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KR101146525B1 - 기판 고정 지그 및 그 제조방법 - Google Patents

기판 고정 지그 및 그 제조방법 Download PDF

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Publication number
KR101146525B1
KR101146525B1 KR1020050057533A KR20050057533A KR101146525B1 KR 101146525 B1 KR101146525 B1 KR 101146525B1 KR 1020050057533 A KR1020050057533 A KR 1020050057533A KR 20050057533 A KR20050057533 A KR 20050057533A KR 101146525 B1 KR101146525 B1 KR 101146525B1
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KR
South Korea
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substrate
fixing
jig
glass
manufacturing
Prior art date
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KR1020050057533A
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English (en)
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서현식
백승한
남대현
최낙봉
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엘지디스플레이 주식회사
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Publication date
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Abstract

본 발명은 플렉시블한 액정표시장치의 제조 공정에 있어, 플라스틱 기판을 고정하여 이송하기 위한 지그 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 점착제를 이용하는 기존 기술에 비해 공정이 단순해지고, 점착제를 사용하지 않아 고온 공정이 가능하며, 점착력에 따라 발생하는 기판 탈착의 문제나 점착 과정에서의 기포 발생 등에 의한 불량률을 줄일 수 있어 생산성 향상의 효과가 있다.

Description

기판 고정 지그 및 그 제조방법{Jig for fixing display plate and Method thereof}
도 1은 플라스틱 기판의 점착 반송 기술을 설명하기 위한 도면.
도 2a 및 도2b은 본 발명의 제1 실시예에 따른 고정핀을 이용한 기판 고정 지그를 설명하기 위한 도면으로써, 플라스틱 기판의 고정 전과 후를 도시한 도면.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 고정나사를 이용한 기판 고정 지그를 설명하기 위한 도면으로써, 각각 기판 고정 지그의 평면도 및 고정나사부의 단면도.
도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 고정 지그를 설명하기 위한 단면도.
도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 제4 실시예에 따른 하판유리와 고정유리의 결합에 의한 기판 고정 지그를 설명하기 위한 도면으로써, 도 5a는 하판유리의 단면도이고, 도 5b는 고정유리의 평면도이며, 도 5c는 기판 고정 지그의 단면도.
도 6a 및 도6b는 하판유리와 고정유리의 결합에 의한 기판 고정 지그의 다른 실시예를 설명하기 위한 도면.
< 도면의 주요부호에 대한 설명 >
100, 200, 300 : 유리판 110, 210, 310, 405, 515 : 기판식각부
120 : 고정식각부 130 : 고정핀
150 : 기판 220 : 고정홈
230 : 고정나사 320 : 역테이퍼
400, 500 : 하판유리 410, 510 : 고정유리
415, 520 : 영역식각부
본 발명은 기판의 이송 및 고정을 위한 지그(Jig) 및 그 제조방법에 관한 것으로, 상세하게는 유연한(Flexible) 기판을 이용하는 디스플레이장치의 생산 공정에 있어서 기판의 유동을 방지하기 위한 지그에 관한 것이다.
액정표시장치(Liquid Crystal Display Device: LCD)는 브라운관 방식에 비해 소비전력이 낮고, 경량 박형이 가능하며 유해 전자파를 방출하지 않는 장점으로 점차 그 수요가 증가하는 추세이다.
액정표시장치는 제1 및 제2 기판과 두 기판 사이에 액정을 주입하여 액정층이 개재된 형태로 제작되며, 액정의 광학적 이방성을 이용하는 영상 디스플레이 장치이다.
특히, 스위칭 소자로 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)를 이용한 액티브 매트릭스 액정표시장치(Active matrix LCD: AM-LCD)가 해상도 및 동영상 구현능력이 우수하여 일반적으로 사용되고 있으며, 액정표시장치의 기판에는 박막트랜지스터 외에도 화소전극, 공통전극, 컬러필터 등이 형성되어 있다.
일반적으로 액정표시장치는 유리기판을 사용하여 형성하게 되는데, 유리기판은 단단하고 중량이 크기 때문에 핸드폰이나 PDA와 같은 모바일 기기에 적용하는 경우 휴대성이 떨어지고, 작은 충격에 의해서도 액정표시소자가 파손되는 등의 문제점이 발생한다.
이와 같은, 문제점을 개선하기 위하여 중량이 가볍고 충격에 강한 폴리에틸렌타프탈레이드, 폴리에테르술폰, 폴리이미드 등과 같은 투명한 플라스틱 기판을 이용하는 플렉시블 액정표시장치가 제안되었다.
이러한 플라스틱 기판은 유리에 비해 전이온도가 낮지만, 가볍고 유연하다는 장점을 갖는다.
이처럼 플렉시블 액정표시장치를 구현하기 위해서는 플라스틱 기판과 같은 유연한 기판을 사용하여야 하며, 플라스틱 기판은 기판 상에 형성되는 소자들을 기존 유리기판과 동일한 공정으로 형성할 수 있다.
하지만 플라스틱 기판은 유연한 특성으로 인해 공정상 많은 어려움이 발생하므로 통상 플라스틱 기판 아래에 유리판을 덧대어 공정에 투입되게 되며, 이 경우 플라스틱 기판의 유동 방지를 위해 점착제를 사용하는 점착 반송 기술을 사용한다.
도 1은 플라스틱 기판의 점착 반송 기술을 설명하기 위한 도면이다.
도면에서와 같이, 점착제(30)를 유리판(10)의 상부면에 점착하고, 유리판(10)에 점착된 점착제(30)의 상부면에 플라스틱 기판(20)을 점착하여 유리판(10), 점착제(30), 플라스틱 기판(20)이 순차적으로 적층되는 형태를 갖게 된다.
이 때, 점착체(30)는 유리판(10)과 접착되는 하부면은 강한 점착제로 구성되고, 플라스틱 기판(20)과 접착되는 상부면은 약한 점착제로 구성되는 것이 특징이다.
이러한 적층 구조에 의해 플라스틱 기판을 유리판에 고정시켜, 액정표시장치의 제조 공정으로 이송하고, 공전진행시에 기판을 고정시키게 된다.
그런데 이러한 점착 반송 기술은 유리판과 플라스틱 기판(20)의 이중 점착으로 인해 공정이 복잡하고 점착제(30)에 플라스틱 기판을 접착할 때 기포 발생 등에 의한 불량 발생 등으로 인하여 생산성이 저하되는 문제점이 있다.
또한 공정 종료 후 기판의 탈착을 위해서는 점착력이 약해야 하는 반면, 공정 진행 중 기판의 탈착 방지를 위해서는 점착력이 강해야 하는 문제가 있어 점착제(30)의 점착력 선택의 어려운 문제점이 있다.
본 발명은 이러한 문제점 개선을 목적으로 하며, 이를 위해 점착제를 사용하지 않고 유리판 자체에 기판을 고정시킬 수 있도록 함으로써 공정의 단순화 및 불량의 발생을 제거하고, 공정 중에는 기판의 탈착 염려가 없으며 공정의 완료 후에는 기판의 탈착이 용이한 기판 고정 지그 및 그 제조방법을 제공하고자 한다.
상기와 같은 목적을 위하여 본 발명에 따른 기판 고정 지그의 제조방법은 유리판에 상기 기판의 삽입을 위해, 상기 기판의 크기 및 두께에 대응하는 기판식각부를 형성하는 단계와; 상기 기판식각부의 둘레에 상기 기판을 고정하기 위한 고정핀이 끼워지는 고정식각부를 형성하는 단계를 포함한다.
이 때, 상기 고정식각부는 상기 기판식각부의 네 모서리 영역 중 선택된 하나 이상의 영역에 형성한다.
상기 고정식각부와 상기 기판식각부는 일부 영역에서 중첩되게 형성한다.
본 발명은 상술한 방법에 의해 제조되고, 상기 기판의 고정을 위해 상기 고정식각부에 끼워지는 고정핀을 포함하는 기판 고정 지그를 제공한다.
이 때, 고정핀은 테프론 등과 같이 상기 기판에 스크래치 등 물리적 하자를 발생시키지 않고, 공정 환경에 적합한 내열성 및 열에 대한 탄성을 갖는 재질이다.
상기와 같은 목적을 위해 본 발명에 따른 기판 고정 지그의 제조방법은 유리판에 상기 기판의 삽입을 위해 상기 기판의 크기 및 두께에 대응하는 기판식각부를 형성하는 단계와; 상기 기판식각부의 둘레에 상기 기판의 고정을 위한 고정나사가 결합되는 고정홈을 형성하는 단계를 포함한다.
이 때, 상기 고정홈은 상기 기판식각부의 네 모서리 영역 중 선택된 하나 이상의 영역에 형성한다.
상기 고정홈은 상기 기판식각부와 소정간격 이격하여 형성한다.
본 발명은 상술한 방법에 의해 제조되고, 상기 기판의 고정을 위해 상기 고 정홈에 결합되는 고정나사를 포함하는 기판 고정 지그를 제공한다.
이 때, 고정나사는 나사머리가 상기 기판을 압착하여 고정하며, 유리나 테프론과 같이 고열 공정에 적합하고 상기 기판에 스크래치 등 물리적 하자를 발생시키지 않는 재질이다.
상기와 같은 목적을 위해 본 발명에 따른 기판 고정 지그의 제조방법은 유리판에 상기 기판의 삽입을 위해, 상기 기판의 크기 및 두께에 맞게 기판식각부를 형성하는 단계와; 상기 기판식각부의 네 변에 대응하는 영역에 기판의 고정을 위한 역테이퍼를 형성하는 단계를 포함한다.
이 때, 상기 기판식각부를 형성하는 단계와 상기 역테이퍼를 형성하는 단계는 동시에 이루어진다.
상기 역테이퍼의 가로길이는 2~4mm가 되도록 형성한다.
본 발명은 상술한 지그 제조 방법에 의해 제조되는 기판 고정 지그를 제공한다.
상기와 같은 목적을 위하여 본 발명에 따른 기판 고정 지그의 제조방법은 상기 하판유리에 상기 기판의 삽입을 위해, 상기 기판의 크기 및 두께에 대응하는 기판식각부를 형성하는 단계와; 상기 고정유리에 상기 기판의 공정 영역에 대응하는 영역식각부를 형성하는 단계와; 상기 하판유리의 상기 기판식각부가 형성된 면에 상기 고정유리를 결합하는 단계를 포함하거나, 하판유리를 준비하는 단계와; 상기 고정유리에 상기 기판의 삽입을 위해 상기 기판의 크기 및 두께에 대응하는 기판식각부를 형성하는 단계와; 상기 고정유리에 상기 기판의 공정 영역에 대응하는 오픈 된 영역식각부를 형성하는 단계와; 상기 고정유리의 상기 기판식각부가 형성된 면에 상기 하판유리를 결합하는 단계를 포함한다.
본 발명은 상술한 지그 제조 방법에 의해 제조되는 기판 고정 지그를 제공한다.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 기판 고정 지그를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2a 및 도2b은 본 발명의 제1 실시예에 따른 고정핀을 이용한 기판 고정 지그를 설명하기 위한 도면으로써, 플라스틱 기판의 고정 전과 후를 도시한 도면이다.
도시한 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 고정 지그는 유리판(100)에 플라스틱 기판(150)의 삽입을 위한 기판식각부(110)가 형성되어 있고, 기판식각부(110)의 둘레, 좀 더 정확하게는 기판식각부(110)의 네 모서리 영역에 플라스틱 기판(150)의 고정을 위한 고정식각부(120)가 형성되어 있다.
기판식각부(110)에는 플라스틱 기판(150)이 삽입되고 고정되어 공정이 이루어질 수 있도록, 플라스틱 기판(150)의 크기와 두께에 맞추어 식각되어 있고, 고정식가부(120)와 기판식각부(110)는 일부 영역에서 중첩된다.
즉, 기판식각부(110)와 고정식각부(120)가 형성된 유리판(100)의 기판식각부(110)에 액정표시장치 제조 공정의 대상이 되는 플라스틱 기판(150)이 삽입되고, 고정식각부(120)에 고정핀(130)이 끼워져 플라스틱 기판(150)을 고정시키게 된다. 이 때, 고정핀(130)은 고정식각부(120)에 끼워지면서 하부면이 플라스틱 기판(150) 을 눌러 고정시키게 되며, 고정핀(130)은 테프론 등과 같이 플라스틱 기판(150)에 스크래치 등 물리적 하자를 발생시키지 않고 공정 환경에 적합한 내열성 및 열에 대한 탄성을 갖는 재질로 형성하는 것이 바람직하다.
한편, 고정식각부(120)가 기판식각부(110)의 네 모서리 영역에 형성된 경우만을 설명하였으나 플라스틱 기판(150)의 고정이 가능한 어떠한 형태도 가능하며 기판식각부(110)의 네 모서리 영역 또는 네 모서리 영역 중 선택되는 대각선 방향의 두 모서리 영역에 형성될 수도 있다.
상술한 바와 같은 고정핀을 이용한 기판 고정 지그의 제조방법을 간단히 설명하면 유리판(100)에 플라스틱 기판(150)에 대응하는 기판식각부(110)를 형성하고, 다음으로 기판식각부(110)의 둘레(네 모서리 영역)에 플라스틱 기판(150)의 고정을 위한 고정식각부(120)를 형성하여 완성한다.
이 때, 기판식각부(110)는 플라스틱 기판의 크기와 두께에 맞추어 식각하고, 고정식각부(120)는 기판식각부(110)와 일부영역에서 중첩되며, 고정식각부(120)와 기판식각부(110)의 형성 순서는 자유로이 변경하여 실시 할 수 있다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 고정나사를 이용한 기판 고정 지그를 설명하기 위한 도면으로써, 각각 기판 고정 지그의 평면도 및 고정나사부의 단면도이다.
도시한 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 고정나사를 이용한 기판 고정 지그는 유리판(200)에 플라스틱 기판(150)의 고정을 위한 기판식각부(210)가 형성되어 있고, 기판식각부(210)의 둘레에 고정나사(230)가 결합되는 고정홈(220)이 형성되어 있다.
고정홈(220)은 앞서 설명한 실시예의 고정식각부(120)와 동일하게 상기 기판식각부(210)의 네 모서리 영역에 형성되어 있으며, 기판식각부(210)과 고정홈(220)은 소정간격 이격하여 형성되어 있다.
또한, 경우에 따라서 고정홈(220)은 기판식각부(210)의 네 모서리 영역 중 선택되는 대각선 방향의 두 모서리 영역에 형성될 수도 있다.
이러한 기판 고정 지그는 기판식각부(210)에 플라스틱 기판(150)을 삽입시킨 후 고정나사(230)를 고정홈(220)에 끼워 넣어 고정나사(230)의 나사 머리가 플라스틱 기판(150)을 압착하는 형상으로 플라스틱 기판(150)을 고정하게 된다.
고정홈(220)과 고정나사(230)는 나사산 형태로 끼워 넣는 경우를 도시하였으나, 이 형태로 한정되는 것은 아니며, 고정나사(230)는 유리나 테프론과 같이 고열 공정에 적합하고 플라스틱 기판(150)에 스크래치 등을 발생시키지 않는 재질로 형성한다.
상술한 바와 같은, 고정나사(230)를 이용한 기판 고정 지그의 제조공정을 간단히 설명하면, 유리판(200)에 플라스틱 기판(150)의 고정을 위한 기판식각부(210)를 형성하고, 다음으로 상기 기판식각부(210)의 둘레(네 모서리 영역)에 고정나사(230)의 결합을 위한 고정홈(220)을 기판식각부(210)과 소정간격 이격되게 형성하는 단계에 의해 제조된다.
이 때, 기판식각부(110)는 플라스틱 기판(150)의 크기와 두께에 맞추어 식각하고, 기판식각부(210)와 고정홈(220)의 형성순서는 자유로이 변경하여 실시 할 수 있다.
도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 고정 지그를 설명하기 위한 단면도이다.
도시한 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 고정 지그는 유리판(300)에 플라스틱 기판(150)의 삽입을 위한 기판식각부(310)가 형성되어 있고, 기판식가부(310)의 네 변에 대응하는 영역에는 플라스틱 기판(150)의 고정을 위한 역테이퍼(320)가 형성되어 있다.
이 때, 기판식각부(310)는 플라스틱 기판(미도시)의 크기와 두께에 맞추어 식각하며, 역테이퍼(320)는 기판식각부(310)를 형성한 후에 기판식각부(310)이 네 변에 대응하는 영역을 추가 식각하여 형성할 수도 있으나, 바람직하게는 기판식각부(310)와 역테이퍼(320)가 한번의 식각 공정에 의하여 동시에 형성된다.
역테이퍼(320)의 가로 길이는 기판의 고정 및 탈,부착과 공정 영역 등을 고려하여 2~4mm 정도가 바람직하며, 더욱 바람직하게는 3mm이다.
상술한 실시예에 따르면 역테이퍼(320)의 형성만으로 플라스틱 기판(150)의 고정 및 탈,부착이 용이하게 되어, 공정을 매우 단순화시킬 수 있다.
도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 제4 실시예에 따른 하판유리와 고정유리의 결합에 의한 기판 고정 지그를 설명하기 위한 도면으로써, 도 5a는 하판유리의 단면도이고, 도 5b는 고정유리의 평면도이며, 도 5c는 기판 고정 지그의 단면도이다.
도시한 바와 같이, 본 발명의 제4 실시예에 따른 기판 고정 지그는 결합 구성되는 하판유리(400)와 고정유리(410)를 구비하며, 하판유리(400)에는 플라스틱 기판(미도시)의 삽입을 위해 플라스틱 기판(미도시)의 크기와 두께에 맞추어 식각된 기판식각부(405)가 형성되어 있고, 고정유리(410)에는 플라스틱 기판(150)의 공정 영역만큼의 영역식각부(415)가 형성되어 있다.
이 때, 하판유리(400)의 일 측면은 완전히 식각되어 액자처럼 플라스틱 기판(150)이 기판 고정 지그 내부로 삽입될 수 있도록 하고, 플라스틱 기판(150)의 삽입 후에는 수지 등을 이용하여 플라스틱 기판이 빠져나오는 것을 막게 되며, 영역식각부(415)를 통해 노출된 영역에 공정이 이루어지게 된다.
이러한 하판유리와 고정유리의 결합에 의한 기판 고정 지그는 하판유리(400)와 고정유리(410)가 모두 식각공정을 거치게 되나, 도 6a 및 도 6b의 도면에서와 같이 고정유리(410)만을 식각하여 동일한 효과를 얻을 수 있다.
도 6a 및 도6b는 하판유리와 고정유리의 결합에 의한 기판 고정 지그의 다른 실시예를 설명하기 위한 도면이다.
도면에서와 같이, 고정유리(510)에 플라스틱 기판(미도시)의 크기 및 두께에 따라 기판식각부(515)가 형성되어 있고, 플라스틱 기판(미도시)의 공정 영역에 해당하는 크기의 영역식각부(520)가 형성되어 있으며, 이러한 구성의 고정유리(510)를 하판유리(500)에 결합하여 기판 고정 지그를 완성한다.
이 때, 영역식각부(520)는 고정유리(510)를 완전 식각하여 개구부를 형성하며, 기판식각부(515)는 고정유리(510)의 일부영역(두께)만을 식각한다.
한편, 고정유리(510)에 형성된 기판식각부(515)와 영역식각부(520)를 형성하는 순서는 자유로이 변경 가능하고, 기판식각부(515)의 일 측면 방향으로는 고정유 리(510)가 완전히 식각되어 플라스틱 기판(미도시)이 삽입되도록 형성되며, 완전히 식각된 부분은 수지 등에 의해 밀폐되어 플라스틱 기판(미도시)이 공정 중 지그로부터 빠져나오는 것을 막는다.
한편, 플렉시블 액정표시장치를 구현하기 위하여 플라스틱 기판을 사용한 경우를 위주로 설명하였으나, 플라스틱 기판과 같이 유연한 특성을 가지는 투명재질의 기판이면 응용이 가능하다.
이와 같이, 본 발명에 따른 기판 고정 지그는 점착제를 사용하지 않고 유리판(지그)에 플라스틱 기판을 고정할 수 있다.
본 발명은 상기와 같은 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도 내에서 자유로이 변경하여 실시할 수 있다.
이와 같이, 본 발명에 다른 기판 고정 지그는 점착제를 이용하는 지그에 비해, 공정을 단순화시킬 수 있고 또한 불량을 최대한 줄일 수 있으며, 기판의 공정 중 탈착의 문제나 공정 완료 후 기판의 분리 문제 등을 쉽게 해결할 수 있다. 또한 지그의 재활용이 가능하며 제조 원가 면에서도 유리하다.

Claims (17)

  1. 기판을 고정, 이송시키기 위한 지그를 제조함에 있어서,
    유리판에 상기 기판의 삽입을 위해, 상기 기판의 크기 및 두께에 대응하는 기판식각부를 형성하는 단계와;
    상기 기판식각부의 둘레에 상기 기판을 고정하기 위한 고정핀이 끼워지는 고정식각부를 형성하는 단계
    를 포함하는 기판 고정 지그의 제조방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 고정식각부는 상기 기판식각부의 네 모서리 영역 중 선택된 하나 이상의 영역에 형성하는 기판 고정 지그의 제조방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 고정식각부와 상기 기판식각부는 일부 영역에서 중첩되게 형성하는 기판 고정 지그의 제조방법.
  4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 하나의 항에 의해 제조되며, 상기 기판의 고정을 위해 상기 고정식각부에 끼워지는 고정핀을 포함하는 기판 고정 지그.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 고정핀은 테프론 등과 같이 상기 기판에 스크래치 등 물리적 하자를 발생시키지 않고, 공정 환경에 적합한 내열성 및 열에 대한 탄성을 갖는 재질인 기판 고정 지그.
  6. 기판을 고정, 이송시키기 위한 지그를 제조함에 있어서,
    유리판에 상기 기판의 삽입을 위해 상기 기판의 크기 및 두께에 대응하는 기판식각부를 형성하는 단계와;
    상기 기판식각부의 둘레에 상기 기판의 고정을 위한 고정나사가 결합되는 고정홈을 형성하는 단계
    를 포함하는 기판 고정 지그의 제조방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 고정홈은 상기 기판식각부의 네 모서리 영역 중 선택된 하나 이상의 영 역에 형성하는 기판 고정 지그의 제조방법.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 고정홈은 상기 기판식각부와 소정간격 이격하여 형성하는 기판 고정 지그의 제조방법.
  9. 제 6항 내지 제 8항 중 어느 하나의 항에 의해 제조되며, 상기 기판의 고정을 위해 상기 고정홈에 결합되는 고정나사를 포함하는 기판 고정 지그.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 고정나사는 나사머리가 상기 기판을 압착하여 고정하며, 유리나 테프론과 같이 고열 공정에 적합하고 상기 기판에 스크래치 등 물리적 하자를 발생시키지 않는 재질인 기판 고정 지그.
  11. 기판을 고정, 이송시키기 위한 지그를 제조함에 있어서,
    유리판에 상기 기판의 삽입을 위해, 상기 기판의 크기 및 두께에 맞게 기판 식각부를 형성하는 단계와;
    상기 기판식각부의 네 변에 대응하는 영역에 기판의 고정을 위한 역테이퍼를 형성하는 단계
    를 포함하는 기판 고정 지그의 제조방법.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 기판식각부를 형성하는 단계와 상기 역테이퍼를 형성하는 단계는 동시에 이루어지는 기판 고정 지그의 제조방법.
  13. 제 11항에 있어서,
    상기 역테이퍼의 가로길이는 2~4mm가 되도록 형성하는 기판 고정 지그의 제조방법.
  14. 제 11항 또는 제 13항에 의해 제조되는 기판 고정 지그.
  15. 하판유리와 고정유리를 구비하는 기판을 고정, 이송시키기 위한 지그를 제조 함에 있어서,
    상기 하판유리에 상기 기판의 삽입을 위해, 상기 기판의 크기 및 두께에 대응하는 기판식각부를 형성하는 단계와;
    상기 고정유리에 상기 기판의 공정 영역에 대응하는 영역식각부를 형성하는 단계와;
    상기 하판유리의 상기 기판식각부가 형성된 면에 상기 고정유리를 결합하는 단계
    를 포함하는 기판 고정 지그의 제조방법.
  16. 하판유리와 고정유리를 구비하는 기판을 고정, 이송시키기 위한 지그를 제조함에 있어서,
    상기 하판유리를 준비하는 단계와;
    상기 고정유리에 상기 기판의 삽입을 위해 상기 기판의 크기 및 두께에 대응하는 기판식각부를 형성하는 단계와;
    상기 고정유리에 상기 기판의 공정 영역에 대응하는 오픈된 영역식각부를 형성하는 단계와;
    상기 고정유리의 상기 기판식각부가 형성된 면에 상기 하판유리를 결합하는 단계
    를 포함하는 기판 고정 지그의 제조방법.
  17. 제 15항 또는 제 16항에 의해 제조되는 기판 고정 지그.
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