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KR101147841B1 - Adhesive tape for manufacturing electronic component - Google Patents

Adhesive tape for manufacturing electronic component Download PDF

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KR101147841B1
KR101147841B1 KR1020100053972A KR20100053972A KR101147841B1 KR 101147841 B1 KR101147841 B1 KR 101147841B1 KR 1020100053972 A KR1020100053972 A KR 1020100053972A KR 20100053972 A KR20100053972 A KR 20100053972A KR 101147841 B1 KR101147841 B1 KR 101147841B1
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electronic component
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임민호
김상필
문기정
심창훈
최성환
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도레이첨단소재 주식회사
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Abstract

본 발명은 전자부품 제조용 점착테이프에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전자부품 제조용 점착테이프를 밀봉 수지 봉지 공정 이후에 추가적인 가열 공정이 없이 상온에서 디테이핑이 가능하고, 또한 라미네이션 공정 조건의 요구 특성을 모두 만족시킬 수 있고 기존의 전자부품 제조 공정에 사용되어 온 점착테이프들의 점착제 잔사 및 밀봉 수지 누출의 한계를 개선할 수 있는 전자부품 제조용 점착테이프에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명에 따른 전자부품 제조용 점착테이프는 내열 기재와 상기 내열 기재 상에 점착제 조성물이 도포된 점착제 층을 포함하는 전자부품 제조용 점착테이프로서, 상기 점착제 조성물은 페녹시 수지, 아크릴 수지, 열경화제, 에너지선 경화형 아크릴 수지 및 광개시제를 포함하고, 상기 점착제 층은 열경화 및 에너지선에 의해 경화된 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a pressure-sensitive adhesive tape for electronic component manufacturing, and more particularly, the pressure-sensitive adhesive tape for electronic component manufacturing can be de-taped at room temperature without an additional heating process after the sealing resin encapsulation process, and all the required characteristics of the lamination process conditions The present invention relates to a pressure-sensitive adhesive tape for electronic component manufacturing that can satisfy and improve the limits of pressure-sensitive adhesive residue and sealing resin leakage of pressure-sensitive adhesive tapes that have been used in existing electronic component manufacturing processes. To this end, the adhesive tape for manufacturing an electronic component according to the present invention is an adhesive tape for manufacturing an electronic component including a heat-resistant base material and a pressure-sensitive adhesive layer on which the pressure-sensitive adhesive composition is applied. The pressure-sensitive adhesive composition is a phenoxy resin, an acrylic resin, a thermosetting agent. And an energy ray-curable acrylic resin and a photoinitiator, wherein the pressure-sensitive adhesive layer is cured by thermosetting and energy rays.

Description

전자부품 제조용 점착테이프{ADHESIVE TAPE FOR MANUFACTURING ELECTRONIC COMPONENT}Adhesive tape for electronic component manufacturing {ADHESIVE TAPE FOR MANUFACTURING ELECTRONIC COMPONENT}

본 발명은 전자부품 제조용 점착테이프에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전자부품 제조용 점착테이프를 밀봉 수지 봉지 공정 이후에 추가적인 가열 공정이 없이 상온에서 디테이핑이 가능하고, 또한 라미네이션 공정 조건의 요구 특성을 모두 만족시킬 수 있고 기존의 전자부품 제조 공정에 사용되어 온 점착테이프들의 점착제 잔사 및 밀봉 수지 누출의 한계를 개선할 수 있는 전자부품 제조용 점착테이프에 관한 것이다. The present invention relates to a pressure-sensitive adhesive tape for electronic component manufacturing, and more particularly, the pressure-sensitive adhesive tape for electronic component manufacturing can be de-taped at room temperature without an additional heating process after the sealing resin encapsulation process, and all the required characteristics of the lamination process conditions The present invention relates to a pressure-sensitive adhesive tape for electronic component manufacturing that can satisfy and improve the limits of pressure-sensitive adhesive residue and sealing resin leakage of pressure-sensitive adhesive tapes that have been used in existing electronic component manufacturing processes.

현대 생활에서 휴대용 기기(휴대폰, 랩탑 컴퓨터, DVD/CD/MP3 재생기, PDA 등)의 사용이 증가함에 따라 기기의 소형화 및 경량화가 필수적이다. 그에 따라 휴대용 기기에 사용되는 반도체 패키지들의 소형화와 박형화가 최우선 과제로 대두된다. 기존의 반도체들은 길게 나온 리드를 통하여 회로기판과 연결되는 표면실장패키지 방식(gull-wing 또는 QFP (quad-flat-package))을 사용하였으나, 이와 같은 요구 특성에 한계점을 드러내고 있다. 특히 수 GHz의 고주파를 사용하는 휴대용 통신기기들의 경우 반도체 장치의 유전손실에 의한 발열 반응으로 그 성능 및 효율이 떨어지는 문제가 있다.With the increasing use of portable devices (mobile phones, laptop computers, DVD / CD / MP3 players, PDAs, etc.) in modern life, device miniaturization and light weight are essential. Accordingly, miniaturization and thinning of semiconductor packages used in portable devices are a top priority. Conventional semiconductors use a surface-mount package method (gull-wing or quad-flat-package), which is connected to a circuit board through a long lead, but it shows a limitation in such required characteristics. In particular, portable communication devices using a high frequency of several GHz has a problem in that its performance and efficiency are deteriorated due to the exothermic reaction caused by the dielectric loss of the semiconductor device.

최근에 이와 같은 반도체의 요구 특성에 맞추어서 리드가 없는 QFN(quad flat no-lead package) 방식의 수요가 급상승하고 있다. QFN의 경우 리드가 길게 나와 있지 않고 다이 주위의 랜드 형태로 패키지 바닥 쪽으로 노출되어 있어서 바로 회로기판에 땜질(soldering)이 가능하다. 이에 리드를 가진 형태의 패키지보다 현저하게 작고 얇게 제조할 수 있고 회로기판에서 차지하는 면적도 기존에 비해서 약 40% 정도 감소되는 효과가 있다. 발열 면에 있어서도, 칩을 올려놓은 리드프레임이 밀봉 수지에 의해 쌓여져 있는 기존의 방식과 차별되어 리드프레임이 패키지의 바닥에 있고, 다이 패드가 외부로 바로 노출되어 있음으로 방열이 우수하다. 그래서 리드가 나와 있는 패키지들에 비해서 전기적 특성이 우수하고 자체인덕턴스가 절반밖에 되지 않는다.In recent years, the demand for the lead-free quad flat no-lead package (QFN) system has been rapidly rising to meet the demand characteristics of such semiconductors. In the case of QFN, the lead is not extended and exposed to the bottom of the package in the form of land around the die, which allows soldering directly to the circuit board. This can be manufactured significantly smaller and thinner than the package with the lead, and the area occupied by the circuit board is also reduced by about 40% compared to the conventional. In terms of heat generation, the heat dissipation is excellent because the lead frame on which the chip is placed is different from the existing method in which the lead frame is stacked by the sealing resin, and the lead frame is located at the bottom of the package and the die pad is directly exposed to the outside. This results in better electrical characteristics and only half the inductance of the package compared to the leaded package.

이렇게 패키지 바닥으로 리드프레임과 밀봉 수지 표면이 공존하는 계면이 생기게 됨으로, 일반적인 금속 몰딩틀을 이용 시에 밀봉수지가 리드프레임과 몰딩틀 사이로 쉽게 새어 들어가서 랜드부 표면이나 다이패드 표면을 수지로 오염시키는 문제를 발생시킨다. 그리하여, 필수적으로 점착테이프를 사용하여 리드프레임에 라미네이션(lamination)시킨 후 QFN 제조 공정 및 수지 봉지 공정을 거침으로 수지 공정 동안 밀봉 수지의 블리드-아웃(bleed-out)이나 플래쉬(flash)를 막을 수 있다.Since the interface between the lead frame and the sealing resin surface coexists at the bottom of the package, the sealing resin easily leaks between the lead frame and the molding mold when using a general metal molding mold, and contaminates the land surface or the die pad surface with the resin. Cause problems. Therefore, it is essential to prevent bleed-out or flash of the sealing resin during the resin process by laminating the lead frame with adhesive tape and then going through QFN manufacturing process and resin encapsulation process. have.

한편, 일반적으로 반도체 장치 제조 공정은 점착테이프를 리드프레임의 편면에 접착하는 테이핑공정(tape lamination), 리드프레임의 다이패드에 반도체 소자를 접착하는 다이 접착 공정(die attach), 반도체 소자와 리드프레임의 랜드부를 전기적으로 연결하는 와이어 본딩 공정(wire bonding), 다이 접착 공정과 와이어 본딩이 된 리드프레임을 몰딩틀 안에서 밀봉수지를 사용하여 봉지하는 밀봉 수지 봉지 공정(EMC molding), 반도체용 점착테이프를 봉지된 리드프레임으로부터 떼어내는 디테이핑(detaping) 공정으로 구성되어 있다.In general, a semiconductor device manufacturing process includes a tape lamination process of adhering an adhesive tape to one side of a lead frame, a die attach process of adhering a semiconductor element to a die pad of a lead frame, a semiconductor element and a lead frame. Wire bonding process for electrically connecting the land portions of the film, die bonding process, sealing resin encapsulation process (EMC molding) for sealing the lead frame with wire bonding using a sealing resin in a molding frame, and adhesive tape for semiconductors. It consists of a detaping process which removes from the sealed lead frame.

위와 같이 반도체 장치 제조 공정에 쓰이는 점착테이프의 요구 특성을 종합적으로 요약을 하자면, 각 라미네이터의 라미네이션 방식에 맞추어서 테이프가 외관상으로 기포의 형성이 없이 리드프레임에 밀착되어야 하고, 다이 접착성이나 와이어 본딩성이 우수할 수 있도록 언급된 온도 범위 및 공정 시간 동안 테이프가 물리적 화학적 변화가 없어야 한다. 다시 말해, 아웃가스(outgas)와 같은 형태로 점착제 층의 일부가 빠져 나와서 반도체 장치 소자 표면에 흡착되어 결합이 되어야 할 계면의 결합력을 저하시켜서는 안 된다. 또한, 테이프의 치수의 변동이 생기거나, 점착제 층의 물리적 특성인 탄성계수 혹은 점도와 같은 값의 극단적으로 변화하여 점착제 층이 흘러 버리거나 너무 경도가 높아져서 부스러지는 것은 반도체 장치의 신뢰성을 유지하는데 우려를 줄 수 있다. 밀봉 수지 봉지 공정 동안에는 테이프가 리드프레임에 밀착된 상태를 잘 유지하여서 그 계면 사이로 밀봉 수지가 침투하여 리드프레임 표면을 오염시키지 않아야 한다. 물론 디테이핑 공정 후에 디플래쉬(deflash) 공정의 추가가 가능하지만, 궁극적으로는 추가 세척 공정이 없는 것이 효율 및 경제적으로 권장된다. 디테이핑 후에는 밀봉 수지 표면 상태가 밀봉 수지가 원래 디자인되었던 의도대로 구현이 되도록 점착제와 밀봉 수지간에 특이한 반응이 없어야 하고 점착제가 표면에 남아 있지 않아야 한다. 또한, 리드프레임 표면에도 점착제의 잔사가 있지 않아야 한다.Summarizing the required characteristics of the adhesive tape used in the semiconductor device manufacturing process as described above, the tape should be closely adhered to the lead frame without forming bubbles in appearance according to the lamination method of each laminator, and the die adhesiveness or wire bonding property For this to be excellent, the tape should be free of physical and chemical changes during the mentioned temperature ranges and process times. In other words, a part of the pressure-sensitive adhesive layer in the form of outgas should not come out to lower the bonding strength of the interface to be adsorbed and bonded to the surface of the semiconductor device element. In addition, variations in the dimensions of the tape, extreme changes in values such as the elastic modulus or viscosity, which are physical properties of the adhesive layer, and the adhesive layer flows out or is too brittle due to too high stiffness is a concern in maintaining the reliability of the semiconductor device. Can give During the sealing resin encapsulation process, the tape should be kept in close contact with the leadframe so that the sealing resin does not penetrate between the interfaces and contaminate the leadframe surface. Of course, it is possible to add a deflash process after the detapping process, but ultimately no additional cleaning process is recommended efficiently and economically. After detaping, there should be no specific reaction between the adhesive and the sealing resin and no adhesive remains on the surface such that the sealing resin surface condition is implemented as intended as the sealing resin was originally designed. In addition, there should be no adhesive residue on the surface of the lead frame.

상기 테이핑 공정에서는 라미네이터를 사용하여 점착테이프를 구리 혹은 PPF(Pre-Plated Frame) 리드프레임에 점착시키는데, 라미네이터의 종류 및 방식에 따라 요구되는 점착테이프의 특성이 달라지게 된다. 롤러(roller)를 사용하는 경우, 핫프레스(hot press)를 사용하는 경우, 두 경우의 혼합형, 그리고 리드프레임의 Dam bar 부분만을 프레스하는 경우 등으로 나뉘어진다. 각 방식에 따라 점착제 층은 리드프레임에 밀착이 잘되어 있어야 하고 점착테이프가 라미네이션된 리드프레임의 취급 과정에서도 디라미네이션(delamination)이 없을 정도의 점착력을 유지하고 있어야 한다.In the taping process, the adhesive tape is adhered to the copper or PPF lead frame using a laminator, and the required characteristics of the adhesive tape vary depending on the type and method of the laminator. In the case of using a roller, a hot press, a mixed type of two cases, and pressing only the dam bar portion of the lead frame are divided. According to each method, the pressure-sensitive adhesive layer should be well adhered to the lead frame and maintain the adhesive force without delamination even during the handling of the lead frame laminated with the adhesive tape.

본 발명에서는 위와 같은 테이프의 요구 특성을 만족시키면서 라이네이션의 방식 중에서도 핫프레스를 사용하여 라미네이션을 하는 라미네이터에 적합한 점착제 층의 개발에 세부 목적이 있다. 이 경우, 점착제 층이 상온에서 라미네이터 구성 요소의 일반적인 재질인 스테인레스 스틸(STS) 종류의 재질에 대하여 점착력이 전혀 없고 일정한 열과 압력이 가해졌을 시에만 점착력이 구현되어 리드프레임에 접착되어야 하는 것이다.In the present invention, while satisfying the requirements of the above-described tape, there is a detailed object in the development of a pressure-sensitive adhesive layer suitable for laminators using a hot press of the lamination method. In this case, the pressure-sensitive adhesive layer has no adhesive force to the material of the stainless steel (STS) type, which is a general material of the laminator component at room temperature, and only when a certain heat and pressure is applied, the adhesive force should be adhered to the lead frame.

디테이핑 공정에서는, 테이프가 제거된 후에 밀봉수지 표면이나 리드프레임의 면에 점착제의 잔사가 남아있지 않아야 한다.In the detapping process, no residue of the adhesive remains on the surface of the sealing resin or on the face of the lead frame after the tape is removed.

종래의 페녹시 수지를 사용한 점착제의 경우에는 밀봉 수지 봉지 공정 이후에 페녹시와 밀봉 수지 간에 친화력으로 인하여 두 계면 사이의 접착력이 상당히 증가하게 된다. 결국 상온에서의 디테이핑 공정 동안 점착제와 밀봉 수지간의 높은 접착력으로 인하여 테이프가 찢어지거나 밀봉수지 표면에 점착제의 잔사 문제가 발생하게 된다. 디테이핑 공정에서 밀봉수지 표면이나 리드프레임의 면에 점착제의 잔사 문제를 해결하고 보다 쉽게 테이프를 제거하기 위하여 가열이 가능한 자동화된 기계를 사용하는 경우들이 있다. 기계를 사용하는 경우는, 밀봉 수지 봉지 공정을 거친 테이프가 접착되어 있는 리드프레임을 오븐이나 핫플레이트(hot plate)를 통과하면서 테이프가 제거될 수 있는 적절한 온도로 가열된 상태에서 점착제 층이 어느 정도 유동성을 부여한 후에 테이프를 제거하는 것이다. 하지만 이러한 추가적인 가열 디테이핑 공정은 작업의 효율성 및 경제성을 떨어뜨리게 되는 문제점이 있다. In the case of a pressure-sensitive adhesive using a conventional phenoxy resin, the adhesion between the two interfaces is significantly increased due to the affinity between the phenoxy and the sealing resin after the sealing resin encapsulation process. As a result, during the detapping process at room temperature, a high adhesive force between the adhesive and the sealing resin causes tearing of the tape or a problem of the residue of the adhesive on the sealing resin surface. In the detapping process, there are cases where automated heating machines are used to solve the problem of adhesive residue on the sealing resin surface or the surface of the lead frame and to remove the tape more easily. In the case of using a machine, the adhesive layer is heated to an appropriate temperature in which the lead frame to which the tape, which has been subjected to the sealing resin encapsulation, is heated, is passed through an oven or a hot plate to an appropriate temperature at which the tape can be removed. The tape is removed after giving fluidity. However, this additional heating detapping process has a problem that the operation efficiency and economics are reduced.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 전자부품 제조용 점착테이프를 밀봉 수지 봉지 공정 이후에 추가적인 가열 공정이 없이 상온에서 디테이핑이 가능한 전자부품 제조용 점착테이프를 제공하고자 하는 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a pressure-sensitive adhesive tape for electronic component manufacturing can be taped at room temperature without an additional heating process after sealing the sealing tape for electronic component manufacturing process. I would like to.

또한, 본 발명의 다른 목적은 라미네이션 공정 조건의 요구 특성을 모두 만족시킬 수 있고 기존의 전자부품 제조 공정에 사용되어 온 점착테이프들의 점착제 잔사 및 밀봉 수지 누출의 한계를 개선할 수 있는 전자부품 제조용 점착테이프를 제공하고자 하는 것이다.In addition, another object of the present invention is to satisfy the required characteristics of the lamination process conditions and to improve the limits of the adhesive residue and sealing resin leakage of the adhesive tapes that have been used in the existing electronic component manufacturing process adhesive for electronic component manufacturing To provide a tape.

본 발명의 상기 및 다른 목적과 이점은 바람직한 실시예를 설명한 하기의 설명으로부터 보다 분명해 질 것이다.These and other objects and advantages of the present invention will become more apparent from the following description of a preferred embodiment thereof.

상기 목적은, 내열 기재와, 상기 내열 기재 상에 점착제 조성물이 도포된 점착제 층을 포함하는 전자부품 제조용 점착테이프로서, 상기 점착제 조성물은 페녹시 수지, 아크릴 수지, 열경화제, 에너지선 경화형 아크릴 수지 및 광개시제를 포함하고, 상기 점착제 층은 열경화 및 에너지선에 의해 경화된 것을 특징으로 하는 전자부품 제조용 점착테이프에 의해 달성된다.The object is an adhesive tape for producing an electronic component comprising a heat-resistant base material and a pressure-sensitive adhesive layer coated with a pressure-sensitive adhesive composition on the heat-resistant base material, wherein the pressure-sensitive adhesive composition is a phenoxy resin, an acrylic resin, a thermosetting agent, an energy ray-curable acrylic resin, and It includes a photoinitiator, wherein the pressure-sensitive adhesive layer is achieved by a pressure-sensitive adhesive tape for producing electronic components, characterized in that cured by heat curing and energy rays.

여기서, 상기 내열 기재는 두께가 5 ~ 100㎛이고, 유리전이 온도가 110 ~ 450℃이며, 100 ~ 200℃에서 기재의 열팽창계수가 1 ~ 35 ppm/℃이고, 상온 탄성률이 1 ~ 10GPa인 것을 특징으로 한다.Herein, the heat resistant substrate has a thickness of 5 to 100 μm, a glass transition temperature of 110 to 450 ° C., a thermal expansion coefficient of 1 to 35 ppm / ° C. at 100 to 200 ° C., and a room temperature elastic modulus of 1 to 10 GPa. It features.

바람직하게는, 상기 페녹시 수지는 페녹시 수지 또는 변성 페녹시 수지이고, 중량평균 분자량이 1,000 ~ 500,000인 것을 특징으로 한다.Preferably, the phenoxy resin is a phenoxy resin or modified phenoxy resin, the weight average molecular weight is characterized in that 1,000 to 500,000.

바람직하게는, 상기 점착제 조성물의 유리전이온도는 80 ~ 150℃인 것을 특징으로 한다.Preferably, the glass transition temperature of the pressure-sensitive adhesive composition is characterized in that 80 ~ 150 ℃.

바람직하게는, 상기 에너지선 경화형 아크릴 수지는 적어도 하나 이상의 탄소 이중결합을 분자 내에 가지고 있는 수지인 것을 특징으로 한다.Preferably, the energy ray-curable acrylic resin is characterized in that the resin having at least one carbon double bond in the molecule.

바람직하게는, 상기 점착제 조성물은 상기 페녹시 수지 100 중량부 대비 아크릴 수지 0.1 ~ 10 중량부, 열경화제 5 ~ 20 중량부 및 상기 에너지선 경화형 아크릴 수지 5 ~ 30 중량부를 포함하고, 상기 광개시제는 상기 에너지선 경화형 아크릴 수지 100 중량부 대비 0.5 ~ 10 중량부를 포함하는 것을 특징으로 한다.Preferably, the pressure-sensitive adhesive composition comprises 0.1 to 10 parts by weight of an acrylic resin, 5 to 20 parts by weight of a thermosetting agent and 5 to 30 parts by weight of the energy ray-curable acrylic resin, relative to 100 parts by weight of the phenoxy resin, wherein the photoinitiator is Characterized in that it comprises 0.5 to 10 parts by weight relative to 100 parts by weight of the energy ray-curable acrylic resin.

본 발명에 따르면, 전자부품 제조용 점착테이프를 봉지된 리드프레임으로부터 제거하는 디테이핑 공정에서 가열 공정 없이 상온에서 점착 테이프를 쉽게 제거할 수 있는 등의 효과를 가진다. 또한 본 발명은 점착제 층이 상온에서 점착력을 가지지 않으나 가열 라미네이션 공정 중에만 점착력이 발현되어 리드프레임에 라미네이션을 가능하게 할 수 있고 점착제 층의 추가적인 광경화로 인한 부분적 상호침투망상구조를 형성하여 반도체 장치의 제조 공정 중에 점착 테이프가 노출되는 열이력에 대하여 향상된 내열성을 가지며 반도체 장치의 제조 중의 장치의 신뢰성 향상에 도움이 되고 봉지재료의 누출을 방지하며 공정 완료 후 테이프가 제거될 시에 리드프레임이나 봉지재료에 점착제의 전사를 방지할 수 있는 등의 효과를 가진다.According to the present invention, it is possible to easily remove the adhesive tape at room temperature without a heating step in the detapping process of removing the adhesive tape for manufacturing the electronic component from the sealed lead frame. In addition, the present invention does not have a pressure-sensitive adhesive layer at room temperature, but the adhesive force is expressed only during the heating lamination process to enable lamination on the lead frame and form a partial interpenetrating network structure due to additional photocuring of the pressure-sensitive adhesive layer of the semiconductor device. It has improved heat resistance against the thermal history of the adhesive tape exposed during the manufacturing process, helps to improve the reliability of the device during the manufacture of semiconductor devices, prevents leakage of the sealing material, and leads the frame or the sealing material when the tape is removed after the process is completed. It can have the effect of being able to prevent transfer of an adhesive.

이하, 본 발명의 실시예를 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다. 이들 실시예는 오로지 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위해 예시적으로 제시한 것일 뿐, 본 발명의 범위가 이들 실시예에 의해 제한되지 않는다는 것은 당업계에서 통상의 지식을 가지는 자에 있어서 자명할 것이다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to examples of the present invention. These examples are only presented by way of example only to more specifically describe the present invention, it will be apparent to those skilled in the art that the scope of the present invention is not limited by these examples. .

본 발명에 따른 전자부품 제조용 점착테이프는 반도체 장치 제조 공정에 필요하고 그에 따른 요구 특성을 만족시키는 마스킹(masking)용 점착테이프에 관한 것으로서, 리드프레임과 같은 금속류에 우수한 접착력을 가지고 내열성도 탁월한 열가소성의 페녹시 수지를 주재로 사용한다. 리드프레임에 대한 우수한 밀착성 및 접착성으로 밀봉 수지의 블리드-아웃(bleed-out)이나 플래쉬(flash)가 없고 경화도를 조절함으로써 리드프레임에 점착력이 발현되는 온도도 조절 가능하다. 또한, 첨가된 광경화 수지들의 에너지선 조사에 의한 추가적인 가교 구조 형성으로 향상된 응집력으로 디테이핑 후에 점착제의 리드프레임이나 밀봉 수지 표면에 남는 점착제 잔류 문제를 해결한다.The adhesive tape for manufacturing an electronic component according to the present invention relates to a masking adhesive tape which is required for a semiconductor device manufacturing process and satisfies the required characteristics thereof. The adhesive tape has excellent adhesion to metals such as lead frames and has excellent heat resistance. Phenoxy resin is used as a main material. With excellent adhesion and adhesion to the leadframe, there is no bleed-out or flash of the sealing resin and the degree of curing can be controlled by controlling the degree of curing, thereby controlling the temperature at which the adhesive force is expressed on the leadframe. In addition, the formation of an additional crosslinked structure by energy ray irradiation of the added photocurable resins solves the problem of remaining adhesive on the lead frame or sealing resin surface of the adhesive after detapping with improved cohesive force.

또한 본 발명에서 상기 전자부품 제조용 점착테이프는 반도체 패키징 공정을 예를 들어 기술하지만, 이에 한정되는 것은 아니고, 각종 전자부품의 고온 제조공정상에 마스크 시트로도 적용할 수 있음은 물론이다.In addition, in the present invention, the adhesive tape for manufacturing the electronic component is described using a semiconductor packaging process, for example, but is not limited thereto. Of course, the adhesive tape may also be applied as a mask sheet on a high temperature manufacturing process of various electronic components.

본 발명에 따른 전자부품 제조용 점착테이프는 내열 기재와, 상기 내열 기재 상에 점착제 조성물이 도포된 점착제 층을 포함하는 전자부품 제조용 점착테이프로서, 상기 점착제 조성물은 페녹시 수지, 아크릴 수지, 열경화제, 에너지선 경화형 아크릴 수지 및 광개시제를 포함하고, 상기 점착제 층은 열경화 및 에너지선에 의해 경화된 것을 특징으로 한다. The adhesive tape for manufacturing an electronic component according to the present invention is an adhesive tape for manufacturing an electronic component including a heat resistant substrate and an adhesive layer on which the adhesive composition is applied, wherein the adhesive composition includes a phenoxy resin, an acrylic resin, a thermosetting agent, It includes an energy ray-curable acrylic resin and a photoinitiator, wherein the pressure-sensitive adhesive layer is cured by thermosetting and energy rays.

본 발명에 따른 전자부품 제조용 점착테이프에서 점착제 조성물이 도포되어 점착제 층을 형성하는 기재는 내열성이 우수한 고분자 필름이 사용 가능하다. 이러한 내열 기재의 경우 필름 형태로 가공이 가능하고 충분한 내열성으로 상기 기술된 온도 범위 및 시간 동안 물리-화학적 변화가 없어야 된다. 또한 이러한 내열기재는 5% 중량감소가 되는 온도가 적어도 300℃ 이상인 것이 바람직하고 100 ~ 200℃에서의 열팽창계수가 1 ~ 35 ppm/℃ 정도인 것이 바람직하다. 유리전이온도 또한 110 ~ 450℃인 필름이 바람직하다. 안정되고 우수한 고온 내열성은 고온 라미네이션시에 기재의 평탄도를 유지하여 균일하게 라미네이션이 가능하게 하고 높은 와이어 본딩성을 보장할 수 있다. 고온에서도 유지되는 필름의 치수 안정성은 수지 봉지 공정 동안에도 몰딩틀에서 변형이 없어서 수지의 누출을 억제할 수 있다. 추가적으로 탄성률은 상온에서 1 ~ 10GPa이고, 100 ~ 300℃ 범위 내에서도 100 ~ 5000MPa을 유지하는 것이 바람직하다. 탄성률이 너무 낮거나 접힘 현상이 심한 기재 필름들을 사용한 경우, 테이프의 취급 과정, 테이프를 라미네이션 장비에 로딩(loading)하는 과정, 테이프가 장비에 피딩(feeding)되는 과정에서 발생될 수 있는 주름이 남아 있게 되어 추후에 라미네이션 불량(부분 delamination)을 야기하고 불균일한 와이어 본딩성 및 수지 블리드-아웃을 일으킬 수 있다. 이런 요구 특성들을 만족하는 기재로는 내열성 고분자 필름이 적용 가능하고, 내열 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리페닐렌설파이드, 폴리이미드, 폴리에스테르, 폴리아마이드, 폴리에테르이미드 등으로 가공된 필름들을 예로 들 수 있다.In the adhesive tape for manufacturing an electronic component according to the present invention, a polymer film having excellent heat resistance may be used as the base material to which the pressure-sensitive adhesive composition is applied to form the pressure-sensitive adhesive layer. Such heat resistant substrates are capable of processing in the form of films and should be free of physical-chemical changes during the temperature ranges and times described above with sufficient heat resistance. In addition, it is preferable that the temperature at which the heat-resistant base material is reduced by 5% is at least 300 ° C or higher, and the thermal expansion coefficient at 100 to 200 ° C is about 1 to 35 ppm / ° C. It is preferable that the film has a glass transition temperature of 110 to 450 ° C. Stable and excellent high temperature heat resistance can maintain the flatness of the substrate during high temperature lamination to enable uniform lamination and ensure high wire bonding. The dimensional stability of the film maintained even at high temperatures can suppress the leakage of the resin because there is no deformation in the molding mold even during the resin encapsulation process. In addition, the elastic modulus is 1 ~ 10GPa at room temperature, it is preferable to maintain 100 ~ 5000MPa within the range of 100 ~ 300 ℃. In case of using substrate films with too low elastic modulus or severe folding, wrinkles may occur during handling of the tape, loading the tape into lamination equipment, and feeding the tape into the equipment. This can cause lamination failure (partial delamination) later and cause uneven wire bonding and resin bleed-out. Examples of the substrate that satisfies these characteristics include heat resistant polymer films, and examples include films processed with heat resistant polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyphenylene sulfide, polyimide, polyester, polyamide, polyetherimide, and the like. Can be mentioned.

또한, 상기 기재 필름의 두께는 특별한 제한이 없고 라미네이션 장비 및 수지 봉지 장비의 적용 한계에 의하여 결정된다. 일반적으로 5 ~ 100㎛가 바람직하나, 외력에 의한 주름 현상을 억제하고 적절한 내열성을 유지하고 취급에 용이하기 위해서는 10 ~ 40㎛가 더 바람직하다. 필요에 따라 점착제와 기재 필름과의 접착력을 향상시키기 위하여 샌드매트 처리, 코로나 처리, 플라즈마 처리 및 프라이머 처리도 가능하다.In addition, the thickness of the base film is not particularly limited and is determined by the application limits of lamination equipment and resin encapsulation equipment. Generally, 5 to 100 µm is preferable, but 10 to 40 µm is more preferable in order to suppress wrinkles caused by external force, maintain proper heat resistance, and facilitate handling. If necessary, a sand mat treatment, a corona treatment, a plasma treatment, and a primer treatment are also possible in order to improve the adhesion between the pressure-sensitive adhesive and the base film.

또한, 본 발명에 따른 전자부품 제조용 점착테이프의 점착제 층은 내열성이 우수하고 점착력이 뛰어난 열가소성 페녹시 수지를 주재로 하고 페녹시 수지용 열경화제와 페녹시 수지의 과다 경화 수축을 조절하면서 내열성을 보존하기 위한 광경화수지(에너지선 경화형 아크릴 수지) 및 이를 위한 광개시제를 포함한다. 또한, 페녹시 수지와 봉지 수지와의 급격한 접착력 상승을 방지하기 위하여 아크릴 수지를 포함한다.In addition, the pressure-sensitive adhesive layer of the pressure-sensitive adhesive tape for manufacturing electronic components according to the present invention is based on a thermoplastic phenoxy resin having excellent heat resistance and excellent adhesive force, and preserving heat resistance while controlling excessive curing shrinkage of the phenoxy resin thermosetting agent and phenoxy resin. It includes a photocurable resin (energy ray curable acrylic resin) and a photoinitiator therefor. In addition, an acrylic resin is included to prevent a sudden increase in adhesion between the phenoxy resin and the encapsulating resin.

상기 주재로서의 열가소성 수지인 페녹시 수지의 종류로는 비스페놀 A형 페녹시, 비스페놀 A형/비스페놀 F형 페녹시, 브롬계 페녹시, 인계 페녹시, 비스페놀 A형/비스페놀 S형 페녹시 및 카프로락톤 변성 페녹시 등을 예로 들 수 있지만, 그 중에서도, 특히 비스페놀 A형 페녹시 수지가 내열성, 친환경성, 경화제 상용성, 경화 속도 측면에서 우수함으로 더 바람직하다. 또한 상기 페녹시 수지의 중량평균분자량은 1,000 ~ 500,000인 것이 바람직하고, 이 경우 내부 응집력의 증가로 인한 내열성 향상으로 디테이핑시 점착제 잔사 문제를 최소화 할 수 있다. 분자량이 1,000미만인 경우 내부 응집력이 떨어져서 요구되는 내열 특성이 구현되지 않고, 분자량이 500,000을 초과할 경우 고점도에서 오는 작업성의 저하나 코팅 후에도 코팅 면상이 고르게 나오기가 힘든 문제점이 있을 수 있고 다른 원료들과의 혼합성이 조절되기 어렵다.Examples of the phenoxy resins, which are thermoplastic resins, are bisphenol A phenoxy, bisphenol A / bisphenol F phenoxy, bromine phenoxy, phosphorus phenoxy, bisphenol A / bisphenol S-type phenoxy and caprolactone. Although modified phenoxy etc. can be mentioned, Especially, bisphenol-A phenoxy resin is especially preferable because it is excellent in heat resistance, environmentally friendly property, hardener compatibility, and cure rate. In addition, the weight average molecular weight of the phenoxy resin is preferably in the range of 1,000 to 500,000, and in this case, the problem of pressure-sensitive adhesive residue during detaping may be minimized by improving heat resistance due to an increase in internal cohesion. If the molecular weight is less than 1,000, the internal cohesion force is not realized, the heat resistance required is not realized, and if the molecular weight is more than 500,000, there may be a problem of poor workability resulting from high viscosity or uneven coating surface even after coating. The miscibility of is difficult to control.

또한, 상기 페녹시 수지를 용해할 수 있는 유기 용매 종류에는 케톤계, 알코올계, 글라이콜 에테르계, 에스테르계가 있다. 그 중에서 몇 가지 예로는 사이클로헥사논, 메틸에틸케톤, 벤질알코올, 다이에틸렌글라이콜알킬에테르, 페녹시프로판올, 프로필렌글라이콜 메틸에테르아세테이트, 테트라하이드로퓨란, N-메틸피롤리돈 등을 단독으로 혹은 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. 유기 용매를 사용할 경우에는, 유기 용매 100 중량부에 대해 페녹시 수지를 5 ~ 40 중량부가 적당하고 20 ~ 35중량부가 더 바람직하다. 필요에 따라서 코팅 불량 및 기재 필름과의 접착력을 높이기 위해 톨루엔, 자일렌, 아로마틱 100, 헥산과 같은 방향족 탄화수소류 용매를 희석제로 첨가할 수 있다. 희석제의 양은 용매 대비하여 40%를 넘지 않도록 한다. In addition, examples of the organic solvent that can dissolve the phenoxy resin include ketones, alcohols, glycol ethers, and esters. Some examples thereof include cyclohexanone, methyl ethyl ketone, benzyl alcohol, diethylene glycol alkyl ether, phenoxypropanol, propylene glycol methyl ether acetate, tetrahydrofuran, N-methylpyrrolidone, and the like. Or two or more kinds thereof may be mixed. When using an organic solvent, 5-40 weight part of phenoxy resin is suitable with respect to 100 weight part of organic solvents, and 20-35 weight part is more preferable. If necessary, aromatic hydrocarbon solvents such as toluene, xylene, aromatic 100, and hexane may be added as a diluent in order to improve coating defect and adhesion to the base film. The amount of diluent should not exceed 40% relative to the solvent.

또한 상기 페녹시 수지는 적당한 가교제를 첨가하여서도 사용이 가능한데, 가교제 혹은 경화제로는 수산기를 기능기로 가지고 있는 수지를 경화시킬 수 있는 것이면 모두 가능하다. 멜라민, 우레아-포름알데히드, 이소시아네이트 관능성예비중합체, 페놀경화제, 아미노계 경화제 등을 들 수 있다. 상기 열경화제 양은 페녹시 수지 100 중량부 대비 0.1 ~ 40 중량부가 바람직하고 5 ~ 20 중량부가 더욱 바람직하다. 경화제의 양이 너무 작아(< 5 중량부) 충분하지 못한 가교 구조가 형성될 경우에는 점착제 층이 물러져서(상대적인 유리전이온도의 감소 및 손실 탄성률 증가) 라미네이션시에 리드프레임이 점착제 층으로 너무 깊숙이 파고 들어가고 리드프레임에 의해서 밀린 점착제가 리드프레임의 다이패드나 랜드부 주위로 올라옴으로써 수지 밀봉 공정시에 밀봉 수지와 리드프레임 사이에 끼어서 디테이핑시에 점착제 잔사를 일으킬 수 있다. 또한 경화제 양이 너무 많을 경우(> 20 중량부)에는 점착제 층의 점착력과 젖음성이 너무 떨어져서 디라미네이션(delamination) 문제를 일으킬 수 있으며, 지나치게 증가된 강도로 인하여 라미네이션 과정에서 점착제 층이 부스러지는 문제를 야기시킬 수 있고, 추가적으로 기재 필름에 점착제 도포 후 건조 및 경화 과정 동안 지나친 경화 수축으로 테이프가 휘어버리는 문제를 발생시켜서 라미네이션 작업성이 떨어질 수 있기 때문이다.The phenoxy resin can be used even with the addition of a suitable crosslinking agent, but any crosslinking agent or curing agent can be used as long as the resin having a hydroxyl group as a functional group can be cured. Melamine, urea-formaldehyde, isocyanate functional prepolymers, phenol curing agents, amino curing agents and the like. The amount of the thermosetting agent is preferably 0.1 to 40 parts by weight and more preferably 5 to 20 parts by weight relative to 100 parts by weight of the phenoxy resin. If the amount of curing agent is too small (<5 parts by weight) and an insufficient crosslinked structure is formed, the adhesive layer will recede (reduce relative glass transition temperature and increase loss modulus) so that the leadframe becomes too deep into the adhesive layer during lamination. The pressure-sensitive adhesive, which is dug and pushed by the lead frame, rises around the die pad or land portion of the lead frame, and can be sandwiched between the sealing resin and the lead frame during the resin sealing process to cause an adhesive residue during detaping. In addition, when the amount of the curing agent is too large (> 20 parts by weight), the adhesive force and wettability of the adhesive layer may be so low that it may cause a delamination problem, and the adhesive layer may be broken during lamination due to the excessively increased strength. This may cause the tape to bend due to excessive curing shrinkage during the drying and curing process after the adhesive is applied to the base film, and lamination workability may be deteriorated.

또한, 상기 페녹시 수지의 가교 구조에 추가적인 가교 구조를 형성할 에너지선 경화형 아크릴 화합물(수지)은 탄소-탄소 이중 결합을 가진 아크릴 고분자, 아크릴 올리고머, 아크릴 모노머 등이 가능하고, 적어도 하나 이상의 불포화 결합을 가지고 있다. 이 아크릴기는 자유 라디칼 반응을 통해서 가교 구조를 형성하는 관능기로 작용하는데, 그 수에 따라 반응성, 가교 구조, 및 경화도의 조절이 가능하다. 관능기의 수가 늘어날수록 반응(가교) 속도가 증가하고, 유리전이 온도가 증가하고, 내열성이 증가하나 점착제 층의 유연성과 점착력이 감소하는 단점이 있다. 적절한 관능기 수를 가진 아크릴 수지를 선택함에 있어서도, 페녹시 수지를 경화시키는 열경화제의 선택과 마찬가지로, 점착력과 경직성 사이의 균형을 맞추는 것을 사용하여야 한다. 이러한 에너지선 경화에 사용되는 아크릴 화합물의 예로는, 에폭시 아크릴레이트, 아로마틱 우레탄아크릴레이트, 알리파틱 우레탄아크릴레이트, 폴리에테르아크릴레이트, 폴리에스테르아크릴레이트, 아크릴아크릴레이트 등이 있으며 단독 혹은 2종 이상의 서로 다른 올리고머의 조합으로도 사용이 가능하다. 또한 각 종류의 올리고머 중에서도 관능기의 수에 따라서도 선택이 가능하며, 2 ~ 9 정도의 관능기를 가진 올리고머 사용이 가능하다. 높은 경화 밀도를 통한 점착제 층의 응집력, 강도, 유리전이온도의 증가로 우수한 와이어 본딩성 및 디테이핑시에 점착제 층이 밀봉 수지 표면과 리드프레임에 잔사되는 것을 억제하기 위해서는 6 ~ 9 정도의 관능기를 가진 올리고머가 바람직하다. 이러한 에너지선 경화형 아크릴 화합물의 함량은 페녹시 수지 100 중량부 대비 1 ~ 40 중량부를 첨가하고, 바람직하게는 5 ~ 30 중량부의 비율로 사용된다.In addition, the energy ray-curable acrylic compound (resin) to form an additional crosslinked structure in the crosslinked structure of the phenoxy resin may be an acrylic polymer having a carbon-carbon double bond, an acrylic oligomer, an acrylic monomer, and the like, and at least one unsaturated bond. Have This acryl group acts as a functional group for forming a crosslinked structure through a free radical reaction, and according to the number thereof, reactivity, crosslinked structure, and degree of curing can be controlled. As the number of functional groups increases, the reaction (crosslinking) rate increases, the glass transition temperature increases, and the heat resistance increases, but the flexibility and adhesive strength of the adhesive layer decrease. In selecting an acrylic resin having an appropriate number of functional groups, as with the selection of a thermosetting agent to cure a phenoxy resin, one must use a balance between cohesion and rigidity. Examples of the acrylic compound used for such energy ray curing include epoxy acrylate, aromatic urethane acrylate, aliphatic urethane acrylate, polyether acrylate, polyester acrylate, acryl acrylate, etc., alone or two or more of each other. It can also be used in combination with other oligomers. In addition, among the oligomers of each kind can be selected according to the number of functional groups, it is possible to use an oligomer having a functional group of about 2 to 9. In order to prevent the adhesive layer from remaining on the sealing resin surface and the lead frame during detapping due to the increase in cohesion, strength, and glass transition temperature of the adhesive layer through high curing density, functional groups of about 6 to 9 may be used. Preferred oligomers are. The content of the energy ray-curable acrylic compound is added 1 to 40 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the phenoxy resin, preferably used in a proportion of 5 to 30 parts by weight.

또한, 상기 에너지선 경화형 아크릴 화합물의 에너지선에 의한 경화를 개시하는데 사용되는 광개시제에는 벤조 페논계, 치오산톤계, 알파 하이드록시 케톤계, 알파 아미노 케톤계, 페닐 글리옥실레이트계, 알아크릴 포스파인계 등이 있다. 광개시제는 단독으로 사용 가능하기도 하나 점착제 층의 두께나 에너지선의 세기 등에 따라 고른 가교 구조의 형성을 위하여 광개시제의 효율 및 특성에 따라 2종 이상을 혼합하여 사용하기도 한다. 이러한 광개시제의 함량은 상기 에너지선 경화형 아크릴 수지의 100 중량부에 대해서 0.5 ~ 10 중량부, 바람직하게는 1 ~ 5 중량부의 비율로 사용된다.In addition, photoinitiators used to initiate curing by the energy ray of the energy ray-curable acrylic compound include benzophenone series, thioxanthone series, alpha hydroxy ketone series, alpha amino ketone series, phenylglyoxylate series and alacryl phospha. Take over. The photoinitiator may be used alone or in combination of two or more kinds depending on the efficiency and properties of the photoinitiator in order to form a uniform crosslinked structure according to the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer or the intensity of energy rays. The photoinitiator is used in an amount of 0.5 to 10 parts by weight, preferably 1 to 5 parts by weight, based on 100 parts by weight of the energy ray-curable acrylic resin.

마지막으로, 상기 아크릴 수지로는 수산기, 카르복시기 또는 에폭시기를 함유할 수 있다. 아크릴 수지는 아크릴로니트릴, 부틸아크릴레이트, 부틸 메타아크릴레이트, 2-에틸헥실아크릴레이트, 아크릴산, 2-히드록시에틸(메타)크릴레이트, 메틸(메타)아크릴레이트, 스타이렌 모노머, 글리시딜(메타)아크릴레이트, 이소옥틸아크릴레이트, 스테아릴메타크릴레이트 등의 모노머 들의 단독 혹은 2종 이상의 공중합을 통하여 얻어 질 수 있다. 또한 상기의 아크릴 수지의 중량 평균 분자량은 100,000 ~ 3,000,000인 것이 바람직하다. 이러한 아크릴 수지의 함량은 상기 페녹시 수지의 100 중량부에 대해서 0.1 ~ 10 중량부, 바람직하게는 0.5 ~ 5 중량부의 비율로 사용된다. 이때 아크릴 수지의 함량을 상기 페녹시 수지의 100 중량부에 대해서 0.1 중량부 미만 사용할 경우에는 상온에서의 디테이핑 공정 동안에 밀봉 수지와의 높은 접착력으로 인하여 테이프가 찢어지는 문제가 발생할 수 있으며, 10 중량부를 초과할 경우에는 점착제와 밀봉 수지와의 접착력 외에도 리드프레임과의 접착력이 저하되는 문제가 발생하여 봉지 수지 밀봉 공정 동안 블리드-아웃이나 플래쉬의 문제가 발생할 수 있다.Finally, the acrylic resin may contain a hydroxyl group, a carboxyl group or an epoxy group. Acrylic resins are acrylonitrile, butyl acrylate, butyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, acrylic acid, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, methyl (meth) acrylate, styrene monomer, glycidyl It can be obtained through single or two or more types of copolymerization of monomers such as (meth) acrylate, isooctyl acrylate and stearyl methacrylate. Moreover, it is preferable that the weight average molecular weights of said acrylic resin are 100,000-3,000,000. The content of the acrylic resin is used in a ratio of 0.1 to 10 parts by weight, preferably 0.5 to 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the phenoxy resin. In this case, when the content of the acrylic resin is less than 0.1 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the phenoxy resin, the tape may be torn due to high adhesive strength with the sealing resin during the detapping process at room temperature, 10 weight In the case of excess portion, the adhesive force between the pressure-sensitive adhesive and the sealing resin may be deteriorated, thereby causing a problem of bleed-out or flash during the sealing resin sealing process.

또한, 본 발명에 따른 전자부품 제조용 점착테이프의 상기 점착제 조성물의 유리전이온도는 80 ~ 150 ℃인 것이 바람직하고, 또한 상기 점착제 층의 스테인레스 스틸 재질에 대한 상온 점착력이 0 ~ 1 gf/50mm인 것이 바람직하다. 유리전이온도가 80 ℃ 미만인 경우에는 QFN 공정 동안의 열이력에 의해서 고온에서의 점착제의 물성 변화가 너무 심해지고, 150℃를 초과할 경우에는 테이프의 라미네이션 온도가 170 ℃ 이상이 되면서 라미네이션 후에 휨(warpage) 현상이 심해진다. 이는 리드프레임의 열팽창이 심해 지면서 테이프와의 열팽창 정도의 차이가 커져 결국 휨 현상이 증가하는데서 기인한다.In addition, the glass transition temperature of the pressure-sensitive adhesive composition of the pressure-sensitive adhesive tape for producing electronic components according to the present invention is preferably 80 ~ 150 ℃, and the normal temperature adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive layer to the stainless steel material of 0 ~ 1 gf / 50mm desirable. If the glass transition temperature is lower than 80 ° C, the change of physical properties of the pressure-sensitive adhesive at the high temperature becomes too severe due to the thermal history during the QFN process, and if the lamination temperature is higher than 150 ° C, the lamination temperature of the tape becomes 170 ° C or higher, and the warpage after lamination ( warpage) This is because the thermal expansion of the lead frame is severe, the difference in thermal expansion with the tape increases, and eventually the warpage phenomenon increases.

이하, 본 발명은 다음과 같은 형태로 실시가 가능하며, 본 실시예에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention can be implemented in the following forms, and the present invention is not limited by the embodiment.

[실시예][Example]

점착제의 주재로 페녹시 수지(국도화학, YP50) 100g을 메틸에틸케톤 300g에 용해하고, 여기에 아크릴 수지(삼원, AT5910) 1g, 이소시아네이트계 열경화제(다우코닝, CE138) 15g, 에너지선 경화형 화합물인 알리파틱 폴리우레탄 아크릴레이트(일본합성, UV7600B80) 20g 및 알아크릴 포스파인계 광개시제(CYTEC, DAROCUR TPO) 2g를 혼합하여 1시간 교반하였다. 교반이 끝난 점착제 조성물을 25㎛ 두께의 폴리이미드 필름(LN, 코오롱)에 도포하고 150℃ 건조기에서 약 3분간 건조하였다. 이의 두께는 약 6㎛로 확인되었다. 건조기를 통과한 건조된 테이프는 자외선을 조사하여 추가적인 가교 구조를 형성하기 위한 에너지선 경화 단계를 거쳐 최종적인 전자부품 제조용 점착테이프를 제조하였다.100 g of phenoxy resin (Kukdo Chemical, YP50) is dissolved in 300 g of methyl ethyl ketone, and 1 g of acrylic resin (Samwon, AT5910), 15 g of isocyanate-based thermosetting agent (Dow Corning, CE138), energy ray curable compound 20 g of phosphorus aliphatic polyurethane acrylate (Japan Synthetic, UV7600B80) and 2 g of acryl phosphine-based photoinitiator (CYTEC, DAROCUR TPO) were mixed and stirred for 1 hour. The stirred pressure-sensitive adhesive composition was applied to a 25 μm-thick polyimide film (LN, Kolon) and dried in a 150 ° C. dryer for about 3 minutes. Its thickness was found to be about 6 mu m. The dried tape passed through the dryer was subjected to an energy ray curing step for irradiating ultraviolet rays to form an additional crosslinked structure, thereby producing a final adhesive tape for electronic component manufacturing.

[비교예 1]Comparative Example 1

점착제의 주재로 페녹시 수지(국도화학, YP50) 100g을 메틸에틸케톤 300g에 용해하고, 여기에 이소시아네이트계 열경화제(다우코닝, CE138) 15g, 에너지선 경화형 화합물인 알리파틱 폴리우레탄 아크릴레이트(일본합성, UV7600B80) 20g 및 알아크릴 포스파인계 광개시제(CYTEC, DAROCUR TPO) 2g를 혼합하여 1시간 교반하였다. 교반이 끝난 점착제 조성물을 25㎛ 두께의 폴리이미드 필름(LN, 코오롱)에 도포하고 150℃ 건조기에서 약 3분간 건조하였다. 이의 두께는 약 6㎛로 확인되었다. 건조기를 통과한 건조된 테이프는 자외선을 조사하여 추가적인 가교 구조를 형성하기 위한 에너지선 경화 단계를 거쳐 최종적인 전자부품 제조용 점착테이프를 제조하였다.100 g of phenoxy resin (Kukdo Chemical, YP50) is dissolved in 300 g of methyl ethyl ketone, and 15 g of isocyanate-based thermosetting agent (Dow Corning, CE138), aliphatic polyurethane acrylate (Japan) Synthesis, UV7600B80) 20g and 2g of acryl phosphine-based photoinitiator (CYTEC, DAROCUR TPO) were mixed and stirred for 1 hour. The stirred pressure-sensitive adhesive composition was applied to a 25 μm-thick polyimide film (LN, Kolon) and dried in a 150 ° C. dryer for about 3 minutes. Its thickness was found to be about 6 mu m. The dried tape passed through the dryer was subjected to an energy ray curing step for irradiating ultraviolet rays to form an additional crosslinked structure, thereby producing a final adhesive tape for electronic component manufacturing.

[비교예 2]Comparative Example 2

점착제의 주재로 아크릴 수지(삼원, AT5910) 100g을 에틸아세테이트 320g에 용해하고 이소시아네이트계 열경화제(다우 코닝, CE138) 10g, 에너지선 경화형 화합물인 알리파틱 폴리우레탄아크릴레이트(일본합성, UV7600B80) 25g와 에폭시 아크릴레이트(CYTEC, EB600) 0.5g, 실리콘 아크릴레이트 0.1g, 알아크릴 포스파인계 광개시제(CYTEC, DAROCUR TPO) 1g를 혼합하여 1시간 교반하였다. 고온 라미네미션시의 점착력의 발현과 디테이핑시의 점착제 잔사를 막기 위해 에폭시와 실리콘계의 아크릴레이트를 각각 첨가하였다. 교반이 끝난 점착액을 25㎛ 두께의 폴리이미드 필름(LN, 코오롱)에 도포하고 150℃ 건조기에서 약 3분간 건조하였다. 두께는 약 6㎛로 확인되었다. 건조기를 통과한 건조된 테이프는 추가적인 가교 구조를 형성하기 위해서 질소 분위기에서 자외선이 조사되었고, 자외선의 광량은 약 300 mJ/㎠ 이었다.100g of acrylic resin (Samwon, AT5910) was dissolved in 320g of ethyl acetate as a main agent of the adhesive, 10g of isocyanate-based thermosetting agent (Dow Corning, CE138), 25g of aliphatic polyurethane acrylate (Japan Synthetic, UV7600B80), an energy ray-curable compound, 0.5 g of epoxy acrylate (CYTEC, EB600), 0.1 g of silicone acrylate, and 1 g of an acryl phosphine-based photoinitiator (CYTEC, DAROCUR TPO) were mixed and stirred for 1 hour. Epoxy and silicone acrylates were added to prevent the development of adhesive force at high temperature lamination and the adhesive residue during detapping. The stirred solution was applied to a polyimide film (LN, Kolon) having a thickness of 25 μm and dried in a 150 ° C. dryer for about 3 minutes. The thickness was found to be about 6 mu m. The dried tape passed through the dryer was irradiated with ultraviolet light in a nitrogen atmosphere to form an additional crosslinked structure, and the amount of ultraviolet light was about 300 mJ / cm 2.

상기 실시예와 비교예에서 제조된 전자부품 제조용 점착테이프를 각각 평가하여 다음 표 1에 나타내었다. The adhesive tapes for manufacturing the electronic parts manufactured in Examples and Comparative Examples were evaluated, respectively, and are shown in Table 1 below.

구분division 실시예Example 비교예 1Comparative Example 1 비교예 2Comparative Example 2 ST304판에 대한 상온 점착력Room Temperature Adhesion to ST304 Plate 없음none 없음none 거의 없음Almost none 라미네이션 조건Lamination Condition 핫프레스, 200℃, 2MPa, 20초Hot press, 200 ℃, 2MPa, 20s 디테이핑 후 점착제 층에 남은 리드프레임 자국Leadframe marks remaining on adhesive layer after detapping 뚜렷함Distinct 뚜렷함Distinct 점착제 층이 뭉게짐Tackiness of adhesive layer 밀봉 수지 누출Sealing resin leak 없음none 없음none 누출됨Leaked 상온에서 디테이핑Detapping at room temperature 가능possible 불가능impossible 가능possible

상기 표 1에서 확인할 수 있는 바와 같이, 페녹시 수지에 아크릴 수지를 포함한 실시예의 STS 304 재질에 대하여 상온 점착력이 측정이 불가할 정도로 없었으며, 디테이핑 후 점착제 층에 남은 리드프레임 자국도 뚜렷하게 관찰되었다. 또한 밀봉 수지 봉지 공정 이후 밀봉 수지의 누출이 없었으며, 상온에서 추가적인 열공정 없이 디테이핑이 가능하였다.As can be seen in Table 1, the room temperature adhesive strength of the STS 304 material of the embodiment including the acrylic resin in the phenoxy resin was not able to be measured, and the lead frame marks remaining on the pressure-sensitive adhesive layer after the tapering were also clearly observed. . In addition, there was no leakage of the sealing resin after the sealing resin encapsulation process, and detapping was possible at room temperature without additional thermal process.

반면, 페녹시 수지만을 적용한 비교예 1의 경우에는 모두 물성은 실시예와 비슷하였으나, 상온에서 디테이핑 시에 테이프를 제거하기가 어려웠다. 또한 아크릴 수지를 적용한 비교예 2의 경우에는 점착제와 STS 304 재질간의 미세한 점착력이 남아 있었다. 이는 아크릴 수지의 근본적인 점착 특성을 자외선 경화를 통해서 없애지는 못하는 것으로 추정할 수 있거나 또는 고분자(중량평균분자량이 ~ 800,000)의 아크릴 사슬에서 오는 점착제 층의 무름 혹은 유연성으로 반데르발스나 극성기에 의한 점착력이 아닌 점착제 층의 물리적 변형으로 인한 접착 표면의 증가에서 오는 미세한 점착력에 기인할 수 있을 것으로 보였다. 또한 비교예 2의 경우 이와 같은 낮은 점착력으로 밀봉 수지 봉지 공정에서 심각한 수지 누출 문제를 일으켰고 리드프레임 표면이 밀봉 수지로 오염이 된 것을 확인하였다. 디테이핑 후에 남아있는 리드프레임 패턴의 자국을 검사해보면 다이나 랜드부 자국 주위로 눌려서 점착제가 뭉게진 것을 확인할 수 있었는데 이것은 상대적으로 무른 비교예의 점착제 층이 밀봉 수지 공정 동안 고온 고압의 수지 흐름으로 인해 변형이 되면서 수지 누출을 용이하게 해주었을 가능성을 시사하였다.On the other hand, in the case of Comparative Example 1 to which only phenoxy resin was applied, physical properties were similar to those of Example, but it was difficult to remove the tape when detapping at room temperature. In addition, in the case of Comparative Example 2 to which the acrylic resin was applied, the fine adhesive force between the adhesive and the STS 304 material remained. It can be assumed that the inherent adhesion properties of acrylic resins cannot be eliminated through UV curing, or due to the softness or flexibility of the adhesive layer coming from the acrylic chain of the polymer (weight average molecular weight ~ 800,000), the adhesive force by van der Waals or polar group This may be due to the fine cohesion resulting from the increase of the adhesive surface due to the physical deformation of the pressure sensitive adhesive layer. In addition, in the case of Comparative Example 2, it was confirmed that such a low adhesive force caused a serious resin leakage problem in the sealing resin encapsulation process, and the lead frame surface was contaminated with the sealing resin. Examination of the traces of the leadframe pattern remaining after detapping confirmed that the adhesive was agglomerated by pressing around the dyna land marks, which caused the relatively soft adhesive layer to be deformed due to the flow of resin at high temperature and pressure during the sealing resin process. This suggests the possibility of facilitating resin leakage.

이상에서 본 발명은 상기의 실시예 및 비교예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정된 사항은 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
Although the present invention has been described in detail only with respect to the above embodiments and comparative examples, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and changes are possible within the scope of the present invention, and such modifications and modifications belong to the appended claims. It is natural.

Claims (6)

전자부품 제조용 점착테이프에 있어서,
내열 기재와, 상기 내열 기재 상에 점착제 조성물이 도포된 점착제 층을 포함하는 전자부품 제조용 점착테이프로서,
상기 점착제 조성물은 페녹시 수지, 아크릴 수지, 열경화제, 에너지선 경화형 아크릴 수지, 광개시제를 포함하고,
상기 점착제 층은 열경화 및 에너지선에 의해 경화되고,
상기 점착제 조성물은 상기 페녹시 수지 100 중량부 대비 아크릴 수지 0.1 ~ 10 중량부, 열경화제 5 ~ 20 중량부 및 상기 에너지선 경화형 아크릴 수지 5 ~ 30 중량부를 포함하고,
상기 광개시제는 상기 에너지선 경화형 아크릴 수지 100 중량부 대비 0.5 ~ 10 중량부를 포함하고,
상기 페녹시 수지는 유기 용매 100 중량부 대비 5~40 중량부가 용해되는 것을 특징으로 하는, 전자부품 제조용 점착테이프.
In the adhesive tape for electronic component manufacturing,
An adhesive tape for producing an electronic component comprising a heat-resistant base material and an adhesive layer on which the pressure-sensitive adhesive composition is applied.
The pressure-sensitive adhesive composition includes a phenoxy resin, an acrylic resin, a thermosetting agent, an energy ray curable acrylic resin, a photoinitiator,
The pressure-sensitive adhesive layer is cured by heat curing and energy rays,
The pressure-sensitive adhesive composition comprises 0.1 to 10 parts by weight of acrylic resin, 5 to 20 parts by weight of thermosetting agent and 5 to 30 parts by weight of the energy ray-curable acrylic resin, relative to 100 parts by weight of the phenoxy resin,
The photoinitiator comprises 0.5 to 10 parts by weight relative to 100 parts by weight of the energy ray-curable acrylic resin,
The phenoxy resin is characterized in that 5 to 40 parts by weight with respect to 100 parts by weight of an organic solvent, characterized in that the adhesive tape for manufacturing electronic components.
제1항에 있어서,
상기 내열 기재는 두께가 5 ~ 100㎛이고, 유리전이 온도가 110 ~ 450℃이며, 100 ~ 200℃에서 기재의 열팽창계수가 1 ~ 35 ppm/℃이고, 상온 탄성률이 1 ~ 10GPa인 것을 특징으로 하는, 전자부품 제조용 점착테이프.
The method of claim 1,
The heat-resistant substrate has a thickness of 5 ~ 100㎛, glass transition temperature of 110 ~ 450 ℃, the thermal expansion coefficient of the substrate at 100 ~ 200 ℃ 1 ~ 35 ppm / ℃, characterized in that the room temperature elastic modulus of 1 ~ 10GPa Adhesive tape for electronic component manufacturing.
제1항에 있어서,
상기 페녹시 수지는 페녹시 수지 또는 변성 페녹시 수지이고, 중량평균 분자량이 1,000 ~ 500,000인 것을 특징으로 하는, 전자부품 제조용 점착테이프.
The method of claim 1,
The phenoxy resin is a phenoxy resin or a modified phenoxy resin, characterized in that the weight average molecular weight of 1,000 to 500,000, the adhesive tape for producing electronic components.
제1항에 있어서,
상기 점착제 조성물의 유리전이온도는 80 ~ 150℃인 것을 특징으로 하는, 전자부품 제조용 점착테이프.
The method of claim 1,
Glass transition temperature of the pressure-sensitive adhesive composition is characterized in that 80 ~ 150 ℃, the adhesive tape for electronic component manufacturing.
제1항에 있어서,
상기 에너지선 경화형 아크릴 수지는 적어도 하나 이상의 탄소 이중결합을 분자 내에 가지고 있는 수지인 것을 특징으로 하는, 전자부품 제조용 점착테이프.
The method of claim 1,
The energy ray-curable acrylic resin is a pressure-sensitive adhesive tape for producing electronic components, characterized in that the resin having at least one carbon double bond in the molecule.
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