 0.5㎜∼2㎜ 정도이면 좋다. 이하, 마찬가지로, 스크라이브 라인(S3∼S6)에 대해서도 각각 단재 영역측에서 스크라이브 라인(S3∼S6)으로부터 1㎜ 정도 이격된 위치(B3∼B6)에 롤러(32)의 단이 오도록 하여 압접한다. 이에 따라, 기판(G1)은 스크라이브 라인(S1∼S6)을 따라서 종래보다도 저하중으로 분단할 수 있게 된다.
이어서, 기판(G2)의 스크라이브 라인(S7∼S12)에 대해서도 동일하게, 패널과 반대측에서, 각각 스크라이브 라인으로부터 1㎜ 정도 이격시킨 위치(B7∼B12)에 롤러(32)를 대고 저하중으로 압압한다. 이에 따라, 기판(G1, G2) 양측의 단면이 형성된다. 이와 같이 함으로써, 브레이크시에 가해지는 브레이크 하중을 작게 할 수 있기 때문에, 단면에 걸리는 부하가 억제되는 결과, 단면 강도가 강해진다. 또한, 롤러(32)의 진동이 스크라이브 라인으로부터 이격한 위치에 가해져, 패널측으로부터 떨어진 위치가 되기 때문에, 진동의 영향이 억제되는 결과, 단면 강도가 강해진다.
그리고, X방향의 브레이크를 행한 후, 이어서 Y방향에 대해서도 동일한 스크라이브와 브레이크를 행함으로써, 각 패널(P1∼P6)에 분단된다.
상기 실시 형태에서는, 기판(G1과 G2)을 접합한 기판에 대해서 설명했지만, 단판 구조에 대해서도 동일하게 본 발명을 적용할 수 있다.
본 발명의 브레이크 방법은, 유리 등의 취성 재료로 이루어지는 기판을, 스크라이브 라인을 따라서 브레이크할 때에 이용할 수 있다.
10 : 브레이크 장치
12 : 테이블
13 : Y축 구동 기구
14 : 테이블 회전 기구
21 : X스테이지
22 : X축 구동 기구
32 : 롤러
33 : Z축 구동 기구
37 : 하중 인가 실린더
38 : 진동 액츄에이터
40 : 롤러 헤드
43 : 샤프트
44 : 가이드
S : 스크라이브 라인
G : 기판

Claims (5)

  1. 취성 재료 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 공정과, 상기 스크라이브 라인을 따라서 브레이크하는 브레이크 공정으로 이루어지는 취성 재료 기판의 브레이크 방법으로서, 브레이크 공정시에, 테이블 상에 올려놓여진 취성 재료 기판에 대하여, 상기 스크라이브 라인 근방에서 스크라이브 라인으로부터 편측(片側)으로 이격한 위치를 따라서 브레이크 롤러를 전동(rolling)시켜 압접함으로써 하중을 인가하는 것을 특징으로 하는 취성 재료 기판의 브레이크 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    브레이크 롤러의 압접면과 스크라이브 라인과의 거리가 0.5㎜ 이상 2㎜ 이하인 취성 재료 기판의 브레이크 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 브레이크 공정시에, 탄성체층이 포함되는 테이블을 이용하는 것을 특징으로 하는 취성 재료 기판의 브레이크 방법.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 취성 재료가 스크라이브 라인의 편측에 제품 영역이 형성되고, 스크라이브 라인의 다른 한쪽의 편측에 단재(端材) 영역이 형성되어 있는 경우에, 브레이크 롤러는 단재 영역측에서 전동되는 것을 특징으로 하는 취성 재료 기판의 브레이크 방법.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 취성 재료가 스크라이브 라인의 편측에 제품 영역이 형성되고, 스크라이브 라인의 다른 한쪽의 편측에 단재 영역이 형성되어 있는 경우에, 브레이크 롤러는 단재 영역측에서 전동되는 것을 특징으로 하는 취성 재료 기판의 브레이크 방법.

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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103412432B (zh) * 2013-08-29 2016-07-06 深圳市华星光电技术有限公司 液晶面板裂片装置及裂片方法
JP2016043505A (ja) * 2014-08-20 2016-04-04 三星ダイヤモンド工業株式会社 脆性材料基板の分断方法及び分断装置
JP6413496B2 (ja) 2014-08-29 2018-10-31 三星ダイヤモンド工業株式会社 液晶表示パネルの製造方法
JP2016104683A (ja) 2014-11-19 2016-06-09 坂東機工株式会社 ガラス板の折割方法及びその折割装置
CN104926097A (zh) * 2015-07-08 2015-09-23 常州市金海基机械制造有限公司 一种数控玻璃切割机
TW202039193A (zh) * 2016-02-26 2020-11-01 日商三星鑽石工業股份有限公司 脆性基板之分斷方法
JP6601388B2 (ja) * 2016-12-28 2019-11-06 坂東機工株式会社 ガラス板の折割方法
CN108162068A (zh) * 2018-01-29 2018-06-15 广东利元亨智能装备有限公司 一种分板装置及分板上料设备
CN111112808A (zh) * 2018-10-30 2020-05-08 三星钻石工业股份有限公司 基板分断装置及基板分断方法
JP2021154502A (ja) * 2020-03-25 2021-10-07 三星ダイヤモンド工業株式会社 脆性材料基板のブレイク方法並びに基板加工装置
JP2022003001A (ja) * 2020-06-23 2022-01-11 日本電気硝子株式会社 ガラス板の製造方法及びその製造装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07138039A (ja) * 1993-11-12 1995-05-30 Fuji Xerox Co Ltd スクライブ装置
JPH09286628A (ja) * 1996-04-25 1997-11-04 Kyocera Corp ガラス基板分断方法
WO2004073946A1 (ja) 2003-02-21 2004-09-02 Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. 基板加工用テーブル及び基板の加工装置
JP2006289625A (ja) 2005-04-05 2006-10-26 Sony Corp 貼り合わせ基板の基板ブレイク装置及びその基板ブレイク方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100789455B1 (ko) * 2002-02-20 2007-12-31 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정 패널의 절단 방법
JP4169565B2 (ja) * 2002-10-11 2008-10-22 三星ダイヤモンド工業株式会社 脆性材料基板のブレーク方法及びその装置並びに加工装置
KR101003610B1 (ko) * 2003-09-24 2010-12-23 엘지디스플레이 주식회사 액정 표시패널의 절단장치 및 그 절단방법
JP4666391B2 (ja) * 2004-12-28 2011-04-06 三星ダイヤモンド工業株式会社 ガラス基板の分断方法
CN101232982B (zh) * 2005-05-30 2012-03-21 三星钻石工业株式会社 脆性材料基板分割装置及分割方法
US20060280920A1 (en) * 2005-06-10 2006-12-14 Abbott John S Iii Selective contact with a continuously moving ribbon of brittle material to dampen or reduce propagation or migration of vibrations along the ribbon

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07138039A (ja) * 1993-11-12 1995-05-30 Fuji Xerox Co Ltd スクライブ装置
JPH09286628A (ja) * 1996-04-25 1997-11-04 Kyocera Corp ガラス基板分断方法
WO2004073946A1 (ja) 2003-02-21 2004-09-02 Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. 基板加工用テーブル及び基板の加工装置
JP2006289625A (ja) 2005-04-05 2006-10-26 Sony Corp 貼り合わせ基板の基板ブレイク装置及びその基板ブレイク方法

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Publication number Publication date
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