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KR101278334B1 - 분리적용이 가능한 케미컬 필터 - Google Patents

분리적용이 가능한 케미컬 필터 Download PDF

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KR101278334B1
KR101278334B1 KR1020110003143A KR20110003143A KR101278334B1 KR 101278334 B1 KR101278334 B1 KR 101278334B1 KR 1020110003143 A KR1020110003143 A KR 1020110003143A KR 20110003143 A KR20110003143 A KR 20110003143A KR 101278334 B1 KR101278334 B1 KR 101278334B1
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김광수
김홍현
이성근
이재환
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주식회사 젬백스앤카엘
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Publication date
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Abstract

본 발명은 청정 공간인 크린룸 등에 설치되어 공기를 정화하는데 사용되는 케미컬 필터를 이루는 필터부에서 내장된 필터매체만을 교체하도록 한 분리적용이 가능한 케미컬 필터에 관한 것으로, 하우징의 흡입구 형성 부분으로 연결되는 필터부를 포함하는 케미컬 필터에 있어서, 상기 필터부는 하부가 개방된 중공으로 상기 흡입구에 연통되는 방향으로 구비되며 폭 방향으로 공기가 통과하는 구조이고, 내부에 필터매체가 유동가능하게 구비되며, 상부는 폐쇄되며 탈착 가능하게 구비된다.
본 발명의 분리적용이 가능한 케미컬 필터에 따르면, 케미컬 필터를 이루는 필터부에 공기를 정화하는데 필터매체를 내장한 후 유해물질이 상기 필터매체에 쌓이게 되어 필터링 성능이 감소되면 필터매체만을 교체할 수 있도록 하여 교체비용을 절약할 수 있는 효과가 있다.

Description

분리적용이 가능한 케미컬 필터{Separation type Chemical Filter}
본 발명은 분리적용이 가능한 케미컬 필터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 청정 공간인 크린룸 등에 설치되어 공기를 정화하는데 사용되는 케미컬 필터를 이루는 필터부에서 내장된 필터매체만을 교체하도록 한 케미컬 필터에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조공정은 실리콘웨이퍼 상에 전기적인 회로를 형성하는 팹(Fab) 공정과, 전기적인 특성을 검사하는 EDS(Electrical die sorting) 공정과, 에폭시 수지로 표면을 봉지하고 개별화시키기 위한 패키지 조립 공정 등을 포함한다.
상기에서 팹 공정은 웨이퍼 상에 막을 형성하기 위한 증착 공정, 형성된 막을 평탄화하기 위한 기계적 연마 공정, 평탄화된 막에 포토레지스트 패턴을 형성하기 위한 포토리소그래피 공정, 포토레지스트 패턴을 이용하여 막을 전기적인 특성을 갖는 패턴으로 형성하기 위한 식각공정, 웨이퍼의 소정 영역에 이온들을 주입하기 위한 이온 주입 공정, 웨이퍼 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정, 세정한 웨이퍼를 건조하기 위한 건조 공정 및 이상에 열거된 공정을 통해 형성된 막 또는 패턴의 결함을 검사하는 검사 공정 등을 포함한다.
이상에서 언급한 바와 같은 반도체 제조공정은 고도의 정밀성을 요구하는 공정들로서, 미세한 먼지나 화학적 오염물질에 의해 제품의 불량이 발생할 수 있으므로 정화된 공기가 공급되고 공정 중에 생성된 오염물질과 미세먼지 등은 외부로 배출되도록 시스템이 구성된 크린룸에서 이루어진다.
크린룸으로 공급되는 공기는 공기정화장치를 통해 반도체 제조공정에 바람직하지 못한 각종 화학적 오염물질을 제거하고 미세먼지 등이 제거된 상태로 공급되어 크린룸의 청정상태를 유지할 수 있게 되는 것으로서, 반도체에 관한 집적화기술이 고도로 발전함과 더불어 각 공정들은 더욱 미세하고 정밀성을 요구하게 됨에 따라 크린룸으로 공급되는 공기 역시 더욱더 효과적으로 정화된 상태에서 공급될 것이 요구되고 있는 실정이다.
도 1은 크린룸 시스템의 일 예를 도시한 개략적 구성도이고, 도 2는 크린룸에 구비되어 공기를 정화하는 케미컬 필터를 도시한 단면도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 크린룸 시스템(10)은 반도체 제조공정이 이루어지는 크린룸(20)과, 크린룸 상부에 형성되는 천장 챔버(30)와, 크린룸 천장면 상에 매트릭스 방식으로 배열되는 공기정화장치인 다수의 케미컬 필터(50)와, 크린룸 바닥면 하부의 하부영역(60)과, 천장 챔버(30)와 하부영역(60)을 연결하는 공기순환경로(70)와, 순환되는 공기의 온도 및 습도를 조절하기 위한 공기조화장치(80) 등을 포함한다.
케미컬 필터(50)에 의해 크린룸(20)으로 공급된 청정 공기는 하부영역(60)으로 배출되며, 공기순환경로(70)와 천장 챔버(30) 및 케미컬 필터(50)를 통해 다시 크린룸(20)으로 공급된다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 발명자에 의해 발명된 종래의 케미컬 필터(50)는 통기성을 구비하며 직경을 달리하는 원통형인 내측원형튜브(51a) 및 외측원형튜브(51b)와 상기 내측원형튜브(51a)와 외측원형튜브(51b) 사이의 공간에 배치되어 공기에 포함된 화학적 오염물질을 제거하는 필터매체(51c)와 상기 내측원형튜브(51a) 및 외측원형튜브(51b)의 상단을 폐쇄하는 원판상의 제1커버(52a)와 상기 내측원형튜브(51a)와 외측원형튜브(51b) 사이의 관통구(53) 하단을 폐쇄하는 제2커버(52b)를 포함하여 이루어진 필터부(50a)와, 상기 필터부(50a)의 하부에 구비되며 상기 관통구(53)와 연통되는 흡입구(57a)가 상부에 형성된 하우징(56)으로 이루어진다.
상기 흡입구(57a)의 하부로 하우징(56) 내에 팬(57b)이 구비되고, 상기 팬(57b)의 하부로 안내패널(58)이 구비되며, 상기 안내패널(58)의 가장자리와 하우징(56) 사이에 안내공이 형성된다.
상기 안내패널(58)의 하부로 이격하여 하우징(56) 내에 필터(59)가 구비되며, 상기 제2커버(52b)는 상기 하우징(56)의 상부에 고정수단(54)으로 고정된다.
도 2에 도시한 케미컬 필터(50)는 팬(57b)이 구동하면 화살표로 도시한 바와 같이 공기가 유동한다. 상부에서 폭 방향으로 외측원형튜브(51b), 필터매체(51c) 및 내측원형튜브(51a)를 차례로 통과하여 관통구(53)로 유입되고 하향 유동하며, 필터매체(51c)를 통과할 때 공기 중에 포함된 유해물질이 상기 필터매체(51c)에 쌓이면서 제거된다.
따라서, 상기 케미컬 필터(50)를 장시간 사용하여 필터매체(51c)에 유해물질이 쌓여 필터링 성능이 감소되면 상기 필터부(50a)를 교체하여야 하는데 이때, 상기 고정수단(54)을 풀어서 상기 하우징(56)으로부터 상기 필터부(50a)를 분리시킨 후 새로운 필터부(50a)를 상기 하우징(56) 상부에 고정수단(54)으로 고정시킴으로써 상기 필터부(50a)의 교체가 완료된다.
그러나, 상술한 바와 같이 상기 필터부(50a)를 통째로 교체하게 되면, 계속 사용할 수 있는 제1커버(52a), 내측원형튜브(51a), 외측원형튜브(51b) 및 제2커버(52b)까지도 교체를 해야하므로 이에 따른 교체비용이 많이 소모되는 문제점이 있었다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 케미컬 필터를 이루는 필터부에 공기를 정화시키는 필터매체를 내장한 후 유해물질이 상기 필터매체에 쌓이게 되어 필터링 성능이 감소되면 필터매체만을 교체할 수 있도록 하여 교체비용을 절약할 수 있는 케미컬 필터를 제공하는 것이다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 케미컬 필터는, 하우징의 흡입구 형성 부분으로 연결되는 필터부를 포함하는 케미컬 필터에 있어서, 상기 필터부는 하부가 개방된 중공으로 상기 흡입구에 연통되는 방향으로 구비되며 폭 방향으로 공기가 통과하는 구조이고, 내부에 필터매체가 탈착 가능하게 구비되며, 상부는 폐쇄되며 탈착 가능하게 구비된다.
상기 필터부는 복수의 유입공이 형성되며 상부와 하부가 개방된 관체인 커버부, 상기 커버부와 폭 방향으로 간격을 형성하면서 상기 커버부의 내측으로 위치하며, 길이방향으로 연장된 복수의 지지봉과 상기 지지봉들을 연결한 거치테로 이루어진 지지프레임, 상기 커버부와 지지프레임 사이에 형성된 간격에 구비된 필터매체, 상기 필터매체의 상부와 상기 지지프레임의 상부를 포함하여 상부가 폐쇄되도록 덮는 상부가이드, 상기 필터매체의 하부 외측으로부터 상기 지지프레임의 하부 내측을 덮는 하부가이드를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 상부가이드는 상기 필터매체의 상부에 위치한 상부지지부와, 상기 상부지지부의 내측단에서 하부로 절곡 구비된 상부내측턱부와, 상기 상부지지부의 외측단에서 하부로 절곡 구비된 상부외측턱부와, 상기 상부내측턱부에서 내측 중앙으로 연장 구비된 상부덮개부를 포함하여 이루어지며, 상기 하부가이드는 상기 필터매체의 하부에 위치한 하부지지부와, 상기 하부지지부의 내측단에서 상부로 절곡 구비된 하부내측턱부와, 상기 하부지지부의 외측단에서 상부로 절곡 구비된 하부외측턱부를 포함하여 이루어지며, 상기 커버부의 상부는 상기 상부외측턱부의 외측에 접촉되고 하부는 상기 하부외측턱부의 외측에 접촉되며, 상기 지지봉의 상부는 상기 상부내측턱부의 외측으로 위치하고 하부는 상기 하부내측턱부의 외측으로 위치할 수 있다.
상기 커버부의 상부는 상기 상부외측턱부의 내측에 접촉되고 하부는 상기 하부외측턱부의 내측에 접촉될 수 있다.
상기 필터매체는 반경방향으로 복수의 주름을 가지는 원통형으로 형성되어 외측을 기준으로 복수의 볼록부와 오목부가 형성되고, 내측을 기준으로 복수의 볼록부와 오목부가 형성되며, 상기 지지봉은 상기 필터매체의 내측 오목부에 위치할 수 있다.
상기 상부가이드의 상부에는 손잡이가 구비될 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 케미컬 필터에 따르면, 케미컬 필터를 이루는 필터부에 공기를 정화시키는 필터매체를 내장한 후 유해물질이 상기 필터매체에 쌓이게 되어 필터링 성능이 감소되면 필터매체만을 교체할 수 있도록 하여 교체비용을 절약할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 크린룸 시스템의 일 예를 도시한 개략적 구성도이며,
도 2는 크린룸에 구비되어 공기를 정화하는 종래의 케미컬 필터를 도시한 단면도이며,
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 분리적용이 가능한 케미컬 필터를 도시한 단면도이며,
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 분리적용이 가능한 케미컬 필터를 이루는 필터부를 도시한 사시도이며,
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 분리적용이 가능한 케미컬 필터를 이루는 필터부를 도시한 저면사시도이며,
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 분리적용이 가능한 케미컬 필터를 이루는 필터부에서 커버부와 필터매체를 제거한 상태를 도시한 분해사시도이며,
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 분리적용이 가능한 케미컬 필터를 이루는 필터부에서 커버부와 필터매체를 제거한 상태를 도시한 결합사시도이며,
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 분리적용이 가능한 케미컬 필터를 이루는 필터부에서 커버부와 필터매체를 제거한 상태를 도시한 단면도이며,
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 분리적용이 가능한 케미컬 필터를 이루는 필터부에서 커버부를 제거한 상태를 도시한 사시도이며,
도 10은 본 발명의 일실시예에 따른 분리적용이 가능한 케미컬 필터를 이루는 필터부에서 커버부의 결합상태를 설명하기 위하여 도시한 사시도이며,
도 11은 본 발명의 일실시예에 따른 분리적용이 가능한 케미컬 필터를 이루는 필터부를 도시한 횡단면도이며,
도 12 및 도 13은 본 발명의 일실시예에 따른 분리적용이 가능한 케미컬 필터의 사용 예를 설명하기 위하여 도시한 예시도이다.
이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 분리적용이 가능한 케미컬 필터를 도시한 단면도이며, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 분리적용이 가능한 케미컬 필터를 이루는 필터부를 도시한 사시도이며, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 분리적용이 가능한 케미컬 필터를 이루는 필터부를 도시한 저면사시도이다.
이하에서는 도 3에서 세로 방향을 '길이 방향'이라 하고, 길이 방향에 수직한 방향을 '폭 방향'이라 한다. 필터부(100)의 단면이 원형으로 형성되는 경우 폭 방향은 반경 방향으로 된다.
본 발명의 일실시예에 따른 분리적용이 가능한 케미컬 필터는 도 3에 도시한 바와 같이 일측으로 관통공인 흡입구(210)가 형성된 하우징(200)과, 상기 흡입구(210) 형성 부분으로 하우징(200)에 연결되는 필터부(100)를 포함하여 구성된다.
상기 필터부(100)의 하부로 하우징(200) 내에는 팬(220)이 구비되며, 상기 팬(220)의 하부로는 이격하여 판상의 안내패널(230)이 구비되며, 상기 안내패널(230)의 하부로 이격하여 파티클 필터(250)가 구비된다.
상기 안내패널(230)의 가장자리로 하우징(200)과의 사이에 상하 방향으로 안내공(240)이 형성된다.
상기 파티클 필터(250)는 하우징(200)의 내측으로 구비되어 팬(220)에 의해서 상부로부터 유동되어 온 공기는 파티클 필터(250)를 통과하여 배출된다.
상기 하우징(200)은 금속으로 제조될 수도 있고, 합성 수지로 제조되는 것도 가능하다.
상술한 바와 같이 상기 흡입구(210) 형성 부분으로 하우징(200)에 연결 구비되는 상기 필터부(100)는 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 상부와 하부가 개방된 관체인 커버부(160)와, 상기 커버부(160)와 폭 방향으로 간격을 형성하면서 상기 커버부(160)의 내측으로 위치한 지지프레임(150)과, 상기 커버부(160)와 지지프레임(150) 사이에 구비된 필터매체(170), 상기 필터매체(170)의 상부와 상기 지지프레임(150)의 상부를 포함하여 상부가 폐쇄되도록 덮는 상부가이드(110)와, 상기 필터매체(170)의 하부 외측으로부터 상기 지지프레임(150)의 하부 내측을 덮는 하부가이드(120)를 포함한다.
상기 커버부(160)는 상부와 하부가 개방된 원통형일 수 있다.
상기 필터부(100)는 하부가 개방된 중공으로 상기 흡입구(210)에 연통되는 방향으로 구비되며 폭 방향으로 공기가 통과하는 구조이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 분리적용이 가능한 케미컬 필터를 이루는 필터부에서 커버부와 필터매체를 제거한 상태를 도시한 분해사시도이며, 도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 분리적용이 가능한 케미컬 필터를 이루는 필터부에서 커버부와 필터매체를 제거한 상태를 도시한 결합사시도이며, 도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 분리적용이 가능한 케미컬 필터를 이루는 필터부에서 커버부와 필터매체를 제거한 상태를 도시한 단면도이며, 도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 분리적용이 가능한 케미컬 필터를 이루는 필터부에서 커버부를 제거한 상태를 도시한 사시도이며, 도 10은 본 발명의 일실시예에 따른 분리적용이 가능한 케미컬 필터를 이루는 필터부에서 커버부의 결합상태를 설명하기 위하여 도시한 사시도이며, 도 11은 본 발명의 일실시예에 따른 분리적용이 가능한 케미컬 필터를 이루는 필터부를 도시한 횡단면도이다.
도 6 내지 도 8에 도시한 바와 같이, 상기 상부가이드(110)는 상기 필터매체(170)의 상부에 위치한 링 형상의 상부지지부(111)와, 상기 상부지지부(111)의 내측단에서 하부로 절곡 구비된 상부내측턱부(1113)와, 상기 상부지지부(111)의 외측단에서 하부로 절곡 구비된 상부외측턱부(1115)와, 상기 상부내측턱부(1113)에서 내측 중앙으로 연장 구비된 원판 형상의 상부덮개부(113)를 포함하여 이루어진다.
상기 하부가이드(120)는 상기 필터매체(170)의 하부에 위치한 링 형상의 하부지지부(121)와, 상기 하부지지부(121)의 내측단에서 상부로 절곡 구비된 하부내측턱부(1213)와, 상기 하부지지부(121)의 외측단에서 상부로 절곡 구비된 하부외측턱부(1215)를 포함하여 이루어진다.
상기 상부지지부(111), 상부내측턱부(1113) 및 상부외측턱부(1115)와 상기 하부지지부(121), 하부내측턱부(1213) 및 하부외측턱부(1215)는 서로 대향된 형태로 구비될 수 있다.
상기 지지프레임(150)은 길이방향으로 연장된 복수의 지지봉(151)과, 상기 지지봉(151)들을 연결한 거치테(155)로 이루어진다. 상기 거치테(155)는 링 형상으로 형성될 수 있다.
상기 지지봉(151)은 원기둥 형태일 수 있다.
상기 지지봉(151)의 상부는 상기 상부내측턱부(1113)의 외측에 위치하며, 상기 지지봉(151)의 하부는 상기 하부내측턱부(1213)의 외측에 위치한다.
상기 상부지지부(111) 및 하부지지부(121)는 링 형상으로 구비할 수 있으므로, 상기 지지봉(151)은 상부와 하부가 각각 상기 상부내측턱부(1113)의 외측 및 하부내측턱부(1213)의 외측으로 위치하면서 원주 방향으로 복수로 구비될 수 있다.
상기 지지봉(151)은 상기 거치테(155)의 내측 또는 외측에 결합될 수 있으며, 상기 거치테(155)가 링 형상으로 형성되면 상기 지지봉(151)은 상기 거치테(155)에 원주 방향으로 결합될 수 있다.
상기 거치대(155)와 지지봉(151)의 결합은 용접의 방법으로 결합시킬 수 있다.
도 8에 도시한 바와 같이, 상기 지지봉(151)은 상기 상부지지부(111)를 길이방향으로 관통하여 상기 지지봉(151)의 상부에 결합되는 볼트 또는 나사 등의 상부결합수단(115)과, 상기 하부지지부(121)를 길이방향으로 관통하여 상기 지지봉(151)의 하부에 결합되는 볼트 또는 나사 등의 하부결합수단(125)에 의해 상기 상부가이드(110)와 하부가이드(120) 사이에 고정 결합될 수 있다.
상기 상부가이드(110)의 상부에는 복수의 손잡이(180)가 이격 구비되어 결합된다.
상기 손잡이(180)는 상기 상부덮개부(113)의 상면에 구비된 한 쌍의 브라켓(181)과 상기 브라켓(181) 사이에 연결된 그랩부(185)로 이루어지며, 상기 브라켓(181)은 상기 브라켓(181)을 길이방향으로 관통하여 상기 상부덮개부(113)에 결합되는 볼트 또는 나사 등의 브라켓 결합수단(187)에 의해 고정될 수 있다.
상기 필터매체(170)는 도 9에 도시한 바와 같이, 공기 중에 포함된 유해 물질을 흡착 제거하는 구성이며, 상기 상부지지부(111)와 하부지지부(121) 사이에 구비된다.
상기 필터매체(170)는 상기 지지프레임(150)과 상기 상부가이드(110)의 상부외측턱부(1115) 및 상기 하부가이드(120)의 하부외측턱부(1215)에 의해 폭 방향으로 이탈되지 않도록 지지될 수 있다.
상기 커버부(160)는 도 10에 도시한 바와 같이, 복수의 유입공(161)이 폭 방향으로 관통 형성되며 상부와 하부가 개방된 관체이다.
상기 커버부(160)는 판 형태로 구비될 수도 있다.
판 형태의 커버부인 경우 일단과 타단이 서로 마주보도록 말은 후 일단과 타단을 볼트, 나사 또는 리벳 등의 커버결합수단(165)으로 각각 관통시켜 별도의 커버가이드(163)에 결합시킴으로써, 판 형태의 커버부(160)를 관체로 형성할 수가 있다.
상기 커버부(160)는 상기 상부외측턱부(1115), 하부외측턱부(1215) 및 필터매체(170)의 외측으로 위치되도록 결합시키며, 상기 커버부(160)의 상부는 상기 상부외측턱부(1115)의 외측에 접촉되고, 상기 커버부(160)의 하부는 상기 하부외측턱부(1215)의 외측에 접촉된다.
상기 커버부(160)는 상기 커버부(160)를 폭 방향으로 관통하여 상기 상부외측턱부(1115)에 결합되는 볼트 또는 나사 등의 제1측면결합수단(163)과 상기 하부외측턱부(1215)에 결합되는 볼트 또는 나사 등의 제2측면결합수단(165)에 의해 고정될 수 있다.
따라서, 상기 지지프레임(150)은 상기 커버부(160)와 폭 방향으로 간격을 형성하면서 상기 커버부(160)의 내측으로 위치하게 되고, 상기 필터매체(170)는 상기 커버부(160)와 지지프레임(150) 사이에 형성된 간격에 구비된다.
한편, 상기 커버부(160)의 상부는 상기 상부외측턱부(1115)의 내측에 접촉되어 결합될 수도 있고, 상기 커버부(160)의 하부는 상기 하부외측턱부(1215)의 내측에 접촉되어 결합될 수도 있다.
아울러, 상기 필터매체(170)는 도 11에 도시한 바와 같이, 반경방향으로 복수의 주름을 가지는 원통형으로 형성되어 외측을 기준으로 복수의 볼록부(171)와 오목부(172)가 형성되고, 내측을 기준으로 복수의 볼록부(173)와 오목부(174)가 형성된다.
상기 지지봉(151)은 상기 필터매체(170)의 내측 오목부(174)에 위치할 수 있다. 따라서, 상기 필터매체(170)는 상기 지지봉(151)에 걸린 상태가 되어 원주방향으로의 회전이 불가하게 되어 설치된 원래대로 위치가 유지될 수 있으며, 원주방향으로의 변형이 억제된다.
도 12 및 도 13은 본 발명의 일실시예에 따른 분리적용이 가능한 케미컬 필터의 사용 예를 설명하기 위하여 도시한 예시도이다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 분리적용이 가능한 케미컬 필터가 이루어지고, 도 12에 도시한 바와 같이 팬(220)이 구동하면 화살표로 도시한 바와 같이 공기가 유동한다.
외부공기는 상부에서 폭 방향으로 커버부(160) 및 필터매체(170)를 차례로 통과하여 하향 유동하며, 상기 필터매체(170)를 통과할 때 공기 중에 포함된 유해물질이 상기 필터매체(170)에 쌓이면서 제거된다.
여기서, 상기 필터매체(170)의 외측에는 커버부(160)가 위치하지만 내측에는 지지프레임(150)만 위치하므로, 외부공기는 상기 커버부(160) 및 필터매체(170)를 통과할 때만 공기저항이 발생한다.
그리고, 외부공기가 상기 필터매체(170)를 통과하면서 상기 필터매체(170)로 외력이 가해지더라도, 상기 지지봉(151)이 필터매체(170)의 내측 오목부(174)에 위치한 상태가 되므로 상기 필터매체(170)는 위치 이동 없이 견고하게 고정될 수 있다.
이어서, 상기 케미컬 필터를 장시간 사용하여 상기 필터매체(170)에 유해물질이 쌓여 필터링 성능이 감소되면 상기 필터매체(170)를 교체하여야 한다.
상기 필터매체(170)의 교체는 도 13에 도시한 바와 같이, 필터부(100)에서 폐쇄되어 있는 상부가이드(110)를 분리한 후 상기 필터부(100)에 내장된 상기 필터매체(170)를 상부로 집어내면 된다.
상기 상부가이드(110)의 분리는 상기 상부결합수단(115)과 상기 제1측면결합수단(163)을 먼저 분리시킴으로써 상기 상부가이드(110)를 이탈시킬 수가 있다.
이때, 상기 상부가이드(110)에 구비된 손잡이(180)를 잡아서 상기 상부가이드(110)를 들어올릴 수가 있다.
이어서, 새로운 필터매체(170)를 상기 커버부(160)와 상기 지지프레임(150) 사이에 내장시키고, 상기 상부결합수단(115)과 상기 제1측면결합수단(163)으로 상기 상부가이드(110)를 부착하여 결합시키면 필터매체(170)의 교체가 완료된다.
따라서, 상기 필터부(100)에서 필터링 성능이 감소되면 상기 상부가이드(110), 하부가이드(120), 지지프레임(150) 및 커버부(160)는 그대로 사용하고, 내장된 필터매체(170)만을 교체할 수 있어서 교체비용을 절약할 수 있게 된다.
아울러, 필터매체(170) 내측에는 지지프레임(150)만을 구비하면 되므로 상기 필터부(100)를 제작하기가 용이하다.
이상의 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 제시하여 설명하였으나, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경할 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.
100: 필터부 170: 필터매체
200: 하우징 210: 흡입구

Claims (6)

  1. 하우징(200)의 흡입구(210) 형성 부분으로 연결되는 필터부(100)를 포함하는 케미컬 필터에 있어서;
    상기 필터부(100)는 복수의 유입공(161)이 형성되며 상부와 하부가 개방된 관체인 커버부(160), 길이방향으로 연장된 복수의 지지봉(151)과 상기 지지봉(151)들을 연결한 거치테(155)로 이루어져 상기 커버부(160)와 폭 방향으로 간격을 형성하면서 상기 커버부(160)의 내측으로 위치하는 지지프레임(150), 상기 커버부(160)와 지지프레임(150) 사이에 형성된 간격에 구비된 필터매체(170), 상기 필터매체(170)의 상부와 상기 지지프레임(150)의 상부를 포함하여 상부가 폐쇄되도록 덮는 상부가이드(110), 상기 필터매체(170)의 하부 외측으로부터 상기 지지프레임(150)의 하부 내측을 덮는 하부가이드(120)로 이루어져, 하부가 개방된 중공으로 상기 흡입구(210)에 연통되는 방향으로 구비되며 폭 방향으로 공기가 통과하는 구조이고, 내부에 필터매체(170)가 탈착 가능하게 구비되며, 상부는 폐쇄되며 탈착 가능하게 구비되는 것을 특징으로 한 분리적용이 가능한 케미컬 필터.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 상부가이드(110)는
    상기 필터매체(170)의 상부에 위치한 상부지지부(111)와, 상기 상부지지부(111)의 내측단에서 하부로 절곡 구비된 상부내측턱부(1113)와, 상기 상부지지부(111)의 외측단에서 하부로 절곡 구비된 상부외측턱부(1115)와, 상기 상부내측턱부(1113)에서 내측 중앙으로 연장 구비된 상부덮개부(113)를 포함하여 이루어지며,
    상기 하부가이드(120)는 상기 필터매체(170)의 하부에 위치한 하부지지부(121)와, 상기 하부지지부(121)의 내측단에서 상부로 절곡 구비된 하부내측턱부(1213)와, 상기 하부지지부(121)의 외측단에서 상부로 절곡 구비된 하부외측턱부(1215)를 포함하여 이루어지며,
    상기 커버부(160)의 상부는 상기 상부외측턱부(1115)의 외측에 접촉되고 하부는 상기 하부외측턱부(1215)의 외측에 접촉되며, 상기 지지봉(151)의 상부는 상기 상부내측턱부(1113)의 외측으로 위치하고 하부는 상기 하부내측턱부(1213)의 외측으로 위치하는 것을 특징으로 한 분리적용이 가능한 케미컬 필터.
  4. 제3항에 있어서, 상기 커버부(160)의 상부는 상기 상부외측턱부(1115)의 내측에 접촉되고 하부는 상기 하부외측턱부(1215)의 내측에 접촉된 것을 특징으로 한 분리적용이 가능한 케미컬 필터.
  5. 제1항에 있어서, 상기 필터매체(170)는 반경방향으로 복수의 주름을 가지는 원통형으로 형성되어 외측을 기준으로 복수의 볼록부(171)와 오목부(172)가 형성되고, 내측을 기준으로 복수의 볼록부(173)와 오목부(174)가 형성되며, 상기 지지봉(151)은 상기 필터매체(170)의 내측 오목부(174)에 위치한 것을 특징으로 한 분리적용이 가능한 케미컬 필터.
  6. 제1항에 있어서, 상기 상부가이드(110)의 상부에는 손잡이(180)가 구비된 것을 특징으로 한 분리적용이 가능한 케미컬 필터.
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