KR101192798B1 - 섀도우 마스크 및 이를 이용한 유기 발광 소자의 제조 방법 - Google Patents
섀도우 마스크 및 이를 이용한 유기 발광 소자의 제조 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR101192798B1 KR101192798B1 KR1020060060610A KR20060060610A KR101192798B1 KR 101192798 B1 KR101192798 B1 KR 101192798B1 KR 1020060060610 A KR1020060060610 A KR 1020060060610A KR 20060060610 A KR20060060610 A KR 20060060610A KR 101192798 B1 KR101192798 B1 KR 101192798B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- shadow mask
- light emitting
- organic light
- cell
- columns
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 24
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 32
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 21
- 238000007665 sagging Methods 0.000 abstract description 6
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 abstract description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 21
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 10
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 7
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 6
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 6
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 6
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 6
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 6
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 4
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 4
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
- H10K71/166—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using selective deposition, e.g. using a mask
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
본 발명은 마스크의 처짐 현상을 방지할 수 있는 구조의 섀도우 마스크 및 이를 이용한 유기 발광 소자의 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명의 섀도우 마스크는 복수개의 열로 구분하여 정의되고, 각 열마다 복수개의 셀 대응부를 가지며, 각각의 인접한 열의 셀 대응부는 서로 다른 방향의 투과부를 갖는 것을 특징으로 한다.
섀도우 마스크(shadow mask), 듀얼 플레이트형 유기 발광 소자, 장력
Description
도 1은 일반적인 듀얼 플레이트형 유기 발광 소자를 나타낸 단면도
도 2는 종래의 유기 발광 소자를 형성하기 위한 섀도우 마스크를 나타낸 평면도
도 3은 본 발명의 유기 발광 소자를 형성하는 데 이용되는 제 1 실시예에 따른 섀도우 마스크를 나타낸 평면도
도 4는 본 발명의 유기 발광 소자를 형성하는 데 이용되는 제 2 실시예에 따른 섀도우 마스크를 나타낸 평면도
도 5는 본 발명의 섀도우 마스크를 이용하여 유기 발광 소자의 유기발광층을 형성하는 단계를 나타낸 공정도면
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
100, 200 : 섀도우 마스크 101, 201 : 마스킹부
110, 210 : 제 1 셀 대응부 111, 211 : 슬릿
120, 220 : 제 2 셀 대응부 300 : 기판
310, 320, 330 : 유기 발광층 400 : 프레임
410 : 유기막 증착 장비
본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로 특히, 마스크의 처짐 현상을 방지할 수 있는 구조의 섀도우 마스크 및 이를 이용한 유기 발광 소자의 제조 방법에 관한 것이다.
평판 디스플레이 중 하나인 유기 발광 소자는 자체 발광형이기 때문에, 액정 표시 장치에 비해 시야각, 콘트라스트(contrast) 등이 우수하며, 백라이트가 요구되지 않기 때문에, 경량 박형이 가능하고, 소비 전력 측면에서도 유리하다.
그리고, 직류 저전압 구동이 가능하고, 응답 속도가 빠르며 전부 고체이기 때문에, 외부 충격에 강하고 사용 온도 범위도 넓으며, 특히 제조 비용 측면에서도 저렴한 장점을 가지고 있다. 특히, 유기 발광 소자의 제조 공정에는, 액정 표시 장치나, PDP(Plasma Display Panel)와 달리 증착 및 봉지(encapsulation) 장비가 전부라고 할 수 있기 때문에, 공정이 매우 단순하다.
또한, 각 화소마다 스위칭 소자인 박막 트랜지스터를 가지는 액티브 매트릭스 방식으로 유기 발광 소자를 구동하게 되면 낮은 전류를 인가하더라도 동일한 휘도를 나타내므로, 저소비 전력, 고정세, 대형화가 가능한 장점을 지닌다.
이러한 유기 발광 소자는 전자 및 정공 등의 캐리어를 이용하여 형광물질을 여기시킴으로써 비디오 영상을 표시하게 된다.
한편, 이러한 유기 발광 소자의 구동방식으로는 별도의 박막트랜지스터를 구 비하지 않는 패시브 매트릭스 방식(Passive matrix type)이 주로 이용되고 있다.
그러나, 패시브 매트릭스 방식은 해상도나 소비 전력, 수명 등에 많은 제한적인 요소를 가지고 있기 때문에, 고해상도나 대화면을 요구하는 차세대 디스플레이 제조를 위한 액티브 매트릭스형 유기 발광 소자에 대해 연구 개발되고 있다.
한편, 상기 유기 발광 소자는 발광층을 상하부 기판 상에 어디에 위치시키는지에 따라 하부 발광 방식 혹은 상부 발광 방식으로 구분하며, 상부 발광 방식의 경우 액티브 매트릭스형으로 구현시 박막 트랜지스터 어레이를 하부 기판 상에 배치하고, 발광층을 상부 기판 상에 위치시킬 경우, 이를 듀얼 플레이트형 유기 발광 소자(DOD: Dual plate type Organic Electro-luminescence Device)라 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 일반적인 유기 발광 소자를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 일반적인 유기 발광 소자를 나타낸 단면도이다.
도 1과 같이, 일반적인 유기 발광 소자는 크게 서로 소정 간격 이격되어 대향된 제 1 기판(10)과, 제 2 기판(20)과, 상기 제 1 기판(10) 상에 각 서브 픽셀에 대응하여 박막 트랜지스터(TFT)를 포함하여 형성된 박막 트랜지스터 어레이와, 상기 제 2 기판(20) 상에 형성된 유기 전계 발광 다이오드 소자(E) 및 상기 제 1, 제 2 기판(10, 20)의 가장자리에 형성된 씰 패턴(30)을 포함하여 이루어진다. 또한, 상기 유기 전계 발광 다이오드(E)에 전류를 공급하기 위하여, 서브픽셀 단위로 상기 제 2 전극(25)과 박막 트랜지스터(TFT)를 연결하는 커넥터(17) 및 투명 전극(16)이 형성된다.
여기서, 상기 유기 전계 발광 다이오드 소자(E)는, 공통 전극으로 이용되는 제 1 전극(21)과, 상기 제 1 전극(132) 상의 서브 픽셀별 경계부에 위치하는 격벽(26 : second electrode separator)과, 상기 격벽(26) 내 영역에서 유기 전계 발광층(22, 23, 24), 제 2 전극(25)이 차례대로 서브픽셀 단위로 분리된 패턴으로 형성되어 있다.
여기서, 상기 유기 전계 발광층은 제 1 캐리어 전달층(22), 발광층(23), 제 2 캐리어 전달층(24)이 차례대로 적층된 구조로 이루어지며, 상기 제 1, 제 2 캐리어 전달층(22, 24)은 발광층(23)에 전자(electron) 또는 정공(hole)을 주입(injection) 및 수송(transporting)하는 역할을 한다.
상기 제 1, 제 2 캐리어 전달층(22, 24)은 양극 및 음극의 배치 구조에 따라 정해지는 것으로, 한 예로 상기 발광층(23)이 고분자 물질에서 선택되고, 제 1 전극(22)을 양극(anode), 제 2 전극(24)을 음극(cathode)으로 구성하는 경우에는 제 1 전극(21)과 인접하는 제 1 캐리어 전달층(22)은 정공 주입층, 정공 수송층이 차례대로 적층된 구조를 이루고, 제 2 전극(25)과 인접하는 상기 제 2 캐리어 전달층(24)은 전자 주입층, 전자수송층이 상기 제 2 전극(25)에 인접하여 차례대로 적층된 구조로 이루어진다.
또한, 상기 제 1, 제 2 캐리어 전달층(22, 24) 및 발광층(23)은 고분자 물질 또는 저분자 물질로 형성할 수 있는데, 저분자 물질로 형성하는 경우는 진공 증착법을 통해 형성하고, 고분자 물질로 형성하는 경우는 잉크젯 방법을 통해 형성하게 된다.
상기 전도성 스페이서(17)는 일반적인 액정 표시 장치용 스페이서와 달리, 셀 갭 유지 기능보다 두 기판을 전기적으로 연결시키는 것을 주목적으로 하는 것으로, 두 기판간의 사이 구간에서 소정의 입체적 형상으로 일정 높이를 가지는 특성을 갖는다.
여기서, 상기 박막 트랜지스터(TFT)는, 상기 유기 전계 발광 다이오드(E)와 연결되는 구동용 박막 트랜지스터에 해당된다. 이러한 박막 트랜지스터(TFT)는 제 1 기판(10) 상의 소정 부위에 형성된 게이트 전극(11)과, 상기 게이트 전극(11)을 덮도록 섬상으로 형성된 반도체층(13)과, 상기 반도체층(13)의 양측에 형성된 소오스/드레인 전극(14a/14b)을 포함하여 이루어진다. 여기서, 상기 게이트 전극(11)과 상기 반도체층(13) 사이의 층간에는 게이트 절연막(12)이 상기 제 1 기판(10) 전면에 형성되며, 상기 소오스/드레인 전극(14a/14b)을 포함한 상기 게이트 절연막(12) 상부에는 보호막이 더 형성되어 있다. 이 때, 상기 드레인 전극(14b)은 상기 보호막(15) 내에 구비된 홀을 통해 상기 보호막(15) 상부에 형성되는 투명 전극(16)과 전기적으로 연결된다. 여기서, 상기 투명 전극(16)의 상측은 전도성 스페이서(17)와 접하고 있다.
상기 전도성 스페이서(17)는 제 1 기판(10)에 서브픽셀 단위로 구비된 박막 트랜지스터(T)의 드레인 전극(14b)과 제 2 기판(20)에 구비된 제 2 전극(25)을 전기적으로 연결하는 역할을 수행하는 것으로, 유기 절연막 등으로 형성된 기둥 형상의 스페이서에 금속이 입혀진 것이며, 이는 제 1, 제 2 기판(10, 20)의 서브픽셀을 일대일로 합착하여 전류를 통하게 하는 역할을 한다.
상기 전도성 스페이서(17)의 외부를 이루는 금속은 전도성 물질에서 선택되며, 바람직하기로는 연성을 띠고, 비저항값이 낮은 금속 물질에서 선택되는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 제 1 전극(21)은 투명 전극 물질로 이루어지며, 상기 제 2 전극(25) 차광성 물질의 금속층으로 이루어진다.
또한, 상기 제 1, 제 2 기판(10, 20)간의 이격 공간은 비활성 기체 또는 절연성 액체로 채워질 수 있다.
도면으로 도시되지는 않았지만, 상기 제 1 기판(10) 상에는 주사선과, 주사선과 교차하며 서로 일정간격 이격되는 신호선 및 전력 공급선과, 스토리지 캐패시터를 더 포함한다.
한편, 상기 이러한 듀얼 플레이트형 유기 발광 소자는 고유 저항률이 큰 투명 전극 성분의 제 1 전극(21) 상에 격자 형태의 버스 라인을 형성하여, 상기 제 1 전극(21) 상에 발생할 수 있는 전압 값 저하를 방지한다.
한편, 이러한 유기 발광 소자에 있어서, 제 2 기판(20) 상에 형성되는 유기 전계 발광층은 서브픽셀별로 소정의 색상을 발광하는 발광원에서 해당 색상의 유기 발광물질을 공급하여 형성된다.
도 2는 종래의 유기 발광 소자를 형성하기 위한 섀도우 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 2와 같이, 종래의 유기 발광 소자를 형성하기 위한 섀도우 마스크(40)는 복수개의 셀 대응부(45)가 배치되고, 상기 셀 대응부(45)들은 서로 가로 라인 및 세로 라인들에서 규칙적으로 동일한 이격 간격을 갖도록 형성된다. 또한, 상기 섀도우 마스크(40)의 각 셀 대응부(45)에서는 복수개의 투과부(51)가 형성되는데, 이러한 복수개의 투과부(51)는 예를 들어, R 유기 발광층, G 유기 발광층, B 유기 발광층 중 하나의 라인 폭에 대응하는 폭으로 형성된다.
여기서, 상기 각 셀 대응부(45)의 각 투과부(51)는 동일 방향으로 동일한 이격 간격을 갖도록 형성된다. 여기서, 상기 각 투과부(51)를 제외한 나머지는 부위는 마스킹부(41)로 정의된다.
또한, 상기 각 셀 대응부는 유기 발광 소자의 하나의 셀(장치로서 단위 유기 발광 소자 하나)에 대응되는 크기로 형성되는 것으로, 해당 셀에 복수개의 화소가 형성된다.
상기 종래의 섀도우 마스크(40)를 이용하여 유기 발광 소자의 제조시 상기 섀도우 마스크의 각 투과부(51)에 대응되는 부위에 유기 발광층이 증발 증착(evaporation)시켜 기판 상에 유기 발광층을 증착할 경우, 상기 섀도우 마스크(40)의 외곽이 잡혀진 상태로 상기 섀도우 마스크(40)의 하측에 위치할 증착 장비로부터 뜨여진 상태로 소정 시간 위치시키면, 상기 섀도우 마스크(40)의 중앙 부위나 혹은 투과부 인접 부위는 중력에 영향을 받아 처지는 현상이 발생한다.
특히, 도 2와 같은 형상의 섀도우 마스크와 같이, 복수개의 셀에 대응되어 셀 대응부를 복수개 구비한 섀도우 마스크(40)의 이용시, 도시된 슬릿(slit)형이 해당 화소에 대응되는 부위에만 투과부가 구비되는 슬롯(slot)형)에 비해, 화소에 증착되는 유기 발광층이 폭의 감소 없이 원하는 크기로 형성이 용이하나, 이 경우, 일 방향으로 뚫려진 부위가 크기 때문에, 마스크의 처짐 현상이 심하다.
상기와 같은 종래의 섀도우 마스크는 다음과 같은 문제점이 있다.
복수개의 셀에 대응되는 셀 대응부를 복수개 구비한 섀도우 마스크의 이용시, 도시된 슬릿(slit)형이 해당 화소에 대응되는 부위에만 투과부가 구비되는 슬롯형에 비해, 화소에 증착되는 유기 발광층이 폭의 감소 없이 원하는 크기로 형성이 용이하나, 이 경우, 일 방향으로 뚫려진 부위가 크기 때문에, 마스크의 처짐 현상이 심하다.
유기 발광 소자의 유기 발광층을 형성하기 위해 증발 증착법을 이용하고 있다. 이 경우, 섀도우 마스크를 통해 노출된 부위에 유기 발광층을 형성하는데, EL 공급부 상측에 위치하도록 배치된 섀도우 마스크가 중력에 의해 투과부 주변 부위가 처지는 현상이 발생한다. 이러한 처짐이 발생하면 원하는 영역에 정상적으로 유기 발광층이 형성되지 못하고, 작거나 크게 유기 발광층이 형성되거나 혹은 쉬프트된 영역에 유기 발광층이 형성될 수 있을 것이다. 특히, 이러한 처짐 현상은 상기 섀도우 마스크의 투과부가 일 방향으로 긴 슬릿을 구비한 경우 심해진다.
이러한 문제점을 방지하기 위해 금속성으로 이루어진 섀도우 마스크에 자기력(magnetic force)을 인가하여, 중력에 반하는 방향으로 상기 섀도우 마스크를 들어올리는 방법이 제시되었지만, 이 경우에는 자기력을 인가하기 위한 별도의 장비가 마련되어야 하고, 이에 따라 자기력 공급 장비 또한, 요구되기 때문에, 공정 비용의 부담이 크게 된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 마스크의 처짐 현상을 방지할 수 있는 구조의 섀도우 마스크 및 이를 이용한 유기 발광 소자의 제조 방법을 제공하는 데, 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 섀도우 마스크는 복수개의 열로 구분하여 정의되고, 각 열마다 복수개의 셀 대응부를 가지며, 각각의 인접한 열의 셀 대응부는 서로 다른 방향의 투과부를 갖는 것에 그 특징이 있다.
상기 각 열에 배치되는 셀 대응부들은 각각 동일한 방향의 투과부를 갖는다.
상기 열마다 형성되는 투과부들은 제 1 방향과, 상기 제 1 방향과 다른 제 2 방향으로 서로 교번하여 배치된다.
상기 제 1 방향과 제 2 방향은 서로 교차한다.
상기 제 1 방향과 제 2 방향은 서로 수직인 방향이다.
또한, 동일한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 섀도우 마스크는 복수개의 열로 구분하여 정의되고, 각 열마다 복수개의 셀 대응부를 가지며, 각각의 인접한 열의 셀 대응부는 서로 다른 행 방향으로 배치되며, 상기 각 셀 대응부는 복수개의 투과부를 갖는 것에 또 다른 특징이 있다.
상기 각 열에 형성되는 각 투과부는 동일한 방향으로 배치된다.
상기 복수개의 열에 배치되는 셀 대응부는 각각 동일한 방향의 투과부를 갖는다.
상기 복수개의 열에 배치되는 셀 대응부는 제 1 방향과, 상기 제 1 방향과 다른 제 2 방향으로 서로 교번하여 배치된다.
상기 제 1 방향과 제 2 방향은 서로 교차하는 방향이다. 그리고, 이 때, 상기 제 1 방향과 제 2 방향은 서로 수직인 방향이다.
또한, 동일한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 유기 발광 소자의 제조 방법은, 복수개의 열로 구분하여 정의되고, 각 열마다 복수개의 셀 대응부를 가지며, 각각의 인접한 열의 셀 대응부는 서로 다른 방향의 투과부를 갖는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크를 준비하는 단계와, 상기 섀도우 마스크를 기판 하측에 배치시키는 단계 및 상기 섀도우 마스크 하측에서 유기 발광 물질 공급원으로부터 상기 투과부를 통해 유기 발광 물질층을 공급하여 유기 발광층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐에 그 특징이 있다.
또한, 동일한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 본 발명의 유기 발광 소자의 제조 방법은, 복수개의 열로 구분하여 정의되고, 각 열마다 복수개의 셀 대응부를 가지며, 각각의 인접한 열의 셀 대응부는 서로 다른 행 방향으로 배치되며, 상기 각 셀 대응부는 복수개의 투과부를 갖는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크를 준비하는 단계와, 상기 섀도우 마스크를 기판 하측에 배치시키는 단계 및 상기 섀도우 마스크 하측에서 유기 발광 물질 공급원으로부터 상기 투과부를 통해 유기 발광 물질층을 공급하여 유기 발광층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐에 또 다른 특징이 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 유기 발광 소자에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명의 유기 발광 소자를 형성하는 데 이용되는 제 1 실시예에 따른 섀도우 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 3과 같이, 본 발명의 유기 발광 소자를 형성하는데 이용되는 제 1 실시예에 따른 섀도우 마스크는(100) 복수개의 열로 구분하여 정의되고, 열들에 각각 서로 교번된 방향의 투과부(111)를 포함하는 제 1 셀 대응부(110)와 제 2 셀 대응부(120)를 가지도록 배치된다. 여기서, 각 열들에는 동일한 투과부(111)들의 방향을 갖는 것으로 하고, 이 때, 도시된 바와 같이, 투과부(111)들은 동일한 라인 상에서 일 방향으로 형성될 수도 있고, 혹은 각 열의 구성된 셀 대응부(110 또는 120)에 구비된 투과부(111)가 서로 다른 라인 상에 배치될 수도 있다.
또한, 상기 제 1 셀 대응부(110)와 제 2 셀 대응부(120)는 상기 섀도우 마스크(100)가 n 개의 열로 구분된다고 할 때, 제 1열에는 제 1 방향의 투과부를 갖는 제 1 셀 대응부(110)가 형성되고, 제 2 열에는 제 2 방향의 투과부를 갖는 제2 셀 대응부(120)가 형성되는 방식으로 셀 대응부가 구성된다. 이와 같이, 인접한 열들간에 각 투과부의 방향은 서로 상이하게 된다.
여기서, 상기 인접한 열들의 제 1 셀 대응부(110)와 상기 제 2 셀 대응부(120)에서의 각각의 투과부(111, 121)는 서로 다른 방향으로 형성되며, 이 경우 도시된 바와 같이, 상기 투과부(111, 121)의 방향은 도시된 바와 같이, 수직일 수도 있고, 경우에 따라 제 1 방향에 대하여 제 2 방향이 비스듬하게 기울여 형성될 수도 있을 것이다.
여기서, 상기 투과부(111, 121)들은 섀도우 마스크(100) 내에서 오픈된 형상 으로 형성되고, 그리고 상기 투과부(111, 121)들을 제외한 부위는 마스킹 부위(201)로, 증발 증착 과정에서 상기 투과부(111, 121)들을 통해서만 증발 물질의 증착이 기판(미도시) 상에 이루어지고, 상기 마스킹 부위(201)에서는 증발 증착시 증발되는 물질이 투과되지 못하고, 차단된다.
본 발명의 제 1 실시예에 따른 섀도우 마스크(100)가 서로 다른 셀 대응부를 구비하여 형성한 이유는 슬릿형의 섀도우 마스크의 경우, 구비된 투과부가 모두 일치한다면, 오픈된 영역이 늘게 되어, 기판 처짐 현상이 심하기 때문에 이를 방지하기 위함이다. 이로 인해 본 발명의 제 1 실시예에 따른 섀도우 마스크(100)는 서로 다른 제 1 방향과 제 2 방향의 투과부(111, 121)가 열 상에서 교번하여 반복되도록 하여 구성함으로써, 특정 방향에서 장력(tension)이 떨어지는 현상을 방지하여, 섀도우 마스크(100) 처짐을 방지하고자 한다.
4는 본 발명의 유기 발광 소자를 형성하는 데 이용되는 제 2 실시예에 따른 섀도우 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 4와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 섀도우 마스크(200)는 복수개의 열로 구분하여 정의되고, 각 열마다 복수개의 셀 대응부(210, 220)를 가지며, 각각의 인접한 제 1, 제 2 셀 대응부(210, 220)는 서로 다른 행 방향으로 배치되며, 상기 제 1, 제 2 셀 대응부(210, 220)는 복수개의 투과부(211)를 갖는다.
여기서, 상기 각 열들에 형성되는 제 1, 제 2 투과부(210, 220)는 동일한 방향의 투과부(211)를 갖도록 배치된다.
혹은 도시되지는 않았지만, 상기 복수개의 열에 배치되는 셀 대응부는 제 1 방향과, 상기 제 1 방향과 다른 제 2 방향으로 서로 교번하여 배치되는 경우도 상정할 수 있다. 즉, 도 4와 같은 복수개의 열에 구성되는 각 셀 대응부와 서로 다른 행에 해당되도록 셀 대응부 배치를 하고, 각 열에 형성되는 투과부의 구성이 도 3에 해당하는 것으로 할 수도 있다. 이 경우, 상기 제 1 방향과 제 2 방향은 서로 교차하는 방향으로, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 방향과 제 2 방향은 서로 수직인 방향으로도 가능하다.
이러한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 섀도우 마스크(200)를 이용한 유기 발광 소자의 제조 방법은 다음과 같다.
즉, 복수개의 열로 구분하여 정의되고, 각 열마다 복수개의 셀 대응부를 가지며, 각각의 인접한 열의 셀 대응부(210, 220)는 서로 다른 행 방향으로 배치되며, 상기 각 셀 대응부(210, 220)는 복수개의 투과부(211)를 갖는 섀도우 마스크(200)를 준비하고, 상기 섀도우 마스크(200)를 기판(미도시) 하측에 배치시키는 단계 및 상기 섀도우 마스크 하측에서 유기 발광 물질 공급원으로부터 상기 투과부를 통해 유기 발광 물질층을 공급하여 유기 발광층을 형성하도록 하여 이루어진다.
도 5는 본 발명의 섀도우 마스크를 이용하여 유기 발광 소자의 유기발광층을 형성하는 단계를 나타낸 공정도면이다.
도 5는 본 발명의 섀도우 마스크를 이용한 유기 전계 발광 소자의 제조 방법을 나타낸 공정 단면도이다.
도 5와 같이, 상기 본 발명의 제 1 실시예 또는 제 2 실시예에서 설명한 섀도우 마스크(100 또는 200)을 이용하여 상기 섀도우 마스크(100 또는 200)의 투과 부(111)에 대응되는 부위에 소정 색상의 광을 발광시키는 유기 발광 물질을 증발 증착(evaporation)하여 제 1 유기 발광층(310)을 형성할 수 있다. 이 때, 상기 유기 발광 물질을 공급하는 EL 공급부(410)는 상기 섀도우 마스크(100) 하측에 위치하며, 유기 발광 물질의 고온의 기체 상태로 공급되어 상기 노출된 기판(300) 표면에 달라붙는 증발 증착이 이루어진다. 그리고, 상기 섀도우 마스크(100)는 측부 외곽에서 프레임(400)을 통해 지지되어 상기 EL 공급부(410) 상측이며, 상기 기판(300) 하측에 위치한다.
도시된 도면에서는 나머지 제 2, 제 3 유기 발광층(320, 330)에 대하여는 먼저 형성된 상태에서 남아있는 서브 픽셀에 대응되어 제 1 유기 발광층(310)을 형성하는 단계를 나타내고 있다. 이 때, 상기 제 2, 제 3 유기 발광층(320, 330)에 대하여도 상기 섀도우 마스크(100)를 이용하여 일 서브 픽셀 또는 이 서브 픽셀만큼 쉬프트시킨 상태에서 형성할 수 있다.
이와 같은 섀도우 마스크(100)를 이용하여 유기 발광 소자의 유기 발광층을 형성시 그 공정은 다음과 같이 이루어질 것이다.
즉, 상기 섀도우 마스크(100)를 준비하고, 상기 섀도우 마스크(100)를 기판(미도시) 하측에 배치시킨 후 상기 섀도우 마스크(100) 하측에서 EL 공급부(410)로부터 상기 섀도우 마스크(100)에 구비된 투과부를 통해 유기 발광 물질층을 공급하여 기판(300)에 해당 유기 발광층을 형성하게 된다.
여기서, 상기 섀도우 마스크(100)는 본 발명의 제 1 실시예 또는 제 2 실시예에 해당되는 것으로, 복수개의 열로 구분하여 정의되고, 각 열마다 복수개의 셀 대응부를 가지며, 각각의 인접한 열의 셀 대응부는 서로 다른 방향의 투과부를 갖는 것이나, 복수개의 열로 구분하여 정의되고, 각 열마다 복수개의 셀 대응부를 가지며, 각각의 인접한 열의 셀 대응부는 서로 다른 행 방향으로 배치되며, 상기 각 셀 대응부는 복수개의 투과부를 갖는 것으로 형성된다.
상기와 같은 본 발명의 섀도우 마스크 및 이를 이용한 유기 발광 소자의 제조 방법은 다음과 같은 효과가 있다.
섀도우 마스크는 중력 현상에 의해 중앙이 외곽부에 비해 처지는 현상이 발생하는데, 특히 투과부(개구부)의 형상이 슬릿형인 경우, 일 방향으로 개구부가 뚫려 있기 때문에, 그 정도가 심하다.
본 발명에서는 슬릿형의 섀도우 마스크인 경우에도 셀의 배열을 열마다 다르게 함으로써 장력(tension)을 일 방향으로 개구부를 발생함을 방지하고, 셀 대응부별로 엇갈려 개구부를 형성하여, 섀도우 마스크기 갖는 장력을 강화하여 섀도우 마스크가 처지는 현상을 줄일 수 있다.
Claims (13)
- 복수개의 열로 구분하여 정의되고, 각 열마다 복수개의 셀 대응부를 가지며, 각각의 인접한 열의 셀 대응부는 서로 다른 방향의 투과부를 갖는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크.
- 제 1항에 있어서,상기 각 열에 배치되는 셀 대응부들은 각각 동일한 방향의 투과부를 갖는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크.
- 제 2항에 있어서,상기 열마다 형성되는 투과부들은 제 1 방향과, 상기 제 1 방향과 다른 제 2 방향으로 서로 교번하여 배치되는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크.
- 제 3항에 있어서,상기 제 1 방향과 제 2 방향은 서로 교차하는 방향인 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크.
- 제 4항에 있어서,상기 제 1 방향과 제 2 방향은 서로 수직인 방향인 것을 특징으로 하는 섀도 우 마스크.
- 복수개의 열로 구분하여 정의되고, 각 열마다 복수개의 셀 대응부를 가지며, 각각의 인접한 열의 셀 대응부는 서로 다른 행 방향으로 배치되며, 상기 각 셀 대응부는 복수개의 투과부를 갖는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크.
- 제 6항에 있어서,상기 각 열에 형성되는 각 투과부는 동일한 방향으로 배치되는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크.
- 제 7항에 있어서,상기 복수개의 열에 배치되는 셀 대응부는 각각 동일한 방향의 투과부를 갖는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크.
- 제 7항에 있어서,상기 복수개의 열에 배치되는 셀 대응부는 제 1 방향과, 상기 제 1 방향과 다른 제 2 방향으로 서로 교번하여 배치되는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크.
- 제 9항에 있어서,상기 제 1 방향과 제 2 방향은 서로 교차하는 방향인 것을 특징으로 하는 섀 도우 마스크.
- 제 10항에 있어서,상기 제 1 방향과 제 2 방향은 서로 수직인 방향인 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크.
- 복수개의 열로 구분하여 정의되고, 각 열마다 복수개의 셀 대응부를 가지며, 각각의 인접한 열의 셀 대응부는 서로 다른 방향의 투과부를 갖는 섀도우 마스크를 준비하는 단계;상기 섀도우 마스크를 기판 하측에 배치시키는 단계; 및상기 섀도우 마스크 하측에서 유기 발광 물질 공급원으로부터 상기 투과부를 통해 유기 발광 물질층을 공급하여 유기 발광층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
- 복수개의 열로 구분하여 정의되고, 각 열마다 복수개의 셀 대응부를 가지며, 각각의 인접한 열의 셀 대응부는 서로 다른 행 방향으로 배치되며, 상기 각 셀 대응부는 복수개의 투과부를 갖는 섀도우 마스크를 준비하는 단계;상기 섀도우 마스크를 기판 하측에 배치시키는 단계; 및상기 섀도우 마스크 하측에서 유기 발광 물질 공급원으로부터 상기 투과부를 통해 유기 발광 물질층을 공급하여 유기 발광층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020060060610A KR101192798B1 (ko) | 2006-06-30 | 2006-06-30 | 섀도우 마스크 및 이를 이용한 유기 발광 소자의 제조 방법 |
| CN2007101275552A CN101096754B (zh) | 2006-06-30 | 2007-06-28 | 荫罩和使用该荫罩制造有机发光器件的方法 |
| US11/819,936 US8906445B2 (en) | 2006-06-30 | 2007-06-29 | Shadow mask and method of fabricating organic light-emitting device using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020060060610A KR101192798B1 (ko) | 2006-06-30 | 2006-06-30 | 섀도우 마스크 및 이를 이용한 유기 발광 소자의 제조 방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20080002051A KR20080002051A (ko) | 2008-01-04 |
| KR101192798B1 true KR101192798B1 (ko) | 2012-10-18 |
Family
ID=38876975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020060060610A KR101192798B1 (ko) | 2006-06-30 | 2006-06-30 | 섀도우 마스크 및 이를 이용한 유기 발광 소자의 제조 방법 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8906445B2 (ko) |
| KR (1) | KR101192798B1 (ko) |
| CN (1) | CN101096754B (ko) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101857992B1 (ko) | 2011-05-25 | 2018-05-16 | 삼성디스플레이 주식회사 | 패터닝 슬릿 시트 어셈블리, 유기막 증착 장치, 유기 발광 표시 장치 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치 |
| KR101975020B1 (ko) * | 2012-04-24 | 2019-05-07 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 |
| US9349922B2 (en) * | 2014-08-25 | 2016-05-24 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Mask, mask group, manufacturing method of pixels and pixel structure |
| KR102696806B1 (ko) | 2016-09-22 | 2024-08-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착용 마스크, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법 |
| US20240081136A1 (en) * | 2022-09-06 | 2024-03-07 | Emagin Corporation | System and Method for Direct Patterning Using a Compensated Shadow Mask |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003077660A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-03-14 | Ritsuo Inaba | 有機ｅｌ素子作製用メタルマスク及び有機ｅｌの製造方法 |
| KR100500148B1 (ko) * | 2002-12-30 | 2005-07-07 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 유기전계발광소자의 제조방법 및 유기전계발광소자 기판 |
| KR20060018343A (ko) * | 2004-08-24 | 2006-03-02 | 엘지전자 주식회사 | 마스크 |
| KR20060044575A (ko) * | 2004-03-23 | 2006-05-16 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 마스크, 마스크의 제조 방법, 박막 패턴의 형성 방법, 전기광학장치의 제조 방법 및 전자기기 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4447904A (en) * | 1981-02-04 | 1984-05-08 | Xerox Corporation | Semiconductor devices with nonplanar characteristics produced in chemical vapor deposition |
| US20050259302A9 (en) * | 1987-09-11 | 2005-11-24 | Metz Michael H | Holographic light panels and flat panel display systems and method and apparatus for making same |
| US5557951A (en) | 1995-03-24 | 1996-09-24 | Praxair Technology, Inc. | Process and apparatus for recovery and purification of argon from a cryogenic air separation unit |
| CN1135597C (zh) * | 1996-11-05 | 2004-01-21 | 东芝株式会社 | 彩色阴极射线管 |
| DE19716260A1 (de) | 1997-04-18 | 1998-10-22 | Bayer Ag | Sulfonyloxadiazolone |
| KR100300424B1 (ko) * | 1999-03-05 | 2001-09-26 | 김순택 | 음극선관용 텐션 마스크와 텐션마스크 프레임 조립체 |
| KR100379361B1 (ko) * | 2001-05-30 | 2003-04-07 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 실리콘막의 결정화 방법 |
| TW589919B (en) * | 2002-03-29 | 2004-06-01 | Sanyo Electric Co | Method for vapor deposition and method for making display device |
-
2006
- 2006-06-30 KR KR1020060060610A patent/KR101192798B1/ko active IP Right Grant
-
2007
- 2007-06-28 CN CN2007101275552A patent/CN101096754B/zh active Active
- 2007-06-29 US US11/819,936 patent/US8906445B2/en active Active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003077660A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-03-14 | Ritsuo Inaba | 有機ｅｌ素子作製用メタルマスク及び有機ｅｌの製造方法 |
| KR100500148B1 (ko) * | 2002-12-30 | 2005-07-07 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 유기전계발광소자의 제조방법 및 유기전계발광소자 기판 |
| KR20060044575A (ko) * | 2004-03-23 | 2006-05-16 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 마스크, 마스크의 제조 방법, 박막 패턴의 형성 방법, 전기광학장치의 제조 방법 및 전자기기 |
| KR20060018343A (ko) * | 2004-08-24 | 2006-03-02 | 엘지전자 주식회사 | 마스크 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20080002051A (ko) | 2008-01-04 |
| CN101096754B (zh) | 2010-09-29 |
| US8906445B2 (en) | 2014-12-09 |
| US20080003350A1 (en) | 2008-01-03 |
| CN101096754A (zh) | 2008-01-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101479994B1 (ko) | 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
| US7518147B2 (en) | Organic electro luminescence device and fabrication method thereof | |
| US7394446B2 (en) | Organic electroluminescence device | |
| KR101663564B1 (ko) | 유기전계발광소자 및 이의 제조방법 | |
| KR100642490B1 (ko) | 유기전계발광 소자 및 그 제조방법 | |
| KR102081317B1 (ko) | 이중 뱅크 구조를 갖는 고 개구율 유기발광 다이오드 표시장치 | |
| WO2014136149A1 (ja) | Ｅｌ表示装置 | |
| KR20000047779A (ko) | 컬러 ｅｌ 표시 장치 | |
| KR101192798B1 (ko) | 섀도우 마스크 및 이를 이용한 유기 발광 소자의 제조 방법 | |
| KR101582488B1 (ko) | 유기전계발광소자 | |
| KR101274699B1 (ko) | 유기 발광 소자 | |
| KR101050290B1 (ko) | 유기전계발광 소자 및 그 제조방법 | |
| US8427049B2 (en) | Display device | |
| KR101166838B1 (ko) | 듀얼 플레이트 유기 전계 발광 소자 및 이의 제조 방법 | |
| KR101441388B1 (ko) | 유기 발광 표시 소자 | |
| KR20080000426A (ko) | 유기전계발광소자 및 그 제조방법 | |
| KR101274791B1 (ko) | 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법 | |
| KR101070534B1 (ko) | 유기전계발광 소자 및 그 제조방법 | |
| WO2014174804A1 (ja) | Ｅｌ表示装置の製造方法 | |
| CN111710696A (zh) | 显示面板及其制作方法 | |
| KR100616706B1 (ko) | 유기전계발광 소자 및 그 제조방법 | |
| KR100705266B1 (ko) | 유기전계발광 소자 및 그 제조방법 | |
| KR100752216B1 (ko) | 쉐도우 마스크 및 이의 제조 방법, 이를 이용한 유기 전계발광 소자의 제조 방법 | |
| US20230209938A1 (en) | Display device | |
| KR20080060729A (ko) | 듀얼 플레이트 유기 발광 소자 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180917 Year of fee payment: 7 |