KR101263745B1 - Method for estimating angular position output error of rotary angular detection sensor equipped on electro-optical device - Google Patents
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Abstract
본 발명에 따른 전자광학장비에 장착된 회전형 각검출기의 위치출력오차 추정방법은, (a) 회전구동장비 위에 전자광학장비를 장착하고 그 전방에 위치한 광학시준기와 초기정렬을 수행하는 단계와, (b) 상기 회전구동장비를 제1 기준각만큼 구동시키고, 전자광학장비를 구동시켜서 상기 광학시준기와 정렬시킨 후, 제1 기준각에서의 위치출력오차값을 구하는 단계와, (c) 기준각도를 바꾸어 상기 위치출력오차값을 구하는 단계를 적어도 오차 파라미터의 개수만큼 반복하는 단계와, (d) 상기 단계들에서 구한 위치출력오차값을 사용하여 위치출력오차의 프로파일 함수로부터 오차 파라미터들의 값을 산출하는 단계와, (e) 상기 산출된 파라미터 값으로부터 전 구동범위에 대한 위치출력오차 프로파일을 추정하는 단계를 포함한다.A method of estimating the position output error of a rotating angle detector mounted to an electro-optical device according to the present invention includes the steps of: (a) mounting an electro-optical device on a rotating driving device and performing an initial alignment with an optical collimator located in front of the rotating optical drive; (b) driving the rotary drive device by a first reference angle, driving an electro-optical device to align with the optical collimator, and obtaining a position output error value at the first reference angle; and (c) a reference angle. Repeating the step of obtaining the position output error value by at least the number of error parameters, and (d) calculating the values of the error parameters from the profile function of the position output error using the position output error values obtained in the above steps. And (e) estimating the position output error profile for the entire driving range from the calculated parameter value.
Description
본 발명은 전자광학장비에 장착된 회전형 각검출기의 위치출력오차를 추정하는 방법에 관한 것으로서, 구체적으로는 대형 전자광학장비의 김발(gimbal) 각위치 검출기의 기계적인 장착오차에서 기인하는 구동각에 따른 보정용 각오차량, 즉 위치출력오차를 정밀하게 추정하기 위한 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for estimating a position output error of a rotary angle detector mounted on an electro-optical device, and specifically, a driving angle resulting from a mechanical mounting error of a gimbal angular position detector of a large electro-optical device. The present invention relates to a method for accurately estimating a correction angle error, that is, a position output error.
일반적으로 전자광학장비는 여러 시야각의 영상을 얻기 위하여 회전구동하도록 구성되며, 정확한 구동을 위하여 회전형 각검출기를 내장하고 있다. 그런데, 전자광학장비에 회전형 각검출기를 장착할 때 야기되는 기계적인 장착오차로 인해, 회전형 각검출기의 위치출력오차가 발생한다. 종래에는 전 구동구간에 걸쳐 이 위치출력오차를 추정하기 위하여 위치출력오차를 직접 측정하거나 일부구간의 직접측정치를 비례적으로 전체구간에 적용하여 원하는 구간의 위치출력오차의 실효치(RMS값)를 계산하였다. 그러나 이러한 종래의 방법은 위치출력오차의 원인이 되는 파라미터들의 명확한 규명이 없이 수행되기 때문에 오류가 유입될 가능성이 크다. 또한 실제 위치출력오차의 프로파일은 단순비례에 의해 그 값을 추정할 수 있는 흔히 알려진 간단한 형태의 함수가 아니므로 모든 각위치에 대해 위치출력오차를 측정해야 하는 불편함이 따른다.In general, the electro-optical equipment is configured to rotate in order to obtain images of various viewing angles, and has a built-in rotary angle detector for accurate driving. However, due to the mechanical mounting error caused when the rotary angle detector is mounted on the electro-optical equipment, the position output error of the rotary angle detector occurs. Conventionally, in order to estimate this position output error over the entire driving section, the effective measurement of the position output error (RMS value) of the desired section is calculated by measuring the position output error directly or by applying the direct measurement value of a partial section proportionally to the entire section. It was. However, this conventional method is likely to introduce an error because it is performed without a clear identification of the parameters that cause the position output error. Also, since the profile of the actual position output error is not a commonly known simple form of function that can be estimated by simple proportionality, it is inconvenient to measure the position output error for each position.
본 발명은 이러한 점을 감안하여 창안된 것으로서, 위치출력오차의 원인이 되는 파라미터를 변수로 하는 엄밀한 수학적 모델을 이용한 위치출력오차의 프로파일을 구하고 이를 이용하여 전자광학장비에 장착된 회전형 각검출기의 위치출력오차를 정밀하게 추정하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been devised in view of the above-described problem, and obtains a profile of a position output error using a strict mathematical model whose parameter is the cause of the position output error, and uses the same to determine the profile of the rotary angle detector mounted on the electro-optical equipment. It is an object of the present invention to provide a method for accurately estimating the position output error.
본 발명에 따른 전자광학장비에 장착된 회전형 각검출기의 위치출력오차 추정방법은, (a) 회전구동장비 위에 전자광학장비를 장착하고 그 전방에 위치한 광학시준기와 초기정렬을 수행하는 단계와, (b) 상기 회전구동장비를 제1 기준각만큼 구동시키고, 상기 전자광학장비를 구동시켜서 상기 광학시준기와 정렬시킨 후, 제1 기준각에서의 위치출력오차값을 구하는 단계와, (c) 기준각도를 바꾸어 상기 위치출력오차값을 구하는 단계를 적어도 오차 파라미터의 개수만큼 반복하는 단계와, (d) 상기 단계들에서 구한 위치출력오차값을 사용하여 위치출력오차의 프로파일 함수로부터 오차 파라미터들의 값을 산출하는 단계와, (e) 상기 산출된 파라미터 값으로부터 전 구동범위에 대한 위치출력오차 프로파일을 추정하는 단계를 포함한다.A method of estimating the position output error of a rotating angle detector mounted to an electro-optical device according to the present invention includes the steps of: (a) mounting an electro-optical device on a rotating driving device and performing an initial alignment with an optical collimator located in front of the rotating optical drive; (b) driving the rotary drive device by a first reference angle, driving the electro-optical device to align with the optical collimator, and calculating a position output error value at the first reference angle; and (c) reference Repeating the step of obtaining the position output error value by changing an angle at least as many as the number of error parameters, and (d) using the position output error values obtained in the above steps to obtain the values of the error parameters from the profile function of the position output error. Calculating; and (e) estimating the position output error profile for the entire driving range from the calculated parameter value.
상기 단계 (a)의 초기정렬로 상기 전자광학장비의 각검출기값이 0이 되도록 상기 전자광학장비를 조정하고 상기 전자광학장비의 영상화면의 중심에 광학시준기의 표적이 오도록 상기 회전구동장비를 구동시킬 수 있다.Adjust the electro-optical device so that the angle detector value of the electro-optical device becomes zero with the initial alignment of the step (a), and drive the rotary drive device so that the target of the optical collimator is at the center of the image screen of the electro-optical device. You can.
상기 단계 (b)에서 위치출력오차값은 상기 전자광학장비의 각위치와 상기 회전구동장비의 각위치의 차로부터 구한다.In step (b), the position output error value is obtained from the difference between the angular position of the electro-optical equipment and the angular position of the rotary drive equipment.
상기 오차 파라미터는 이상적 장착면과 실제 장착면의 교선이 이상적 장착면 좌표계에서의 회전축에 대하여 틀어져 있는 각도(α)와, 이상적 장착면과 실제 장착면이 이루는 각도(β)를 포함한다.The error parameter includes an angle α at which the intersection of the ideal mounting surface and the actual mounting surface is displaced with respect to the axis of rotation in the ideal mounting surface coordinate system, and the angle β between the ideal mounting surface and the actual mounting surface.
본 발명에 따른 전자광학장비에 장착된 회전형 각검출기의 위치출력오차 추정방법은, 상기 단계 (e)에서 획득한 전 구동범위에 대한 위치출력오차의 데이터로부터 원하는 구동범위의 실효값(RMS)을 산출하는 단계를 더 구비할 수 있다.In the method of estimating the position output error of the rotating angle detector mounted on the electro-optical device according to the present invention, the RMS value of the desired driving range from the data of the position output error for the entire driving range obtained in the step (e). It may further comprise the step of calculating.
상기 단계 (d)의 위치출력오차의 프로파일 함수(Pe)는 바람직하게는The profile function Pe of the position output error of step (d) is preferably
본 발명에 따른 전자광학장비에 장착된 회전형 각검출기의 위치출력오차 추정방법에 의하면 모든 전자광학장비의 위치출력오차값의 정밀도를 보다 향상시킬 수 있으며, 또한 위치출력오차의 직접측정이 곤란한 구동범위에서도 위치출력오차를 정밀하게 추정할 수 있다.According to the method of estimating the position output error of the rotating angle detector mounted on the electro-optical device according to the present invention, the precision of the position output error value of all the electro-optical equipment can be further improved, and the driving that is difficult to measure the position output error directly. Even within the range, the position output error can be estimated accurately.
도 1은 이상적인 장착면 상의 점(P)와 실제 장착면 상의 점(P')의 좌표를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따라서 전자광학장비의 위치출력오차를 실측하기 위한 장비 구성도를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 전자광학장비에 장착된 회전형 각검출기의 위치출력오차 추정방법을 나타내는 흐름도이다.1 is a diagram showing the coordinates of a point P on an ideal mounting surface and a point P 'on an actual mounting surface.
2 is a diagram showing the configuration of equipment for measuring the position output error of the electro-optical equipment according to an embodiment of the present invention.
3 is a flowchart illustrating a method of estimating a position output error of a rotary angle detector mounted on an electro-optical device according to an exemplary embodiment of the present invention.
이하 첨부도면을 참조하면서 본 발명에 따른 전자광학장비에 장착된 회전형 각검출기의 위치출력오차 추정방법의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of a method for estimating a position output error of a rotating angle detector mounted on an electro-optical device according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 이상적인 장착면 상의 점(P)와 실제 장착면 상의 점(P')의 좌표를 나타내는 도면이다. 도 1을 참조하면서 전자광학장비에 장착된 각위치 검출센서의 기계적인 장착오차와 관련된 두개의 파라미터를 설명한다.1 is a diagram showing the coordinates of a point P on an ideal mounting surface and a point P 'on an actual mounting surface. Referring to Fig. 1, two parameters related to mechanical mounting errors of the angular position detection sensor mounted on the electro-optical equipment will be described.
굴림대에 설치되는 회전형 각검출기는 일반적으로 원형이며, 구동축 안쪽과 바깥쪽에 각각 부착되어 구동될 때에 발생하는 안축과 바깥축 사이의 각도 차이를 검출해 낸다. 각검출기는 축에 설치될 때에 가공정밀도 등에 따라 자연스럽게 발생하는 기계적인 장착오차를 갖는데, 이 오차는 도 1에 도시된 바와 같은 두 개의 파라미터(α,β)로 표현된다. 도 1에서 참조부호 110은 각검출기의 이상적인 장착면을 나타내고 참조부호 120은 각검출기의 실제 장착면을 나타내는데, 이상적인 장착면(110)은 회전구동장비의 회전면과 일치한다. 도 1에서 α는 이상적인 장착면(110)과 실제 장착면(120) 사이의 교선이 이상적 장착면 좌표계(XYZ 좌표계)의 회전축(x축)에 대해 틀어져 있는 각도이며, β는 이상적 장착면(110)과 실제 장착면(120)이 이루는 각도이다. 각검출기는 도 1의 이상적인 장착면(110)에 장착되어야 하지만, 상술한 기계적인 장착오차 때문에 실제로는 도 1의 실제 장착면(120)에 장착된다. 이상적 장착면(110) 상을 움직이는 시선각과 실제 장착면(120) 상을 움직이는 시선각과의 차이가 위치출력오차가 되는데, 위치출력오차는 구동각(구동축은 도 1에서 x축임)에 따라 값이 변한다.Rotating angle detectors installed in rollers are generally circular and detect the difference in angle between the inner and outer axes, which occur when they are attached and driven inside and outside the drive shaft, respectively. Each detector has a mechanical mounting error that occurs naturally depending on machining accuracy when installed on the shaft, and this error is represented by two parameters α and β as shown in FIG. In FIG. 1,
도 1에서 이상적 장착면 상의 임의의 점을 P, 실제 장착면상의 임의의 점을 P'이라 하고 이들을 이상적 장착면상의 좌표계([0])와 실제 장착면상의 좌표계([1])로 나타내면 각각 수학식 1 및 2와 같다. 여기서 P는 이상적인 장착면 상의 기준점(회전각도 = 0)으로부터 x축 주위로 임의의 각 θ만큼 회전한 곳에 위치하는 가상의 점이다. P'은 전자광학장비에 잦착된 각검출기의 실제 장착면 상에 위치하는 임의의 점으로서, 전자광학장비의 구동축(X'축)의 기준점(회전각도 = 0)으로부터 X'축 주위로 각 θ'만큼 회전한 곳에 위치하는 점을 나타내는데, θ'은 P(2)=P'(2)의 조건을 만족하는 값이다. P(2)는 P점의 y값을 나타내고 P'(2)는 P'점의 y값을 나타낸다.In Fig. 1, any point on the ideal mounting surface is denoted by P, and any point on the actual mounting surface is denoted by P 'and these are represented by the coordinate system ([0]) on the ideal mounting surface and the coordinate system ([1]) on the actual mounting surface, respectively. Equations 1 and 2 are the same. Where P is on the ideal mounting surface It is an imaginary point located in the position rotated by the arbitrary angle θ around the x-axis from the reference point (rotation angle = 0). P 'is an arbitrary point located on the actual mounting surface of the angle detector frequently attached to the electro-optical equipment, and the angle θ around the X' axis from the reference point (rotation angle = 0) of the drive shaft (X'-axis) of the electro-optical equipment. It shows a point located at the rotated by ', where θ' is a value satisfying the condition of P (2) = P '(2). P (2) represents the y value of P point and P '(2) represents the y value of P' point.
실제 장착면 상의 점(P')은 이상적 장착면 상의 좌표계([0])에서는 수학식3과 같이 나타낼 수 있다.The point P 'on the actual mounting surface can be expressed as Equation 3 in the coordinate system [0] on the ideal mounting surface.
여기서, θ'의 조건으로부터 P(2)=P'(2)이므로 수학식1과 3으로부터 수학식 4와 5를 얻는다.Here, since P (2) = P '(2) from the condition of?', Equations (4) and (5) are obtained from equations (1) and (3).
따라서 구동축(x축) 및 이와 수직인 구동축(y축) 방향으로의 위치출력오차 의 프로파일 함수(Pe)는 수학식 6과 같이 나타낼 수 있다.Therefore, the profile function Pe of the position output error in the direction of the drive shaft (x-axis) and the drive axis (y-axis) perpendicular thereto may be expressed as in Equation (6).
이상으로 두 개의 파라미터(α와 β)를 갖는 위치출력오차의 프로파일 함수(Pe)에 대하여 설명하였다. 이어서, 이 위치출력오차의 프로파일 함수(Pe)에 사용되는 두 개의 파라미터(α와 β)를 구하고, 이로부터 전 구동범위에 대한 위치출력오차의 데이터를 획득하는 방법을 도 2와 도 3을 참조하면서 설명한다.The profile function Pe of the position output error with two parameters α and β has been described above. Subsequently, two parameters α and β used in the profile function Pe of the position output error are obtained, and a method of obtaining the data of the position output error for the entire driving range therefrom is shown in FIGS. 2 and 3. Explain.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따라서 전자광학장비의 위치출력오차를 실측하기 위한 장비 구성도를 나타내는 도면이고, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 전자광학장비에 장착된 회전형 각검출기의 위치출력오차 추정방법을 나타내는 흐름도이다. 이하 도 2와 도 3을 참조하면서 설명한다.2 is a view showing the configuration of the equipment for measuring the position output error of the electro-optical device according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a rotating angle mounted on the electro-optical device according to an embodiment of the present invention A flowchart illustrating a method of estimating position output error of a detector. A description with reference to FIGS. 2 and 3 is as follows.
먼저, 회전구동장비(310) 위에 측정대상인 전자광학장비(320)을 장착하고 그 전방에 위치한 광학시준기(330)와 초기정렬을 수행한다 (단계 S410). 초기정렬은 전자광학장비(320)의 각검출기값과 회전구동장비(310)의 구동각이 0이 되도록 전자광학장비(320) 및 회전구동장비(310)를 조정하고 이 전자광학장비(320)의 영상화면의 중심에 광학시준기(330)의 표적이 오도록 전자광학장비(320)를 미세 구동시킴으로써 수행된다.First, the electro-
그리고, 단계(S420)에서 제1 기준각에서의 위치출력오차를 측정한다. 구체적으로는, 회전구동장비(310)를 임의의 각(θ; 제1 기준각)만큼 구동시키고, 이어서 전자광학장비(320)를 θ'만큼 구동시켜서 전자광학장비(320)의 영상화면의 중심(도 1에서 점P'의 XZ 평면으로부터 시선높이(P'의 y값, 즉 P'(2)의 위치)에 광학시준기(330)의 표적(도 1에서 점P의 XZ 평면으로부터 시선높이(P의 y값, 즉 P(2)의 위치)이 오도록 광학시준기(330)와 전자광학장비(320)를 정렬시킨다. 즉, 도 1에서 P'(2)와 P(2)가 동일하도록 전자광학장비(320)의 구동제어기로써 θ'의 값을 세부조정한다. 이 상태에서 전자광학장비(320)의 각검출기 값(θ')을 읽는다. 여기서 전자광학장비(320)의 각검출기값(각위치; θ')와 회전구동장비(310)의 각위치(θ) 간의 차이가 현재 구동각(즉, 제1 기준각)에서의 위치출력오차값이 된다.In operation S420, the position output error at the first reference angle is measured. Specifically, the
다음에, 기준각을 달리하면서 상술한 위치출력오차값을 구하는 과정을 적어도 오차 파라미터의 개수만큼 반복한다 (단계 S430). 본 발명에서는 구하여야 할 미지수(오차 파라미터)의 개수가 2개이다 (수학식 6 참조). 그런데 두 개의 미지수는 2개의 연립방정식으로부터 구할 수 있기 때문에 본 발명의 경우 이론적으로는 위치출력값을 구하는 과정을 두 번만 수행하면 오차 파라미터(α와 β)를 구할 수 있지만, 정확성을 기하기 위하여 세 번 이상 수행하는 것이 바람직하다. 기준각을 달리하여 위치출력값을 구할 때, 예를 들어 구동범위가 ±85°인 전자광학장비의 경우 약 10~15°간격으로 구동시킬 수 있는데, 이때 작은 각부터 큰 각까지 (또는 그 반대로) 순차적으로 구동하는 것이 좋다.Next, the process of obtaining the above-described position output error value while varying the reference angle is repeated at least as many as the number of error parameters (step S430). In the present invention, the number of unknowns (error parameters) to be obtained is two (see Equation 6). However, since two unknowns can be obtained from two simultaneous equations, in the case of the present invention, it is theoretically possible to obtain the error parameters (α and β) by performing only two steps of calculating the position output value, but three times for accuracy. It is preferable to perform the above. When the position output value is obtained by changing the reference angle, for example, in the case of electro-optical equipment having a driving range of ± 85 °, it can be driven at intervals of about 10 to 15 °. It is better to drive sequentially.
그리고, 위 단계들에서 구한 위치출력오차값을 사용하여 위치출력오차의 프로파일 함수(수학식 6)로부터 오차 파라미터(α와 β)의 값을 산출한다 (단계 S440). 여기서 오차 파라미터(α)는 이상적 장착면과 실제 장착면의 교선이 이상적 장착면 좌표계에서의 회전축에 대하여 틀어져 있는 각도를 의미하고, 오차 파라미터(β)는 이상적 장착면과 실제 장착면이 이루는 각도임은 이미 설명한 바와 같다.Then, the values of the error parameters α and β are calculated from the profile function (Equation 6) of the position output error using the position output error values obtained in the above steps (step S440). The error parameter α is an angle at which the intersection of the ideal mounting surface and the actual mounting surface is twisted with respect to the rotation axis in the ideal mounting surface coordinate system, and the error parameter β is the angle between the ideal mounting surface and the actual mounting surface. Is as described above.
다음, 산출된 오차 파라미터(α와 β)의 값을 이용하여 전 구동범위에 대한 위치출력오차 프로파일을 추정한다 (단계 S450). 여기서 위치출력오차 프로파일의 추정은 수학식 6에 의한다. 단계(S450)에서 추정한 전 구동범위에 대한 위치출력오차의 데이터로부터 관심있는 구동범위의 위치출력오차의 실효값(RMS)을 계산할 수 있다.Next, the position output error profile for the entire driving range is estimated using the calculated values of the error parameters alpha and beta (step S450). Here, the estimation of the position output error profile is based on Equation 6. The RMS value of the position output error of the driving range of interest may be calculated from the data of the position output error of the entire driving range estimated in step S450.
상술한 바와 같이, 바람직한 실시예를 통하여 본 발명을 상세히 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변경 및 응용이 가능함은 당업자에게 자명하다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호범위는 다음의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술적 사상은 본 발명의 권리 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.As described above, the present invention has been described in detail through the preferred embodiment, but the present invention is not limited thereto, and it is apparent to those skilled in the art that various changes and applications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the true protection scope of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the equivalent scope should be construed as being included in the scope of the present invention.
310: 회전구동장비 320: 전자광학장비
330: 광학시준기310: rotational driving equipment 320: electro-optical equipment
330: optical collimator
Claims (6)
(b) 상기 회전구동장비를 제1 기준각만큼 구동시키고, 상기 전자광학장비를 구동시켜서 상기 광학시준기와 정렬시킨 후, 제1 기준각에서의 위치출력오차값을 구하는 단계;
(c) 기준각도를 바꾸어 상기 위치출력오차값을 구하는 단계를 적어도 오차 파라미터의 개수만큼 반복하는 단계;
(d) 상기 단계들에서 구한 위치출력오차값을 사용하여 위치출력오차의 프로파일 함수로부터 오차 파라미터들의 값을 산출하는 단계;
(e) 상기 산출된 파라미터 값으로부터 전 구동범위에 대한 위치출력오차 프로파일을 추정하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자광학장비에 장착된 회전형 각검출기의 위치출력오차 추정방법.(a) mounting an electro-optical device to be measured on the rotary drive device and performing an initial alignment with an optical collimator located in front of it;
(b) driving the rotary drive device by a first reference angle, driving the electro-optical device to align with the optical collimator, and obtaining a position output error value at the first reference angle;
(c) repeating the step of obtaining the position output error value by changing a reference angle, at least by the number of error parameters;
(d) calculating the values of the error parameters from the profile function of the position output error using the position output error values obtained in the above steps;
(e) estimating the position output error profile for the entire driving range from the calculated parameter values.
상기 단계 (a)의 초기정렬은 상기 전자광학장비의 각검출기값 및 회전구동장비의 구동각이 0이 되도록 상기 전자광학장비와 상기 회전구동장비를 조정하고 상기 전자광학장비의 영상화면의 중심에 광학시준기의 표적이 오도록 상기 전자광학장비를 미세 구동시키는 것을 특징으로 하는 전자광학장비에 장착된 회전형 각검출기의 위치출력오차 추정방법.The method of claim 1,
The initial alignment of the step (a) is to adjust the electro-optical device and the rotational drive equipment so that the angle detector value of the electro-optical device and the drive angle of the rotational drive equipment is zero, and to the center of the image screen of the electro-optical device A method of estimating the position output error of a rotating angle detector mounted on an electro-optical device, characterized in that the electro-optical device is finely driven so that a target of an optical collimator comes.
상기 단계 (b)에서 위치출력오차값은 상기 전자광학장비의 각위치와 상기 회전구동장비의 각위치의 차로부터 구하는 것을 특징으로 하는 전자광학장비에 장착된 회전형 각검출기의 위치출력오차 추정방법.The method of claim 1,
In step (b), the position output error value is calculated from the difference between the angular position of the electro-optical equipment and the angular position of the rotary drive equipment. .
상기 오차 파라미터는 이상적 장착면과 실제 장착면의 교선이 이상적 장착면 좌표계에서의 회전축에 대하여 틀어져 있는 각도(α)와, 이상적 장착면과 실제 장착면이 이루는 각도(β)인 것을 특징으로 하는 전자광학장비에 장착된 회전형 각검출기의 위치출력오차 추정방법.The method of claim 1,
The error parameter may be an angle α in which the intersection of the ideal mounting surface and the actual mounting surface is twisted with respect to the rotation axis in the ideal mounting surface coordinate system, and the angle β between the ideal mounting surface and the actual mounting surface. Estimation method of position output error of rotating angle detector mounted on optical equipment.
상기 단계 (e)에서 획득한 전 구동범위에 대한 위치출력오차의 데이터로부터 원하는 구동범위의 실효값(RMS)을 산출하는 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 전자광학장비에 장착된 회전형 각검출기의 위치출력오차 추정방법.The method of claim 1,
Comprising the step of calculating the RMS value of the desired drive range from the position output error data for the entire drive range obtained in the step (e) further comprises a rotating angle detector mounted to the electro-optical equipment A method of estimating the position output error of.
상기 단계 (d)의 위치출력오차의 프로파일 함수(Pe)는,
인 것을 특징으로 하는 전자광학장비에 장착된 회전형 각검출기의 위치출력오차 추정방법.The method of claim 1,
The profile function Pe of the position output error of step (d) is
Position output error estimation method of a rotary angle detector mounted to the electro-optical equipment.
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| JP2001317924A (en) | 2000-05-11 | 2001-11-16 | Aisin Seiki Co Ltd | Shape measuring device and optical axis measuring method thereof |
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