KR101089172B1 - Step scribing method of bonded substrate and its control system - Google Patents
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Abstract
합착 기판의 단차가 있는 부분에 먼저 스크라이빙 라인을 형성하여 스크라이빙 공정을 단축시키는 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법 및 제어 시스템에 관한 것으로, 다수의 패널영역들이 배치되어 합착되고, 제1 더미 영역과 제2 더미 영역을 포함하여 형성된 한 쌍의 모기판을 마련하는 단계, 상기 한 쌍의 모기판의 제1 더미 영역과 제2 더미 영역으로 한 쌍의 상하부 휠의 각각을 이동시키는 단계, 상기 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단차가 있는 부분을 한 쌍의 상하부 휠로 스크라이빙 하는 제1의 스크라이빙 단계 및 제1의 스크라이빙 단계 후에 상기 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단차가 없는 부분을 상기 한 쌍의 상하부 휠로 스크라이빙 하는 제2의 스크라이빙 단계를 포함하는 구성을 마련한다.The method relates to a step scribing method and a control system for a stepped substrate in which a scribing line is first formed on a stepped part of the bonded substrate to shorten the scribing process. Providing a pair of mother substrates including a dummy region and a second dummy region, moving each of the pair of upper and lower wheels to the first and second dummy regions of the pair of mother substrates, The first dummy area and the second dummy after the first scribing step and the first scribing step of scribing the stepped portions of the first dummy area and the second dummy area with a pair of upper and lower wheels. And a second scribing step of scribing a portion of the area free of steps with the pair of upper and lower wheels.
상기와 같은 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법 및 그 제어 시스템을 이용하는 것에 의해, 스크라이빙 공정을 저감하여 스크라이빙에 소요되는 시간을 단축할 수 있으므로, 생산 비용을 저감할 수 있다.By using the above step scribing method of the bonded substrate and the control system thereof, the scribing process can be reduced and the time required for scribing can be shortened, thereby reducing the production cost.
합착, 모기판, 휠, 헤드, 스크라이빙 Bonding, mosquito board, wheel, head, scribing
Description
본 발명은 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법 및 제어 시스템에 관한 것으로, 특히 합착 기판의 단차가 있는 부분에 먼저 스크라이빙 라인을 형성하여 스크라이빙 공정을 단축시키는 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법 및 제어 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a step scribing method and a control system of a bonded substrate, and in particular, a step of scribing a bonded substrate that shortens the scribing process by first forming a scribing line in the stepped portion of the bonded substrate. And a control system.
일반적으로 액정표시장치는 구동회로 유닛(unit)을 포함하는 액정표시패널, 액정표시패널의 하부에 설치되어 액정표시패널에 빛을 방출하는 백라이트(backlight) 유닛, 백라이트 유닛과 액정표시패널을 지지하는 몰드 프레임(mold frame) 및 케이스(case) 등으로 이루어져 있다.Generally, a liquid crystal display device includes a liquid crystal display panel including a driving circuit unit, a backlight unit disposed under the liquid crystal display panel to emit light to the liquid crystal display panel, and supporting the backlight unit and the liquid crystal display panel. It consists of a mold frame (mold frame) and case (case).
또한 상기 액정표시패널은 수율 향상을 도모하기 위해, 대면적의 모기판에 박막 트랜지스터 어레이 기판들을 형성하고, 별도의 모기판에는 컬러필터 기판들을 형성한 다음 두 개의 모기판을 합착한 합착 기판으로부터 각각의 단위 액정표시패널로 절단하는 공정을 통해 제조된다.In addition, the liquid crystal display panel is formed by forming thin film transistor array substrates on a large area mother substrate, color filter substrates on a separate mother substrate, and then bonding the two mother substrates to each other. The unit is manufactured through a process of cutting into a liquid crystal display panel.
통상, 단위 액정표시패널의 절단은 유리에 비해 경도가 높은 휠로 모기판의 표면에 스크라이빙 라인(scribe line)을 형성하고, 상기 스크라이빙 라인을 따라 크랙이 전파되도록 하는 공정을 통해 이루어진다.In general, cutting of the unit liquid crystal display panel is performed by forming a scribe line on the surface of the mother substrate using a wheel having a hardness higher than that of glass, and causing cracks to propagate along the scribing line.
도 1은 박막 트랜지스터 어레이 기판들이 형성된 제 1 모기판과 컬러필터 기판들이 형성된 제 2 모기판이 합착되어 이루어지는 액정표시패널의 단면 구조를 개략적으로 나타내는 도면이다.FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a liquid crystal display panel in which a first mother substrate on which thin film transistor array substrates are formed and a second mother substrate on which color filter substrates are formed are bonded.
도 1에 도시된 바와 같이, 단위 액정표시패널들은 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)들의 일 측이 컬러필터 기판(2)들에 비해 돌출되도록 형성된다. 이는 컬러필터 기판(2)들과 중첩되지 않는 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)들의 가장자리에 게이트 패드부(미도시)와 데이터 패드부(미도시)가 형성되기 때문이다.As shown in FIG. 1, the unit liquid crystal display panels are formed such that one side of the thin film
따라서, 제 2 모기판(30) 상에 형성된 컬러필터 기판(2)들은 제 1 모기판(20) 상에 형성된 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)들이 돌출되는 면적에 해당하는 제 1 더미영역(dummy region)(31) 만큼 이격되어 형성된다.Accordingly, the
또한, 각각의 단위 액정표시패널들은 상기 제 1, 제 2 모기판(20, 30)을 최대한 이용할 수 있도록 적절히 배치되며, 모델(model)에 따라 다르지만 일반적으로 단위 액정표시패널들은 제 2 더미영역(32) 만큼 이격되도록 형성된다.In addition, each of the unit liquid crystal display panels may be appropriately disposed so as to make the best use of the first and
이러한 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)들이 형성된 제 1 모기판(20)과 컬러필터 기판(2)들이 형성된 제 2 모기판(30)이 합착된 후에 액정표시패널들을 절단한다. 즉 제 2 모기판(30)의 컬러필터 기판(2)들에 형성된 제 1 더미영역(31)과 단위 액정표시패널들을 이격시키는 제 2 더미영역(32)이 제거된다.After the
상기한 바와 같은 액정표시패널의 절단공정을 도 2에 따라 설명하면 다음과 같다.The cutting process of the liquid crystal display panel as described above will be described with reference to FIG. 2.
도 2는 액정표시패널의 절단공정을 개략적으로 나타내는 예시도이다.2 is an exemplary view schematically illustrating a cutting process of a liquid crystal display panel.
도 2에 도시된 바와 같이, 복수개의 패널영역(111)들이 배치되어 합착된 합착 기판(101)은 패널영역(111)들을 따라 개별적인 단위 액정표시패널(110)로 분리하기 위해 반송 유닛을 통해 스크라이빙부로 이송되어 진다. 여기서, 상부의 패널영역은 어레이 공정을 거쳐 박막 트랜지스터가 형성된 어레이 기판일 수 있으며, 또한 하부의 패널영역은 컬러필터공정을 거쳐 컬러필터가 형성된 컬러필터 기판일 수 있다. 이러한 상부의 어레이 기판과 하부의 컬러필터 기판은 서로 합착되어 하나의 단위 액정표시패널(110)을 형성한다. As shown in FIG. 2, the
스크라이빙 부로 이송되어진 합착 기판(101)은 스크라이빙 유닛(180)을 통해 합착 기판(101)의 전면 및 배면 상에 패널영역(111)을 제 1 방향으로 구획하는 제 1의 스크라이빙 라인(151)들이 형성된다. 이때, 스크라이빙 유닛(180)은 한 쌍의 헤드(미도시)를 구비하고 있어, 합착 기판(101)에 제 1 방향, 즉 X축 방향으로 4번의 제 1 스크라이빙 공정을 반복하여 X축 방향으로 제 1 스크라이빙 라인(151)들을 형성하게 된다. 이와 같이 제 1 방향으로의 제 1 스크라이빙 공정이 끝난 합착 기판(101)은 스크라이빙 유닛(180)에 구비된 헤드를 Y축 방향으로 구동시킴으로써 합착 기판(101)의 전면 및 배면 상에 패널영역(111)을 제 2 방향으로 구획하는 제 2 스크라이빙 라인(152)들을 형성하게 된다. 이때, 합착 기판(101)에 제 2 방향, 즉 Y축 방향으로 8번의 제 2 스크라이빙 공정을 반복하여 제 2 스크라이빙 라인(152)들을 형성하게 된다.The bonded
상술한 바와 같은 스크라이빙 유닛(180)에는 합착 기판(101)의 전면 및 배면에 제 1 스크라이빙 라인(151)들 및 제 2 스크라이빙 라인(152)들을 형성하기 위해 합착 기판(101)의 상, 하부에 각각 하나의 헤드를 구비하고 있으며, 각각의 헤드에는 유리에 비해 경도가 높은 재질로 제작된 스크라이빙 휠이 장착되어 있다. 제 1 방향과 제 2 방향으로의 스크라이빙 공정이 끝난 합착 기판(101)은 브레이크 공정에서 스크라이빙 라인(151, 152)들을 따라 단위 액정표시패널(110)들로 분리된다.In the
상기와 같은 스크라이빙 공정은 도 3에 도시된 바와 같이, 상하 한 쌍의 헤드부가 제 1 더미 영역과 제 2 더미 영역의 구분없이 진행되는 방향부터 스크라이빙 공정을 실행하였다. In the above scribing process, as shown in FIG. 3, the scribing process is performed from a direction in which a pair of upper and lower head portions are proceeded without distinguishing between the first dummy region and the second dummy region.
이러한 스크라이빙 공정은 제 1 더미 영역과 제 2 더미 영역의 구분없이 합착 기판에서 단차 부분을 스크라이빙(Scribing)할 때 3번의 스크라이빙을 하였다. In this scribing process, scribing is performed three times when scribing the stepped portion on the bonded substrate without distinguishing the first dummy region and the second dummy region.
즉, 도 3에서 A부분에서는 상, 하부 헤드에 각각 구비된 상부 휠(181)과 하부 휠(182)이 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단차가 없는 제1 부분(331,231)을 동시에 스크라이빙 하고, B부분에서는 상부 휠(181)이 제1 더미 영역의 단차가 있는 제2 부분(332)을 스크라이빙 한 후, C 부분에서는 상부 롤러(183)가 제2 모기판을 지지한 상태에서, 하부 휠(182)이 제1 모기판의 제2 더미영역의 단차가 있는 제3 부분(232)을 스크라이빙 한다. That is, in part A of FIG. 3, the
상술한 바와 같이, 단차가 있는 부분을 스크라이빙을 하기 전에 상기 제1부분(331,231)의 스크라이빙을 먼저 하면, 상기 제3 부분(232)은 도 3에 도시된 바와 같은 롤러(183)을 사용하여 스크라이빙 라인을 형성하여야 하였다.As described above, when scribing the
따라서 상기 제3 부분에서 스크라이빙 정밀도를 유지할 수 없다는 문제가 있었다. 또, 단차가 없는 부분의 스크라이빙 라인을 먼저 생성하고, 단차가 있는 부분의 스크라이빙 라인을 생성하는 경우, 기판 휨 때문에 크랙 방향이 직선을 유지하지 못한다는 문제가 있었다. Therefore, there was a problem in that the scribing precision cannot be maintained in the third portion. Moreover, when the scribing line of the part without a step | step is produced first and the scribing line of the part with a step | step is produced, there existed a problem that a crack direction cannot keep a straight line because of board | substrate bending.
또한 상술한 바와 같이, 3번의 스크라이빙을 하여 시간적 소비가 많다는 문제도 있었다. In addition, as described above, there was also a problem that a large amount of time was consumed by scribing three times.
본 발명의 목적은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 단차가 있는 부분의 스크라이빙을 먼저 실시하여 기판 끝단의 휨을 방지하는 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법 및 제어 시스템을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a step scribing method and control system for a bonded substrate that prevents warping of the end of a substrate by performing scribing of the stepped portion first. .
본 발명의 다른 목적은, 멀티 스크라이빙 장치를 이용하여 단차가 있는 부분과 단차가 없는 부분을 시차를 두고 동시에 스크라이빙함으로써 기판 끝단의 휨을 방지하면서 스크라이빙 공정 시간을 단축시킬 수 있는 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법 및 제어 시스템을 제공하는 것이다.Another object of the present invention, by using a multi-scribing device scribing the stepped portion and the stepped portion at the same time at the same time with the parallax at the same time to reduce the scribing process time while preventing warpage of the substrate end To provide a step scribing method and a control system of the substrate.
본 발명의 또 다른 목적은 스크라이빙 공정의 단수를 감소시켜 생산 효율을 증가시키는 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법 및 제어 시스템을 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide a step scribing method and control system for a bonded substrate that reduces the number of steps in the scribing process to increase the production efficiency.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법은 다수의 패널영역들이 배치되어 합착되고, 제1 더미 영역과 제2 더미 영역이 형성을 포함하여 형성된 합착 기판을 마련하는 단계, 상기 합착 기판의 제1 더미 영역과 제2 더미 영역으로 상하부 휠의 각각을 이동시키는 단계, 상기 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단차가 있는 부분을 상기 상하부 휠로 스크라이빙 하는 제1의 스크라이빙 단계 및 제1의 스크라이빙 단계 후에 상기 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단차가 없는 부분을 상기 상하부 휠로 스크라이빙 하는 제2의 스크라이빙 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the step scribing method of the bonded substrate according to the present invention comprises the steps of: providing a bonded substrate on which a plurality of panel regions are disposed and bonded, wherein the first dummy region and the second dummy region are formed; Moving each of the upper and lower wheels to the first dummy region and the second dummy region of the cemented substrate, and a first scribing portion having the step difference between the first dummy region and the second dummy region with the upper and lower wheels. And a second scribing step of scribing an unstepped portion of the first dummy area and the second dummy area with the upper and lower wheels after the scribing step and the first scribing step. .
또 본 발명에 따른 합착 기판의 또 다른 단차 스크라이빙 방법은, 다수의 패널영역들이 배치되어 합착되고, 제1 더미 영역과 제2 더미 영역을 포함하여 형성된 합착 기판을 마련하는 단계, 상기 합착 기판의 제1 더미 영역과 제2 더미 영역으로 2쌍의 상하부 휠을 각각 이동시키는 단계, 상기 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단차가 있는 부분, 및 상기 제1 더미 영역과 제2 더미 영역에서 단차가 있는 부분과 단차가 없는 부분 중 어느 한 부분을 1쌍의 상하부 휠로 선행 스크라이빙하기 시작하는 단계, 상기 선행 스크라이빙 시작 후 소정의 시차를 두고 다른 한 부분을 나머지 1쌍의 상하부 휠로 후행 스크라이빙하기 시작하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In still another aspect, there is provided a method of scribing a bonded substrate according to the present invention, the method comprising: providing a bonded substrate including a plurality of panel regions disposed and bonded to each other, wherein the panel includes a first dummy region and a second dummy region; Moving the two pairs of upper and lower wheels to the first dummy region and the second dummy region of the second dummy region, the stepped portions of the first dummy region and the second dummy region, and the first dummy region and the second dummy region, respectively. Starting scribing any one of the stepped portion and the stepless portion with a pair of upper and lower wheels, and following another portion with the other pair of upper and lower wheels with a predetermined time difference after starting the preceding scribing. And starting to scribe.
또 본 발명에 따른 합착 기판의 또 다른 단차 스크라이빙 방법은, 다수의 패 널영역들이 배치되어 합착되되, 상부의 제1 더미 영역과, 상기 제1 더미 영역보다 폭이 큰 하부의 제2 더미 영역을 포함하여 형성된 합착 기판을 마련하는 단계, 상기 합착 기판의 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단차가 없는 부분으로 상하부 휠 1쌍을 이동시키고, 제1 더미 영역의 단차가 있는 부분에 상부 휠과 하부 롤러 1쌍을 이동시키며, 제2 더미 영역의 단차가 있는 부분에 하부 휠과 상부 롤러 1쌍을 이동시키는 단계, 상기 상하부 휠 1쌍, 상부 휠과 하부 롤러 1쌍, 하부 휠과 상부 롤러 1쌍 중 어느 1쌍으로 선행 스크라이빙하기 시작하는 단계, 상기 선행 스크라이빙 시작 후 소정의 시차를 두고 나머지 2쌍 중 어느 1쌍으로 중도 스크라이빙하기 시작하는 단계, 상기 중도 스크라이빙 시작 후 소정의 시차를 두고 나머지 1쌍으로 후행 스크라이빙하기 시작하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In another step of the scribing method of the bonded substrate according to the present invention, a plurality of panel regions are arranged and bonded, the first dummy region of the upper portion, and the second dummy of the lower portion larger than the first dummy region Providing a bonded substrate including a region, and moving a pair of upper and lower wheels to a portion where there is no step between the first dummy region and the second dummy region of the bonded substrate; Moving a pair of wheels and a lower roller, and moving a pair of lower wheels and an upper roller to a stepped portion of the second dummy area, the pair of upper and lower wheels, a pair of upper wheels and a lower roller, a lower wheel and an upper Starting prescribing with any one pair of rollers, starting scribing halfway with any one of the remaining two pairs with a predetermined time difference after the start of the preceding scribing, After Lai ice starts with a predetermined time difference is characterized in that it comprises the steps beginning glacial trailing scribing the remaining pairs.
여기서, 상기 선행 스크라이빙 하는 부분은 단차가 있는 부분이고, 후행 스크라이빙 하는 부분은 단차가 없는 부분인 것을 특징으로 한다.Here, the preceding scribing portion is a portion having a step, and the trailing scribing portion is characterized in that the portion does not have a step.
또 본 발명에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법에 있어서, 상기 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단차가 있는 부분을 스크라이빙하는 단계에서 상기 상하부 휠은 서로 어긋난 위치에 있는 것을 특징으로 한다.Further, in the step scribing method of the bonded substrate according to the present invention, the upper and lower wheels in the step of scribing the stepped portion of the first dummy region and the second dummy region is characterized in that the position shifted from each other do.
또 본 발명에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법에 있어서, 상기 상하부 휠은 상하부 헤드에 각각 마련되고, 상기 상하부 헤드의 위치는 각각 독립적으 로 제어되는 것을 특징으로 한다.In the step scribing method of the bonded substrate according to the present invention, the upper and lower wheels are provided in the upper and lower heads, respectively, characterized in that the position of the upper and lower heads are independently controlled.
또 본 발명에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법에 있어서, 상기 상하부 헤드는 복수 쌍으로 마련된 것을 특징으로 한다.In the step scribing method of the bonded substrate according to the present invention, the upper and lower heads are provided in plural pairs.
또 상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 제어 시스템은, 다수의 패널영역들이 배치되어 합착되고, 제1 더미 영역과 제2 더미 영역을 포함하여 형성된 합착 기판의 스크라이빙을 제어하는 시스템으로서, 상기 제1 더미 영역과 제2 더미 영역으로 상하부 휠이 각각 장착된 상하부 헤드를 이동시키는 이동수단과 상기 상하부 휠이 각각 장착된 상하부 헤드의 위치를 제어하는 제어수단을 포함하고, 상기 제어수단은 상기 상하부 헤드의 위치를 각각 독립적으로 제어하는 것을 특징으로 한다.In addition, the step scribing control system of the bonded substrate according to the present invention in order to achieve the above object, a plurality of panel regions are disposed and bonded, the scribing of the bonded substrate formed including a first dummy region and a second dummy region A system for controlling ice, comprising: moving means for moving an upper and lower head mounted with upper and lower wheels to the first dummy area and a second dummy area, and control means for controlling positions of upper and lower heads respectively equipped with upper and lower wheels; And, the control means is characterized in that for controlling the position of the upper and lower heads, respectively.
또 상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 또 다른 합착 기판의 단차 스크라이빙 제어 시스템은, 다수의 패널영역들이 배치되어 합착되되, 상부의 제1 더미 영역과, 상기 제1 더미 영역보다 폭이 큰 하부의 제2 더미 영역을 포함하여 형성된 합착 기판의 스크라이빙을 제어하는 시스템으로서, 상기 합착 기판의 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단차가 없는 부분으로 상하부 휠 1쌍을 이동시키고, 제1 더미 영역의 단차가 있는 부분에 상부 휠과 하부 롤러 1쌍을 이동시키며, 제2 더미 영역의 단차가 있는 부분에 하부 휠과 상부 롤러 1쌍을 이동시키는 이동수단과, 상기 상하부 휠 1쌍, 상부 휠과 하부 롤러 1쌍, 하부 휠과 상부 롤러 1쌍의 위치를 각각 독립적으로 제어하는 제어수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, in order to achieve the above object, another stepped scribing control system of the bonded substrate according to the present invention includes a plurality of panel regions arranged and bonded to each other, the first dummy region of the upper and the first dummy region is wider than the first dummy region. A system for controlling the scribing of a bonded substrate including a large second dummy region, wherein the pair of upper and lower wheels is moved to a portion where there is no step difference between the first dummy region and the second dummy region of the bonded substrate, Moving means for moving a pair of upper wheels and a lower roller to a stepped portion of the first dummy area, and moving a pair of lower wheels and a top roller to a stepped portion of the second dummy area, and a pair of upper and lower wheels , A control means for independently controlling positions of the upper wheel and the lower roller pair and the lower wheel and the upper roller pair.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법 및 제어 시스템에 의하면, 스크라이빙을 실행할 때 기판에 휨이 발생하는 것을 방지하여 스크라이빙 정밀도를 유지할 수 있을 뿐만 아니라, 스크라이빙 공정을 저감하여 스크라이빙에 소요되는 시간을 단축할 수 있고, 이에 따라 생산 비용을 저감할 수 있다는 효과가 얻어진다.As described above, according to the step scribing method and control system of the bonded substrate according to the present invention, the scribing accuracy can be maintained by preventing warpage of the substrate when scribing, and the scribing accuracy can be maintained. By reducing the scribing process, it is possible to shorten the time required for scribing, thereby achieving the effect of reducing the production cost.
본 발명의 상기 및 그 밖의 목적과 새로운 특징은 본 명세서의 기술 및 첨부 도면에 의해 더욱 명확하게 될 것이다.These and other objects and novel features of the present invention will become more apparent from the description of the present specification and the accompanying drawings.
먼저 본 발명에 적용되는 액정표시패널의 제조방법에 대해 도 4에 따라 설명한다.First, a manufacturing method of a liquid crystal display panel applied to the present invention will be described with reference to FIG. 4.
도 4는 본 발명에 적용되는 액정표시패널의 제조방법을 개략적으로 나타내는 흐름도이다.4 is a flowchart schematically illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display panel according to the present invention.
액정표시장치의 제조공정은 크게 하부 어레이 기판에 구동소자를 형성하는 구동소자 어레이 공정과 상부 컬러필터 기판에 컬러필터를 형성하는 컬러필터공정 및 셀 공정으로 구분될 수 있다.The manufacturing process of the liquid crystal display device may be classified into a driving element array process of forming a driving element on a lower array substrate, a color filter process of forming a color filter on an upper color filter substrate, and a cell process.
우선, 어레이 공정에 의해 하부기판에 배열되어 화소영역을 정의하는 복수의 게이트 라인과 데이터 라인을 형성하고 화소 영역 각각에 게이트 라인과 데이터 라인에 접속되는 구동소자인 박막 트랜지스터를 형성한다(S10). First, a plurality of gate lines and data lines arranged on a lower substrate to define a pixel region are formed by an array process, and thin film transistors, which are driving elements connected to the gate lines and data lines, are formed in the pixel regions, respectively (S10).
또한, 상부기판에는 컬러필터공정에 의해 컬러를 구현하는 적, 녹, 청의 서브컬러필터로 구성되는 컬러 필터층과 공통전극을 형성한다(S11). In addition, the upper substrate is formed with a color filter layer and a common electrode composed of red, green, and blue sub-color filters that implement color by a color filter process (S11).
이어서, 상기 상부기판 및 하부기판에 각각 배향막을 도포한 후 상부기판과 하부기판 사이에 형성되는 액정층의 액정분자에 배향 규제력 또는 표면고정력을 제공하기 위해 상기 배향막을 배향 처리한다(S20, S21). 이때, 상기 배향 처리방법으로 러빙 또는 광배향의 방법을 적용할 수 있다.Subsequently, after the alignment layers are applied to the upper and lower substrates, the alignment layers are oriented to provide an alignment control force or surface fixation force to liquid crystal molecules of the liquid crystal layer formed between the upper substrate and the lower substrate (S20, S21). . In this case, a rubbing or photoalignment method may be applied as the alignment treatment method.
그리고, 상기 러빙공정을 마친 상부기판 및 하부기판은 배향막 검사기를 통해 배향막의 불량 여부를 검사하고, 하부기판에 셀 갭을 일정하게 유지하기 위한 스페이서를 형성하고 상부기판의 외곽부에 실링재를 도포한 후 하부기판과 상부기판에 압력을 가하여 합착한다(S30). In addition, the upper substrate and the lower substrate that have completed the rubbing process are inspected for defects of the alignment layer through an alignment layer inspector, form a spacer for maintaining a constant cell gap in the lower substrate, and apply a sealing material to the outer portion of the upper substrate. After the pressure is applied to the lower substrate and the upper substrate (S30).
한편, 상기 하부기판과 상부기판은 대면적의 기판으로 이루어져 있으므로, 낱개의 단위 액정표시패널을 제작하기 위해서는 합착된 모기판을 스크라이빙 한다(S40).On the other hand, since the lower substrate and the upper substrate is composed of a large area of the substrate, in order to manufacture a single unit liquid crystal display panel, the bonded mother substrate is scribed (S40).
그 후 이 스크라이빙 공정에서 형성된 스크라이빙 라인을 절단하는 브레이킹 공정을 실행한다(S50).Thereafter, a braking process of cutting the scribing line formed in this scribing process is performed (S50).
본 발명은 상기와 같은 스크라이빙 공정에 적용되는 것이다.The present invention is applied to the scribing process as described above.
이하, 본 발명의 구성에 관한 2가지 실시예를 도면에 따라서 설명한다.Hereinafter, two embodiments of the configuration of the present invention will be described with reference to the drawings.
실시예 1Example 1
도 5는 본 발명의 실시예 1에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 제어 시스템의 구성도이고, 도 6은 본 발명의 실시예 1에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법을 설명하기 위한 도면이다.5 is a configuration diagram of a step scribing control system for a bonded substrate according to
도 5에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 제어 시스템은 합착 기판(101)의 제1 더미 영역과 제2 더미 영역으로 상하부 헤드(61,62)를 이동시키는 이동수단(40)과, 상기 이동수단(40)을 제어하여 상하부 헤드(61,62)의 위치를 정하는 제어수단(50)을 구비한다. 상기 상하부 헤드(61,62)에는 상하부 휠(81,82)이 각각 장착된다.As shown in FIG. 5, the control system according to the present embodiment includes moving means 40 for moving the upper and
즉 본 발명에 따른 제어 시스템은, 다수의 패널영역들이 배치되어 합착된 합착 기판(101)의 스크라이빙을 제어하는 시스템이다.That is, the control system according to the present invention is a system for controlling the scribing of the bonded
상기 합착 기판(101)에는 제1 더미 영역과 제2 더미 영역이 형성되어 있으며, 상기 합착 기판(101)의 제1 더미 영역과 제2 더미 영역은, 예를 들어 합착 공정 시에 미리 입력된 위치 좌표 등에 의해 판단된다.A first dummy region and a second dummy region are formed in the cemented
따라서, 이와 같이 판단된 합착 기판(101)의 제1 더미 영역과 제2 더미 영역으로 상하부 헤드(61,62)가 이동수단(40)에 의해 이동된다. 또, 이러한 이동수단(40)의 구성은 통상의 스크라이빙 라인 형성장치에 의해 달성되므로, 그 구체적인 설명은 생략한다. Therefore, the upper and
또한 본 발명의 실시예 1에 따른 제어수단(50)은 상하부 헤드(61,62)의 위치를 각각 독립적으로 제어하도록 구성된다.In addition, the control means 50 according to the first embodiment of the present invention is configured to independently control the positions of the upper and
상술한 제어수단(50)은 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단차가 있는 제2 및 제3 부분을 상하부 휠(81,82)로 동시에 스크라이빙한 후, 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단차가 없는 제1 부분을 상하부 휠(81,82)로 동시에 스크라이빙 하도록 제어한다.The above-described control means 50 simultaneously scribes the second and third portions having the step difference between the first dummy region and the second dummy region with the upper and
따라서, 합착 기판(101)의 단차가 있는 부분을 스크라이빙 할 때, 상하부 휠(81,82)은 서로 어긋난 위치에서 스크라이빙 라인을 형성한다.Therefore, when scribing the stepped portion of the bonded
여기서 상술한 바와 같은 제어수단(50)은 통상의 마이크로 프로세서 등을 포함하며, 이러한 마이크로 프로세서 등에 의한 제어수단의 구성은 당업자가 용이하게 실현할 수 있으므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.Here, the control means 50 as described above includes a conventional microprocessor and the like, and the configuration of the control means by the microprocessor and the like can be easily realized by those skilled in the art, and thus a detailed description thereof will be omitted.
또한, 본 발명의 실시예 1에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 제어 시스템은 도 5에 도시된 바와 같은 상하부 헤드가 마련된 싱글 스크라이빙 장치뿐만 아니라, 헤드가 상하부에 각각 다수 개로 이루어진 멀티 스크라이빙 장치에도 적용될 수 있다. 이 경우에도 각각의 헤드는 독립적으로 제어가 가능하므로, 싱글 스크라이빙 장치와 동일하게 작용함은 물론이다.In addition, the step scribing control system of the bonded substrate according to the first embodiment of the present invention is not only a single scribing apparatus provided with upper and lower heads as shown in FIG. It can also be applied to ice devices. Even in this case, since each head can be controlled independently, it acts the same as a single scribing device, of course.
다음에 본 발명의 실시예 1에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법을 도 6에 따라 설명한다.Next, the step scribing method of the bonded substrate according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 6.
먼저 제어수단(50)은 이동수단(40)을 제어함으로써, 다수의 패널영역들이 배치되어 합착된 합착 기판(101)의 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단차가 있는 부분, 즉 도 6의 A' 부분으로 상하부 헤드(61,62)가 이동하도록 한다.First, the control means 50 controls the moving
이에 따라, 도 6의 A' 부분에서 알 수 있는 바와 같이, 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단차가 있는 제2 및 제3 부분(332,232)으로 상하부 헤드(61,62)가 이동하고, 상하부 휠(81,82)이 각각 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단차가 있는 제2 및 제3 부분(332,232)을 스크라이빙 한다. Accordingly, as can be seen in the portion A ′ of FIG. 6, the upper and
즉, 상기 상하부 휠(81,82)은 서로 어긋난 위치에서 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단차가 있는 제2 및 제3 부분(332,232)을 각각 동시에 스크라이빙 한다. 본 실시예에서는 도 6의 A'부분에서와 같이 먼저 단차가 있는 제2 및 제3부분(332,232)을 동시에 스크라이빙 하므로, 종래에 단차가 있는 부분의 스크라이빙 공정 시 기판 휨 때문에 크랙 방향이 직선을 유지하지 못했던 문제가 해결된다.That is, the upper and
이와 같이, A'부분에서의 스크라이빙이 완료된 후, 제어수단(50)은 상하부 헤드(61,62)의 위치를 각각 도 6의 B' 부분으로 이동시킨다. As such, after the scribing in the portion A 'is completed, the control means 50 moves the positions of the upper and
도 6의 B'부분은 상기 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단차가 없는 부분(331,231)이므로, 종래와 마찬가지로 상하부 휠(61,82)로 스크라이빙 한다.The portion B ′ of FIG. 6 is a
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 2회의 스크라이빙 공정만을 실행하며, 1회의 공정시 상하부 휠(61,82)이 동일 선상에 놓이지 않는 상태에서 진행하고, 이어서 2회째의 공정은 상하부 휠(61,82)이 동일 선상에 놓이는 것이다.As described above, according to the present invention, only two scribing processes are executed, and in one process, the upper and
실시예 2Example 2
도 7은 본 발명의 실시예 2에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 제어 시스템의 구성도이고, 도 8은 본 발명의 실시예 2에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법을 설명하기 위한 도면이며, 도 9는 본 발명의 실시예 2에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법을 나타내는 평면도이다.7 is a configuration diagram of a step scribing control system for a bonded substrate according to
도 7에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 제어 시스템은, 헤드가 상부와 하부에 각각 복수 개로 이루어진 멀티 스크라이빙 장치에 적용된다. 이 경우, 각각의 헤드는 독립적으로 제어가 가능함은 물론이다As shown in FIG. 7, the control system according to the present embodiment is applied to a multi-scribing apparatus having a plurality of heads respectively at the top and the bottom thereof. In this case, each head can be independently controlled, of course.
구체적으로, 본 실시예에 따른 제어 시스템은, 합착 기판(101)의 상부와 하부에 각각 2개씩 상부 헤드(61,63)와 하부 헤드(62, 64)가 설치되어 있고, 상기 상부 헤드(61,63)와 하부 헤드(62, 64)에는 각각 상부 휠(81, 83)과 하부 휠(82, 84)이 장착되어 있다. 즉, 2쌍의 상하부 헤드(또는 상하부 휠)가 배치되어 있다.Specifically, in the control system according to the present embodiment, two
본 실시예에 따르면, 제어수단(50)과 이동수단(40)에 의해 상부 헤드(61,63)와 하부 헤드(62, 64)가 합착 기판(101)의 상하부에서 각각 위치 제어된다.According to the present embodiment, the
상기 합착 기판(101)에는 제1 더미 영역과 제2 더미 영역이 포함되어 있으며, 상기 합착 기판(101)의 제1 더미 영역과 제2 더미 영역은, 예를 들어 합착 공정 시에 미리 입력된 위치 좌표 등에 의해 판단된다.The cemented
따라서, 이와 같이 판단된 합착 기판(101)의 제1 더미 영역과 제2 더미 영역으로 상부 헤드(61,63)와 하부 헤드(62,64)가 이동수단(40)에 의해 각각 이동된다. 또, 이러한 이동수단(40)의 구성은 통상의 스크라이빙 라인 형성장치에 의해 달성되므로, 그 구체적인 설명은 생략한다. Accordingly, the
또한 본 발명의 실시예 2에 따른 제어수단(50)은 상부 헤드(61,63)와 하부 헤드(62,64)의 위치를 각각 독립적으로 제어하도록 구성된다.In addition, the control means 50 according to the second embodiment of the present invention is configured to independently control the positions of the upper head (61, 63) and the lower head (62, 64), respectively.
상술한 제어수단(50)은 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단차가 있는 제2 및 제3 부분을 상하부 휠(83,84)로 동시에 스크라이빙하면서, 시차를 두고 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단차가 없는 제1 부분을 상하부 휠(81,82)로 동시에 스크라이빙 하도록 제어한다.The above-described control means 50 simultaneously scribes the second and third portions having the step difference between the first dummy region and the second dummy region with the upper and
즉, 도 9에 도시한 바와 같이, 합착 기판(101)의 단차가 있는 부분은 상하부 휠(83,84)이 서로 어긋난 위치에서 스크라이빙 라인을 형성하도록 하고, 단차가 없는 부분은 소정의 시차를 두고 또 다른 상하부 휠(81,82)이 스크라이빙 라인을 형성하도록 한다.That is, as shown in FIG. 9, the stepped portion of the bonded
여기서 상술한 바와 같은 제어수단(50)은 통상의 마이크로 프로세서 등을 포함하며, 이러한 마이크로 프로세서 등에 의한 제어수단의 구성은 당업자가 용이하게 실현할 수 있으므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.Here, the control means 50 as described above includes a conventional microprocessor and the like, and the configuration of the control means by the microprocessor and the like can be easily realized by those skilled in the art, and thus a detailed description thereof will be omitted.
다음에 본 발명의 실시예 2에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법을 도 7 내지 도 9에 따라 설명한다.Next, the step scribing method of the bonded substrate according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 7 to 9.
도 7에 도시한 바와 같이, 먼저 제어수단(50)은 이동수단(40)을 제어함으로써, 다수의 패널영역들이 배치되어 합착된 합착 기판(101)의 제1 더미 영역과 제2 더미 영역으로 상부 헤드(61,63)와 하부 헤드(62,64)를 이동시킨다.As shown in FIG. 7, first, the control means 50 controls the moving means 40 so that a plurality of panel regions are disposed and the upper portion of the first dummy region and the second dummy region of the bonded
즉, 도 7과 도 8에 도시한 바와 같이, 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단차가 있는 제2 및 제3 부분(332,232)(A' 부분)으로 상하부 헤드(63,64)를 이동시킴과 함께 단차가 없는 제1 부분(331,231)(B' 부분)으로 또 다른 상하부 헤드(61,62)를 이동시킨다.That is, as shown in FIG. 7 and FIG. 8, the upper and
그리고, 먼저 상하부 휠(83,84)이 각각 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단 차가 있는 제2 및 제3 부분(332,232)을 스크라이빙 해나간다. 이때, 상기 상하부 휠(83,84)은 서로 어긋난 위치에서 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단차가 있는 제2 및 제3 부분(332,232)을 각각 동시에 스크라이빙 한다. 본 실시예에서는 도 8의 A'부분에서와 같이 단차가 있는 제2 및 제3부분(332,232)을 동시에 스크라이빙 하므로, 종래 단차가 있는 부분의 스크라이빙 공정 시 기판 휨 때문에 크랙 방향이 직선을 유지하지 못했던 문제가 해결된다.First, the upper and
이와 같이 A'부분에서의 선행 스크라이빙이 시작된 후, 소정 시차를 두고 또 다른 상하부 헤드(61,62)가 단차가 없는 제1 부분(331,231)(도 8의 B' 부분)을 후행 스크라이빙 하도록 제어수단(50)이 작동한다.As described above, after the scribing of the portion A 'is started, another upper and
이와 같이, 스크라이빙을 실행할 때 시차를 두는 이유는, 헤드를 포함하는 스크라이빙 장치가 서로 간섭이 발생하는 것을 방지하는 동시에, 도 8의 A'부분과 B' 부분 중 어느 한 부분(도 8에서는 A' 부분)에서 선행 스크라이빙이 이루어지고 있는 동안 다른 부분(도 8에서는 B' 부분)에서는 선행 스크라이빙시의 누름력을 지지하여 합착기판의 파손을 방지하기 위함이다.As such, the reason for staggering when performing scribing is to prevent the scribing apparatus including the head from interfering with each other, and at the same time any one of A 'portion and B' portion of FIG. In order to prevent breakage of the bonded substrate by supporting the pressing force during the preceding scribing while the other part (part B 'in FIG. 8) is being subjected to the preceding scribing in the part A' in FIG. 8.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 멀티 스크라이빙 장치를 이용하여 1회의 스크라이빙 공정만을 실행하되, 단차가 있는 부분과 단차가 없는 부분을 시차를 두고 실행함으로써 스크라이빙 시간을 대폭 줄일 수 있다.As described above, according to the present invention, the scribing time can be drastically reduced by performing only one scribing process by using the multi-scribing apparatus, but executing the part having a step and the part having no step at a time difference. have.
전술한 본 발명의 실시예 2에서는 단차가 있는 부분인 A' 부분에서 선행 스크라이빙이 이루어지는 것으로 되어 있지만, 반대로 B' 부분에서 선행 스크라이빙이 이루어지고 소정 시차를 두고 A' 부분에서 스크라이빙이 이루어지도록 해도 무 방하다.In the above-described
실시예 3Example 3
도 10은 본 발명의 실시예 3에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 제어 시스템의 구성도이고, 도 11은 본 발명의 실시예 3에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법을 설명하기 위한 도면이며, 도 12는 본 발명의 실시예 3에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법을 나타내는 평면도이다.10 is a configuration diagram of a step scribing control system for a bonded substrate according to Embodiment 3 of the present invention, and FIG. 11 is a view for explaining a step scribing method for a bonded substrate according to Embodiment 3 of the present invention. 12 is a plan view illustrating a step scribing method of a bonded substrate according to a third embodiment of the present invention.
도 10에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 제어 시스템은, 헤드가 상부와 하부에 각각 복수 개로 이루어진 멀티 스크라이빙 장치에 적용된다. 이 경우, 각각의 헤드는 독립적으로 제어가 가능함은 물론이다As shown in FIG. 10, the control system according to the present embodiment is applied to a multi-scribing apparatus having a plurality of heads respectively at the top and the bottom thereof. In this case, each head can be independently controlled, of course.
구체적으로, 본 실시예에 따른 제어 시스템은, 합착 기판(101)의 상부와 하부에 각각 3개씩 상부 헤드(61,63,63')와 하부 헤드(62,64,64')가 설치되어 있다.Specifically, in the control system according to the present embodiment, three
도면에서, 본 실시예의 합착 기판(101)은 다수의 패널영역들이 배치되어 합착되되, 상부의 제1 더미 영역과, 상기 제1 더미 영역보다 폭이 큰 하부의 제2 더미 영역을 포함하여 형성된 것을 대상으로 하였다. 그러나, 제1 더미 영역이 제2 더미 영역보다 폭이 큰 합착 기판을 대상으로 할 수도 있음은 물론이다.In the drawing, the bonded
상기 상부 헤드 61과 하부 헤드 62에는 각각 상부 휠 81과 하부 휠 82이 장착되어 있고, 상부 헤드 63과 하부 헤드 64'에는 각각 상부 휠 83과 하부 롤러 84'가 장착되어 있으며, 상부 헤드 63'과 하부 헤드 64에는 각각 상부 휠 83'과 하부 롤러 84가 장착되어 있다. 즉, 3쌍의 상하부 헤드(61,62)(63,64')(63',64)가 이웃 하여 배치되어 있다. 도면에서는 하나의 헤드에 휠 또는 롤러가 장착된 구성으로 되어 있으나, 휠과 롤러가 하나의 헤드에 함께 설치되고 둘 중 하나를 선택적으로 사용하도록 할 수 있다.The
본 실시예에 따르면, 제어수단(50)과 이동수단(40)에 의해 상부 헤드(61,63,63')와 하부 헤드(62,64,64')가 합착 기판(101)의 상하부에서 각각 위치 제어된다.According to the present embodiment, the
그리고, 상기 합착 기판(101)의 제1 더미 영역과 제2 더미 영역은, 예를 들어 합착 공정 시에 미리 입력된 위치 좌표 등에 의해 판단된다.The first dummy region and the second dummy region of the cemented
따라서, 이와 같이 판단된 합착 기판(101)의 제1 더미 영역과 제2 더미 영역으로 상부 헤드(61,63,63')와 하부 헤드(62,64,64')가 이동수단(40)에 의해 각각 이동된다.Accordingly, the
구체적으로, 상기 이동수단(40)에 의해 상기 합착 기판(101)의 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단차가 없는 부분으로 상하부 휠 1쌍(81,82)이 이동되고, 제1 더미 영역의 단차가 있는 부분에 상부 휠(83)과 하부 롤러(84') 1쌍이 이동되며, 제2 더미 영역의 단차가 있는 부분에 하부 휠(84)과 상부 롤러(83') 1쌍이 이동된다.In detail, the pair of upper and
이러한 이동수단(40)의 구성은 통상의 스크라이빙 라인 형성장치에 의해 달성되므로, 그 구체적인 설명은 생략한다. Since the configuration of the moving
또한 본 발명의 실시예 3에 따른 제어수단(50)은 상부 헤드(61,63,63')와 하부 헤드(62,64,64')의 위치를 각각 독립적으로 제어하도록 구성된다.In addition, the control means 50 according to the third embodiment of the present invention is configured to independently control the positions of the
상술한 제어수단(50)은 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단차가 없는 제1 부분(331,231)을 상하부 휠(81,82)로 동시에 스크라이빙하면서, 상하부 휠(81,82)의 스크라이빙 시점과 시차를 두고 제1 더미 영역의 단차가 있는 제2 부분(332)을 상부 휠(83)로 스크라이빙하고, 상기 상부 휠(83)의 스크라이빙 시점과 시차를 두고 제2 더미 영역의 단차가 있는 제3 부분(232)을 하부 휠(84)로 스크라이빙하도록 제어한다. 결국, 3쌍의 상하부 헤드(61,62)(63,64')(63',64)는 서로 시차를 두고 스크라이빙을 시작하게 된다. The above-described control means 50 simultaneously scribes the
본 실시예에 따르면, 상부 휠(83)이 합착 기판(101)의 상면을 스크라이빙하는 동안 하면에는 하부 롤러(84')가 접한 상태에서 동시에 진행하게 된다. 마찬가지로, 하부 휠(84)이 합착 기판(101)의 하면을 스크라이빙하는 동안 상면에는 상부 롤러(83')가 접한 상태에서 동시에 진행하게 된다.According to this embodiment, while the
상기 상부 롤러(83')와 하부 롤러(84')는 각각 하부 휠(84)과 상부 휠(83)의 누름력에 의한 굽힘 모멘트를 상쇄시켜서 정밀한 스크라이빙이 가능하게 하고 스크라이빙시 합착 기판(101)이 파손되는 것을 방지하게 한다.The upper roller 83 'and the lower roller 84' cancel the bending moment due to the pressing force of the
여기서, 상술한 바와 같은 제어수단(50)은 통상의 마이크로 프로세서 등을 포함하며, 이러한 마이크로 프로세서 등에 의한 제어수단의 구성은 당업자가 용이하게 실현할 수 있으므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.Here, the control means 50 as described above includes a conventional microprocessor and the like, the configuration of the control means by such a microprocessor can be easily realized by those skilled in the art, a detailed description thereof will be omitted.
다음에 본 발명의 실시예 3에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법을 도 10 내지 도 12에 따라 설명한다.Next, the step scribing method of the bonded substrate according to the third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 10 to 12.
도 10에 도시한 바와 같이, 먼저 제어수단(50)은 이동수단(40)을 제어함으로 써, 다수의 패널영역들이 배치되어 합착된 합착 기판(101)의 제1 더미 영역과 제2 더미 영역으로 상부 헤드(61,63,63')와 하부 헤드(62,64,64')를 이동시킨다.As shown in FIG. 10, first, the control means 50 controls the moving
즉, 도 10과 도 11에 도시한 바와 같이, 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단차가 없는 제1 부분(331,231)(B' 부분)으로 상하부 헤드(61,62)를 이동시킴과 함께, 제1 더미 영역의 단차가 있는 제2 부분(332)(A' 부분)으로 상하부 헤드(63,64')를 이동시키고, 제2 더미 영역의 단차가 있는 제3 부분(232)(C' 부분)으로 상하부 헤드(63',64)를 이동시킨다.That is, as shown in FIGS. 10 and 11, the upper and
그리고, 먼저 상부 롤러(83')가 합착 기판(101)의 상면을 지지한 상태에서 하부 휠(84)이 제2 더미 영역의 단차가 있는 제3 부분(232)에서 합착 기판(101)의 하면을 스크라이빙한다(선행 스크라이빙 공정).Then, when the upper roller 83 'supports the upper surface of the bonded
다음, 상기 하부 휠(84)의 스크라이빙 시작 시점과 시차를 두고 하부 롤러(84')가 합착 기판(101)의 하면을 지지한 상태에서 상부 휠(83)이 제1 더미 영역의 단차가 있는 제2 부분(332)에서 합착 기판(101)의 상면을 스크라이빙하기 시작한다(중도 스크라이빙 공정).Next, when the lower roller 84 'supports the lower surface of the cemented
이어서, 상기 상부 휠(83)의 스크라이빙 시작 시점과 시차를 두고 상하부 휠(81,82)이 각각 제1 더미 영역과 제2 더미 영역의 단차가 없는 제1 부분(331,231)을 스크라이빙하기 시작한다(후행 스크라이빙 공정).Subsequently, the upper and
이와 같이, 스크라이빙을 실행할 때 시차를 두는 이유는, 헤드를 포함하는 스크라이빙 장치가 서로 간섭이 발생하는 것을 방지하기 위함이다.As such, the reason for staggering when performing scribing is to prevent the scribing apparatus including the head from interfering with each other.
그리고, 스크라이빙의 시작 시점은 다소의 시차가 있지만 그 시차가 경과한 후에는 3쌍의 헤드가 동시에 이동하면서 스크라이빙이 이루어진다.The scribing start time is somewhat parallax, but after the parallax has elapsed, scribing is performed while the three pairs of heads move simultaneously.
본 실시예에서는 도 11의 A'부분과 C'부분에서와 같이 단차가 있는 제2 및 제3부분(332,232)에서 하부 롤러(84')와 상부 롤러(83')로 지지하면서 스크라이빙하므로, 종래 단차가 있는 부분의 스크라이빙 공정 시 기판 휨 때문에 크랙 방향이 직선을 유지하지 못했던 문제가 해결된다.In the present embodiment, the scribing is supported by the lower roller 84 'and the upper roller 83' in the second and
이와 같이 C'-> A' -> B' 순서대로 소정 시차를 두고 스크라이빙 하도록 제어수단(50)이 작동한다.As such, the control means 50 operates to scribe at a predetermined time difference in the order of C '-> A'-> B '.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 멀티 스크라이빙 장치를 이용하여 1회의 스크라이빙 공정만을 실행하되, 단차가 있는 부분과 단차가 없는 부분을 시차를 두고 실행함으로써 스크라이빙 시간을 대폭 줄일 수 있다.As described above, according to the present invention, the scribing time can be drastically reduced by performing only one scribing process by using the multi-scribing apparatus, but executing the part having a step and the part having no step at a time difference. have.
전술한 본 발명의 실시예 3에서는 제2 더미 영역의 단차가 있는 부분인 C' 부분부터 A', B'순으로 스크라이빙이 이루어지는 것으로 되어 있지만, 그 순서는 임의로 이루어지도록 해도 무방하다.In the third embodiment of the present invention described above, scribing is performed in the order of C 'to A' and B ', which is a stepped portion of the second dummy region, but the order may be arbitrarily performed.
이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니고 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.As mentioned above, although the invention made by this inventor was demonstrated concretely according to the said Example, this invention is not limited to the said Example and can be variously changed in the range which does not deviate from the summary.
도 1은 박막 트랜지스터 어레이 기판들이 형성된 제 1 모기판과 컬러필터 기판들이 형성된 제 2 모기판이 합착되어 이루어지는 액정표시패널의 단면 구조를 개략적으로 나타내는 도면,1 is a schematic cross-sectional view of a liquid crystal display panel in which a first mother substrate on which thin film transistor array substrates are formed and a second mother substrate on which color filter substrates are formed are bonded;
도 2는 액정표시패널의 절단공정을 개략적으로 나타내는 예시도,2 is an exemplary view schematically showing a cutting process of a liquid crystal display panel;
도 3은 종래의 스크라이빙 공정을 설명하는 도면,3 is a view for explaining a conventional scribing process,
도 4는 본 발명에 적용되는 액정표시패널의 제조방법을 개략적으로 나타내는 흐름도,4 is a flowchart schematically illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display panel according to the present invention;
도 5는 본 발명의 실시예 1에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 제어 시스템의 구성도,5 is a configuration diagram of a step scribing control system of a bonded substrate according to
도 6은 본 발명의 실시예 1에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법을 설명하기 위한 도면,6 is a view for explaining a step scribing method of the bonded substrate according to the first embodiment of the present invention,
도 7은 본 발명의 실시예 2에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 제어 시스템의 구성도,7 is a configuration diagram of a step scribing control system of a bonded substrate according to
도 8은 본 발명의 실시예 2에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법을 설명하기 위한 도면,8 is a view for explaining a step scribing method of the bonded substrate according to a second embodiment of the present invention,
도 9는 본 발명의 실시예 2에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법을 나타내는 평면도이다.9 is a plan view illustrating a step scribing method of a bonded substrate according to Example 2 of the present invention.
도 10은 본 발명의 실시예 3에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 제어 시스템의 구성도,10 is a configuration diagram of a step scribing control system of a bonded substrate according to Embodiment 3 of the present invention;
도 11은 본 발명의 실시예 3에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법을 설명하기 위한 도면,11 is a view for explaining a step scribing method of a bonded substrate according to a third embodiment of the present invention;
도 12는 본 발명의 실시예 3에 따른 합착 기판의 단차 스크라이빙 방법을 나타내는 평면도이다.12 is a plan view illustrating a step scribing method of a bonded substrate according to Embodiment 3 of the present invention.
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