KR101155588B1 - 임프린트 장치 - Google Patents

Abstract

스템프(stamp)를 이용한 임프린트(imprint) 방식으로 평판표시소자용 기판 측에 각종 기능성 패턴들을 간편하게 패터닝할 수 있는 임프린트 장치를 개시한다.

이러한 임프린트 장치는, 스템프와, 상기 스템프와 평행한 상태로 배치되며 기판을 로딩하는 스테이지와, 상기 스템프를 향하여 상기 스테이지를 이송하는 이송부와, 상기 스테이지와 연결되는 복수 개의 틸팅부재로 구성되는 틸팅부와, 상기 스템프와 스테이지의 평행도를 감지하는 감지부 그리고, 상기 감지부의 감지 신호에 따라 상기 스테이지의 평행도를 보정할 수 있도록 상기 틸팅부를 구동하는 틸팅구동부를 포함한다.

임프린트(imprint) 작업, 스템프 합착 및 분리, 평행도 보정, 작업성 및 합착 정밀도 향상

Description

임프린트 장치{imprint apparatus}

본 발명은 기판과 스템프의 임프린트 작업시 한층 향상된 작업 정밀도를 확보할 수 있는 임프린트 장치에 관한 것이다.

평판표시소자용 기판 측에 각종 기능성 패턴(예: 식각 및 비식각 영역)들을 형성하는 방법 중에는 임프린트(imprint) 방식이 널리 알려져 있으며, 스템프(stamp)를 구비한 임프린트 장치가 사용된다.

상기 임프린트 장치의 일반적인 구조를 간략하게 설명하면, 챔버부와, 이 챔버부 내측에 배치되며 약액층이 도포된 기판을 로딩하는 스테이지와, 이 스테이지 위쪽에서 기판과 합착 가능한 상태로 배치되는 스템프를 포함하여 이루어진다.

그리고, 상기 스테이지는 상기 스템프로 기판의 약액층을 눌러서 각종 기능성 패턴들을 임프린트 방식으로 기판 측에 패터닝할 수 있도록 상기 스템프를 향하여 승, 하강이 가능한 이송 구조를 갖는다.

이러한 스테이지의 이송 구조는 여러 가지의 방식이 있지만 그 중에서 두 개의 캠 블록을 이용하여 이 캠 블록들의 접촉에 의해 상기 스테이지가 Z축 방향으로 승, 하강하는 이송 구조가 널리 알려져 있다.

즉, 상기 두 개의 캠 블록은 적층 상태로 배치되며, 하측 캠 블록이 이송용 스크류의 정,역 회전에 의해 전, 후진할 때 상부 캠 블록이 하부 캠 블록의 경사면과 접촉하면서 Z축 방향으로 상기 스테이지를 승, 하강시키는 구조이다.

이와 같은 임프린트 장치는 상기 스테이지의 이송에 의해 상기 기판과 스템프가 합착되면서 임프린트 작업이 이루어지는 것이므로 특히, 기판과 스템프를 서로 평행한 합착 상태로 임프린트 하는 것이 매우 중요하다.

하지만, 상기와 같은 이송 구조를 갖는 스테이지들은, 임프린트를 위한 이송 정밀도를 높이려면 두 개의 캠 블록을 정밀하게 가공해야 하므로 장치의 제작에 과다한 비용과 시간이 소요될 수 있으며, 캠 블록의 정밀 가공에 의존하는 방법으로는 이송 정밀도를 높이는데 한계가 있다.

그리고, 상기 스테이지는 캠 블록들의 마모나 변형 등에 의해 이송 정밀도가 조기에 저하될 수 있다.

특히, 스테이지의 이송 정밀도가 저하되면 예를 들어, 기판과 스템프의 평행도가 허용 범위를 벗어난 비정상인 상태로 합착이 이루어지면서 불량 품질이 발생할 수 있다.

더욱이, 기판의 임프린트 작업 중에 발생하는 대부분의 불량 품질은 기판과 스템프의 합착시 평행도가 허용 범위를 벗어난 상태로 합착이 이루어지면서 발생하는 것으로 알려져 있으므로 상기한 스테이지의 이송 구조로는 만족할 만한 작업 정밀도 및 생산성을 기대할 수 없다.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서,

본 발명의 목적은 특히, 기판과 스템프의 합착 전에 이들의 평행도(Parallelism)를 간편하게 보정한 상태로 임프린트 작업을 진행할 수 있는 임프린트 장치를 제공하는데 있다.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 실현하기 위하여,

스템프;

상기 스템프와 평행한 상태로 배치되며 기판을 로딩하는 스테이지;

상기 스템프를 향하여 상기 스테이지를 이송하는 이송부;

상기 스테이지와 연결되는 복수 개의 틸팅부재로 구성되는 틸팅부;

상기 스템프와 스테이지의 평행도를 감지하는 감지부;

상기 감지부의 감지 신호에 따라 상기 스테이지의 평행도를 보정할 수 있도록 상기 틸팅부를 구동하는 틸팅구동부;

를 포함하는 임프린트 장치를 제공한다.

이와 같은 본 발명은 스테이지 측에 로딩된 기판을 스템프와 합착, 분리하면서 기판의 약액층에 각종 기능성 패턴들을 임프린트 방식으로 간편하게 패터닝할 수 있다.

특히, 본 발명은 기판과 스템프의 합착 전에 이들의 평행도를 틸팅부와 감지부 및 구동부를 이용하여 간편하게 보정할 수 있으므로 임프린트 작업시 기판과 스템프의 평행도가 허용 범위를 벗어난 비정상인 상태로 합착되면서 발생하는 문제들을 해결할 수 있다.

이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명한다.

본 발명의 실시 예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자들이 본 발명의 실시가 가능한 범위 내에서 설명된다.

따라서, 본 발명의 실시 예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있는 것이므로 본 발명의 특허청구범위는 아래에서 설명하는 실시 예들로 인하여 한정되는 것은 아니다.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치의 전체 및 주요 부분의 구조를 나타낸 도면들이다.

상기 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치는 스템프(2)를 포함한다.

상기 스템프(2)는 예를 들어, 도 1에서와 같은 프레임(F) 상에서 개방 가능한 챔버(C1)를 제공하는 통상의 챔버케이스(C) 내측에 설치될 수 있다.

그리고, 상기 챔버(C1)는 진공압 상태로 임프린트 작업을 진행할 수 있도록 내부 압력의 조절이 가능한 구조를 갖는다.

상기 스템프(2)는 소정의 패턴들이 형성된 임프린트면(P1)을 일면에 구비하 고, 타면은 투명한 유리판이나 석영판으로 이루어지는 백플레이트(P2)가 부착된 통상의 구조로 이루어진다.

그리고, 상기 스템프(2)는 예를 들어, 판상의 홀더(P3, 예: 진공척, 정전척) 측에 일면이 고정되어 상기 임프린트면(P1)이 평탄한 상태를 유지하면서 아래쪽을 향하도록 배치될 수 있다.

상기 스템프(2)의 하측에는 기판(G)을 로딩하는 스테이지(4)가 위치된다.

상기 스테이지(4)는 로딩면(L1)을 구비하고, 상기 챔버케이스(C) 내측에서 상기 로딩면(L1)이 상기 스템프(2)의 임프린트면(P1)과 서로 평행한 상태가 되도록 배치된다.

이와 같은 스테이지(4)의 구조에 의하면, 상기 로딩면(L1) 측에 기판(G)의 일면(저면)을 얹어서 약액층(G1)이 위쪽을 향하는 평탄한 상태로 수평하게 로딩할 수 있다.

그리고, 상기 스테이지(4)는 기판(G)을 직접 고정하거나 고정 상태를 해제할 수 있는 구조로 이루어질 수 있다.

예를 들어, 상기 스테이지(4)는 판상의 진공척(vacuum chuck, 또는 정전척)을 사용할 수 있다.

이처럼, 진공척(또는 정전척)을 상기 스테이지(4)로 사용하면, 간단한 온, 오프 조작에 의해 기판(G)을 평판한 상태로 신속하게 고정하거나 고정 상태를 해제할 수 있으므로 기판(G)을 로딩하거나 언로딩할 때 한층 향상된 작업성 및 로딩 안정성을 확보할 수 있다.

상기 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치는, 이송부(6)를 포함한다.

상기 이송부(6)는 상기 스템프(2)를 향하여 상기 스테이지(4)를 밀거나 당기는 방식으로 승,하강시킬 수 있는 구조를 갖는 이송부재들로 구성된다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 이송부(6)는 외부 동력을 전달받아서 선형(linear) 운동을 하는 구동 스크류(S)를 구비한 스크류 잭(S1, 이하 "이송용 스크류 잭"이라고 함)을 이송부재로 사용할 수 있다.

상기 이송용 스크류 잭(S1)의 구동 스크류(S)의 자유단은 상기 스테이지(4)의 저면 가운데 지점과 연결되고, 스크류 잭(S1) 본체는 상기 프레임(F) 상에 통상의 방법으로 고정된다.

그리고, 상기 구동 스크류(S)의 자유단은 상기 스테이지(4)의 저면과 통상의 볼 조인트(J)로 연결하면 좋다. 그러면, 상기 구동 스크류(S)의 연결 지점을 중심으로 상기 스테이지(4)가 원활하게 틸팅될 수 있는 상태로 고정된다.

상기한 이송용 스크류 잭(S1)은 특히 상기 스테이지(4)와 같은 대형의 중량물 이송에 적합할 뿐만 아니라, 역전 방지(self locking) 기능을 구비하고 있으므로 상기 스테이지(4)의 승, 하강시 한층 향상된 작동 안전성을 확보할 수 있다.

상기한 이송부(6)는 상기 이송용 스크류 잭(S1)의 이동 방향을 가이드하기 위한 가이드부재(K)를 더 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 가이드부재(K)는, 통상의 "LM 가이드"를 사용할 수 있다.

다시 도 1을 참조하면, 상기 가이드부재(K)는 예를 들어, 상기 이송용 스크류 잭(S1)의 구동 스크류(S)를 둘러싸는 상태로 제공되는 별도의 하우징(K1) 내측 에서 상기 구동 스크류(S)를 이동 가능하게 잡아줄 수 있도록 통상의 방법으로 설치될 수 있다.

즉, 상기 하우징(K1)은 상기 프레임(F) 측에 고정되고, 상기 이송용 스크류 잭(S1) 본체는 상기 하우징(K1) 내측의 하부에 고정될 수 있다.

이와 같은 가이드부재(K)의 구조에 의하면, 상기 이송용 스크류 잭(S1)이 구동할 때 상기 구동 스크류(S)의 이송 편차가 발생하지 않도록 이송 방향을 가이드할 수 있으므로 상기 스테이지(4)의 이송 정밀도를 높일 수 있다.

상기 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치는 틸팅부(8)를 포함한다.

상기 틸팅부(8)는 상기 스테이지(4)를 밀거나 당기는 방식으로 틸팅(tilting)할 수 있는 구조를 갖는 틸팅부재들로 구성된다.

다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 틸팅부(8)는 외부 동력을 전달받아서 선형(linear) 운동을 하는 구동 스크류(S)를 구비한 스크류 잭(S2, 이하 "틸팅용 스크류 잭"이라고 함)들을 틸팅부재로 사용할 수 있다.

상기 틸팅용 스크류 잭(S2)들은 상기 스테이지(4)의 복수 개의 지점과 연결되며, 더욱 바람직하게는 3점 지지 방식으로 틸팅이 가능하도록 배치하면 좋다.

도 3은 상기 틸팅부(8)의 바람직한 설치 상태를 설명하기 위한 도면이다.

예를 들어, 상기 틸팅용 스크류 잭(S2)들은 도 3을 기준으로 할 때 상기 이송용 스크류 잭(S1)의 둘레부를 따라 이격된 세 군데 지점과 대응하도록 배치할 수 있다.

상기 틸팅용 스크류 잭(S2)들의 구동 스크류(S)의 자유단은 상기 스테이지(4)의 저면과 연결되고, 잭 본체는 상기 프레임(F) 상에 통상의 방법으로 고정된다. 즉, 상기 틸팅용 스크류 잭(S2)들의 구동 스크류(S)들은 상기 스테이지(4)의 저면 중에서 상기 이송용 스크류 잭(S1)의 구동 스크류(S)가 연결 고정된 가운데 부분을 벗어난 가장자리 측에 3점 지지가 가능하게 이격 배열된 상태로 연결 고정될 수 있다.

특히, 상기와 같은 3점 지지 방식은 예를 들어, 2점 지지 방식과 비교하면 상기 스테이지(4)를 전,후 및 좌,우 방향으로 다양하게 틸팅할 수 있다.

이외에도 예를 들어, 4점 지지 방식과 비교하면, 틸팅 구조가 간단할 뿐만 아니라, 상기 스테이지(4)의 틸팅시 상기 구동 스크류(S)들의 상호 간섭을 최대한 줄이면서 균일한 상태로 지지할 수 있다.

그리고, 상기한 틸팅부(8)는 연결부재(J1)를 더 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 연결부재(J1)는 상기 틸팅용 스크류 잭(S2)의 구동 스크류(S)들과 상기 스테이지(4)가 연결되는 지점을 각도 및 위치 변화가 가능한 상태로 연결할 수 있도록 구성된다.

도 4는 상기 연결부재(J1)의 세부 구조를 설명하기 위한 도면이다.

즉, 상기 연결부재(J1)는 통상의 이음용 조인트(J1a, 예: 볼 조인트, 유니버셜 조인트)와 가이드레일(J1b, 예: LM 가이드)을 사용할 수 있으며, 상기 틸팅용 스크류 잭(S2)의 자유단 측에 도면에서와 같은 상태로 제공될 수 있다. 이때, 상기 가이드레일(J1b)은 서로 교차하는 방향으로 배치될 수 있다.

이와 같은 연결부재(J1)의 구조에 의하면, 상기 틸팅용 스크류 잭(S2)의 구동 스크류(S)를 상기 스테이지(4) 측에 연결 고정하더라도 각 연결 지점을 기준으로 도 4에서와 같은 방향으로 상기 스테이지(4)가 움직일 수 있다. 그러므로, 상기 틸팅부(8)로 상기 스테이지(4)를 틸팅할 때 한층 향상된 작동성을 확보할 수 있다.

한편, 상기 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치는 감지부(10)를 포함한다.

상기 감지부(10)는 상기 스템프(2)와 대응하여 상기 스테이지(4)의 평행도를 감지하기 위한 것이다.

다시 도 2를 참조하면, 상기 감지부(10)는 접촉 감지방식 또는 비접촉 감지방식으로 작동하는 위치감지센서(Q)로 구성될 수 있다.

상기 위치감지센서(Q)들은 특히 비접촉 감지방식으로 작동하는 센서 중에 하나인 레이져변위센서를 사용하면 좋다. 이 레이져변위센서는 특정 지점을 향하여 레이져를 조사하고, 조사된 레이져가 특정 지점에서 반사될 때 이를 수광하면서 물체간 이동거리 또는 위치 변화를 간편하게 측정할 수 있는 것으로 알려져 있다.

도 5 및 도 6은 상기 감지부(10)의 세부 구조를 설명하기 위한 도면들이다.

도 5를 참조하면, 상기 감지부(10)의 위치감지센서(Q)들은 예를 들어, 상기 스테이지(4)의 가장자리 측에서 상기 틸팅부(8) 즉, 세 개의 틸팅용 스크류 잭(S2)들과 대응하는 지점에 배치될 수 있다.

그리고, 도 6을 참조하면, 상기 각 위치감지센서(Q)들은 예를 들어, 상기 스테이지(4)의 가장자리 측에서 상기 챔버케이스(C)의 챔버(C1) 윗면(또는 스템프 홀더)을 향하여 레이져를 조사하고, 조사된 레이져가 반사되는 것을 수광할 수 있는 상태로 고정될 수 있다.

이와 같은 감지부(10)의 구조에 의하면, 상기 세 개 위치감지센서(Q)들로 상기 스테이지(4)의 세 군데 지점의 위치(높낮이)를 각각 측정하는 방식으로 상기 스템프(2)와 대응하여 상기 스테이지(4)의 평행도를 간편하게 감지할 수 있다.

즉, 상기 스템프(2)는 상기 챔버(C1) 윗면(또는 스템프 홀더)에 평탄한 상태로 배치되므로 상기 챔버(C1) 윗면을 기준으로 상기 스테이지(4)의 세 군데 지점의 높낮이를 측정하면 상기 스템프(2)와 대응하여 상기 스테이지(4)의 평행도를 간편하게 감지할 수 있다.

상기 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치는, 틸팅구동부(12)를 포함한다.

상기 틸팅구동부(12)는 상기 감지부(10)에서 감지된 신호를 전달받아서 상기 스테이지(4)의 평행도 보정이 가능하게 상기 틸팅부(8)를 구동하기 위한 동력을 발생 및 전달하기 위한 것이다.

다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 틸팅구동부(12)는, 구동원(M1)과, 이 구동원(M1)과 상기 틸팅부(8) 사이를 동력 전달이 가능하게 연결하는 구동축(M2)들과, 이 구동축(M2)들을 연결하거나 연결 상태를 해제하는 클러치(M3, clutch)들을 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 구동원(M1)은 통상의 스크류 잭(screw jack)의 구동에 사용하는 기어드 모터를 사용할 수 있으며, 상기 프레임(F) 내측에 위치된다.

상기 구동축(M2)들은 상기 구동원(M1)에서 발생한 동력을 상기 세 개의 틸팅용 스크류 잭(S2)들에 전달할 수 있도록 상기 프레임(F) 내측(또는 외측)에 복수 개가 도 2에서와 같은 상태로 연결 배치될 수 있다.

상기 구동축(M2)들의 단부는 예를 들어, 통상의 축 이음용 기어박스(M4)들로 연결될 수 있다. 이 축 이음용 기어박스(M4)들은 도면에는 나타내지 않았지만 일정 각도를 이루는 상태로 연결되는 축 이음부를 동력 전달이 가능하게 연결할 수 있는 기어(예: 베벨 기어)가 내장된 구조로 이루어진다.

그리고, 상기 이송부(6)의 이송용 스크류 잭(S1)은 상기 구동원(M1)으로부터 동력을 전달받아서 구동할 수 있도록 상기 구동축(M2)들로 연결될 수 있다. 그러면, 하나의 구동원(M1)으로 상기 이송부(6)와 틸팅부(8)를 함께 구동할 수 있다.

상기 각 구동축(M2)들은 도면에는 나타내지 않았지만 축선을 중심으로 회전이 가능하도록 통상의 방법으로 상기 프레임(F) 상에 고정된다.

상기 클러치(M3)들은 상기 틸팅용 스크류 잭(S2) 또는 상기 이송용 스크류 잭(S1)과 대응하는 구동축(M2)들의 연결 구간을 통상의 방법으로 동력 전달이 가능하게 연결하거나 해제할 수 있도록 도 2에서와 같이 설치될 수 있다. 그러면, 상기 클러치(M3)들의 작동에 의해 하나의 구동원(M1)으로 틸팅용 스크류 잭(S2)들이나 이송용 스크류 잭(S1)을 각각 개별적으로 구동 및 제어할 수 있는 이른바 선택 구동 제어가 가능한 구조를 제공할 수 있다.

상기 클러치(M3)는 축과 축 사이를 동력 전달이 가능하게 연결하거나 해제할 수 있는 여러 가지 타입(예: 건식 또는 습식, 파우더식, 단판식, 다판식)의 클러치 중에서 어느 하나를 사용할 수 있다.

그리고, 상기 구동원(M1)과 클러치(M3)들은 상기 감지부(10)의 위치감지센서(Q)들과 각각 연결되어 이 위치감지센서(Q)에서 감지된 신호(측정값)에 따라 상기 스테이지(4)의 평행도 보정이 가능하도록 상기 틸팅부(8)를 적절하게 구동할 수 있도록 셋팅된다.

예를 들어, 위치감지센서(Q)들에 의해 상기 스테이지(4)의 세 군데 지점의 높낮이 측정값이 감지되면, 상기 이송용 스크류 잭(S1)과 연결된 스테이지(4)의 가운데 지점의 높이를 기준으로 더 낮은 지점은 위로 들어올리고, 더 높은 지점은 아 래로 당기는 방식으로 틸팅이 이루어지도록 상기 틸팅부(8)를 구동할 수 있다.

이외에도 예를 들어, 상기 스테이지(4)의 세 군데 지점 중에서 가장 높은 지점 또는 가장 낮은 지점을 향하여 나머지 지점들을 위로 들어 올리거나 아래로 잡아당기는 방식으로 틸팅이 이루어지도록 상기 틸팅부(8)를 구동할 수 있다.

이러한 구동 방법은 해당 분야에서 평균적인 지식을 가진 자라면 예를 들어, 통상의 수치제어용 유니트(미도시)와 상기 위치감지센서(Q)들을 연결하여 감지 신호에 따라 상기와 같은 방식으로 틸팅이 이루어지도록 상기 구동원(M1)과 클러치(M3)들의 작동을 제어할 수 있는 것이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.

그리고, 도면에는 나타내지 않았지만 예를 들어, 동력 전달 구간 일측의 연결을 해제한 상태에서 피동측의 구동축(M2)이 자유 회전하는 것을 방지할 수 있는 제동 기능(장치)을 구비한 클러치(M3)를 사용하면 좋다. 그러면, 상기 클러치(M3)들로 상기 구동축(M2)을 동력 전달이 가능하게 연결하거나 연결 상태를 해제할 때 한층 향상된 작동 안전성을 확보할 수 있다.

도 7은 상기 틸팅구동부(12)의 바람직한 작용을 설명하기 위한 도면이다.

상기 틸팅구동부(12)는 예를 들어, 감지부(10)의 세 개의 위치감지센서(Q)들에 의해 도 7에서와 같이 상기 스테이지(4)가 우측에서 좌측을 향하여 점차 아래로 경사진 상태가 감지되면 감지 신호를 전달받아서 다음과 같이 상기 틸팅부(8)를 구동할 수 있다.

즉, 상기 이송용 스크류 잭(S1)의 단부와 연결된 스테이지(4)의 가운데 지점의 높이보다 더 낮은 지점(좌측)은 위로 들어 올려지고, 더 높은 지점(우측)은 아 래로 당겨지는 상태로 틸팅되도록 상기 틸팅부(8)의 구동을 제어할 수 있다.

이러한 틸팅부(8)의 구동 제어는 상기 세 개의 틸팅용 스크류 잭(S2)들과 대응하는 동력 전달 구간을 상기 클러치(M3)들로 연결 또는 연결 상태를 해제하면서 상기 구동원(M1)을 적절하게 정, 역회전시키는 방식으로 진행될 수 있다.

그러면, 상기와 같은 틸팅 동작에 의해 상기 스템프(2)와 대응하는 상태로 상기 스테이지(4)의 평행도를 간편하게 보정할 수 있다.

그리고, 이외에도 도면에는 나타내지 않았지만 상기와 같은 방식으로 상기 스테이지(4)를 전,후 및 좌,우 방향으로 틸팅하면서 상기 스템프(2)와 대응하도록 평행도를 간편하게 보정할 수 있다.

따라서, 상기한 본 발명은 스테이지(4) 측에 로딩된 기판(G)을 상기 스템프(2)와 합착, 분리하면서 기판(G)의 약액층(G1)에 각종 기능성 패턴(G2)들을 임프린트 방식으로 간편하게 패터닝할 수 있다.

특히, 본 발명은 기판(G)과 스템프(2)를 합착하기 전에 상기 기판(G)을 로딩하고 있는 스테이지(4)를 틸팅시키면서 상기 스템프(2)와 대응하도록 평행도를 간편하게 보정할 수 있으므로 예를 들어, 스테이지(4)와 스템프(2)의 평행도가 허용범위를 벗어난 비정상인 상태로 합착이 이루어지면서 발생할 수 있는 문제들을 간편하게 해결할 수 있다.

그리고, 도 8은 틸팅구동부(12)의 다른 구조를 설명하기 위한 도면이다. 본 실시 예는 상기한 실시 예와 비교할 때 클러치(M3)를 사용하지 않고 상기 틸팅부(8) 및 이송부(6)를 각각 개별 구동하는 차이점이 있다.

즉, 도 8을 참조하면, 상기 틸팅구동부(12)는 복수 개의 구동원(M1)들로 구성될 수 있다.

상기 구동원(M1)들은 기어드 모터를 사용하고, 도 8에서와 같이 상기 틸팅용 스크류 잭(S2)들 및 이송용 스크류 잭(S1)과 대응하여 동력 전달이 가능하게 각각 직접 연결될 수 있다.

그리고, 상기 구동원(M1)들은 상기 감지부(10)의 위치감지센서(Q)들의 감지 신호에 따라 개별적으로 작동하도록 셋팅된다.

이와 같은 구조에 의하면, 상기 틸팅용 스크류 잭(S2)들과 이송용 스크류 잭(S1)을 각각 개별 구동하는 방식으로 상기 스테이지(2)의 평행도를 보정할 수 있다.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치의 전체 및 주요 부분의 구조를 나타낸 도면들이다.

도 3은 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치의 틸팅부의 바람직한 설치 상태를 설명하기 위한 도면이다.

도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치의 이송부 및 틸팅부의 연결부재 구조를 설명하기 위한 도면이다.

도 5 및 도 6은 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치의 감지부의 세부 구조를 설명하기 위한 도면들이다.

도 7은 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치의 틸팅구동부의 작용을 설명하기 위한 도면이다.

도 8은 본 발명의 일실시 예에 따른 임프린트 장치의 틸팅구동부의 다른 구조를 설명하기 위한 도면이다.

[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명]

2: 스템프 4: 스테이지 6: 이송부

8: 틸팅부 10: 감지부 12: 틸팅구동부

G: 기판 S1: 이송용 스크류 잭 S2: 틸팅용 스크류 잭

Claims (12)

1. 챔버를 구비한 챔버케이스 내측에 배치되는 스템프;

   상기 스템프 아래쪽에 배치되며 기판을 로딩하는 스테이지;

   상기 스테이지 아래쪽에 배치되는 이송용 스크류 잭을 이송부재로 사용하고 상기 스테이지의 저면 중에서 가운데 부분이 상기 이송용 스크류 잭의 자유단과 연결되어 상기 스테이지를 상기 이송용 스크류 잭으로 밀거나 당기면서 상기 스템프를 향하여 승,하강시킬 수 있도록 형성된 이송부;

   상기 스테이지 아래쪽에 배치되는 복수 개의 틸팅용 스크류 잭을 틸팅부재로 사용하고 상기 틸팅용 스크류 잭들의 자유단이 상기 스테이지의 저면 중에서 가운데 부분을 벗어난 가장자리 부분에 이격 배치된 상태로 연결되어 상기 틸팅용 스크류 잭들로 상기 스테이지를 밀거나 당기면서 틸팅할 수 있도록 형성된 틸팅부;

   상기 스테이지 상에서 상기 틸팅부의 틸팅부재들의 연결 지점들과 대응하도록 배치되어 레이져를 조사 및 수광하면서 상기 스템프와 상기 스테이지 간의 평행도를 감지할 수 있도록 설치되는 위치감지센서들을 구비한 감지부;

   상기 감지부의 감지 신호에 따라 상기 틸팅부의 틸팅부재 및 상기 이송부의 이송부재들을 구동하기 위한 동력을 발생하는 구동원과, 상기 구동원 및 상기 틸팅부재 사이를 각각 동력 전달이 가능하게 연결하는 구동축들과, 상기 구동축들 일측을 각각 연결하거나 연결 상태를 해제하면서 상기 스테이지의 평행도 보정이 가능하도록 상기 틸팅부재들 측에 전달되는 동력을 각각 제어할 수 있도록 설치되는 클러치들을 구비한 틸팅구동부;

   를 포함하는 임프린트 장치.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 스템프는,

   임프린트면을 구비하고, 상기 스테이지 측에 로딩된 기판을 상기 임프린트면으로 누를 수 있도록 배치되는 임프린트 장치.
3. 청구항 1에 있어서,

   상기 스테이지는,

   판상의 진공척 또는 정전척 중에서 어느 하나를 사용하는 임프린트 장치.
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6. 삭제
7. 삭제
8. 삭제
9. 청구항 1에 있어서,

   상기 위치감지센서들은,

   레이져변위센서를 사용하고,

   상기 스테이지 상에서 위쪽의 챔버 내부면을 향하여 레이져를 조사하고, 상기 챔버 내부면에서 반사되는 레이져를 수광하면서 상기 스테이지의 평행도를 감지할 수 있도록 설치되는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치.
10. 삭제
11. 삭제
12. 청구항 1에 있어서,

    상기 틸팅부는,

    상기 스테이지와 상기 틸팅부재들의 연결 지점을 각도 및 위치 변화가 가능한 상태로 연결하는 연결부재를 더 포함하며,

    상기 연결부재는,

    볼 조인트 또는 유니버셜 조인트 또는 LM 가이드로 구성되는 것을 특징으로 하는 임프린트 장치.

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