KR101123080B1 - Carrier module for test handler - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체소자의 하부에 형성된 리드나 볼 등을 손상시키지 않으면서 정확하게 파지하고 해지할 수 있는 테스트 핸들러의 캐리어 모듈에 관한 것으로, 본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈은 반도체소자(P)를 수용하기 위한 공간부(211)가 형성되며 공간부(211)의 일측과 타측에 각각 수용부(212)가 형성되는 캐리어몸체(210)와; 캐리어몸체(210)의 수용부(212)에 각각 설치되는 다수개의 버튼(220)과; 버튼(220)에 각각 삽설되는 다수개의 가이드핀(230)과; 가이드핀(230)이 삽설되는 제1가이드홀(240a)이 제1방향(X)으로 형성되며 제1방향(X)과 다른 제2방향(Y)으로 제1가이드홀(240a)과 연통되도록 제2가이드홀(240b)이 형성되는 다수개의 래치(240)와; 수용부(212)와 다수개의 버튼(220)에 각각 연결되어 버튼(220)으로 탄성력을 제공하는 다수개의 탄성부재(250)로 구성되며, 가이드핀(230)은 버튼(220)의 이동에 의해 제1가이드홀(240a)과 제2가이드홀(240b)을 따라 이동하여 래치(240)를 개방/폐쇄하는 것을 특징으로 한다. The present invention relates to a carrier module of a test handler which can be accurately grasped and terminated without damaging a lead or ball formed in the lower part of the semiconductor device. The carrier module of the test handler of the present invention accommodates the semiconductor device (P). A carrier body 210 having a space portion 211 formed therein and a receiving portion 212 formed at one side and the other side of the space portion 211; A plurality of buttons 220 respectively installed at the receiving portions 212 of the carrier body 210; A plurality of guide pins 230 respectively inserted into the buttons 220; The first guide hole 240a into which the guide pin 230 is inserted is formed in the first direction X and communicates with the first guide hole 240a in a second direction Y different from the first direction X. A plurality of latches 240 in which second guide holes 240b are formed; It is composed of a plurality of elastic members 250 are connected to the receiving portion 212 and a plurality of buttons 220 to provide an elastic force to the button 220, the guide pin 230 by the movement of the button 220 The latch 240 is opened / closed by moving along the first guide hole 240a and the second guide hole 240b.
핸들러, 캐리어, 모듈, 래치, 핀, 가이드, 홀 Handler, Carrier, Module, Latch, Pin, Guide, Hole
Description
본 발명은 테스트 핸들러의 캐리어 모듈에 관한 것으로, 더 상세하게는 반도체소자의 하부에 형성된 리드나 볼 등을 손상시키지 않으면서 정확하게 파지하고 해지할 수 있는 테스트 핸들러의 캐리어 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a carrier module of a test handler, and more particularly, to a carrier module of a test handler capable of accurately grasping and releasing without damaging a lead or a ball formed in a lower portion of a semiconductor device.
반도체소자의 제조가 완료되면 테스트 핸들러를 이용하여 테스트하고, 테스트 결과에 따라 반도체소자를 양품과 불량품으로 선별한다. 반도체소자는 테스트 핸들를 이용하여 테스트 시 트레이에 설치되는 다수개의 캐리어 모듈에 장착된다.When manufacturing of the semiconductor device is completed, the test is performed using a test handler, and the semiconductor device is selected as good or defective according to the test result. The semiconductor device is mounted to a plurality of carrier modules installed in a tray during a test by using a test handle.
반도체소자를 장착하는 종래의 캐리어 모듈을 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다. Referring to the accompanying drawings, a conventional carrier module for mounting a semiconductor device is as follows.
도 1a는 종래의 테스트 핸들러에 사용되는 캐리어 모듈을 보여주는 사시도이고, 도 1b 내지 도 1d는 종래의 테스트 핸들러에 사용되는 다양한 종류의 소자를 고정시키는 상태를 보여주는 일부 사시도이다.1A is a perspective view illustrating a carrier module used in a conventional test handler, and FIGS. 1B to 1D are partial perspective views illustrating a state of fixing various kinds of devices used in the conventional test handler.
트레이(11)는 사각형의 프레임(12)에 다수의 상(소정의 틀 모양)(13)이 평행하게 등간격으로 형성되어 있고, 이 상(13)은 양측 상(13)과 대향하는 프레임(12)의 시작부(12a, 12b)에 각각 다수의 부착편(14)에 따라 각각 캐리어 수납부(15)에 각각 1개의 아이씨 캐리어(16)가 수납되어 있으며, 그 아이씨 캐리어(16)는 각각 2개씩 부착편(14)에 패스너(17)에 의해 고정되어 있다.In the
각각의 아이씨 캐리어(16)의 외형은 동일 형상으로 일정한 간격을 두고 이루어져 있고, 아이씨 캐리어(16)에 반도체소자(18)가 수납된다. 그 아이씨 캐리어(16)의 아이씨 수용부(19)의 형상은 이렇게 수용되는 반도체소자(18)의 형상에 대응하여 결정되게 된다. 여기서, 아이씨 수용부(19)는 사각형 요부가 형성되어 있다. 아이씨 캐리어(16)의 양단부에는 각각 부착편(14)의 부착용 구멍(21)과, 안내핀 삽입공(22)이 형성되어 있다.The outer shape of each of the
아이씨 캐리어(16)가 취부된 트레이(11)는 아이씨 캐리어 이송장치의 가운데를 지나가고 그 중간에 반도체소자(18)를 아이씨 캐리어(16)에 수용 취부시키고, 다음 소정의 시험온도를 인가하게 된다. 그 후, 그 반도체소자에 대응하는 시험이 행해지고, 그 시험 결과에 따라 반도체소자(18)를 취출용 트레이에 수용시킨다.The
아이씨 캐리어(16)내의 반도체소자(18)의 위치에서 이탈되지 않도록 하고, 종래에 있어서 도 1b 및 도1d에 도시된 바와 같이 하나의 대응된 래치(23)가 아이씨 캐리어(16)의 바디(27)에 설치되어 있다.In order not to be displaced from the position of the
종래의 래치(23)는 아이씨 수용부(19)의 하부로부터 대응된 래치(23)가 상방향 바디(27)와 일체로 돌출되고, 아이씨 캐리어(16)의 바디(27)를 구성하는 수지재의 탄성을 이용하고, 아이씨 소자(18)를 아이씨 수용부(19)에 수용하며, 또한, 아이씨 수용부(19)로부터 취출되고, 반도체소자(18)를 흡착하는 아이씨 흡착패드(24)와 동시에 이동하는 래치 해제기구(25)에 2개의 래치(23)간격을 넓게 설치한 후, 반도체소자(18)를 수용하거나 취출한다. 래치 해제기구(25)를 래치(23)로부터 분리하고, 래치(23)는 상기 탄성력에 의해 원상태로 복귀하게 되며, 수용된 반도체소자(18)의 상부를 양측으로 고정시킨 상태를 나타낸다.In the
종래의 다른 실시예인 도 1d에 도시되어 있는 바와 같이, 아이씨 수용부(19) 측벽에 대응하여 설치된 래치(23)의 일단이 일체로 형성되고, 수용된 반도체소자(18)의 상부를 양측면에 그 단부가 움직일 수 있도록 대향하여 설치하고, 또한 반도체소자(18)의 상부와 대향하는 제어편(26)이 구비되어 있다.As shown in FIG. 1D, another conventional embodiment, one end of the
상기 종래의 캐리어 모듈은 다양한 두께와 크기의 반도체소자에 대하여는 각각의 반도체소자에 적합한 별도의 캐리어 모듈이 필요하므로 각 반도체소자에 적합한 캐리어 모듈을 교체하기 위하여 많은 시간이 소요되는 문제점이 있었다.Since the conventional carrier module requires a separate carrier module suitable for each semiconductor device for semiconductor devices having various thicknesses and sizes, there is a problem in that it takes a long time to replace a carrier module suitable for each semiconductor device.
그리고, 반도체소자와 래치간의 접촉 시 래치에 의해 반도체소자가 긁힘 또는 파손 등이 유발되어 제품의 신뢰성을 저하시키는 문제점도 있었다. In addition, when the contact between the semiconductor device and the latch, the semiconductor device is scratched or damaged due to the latch, thereby lowering the reliability of the product.
본 발명의 목적은 이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 다양한 두께와 크기를 갖는 반도체소자에 적합하도록 구성하여 반도체소자의 크기에 따른 캐리어 모듈의 교체시간을 줄일 수 있는 테스트 핸들러의 캐리어 모듈을 제공하는 점에 있다.An object of the present invention is to solve the above problems, it is configured to be suitable for a semiconductor device having a variety of thickness and size to the carrier module of the test handler that can reduce the replacement time of the carrier module according to the size of the semiconductor device The point is to provide.
본 발명의 다른 목적은 가이드핀이 삽설되는 제1가이드홀과 제2가이드홀이 서로 다른 방향으로 형성됨으로써 래치가 자유낙하 되지 않도록 하여 래치의 자유 낙하에 의한 반도체소자의 하부에 형성된 리드나 볼 등의 손상을 방지하며 정확하게 파지할 수 있는 테스트 핸들러의 캐리어 모듈을 제공하는 점에 있다.Another object of the present invention is that the first guide hole and the second guide hole in which the guide pin is inserted are formed in different directions so that the latch does not fall freely so that the lead or the ball formed on the lower portion of the semiconductor device due to the free fall of the latch. It is to provide a carrier module of the test handler which can prevent the damage and can be gripped accurately.
본 발명의 또 다른 목적은 래치에 역전 방지턱을 형성하여 래치의 역전을 방지하여 래치의 안정된 개방 및 해제가 용이한 테스트 핸들러의 캐리어 모듈을 제공하는 점에 있다.It is still another object of the present invention to provide a carrier module of a test handler in which a latch of the latch is formed on the latch to prevent the latch from being reversed so that the latch can be easily opened and released.
본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈은 반도체소자를 수용하기 위한 공간부가 형성되며 공간부의 일측과 타측에 각각 수용부가 형성되는 캐리어몸체와; 캐리어몸체의 수용부에 각각 설치되는 다수개의 버튼(button)과; 버튼에 각각 삽설되는 다수개의 가이드핀(guide pin)과; 가이드핀이 삽설되는 제1가이드홀이 제1방향으로 형성되며 제1방향과 다른 제2방향으로 제1가이드홀과 연통되도록 제2가이드홀이 형성되는 다수개의 래치(latch)와; 수용부와 다수개의 버튼에 각각 연결되어 버튼으로 탄성력을 제공하는 다수개의 탄성부재로 구성되며, 가이드핀은 버튼의 이동에 의해 제1가이드홀과 제2가이드홀을 따라 이동하여 래치를 개방/폐쇄함을 특징으로 한다.The carrier module of the test handler of the present invention includes a carrier body having a space for accommodating a semiconductor device, the receiving body being formed at one side and the other side of the space; A plurality of buttons each installed at a receiving portion of the carrier body; A plurality of guide pins each inserted into the button; A plurality of latches in which a first guide hole into which the guide pin is inserted is formed in a first direction and a second guide hole is formed to communicate with the first guide hole in a second direction different from the first direction; Consists of a plurality of elastic members connected to the receiving portion and the plurality of buttons, respectively, to provide elastic force to the button, the guide pin is moved along the first guide hole and the second guide hole by the movement of the button to open / close the latch It is characterized by.
본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈은 다양한 두께와 크기를 갖는 반도체소자를 용이하게 체결하여 테스트 후 해제할 수 있으므로 전체적인 작업시간이 절약되고 이로 인해 작업효율이 상승되는 이점이 있다.Since the carrier module of the test handler of the present invention can be easily released after testing by fastening semiconductor devices having various thicknesses and sizes, the overall work time is saved and the work efficiency is increased.
또한, 테스트 핸들러의 캐리어 모듈은 가이드핀이 삽설되는 제1가이드홀과 제2가이드홀을 서로 다른 방향으로 형성되도록 함으로써 래치가 자유낙하 되지 않도록 함으로써 래치의 낙하에 의해 반도체소자의 하부에 형성된 리드나 볼 등을 손상시키지 않으면서 정확하게 파지할 수 있는 이점이 있다.In addition, the carrier module of the test handler is formed by forming the first guide hole and the second guide hole in which the guide pins are inserted in different directions so that the latch does not fall freely. There is an advantage that can be held accurately without damaging the ball.
그리고, 본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈은 래치의 구조와 버튼의 구조를 변경하여 반도체 소자를 안정되게 파지하고 해지할 수 있으므로 반도체 소자의 파손을 줄일 수 있고 아울러 원가절감을 할 수 있는 이점이 있다. In addition, since the carrier module of the test handler of the present invention can stably hold and release the semiconductor device by changing the structure of the latch and the button structure, damage of the semiconductor device can be reduced and cost can be reduced. .
(실시예)(Example)
본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.An embodiment of a carrier module of the test handler of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈의 평면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 래치의 폐쇄 상태를 나타낸 캐리어 모듈의 단면도이며, 특히 도 3은 도 2에 도시된 캐리어 모듈의 A-A선 단면도이다.2 is a plan view of the carrier module of the test handler of the present invention, Figure 3 is a cross-sectional view of the carrier module showing the closed state of the latch shown in Figure 2, in particular Figure 3 is a cross-sectional view taken along line AA of the carrier module shown in FIG. to be.
도 2 및 도 3에서와 같이 본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈은 캐리어몸체(210), 다수개의 버튼(220), 다수개의 가이드핀(230), 다수개의 래치(240) 및 다수개의 탄성부재(250)로 구성된다. 2 and 3, the carrier module of the test handler of the present invention includes a
캐리어몸체(210)는 본 발명의 캐리어 모듈을 전반적으로 지지하기 위한 것으로 반도체소자(P)를 수용하기 위한 공간부(211)가 형성되며, 공간부(211)의 일측과 타측에 각각 수용부(212)가 형성된다. 다수개의 버튼(220)은 각각 캐리어몸체(210)의 수용부(212)에 설치되며, 다수개의 가이드핀(230)은 각각 버튼(220)에 삽설된 다. 이러한 가이드핀(230)은 버튼(220)의 이동에 의해 제1가이드홀(240a)과 제2가이드홀(240b)을 따라 이동하여 래치(240)를 개방/폐쇄한다. 다수개의 래치(240)는 각각 가이드핀(230)이 삽설되는 제1가이드홀(240a)이 제1방향(X)으로 형성되며 제1방향(X)과 다른 제2방향(Y)으로 제1가이드홀(240a)과 연통되도록 제2가이드홀(240b)이 형성된다. 다수개의 탄성부재(250)는 각각 수용부(212)와 다수개의 버튼(220)에 연결되어 버튼(220)으로 탄성력을 제공한다.
상기 구성을 갖는 본 발명의 캐리어 모듈 구성을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the carrier module configuration of the present invention having the above configuration in more detail as follows.
캐리어몸체(210)는 그 중앙에 반도체소자(P)를 수용하기 위한 공간부(211)가 형성되며, 공간부(211)의 양측 즉, 일측과 타측에 각각 수용부(212)가 형성된다. 공간부(211)는 주로 사각 형태의 반도체소자(P)를 수용하기 위하여 직사각형의 형태로 형성하는 것이 바람직하다. 공간부(211)의 양측에 형성된 수용부(212)는 후술되는 버튼(220), 가이드핀(230), 래치(240) 및 탄성부재(250)가 각각 설치된다. The
다수개의 버튼(220)은 각각 도 3, 도 4a 및 도 4b에서와 같이 버튼몸체(221)와 다수개의 돌출부재(222)로 구성된다. 여기서, 도 4a는 버튼과 래치의 분리 확대 사시도이며, 도 4b는 도 4a에 도시된 버튼의 다른 실시예를 나타낸 사시도이다. The plurality of
버튼몸체(221)는 캐리어몸체(210)의 수용부(212)에 설치되고, 상부에 탄성부재(250)를 연결하기 위한 홈(221a)이 형성되며, 하부에 삽입홈(221b)이 형성된다. 다수개의 돌출부재(222)는 버튼몸체(221)의 하부에 마주대하도록 형성된다. 즉, 버튼몸체(221)의 하부에 형성된 삽입홈(221b)의 양측에 위치되도록 형성된다. 이러한 다수개의 돌출부재(222)는 각각 버튼몸체(221)의 하부에 일체로 형성되고, 가이드핀(230)을 끼우기 위한 고정홀(222a)이 형성된다. 다수개의 돌출부재(222) 사이에는 래치(240)가 가이드핀(230)에 끼워져 삽설되며, 그 상부 즉, 버튼몸체(221)의 상부에는 한 개의 홈(221a)을 형성하거나 다수개의 홈(221a)을 형성할 수 있다. 한 개의 홈(221a)이 형성되는 경우에 다수개의 탄성부재(250)는 각각 도 4a에서와 같이 한 개의 스프링이 적용되어 연결되는 반면에 다수개의 홈(221a)이 형성되는 경우에는 도 4b에서와 같이 다수개의 탄성부재(250)는 각각 다수개의 스프링을 이루어지며, 다수개의 스프링은 각각 다수개의 홈(221a)에 연결된다. The
버튼몸체(221)에 다수개의 스프링이 연결되는 경우에 한 개의 스프링이만 연결되는 경우 보다 큰 탄성력을 제공할 수 있게 된다. 즉, 탄성부재(250)의 탄성력에 의해 버튼(220)을 하강시키는 경우에 한 개의 스프링 보다 다수개의 스프링을 이용하는 경우에 보다 큰 탄성력을 제공함으로 래치(230)가 반도체소자(P)를 보다 견고하게 캐리어몸체(210)의 공간부(211)에 파지할 수 있게 된다.When a plurality of springs are connected to the
다수개의 래치(240)는 도 3, 도 4a 및 도 4b에서와 같이 제1방향(X)으로 제1가이드홀(240a)이 형성되고 제1방향(X)과 다른 제2방향(Y)과 제2가이드홀(240b)이 제1가이드홀(240a)과 연통되도록 형성되며, 제1방향(X)과 제2방향(Y)은 서로 60 내지 120도(degree) 각도(θ)로 교차된다. 이러한 다수개의 래치(240)는 각각 래치 고정핀(241)과 래치몸체(242)로 구성된다. As shown in FIGS. 3, 4A, and 4B, the plurality of
래치 고정핀(241)은 래치몸체의 수용부(212)에 고정 설치되고, 래치몸체(242)는 래치 고정핀(241)에 삽설되어 회동되도록 설치되며, 제1방향(X)으로 제1 가이드홀(240a)이 형성되고 제1방향(X)과 다른 제2방향(Y)과 제2가이드홀(240b)이 제1가이드홀(240a)과 연통되도록 형성된다. 이와 같이 래치몸체(242)에 형성된 제1가이드홀(240a)과 제2가이드홀(240b)이 서로 다른 방향(X,Y)으로 형성됨으로 탄성부재(250)에 의해 버튼(220)의 이동 시 가이드핀(230)이 제1가이드홀(240a)과 제2가이드홀(240b)에 가이드되어 이동됨에 따라 래치(240)가 자유낙하 되지 않는다. 이로 인해 래치(240)는 탄성부재(250)의 탄성력에 의해 자유낙하 되지 않은 상태에서 반소체소자(P)의 하부에 형성된 리드나 볼(도시 않음)의 손상 없이 안정되게 파지할 수 있게 된다. The
래치 고정핀(241)에 삽설되어 회동되는 래치몸체(242)는 가이드곡면(242a), 평탄면(242b) 및 역전 방지턱(242c)이 형성된다. 가이드곡면(242a)은 래치몸체(242)의 일측에 버튼(220)의 하부에 형성된 삽입홈(221b) 즉, 버튼몸체(221)에 형성된 삽입홈(221b)에 가이드되어 회동되도록 형성되며, 평탄면(242b)은 가이드곡면(242a)과 연장되도록 형성되어 버튼(220)의 하부에 형성된 삽입홈(221b)에 안착되도록 형성된다. 이러한 래치몸체(242)는 래치 고정핀(241)이 삽설되는 홀(242d)이 형성된다. The
역전 방지턱(242c)은 가이드곡면(242a)과 평탄면(242b) 사이에 래치(240)의 역전을 방지하기 위해 형성되며, 역전 방지턱(242c)의 높이(h1)는 래치몸체(242)의 하부 높이(h2) 보다 작게 형성된다. 여기서 방지턱(242c)의 높이(h1)는 0.3~0.4mm 이고, 하부 높이(h2)는 0.55~0.7mm가 바람직하지만, 방지턱(242c)의 높이(h1)는 0.4mm이고 하부 높이(h2)는 0.6mm를 적용하였다. The
다수개의 탄성부재(250)는 각각 한 개의 스프링이 적용된다. 이러한 탄성부재(250)는 다수개의 스프링이 적용될 수 있다. 탄성부재(250)가 한 개의 스프링으로 이루어지는 경우에 한 개의 스프링이 버튼(220)에 연결되며, 탄성부재(250)가 다수개의 스프링 즉 2개의 스프링으로 이루어지는 경우에 각각은 버튼(220)에 연결되어 버튼(220)으로 탄성력을 제공한다. Each of the plurality of
상기 구성을 갖는 본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈의 동작을 첨부된 도 3 내지 도 5를 참조하여 설명하기로 한다. An operation of the carrier module of the test handler of the present invention having the above configuration will be described with reference to FIGS. 3 to 5.
먼저, 도 3에서와 같이 다수개의 래치(240)가 반도체소자(P)를 파지하면 반도체소자(200)에 대하여 다수개의 래치(240)는 각각 제1방향(X)으로 거의 수평상태를 유지한 상태에서 파지하게 된다. 즉, 다수개의 래치(240)가 반도체소자(P)를 파지하게 되면, 래치(240)의 평탄면(242b)은 버튼(220)의 하부에 형성된 삽입홈(221b)에 밀착되게 삽입되고, 래치(240)의 역전방지턱(242c)이 버튼(220)에 의해 적절히 눌려지게 된다. 그리고, 버튼(220)은 버튼(220)의 상부에 설치된 탄성부재(250)에 의해 적절히 탄성력을 받도록 눌려지게 된다. First, as shown in FIG. 3, when the plurality of
래치(240)가 반도체소자(P)를 파지한 상태에서 버튼(220)의 하부를 구동원(도시 않음)이 도 5에서와 같이 화살표(a2) 방향으로 누르게 되면 가이드핀(230)은 제2가이드홀(240b)에 가이드되어 수직방향으로 이동하게 되며, 버튼(220)은 래치(24)를 누르는 힘을 해제하게 된다. 즉, 버튼(220)은 래치(240)의 역전방지턱(242c)을 이탈하게 되고, 래치(240)는 단지 반도체소자(P)의 표면에 접착된 상태가 된다. 버튼(220)이 역전방지턱(242c)을 이탈한 상태에서 버튼(220)을 연속적으 로 밀면 가이드핀(230)은 제2가이드홀(240b)에서 제1가이드홀(240a)로 이동되어 래치(240)를 밀게 된다. When the driving source (not shown) presses the lower portion of the
가이드핀(230)이 래치(240)를 밀면 래치(240)는 래치 고정핀(241)을 회전축으로 하여 시계방향으로 회전하게 되어 래치(240)의 가이드곡면(242a)이 버튼(220)의 하부와 접하게 된다. 가이드곡면(242a)이 버튼(220)의 하부와 접하게 된 상태에서 버튼(240)을 연속적으로 더 밀면 가이드곡면(242a)은 시계방향으로 더욱 회전되어 버튼(220)의 하부에 형성된 삽입홈(221b)으로 이동되고, 래치(240)는 도 5에서와 같이 시계방향으로 회전하여 반도체소자(P)의 파지를 완전하게 해제하게 된다. 이 상태에서 반도체소자(P)를 픽커(도시되지 않음)나 다른 흡착수단에 의해 캐리어몸체(210)의 공간부(211)에서 이탈시킬 수 있게 된다.When the
캐리어몸체(210)의 공간부(211)에서 새로운 반도체소자(P)가 수용되면 버튼(240)을 미는 힘을 해제하여 탄성부재(250)에 의해 버튼(240)이 도 3에 도시된 화살표(a1) 방향 즉, 수직방향으로 하강되도록 한다. 버튼(240)이 하강되면 가이드핀(230)은 제1가이드홀(240a)에 가이드되어 하강되어 래치(240)를 밀게 된다. 가이드핀(230)에 의해 래치(240)가 밀리면 래치(240)는 반시계방향으로 회전되어 래치(240)의 가이드곡면(242a)이 버튼(220)의 하부에 형성된 삽입홈(221b)로부터 이탈하게 되고, 가이드핀(230)은 버튼(240)과 연동되어 제1가이드홀(240a)에서 제2가이드홀(240b)로 이동하게 된다. When the new semiconductor device P is accommodated in the
가이드핀(230)이 도 3에서와 같이 제2가이드홀(240b)의 하측으로 완전하게 이동되면 버튼(220)의 하부는 래치(240)의 평탄면(242b)에 안착되어 회전을 멈추게 된다. 즉, 버튼(220)이 래치(240)의 역전 방지턱(242c)을 넘어 평탄면(242b)에 긴밀하게 안착되면서 래치(240)는 반도체소자(P)를 다시 파지하게 된다. When the
이와 같이 반도체소자(P)를 파지하기 위해 래치(240)를 반시계방향으로 회전 시 가이드핀(230)이 제1가이드홀(240a)과 제2가이드홀(240b)에 가이드되어 이동됨에 따라 래치(240)는 자유낙하 되지 않고 반도체소자(P)를 파지할 수 있게 된다. 이로 인해 래치(240)는 반도체소자(P)를 파지 시 반도체소자(P)로 가해지는 충격을 줄일 수 있게 되어 래치(240)에 의해 반도체소자(P)의 하부에 형성되는 리드나 볼(도시 않음) 등의 손상을 줄일 수 잇게 된다. As described above, when the
본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈은 반도체 소자를 테스트하는 테스트 핸들러 분야에 적용되고, 아울러 반도체 소자나 기타 부품을 파지(그립)하는 반도체 장치분야에 널리 적용가능하다.The carrier module of the test handler of the present invention is applied to the field of test handlers for testing semiconductor devices, and is also widely applicable to the field of semiconductor devices for holding (grips) semiconductor devices or other components.
도 1a 내지 도 1d는 종래의 캐리어 모듈을 나타낸 단면도.1A to 1D are cross-sectional views showing a conventional carrier module.
도 2는 본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈의 평면도,2 is a plan view of a carrier module of the test handler of the present invention;
도 3은 도 2에 도시된 래치의 폐쇄 상태를 나타낸 캐리어 모듈의 단면도,3 is a cross-sectional view of the carrier module showing a closed state of the latch shown in FIG.
도 4a 및 도 4b는 도 2에 도시된 버튼과 래치의 분리 확대 사시도,Figures 4a and 4b is an exploded perspective view of the button and latch shown in Figure 2,
도 5는 도 2에 도시된 래치의 개방 상태를 나타낸 캐리어 모듈의 단면도. 5 is a cross-sectional view of a carrier module showing an open state of the latch shown in FIG.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Description of the Related Art [0002]
210: 캐리어몸체 211: 공간부 210: carrier body 211: space part
212: 수용부 220: 버튼 212: receiving portion 220: button
221: 버튼몸체 222: 돌출부재 221: button body 222: protruding member
230: 가이드핀 240: 래치 230: guide pin 240: latch
241: 래치 고정핀 242: 래치몸체 241: latch fixing pin 242: latch body
250: 탄성부재250: elastic member
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