KR101121381B1

KR101121381B1 - 점착테이프 절단방법 및 점착테이프 절단장치

Info

Publication number: KR101121381B1
Application number: KR1020040090278A
Authority: KR
Inventors: 마사유키 야마모토
Original assignee: 닛토덴코 가부시키가이샤
Priority date: 2003-11-28
Filing date: 2004-11-08
Publication date: 2012-03-09
Also published as: KR20050052340A; US20050115666A1; TWI323695B; SG112090A1; US7430950B2; JP2005159243A; CN100459092C; TW200531811A; CN1622307A; JP4472316B2

Abstract

본 발명은, 점착테이프를 원형으로 절단하는 점착테이프의 절단방법 및 절단장치에 관한 것으로서, 나이프 모양이나 둥근 칼날모양의 날이어도, 절단시작 부위와 절단종료 부위로 칼날에 의한 절단궤적이 일치하도록 절단할 수 있는 점착테이프의 절단방법 및 절단장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

이를 위하여 본 발명은, 임의의 크기의 원의 원주 위에서 칼날을 주회시켜, 점착테이프를 소정크기의 원형상으로 절단하는 절단방법으로서, 칼날을 원주의 주회 방향의 내주쪽을 향하여 주회시켜, 칼날에 의한 절단궤적을 절단시작 부위와 절단종료 부위에서 일치시키는 것을 특징으로 한다.

점착테이프, 절단방법, 절단장치, 절단궤적, 각도조정기구

Description

점착테이프 절단방법 및 점착테이프 절단장치{METHOD AND APPARATUS FOR CUTTING ADHESIVE TAPE}

도 1은, 본 발명에 의한 점착테이프 절단장치의 요부(要部)를 나타내는 측면개략도,

도 2는, 본 발명에 의한 점착테이프 절단장치의 요부를 나타내는 정면개략도,

도 3은, 본 발명에 의한 점착테이프 절단장치의 요부를 나타내는 평면개략도이다.

본 발명은, 점착테이프를 원형으로 절단하는 점착테이프의 절단방법 및 절단장치에 관한 것이고, 특히, 반도체 웨이퍼를 다이싱할 때에 마운트하는 링 프레임에 접착된 점착테이프의 절단방법 및 절단장치에 관한 것이다.

일반적으로, 패턴형성처리가 끝난 반도체 웨이퍼(이하, 단순히 「웨이퍼」라고 한다)는, 미리 웨이퍼 표면에 표면 보호테이프를 접착하는 동시에, 웨이퍼 외주로부터 밀려 나온 표면 보호테이프를 웨이퍼 외주테두리에 따라 오려내고, 웨이퍼 표면전체가 표면 보호테이프로 보호된 상태에서 웨이퍼 뒷면을 위쪽으로 하여 웨이퍼 뒷면 연마처리가 행하여진다. 그 후, 웨이퍼 뒷면 연마처리가 완료한 웨이퍼는, 소위 다이싱이라고 불리는 칩으로의 절단공정을 위해, 다이싱용의 점착테이프를 웨이퍼 뒷면에 접착하여 링 프레임과 일체화된다. 이 때, 점착테이프는, 링 프레임에 접착된 후, 링 프레임에 접착된 점착테이프에 칼날을 접촉시켜서 링 프레임의 중심을 기점으로하여 1 회전시킴으로써 원형으로 절단된다(예컨대, 일본국 특개평11-3876호 공보참조).

그러나, 일본국 특개평11-3876호 공보에도 기재되어 있는 바와 같이, 다이싱용의 점착테이프의 절단은, 칼날을 링 프레임에 밀어 붙이면서 되기 때문에, 링 프레임면 위에 칼날에 의한 절단궤적이 남게 된다. 이 때문에, 링 프레임이, 예컨대, 금속제나 수지제이여도, 되풀이하여 사용하면, 절단시에, 먼저 절단했을 때에 형성된 칼날의 절단궤적에 칼날이 들어가 버린다. 그 결과, 칼날의 진로가 강제적으로 변경되어서 절단시작 부위와 절단종료 부위가 일치하지 않는 경우가 있다. 이러한 경우, 점착테이프는 수염상으로 찌꺼기가 남는 것으로 된다. 상기 찌꺼기로 남은 점착테이프가 겹치는 것에 의해, 그 부위에 있어서, 점착테이프의 두께가 두꺼워지고, 뒤의, 예컨대, 웨이퍼 표면의 보호테이프의 박리처리나, 다이싱처리 등의 웨이퍼 가공처리공정에서 장해가 되는 문제가 있다.

그런데, 일본국 특개평11-3876호 공보에 기재된 것은, 점착테이프를 절단하는 칼날로서 바늘모양체의 것을 사용하고, 링 프레임에 절단궤적이 남기 어렵게 하고, 링 프레임을 복수회에 걸쳐 사용할 수 있게 한 것이다. 그러나, 최근, 웨이퍼의 대구경화(大口徑化) 및 살두께의 박육화(薄肉化)에 따라, 다이싱용의 점착테이프의 살두께가 두꺼워지는 동시에, 점착테이프의 강성이 높아지는 경향에 있다. 이것 때문에, 일본국 특개평11-3876호 공보에 기재된 것과 같이 , 바늘모양체의 칼날의 경우는, 절단시작 부위와 절단종료 부위를 일치시키도록 절단하는 것이 곤란하게 되어 있다. 또한, 종래부터 사용되고 있는 나이프 모양의 칼날이나 둥근날 모양의 칼날을 사용했을 경우에는, 전술한 바와 같이 절단시에, 먼저 절단한 때에 형성된 절단 궤적에 칼날이 들어가버려, 정확하게 원형상으로 절단하는 것이 곤란하게 되고, 절단시작 부위와 절단종료 부위에 점착테이프가 수염모양으로 찌꺼기로 남는 경우가 있다.

본 발명은, 이러한 사정을 고려하여 이루어 진 것이며, 종래부터 사용되고 있는 나이프 모양이나 둥근 칼날모양의 날이어도, 절단시작 부위와 절단종료 부위에서 칼날에 의한 절단궤적이 일치하도록 절단할 수 있는 점착테이프의 절단방법 및 절단장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 이러한 목적을 달성하기 위하여, 다음과 같은 구성을 채용한다.

임의의 크기의 원주 상에서 칼날을 주회(周回)시켜, 점착테이프를 임의 크기의 원형상으로 절단하는 점착테이프 절단방법이며, 상기 방법은,

상기 칼날을 상기 주회 방향에 대하여 내주(內周)측을 향하여 주회시켜, 칼날에 의한 절단궤적을 절단시작 부위와 절단종료 부위에서 일치시키는 과정을 포함한다.

본 발명의 점착테이프 절단방법에 의하면, 칼날을 원주의 내주측을 향하여 주회시키는 것에 따라, 칼날이 절단시에, 점착테이프와 접촉부분이 커지고, 먼저 절단한 때에 형성된 칼날에 의한 절단궤적에 칼날이 들어가는 일이 없고, 칼날에 의한 절단궤적을 절단시작 부위와 절단종료 부위에서 일치시키는 것이 가능하게 된다. 즉, 점착테이프를 원형상으로 절단한 경우에 있어서도, 절단시작 부위와 절단종료 부위의 위치 어긋남에 의해 발생하는 수염모양의 찌꺼기를 남기는 일이 없어져, 확실하게 점착테이프를 원형상으로 절단하는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명에 의한 점착테이프 절단방법은, 점착테이프에 의하여 반도체 웨이퍼를 마운트한 링 프레임에, 상기 칼날을 접촉시키면서 주회시켜서 점착테이프를 원형모양으로 절단한다.

상기 방법에 의하면, 링 프레임의 표면에 접촉시키면서 칼날을 주회시켜서 점착테이프를 원형상으로 절단하기 때문에, 반도체 웨이퍼와 링 프레임을 일체화 시키는 공정을 일련의 동작에 의하여 행함이 가능해진다.

또한, 주회방향에 대하여 내주측을 향한 칼날의 각도는, 예컨대, 반도체 웨이퍼의 중심으로부터 직경방향으로 뻗는 가상선에 대하여, 80 ～ 90°의 범위로 설정하는 것이 바람직하다. 또한, 칼날의 주회속도는, 예컨대, 30 ～ 300mm/s의 범위로 설정하는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명은, 이러한 목적을 달성하기 위하여, 다음과 같은 구성도 채용 한다.

점착테이프를 임의 크기의 원형상으로 절단하는 점착테이프 절단장치에 있어서, 상기장치는,

임의의 크기의 원주 위에서 주회하여 점착테이프를 절단하는 칼날과,

상기 칼날을 주회시키는 회전기구와,

상기 회전기구에 의하여 상기 칼날을 임의의 원주 위에서 주회시킬 때에, 주회방향에 대하여 내주측으로 향하도록 각도조정할 수 있는 각도 조정기구와,

상기 칼날을 상하로 승강하는 승강기구의 요소를 포함한다.

본 발명의 점착테이프 절단장치에 의하면, 예컨대, 웨이퍼를 마운트한 링 프레임에 접착된 점착테이프를 원형상으로 절단한 경우에, 절단시작 부위와 절단종료 부위를 일치시키는 것이 가능해진다. 이 때문에, 절단후의 점착테이프에 수염모양의 찌꺼기를 남기는 일없이 점착테이프의 절단이 가능해진다.

또한, 본 발명에 의한 점착테이프 절단장치의 회전기구는, 회전축심으로부터 방사상으로 등간격으로 연신한 복수개의 아암을 구비하고, 아암 중 어느 하나에 칼날을 구비하는 동시에, 다른 아암의 선단에 점착테이프의 비점착면을 주회운동 하면서 상기 점착테이프를 맞댐 지지하는 롤러를 구비하는 것이 바람직하다.

본 구성에 의하면, 점착테이프의 절단시에, 예컨대, 점착테이프가 접착된 링 프레임을 확실하게 지지할 수 있고, 절단시에 링 프레임의 덜거덕거림 등을 억제할 수 있으며, 점착테이프를 정밀도 좋게 절단할 수가 있다.

또한, 본 발명에 의한 점착테이프 절단장치의 각도조정기구는, 아암에 칼날을 지지하는 지지부재와, 지지부재를 아암에 고정하는 경사각도를 가지는 블록으로 구성되어 있다. 상기 구성에 의하면, 칼날의 각도조정이 용이하게 된다.

또한, 본 발명에 의한 점착테이프 절단장치는, 각도조정기구가 점착테이프에 칼날을 압압하는 용수철부재를 구비함이 바람직하다.

상기 구성에 의하면, 점착테이프의 비점착면에 칼날을 압압하는 동시에, 점착테이프의 절단시에 칼날 상하의 미진동을 흡수시킴이 가능하게 된다.

또한, 본 발명에 의한 점착테이프 절단장치는, 상기 칼날이, 둥근 칼날인 것이 바람직하다.

상기 구성에 의하면, 칼날이, 둥근칼날이기 때문에, 절단시의 압압력이 높게되고, 살두께가 두꺼우며, 강성(剛性)이 높은 점착테이프라도 확실하게 절단함이 가능해진다.

발명을 설명하기 위하여 현재 알맞다고 생각되는 몇개의 형태가 도시되어 있지만, 발명이 도시된 대로의 구성 및 방책에 한정되는 것은 아닌 것을 알 수 있다.

이하, 도면을 참조해서 본 발명의 일 실시예를 설명한다.

도 1은, 본 발명에 의한 점착테이프 절단장치의 측면개략도를 나타내며, 도 2는 정면개략도, 도 3은 평면개략도이다. 또한, 이하 실시형태의 일례의 설명에 있어서는, 웨이퍼를 마운트한 링 프레임에 접착되어 있는 점착테이프의 절단방법을 예를 들어 설명하지만, 본 발명은, 이하의 실시형태에 한정되는 것은 아니다.

본 실시형태 예에 의한 점착테이프 절단장치(1)는, 도 1의 측면개략도에 나타내는 바와 같이, 본 절단장치(1)가 설치된 점착테이프 접착장치 등의 프레임(2)과, 상기 프레임(2)에 고정한 가이드(3)와, 상기 가이드(3)에 승강 가능하게 지지되어 있는 승강기구를 구성하는 승강프레임(4)을 구비하고 있다. 그리고, 상기 승강프레임(4)에는, 점착테이프(7)를 절단하는 칼날(8)을 주회시키는 회전기구(A)가 설치되어져 있다.

회전기구(A)는, 일단에 점착테이프(7)를 절단하는 칼날(8)과, 타단에 점착테이프(7)이 접착되어져 있는 링 프레임(11)을 지지하는 롤러(10)를 가진 회전아암(9)과, 상기 회전아암(9)을 고정한 회전축(6)과, 상기 회전축(6)에 연결하고, 회전아암(9)을 회전시키는 승강 프레임(4)에 설치되어 있는 모터(5)로 구성되어 있다.

칼날(8)은, 나이프모양, 둥근날 모양의 어느 형상이라도 좋지만, 둥근날 모양의 것을 사용하는 것이 바람직하다. 이에 따라, 점착테이프(7)의 살두께가 두껍고, 강성(剛性)이 높은 경우라도, 칼날(8)을 높은 압압력으로 링 프레임(11)에 밀어붙일 수 있다. 이렇게, 높은 압압력으로 칼날(8)을 링 프레임(11)에 밀어붙인 경우라도, 링 프레임(11)과 접촉하면서 회전하여 점착테이프(7)를 확실하게 절단하는 것이 가능해진다. 또한, 칼날(8)은, 전술한 회전기구(A)로 회전할 때에, 회전방향에 대하여 내주(內周)측을 향하도록 지지부재(14)에 설치되어 있다. 지지부재(14)는, 임의의 각도로 칼날의 칼끝을 조정할 수 있도록 각도조정 기구(B)를 개재하여 회전아암(9)에 설치되어 있다. 이와같이, 칼날(8)을 회전방향에 대하여 내주측을 향하도록 설치하여 점착테이프(7)를 원형상으로 절단해 가기 때문에, 칼날(8)의 절단궤적이, 칼날(8)의 두께에 상당하는 선모양의 궤적으로 되지 않고, 폭이 넓은 궤적으로 된다. 이에따라, 복수회 반복 절단한 경우라도, 먼저 절단했을 때에 형성된 궤적에 칼날(8)의 선단부가 빠져들고, 절단궤적이 틀려지는 일이 없이 절단개시 부위와 절단종료 부위가 일치하게 된다.

이와같이, 칼날(8)을 내주부를 향하도록 임의의 각도로 조정하는 본 실시형태예에 있어서의 각도조정기구(B)는, 도 3에 확대하여 나타내는 바와 같이, 지지부재(14)를 회전아암(9)에 고정할 때에, 임의의 각도가 되도록 경사한 경사블록(13a, 13b)을 개재하여 회전아암(9) 내에 끼워지고, 나사(12)에 의하여 고정되는 기구로 되어 있다. 이것에 의해, 칼날(8)이, 회전아암(9)의 회전방향에 대하여 내주측을 향하도록 각도 조정된다. 또한, 각도조정기구(B)로서는, 경사블록(13a, 13b)을 사용하는 이외에, 칼날(8)의 지지부재(14)에 경사부분을 형성하는 것도 가능하다.

칼날(8)을 지지하는 지지부재(14)의 칼날(8)의 다른 쪽에는, 축부재(15)가 설치되어져 있고, 상기 축부재(15)의 단부에는 용수철부재(16)가 설치되어 있다. 상기 용수철부재(16)는, 타단의 칼날(8)을 점착테이프(7)의 비점착면을 가압하는 동시에, 점착테이프(7)의 절단시에 칼날(8)의 상하 미진동을 흡수한다. 따라서, 칼날(8)에 의하여 확실한 동시에 정확하게 점착테이프(7)의 절단이 가능해진다.

또한, 회전축(6)에는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 선단에 롤러(18a, 18b)를 가지는 아암부재(17a, 17b)가 설치되어 있다. 이들 아암부재(17a, 17b)는, 회전아암(9)의 타단에 설치된 롤러(10)로, 링 프레임(11)을 3점지지할 수 있도록, 회전축(6)으로부터의 열린각도θ가, 각각 120°의 간격을 띄워서 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 점착테이프(7)의 절단시에, 점착테이프(7)가 붙여진 링 프레임(11)을 확실하게 지지 할 수가 있고, 절단시에 링 프레임(11)의 덜거덕거림 등을 억제할 수 있고, 점착테이프(7)를 절단 할 수 있다. 또한, 이들 아암부재(17a, 17b)는, 도 1 ?도 2에 있어서는, 도시를 생략하고 있다.

다음에, 이상과 같이 구성되어 있는 절단장치(1)에 의한 점착테이프(7)의 절단방법에 대하여 설명한다.

우선, 소정의 경사각도가 형성된 경사블록(13a, 13b)을 사용하여 칼날(8)이 설치되어져 있는 지지부재(14)를 회전아암(9)에 고정한다. 이 때, 칼날(8)은, 회전아암(9)의 회전에 대하여 90 ～ 80°내주측을 향하도록 설치되는 것이 바람직하다.바꾸어 말하면, 웨이퍼의 중심으로부터 연신한 가상선(X)에 대하여, 90 ～ 80°로 경사시킨 범위이다.

이어서, 승강 프레임(4)을 칼날(8) 및 각 롤러(10, 18a, 18b)가 점착테이프가 접착된 웨이퍼를 마운트 하고, 웨이퍼와 일체화된 링 프레임(11)에 접촉할때 까지 상승시킨다. 그리고, 칼날(8)을 링 프레임(11)에 접촉시키면서, 일정한 회전속도로 회전아암(9)을 1 주(周) 회전시키는 것에따라 링 프레임(11)에 접착되어 있는 점착테이프(7)를 원형상으로 절단한다. 이것에 의하여, 칼날(8)의 절단시작 부위와 절단종료 부위가 일치하도록 절단 할 수 있다. 여기에서, 회전아암(9)의 바람직한 회전속도는 30 ～ 300mm/s로 하는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 최근의 대직경, 얇은 두께화하는 웨이퍼에 대응한 살두께로 강성이 높은 점착테이프라도 절단할 수 있다.

본 발명은, 이상과 같이, 칼날(8)을 회전방향에 대하여 내주측을 향하도록 각도조정하여 설치하고, 1회전시키는 것에 따라, 폭이 넓은 절단궤적으로 한다. 이에 의하여, 먼저 절단했을 때에 형성된 절단궤적에 영향을 주는 일이 없이, 절단시작 부위와 절단종료 부위를 일치시키는 것이 가능해진다. 이 때문에, 점착테이프 절단후에 수염모양의 찌꺼기가 발생하는 것을 억제할 수 있다.

또한, 본 발명에 의한 점착테이프의 절단장치(1)는, 일반적으로 사용되고 있는 다이싱용 점착테이프를 접착하는 점착테이프의 접착장치에 적용하는 것이 가능하다. 또한, 전술의 실시형태예의 설명에서는, 칼날(8)을 상승시키고, 링 프레임의 아래쪽에 접촉시켜서 절단하는 것을 예를 들어서 설명했지만, 본 발명에 의한 점착테이프 절단장치는, 이것에 한정되는 것이 아니고, 링 프레임의 윗쪽으로부터 하강하고, 링 프레임의 위쪽에 접촉시키면서 점착테이프를 절단하도록 하는 것도 가능하다.

본 발명은, 그 사상 또는 본질로부터 벗어나지 않고 다른 구체적 형태로 실시할 수 있으며, 따라서, 발명의 범위를 나타내는 것으로서, 이상의 설명만은 아니고, 부가된 청구항을 참조해야 한다.

본 발명은 이상과 같이, 점착테이프를 원형상으로 절단할 때, 칼날을 절단하는 원주 내주측을 향하여 주회시키고, 칼날의 이동궤적이 절단시작 부위와 절단종료 부위에서 일치시킬 수 있다. 이 때문에, 점착테이프를 원형상으로 절단한 경우에 있어서도, 수염모양의 찌꺼기를 남기는 경우가 없게 되고,확실하게 점착테이프를 원형상으로 절단하는 것이 가능하게 된다.

Claims

반도체 웨이퍼를 마운트한 링 프레임의 표면상에서 칼날을 주회(周回)시켜, 점착테이프를 임의의 크기의 원형상으로 절단하는 점착테이프 절단방법으로서, 상기 방법은,

상기 칼날을 상기 주회 방향에 대하여 내주(內周)쪽을 향하여 상기 칼날의 절단궤적이 상기 칼날의 두께에 상당하는 선모양의 궤적으로 되지 않고 폭이 넓은 궤적으로 되도록 주회시켜, 칼날에 의한 절단궤적을 절단시작 부위와 절단종료 부위로 일치시키는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 점착테이프 절단방법.
삭제
제 1항에 있어서,

주회방향에 대하여 내주쪽을 향한 칼날의 각도는, 반도체 웨이퍼의 중심으로부터 직경방향으로 뻗는 가상선에 대하여, 80 ～ 90°의 범위로 설정하는 것을 특징으로 하는 점착테이프 절단방법.
제 1항에 있어서,

상기 칼날의 주회속도는, 30 ～ 300mm/s의 범위로 설정하는 것을 특징으로 하는 점착테이프 절단방법.
반도체 웨이퍼를 마운트한 링 프레임의 표면상에서 칼날을 주회시켜, 점착테이프를 임의의 크기의 원형상으로 절단하는 점착테이프 절단장치에 있어서, 상기 장치는,

임의의 크기의 원주 상에서 주회하여 점착테이프를 절단하는 칼날;

상기 칼날을 주회시키는 회전기구;

상기 회전기구에 의하여 상기 칼날을 임의의 원주 상에서 주회시킬 때에, 주회 방향에 대하여 내주쪽을 향하도록 각도조정할 수 있는 각도조정기구;

상기 칼날을 상하로 승강시키는 승강기구를 포함하고,

상기 칼날의 절단궤적이 상기 칼날의 두께에 상당하는 선모양의 궤적으로 되지 않고 폭이 넓은 궤적으로 되도록 상기 칼날을 상기 주회 방향에 대하여 내주쪽을 향하게 구성하는 것을 특징으로 하는 점착테이프 절단장치.
제 5항에 있어서,

상기 회전기구는, 회전축심으로부터 방사상으로 등간격으로 연신(延伸)한 복수개의 아암을 구비하고,

상기 아암 중 어느 하나에 상기 칼날을 구비하는 동시에, 다른 아암의 선단에 상기 점착테이프의 비점착면을 주회 전동(轉動)하면서 상기 점착테이프를 맞댐 지지하는 롤러를 구비하는 것을 특징으로 하는 점착테이프 절단장치.
제 5항에 있어서,

상기 각도조정기구는, 아암에 상기 칼날을 지지하는 지지부재와,

상기 지지부재를 상기 아암에 고정하는 경사각도를 가지는 블록으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 점착테이프 절단장치.
제 7항에 있어서,

상기 각도조정기구는, 상기 점착테이프에 상기 칼날을 압압하는 용수철부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 점착테이프 절단장치.
제 5항에 있어서,

상기 칼날이, 둥근칼인 것을 특징으로 하는 점착테이프 절단장치.