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KR101123080B1 - Carrier module for test handler - Google Patents

Carrier module for test handler

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Publication number
KR101123080B1
KR101123080B1 KR1020090023238A KR20090023238A KR101123080B1 KR 101123080 B1 KR101123080 B1 KR 101123080B1 KR 1020090023238 A KR1020090023238 A KR 1020090023238A KR 20090023238 A KR20090023238 A KR 20090023238A KR 101123080 B1 KR101123080 B1 KR 101123080B1
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KR
South Korea
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latch
guide
guide hole
button
carrier
Prior art date
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KR1020090023238A
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Korean (ko)
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Inventor
이상수
Original Assignee
에버테크노 주식회사
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Filing date
Publication date
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Publication of KR20100104669A publication Critical patent/KR20100104669A/en
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Abstract

본 발명은 반도체소자의 하부에 형성된 리드나 볼 등을 손상시키지 않으면서 정확하게 파지하고 해지할 수 있는 테스트 핸들러의 캐리어 모듈에 관한 것으로, 본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈은 반도체소자(P)를 수용하기 위한 공간부(211)가 형성되며 공간부(211)의 일측과 타측에 각각 수용부(212)가 형성되는 캐리어몸체(210)와; 캐리어몸체(210)의 수용부(212)에 각각 설치되는 다수개의 버튼(220)과; 버튼(220)에 각각 삽설되는 다수개의 가이드핀(230)과; 가이드핀(230)이 삽설되는 제1가이드홀(240a)이 제1방향(X)으로 형성되며 제1방향(X)과 다른 제2방향(Y)으로 제1가이드홀(240a)과 연통되도록 제2가이드홀(240b)이 형성되는 다수개의 래치(240)와; 수용부(212)와 다수개의 버튼(220)에 각각 연결되어 버튼(220)으로 탄성력을 제공하는 다수개의 탄성부재(250)로 구성되며, 가이드핀(230)은 버튼(220)의 이동에 의해 제1가이드홀(240a)과 제2가이드홀(240b)을 따라 이동하여 래치(240)를 개방/폐쇄하는 것을 특징으로 한다. The present invention relates to a carrier module of a test handler which can be accurately grasped and terminated without damaging a lead or ball formed in the lower part of the semiconductor device. The carrier module of the test handler of the present invention accommodates the semiconductor device (P). A carrier body 210 having a space portion 211 formed therein and a receiving portion 212 formed at one side and the other side of the space portion 211; A plurality of buttons 220 respectively installed at the receiving portions 212 of the carrier body 210; A plurality of guide pins 230 respectively inserted into the buttons 220; The first guide hole 240a into which the guide pin 230 is inserted is formed in the first direction X and communicates with the first guide hole 240a in a second direction Y different from the first direction X. A plurality of latches 240 in which second guide holes 240b are formed; It is composed of a plurality of elastic members 250 are connected to the receiving portion 212 and a plurality of buttons 220 to provide an elastic force to the button 220, the guide pin 230 by the movement of the button 220 The latch 240 is opened / closed by moving along the first guide hole 240a and the second guide hole 240b.

핸들러, 캐리어, 모듈, 래치, 핀, 가이드, 홀 Handler, Carrier, Module, Latch, Pin, Guide, Hole

Description

테스트 핸들러의 캐리어 모듈{Carrier module for test handler}Carrier module for test handler

본 발명은 테스트 핸들러의 캐리어 모듈에 관한 것으로, 더 상세하게는 반도체소자의 하부에 형성된 리드나 볼 등을 손상시키지 않으면서 정확하게 파지하고 해지할 수 있는 테스트 핸들러의 캐리어 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a carrier module of a test handler, and more particularly, to a carrier module of a test handler capable of accurately grasping and releasing without damaging a lead or a ball formed in a lower portion of a semiconductor device.

반도체소자의 제조가 완료되면 테스트 핸들러를 이용하여 테스트하고, 테스트 결과에 따라 반도체소자를 양품과 불량품으로 선별한다. 반도체소자는 테스트 핸들를 이용하여 테스트 시 트레이에 설치되는 다수개의 캐리어 모듈에 장착된다.When manufacturing of the semiconductor device is completed, the test is performed using a test handler, and the semiconductor device is selected as good or defective according to the test result. The semiconductor device is mounted to a plurality of carrier modules installed in a tray during a test by using a test handle.

반도체소자를 장착하는 종래의 캐리어 모듈을 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다. Referring to the accompanying drawings, a conventional carrier module for mounting a semiconductor device is as follows.

도 1a는 종래의 테스트 핸들러에 사용되는 캐리어 모듈을 보여주는 사시도이고, 도 1b 내지 도 1d는 종래의 테스트 핸들러에 사용되는 다양한 종류의 소자를 고정시키는 상태를 보여주는 일부 사시도이다.1A is a perspective view illustrating a carrier module used in a conventional test handler, and FIGS. 1B to 1D are partial perspective views illustrating a state of fixing various kinds of devices used in the conventional test handler.

트레이(11)는 사각형의 프레임(12)에 다수의 상(소정의 틀 모양)(13)이 평행하게 등간격으로 형성되어 있고, 이 상(13)은 양측 상(13)과 대향하는 프레임(12)의 시작부(12a, 12b)에 각각 다수의 부착편(14)에 따라 각각 캐리어 수납부(15)에 각각 1개의 아이씨 캐리어(16)가 수납되어 있으며, 그 아이씨 캐리어(16)는 각각 2개씩 부착편(14)에 패스너(17)에 의해 고정되어 있다.In the tray 11, a plurality of images (predetermined frame shapes) 13 are formed in parallel at equal intervals in a rectangular frame 12, and the images 13 are formed in a frame facing the two images 13 ( One IC carrier 16 is housed in the carrier housing 15, respectively, in accordance with the plurality of attachment pieces 14 at the start portions 12a and 12b of 12, respectively. It is fixed to the attachment piece 14 by two by the fastener 17. As shown in FIG.

각각의 아이씨 캐리어(16)의 외형은 동일 형상으로 일정한 간격을 두고 이루어져 있고, 아이씨 캐리어(16)에 반도체소자(18)가 수납된다. 그 아이씨 캐리어(16)의 아이씨 수용부(19)의 형상은 이렇게 수용되는 반도체소자(18)의 형상에 대응하여 결정되게 된다. 여기서, 아이씨 수용부(19)는 사각형 요부가 형성되어 있다. 아이씨 캐리어(16)의 양단부에는 각각 부착편(14)의 부착용 구멍(21)과, 안내핀 삽입공(22)이 형성되어 있다.The outer shape of each of the IC carriers 16 is formed in the same shape at regular intervals, and the semiconductor element 18 is accommodated in the IC carrier 16. The shape of the IC receiving portion 19 of the IC carrier 16 is determined corresponding to the shape of the semiconductor element 18 accommodated in this way. Here, the IC accommodating portion 19 is formed with a rectangular recess. The both ends of the IC carrier 16 are provided with the attachment hole 21 and the guide pin insertion hole 22 of the attachment piece 14, respectively.

아이씨 캐리어(16)가 취부된 트레이(11)는 아이씨 캐리어 이송장치의 가운데를 지나가고 그 중간에 반도체소자(18)를 아이씨 캐리어(16)에 수용 취부시키고, 다음 소정의 시험온도를 인가하게 된다. 그 후, 그 반도체소자에 대응하는 시험이 행해지고, 그 시험 결과에 따라 반도체소자(18)를 취출용 트레이에 수용시킨다.The tray 11, on which the IC carrier 16 is mounted, passes through the center of the IC carrier transfer device, receives the semiconductor element 18 in the IC carrier 16 in the middle thereof, and then applies a predetermined test temperature. Thereafter, a test corresponding to the semiconductor element is performed, and the semiconductor element 18 is accommodated in the takeout tray in accordance with the test result.

아이씨 캐리어(16)내의 반도체소자(18)의 위치에서 이탈되지 않도록 하고, 종래에 있어서 도 1b 및 도1d에 도시된 바와 같이 하나의 대응된 래치(23)가 아이씨 캐리어(16)의 바디(27)에 설치되어 있다.In order not to be displaced from the position of the semiconductor element 18 in the IC carrier 16, one corresponding latch 23 is conventionally shown in Figs. 1B and 1D, and the body 27 of the IC carrier 16 ) Is installed.

종래의 래치(23)는 아이씨 수용부(19)의 하부로부터 대응된 래치(23)가 상방향 바디(27)와 일체로 돌출되고, 아이씨 캐리어(16)의 바디(27)를 구성하는 수지재의 탄성을 이용하고, 아이씨 소자(18)를 아이씨 수용부(19)에 수용하며, 또한, 아이씨 수용부(19)로부터 취출되고, 반도체소자(18)를 흡착하는 아이씨 흡착패드(24)와 동시에 이동하는 래치 해제기구(25)에 2개의 래치(23)간격을 넓게 설치한 후, 반도체소자(18)를 수용하거나 취출한다. 래치 해제기구(25)를 래치(23)로부터 분리하고, 래치(23)는 상기 탄성력에 의해 원상태로 복귀하게 되며, 수용된 반도체소자(18)의 상부를 양측으로 고정시킨 상태를 나타낸다.In the conventional latch 23, the latch 23 corresponding to the lower portion of the IC accommodating portion 19 protrudes integrally with the upward body 27, and is made of a resin material constituting the body 27 of the IC carrier 16. By using elasticity, the IC element 18 is accommodated in the IC accommodating part 19, and it is taken out from the IC accommodating part 19, and moves simultaneously with the IC adsorption pad 24 which adsorbs the semiconductor element 18. FIG. After the two latches 23 have a wide interval in the latch release mechanism 25, the semiconductor element 18 is accommodated or taken out. The latch release mechanism 25 is detached from the latch 23, and the latch 23 returns to its original state by the elastic force, and the upper part of the semiconductor device 18 accommodated is fixed to both sides.

종래의 다른 실시예인 도 1d에 도시되어 있는 바와 같이, 아이씨 수용부(19) 측벽에 대응하여 설치된 래치(23)의 일단이 일체로 형성되고, 수용된 반도체소자(18)의 상부를 양측면에 그 단부가 움직일 수 있도록 대향하여 설치하고, 또한 반도체소자(18)의 상부와 대향하는 제어편(26)이 구비되어 있다.As shown in FIG. 1D, another conventional embodiment, one end of the latch 23 provided corresponding to the side wall of the IC housing portion 19 is integrally formed, and the upper ends of the semiconductor devices 18 housed on both sides thereof. The control piece 26 which faces the upper part of the semiconductor element 18, and which is provided so that it may move is provided.

상기 종래의 캐리어 모듈은 다양한 두께와 크기의 반도체소자에 대하여는 각각의 반도체소자에 적합한 별도의 캐리어 모듈이 필요하므로 각 반도체소자에 적합한 캐리어 모듈을 교체하기 위하여 많은 시간이 소요되는 문제점이 있었다.Since the conventional carrier module requires a separate carrier module suitable for each semiconductor device for semiconductor devices having various thicknesses and sizes, there is a problem in that it takes a long time to replace a carrier module suitable for each semiconductor device.

그리고, 반도체소자와 래치간의 접촉 시 래치에 의해 반도체소자가 긁힘 또는 파손 등이 유발되어 제품의 신뢰성을 저하시키는 문제점도 있었다. In addition, when the contact between the semiconductor device and the latch, the semiconductor device is scratched or damaged due to the latch, thereby lowering the reliability of the product.

본 발명의 목적은 이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 다양한 두께와 크기를 갖는 반도체소자에 적합하도록 구성하여 반도체소자의 크기에 따른 캐리어 모듈의 교체시간을 줄일 수 있는 테스트 핸들러의 캐리어 모듈을 제공하는 점에 있다.An object of the present invention is to solve the above problems, it is configured to be suitable for a semiconductor device having a variety of thickness and size to the carrier module of the test handler that can reduce the replacement time of the carrier module according to the size of the semiconductor device The point is to provide.

본 발명의 다른 목적은 가이드핀이 삽설되는 제1가이드홀과 제2가이드홀이 서로 다른 방향으로 형성됨으로써 래치가 자유낙하 되지 않도록 하여 래치의 자유 낙하에 의한 반도체소자의 하부에 형성된 리드나 볼 등의 손상을 방지하며 정확하게 파지할 수 있는 테스트 핸들러의 캐리어 모듈을 제공하는 점에 있다.Another object of the present invention is that the first guide hole and the second guide hole in which the guide pin is inserted are formed in different directions so that the latch does not fall freely so that the lead or the ball formed on the lower portion of the semiconductor device due to the free fall of the latch. It is to provide a carrier module of the test handler which can prevent the damage and can be gripped accurately.

본 발명의 또 다른 목적은 래치에 역전 방지턱을 형성하여 래치의 역전을 방지하여 래치의 안정된 개방 및 해제가 용이한 테스트 핸들러의 캐리어 모듈을 제공하는 점에 있다.It is still another object of the present invention to provide a carrier module of a test handler in which a latch of the latch is formed on the latch to prevent the latch from being reversed so that the latch can be easily opened and released.

본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈은 반도체소자를 수용하기 위한 공간부가 형성되며 공간부의 일측과 타측에 각각 수용부가 형성되는 캐리어몸체와; 캐리어몸체의 수용부에 각각 설치되는 다수개의 버튼(button)과; 버튼에 각각 삽설되는 다수개의 가이드핀(guide pin)과; 가이드핀이 삽설되는 제1가이드홀이 제1방향으로 형성되며 제1방향과 다른 제2방향으로 제1가이드홀과 연통되도록 제2가이드홀이 형성되는 다수개의 래치(latch)와; 수용부와 다수개의 버튼에 각각 연결되어 버튼으로 탄성력을 제공하는 다수개의 탄성부재로 구성되며, 가이드핀은 버튼의 이동에 의해 제1가이드홀과 제2가이드홀을 따라 이동하여 래치를 개방/폐쇄함을 특징으로 한다.The carrier module of the test handler of the present invention includes a carrier body having a space for accommodating a semiconductor device, the receiving body being formed at one side and the other side of the space; A plurality of buttons each installed at a receiving portion of the carrier body; A plurality of guide pins each inserted into the button; A plurality of latches in which a first guide hole into which the guide pin is inserted is formed in a first direction and a second guide hole is formed to communicate with the first guide hole in a second direction different from the first direction; Consists of a plurality of elastic members connected to the receiving portion and the plurality of buttons, respectively, to provide elastic force to the button, the guide pin is moved along the first guide hole and the second guide hole by the movement of the button to open / close the latch It is characterized by.

본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈은 다양한 두께와 크기를 갖는 반도체소자를 용이하게 체결하여 테스트 후 해제할 수 있으므로 전체적인 작업시간이 절약되고 이로 인해 작업효율이 상승되는 이점이 있다.Since the carrier module of the test handler of the present invention can be easily released after testing by fastening semiconductor devices having various thicknesses and sizes, the overall work time is saved and the work efficiency is increased.

또한, 테스트 핸들러의 캐리어 모듈은 가이드핀이 삽설되는 제1가이드홀과 제2가이드홀을 서로 다른 방향으로 형성되도록 함으로써 래치가 자유낙하 되지 않도록 함으로써 래치의 낙하에 의해 반도체소자의 하부에 형성된 리드나 볼 등을 손상시키지 않으면서 정확하게 파지할 수 있는 이점이 있다.In addition, the carrier module of the test handler is formed by forming the first guide hole and the second guide hole in which the guide pins are inserted in different directions so that the latch does not fall freely. There is an advantage that can be held accurately without damaging the ball.

그리고, 본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈은 래치의 구조와 버튼의 구조를 변경하여 반도체 소자를 안정되게 파지하고 해지할 수 있으므로 반도체 소자의 파손을 줄일 수 있고 아울러 원가절감을 할 수 있는 이점이 있다. In addition, since the carrier module of the test handler of the present invention can stably hold and release the semiconductor device by changing the structure of the latch and the button structure, damage of the semiconductor device can be reduced and cost can be reduced. .

(실시예)(Example)

본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.An embodiment of a carrier module of the test handler of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈의 평면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 래치의 폐쇄 상태를 나타낸 캐리어 모듈의 단면도이며, 특히 도 3은 도 2에 도시된 캐리어 모듈의 A-A선 단면도이다.2 is a plan view of the carrier module of the test handler of the present invention, Figure 3 is a cross-sectional view of the carrier module showing the closed state of the latch shown in Figure 2, in particular Figure 3 is a cross-sectional view taken along line AA of the carrier module shown in FIG. to be.

도 2 및 도 3에서와 같이 본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈은 캐리어몸체(210), 다수개의 버튼(220), 다수개의 가이드핀(230), 다수개의 래치(240) 및 다수개의 탄성부재(250)로 구성된다. 2 and 3, the carrier module of the test handler of the present invention includes a carrier body 210, a plurality of buttons 220, a plurality of guide pins 230, a plurality of latches 240 and a plurality of elastic members ( 250).

캐리어몸체(210)는 본 발명의 캐리어 모듈을 전반적으로 지지하기 위한 것으로 반도체소자(P)를 수용하기 위한 공간부(211)가 형성되며, 공간부(211)의 일측과 타측에 각각 수용부(212)가 형성된다. 다수개의 버튼(220)은 각각 캐리어몸체(210)의 수용부(212)에 설치되며, 다수개의 가이드핀(230)은 각각 버튼(220)에 삽설된 다. 이러한 가이드핀(230)은 버튼(220)의 이동에 의해 제1가이드홀(240a)과 제2가이드홀(240b)을 따라 이동하여 래치(240)를 개방/폐쇄한다. 다수개의 래치(240)는 각각 가이드핀(230)이 삽설되는 제1가이드홀(240a)이 제1방향(X)으로 형성되며 제1방향(X)과 다른 제2방향(Y)으로 제1가이드홀(240a)과 연통되도록 제2가이드홀(240b)이 형성된다. 다수개의 탄성부재(250)는 각각 수용부(212)와 다수개의 버튼(220)에 연결되어 버튼(220)으로 탄성력을 제공한다.Carrier body 210 is to support the overall carrier module of the present invention is formed with a space portion 211 for accommodating the semiconductor device (P), each receiving portion (one side and the other side of the space portion 211 ( 212) is formed. A plurality of buttons 220 are each installed in the receiving portion 212 of the carrier body 210, a plurality of guide pins 230 are each inserted into the button 220. The guide pin 230 moves along the first guide hole 240a and the second guide hole 240b by the movement of the button 220 to open / close the latch 240. Each of the plurality of latches 240 has a first guide hole 240a in which the guide pin 230 is inserted in a first direction X, and has a first direction in a second direction Y different from the first direction X. The second guide hole 240b is formed to communicate with the guide hole 240a. The plurality of elastic members 250 are respectively connected to the receiving portion 212 and the plurality of buttons 220 to provide an elastic force to the button 220.

상기 구성을 갖는 본 발명의 캐리어 모듈 구성을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the carrier module configuration of the present invention having the above configuration in more detail as follows.

캐리어몸체(210)는 그 중앙에 반도체소자(P)를 수용하기 위한 공간부(211)가 형성되며, 공간부(211)의 양측 즉, 일측과 타측에 각각 수용부(212)가 형성된다. 공간부(211)는 주로 사각 형태의 반도체소자(P)를 수용하기 위하여 직사각형의 형태로 형성하는 것이 바람직하다. 공간부(211)의 양측에 형성된 수용부(212)는 후술되는 버튼(220), 가이드핀(230), 래치(240) 및 탄성부재(250)가 각각 설치된다. The carrier body 210 has a space 211 for accommodating the semiconductor device P in the center thereof, and the housing 212 is formed at both sides, that is, one side and the other side of the space 211. The space 211 is preferably formed in a rectangular shape to accommodate the semiconductor device P having a rectangular shape. Receiving portions 212 formed on both sides of the space portion 211 is provided with a button 220, a guide pin 230, a latch 240 and an elastic member 250 to be described later.

다수개의 버튼(220)은 각각 도 3, 도 4a 및 도 4b에서와 같이 버튼몸체(221)와 다수개의 돌출부재(222)로 구성된다. 여기서, 도 4a는 버튼과 래치의 분리 확대 사시도이며, 도 4b는 도 4a에 도시된 버튼의 다른 실시예를 나타낸 사시도이다. The plurality of buttons 220 is composed of a button body 221 and a plurality of protruding members 222, as shown in Figs. 3, 4A and 4B, respectively. 4A is an enlarged and exploded perspective view of the button and the latch, and FIG. 4B is a perspective view showing another embodiment of the button shown in FIG. 4A.

버튼몸체(221)는 캐리어몸체(210)의 수용부(212)에 설치되고, 상부에 탄성부재(250)를 연결하기 위한 홈(221a)이 형성되며, 하부에 삽입홈(221b)이 형성된다. 다수개의 돌출부재(222)는 버튼몸체(221)의 하부에 마주대하도록 형성된다. 즉, 버튼몸체(221)의 하부에 형성된 삽입홈(221b)의 양측에 위치되도록 형성된다. 이러한 다수개의 돌출부재(222)는 각각 버튼몸체(221)의 하부에 일체로 형성되고, 가이드핀(230)을 끼우기 위한 고정홀(222a)이 형성된다. 다수개의 돌출부재(222) 사이에는 래치(240)가 가이드핀(230)에 끼워져 삽설되며, 그 상부 즉, 버튼몸체(221)의 상부에는 한 개의 홈(221a)을 형성하거나 다수개의 홈(221a)을 형성할 수 있다. 한 개의 홈(221a)이 형성되는 경우에 다수개의 탄성부재(250)는 각각 도 4a에서와 같이 한 개의 스프링이 적용되어 연결되는 반면에 다수개의 홈(221a)이 형성되는 경우에는 도 4b에서와 같이 다수개의 탄성부재(250)는 각각 다수개의 스프링을 이루어지며, 다수개의 스프링은 각각 다수개의 홈(221a)에 연결된다. The button body 221 is installed in the receiving portion 212 of the carrier body 210, the groove 221a for connecting the elastic member 250 is formed on the upper portion, the insertion groove 221b is formed on the lower portion. . The plurality of protruding members 222 are formed to face the lower portion of the button body 221. That is, it is formed to be located on both sides of the insertion groove (221b) formed in the lower portion of the button body 221. Each of the plurality of protruding members 222 is integrally formed at the lower portion of the button body 221 and a fixing hole 222a for fitting the guide pin 230 is formed. The latch 240 is inserted into and inserted into the guide pin 230 between the plurality of protruding members 222, and one groove 221a is formed on the upper part of the upper part of the button body 221 or the plurality of grooves 221a are inserted therein. ) Can be formed. In the case where one groove 221a is formed, the plurality of elastic members 250 are connected to each other by applying one spring as shown in FIG. 4A, whereas in the case where the plurality of grooves 221a are formed, as shown in FIG. 4B. As described above, the plurality of elastic members 250 are each formed of a plurality of springs, and the plurality of springs are respectively connected to the plurality of grooves 221a.

버튼몸체(221)에 다수개의 스프링이 연결되는 경우에 한 개의 스프링이만 연결되는 경우 보다 큰 탄성력을 제공할 수 있게 된다. 즉, 탄성부재(250)의 탄성력에 의해 버튼(220)을 하강시키는 경우에 한 개의 스프링 보다 다수개의 스프링을 이용하는 경우에 보다 큰 탄성력을 제공함으로 래치(230)가 반도체소자(P)를 보다 견고하게 캐리어몸체(210)의 공간부(211)에 파지할 수 있게 된다.When a plurality of springs are connected to the button body 221, it is possible to provide greater elastic force when only one spring is connected. That is, when the button 220 is lowered by the elastic force of the elastic member 250, the latch 230 provides more solidity to the semiconductor device P by providing a greater elastic force when a plurality of springs are used. It is possible to grip the space portion 211 of the carrier body 210.

다수개의 래치(240)는 도 3, 도 4a 및 도 4b에서와 같이 제1방향(X)으로 제1가이드홀(240a)이 형성되고 제1방향(X)과 다른 제2방향(Y)과 제2가이드홀(240b)이 제1가이드홀(240a)과 연통되도록 형성되며, 제1방향(X)과 제2방향(Y)은 서로 60 내지 120도(degree) 각도(θ)로 교차된다. 이러한 다수개의 래치(240)는 각각 래치 고정핀(241)과 래치몸체(242)로 구성된다. As shown in FIGS. 3, 4A, and 4B, the plurality of latches 240 have a first guide hole 240a formed in the first direction X, and a second direction Y different from the first direction X. The second guide hole 240b is formed to communicate with the first guide hole 240a, and the first direction X and the second direction Y cross each other at an angle θ of 60 to 120 degrees (degree). . Each of the plurality of latches 240 includes a latch fixing pin 241 and a latch body 242.

래치 고정핀(241)은 래치몸체의 수용부(212)에 고정 설치되고, 래치몸체(242)는 래치 고정핀(241)에 삽설되어 회동되도록 설치되며, 제1방향(X)으로 제1 가이드홀(240a)이 형성되고 제1방향(X)과 다른 제2방향(Y)과 제2가이드홀(240b)이 제1가이드홀(240a)과 연통되도록 형성된다. 이와 같이 래치몸체(242)에 형성된 제1가이드홀(240a)과 제2가이드홀(240b)이 서로 다른 방향(X,Y)으로 형성됨으로 탄성부재(250)에 의해 버튼(220)의 이동 시 가이드핀(230)이 제1가이드홀(240a)과 제2가이드홀(240b)에 가이드되어 이동됨에 따라 래치(240)가 자유낙하 되지 않는다. 이로 인해 래치(240)는 탄성부재(250)의 탄성력에 의해 자유낙하 되지 않은 상태에서 반소체소자(P)의 하부에 형성된 리드나 볼(도시 않음)의 손상 없이 안정되게 파지할 수 있게 된다. The latch fixing pin 241 is fixedly installed on the receiving portion 212 of the latch body, and the latch body 242 is installed to be inserted into the latch fixing pin 241 and rotated, and the first guide in the first direction (X). The hole 240a is formed, and the second direction Y and the second guide hole 240b different from the first direction X are formed to communicate with the first guide hole 240a. As such, when the first guide hole 240a and the second guide hole 240b formed in the latch body 242 are formed in different directions (X, Y), the button 220 is moved by the elastic member 250. As the guide pin 230 is guided and moved in the first guide hole 240a and the second guide hole 240b, the latch 240 does not fall freely. Accordingly, the latch 240 can be stably gripped without damaging a lead or a ball (not shown) formed in the lower portion of the semi-elementary body P in a state in which the latch 240 is not freely dropped by the elastic force of the elastic member 250.

래치 고정핀(241)에 삽설되어 회동되는 래치몸체(242)는 가이드곡면(242a), 평탄면(242b) 및 역전 방지턱(242c)이 형성된다. 가이드곡면(242a)은 래치몸체(242)의 일측에 버튼(220)의 하부에 형성된 삽입홈(221b) 즉, 버튼몸체(221)에 형성된 삽입홈(221b)에 가이드되어 회동되도록 형성되며, 평탄면(242b)은 가이드곡면(242a)과 연장되도록 형성되어 버튼(220)의 하부에 형성된 삽입홈(221b)에 안착되도록 형성된다. 이러한 래치몸체(242)는 래치 고정핀(241)이 삽설되는 홀(242d)이 형성된다. The latch body 242 inserted into the latch fixing pin 241 and rotated is formed with a guide curved surface 242a, a flat surface 242b, and a reversing prevention jaw 242c. The guide curved surface 242a is formed to be rotated by being guided by the insertion groove 221b formed in the lower portion of the button 220 on one side of the latch body 242, that is, the insertion groove 221b formed in the button body 221. The surface 242b is formed to extend with the guide curved surface 242a and is formed to be seated in the insertion groove 221b formed at the bottom of the button 220. The latch body 242 has a hole 242d through which the latch fixing pin 241 is inserted.

역전 방지턱(242c)은 가이드곡면(242a)과 평탄면(242b) 사이에 래치(240)의 역전을 방지하기 위해 형성되며, 역전 방지턱(242c)의 높이(h1)는 래치몸체(242)의 하부 높이(h2) 보다 작게 형성된다. 여기서 방지턱(242c)의 높이(h1)는 0.3~0.4mm 이고, 하부 높이(h2)는 0.55~0.7mm가 바람직하지만, 방지턱(242c)의 높이(h1)는 0.4mm이고 하부 높이(h2)는 0.6mm를 적용하였다. The reversal prevention jaw 242c is formed between the guide curved surface 242a and the flat surface 242b to prevent the reversal of the latch 240, and the height h1 of the reversal prevention jaw 242c is lower than the latch body 242. It is formed smaller than the height h2. Here, the height h1 of the bump 242c is 0.3 to 0.4 mm, and the lower height h2 is preferably 0.55 to 0.7 mm, but the height h1 of the bump 242c is 0.4 mm and the lower height h2 is 0.6 mm was applied.

다수개의 탄성부재(250)는 각각 한 개의 스프링이 적용된다. 이러한 탄성부재(250)는 다수개의 스프링이 적용될 수 있다. 탄성부재(250)가 한 개의 스프링으로 이루어지는 경우에 한 개의 스프링이 버튼(220)에 연결되며, 탄성부재(250)가 다수개의 스프링 즉 2개의 스프링으로 이루어지는 경우에 각각은 버튼(220)에 연결되어 버튼(220)으로 탄성력을 제공한다. Each of the plurality of elastic members 250 is applied with one spring. The elastic member 250 may be a plurality of springs are applied. One spring is connected to the button 220 when the elastic member 250 is composed of one spring, and each spring is connected to the button 220 when the elastic member 250 is composed of a plurality of springs, that is, two springs. To provide elasticity to the button 220.

상기 구성을 갖는 본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈의 동작을 첨부된 도 3 내지 도 5를 참조하여 설명하기로 한다. An operation of the carrier module of the test handler of the present invention having the above configuration will be described with reference to FIGS. 3 to 5.

먼저, 도 3에서와 같이 다수개의 래치(240)가 반도체소자(P)를 파지하면 반도체소자(200)에 대하여 다수개의 래치(240)는 각각 제1방향(X)으로 거의 수평상태를 유지한 상태에서 파지하게 된다. 즉, 다수개의 래치(240)가 반도체소자(P)를 파지하게 되면, 래치(240)의 평탄면(242b)은 버튼(220)의 하부에 형성된 삽입홈(221b)에 밀착되게 삽입되고, 래치(240)의 역전방지턱(242c)이 버튼(220)에 의해 적절히 눌려지게 된다. 그리고, 버튼(220)은 버튼(220)의 상부에 설치된 탄성부재(250)에 의해 적절히 탄성력을 받도록 눌려지게 된다. First, as shown in FIG. 3, when the plurality of latches 240 hold the semiconductor device P, the plurality of latches 240 are substantially horizontal in the first direction X with respect to the semiconductor device 200. Gripping in the state. That is, when the plurality of latches 240 hold the semiconductor device P, the flat surface 242b of the latch 240 is inserted in close contact with the insertion groove 221b formed under the button 220, and the latches The reversal prevention jaw 242c of the 240 is appropriately pressed by the button 220. In addition, the button 220 is pressed to receive an appropriate elastic force by the elastic member 250 installed on the upper portion of the button 220.

래치(240)가 반도체소자(P)를 파지한 상태에서 버튼(220)의 하부를 구동원(도시 않음)이 도 5에서와 같이 화살표(a2) 방향으로 누르게 되면 가이드핀(230)은 제2가이드홀(240b)에 가이드되어 수직방향으로 이동하게 되며, 버튼(220)은 래치(24)를 누르는 힘을 해제하게 된다. 즉, 버튼(220)은 래치(240)의 역전방지턱(242c)을 이탈하게 되고, 래치(240)는 단지 반도체소자(P)의 표면에 접착된 상태가 된다. 버튼(220)이 역전방지턱(242c)을 이탈한 상태에서 버튼(220)을 연속적으 로 밀면 가이드핀(230)은 제2가이드홀(240b)에서 제1가이드홀(240a)로 이동되어 래치(240)를 밀게 된다. When the driving source (not shown) presses the lower portion of the button 220 in the direction of the arrow a2 as shown in FIG. 5 while the latch 240 holds the semiconductor device P, the guide pin 230 is connected to the second guide. Guided by the hole 240b to move in the vertical direction, the button 220 is to release the force for pressing the latch 24. That is, the button 220 leaves the inversion prevention step 242c of the latch 240, and the latch 240 is in a state of being adhered to the surface of the semiconductor device P only. When the button 220 continuously pushes the button 220 in the state where the button 220 is separated from the reversal prevention jaw 242c, the guide pin 230 is moved from the second guide hole 240b to the first guide hole 240a to latch. Push 240).

가이드핀(230)이 래치(240)를 밀면 래치(240)는 래치 고정핀(241)을 회전축으로 하여 시계방향으로 회전하게 되어 래치(240)의 가이드곡면(242a)이 버튼(220)의 하부와 접하게 된다. 가이드곡면(242a)이 버튼(220)의 하부와 접하게 된 상태에서 버튼(240)을 연속적으로 더 밀면 가이드곡면(242a)은 시계방향으로 더욱 회전되어 버튼(220)의 하부에 형성된 삽입홈(221b)으로 이동되고, 래치(240)는 도 5에서와 같이 시계방향으로 회전하여 반도체소자(P)의 파지를 완전하게 해제하게 된다. 이 상태에서 반도체소자(P)를 픽커(도시되지 않음)나 다른 흡착수단에 의해 캐리어몸체(210)의 공간부(211)에서 이탈시킬 수 있게 된다.When the guide pin 230 pushes the latch 240, the latch 240 is rotated clockwise by using the latch fixing pin 241 as the rotation axis, so that the guide curved surface 242a of the latch 240 is lower than the button 220. It comes in contact with. When the guide curve surface 242a is further pushed further in the state in which the button 240 is in contact with the lower portion of the button 220, the guide curved surface 242a is further rotated in the clockwise direction to the insertion groove 221b formed in the lower portion of the button 220 ), The latch 240 rotates clockwise as shown in FIG. 5 to completely release the grip of the semiconductor device P. Referring to FIG. In this state, the semiconductor device P can be separated from the space portion 211 of the carrier body 210 by a picker (not shown) or other adsorption means.

캐리어몸체(210)의 공간부(211)에서 새로운 반도체소자(P)가 수용되면 버튼(240)을 미는 힘을 해제하여 탄성부재(250)에 의해 버튼(240)이 도 3에 도시된 화살표(a1) 방향 즉, 수직방향으로 하강되도록 한다. 버튼(240)이 하강되면 가이드핀(230)은 제1가이드홀(240a)에 가이드되어 하강되어 래치(240)를 밀게 된다. 가이드핀(230)에 의해 래치(240)가 밀리면 래치(240)는 반시계방향으로 회전되어 래치(240)의 가이드곡면(242a)이 버튼(220)의 하부에 형성된 삽입홈(221b)로부터 이탈하게 되고, 가이드핀(230)은 버튼(240)과 연동되어 제1가이드홀(240a)에서 제2가이드홀(240b)로 이동하게 된다. When the new semiconductor device P is accommodated in the space portion 211 of the carrier body 210, the button 240 is released by the elastic member 250 by releasing a force pushing the button 240. a1) to descend in the vertical direction. When the button 240 is lowered, the guide pin 230 is guided to the first guide hole 240a and lowered to push the latch 240. When the latch 240 is pushed by the guide pin 230, the latch 240 is rotated counterclockwise so that the guide curved surface 242a of the latch 240 is separated from the insertion groove 221b formed at the bottom of the button 220. The guide pin 230 is interlocked with the button 240 to move from the first guide hole 240a to the second guide hole 240b.

가이드핀(230)이 도 3에서와 같이 제2가이드홀(240b)의 하측으로 완전하게 이동되면 버튼(220)의 하부는 래치(240)의 평탄면(242b)에 안착되어 회전을 멈추게 된다. 즉, 버튼(220)이 래치(240)의 역전 방지턱(242c)을 넘어 평탄면(242b)에 긴밀하게 안착되면서 래치(240)는 반도체소자(P)를 다시 파지하게 된다. When the guide pin 230 is completely moved to the lower side of the second guide hole 240b as shown in FIG. 3, the lower portion of the button 220 is seated on the flat surface 242b of the latch 240 to stop the rotation. That is, as the button 220 is seated closely on the flat surface 242b beyond the reversal prevention jaw 242c of the latch 240, the latch 240 grips the semiconductor device P again.

이와 같이 반도체소자(P)를 파지하기 위해 래치(240)를 반시계방향으로 회전 시 가이드핀(230)이 제1가이드홀(240a)과 제2가이드홀(240b)에 가이드되어 이동됨에 따라 래치(240)는 자유낙하 되지 않고 반도체소자(P)를 파지할 수 있게 된다. 이로 인해 래치(240)는 반도체소자(P)를 파지 시 반도체소자(P)로 가해지는 충격을 줄일 수 있게 되어 래치(240)에 의해 반도체소자(P)의 하부에 형성되는 리드나 볼(도시 않음) 등의 손상을 줄일 수 잇게 된다. As described above, when the latch 240 is rotated counterclockwise to grip the semiconductor device P, the guide pin 230 is guided and moved to the first guide hole 240a and the second guide hole 240b. The 240 may hold the semiconductor device P without free fall. As a result, the latch 240 may reduce the impact applied to the semiconductor device P when the semiconductor device P is held, thereby forming a lead or ball formed under the semiconductor device P by the latch 240. To reduce damage to the back.

본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈은 반도체 소자를 테스트하는 테스트 핸들러 분야에 적용되고, 아울러 반도체 소자나 기타 부품을 파지(그립)하는 반도체 장치분야에 널리 적용가능하다.The carrier module of the test handler of the present invention is applied to the field of test handlers for testing semiconductor devices, and is also widely applicable to the field of semiconductor devices for holding (grips) semiconductor devices or other components.

도 1a 내지 도 1d는 종래의 캐리어 모듈을 나타낸 단면도.1A to 1D are cross-sectional views showing a conventional carrier module.

도 2는 본 발명의 테스트 핸들러의 캐리어 모듈의 평면도,2 is a plan view of a carrier module of the test handler of the present invention;

도 3은 도 2에 도시된 래치의 폐쇄 상태를 나타낸 캐리어 모듈의 단면도,3 is a cross-sectional view of the carrier module showing a closed state of the latch shown in FIG.

도 4a 및 도 4b는 도 2에 도시된 버튼과 래치의 분리 확대 사시도,Figures 4a and 4b is an exploded perspective view of the button and latch shown in Figure 2,

도 5는 도 2에 도시된 래치의 개방 상태를 나타낸 캐리어 모듈의 단면도. 5 is a cross-sectional view of a carrier module showing an open state of the latch shown in FIG.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Description of the Related Art [0002]

210: 캐리어몸체 211: 공간부 210: carrier body 211: space part

212: 수용부 220: 버튼 212: receiving portion 220: button

221: 버튼몸체 222: 돌출부재 221: button body 222: protruding member

230: 가이드핀 240: 래치 230: guide pin 240: latch

241: 래치 고정핀 242: 래치몸체 241: latch fixing pin 242: latch body

250: 탄성부재250: elastic member

Claims (10)

반도체소자를 수용하기 위한 공간부가 형성되며 상기 공간부의 일측과 타측에 각각 수용부가 형성되는 캐리어몸체와, 상기 캐리어몸체의 수용부에 각각 설치되는 다수개의 버튼과, 상기 버튼에 각각 삽설되는 다수개의 가이드핀과,상기 가이드핀이 삽설되는 제1가이드홀이 제1방향으로 형성되며 제1방향과 다른 제2방향으로 제1가이드홀과 연통되도록 제2가이드홀이 형성되는 다수개의 래치와, 상기 수용부와 다수개의 버튼에 각각 연결되어 버튼으로 탄성력을 제공하는 탄성부재로 구성되는 테스트 핸들러의 캐리어 모듈에 있어서, A space for accommodating a semiconductor device, the carrier body having a receiving portion formed on one side and the other side of the space portion, a plurality of buttons respectively provided on the receiving portion of the carrier body, and a plurality of guides inserted in the buttons, respectively. A plurality of latches having a first guide hole in which the guide pin is inserted, the second guide hole being formed in a first direction and communicating with the first guide hole in a second direction different from the first direction; In the carrier module of the test handler consisting of an elastic member connected to the plurality of buttons and each of which provides an elastic force to the button, 상기 다수개의 버튼은 각각 캐리어몸체의 수용부에 설치되고 상부에 탄성부재를 연결하기 위한 홈이 형성되며 하부에 삽입홈이 형성되는 버튼몸체와 상기 버튼몸체의 하부에 마주대하도록 형성되는 다수개의 돌출부재로 구성되며, 상기 다수개의 돌출부재는 각각 가이드핀을 끼우기 위한 고정홀이 형성되고, 다수개의 돌출부재 사이에는 래치가 가이드핀에 끼워져 삽설되며,The plurality of buttons are each installed in the receiving portion of the carrier body and a groove for connecting the elastic member is formed in the upper portion and a plurality of protrusions formed to face the lower body of the button body and the insertion groove is formed in the lower portion It is composed of a member, each of the plurality of protruding member is formed with a fixing hole for fitting the guide pin, the latch is inserted into the guide pin between the plurality of protruding member is inserted, 상기 다수개의 래치는 각각 래치몸체의 수용부에 고정 설치되는 래치 고정핀과; 상기 래치 고정핀에 삽설되어 회동되도록 설치되며 제1방향으로 제1가이드홀이 형성되고 제1방향과 다른 제2방향과 제2가이드홀이 제1가이드홀과 연통되도록 형성되는 래치몸체로 구성되며, 상기 래치몸체는 탄성부재에 의해 버튼의 이동 시 가이드핀이 제1가이드홀과 상기 제2가이드홀에 가이드되어 이동됨에 따라 자유낙하 되지 않도록 회동되지 않으며,The plurality of latches and the latch fixing pin is fixed to each of the receiving portion of the latch body; It is inserted into the latch fixing pin is installed so as to rotate, the first guide hole is formed in the first direction and the second body and the second direction and the second guide hole different from the first direction formed of the latch body formed in communication with the first guide hole The latch body is not rotated so that the guide pin is guided to the first guide hole and the second guide hole by the elastic member so that the latch body does not fall freely. 상기 래치몸체는 일측에 버튼에 형성된 다수개의 돌출부재 사이의 버튼몸체에 형성된 삽입홈에 가이드되어 회동되는 가이드곡면이 형성되고, 상기 가이드곡면과 연장되도록 형성되어 다수개의 돌출부재 사이의 버튼몸체에 형성된 삽입홈에 안착되는 평탄면이 형성되며, 상기 가이드곡면과 평탄면 사이에 래치의 역전을 방지하기 위한 역전 방지턱이 형성되며, 상기 역전 방지턱의 높이는 래치몸체의 하부 높이 보다 작게 형성되고, The latch body has a guide curved surface that is guided by the insertion groove formed in the button body between the plurality of protruding members formed on the button on one side, is formed to extend to the guide curved surface formed on the button body between the plurality of protruding members A flat surface seated in the insertion groove is formed, and a reverse prevention jaw is formed between the guide curved surface and the flat surface to prevent reversal of the latch, and the height of the reverse prevention jaw is formed smaller than the lower height of the latch body. 상기 가이드핀은 상기 버튼의 이동에 의해 상기 제1가이드홀과 제2가이드홀을 따라 이동하여 상기 래치를 개방/폐쇄함을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 캐리어 모듈.The guide pin is a carrier module of the test handler, characterized in that for moving the button along the first guide hole and the second guide hole to open / close the latch. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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