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KR101256215B1 - A probe for testing - Google Patents

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Publication number
KR101256215B1
KR101256215B1 KR1020110115094A KR20110115094A KR101256215B1 KR 101256215 B1 KR101256215 B1 KR 101256215B1 KR 1020110115094 A KR1020110115094 A KR 1020110115094A KR 20110115094 A KR20110115094 A KR 20110115094A KR 101256215 B1 KR101256215 B1 KR 101256215B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
plunger
outer cylinder
barrel
contact
groove portion
Prior art date
Application number
KR1020110115094A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
이채윤
Original Assignee
리노공업주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 리노공업주식회사 filed Critical 리노공업주식회사
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Abstract

PURPOSE: A semiconductor test probe is provided to reduce the contact resistance and resistance deviation, to diverse the weight which generates when performing a suitable test for the high current by lowering the resistance on a conductivity route, and to increase the durability. CONSTITUTION: A test probe(100) is comprised of the followings: an outside body(110) in which the inside is vacant; a first plunger(120) in which one end is inserted into one side of the outside body and the other end is exposed from one side of the outside body and contacting with a contact point of a test board; a second plunger(130) in which one end is inserted into the other side of the outside body and the other end is exposed from the other side of the outside body and contacting with the contact point of a test material; a third plunger(220) which is interposed between the first plunger and the second plunger inside the outside body, and contacting with one end of the first plunger; and a plurality of inside conductivity contact(200) which has a fourth plunger(230) contacting with one end of the second plunger and a first elastomer(240) interposed between the third plunger and the fourth plunger.

Description

검사용 프로브{A Probe for Testing}[0001] The present invention relates to a probe for testing,

본 발명은 검사용 프로브, 보다 상세하게는 피검사체의 단자와 테스트 보드의 패드 사이를 전기적으로 연결하는 대전류용으로 적합한 검사용 프로브에 관한 것이다.The present invention relates to a test probe, and more particularly to a test probe suitable for a large current for electrically connecting a terminal of a test object and a pad of a test board.

반도체 칩은 미세한 전자회로가 고밀도로 집적되어 형성되어 있으며, 제조공정 중에 각 전자회로의 정상 여부를 테스트한다.Semiconductor chips are formed by accumulating fine electronic circuits at high density and test whether each electronic circuit is normal during the manufacturing process.

반도체 칩의 테스트는 반도체 칩의 단자와 테스트 신호를 인가하는 테스트 보드의 패드를 전기적으로 연결하는 반도체 검사용 프로브가 사용된다.In the test of the semiconductor chip, a semiconductor inspection probe for electrically connecting terminals of the semiconductor chip and pads of a test board for applying a test signal is used.

도 1은 종래의 반도체 검사용 프로브를 나타내는 것으로, 원통형의 배럴(20), 원통형 배럴(20)의 상부에 삽입되는 상부 플런저(10), 배럴의 하부에 삽입되는 하부 플런저(40), 상기 배럴(20)의 중앙에 상기 상부 플런저(10)와 하부 플런저(40) 사이에 개재되는 스프링(30)으로 구성되어 있다.FIG. 1 shows a conventional semiconductor inspection probe, which includes a cylindrical barrel 20, an upper plunger 10 inserted into the upper portion of a cylindrical barrel 20, a lower plunger 40 inserted into a lower portion of the barrel, (30) interposed between the upper plunger (10) and the lower plunger (40) at the center of the lower plunger (20).

이와 같은 종래 반도체 검사용 프로브는 상부 플런저 팁(12)이 반도체 칩과 같은 피검사체의 단자에 접촉하고 하부 플런저의 팁이 테스트 보드의 패드에 접촉하여 테스트 신호를 전달하는 역할을 한다.The conventional semiconductor inspection probe serves to transmit a test signal when the upper plunger tip 12 contacts a terminal of a test object such as a semiconductor chip and the tip of the lower plunger contacts a pad of the test board.

테스트 신호는 피검사체의 단자로부터 상부 플런저(10)를 통해 하부에서 접촉하는 배럴(20)로 전달되고, 배럴(20)를 통과해 하부 플런저(40)로 전달되어 최종적으로 테스트 보드의 패드로 전달된다.The test signal is transmitted from the terminal of the test object through the upper plunger 10 to the lower contact barrel 20 and then through the barrel 20 to the lower plunger 40 and finally to the pad of the test board do.

이때, 테스트 시에 상하부 플런저들(10,40)은 중간에 스프링(30)을 사이에 두고 요동하면서 배럴(20)과 접촉하기 때문에 접촉 저항이 높고 저항 편차가 심해지는 문제가 있다. At this time, since the upper and lower plungers 10, 40 are in contact with the barrel 20 while swinging the spring 30 in between, the contact resistance is high and the resistance variation is increased.

본 발명의 목적은 상술한 문제를 해결하기 위한 것으로, 접촉저항 및 저항 편차를 줄일 수 있는 반도체 검사용 프로브를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above problems and provide a semiconductor inspection probe capable of reducing contact resistance and resistance variation.

본 발명의 다른 목적은 도전 경로 상의 저항을 낮춰 대전류용으로 적합한 반도체 검사용 프로브를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a semiconductor inspection probe which is suitable for a large current by lowering the resistance on a conductive path.

본 발명의 또 다른 목적은 테스트 시 발생하는 하중을 분산시킬 수 있어 내구성을 높일 수 있는 반도체 검사용 프로브를 제공함에 있다. It is still another object of the present invention to provide a semiconductor inspection probe capable of dispersing a load generated during a test to improve durability.

상기 본 발명의 과제를 해결하기 위한, 피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위해 피검사체의 접점과 테스트 보드의 접점 사이를 연결하는 검사용 프로브는 내부가 비어 있는 외부 통체; 일단이 상기 외부 통체의 일측에 삽입되고, 타단이 외부 통체의 일측으로부터 노출되어 상기 테스트보드의 접점에 접촉되는 제1플런저; 일단이 상기 외부 통체의 타측에 삽입되고, 타단이 외부 통체의 타측으로부터 노출되어 피검사체의 접점에 접촉하는 제2플런저; 및 상기 외부 통체 내에서 상기 제1플런저와 제2플런저 사이에 개재하되, 상기 제1플런저의 일단에 접촉하는 제3플런저, 상기 제2플런저의 일단에 접촉하는 제4플런저, 및 상기 제3플런저와 제4플런저 사이에 개재된 제1탄성체를 각각 갖는 복수의 내부 도전성 접촉체를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to verify the electrical characteristics of the object to be inspected, an inspection probe for connecting between a contact of the object to be inspected and a contact point of the test board comprises: an outer cylinder having an inner space; A first plunger having one end inserted into one side of the outer cylinder and the other end exposed from one side of the outer cylinder and contacting a contact of the test board; A second plunger having one end inserted into the other side of the outer cylinder and the other end exposed from the other side of the outer cylinder so as to contact the contact of the subject; And a third plunger interposed between the first plunger and the second plunger in the outer cylinder, the third plunger contacting one end of the first plunger, the fourth plunger contacting the one end of the second plunger, And a plurality of inner conductive contact members each having a first elastic body interposed between the first plunger and the fourth plunger.

상기 제1플런저와 제2플런저 중 적어도 하나는 상기 외부 통체 내에서 이동가능하게 삽입되고, 상기 이동가능한 상기 제1플런저와 제2플런저 중 적어도 하나는 걸림턱을 포함하고, 이동가능한 상기 제1플런저와 제2플런저 중 적어도 하나가 외부통체로부터 빠지는 것을 제한하도록 상기 외부 통체는 상기 걸림턱을 내부에 수용한 상태에서 반경 방향 중심을 향해 절곡된 단부를 포함하는 것이 바람직하다.Wherein at least one of the first plunger and the second plunger is movably inserted in the outer cylinder and at least one of the movable first plunger and the second plunger includes a catching jaw, The outer cylinder may include an end bent toward the radial center in a state where the outer cylinder has the latching jaw therein so that at least one of the first plunger and the second plunger is prevented from being released from the outer cylinder.

상기 제1플런저와 제2플런저 중 하나는 상기 외부 통체에 삽입되는 부분의 외곽에 홈부를 포함하고, 상기 홈부에 대응하는 위치의 외부 통체를 상기 홈부를 향해 가압 변형시키는 것이 바람직하다.One of the first plunger and the second plunger preferably includes a groove portion on an outer periphery of a portion to be inserted into the outer cylinder, and the outer cylinder at a position corresponding to the groove portion is pressed and deformed toward the groove portion.

상기 제1 탄성체는 내부가 비어 있는 배럴에 수용되는 것이 바람직하다.It is preferable that the first elastic body is accommodated in a barrel having an inner space.

상기 제3플런저와 제4플런저 중 적어도 하나는 상기 외부 통체 내에서 이동가능하게 삽입되고, 상기 이동가능한 상기 제3플런저와 제4플런저 중 적어도 하나는 걸림턱을 포함하고, 상기 이동가능한 상기 제3플런저와 제4플런저 중 적어도 하나가 배럴로부터 빠지는 것을 제한하도록 상기 배럴은 상기 걸림턱을 내부에 수용한 상태에서 반경 방향 중심을 향해 절곡된 단부를 포함하는 것이 바람직하다.Wherein at least one of the third plunger and the fourth plunger is movably inserted in the outer cylinder and at least one of the movable third plunger and the fourth plunger includes a latching jaw, The barrel preferably includes an end portion that is bent toward the radial center while accommodating the engagement protrusion so as to restrict at least one of the plunger and the fourth plunger from being pulled out of the barrel.

상기 제3플런저와 제4플런저 중 하나는 상기 배럴에 삽입되는 부분의 외곽에 홈부를 포함하고, 상기 홈부에 대응하는 위치의 배럴을 상기 홈부를 향해 가압 변형시키는 것이 바람직하다.One of the third plunger and the fourth plunger preferably includes a groove portion on an outer periphery of a portion to be inserted into the barrel and presses and deforms a barrel at a position corresponding to the groove portion toward the groove portion.

상기 제1플런저 및 제2플런저 중 적어도 하나는 상기 외부 통체에 수용된 단부에 상기 제3 플런저 및 제4플런저를 수용할 수 있는 플런저 수용홈부를 포함할 수 있다.At least one of the first plunger and the second plunger may include a plunger receiving groove portion capable of receiving the third plunger and the fourth plunger at an end portion accommodated in the outer cylinder.

상기 외부 통체 내부에 삽입되어 제3플런저와 제4플런저 중 적어도 하나를 감싸는 제2의 탄성체를 더 포함할 수 있다.And a second elastic body inserted into the outer cylinder to surround at least one of the third plunger and the fourth plunger.

본 발명에 의한 검사용 프로브는 많은 접점을 부여하여 접촉저항 및 저항 편차를 낮출 수 있는 효과가 있다.The probe for inspection according to the present invention has many contact points to reduce contact resistance and resistance variation.

또한, 본 발명의 검사용 프로브는 많은 도전 경로를 제공하여 저항을 낮출 수 있어 대전류용으로 이용할 수 있다.In addition, the inspection probe of the present invention can provide many conductive paths to lower the resistance, and can be used for high current applications.

또한, 복수의 내부 도전성 접촉체를 이용하여 검사 시 가해지는 하중을 효과적으로 분산시킬 수 있어 프로브의 내구성을 향상시킬 수 있다. Further, the load applied during inspection can be effectively dispersed by using a plurality of internal conductive contact members, thereby improving the durability of the probe.

도 1은 종래의 반도체 검사용 프로브의 단면을 나타낸 도면이고,
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 검사용 프로브(100)의 단면을 나타낸 단면도이고,
도 3은 도 2의 검사용 프로브(100)를 분해하여 나타낸 단면도이고,
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 검사용 프로브의 단면을 나타낸 단면도이고,
도 5는 도 4의 검사용 프로브를 분해하여 나타낸 단면도이고,
도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 검사용 프로브의 단면을 나타낸 단면도이고,
도 7은 도 6의 검사용 프로브를 분해하여 나타낸 단면도이고,
도 8 및 9는 도 6에 나타낸 제1플런저 및 제2플런저의 구조를 나타낸 사시도이다.1 is a cross-sectional view of a conventional semiconductor inspection probe,
2 is a cross-sectional view showing a cross section of the inspection probe 100 according to the first embodiment of the present invention,
3 is a cross-sectional view of the inspection probe 100 of FIG. 2,
4 is a cross-sectional view showing a cross section of a test probe according to a second embodiment of the present invention,
Fig. 5 is a cross-sectional view of the inspection probe of Fig. 4,
6 is a cross-sectional view showing a cross section of the inspection probe according to the third embodiment of the present invention,
FIG. 7 is a cross-sectional view showing the inspection probe of FIG. 6 in an exploded state,
Figs. 8 and 9 are perspective views showing structures of the first plunger and the second plunger shown in Fig. 6;

이하, 첨부한 도면을 참고로 본 발명의 실시예들에 대하여 상세히 설명한다. 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였다. 또한, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하였다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted. In the following description, the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification.

도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 검사용 프로브(100)는 내부가 비어 있는 외부 통체(110), 상기 외부 통체(110)의 일측에 일단이 삽입된 제1플런저(120)와 타측에 일단이 삽입된 제2플런저(130), 및 상기 외부 통체(110)내에서 제1플런저(120)와 제2플런저(130) 사이에 개재된 2개의 내부 도전성 접촉체(200)를 포함한다. 물론 본 발명에 따른 검사용 프로브(100)의 외부 통체(110)에는 3개 이상의 내부 도전성 접촉체(200)가 수용될 수 있다.As shown in FIGS. 2 and 3, the inspection probe 100 of the present invention includes an outer cylinder 110 having an inner space, a first plunger 120 having one end inserted into the outer cylinder 110, A second plunger 130 having one end inserted into the other end and two inner conductive contact members 200 interposed between the first plunger 120 and the second plunger 130 in the outer cylinder 110 do. Of course, three or more internal conductive contact members 200 may be accommodated in the external cylinder 110 of the probe 100 according to the present invention.

상기 외부 통체(110)는 중공 형태의 도전성 재질로 이루어지며, 바람직하게는 도전성을 향상시키기 위해 금이나 은도금을 할 수 있다. The outer cylinder 110 is made of a conductive material having a hollow shape, and gold or silver plating can be preferably used to improve the conductivity.

상기 제1플런저(120)는 도전성 재질로 만들어지고 외부 통체로부터 노출된 단부(124)는 테스트보드의 접점(미도시)에 접촉된다. 제1플런저(120)는 양단의 직경이 서로 다르며, 반경이 줄어드는 변화에 의해 형성된 걸림턱(126)을 포함할 수 있다. 외부 통체(110)는 제1플런저(120)가 외부통체(110)에 삽입된 상태에서 빠지지 않도록 제1플런저(120)가 외부통체(110)에 삽입된 상태로 단부(114)를 반경 중심방향으로 절곡시킬 수 있다. The first plunger 120 is made of a conductive material and the end portion 124 exposed from the external cylinder is in contact with a contact (not shown) of the test board. The first plunger 120 may include an engagement jaw 126 formed by a change in the diameter of the opposite ends of the first plunger 120 and a reduction in radius. The outer cylinder 110 is formed so that the first plunger 120 is inserted into the outer cylinder 110 so that the first plunger 120 is inserted into the outer cylinder 110, .

제 2플런저(130)는 도전성 재질로 만들어지고 외부 통체(110)의 외부로 노출된 단부(134)는 피검사체의 접점(미도시)에 접촉된다. 외부 통체(110)의 내부에 삽입되는 부분의 외곽에 원주형태의 홈부(136)를 포함할 수 있다. 이 홈부(136)는 연속된 원주 형태일 필요는 없으며, 불연속적인 형태로 형성하여도 무방하다.The second plunger 130 is made of a conductive material and the end 134 exposed to the outside of the outer cylinder 110 is in contact with a contact (not shown) of the object to be inspected. And may include a circumferential groove portion 136 at the outer periphery of the portion to be inserted into the inside of the outer cylinder 110. [ The groove portion 136 need not necessarily be formed in a continuous circumferential shape, but may be formed in a discontinuous shape.

상기 제2플런저(130)의 홈부(136)에 대응하는 외부 통체(110) 부분(116)을 반경방향 중심을 향해 가압 변형함으로써 외부 통체(110)와 제2플런저(130)는 서로 고정될 수 있다.The outer cylinder 110 and the second plunger 130 can be fixed to each other by pressing and deforming the outer cylinder 110 portion 116 corresponding to the groove portion 136 of the second plunger 130 toward the radial center have.

상기 내부 도전성 접촉체(200)는 상기 제1플런저(120)의 일단(122)에 접촉하는 제3플런저(220), 상기 제2플런저(120)의 일단에 접촉하는 제4플런저(230), 및 상기 제3플런저(220)와 제4플런저(230) 사이에 개재된 제1탄성체(240)를 포함한다. The inner conductive contact member 200 includes a third plunger 220 contacting the one end 122 of the first plunger 120, a fourth plunger 230 contacting the one end of the second plunger 120, And a first elastic body 240 interposed between the third plunger 220 and the fourth plunger 230.

상기 내부 도전성 접촉체(200)는 그 자체적으로도 미세 피치의 반도체와 같은 피검사체의 전기적 특성 검사에 이용될 수 있다. 또한, 외부 통체(110)에 삽입되는 내부 도전성 접촉체(200)는 모두 동일한 것을 사용하는 것이 제조비용 측면에서 바람직하다.The internal conductive contact body 200 itself can be used for the inspection of electrical characteristics of an object to be inspected such as a semiconductor with fine pitch. In addition, it is preferable from the viewpoint of manufacturing cost to use the same inner conductive contact member 200 inserted into the outer cylinder 110.

상기 제3플런저(220)는 도전성 재질로 만들어지고 내부가 비어 있는 배럴(210) 내에 부분적으로 삽입된다. 제3플런저(220)는 양단의 직경이 서로 다르며, 반경이 줄어드는 변화에 의해 형성된 제2걸림턱(226)을 포함할 수 있다. 배럴(210)의 단부(214)는 제3플런저(120)가 배럴(210)에 삽입된 상태에서 빠지지 않도록 제3플런저(120)의 제2걸림턱(226)이 수용된 상태로 반경 중심방향으로 절곡될 수 있다. The third plunger 220 is made of a conductive material and is partially inserted into a barrel 210 having an inner space. The third plunger 220 may include a second stopping jaw 226 formed by a change in diameter of the opposite ends of the second plunger 220 and a decrease in radius. The end 214 of the barrel 210 is inserted into the barrel 210 in a state where the second stopping jaw 226 of the third plunger 120 is accommodated in the radial direction It can be bent.

제 4플런저(230)는 배럴(210)의 내부에 삽입되는 단부(232) 부근에 원주형태의 홈부(236)를 포함할 수 있다. 제4플런저(230)의 홈부(236)에 대응하는 배럴 부분(216)을 제2플런저(130)와 마찬가지로 반경방향 중심으로 가압 변형시켜 배럴(210)과 제4플런저(230)을 고정할 수 있다. 이 홈부(236)는 연속된 원주 형태일 필요는 없으며, 불연속적인 형태로 형성하여도 무방하다. The fourth plunger 230 may include a circumferential groove 236 in the vicinity of the end 232 inserted into the barrel 210. The barrel portion 216 corresponding to the groove portion 236 of the fourth plunger 230 is pressed and deformed in the radial center similarly to the second plunger 130 to fix the barrel 210 and the fourth plunger 230 have. The groove portion 236 is not necessarily a continuous circumferential shape, but may be formed in a discontinuous shape.

또한, 제4플런저(230)는 제3플런저(220)와 유사한 형태로 형성하여 배럴(220)에 고정하지 않고 이동가능하게 삽입할 수 있다.The fourth plunger 230 may be formed in a shape similar to that of the third plunger 220 and may be inserted movably without being fixed to the barrel 220.

상술한 설명에서, 내부 도전성 접촉체(200)는 배럴(210)내에 스프링을 포함하는 스프링 내장형을 실시예로서 설명하였지만, 배럴이 없는 스프링 외장형의 도전성 접촉체(미도시)도 적용가능하다.In the above description, the internal conductive contact member 200 has been described by way of example as a spring-loaded type including a spring in the barrel 210, but a spring-loaded conductive contact member (not shown) without a barrel is also applicable.

도 2 및 도 3에 나타낸 본 발명의 제1실시예에 반도체 검사용 프로브(200)의 작동을 설명하면 다음과 같다.The operation of the semiconductor inspection probe 200 will be described in the first embodiment of the present invention shown in FIGS. 2 and 3 as follows.

피검사체를 테스트 할 때, 피검사체의 접점에 접촉된 제2플런저(134)는 피검사체에 의해 눌러져 압력을 받는다. 이때, 외부통체(110)와 제2플런저(134)는 고정되어 있고 제1플런저(124)는 외부통체(110)와 고정되어 있지 않고 요동할 수 있다. When the object to be inspected is tested, the second plunger 134, which is in contact with the contact point of the object, is pressed by the object to be inspected. At this time, the outer cylinder 110 and the second plunger 134 are fixed, and the first plunger 124 is not fixed to the outer cylinder 110 and can swing.

제2플런저(134)가 가압되면, 제2플런저(134)가 하향 이동하고 그 결과 내부 도전성 접촉체(200)의 제3플런저(220)를 가압하게 된다. 압력을 받은 제3플런저(220)는 제3플런저(220)와 제4플런저(230) 사이에 개재된 제1탄성체(240)를 압축한다. When the second plunger 134 is pressed, the second plunger 134 moves downward and consequently presses the third plunger 220 of the inner conductive contact member 200. The pressurized third plunger 220 compresses the first elastic body 240 interposed between the third plunger 220 and the fourth plunger 230.

따라서, 피검사체가 제2플런저(130)를 압축하는 것은 최종적으로 외부 통체(110)의 내부에 삽입된 모든 내부 도전성 접촉체(200)의 탄성체(240)들을 압축하게 되어 제2플런저(130)가 탄성력을 갖고 요동할 수 있다.Therefore, the object to be inspected compresses the second plunger 130 to finally compress the elastic bodies 240 of all the inner conductive contact members 200 inserted into the outer cylinder 110, Can be swung with an elastic force.

일반적으로 피검사체로부터 검사용 프로브(100)에는 큰 압력이 가해지는데, 본 발명의 검사용 프로브(100)는 내부에 수용된 복수의 내부 도전성 접촉체(200)들에 의해 압력을 분산시킬 수 있어 내구성을 향상시킬 수 있다.Generally, a large pressure is applied to the inspection probe 100 from the object to be inspected. The inspection probe 100 of the present invention can disperse the pressure by the plurality of internal conductive contactors 200 accommodated therein, Can be improved.

또한, 파워반도체와 같은 피검사체를 검사할 때는 피검사체의 접점과 테스트보드의 접점 사이에 개재된 검사용 프로브(100)에는 고전압 대전류가 인가되는데, 본 발명에 따른 반도체 검사용 프로브(100)는 접점 수가 많기 때문에 도전저항을 감소시킬 수 있다.When inspecting a test object such as a power semiconductor, a high voltage high current is applied to the test probe 100 interposed between the contact point of the test object and the contact point of the test board. In the semiconductor test probe 100 according to the present invention, Since the number of contacts is large, the conductive resistance can be reduced.

도 4 및 도 5는 본 발명의 제2실시예에 에 따른 검사용 프로브(300)를 나타낸 것이다. 4 and 5 show a probe 300 according to a second embodiment of the present invention.

본 발명의 제2실시에에 따른 검사용 프로브(300)는 내부가 비어 있는 외부 통체(310), 상기 외부 통체(310)의 일측에 일단이 삽입된 제1플런저(320)와 타측에 일단이 삽입된 제2플런저(330), 및 상기 외부 통체(310) 내에서 제1플런저(320)와 제2플런저(330) 사이에 개재된 2개의 내부 도전성 접촉체(200)를 포함한다. 물론 본 발명에 따른 검사용 프로브(300)의 외부 통체(310)에는 3개 이상의 내부 도전성 접촉체(200)가 수용될 수 있다.The inspection probe 300 according to the second embodiment of the present invention includes an outer cylinder 310 having an inner space therein, a first plunger 320 having one end inserted into one side of the outer cylinder 310, And two inner conductive contact members 200 interposed between the first plunger 320 and the second plunger 330 in the outer cylinder 310. The second plunger 330 is inserted into the outer cylinder 310, Of course, three or more internal conductive contact members 200 may be accommodated in the external cylinder 310 of the inspection probe 300 according to the present invention.

상기 제1플런저(320)는 도전성 재질로 만들어지고 외부 통체(310)의 외부로 노출된 단부(324)가 테스트보드의 접점(미도시)에 접촉된다. 제1플런저(320)는 양단의 직경이 서로 다르며, 반경이 줄어드는 변화에 따라 형성된 걸림턱(326)을 포함할 수 있다. 외부 통체(310)는 제1플런저(320)가 외부통체(310)에 삽입된 상태에서 빠지지 않도록 제1플런저(320)의 걸림턱(326)이 수용된 상태로 단부(314)를 반경 중심방향으로 절곡시킬 수 있다. The first plunger 320 is made of a conductive material and an end portion 324 exposed to the outside of the outer cylinder 310 is brought into contact with a contact (not shown) of the test board. The first plunger 320 may have a different diameter at both ends, and may include a stopping protrusion 326 formed in accordance with a decrease in radius. The outer tubular body 310 has the end 314 in the radial center direction while the engaging protrusion 326 of the first plunger 320 is received so that the first plunger 320 is inserted into the outer cylinder 310 It can be bent.

제 2플런저(330)는 도전성 재질로 만들어지고 외부 통체(310)의 외부로 노출된 단부(334)가 피검사체의 접점(미도시)에 접촉된다. 제2플런저(330)는 양단의 직경이 서로 다르며, 반경이 줄어드는 변화에 따라 형성된 걸림턱(336)을 포함할 수 있다. 외부 통체(310)는 제2플런저(330)가 외부통체(310)에 삽입된 상태에서 빠지지 않도록 제2플런저(330)의 걸림턱(336)이 수용된 상태로 단부(316)를 반경 중심방향으로 절곡시킬 수 있다. The second plunger 330 is made of a conductive material and an end portion 334 exposed to the outside of the outer cylinder 310 is brought into contact with a contact (not shown) of the object to be inspected. The second plunger 330 may include a stopping jaw 336 having a different diameter at both ends and formed in accordance with a decrease in radius. The outer tubular body 310 has the end 316 in the radial center direction in a state in which the engagement protrusion 336 of the second plunger 330 is received so that the second plunger 330 is inserted into the outer cylinder 310 It can be bent.

도 4 및 도 5에 나타낸 상기 내부 도전성 접촉체(200)는 도 2 및 도 3에 나타낸 제1실시예의 내부 도전성 접촉체(200)와 동일하기 때문에 그 설명을 생략한다.The inner conductive contact member 200 shown in Figs. 4 and 5 is the same as the inner conductive contact member 200 of the first embodiment shown in Figs. 2 and 3, and thus description thereof is omitted.

다만, 제4플런저(230)은 제3플런저(220)와 유사한 형태로 형성하여 배럴(2100)에 고정하지 않고 이동가능하게 삽입할 수 있다.However, the fourth plunger 230 may be formed in a shape similar to that of the third plunger 220, and may be inserted movably without being fixed to the barrel 2100.

도 4 및 도 5 나타낸 본 발명의 제2실시예에 따른 검사용 프로브(300)의 작동을 설명하면 다음과 같다.The operation of the inspection probe 300 according to the second embodiment of the present invention shown in FIGS. 4 and 5 will now be described.

피검사체를 테스트 할 때, 피검사체의 접점에 접촉된 제2플런저(330)는 피검사체에 의해 눌러져 압력을 받는다. 이때, 제2플런저(330)가 가압되면, 제2플런저는 외부통체(310) 내에 있는 내부 도전성 접촉체(200)의 제3플런저(220)를 가압하게 된다. In testing the subject, the second plunger (330), which is in contact with the contact point of the subject, is pressed by the subject to be subjected to pressure. At this time, when the second plunger 330 is pressed, the second plunger presses the third plunger 220 of the inner conductive contact member 200 in the outer cylinder 310.

제3플런저(220)의 가압은 내부 도전성 접촉체(200)의 배럴(210) 내에 있는 탄성체(240)에 의해 탄성적으로 요동한다. 이와 같은 요동은 제3플런저(220)를 탄성적으로 가압하고, 최종적으로 제1플런저(320)에 전달되어 제1플런저(320)와 제2플런저(330)가 내부 도전성 접촉체(200)의 제1탄성체(440)를 중심으로 요동하게 된다. The urging of the third plunger 220 is elastically oscillated by the elastic body 240 in the barrel 210 of the inner conductive contact member 200. This swinging resiliently presses the third plunger 220 and is finally transmitted to the first plunger 320 so that the first plunger 320 and the second plunger 330 move inwardly of the inner conductive contact member 200 And swings about the first elastic body 440 as a center.

도 6 및 도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 검사용 프로브(400)를 나타낸 도면이다.6 and 7 are views showing the inspection probe 400 according to the third embodiment of the present invention.

본 발명의 제3실시에에 따른 검사용 프로브(400)는 내부가 비어 있는 외부 통체(410), 상기 외부 통체(410)의 일측에 일단이 삽입된 제1플런저(420)와 타측에 일단이 삽입된 제2플런저(430), 상기 외부 통체(410) 내에서 제1플런저(420)와 제2플런저(430) 사이에 개재된 2개의 내부 도전성 접촉체(200) 및 내부 도전성 접촉체(200)의 제3플런저(220)와 제4플런저(230)를 감싸는 제2탄성체(460)를 포함한다. 물론 본 발명에 따른 반도체 검사용 프로브(400)의 외부 통체(410)에는 3개 이상의 내부 도전성 접촉체(200)가 수용될 수 있고, 제2탄성체(460)는 상부 또는 하부 중 한 곳에만 배치할 수 있다.The inspection probe 400 according to the third embodiment of the present invention includes an outer cylinder 410 having an inner space therein, a first plunger 420 having one end inserted into one side of the outer cylinder 410, Two inserted inner conductive contact members 200 and an inner conductive contact member 200 interposed between the first plunger 420 and the second plunger 430 in the outer cylinder 410, And a second elastic body 460 surrounding the third plunger 220 and the fourth plunger 230 of the second elastic body 460. Of course, three or more inner conductive contacts 200 may be accommodated in the outer cylinder 410 of the semiconductor inspection probe 400 according to the present invention, and the second elastic body 460 may be disposed in only one of the upper and lower portions .

상기 제1플런저(420)는 도전성 재질로 만들어지고 외부 통체(410)의 외부로 노출된 단부(424)가 테스트보드의 접점(미도시)에 접촉된다. 제1플런저(420)는 양단의 직경이 서로 다르며, 반경이 줄어드는 변화에 따라 형성된 걸림턱(426)을 포함할 수 있다. 외부 통체(410)는 제1플런저(420)가 외부통체(410)에 삽입된 상태에서 빠지지 않도록 제1플런저(420)의 걸림턱(426)이 수용된 상태로 단부(414)를 반경 중심방향으로 절곡시킬 수 있다. The first plunger 420 is made of a conductive material and an end portion 424 exposed to the outside of the outer cylinder 410 is brought into contact with a contact (not shown) of the test board. The first plunger 420 may have a different diameter at both ends and may include an engagement protrusion 426 formed in accordance with a decrease in radius. The outer tubular body 410 has the end portion 414 in the radial center direction in a state in which the engagement protrusion 426 of the first plunger 420 is received so that the first plunger 420 is inserted into the outer cylinder 410, It can be bent.

제 2플런저(330)는 도전성 재질로 만들어지고 외부 통체(410)의 외부로 노출된 단부(434)가 피검사체의 접점(미도시)에 접촉된다. 제2플런저(430)는 양단의 직경이 서로 다르며, 반경이 줄어드는 변화에 따라 형성된 걸림턱(436)을 포함할 수 있다. 외부 통체(410)는 제2플런저(430)가 외부통체(410)에 삽입된 상태에서 빠지지 않도록 제2플런저(430)의 걸림턱(436)이 수용된 상태로 단부(416)를 반경 중심방향으로 절곡시킬 수 있다.The second plunger 330 is made of a conductive material and an end portion 434 exposed to the outside of the outer cylinder 410 is brought into contact with a contact (not shown) of the test subject. The second plunger 430 may have a different diameter at both ends and may include an engagement protrusion 436 formed in accordance with a decrease in radius. The outer tubular body 410 has the end portion 416 in the radial center direction in a state in which the engagement protrusion 436 of the second plunger 430 is received so that the second plunger 430 is inserted into the outer cylinder 410 It can be bent.

물론, 제1플런저(420)와 제2플런저(430) 중 하나는 본 발명의 제1실시예와 같이 외부 통체(410)와 고정하여 사용할 수 있다.Of course, one of the first plunger 420 and the second plunger 430 may be fixed to the outer cylinder 410 as in the first embodiment of the present invention.

도 8에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 제3실시예에 따른 제1플런저(420)와 제2플런저(430)는 외부 통체(410)에 삽입된 단부에 제3플런저(220)와 제4플런저(230)의 단부를 수용할 수 있는 플런저 수용홈부(421,431)를 각각 포함할 수 있다. 이와 같은 플런저 수용홈부(421,431)는 외부 통체(410) 내에서 삽입된 복수의 내부 도전성 접촉체(200)가 회전하는 것을 방지할 수 있어 내부 도전성 접촉체(200)들의 불규칙한 변형을 방지할 수 있다.8, the first plunger 420 and the second plunger 430 according to the third embodiment of the present invention include a third plunger 220 and a fourth plunger 430 inserted into an end portion of the outer cylinder 410, And plunger receiving groove portions 421 and 431 capable of receiving the end portions of the valve body 230, respectively. Such plunger receiving groove portions 421 and 431 can prevent rotation of the plurality of inner conductive contact members 200 inserted in the outer cylinder 410 and prevent irregular deformation of the inner conductive contact members 200 .

도 9는 외부 통체(410)에 3개의 내부 도전성 접촉체(200)를 포함할 경우의 제1플런저(420)와 제2플런저(430) 구조를 나타낸 것이다. 이때, 외부 통체(410)에 4개의 내부 도전성 접촉체(200)를 포함할 경우는 4개의 플런저 수용홈부(421,431)가 형성될 것이다.9 shows the structure of the first plunger 420 and the second plunger 430 when the outer cylinder 410 includes three internal conductive contact members 200. At this time, when four inner conductive contact members 200 are included in the outer cylinder 410, four plunger receiving grooves 421 and 431 will be formed.

본 발명의 제3실시예는 외부 통체(410) 내에서 내부 도전성 접촉체(200)들의 제3플런저와 제4플런저를 모두 감싸는 제2탄성체를 포함하기 때문에 추가적인 탄성 및 도전 경로를 제공할 수 있다. The third embodiment of the present invention can provide additional elasticity and conduction paths because it includes a second elastic body that encloses the third plunger and the fourth plunger of the inner conductive contact members 200 in the outer cylinder 410 .

도 6 및 도 7에 나타낸 상기 내부 도전성 접촉체(200)는 상기 제1플런저(120)의 일단(122)에 접촉하는 제3플런저(220), 상기 제2플런저(120)의 일단에 접촉하는 제4플런저(230), 및 상기 제3플런저(220)와 제4플런저(230) 사이에 개재된 제1탄성체(240)를 포함한다. The inner conductive contact member 200 shown in FIGS. 6 and 7 includes a third plunger 220 contacting one end 122 of the first plunger 120, a third plunger 220 contacting the one end of the second plunger 120, A fourth plunger 230 and a first elastic body 240 interposed between the third plunger 220 and the fourth plunger 230.

상기 제3플런저(220)는 도전성 재질로 만들어지고 내부가 비어 있는 배럴(210) 내에 부분적으로 삽입된다. 제3플런저(220)는 양단의 직경이 서로 다르며, 반경이 줄어드는 변화에 의해 형성된 제2걸림턱(226)을 포함할 수 있다. 배럴(210)의 단부(214)는 제3플런저(120)가 배럴(210)에 삽입된 상태에서 빠지지 않도록 제3플런저(120)의 제2걸림턱(226)이 수용된 상태로 반경 중심방향으로 절곡될 수 있다. The third plunger 220 is made of a conductive material and is partially inserted into a barrel 210 having an inner space. The third plunger 220 may include a second stopping jaw 226 formed by a change in diameter of the opposite ends of the second plunger 220 and a decrease in radius. The end 214 of the barrel 210 is inserted into the barrel 210 in a state where the second stopping jaw 226 of the third plunger 120 is accommodated in the radial direction It can be bent.

제 4플런저(230)는 양단의 직경이 서로 다르며, 반경이 줄어드는 변화에 의해 형성된 제2걸림턱(236)을 포함할 수 있다. 배럴(210)의 단부(216)는 제4플런저(230)가 배럴(210)에 삽입된 상태에서 빠지지 않도록 제4플런저(230)의 제2걸림턱(236)이 수용된 상태로 반경 중심방향으로 절곡될 수 있다. The fourth plunger 230 may include a second stopping jaw 236 formed by a change in the diameter of the opposite ends of the fourth plunger 230 and a decrease in radius. The end portion 216 of the barrel 210 is inserted into the barrel 210 in a state where the second stopping jaw 236 of the fourth plunger 230 is accommodated in the radial center direction It can be bent.

물론, 제3플런저(220)와 제4플런저(230) 중 하나는 배럴(210)에 고정하여 사용하는 것도 가능하다.Of course, one of the third plunger 220 and the fourth plunger 230 may be fixed to the barrel 210 and used.

도 6 및 도 7에 나타낸 본 발명의 제3실시예에 따른 검사용 프로브(400)의 작동을 설명하면 다음과 같다.The operation of the inspection probe 400 according to the third embodiment of the present invention shown in Figs. 6 and 7 will now be described.

피검사체를 테스트 할 때, 피검사체의 접점에 접촉된 제2플런저(430)는 피검사체에 의해 눌러져 압력을 받는다. 이때, 제2플런저(430)가 가압되면, 제2플런저는 외부통체(410) 내에 있는 내부 도전성 접촉체(200)의 제4플런저(220) 및 제2탄성체(460)를 가압하게 된다. When the object to be inspected is tested, the second plunger 430, which is in contact with the contact point of the object to be inspected, is pressed by the object to be inspected. At this time, when the second plunger 430 is pressed, the second plunger presses the fourth plunger 220 and the second elastic body 460 of the inner conductive contact member 200 in the outer cylinder 410.

제3플런저(220)의 가압은 배럴(210) 내의 제1탄성체(240)를 가압하게 된다. 결과적으로 제1탄성체(240)를 중앙에 두고 제3플런저(220)와 제4플런저(230)가 요동하고, 제1플런저(420)와 제2플런저(430)는 내부 도전성 접촉체(200)를 중앙에 두고 요동하게 된다. 이때 제1플런저(420)와 제2플런저(430)는 제1탄성체(240)와 제2탄성체(460)에 의해 외부 통체(410) 내에서 탄성적으로 요동하게 된다.The pressing of the third plunger 220 presses the first elastic body 240 in the barrel 210. As a result, the third plunger 220 and the fourth plunger 230 swing with the first elastic body 240 at the center, and the first plunger 420 and the second plunger 430 are rotated by the inner conductive contact member 200, In the center. At this time, the first plunger 420 and the second plunger 430 elastically swing in the outer cylinder 410 by the first and second elastic members 240 and 460.

비록 본 발명의 몇몇 실시예들이 도시되고 설명되었지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 당업자라면 본 발명의 원칙이나 정신에서 벗어나지 않으면서 본 실시예를 변형할 수 있음을 알 수 있을 것이다. 발명의 범위는 첨부된 청구항과 그 균등물에 의해 정해질 것이다.Although several embodiments of the present invention have been shown and described, those skilled in the art will appreciate that various modifications may be made without departing from the principles and spirit of the invention . The scope of the invention will be determined by the appended claims and their equivalents.

100: 반도체 검사용 프로브 110: 외부 통체
120: 제1플런저 130: 제2플런저
200: 내부 도전성 접촉체 210: 배럴
220: 제3플런저 230: 제4플런저
240: 제1탄성체 460: 제2탄성체100: semiconductor inspection probe 110: outer cylinder
120: first plunger 130: second plunger
200: inner conductive contact body 210: barrel
220: third plunger 230: fourth plunger
240: first elastic body 460: second elastic body

Claims (8)

피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위해 피검사체의 접점과 테스트 보드의 접점 사이를 연결하는 검사용 프로브에 있어서,
내부가 비어 있는 외부 통체;
일단이 상기 외부 통체의 일측에 삽입되고, 타단이 외부 통체의 일측으로부터 노출되어 상기 테스트보드의 접점에 접촉되는 제1플런저;
일단이 상기 외부 통체의 타측에 삽입되고, 타단이 외부 통체의 타측으로부터 노출되어 피검사체의 접점에 접촉하는 제2플런저; 및
상기 외부 통체 내에서 상기 제1플런저와 제2플런저 사이에 개재하되, 상기 제1플런저의 일단에 접촉하는 제3플런저, 상기 제2플런저의 일단에 접촉하는 제4플런저, 및 상기 제3플런저와 제4플런저 사이에 개재된 제1탄성체를 각각 갖는 복수의 내부 도전성 접촉체를 포함하는 검사용 프로브. A test probe for connecting between a contact of an object to be tested and a contact of a test board for inspecting electrical characteristics of the test object,
An outer cylinder hollow inside;
A first plunger having one end inserted into one side of the outer cylinder and the other end exposed from one side of the outer cylinder and contacting a contact of the test board;
A second plunger having one end inserted into the other side of the outer cylinder and the other end exposed from the other side of the outer cylinder so as to contact the contact of the subject; And
A third plunger interposed between the first plunger and the second plunger in the outer cylinder, the third plunger contacting the one end of the first plunger, the fourth plunger contacting the one end of the second plunger, And a plurality of inner conductive contacts each having a first elastic body interposed between the fourth plungers. 제 1항에 있어서,
상기 제1플런저와 제2플런저 중 적어도 하나는 상기 외부 통체 내에서 이동가능하게 삽입되고,
상기 이동가능한 상기 제1플런저와 제2플런저 중 적어도 하나는 걸림턱을 포함하고,
이동가능한 상기 제1플런저와 제2플런저 중 적어도 하나가 외부통체로부터 빠지는 것을 제한하도록 상기 외부 통체는 상기 걸림턱을 내부에 수용한 상태에서 반경 방향 중심을 향해 절곡된 단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 프로브.The method according to claim 1,
At least one of the first plunger and the second plunger is movably inserted in the outer cylinder,
Wherein at least one of the movable first plunger and the second plunger includes a latching jaw,
Wherein the outer cylinder includes an end bent toward the radial center in a state in which the outer cylinder is accommodated in the outer cylinder so that at least one of the movable plunger and the second plunger is prevented from being dislodged from the outer cylinder. Probe for inspection. 제 1항에 있어서,
상기 제1플런저와 제2플런저 중 하나는 상기 외부 통체에 삽입되는 부분의 외곽에 홈부를 포함하고, 상기 홈부에 대응하는 위치의 외부 통체를 상기 홈부를 향해 가압 변형시키는 것을 특징으로 하는 검사용 프로브.The method according to claim 1,
Wherein one of the first plunger and the second plunger includes a groove portion at the outer periphery of a portion to be inserted into the outer cylinder and presses and deforms the outer cylinder at a position corresponding to the groove portion toward the groove portion, . 청구항 1에 있어서,
상기 제1 탄성체는 내부가 비어 있는 배럴에 수용된 것을 특징으로 하는 검사용 프로브. The method according to claim 1,
Wherein the first elastic body is housed in a barrel having an inner space. 제 4항에 있어서,
상기 제3플런저와 제4플런저 중 적어도 하나는 상기 외부 통체 내에서 이동가능하게 삽입되고,
상기 이동가능한 상기 제3플런저와 제4플런저 중 적어도 하나는 걸림턱을 포함하고,
상기 이동가능한 상기 제3플런저와 제4플런저 중 적어도 하나가 배럴로부터 빠지는 것을 제한하도록 상기 배럴은 상기 걸림턱을 내부에 수용한 상태에서 반경 방향 중심을 향해 절곡된 단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 프로브.5. The method of claim 4,
At least one of the third plunger and the fourth plunger is movably inserted in the outer cylinder,
Wherein at least one of the movable third plunger and the fourth plunger includes a latching jaw,
Characterized in that the barrel includes an end bent toward the radial center with the barrel receiving the inside of the barrel so that at least one of the movable third plunger and the fourth plunger is prevented from being pulled out of the barrel Probe. 제 4항에 있어서,
상기 제3플런저와 제4플런저 중 하나는 상기 배럴에 삽입되는 부분의 외곽에 홈부를 포함하고, 상기 홈부에 대응하는 위치의 배럴을 상기 홈부를 향해 가압 변형시키는 것을 특징으로 하는 검사용 프로브.5. The method of claim 4,
Wherein one of the third plunger and the fourth plunger includes a groove portion on an outer periphery of a portion to be inserted into the barrel and presses the barrel at a position corresponding to the groove portion toward the groove portion. 상기 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1플런저 및 제2플런저 중 적어도 하나는 상기 외부 통체에 수용된 단부에 상기 제3 플런저 및 제4플런저를 수용할 수 있는 플런저 수용홈부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 프로브.The method according to any one of claims 1 to 6,
Wherein at least one of the first plunger and the second plunger includes a plunger receiving groove portion capable of receiving the third plunger and the fourth plunger at an end portion accommodated in the outer cylinder. 상기 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 외부 통체 내부에 삽입되어 제3플런저와 제4플런저 중 적어도 하나를 감싸는 제2의 탄성체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 프로브.
The method according to any one of claims 1 to 6,
Further comprising a second elastic body inserted into the outer cylinder to surround at least one of the third plunger and the fourth plunger.
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KR100947056B1 (en) 2008-05-13 2010-03-10 리노공업주식회사 A socket for Kelvin testing

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