KR101322983B1 - 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 - Google Patents

Abstract

기판의 표리 양면을 균일하게 처리하는 것이 가능한 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공하는 것을 목적으로 하는 것으로서, 처리조(11)에 에칭액을 저류하는 에칭액 공급 공정과, 유리 기판(100)을 반송 롤러(21)에 의해 반송하여 에칭액이 저류된 처리조(11) 내에 진입시키는 기판 반입 공정과, 유리 기판(100)의 하면으로부터 에칭액을 토출함으로써 유리 기판(100)을 반송 롤러(21)보다 상방이며, 또한, 처리조(11)에 저류된 에칭액의 액면보다 하방의 위치까지 부상시키는 에칭액 토출 공정과, 에칭액의 토출을 정지하여 유리 기판(100)을 반송 롤러(21)와 맞닿는 위치까지 하강시키는 기판 하강 공정과, 처리조(11)에 저류된 에칭액을 배출하는 에칭액 배출 공정과, 유리 기판(100)을 반송 롤러(21)에 의해 반송하여 처리조(11)에서 퇴출시키는 기판 반출 공정을 구비한다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD}

본 발명은, LCD(액정 표시 장치)나 PDP(플라즈마 디스플레이) 등의 FPD(플랫 패널 디스플레이)용 유리 기판, 유기 EL용 유리 기판, 포토마스크용 유리 기판, 태양 전지 패널용 기판, 광 디스크용 기판, 혹은, 프린트 기판 등의 각형의 기판을, 처리액에 의해 처리하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것이다.

예를 들면, 기판을 에칭액으로 처리하는 기판 처리 장치에 있어서는, 기판의 하면을 반송 롤러에 의해 지지하여 수평 방향으로 반송하면서, 기판의 표면에 대하여 에칭액을 공급하여, 기판을 에칭 처리하는 구성으로 되어 있다.

또한, 특허 문헌 1에는, 오버플로우에 의해 상승류를 일으키고 있는 세정액 중에, 웨이퍼를 경사 상태로 침지함과 더불어, 웨이퍼의 가로방향으로부터 메가소닉 진동을 세정액에 부여하는 기판 세정 장치가 개시되어 있다.

일본국 특허공개 평7-211684호 공보

상기 기재한 반송 롤러에 의해 기판의 하면을 지지하여 반송하는 종래의 기판 처리 장치에 있어서는, 기판에 공급된 에칭액이 기판의 이면측으로 돌아들어가, 반송 롤러의 표면과 기판의 이면의 사이에 침입하는 경우가 있다. 이러한 경우에 있어서는, 반송 롤러의 회전에 의한 기판의 이동에 따라 반송 롤러의 표면과 기판의 이면의 사이에 침입한 에칭액도 이동하고, 이 에칭액은 기판의 이면측에 줄무늬모양으로 잔존하게 된다.

이 기판의 처리 공정이, 예를 들면, 유리 기판의 표면에 생성된 실리콘 산화막을 불산으로 에칭 처리하는 에칭 처리 공정인 경우에 있어서는, 이와 같이 줄무늬모양으로 잔존한 처리액에 의해 기판의 이면측이 에칭된다고 하는 문제가 있다. 이러한 현상이 발생한 경우에 있어서는, 유리 기판의 이면측에 에칭 얼룩이 생겨, 기판의 표리 양면을 균일하게 에칭 처리할 수 없다. 이러한 문제는, 반송 롤러에 의해 기판을 처리실 내에서 일정시간만큼 왕복 이동시켜 처리를 행하는 경우에 있어서, 특히, 문제가 된다.

또한, 상기의 특허 문헌 1에 기재된 기판 세정 장치는, 세정조와 기판의 크로스 오염을 방지하기 위한 것인데, 대형 기판을 반송하여 처리하는 경우에 대응가능한 것은 아니다.

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 기판의 표리 양면을 균일하게 처리하는 것이 가능한 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

청구항 1에 기재된 발명은, 각형의 기판을 처리액 중에 침지하여 처리하는 기판 처리 장치에 있어서, 상기 기판을 처리하는 처리조와, 상기 처리조 내에 설치되고, 상기 기판을 수평 방향으로 반송하는 반송 롤러와, 처리액을 저류한 저류 탱크로부터 상기 처리조 내에 처리액을 공급하는 공급 수단과, 처리액을 상기 처리조로부터 상기 저장 탱크에 배출하는 배출 수단을 구비하고, 상기 처리조에 있어서의 처리액의 액위를, 상기 반송 롤러에 의해 반송되는 기판의 상면보다도 상방의 위치와, 상기 반송 롤러에 의해 반송되는 기판의 하면보다 하방의 위치의 사이에서 변경하는 액위 조정 기구와, 상기 기판이 처리조 내에 저류된 처리액 중에 배치된 상태에서, 상기 반송 롤러의 하방으로부터 처리액을 토출함으로써, 상기 기판을 상기 반송 롤러보다 상방의 위치까지 부상시키는 처리액 토출 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 2에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 기판 처리 장치에 있어서, 상기 기판이 상기 처리조 내에 저류된 처리액의 액면까지 부상하는 것을 방지하는 부상 방지 부재를 구비한다.

청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 2에 기재된 발명에 있어서, 상기 부상 방지 부재는, 상기 처리액 토출 수단에 의해 상기 기판이 상기 반송 롤러보다 상방의 위치로 부상했을 때, 당해 기판에 있어서의 상기 반송 롤러에 의한 기판의 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리와 맞닿을 수 있는 위치에 설치되고, 상기 기판의 주면에 대하여 경사지는 경사면을 구비한다.

청구항 4에 기재된 발명은, 청구항 3에 기재된 발명에 있어서, 상기 부상 방지 부재는, 외경이 상방을 향함에 따라서 커지고, 축심이 연직 방향을 향하는 방향으로 설치된 원뿔대 형상을 가지고, 상기 처리액 토출 수단에 의해 상기 반송 롤러보다 상방의 위치로 부상한 기판의 끝 가장자리에 맞닿을 수 있는 위치에 설치된다.

청구항 5에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 발명에 있어서, 상기 반송 롤러는, 당해 반송 롤러에 의한 기판의 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리에만 맞닿는 한쌍의 접촉부를 구비한다.

청구항 6에 기재된 발명은, 청구항 5에 기재의 발명에 있어서 상기 접촉부는, 상기 반송 롤러에 의한 상기 기판의 반송 방향과 직교하고, 또한, 수평 방향을 향하는 축을 중심으로 서로 동축 상에 설치된, 상기 기판의 중앙부측이 직경이 작고, 상기 기판의 끝 가장자리부측이 직경이 큰 복수의 굴림대형상 부재로 구성된다.

청구항 7에 기재된 발명은, 청구항 5에 기재된 발명에 있어서, 상기 접촉부는, 상기 반송 롤러에 의한 상기 기판의 반송 방향과 직교하고, 또한, 수평 방향을 향하는 축을 중심으로 설치된, 상기 기판의 중앙부측이 직경이 작고, 상기 기판의 끝 가장자리측이 직경이 큰 원뿔대 형상을 가진다.

청구항 8에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 발명에 있어서, 상기 기판에 있어서의 상기 반송 롤러에 의한 기판의 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리간의 거리와 동일한 거리만큼 서로 이격됨과 더불어, 연직 방향을 향하는 축을 중심으로 회전 가능한 복수의 가이드 롤러를 구비한다.

청구항 9에 기재된 발명은, 청구항 8에 기재된 발명에 있어서, 상기 가이드 롤러는, 상기 기판의 반송 속도와 동기하여 회전한다.

청구항 10에 기재된 발명은, 청구항 9에 기재된 발명에 있어서, 상기 가이드 롤러는, 상기 반송 롤러의 상단보다 상방이며, 또한, 상기 처리조 내에 저류되는 처리액의 액면보다 하방의 위치에, 플랜지부를 구비한다.

청구항 11에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 발명에 있어서, 상기 기판에 있어서의 상기 반송 롤러에 의한 기판의 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리간의 거리보다도 큰 거리만큼 서로 이격하는 위치에 설치되고, 상기 한쌍의 끝 가장자리에 맞닿을 수 있는 가이드 부재를 구비함과 더불어, 상기 반송 롤러에 의한 기판의 반송 방향과 교차하는 방향으로 상기 처리액을 분출함으로써, 상기 처리액 토출 수단에 의해 상기 기판이 상기 반송 롤러보다 상방의 위치로 부상했을 때에, 당해 기판을, 한쪽의 끝 가장자리가 상기 가이드 부재와 맞닿는 방향으로 이동시키는 처리액 분출부를 구비한다.

청구항 12에 기재된 발명은, 청구항 1부터 청구항 11중 어느 한 항에 기재된 발명에 있어서, 상기 처리액은, 기판을 에칭 처리하기 위한 에칭액이다.

청구항 13에 기재된 발명은, 각형의 기판을 처리액 중에 침지하여 처리하는 기판 처리 방법에 있어서, 처리조에 처리액을 공급하여 처리조 내에 처리액을 저류하는 처리액 공급 공정과, 기판을 반송 롤러에 의해 반송하고, 상기 처리액이 저류된 처리조 내에 진입시키는 기판 반입 공정과, 상기 기판의 하면으로부터 처리액을 토출함으로써, 상기 기판을 상기 반송 롤러보다 상방이며, 또한, 상기 처리조에 저류된 처리액의 액면보다 하방의 위치까지 부상시키는 처리액 토출 공정과, 처리액의 토출을 정지하고, 상기 기판을 상기 반송 롤러와 맞닿는 위치까지 하강시키는 기판 하강 공정과, 상기 기판을 상기 반송 롤러에 의해 반송하고, 처리조에서 퇴출시키는 기판 반출 공정을 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 14에 기재된 발명은, 청구항 13에 기재된 발명에 있어서, 상기 기판 하강 공정과 상기 기판 반출 공정의 사이에, 상기 처리조에 저류된 처리액을 배출하는 처리액 배출 공정을 구비한다.

청구항 1 및 청구항 13에 기재된 발명에 의하면, 기판의 이면측에 발생하는 처리 얼룩을 방지하여, 기판의 표리 양면을 균일하게 처리하는 것이 가능해진다.

청구항 2에 기재된 발명에 의하면, 기판이 처리액의 액면까지 부상하는 것을 방지할 수 있어, 기판의 표리 양면을 균일하게 처리하는 것이 가능해진다.

청구항 3 및 청구항 4에 기재된 발명에 의하면, 기판의 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리간의 폭치수에 상관없이, 기판이 처리액의 액면까지 부상하는 것을 방지할 수 있다.

청구항 5에 기재된 발명에 의하면, 기판의 끝 가장자리 이외의 부분과 반송 롤러의 접촉을 방지함으로써, 기판의 이면측에 발생하는 처리 얼룩을 방지하여, 기판의 표리 양면을 균일하게 처리하는 것이 가능해진다.

청구항 6 및 청구항 7에 기재된 발명에 의하면, 기판의 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리간의 폭 치수가 다른 경우에도, 기판의 끝 가장자리만을 지지하여 기판을 반송하는 것이 가능해진다.

청구항 8에 기재된 발명에 의하면, 기판이 부상한 경우에 있어서도 기판의 위치를 일정하게 유지하는 것이 가능해진다.

청구항 9에 기재된 발명에 의하면, 기판의 끝 가장자리에 손상을 주지 않고 기판을 가이드하는 것이 가능해진다.

청구항 10에 기재된 발명에 의하면, 기판이 처리액의 액면까지 부상하는 것을 방지할 수 있어, 기판의 표리 양면을 균일하게 처리하는 것이 가능해진다.

청구항 11에 기재된 발명에 의하면, 기판이 부상한 경우에, 기판의 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리간의 폭 치수에 상관없이, 기판의 위치를 일정하게 유지하는 것이 가능해진다.

청구항 12에 기재된 발명에 의하면, 기판의 표리 양면을 균일하게 에칭 처리하는 것이 가능해진다.

청구항 14에 기재된 발명에 의하면, 기판 반출 공정에 있어서의 처리액의 반출량을 저감시키는 것이 가능해진다.

도 1은 본 발명에 관련된 기판 처리 장치의 측면 개요도이다.
도 2는 본 발명에 관련된 기판 처리 장치의 주요부를 나타내는 정면 개요도이다.
도 3은 부상 방지 부재(61)와 반송 롤러(21)의 배치 관계를 나타내는 평면도이다.
도 4는 본 발명에 관련된 기판 처리 장치의 주요 제어계를 나타내는 블록도이다.
도 5(a) 내지 도 5(d)는 본 발명에 관련된 기판 처리 장치에 의한 유리 기판(100)의 에칭 처리 공정을 나타내는 설명도이다.
도 6은 본 발명에 관련된 기판 처리 장치에 의한 유리 기판(100)의 에칭 처리 공정을 나타내는 플로우차트이다.
도 7은 에칭 처리 중의 기판 처리 장치의 주요부를 나타내는 정면 개요도이다.
도 8은 에칭 처리 중의 기판 처리 장치의 주요부를 나타내는 정면 개요도이다.
도 9는 본 발명의 제2의 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치의 주요부를 나타내는 정면 개요도이다.
도 10은 에칭 처리 중의 기판 처리 장치의 주요부를 나타내는 정면 개요도이다.
도 11은 에칭 처리 중의 기판 처리 장치의 주요부를 나타내는 정면 개요도이다.
도 12는 본 발명의 제3 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치의 주요부를 나타내는 정면 개요도이다.
도 13은 본 발명의 제4 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치의 주요부를 나타내는 정면 개요도이다.
도 14는 본 발명의 제4 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치의 주요부를 나타내는 정면 개요도이다.
도 15는 본 발명의 제4 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치의 주요부를 나타내는 정면 개요도이다.

이하, 본 발명의 실시의 형태를 도면에 의거하여 설명한다. 도 1은, 본 발명에 관련된 기판 처리 장치의 측면 개요도이고, 도 2는, 그 주요부를 나타내는 정면 개요도이다. 또한, 도 3은, 부상 방지 부재(61)와 반송 롤러(21)의 배치 관계를 나타내는 평면도이다. 또한, 도 1에 있어서는, 부상 방지 부재(61) 등의 도시를 생략하고 있다.

이 기판 처리 장치는, 에칭액에 의해 유리 기판(100)을 에칭 처리하기 위한 것이며, 유리 기판(100)을 그 하면으로부터 지지하여 반송하는 다수의 반송 롤러(21)를 구비한다. 또한, 이 기판 처리 장치는, 유리 기판(100)을 처리하기 위한 처리조(11)와, 처리액의 회수조(12)와, 처리액을 저류하는 저류조(13)를 구비한다. 또한, 이 기판 처리 장치는, 반송 롤러(21)의 하방로부터 유리 기판(100)을 향해 에칭액을 토출하는 에칭액 토출 수단으로서의 다수의 스프레이 노즐(22)을 구비한다.

처리조(11)에는, 유리 기판(100)의 반입구(43)와 반출구(44)가 형성됨과 더불어, 반입구(43)를 개폐하는 셔터(14)와, 반출구(44)를 개폐하는 셔터(15)가 설치되어 있다. 또한, 이 처리조(11)의 하면에는, 에칭액의 공급관(16)과, 에칭액의 배출관(17)이 부설되어 있다. 공급관(16)은, 관로(31) 및 거기에 설치된 펌프(24)를 통하여 저류조(13)와 연결되어 있다. 또한, 배출관(17)은, 관로(33) 및 거기에 설치된 개폐밸브(26)를 통하여 저류조(13)와 연결되어 있다. 또한, 각 스프레이 노즐(22)은, 관로(32) 및 거기에 설치된 유량 가변 펌프(25)를 통하여 저류조(13)와 연결되어 있다.

이 유량 가변 펌프(25)는, 예를 들면, 인버터를 포함한 유량 조정 회로를 구비하고, 각 스프레이 노즐(22)로부터 토출하는 에칭액의 유량을 조정함으로써, 유리 기판(100)을 반송 롤러(21)보다 상방의 위치까지 부상시키기 위한 것이다. 또한, 유량 가변 펌프(25)를 사용하는 대신에 통상의 펌프를 사용하고, 이 통상의 펌프와 각 스프레이 노즐(22)의 사이에 유량 조정 밸브를 설치함으로써, 각 스프레이 노즐(22)로부터 토출하는 에칭액의 유량을 조정하도록 해도 된다.

회수조(12)는, 처리조(11) 등으로부터 흘러내린 에칭액을 회수하기 위한 것이다. 이 회수조(12)의 하면에는, 에칭액의 회수관(18)이 부설되어 있다. 회수관(18)은, 관로(34) 및 거기에 설치된 개폐 벨브(27)를 통하여 저류조(13)와 연결되어 있다. 또한, 처리조(11)의 반출구(44)와 대향하고, 또한, 회수조(12)의 상방이 되는 위치에는, 유리 기판(100)에 부착하는 에칭액을 제거하기 위한 한쌍의 에어 나이프(23)가 설치되어 있다.

도 2에 나타내는 바와같이, 반송 롤러(21)는, 유리 기판(100)의 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리에만 맞닿는 한쌍의 접촉부(50)와, 이들 접촉부(50)를 연결하는 연결축(54)을 구비한다. 또한, 각 접촉부(50)는, 유리 기판(100)의 반송 방향과 직교하고, 또한, 수평 방향을 향하는 축을 중심으로 서로 동축 상에 설치된 3개의 원반 형상을 이루는 굴림대형상 부재(51, 52, 53)로 구성되어 있다. 이들 굴림대형상 부재(51, 52, 53)는, 그 직경이 유리 기판(100)의 중앙부측에 배치되는 것일수록 작고 끝 가장자리측에 배치되는 것일수록 크게 되어 있다. 또한, 도 2에 있어서는, 이해의 편의상 굴림대형상 부재(51, 52, 53)의 외경을 실제보다 크게 도시하고 있다.

도 2 및 도 3에 나타내는 바와같이, 처리조(11) 내에 저류된 에칭액의 액면중에 있어서의 복수의 반송 롤러(21)의 사이의 위치에는, 유리 기판(100)을 반송 롤러(21)보다 상방으로 부상시켜 처리할 경우, 이 유리 기판(100)이 처리조(11) 내에 저류된 에칭액의 액면까지 부상하는 것을 방지하는 부상 방지 부재(61)가 설치되어 있다. 이 부상 방지 부재(61)는, 외경이 상방을 향함에 따라 커지고, 축심이 연직 방향을 향하는 방향으로 설치된 원뿔대 형상을 가진다. 이 부상 방지 부재(61)는, 연직 방향을 향하는 지지축(62)에 대하여 회전 가능하게 지지되어 있다. 이 부상 방지 부재(61)는, 후에 기재하는 바와같이, 각 스프레이 노즐(22)로부터 토출되는 에칭액의 작용에 의해 반송 롤러(21)보다 상방으로 이동한 유리 기판(100)의 양쪽의 끝 가장자리에 맞닿을 수 있는 위치에, 일정 피치로 복수개 배치되어 있다. 이 원뿔대 형상을 가지는 부상 방지 부재(61)에 있어서의 추체면(측면)은, 유리 기판(100)의 주면에 대하여 경사지는 경사면으로 되어 있다.

도 4는, 본 발명에 관련된 기판 처리 장치의 주요 제어계를 나타내는 블록도이다.

이 기판 처리 장치는, 장치의 제어에 필요한 동작 프로그램이 저장된 ROM(81)과, 제어 시에 데이터 등이 일시적으로 스토어되는 RAM(82)과, 논리 연산을 실행하는 CPU(83)로 구성되고, 장치 전체를 제어하는 제어부(80)를 구비한다. 이 제어부(80)는, 인터페이스(84)를 통하여, 도 1에 나타내는 유량 가변 펌프(25), 펌프(24), 개폐 밸브(26, 27)와 접속되어 있다. 또한, 이 제어부(80)는, 인터페이스(84)를 통하여, 반송 롤러(21)를 회전 구동하기 위한 모터(28)와도 접속되어 있다.

또한, 펌프(24)와, 개폐 밸브(26)와, 제어부(80)는, 처리조(11)에 있어서의 에칭액의 액위를, 반송 롤러(21)에 의해 반송되는 유리 기판(100)의 상면보다도 상방의 위치와, 반송 롤러(21)에 의해 반송되는 유리 기판(100)의 하면보다 하방의 위치의 사이에서 변경하는 본 발명에 관련된 액위 조정 기구로서 기능한다. 또한, 유량 가변 펌프(25)와, 제어부(80)는, 유리 기판(100)이 처리조(11) 내에 저류된 처리액 중에 배치된 상태에서, 반송 롤러(21)의 하방으로부터 에칭액을 토출함으로써, 유리 기판(100)을 반송 롤러(21)보다 상방의 위치까지 부상시키는 본 발명에 관련된 처리액 토출 수단으로서 기능한다.

다음에, 상기 기재한 기판 처리 장치에 의한 유리 기판(100)의 처리 공정에 대해서 설명한다. 도 5는, 본 발명에 관련된 기판 처리 장치에 의한 유리 기판(100)의 에칭 처리 공정을 나타내는 설명도이다. 또한, 도 6은, 본 발명에 관련된 기판 처리 장치에 의한 유리 기판(100)의 에칭 처리 공정을 나타내는 플로우차트이다. 또한, 도 7 및 도 8은, 에칭 처리 중의 기판 처리 장치의 주요부를 나타내는 정면 개요도이다. 또한, 도 7은, 반송 방향을 향하는 1쌍의 끝 가장자리간의 거리(폭치수)가 작은 유리 기판(100)을 처리하는 경우를 나타내고, 도 8은, 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리간의 거리(폭치수)가 큰 유리 기판(100)을 처리하는 경우를 나타내고 있다.

이 기판 처리 장치에 의해 유리 기판(100)을 에칭 처리할 경우에는, 최초로, 저류조(13)로부터 처리조(11)에 에칭액을 공급하고, 처리조(11) 내에 에칭액을 저류한다(단계 S1). 이 때에는, 개폐 밸브(26)를 폐지함과 더불어, 펌프(24)의 작용에 의해, 저류조(13) 내의 에칭액을 관로(31)를 통하여 처리조(11)에 송액함으로써, 에칭액의 액위가 반송 롤러(21)의 상면보다 상방이 되도록 한다. 이 에칭액 공급 공정에 있어서는, 반입구(43)는 셔터(14)에 의해 닫혀져 있고, 반출구(44)는 셔터(15)에 의해 닫혀져 있다.

이 상태에서, 도 1 및 도 5(a)에 나타내는 바와같이, 반송 롤러(21)에 의해 유리 기판(100)을 반송하고, 이 유리 기판(100)을 처리조(11)에 반입한다(단계 S2). 이 때는 유리 기판(100)은, 반송 롤러(21)에 있어서의 접촉부(50)에 의해 지지되어 반송된다. 이 접촉부(50)는, 유리 기판(100)의 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리에만 맞닿는 상태에서, 유리 기판(100)의 반송 속도에 따라 회전한다.

즉, 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리간의 거리(폭치수)가 작은 유리 기판(100)을 처리하는 경우에 있어서는, 도 7에 있어서 가상선으로 표시하는 바와같이, 유리 기판(100)은, 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리가, 굴림대형상 부재(53)에 의해 지지되고, 굴림대형상 부재(52)에 의해 안내되는 상태로 반송된다. 또한, 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리간의 거리(폭치수)가 큰 유리 기판(100)을 처리하는 경우에 있어서는, 도 8에 있어서 가상선으로 표시하는 바와같이, 유리 기판(100)은, 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리가, 굴림대형상 부재(52)에 의해 지지되고, 굴림대형상 부재(51)에 의해 안내되는 상태로 반송된다.

이 기판 반입 공정에 있어서는, 반입구(43)의 셔터(14)를 개방한다. 이 때문에, 처리조(11) 내의 에칭액은 반입구(43)로부터 회수조(12)로 흘러내려, 관로(34)를 통하여 저류조(13)에 회수된다. 이 경우에 있어서도, 펌프(24)에 의한 에칭액의 공급량을 일정 이상으로 유지함으로써, 처리조(11)에 있어서의 에칭액의 액위를 일정하게 유지할 수 있다.

유리 기판(100)이 완전하게 처리조(11) 내에 수납되면, 반입구(43)를 셔터(14)에 의해 닫는다. 그리고, 유량 가변 펌프(25)의 작용에 의해 스프레이 노즐(22)로부터 에칭액을 토출함으로써, 도 5(b)에 나타내는 바와같이, 유리 기판(100)을 반송 롤러(21)보다 상방이며, 또한, 처리조(11)에 저류된 에칭액의 액면보다 하방의 위치까지 부상시킨다(단계 S3). 이 상태를 일정 시간 유지함으로써, 유리 기판(100)에 대한 에칭 처리를 실행한다. 이 경우에는, 유리 기판(100)의 이면이 반송 롤러(21)로부터 이간되어 있으므로, 유리 기판(100)의 이면측에 발생하는 얼룩을 방지하여, 유리 기판(100)을 균일하게 처리하는 것이 가능해진다.

이 에칭 처리 시에는, 유량 가변 펌프(25)의 작용에 의해 스프레이 노즐(22)로부터 토출하는 에칭액의 유량을 제어함으로써, 유리 기판(100)을 반송 롤러(21)보다 상방의 위치까지 부상시킨다. 이 에칭 처리 시에, 유리 기판(100)이 반송 롤러(21)의 상방으로 크게 부상한 경우에는, 도 7 및 도 8에 있어서 실선으로 표시하는 바와같이, 이 유리 기판(100)의 양끝 가장자리는, 원뿔대 형상을 가지는 부상 방지 부재(61)에 있어서의 추체면(측면)과 맞닿는다. 이 때문에, 유리 기판(100)이 처리조(11) 내에 저류된 에칭액의 액면까지 부상하는 것을 유효하게 방지하는 것이 가능해진다.

이 경우에 있어서, 부상 방지 부재(61)가, 외경이 상방을 향함에 따라 커지고, 축심이 연직 방향을 향하는 방향에 설치된 원뿔대 형상을 가지므로, 도 7 및 도 8에 나타내는 바와같이, 유리 기판(100)에 있어서의 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리간의 거리(폭치수)에 상관없이, 이 유리 기판(100)의 부상을 유효하게 방지하는 것이 가능해진다.

유리 기판(100)이 충분히 에칭 처리되면, 스프레이 노즐(22)로부터의 외칭액의 토출을 정지하고, 도 5(c)에 나타내는 바와같이, 유리 기판(100)을 반송 롤러(21)와 맞닿는 위치까지 하강시킨다(단계 S4). 이 하강 공정에 의해, 유리 기판(100)은, 반송 롤러(21)에 의해 지지되게 된다.

다음에, 처리조(11)에 저류된 에칭액을 배출한다(단계 S5). 이 에칭액 배출 공정에 있어서는, 펌프(24)를 정지함과 더불어, 개폐 밸브(26)를 개방함으로써, 처리조(11) 내의 에칭액을, 관로(33)를 통하여 저류조(13)에 회수한다. 이 에칭액 배출 공정에 있어서는, 반입구(43)의 셔터(14)를 개방함과 더불어, 반출구(44)의 셔터(15)를 개방하고, 처리조(11) 내의 에칭액을 이들 반입구(43) 및 반출구(44)로부터도 배출한다. 반입구(43) 및 반출구(44)로부터 배출된 에칭액은, 회수조(12)에 의해 수취되어, 관로(34) 및 개폐 밸브(27)를 통하여, 저류조(13)에 회수된다.

처리조(11) 내의 에칭액의 배출이 완료하면, 도 5(d)에 나타내는 바와같이, 유리 기판(100)을 반송 롤러(21)에 의해 반송하고, 처리조(11)에서 퇴출시킨다(단계 S6). 이 때에도, 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리간의 거리(폭치수)가 작은 유리 기판(100)을 처리하는 경우에 있어서는, 도 7에 있어서 가상선으로 표시하는 바와같이, 유리 기판(100)은, 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리가, 굴림대형상 부재(53)에 의해 지지되고, 굴림대형상 부재(52)에 의해 안내되는 상태로 반송된다. 또한, 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리간의 거리(폭치수)가 큰 유리 기판(100)을 처리하는 경우에 있어서는, 도 8에 있어서 가상선으로 표시하는 바와같이, 유리 기판(100)은, 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리가, 굴림대형상 부재(52)에 의해 지지되고, 굴림대형상 부재(51)에 의해 안내되는 상태로 반송된다.

그리고, 처리조(11)에 있어서의 반출구(44)를 통과한 유리 기판(100)의 양면에는, 에어 나이프(23)로부터 압축 공기가 분출된다. 이에 따라, 유리 기판(100)의 양면에 부착된 에칭액이 제거되어, 회수조(12)에 적하한다. 이 기판 반출 공정에 있어서는, 처리조(11) 중에 처리액이 저류되어 있지 않은 것, 또한, 유리 기판(100)에 부착된 에칭액이 한쌍의 에어 나이프(23)에 의해 제거되는 것으로부터, 후단의 처리 공정에 대한 에칭액의 반출량을 저감시키는 것이 가능해진다.

다음에, 본 발명의 다른 실시 형태에 대해서 설명한다. 도 9는, 본 발명의 제2 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치의 주요부를 나타내는 정면 개요도이다. 또한, 도 10 및 도 11은, 에칭 처리 중의 기판 처리 장치의 주요부를 나타내는 정면 개요도이다. 또한, 도 10은, 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리간의 거리(폭치수)가 작은 유리 기판(100)을 처리하는 경우를 나타내고, 도 11은, 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리간의 거리(폭치수)가 큰 유리 기판(100)을 처리하는 경우를 나타내고 있다.

이 제2 실시 형태에 관련된 반송 롤러(21)는, 한쌍의 접촉부(55)와 연결축(54)으로 구성된다. 즉, 상기 기재한 제1 실시 형태에 있어서는, 반송 롤러(21)에 있어서의 접촉부(50)로서, 도 2, 도 7 및 도 8에 나타내는 바와같이, 서로 동축 상에 설치된 3개의 원반형상을 이루는 굴림대형상 부재(51, 52, 53)로 구성되는 것을 채용하고 있다. 이에 대하여, 이 제2 실시 형태에 있어서는, 도 9부터 도 11에 나타내는 바와같이, 접촉부(55)로서, 유리 기판(100)의 반송 방향과 직교하고, 또한, 수평 방향을 향하는 연결축(54)의 양단에 설치된, 유리 기판(100)의 중앙부측이 직경이 작고, 유리 기판(100)의 끝 가장자리부측이 직경이 큰 원뿔대 형상을 가지는 것을 채용하고 있다. 또한, 도 9부터 도 11에 있어서도, 이해의 편의상 접촉부(55)의 외경을 실제보다 크게 도시하고 있다.

이 제2 실시 형태에 관련된 반송 롤러(21)를 사용한 경우에 있어서는, 도 10 및 도 11에 있어서 가상선으로 표시하는 바와같이, 유리 기판(100)에 있어서의 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리간의 거리(폭치수)의 변동에 상관없이, 유리 기판(100)을 소정의 위치에 유지(유리 기판(100)에 있어서의 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리간의 중심 위치를 일정하게 유지)하여 반송하는 것이 가능해진다.

다음에, 본 발명의 또 다른 실시 형태에 대해서 설명한다. 도 12는, 본 발명의 제3 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치의 주요부를 나타내는 정면 개요도이다.

도 12에 나타내는 바와같이, 반송 롤러(21)에 의해 반송되는 유리 기판(100)의 반송 방향으로 직교하는 방향에 있어서의 양 단부에는, 연직 방향을 향하는 축을 중심으로 회전 가능한 가이드 롤러(63)가 설치되어 있다. 이 가이드 롤러(63)는, 유리 기판(100)의 끝 가장자리를 따라, 쌍을 이루는 상태로 복수개 나란히 설치되어 있다. 또한, 이 가이드 롤러(63)는, 도시하지 않은 모터의 구동에 의해, 반송 롤러(21)에 의해 반송되는 유리 기판(100)의 반송 속도와 동기하여 회전한다. 이 가이드 롤러(63)는, 상기 기재한 에칭액 토출 공정에 있어서, 유리 기판(100)이 반송 롤러(21)의 상방의 위치까지 부상했을 때에, 이 유리 기판(100)의 반송 방향과 직교하는 방향의 양 단부를 가이드하는 가이드 부재로서 기능한다.

이 가이드 롤러(63)간의 거리는, 유리 기판(100)에 있어서의 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리간의 거리(폭치수)와 일치한다. 즉, 이 실시 형태에 있어서는, 유리 기판(100)에 있어서의 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리간의 거리(폭치수)가 동일한 정형 사이즈의 유리 기판(100)을 처리하는 것이 전제가 된다.

이 가이드 롤러(63)에 있어서의 반송 롤러(21)의 상단보다 상방이며, 또한, 처리조(11) 내에 저류되는 에칭액의 액면보다 하방의 위치에는, 플랜지부(64)가 배치되어 있다. 이 플랜지부(64)는, 유리 기판(100)이 처리조(11) 내에 저류된 에칭액의 액면까지 부상하는 것을 방지하기 위한 부상 방지 부재로서 기능한다.

다음에, 본 발명의 또 다른 실시 형태에 대해서 설명한다. 도 13부터 도 15는, 본 발명의 제4 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치의 주요부를 나타내는 정면 개요도이다.

본 제4 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치에 있어서는, 반송 롤러(21)는, 복수의 굴림대형상 부재(57)와, 이들 굴림대형상 부재(57)를 연결하는 연결축(54)으로 구성된다. 또한, 이 제4 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치는, 유리 기판(100)에 있어서의 반송 롤러(21)에 의한 유리 기판(100)의 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리간의 거리(폭치수)보다도 큰 거리만큼 서로 이격되는 위치에 설치되고, 유리 기판(100)의 끝 가장자리에 맞닿을 수 있는 가이드 롤러(65)를 구비한다. 이 가이드 롤러(65)는, 연직 방향을 향하는 축(66)을 중심으로 회전 가능하게 설치되어 있다. 그리고, 이들 가이드 롤러(65)의 사이에는, 제1, 제2 실시 형태와 동일한, 부상 방지 부재(61)가 설치되어 있다.

또한, 이 제4 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치는, 반송 롤러(21)에 의한 유리 기판(100)의 반송 방향과 교차하는 방향으로 에칭액을 분출함으로써, 유리 기판(100)이 반송 롤러(21)보다 상방의 위치로 부상했을 때에, 이 유리 기판(100)을, 그 한쪽의 끝 가장자리가 가이드 롤러(65)에 맞닿는 방향으로 이동시키는 복수의 스프레이 노즐(71)을 구비한다. 또한, 처리조(11)에 있어서의 스프레이 노즐(71)과 대향하는 위치에는, 거기에 형성된 개구부를 개폐하는 셔터(72)가 설치되어 있다.

이 스프레이 노즐(71)에는, 도 1에 나타내는 저류조(13)로부터 에칭액이 공급된다. 또한, 셔터(72)를 개방한 경우에는, 처리조(11) 내의 에칭액은, 도 1에 도시하는 회수조(12)로 흘러내린 후, 저류조(13)에 송액된다. 또한, 스프레이 노즐(71)로부터 셔터(72) 방향을 향하는 에칭액의 흐름의 방향은, 도 1에 도시하는 반입구(43)로부터 반출구(44)를 향하는 유리 기판(100)의 반송 방향과 직교하는 방향으로 되어 있다.

이 제4 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치에 있어서 에칭 처리를 실행하는 경우에 있어서는, 제1 실시 형태의 경우와 마찬가지로, 도 5(a)에 나타내는 바와같이, 유리 기판(100)은, 반송 롤러(21)에 의해 반송되어 처리조(11)에 반입된다. 상세하게는, 도 13에 나타내는 바와같이, 유리 기판(100)은, 반송 롤러(21)에 있어서의 굴림대형상 부재(57)에 의해 지지되어 반송된다. 반송 중은 유리 기판(100)의 일끝 가장자리가 가이드 롤러(65)와 맞닿아 있고, 따라서, 유리 기판(100)은, 이 가이드 롤러(65)에 의해 안내되는 상태로 반송된다.

유리 기판(100)이 완전히 처리조(11) 내에 수납되면, 제1 실시 형태의 경우와 마찬가지로, 반입구(43)를 셔터(14)에 의해 닫는다. 그리고, 유량 가변 펌프(25)의 작용에 의해 스플레이 노즐(22)로부터 에칭액을 토출함으로써, 도 5(b)에 나타내는 바와같이, 유리 기판(100)을 반송 롤러(21)보다 상방이며, 또한, 처리조(11)에 저류된 에칭액의 액면보다 하방의 위치까지 부상시킨다. 이 경우에는, 도 14에 나타내는 바와같이, 유리 기판(100)은 서로 쌍을 이루는 가이드 롤러(65)의 사이의 위치에서 부유한다. 이 상태를 일정 시간 유지함으로써, 유리 기판(100)에 대한 에칭 처리를 실행한다.

유리 기판(100)이 충분히 에칭 처리되면, 스프레이 노즐(22)로부터의 에칭액의 토출을 정지하고, 도 5(c)에 나타내는 바와같이, 유리 기판(100)을 반송 롤러(21)와 맞닿는 위치까지 하강시킨다. 이 경우에는, 도 15에 나타내는 바와같이, 셔터(72)를 개방함과 더불어, 스프레이 노즐(71)로부터 에칭액을 분출한다. 이에 따라, 유리 기판(100)이 셔터(72)의 방향으로 이동하고, 유리 기판(100)이 반송 롤러(21)에 지지될 때는, 도 15에 있어서 실선으로 표시하는 바와같이, 유리 기판(100)의 일끝 가장자리가 가이드 롤러(65)와 맞닿는다.

이 상태에 있어서, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 펌프(24)를 정지함과 더불어, 개폐 밸브(26)를 개방함으로써, 처리조(11) 내의 에칭액을, 관로(33)를 통하여 저류조(13)에 회수한다. 이 때에도, 스프레이 노즐(71)로부터의 에칭액의 분출은 계속해도 된다. 이 후, 유리 기판(100)을 반송 롤러(21)에 의해 지지하여 반송한다. 이 경우에도, 도 13에 나타내는 경우와 마찬가지로, 유리 기판(100)의 일끝 가장자리가 가이드 롤러(65)와 맞닿고, 유리 기판(100)은, 이 가이드 롤러(65)에 의해 안내되는 상태로 반송된다.

이상과 같이, 이 제4 실시 형태에 관련된 기판 처리 장치에 있어서는, 유리 기판(100)에 있어서의 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리간의 거리(폭치수)의 변동에 상관없이, 유리 기판(100)을 소정의 위치에 유지(유리 기판(100)에 있어서의 한쪽의 끝 가장자리의 위치를 일정하게 유지)하여 반송하는 것이 가능해진다.

또한, 상술한 제1, 제2, 제4 실시 형태에 있어서는, 유리 기판(100)이 처리조(11) 내에 저류된 에칭액의 액면까지 부상하는 것을 방지하기 위해서, 외경이 상방을 향함에 따라 커지고, 축심이 연직 방향을 향하는 방향에 설치된 원뿔대 형상을 가지는 복수의 부상 방지 부재(61)를 사용하고 있다. 그러나, 유리 기판(100)이 반송 롤러(21)보다 상방의 위치로 부상했을 때에, 유리 기판(100)에 있어서의 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리와 맞닿을 수 있는 위치에 설치되고, 유리 기판(100)의 주면에 대하여 경사진 경사면을 구비하는 것이면, 그 외의 형상의 부상 방지 부재를 사용할 수 있다. 이러한 부상 방지 부재로서, 유리 기판(100)의 주면에 대하여 경사진 경사면을 구비하고, 유리 기판(100)의 반송 방향을 향하는 긴 부재를 사용해도 된다.

또한, 상기 기재한 실시 형태에 있어서는, 유리 기판(100)에 대하여 에칭 처리를 행하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 이 발명을 적용하고 있는데, 에칭 이외의 세정, 현상, 박리 등의 각종 처리를 행하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 이 발명을 적용하는 것도 가능하고, 또한, 다른 종류의 기판, 예를 들면 프린트 기판에 대하여, 이들 각종 처리를 행하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 이 발명을 적용하는 것도 가능하다.

11 : 처리조 12 : 회수조
13 : 저류조 14 : 셔터
15 : 셔터 16 : 공급관
17 : 배출관 18 : 회수관
21 : 반송 롤러 22 : 스프레이 노즐
23 : 에어 나이프 24 : 펌프
25 : 유량 가변 펌프 26 : 개폐 밸브
27 : 개폐 밸브 28 : 모터
31 : 관로 32 : 관로
33 : 관로 43 : 반입구
44 : 반출구 50 : 접촉부
51 : 굴림대형상 부재 52 : 굴림대형상 부재
53 : 굴림대형상 부재 54 : 연결축
55 : 접촉부 57 : 굴림대형상 부재
61 : 부상 방지 부재 63 : 가이드 롤러
64 : 플랜지부 65 : 가이드 롤러
71 : 스프레이 노즐 72 : 셔터
80 : 제어부 100 : 유리 기판

Claims (14)

1. 각형의 기판을 처리액 중에 침지하여 처리하는 기판 처리 장치에 있어서,
   상기 기판을 처리하는 처리조와,
   상기 처리조 내에 설치되고, 상기 기판을 수평 방향으로 반송하는 반송 롤러와,
   처리액을 저류한 저류 탱크로부터 상기 처리조 내에 처리액을 공급하는 공급 수단과, 처리액을 상기 처리조로부터 상기 저류 탱크에 배출하는 배출 수단을 구비하고, 상기 처리조에 있어서의 처리액의 액위를, 상기 반송 롤러에 의해 반송되는 기판의 상면보다도 상방의 위치와, 상기 반송 롤러에 의해 반송되는 기판의 하면보다 하방의 위치의 사이에서 변경하는 액위 조정 기구와,
   상기 기판이 처리조 내에 저류된 처리액 중에 배치된 상태에서, 상기 반송 롤러의 하방으로부터 처리액을 토출함으로써, 상기 기판을 상기 반송 롤러보다 상방의 위치까지 부상시키는 처리액 토출 수단을 구비하고,
   상기 기판이 상기 처리조 내에 저류된 처리액의 액면까지 부상하는 것을 방지하는 부상 방지 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
2. 삭제
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 부상 방지 부재는, 상기 처리액 토출 수단에 의해 상기 기판이 상기 반송 롤러보다 상방의 위치로 부상했을 때에, 당해 기판에 있어서의 상기 반송 롤러에 의한 기판의 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리와 맞닿을 수 있는 위치에 설치되고, 상기 기판의 주면에 대하여 경사진 경사면을 구비하는 기판 처리 장치.
4. 청구항 3에 있어서,
   상기 부상 방지 부재는, 외경이 상방을 향함에 따라 커지고, 축심이 연직 방향을 향하는 방향에 설치된 원뿔대 형상을 가지고, 상기 처리액 토출 수단에 의해 상기 반송 롤러보다 상방의 위치로 부상한 기판의 끝 가장자리에 맞닿을 수 있는 위치에 설치되는 기판 처리 장치.
5. 청구항 1에 있어서,
   상기 반송 롤러는, 당해 반송 롤러에 의한 기판의 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리에만 맞닿는 한쌍의 접촉부를 구비하는 기판 처리 장치.
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 접촉부는, 상기 반송 롤러에 의한 상기 기판의 반송 방향과 직교하고, 또한, 수평 방향을 향하는 축을 중심으로 서로 동축 상에 설치된, 상기 기판의 중앙부측이 직경이 작고, 상기 기판의 끝 가장자리부측이 직경이 큰 복수의 굴림대형상 부재로 구성되는 기판 처리 장치.
7. 청구항 5에 있어서,
   상기 접촉부는, 상기 반송 롤러에 의한 상기 기판의 반송 방향과 직교하고, 또한, 수평 방향을 향하는 축을 중심으로 설치된, 상기 기판의 중앙부측이 직경이 작고, 상기 기판의 끝 가장자리부측이 직경이 큰 원뿔대 형상을 가지는 기판 처리 장치.
8. 청구항 1에 있어서,
   상기 기판에 있어서의 상기 반송 롤러에 의한 기판의 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리간의 거리와 동일한 거리만큼 서로 이격됨과 더불어, 연직 방향을 향하는 축을 중심으로 회전 가능한 복수의 가이드 롤러를 구비하는 기판 처리 장치.
9. 청구항 8에 있어서,
   상기 가이드 롤러는, 상기 기판의 반송 속도와 동기하여 회전하는, 기판 처리 장치.
10. 청구항 9에 있어서,
    상기 가이드 롤러는, 상기 반송 롤러의 상단보다 상방이며, 또한, 상기 처리조 내에 저류되는 처리액의 액면보다 하방의 위치에, 플랜지부를 구비하는 기판 처리 장치.
11. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판에 있어서의 상기 반송 롤러에 의한 기판의 반송 방향을 향하는 한쌍의 끝 가장자리간의 거리보다도 큰 거리만큼 서로 이격되는 위치에 설치되고, 상기 한쌍의 끝 가장자리에 맞닿을 수 있는 가이드 부재를 구비함과 더불어,
    상기 반송 롤러에 의한 기판의 반송 방향과 교차하는 방향으로 상기 처리액을 분출함으로써, 상기 처리액 토출 수단에 의해 상기 기판이 상기 반송 롤러보다 상방의 위치로 부상했을 때에, 당해 기판을, 한쪽의 끝 가장자리가 상기 가이드 부재와 맞닿는 방향으로 이동시키는 처리액 분출부를 구비하는 기판 처리 장치.
12. 청구항 1, 청구항 3 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 처리액은, 기판을 에칭 처리하기 위한 에칭액인, 기판 처리 장치.
13. 각형의 기판을 처리액 중에 침지하여 처리하는 기판 처리 방법에 있어서,
    처리조에 처리액을 공급하여 처리조 내에 처리액을 저류하는 처리액 공급 공정과,
    기판을 반송 롤러에 의해 반송하여, 상기 처리액이 저류된 처리조 내에 진입시키는 기판 반입 공정과,
    상기 기판의 하면으로부터 처리액을 토출함으로써, 상기 기판을 상기 반송 롤러보다 상방이며, 또한, 상기 처리조에 저류된 처리액의 액면보다 하방의 위치까지 부상시키는 처리액 토출 공정과,
    처리액의 토출을 정지하고, 상기 기판을 상기 반송 롤러와 맞닿는 위치까지 하강시키는 기판 하강 공정과,
    상기 기판을 상기 반송 롤러에 의해 반송하여, 처리조에서 퇴출시키는 기판 반출 공정을 구비하고,
    상기 기판 하강 공정과 상기 기판 반출 공정의 사이에,
    상기 처리조에 저류된 처리액을 배출하는 처리액 배출 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
14. 삭제

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