KR101079501B1 - 반송 검사 장치 및 반송 장치 - Google Patents

Abstract

반송 대상물이 투명 재료인 경우에도, 비접촉 상태에서의 반송중에 결함 검사를 행할 수 있는 반송 검사 장치를 제공한다. 반송 검사 장치는, 전극면에 인가하는 전압을 제어하여 박형 부재(5)를 비접촉 상태로 반송하는 반송 장치(2)와, 박형 부재(5)의 결함을 반송중에 검사하는 결함 검사 장치(3)를 구비한다. 반송 장치(2)에는 전극면 일부에 광선이 투과하는 광선 투과부(절결부)(15)가 배치되어 있다. 이 광선 투과부(15)를 이용하여 결함 검사 장치(3)에 의해 반송 대상물이 투명 재료인 경우라도, 비접촉 상태에서의 반송중에 결함 검사를 행할 수 있다.

Description

반송 검사 장치 및 반송 장치{CONVEYING/INSPECTING APPARATUS AND CONVEYING APPARATUS}

본 발명은, 박형 부재를 비접촉 상태로 반송하면서 결함 검사를 행할 수 있는 반송 검사 장치 및 이 장치에 이용하는 반송 장치에 관한 것이다.

종래부터, 유리 등의 박형 재료를 확실히 반송하기 위한 반송 장치로서, 예컨대 다열 롤러에 의한 구동 롤러 방식을 채용한 유리 수직 반송기가 실용화되고 있다(예컨대, 일본 설비 공업사의 유리 수직 반송기).

그러나 반송 대상의 부재가 박막 트랜지스터(TFT), 액정판(LCD), 플라즈마 디스플레이(PDP), 유리 기판 등인 경우에는, 가능한 한 충격이나 다른 부재와의 접촉이 적은 반송 수단이 요구된다.

이러한 상황하에서 박형 부재를 정전기력에 의해 비접촉 상태로 유지하는 정전 유지 장치가 제안되어 있다(예컨대, 특허 문헌 1 참조). 이 정전 부상(浮上) 반송 장치에 의하면, 정전력을 이용한 정전 부상 시스템에 있어서, 절연 기판상에 도전체의 전극 패턴이 형성되어 있는 고정자와, 이 고정자에 대향하여 고정자에 비접촉으로 유지되는 핸들링 대상물과, 고정자와 핸들링 대상물 사이의 갭을 검출하는 근접 스위치와, 직류 전압을 공급하는 전원과, 고정자의 전극으로의 인가 전압에 대한 스위칭 동작을 행하는 스위칭 회로를 구비하고, 근접 스위치로부터의 온/오프 신호에 기초하여 스위칭 회로에 의해 전원으로부터의 직류 전압을 상기 고정자의 전극 패턴에 스위칭함으로써, 핸들링 대상물을 안정적으로 부상시키고 있다.

또한, 이러한 정전 유지 장치를 이용하여, 핸들링 대상물로서의 박형 부재를 경사진 상태에서 반송하는 박형 부재의 핸들링 방법 및 핸들링 장치도 제안되어 있다(예컨대, 특허 문헌 2 참조).

상기 특허 문헌 2에 기재된 핸들링 장치에 의하면, 유리판 등의 박형 부재의 일측 가장자리를 지지하는 벨트 컨베이어를 구비하고, 벨트 컨베이어에 의해 일측 가장자리를 지지하면서 정전 유지 장치에 의해 박형 부재의 면을 비접촉으로 흡인함으로써, 박형 부재를 경사지게 한 상태로 유지시키면서 반송하는 핸들링 장치가 개시되어 있다.

특허 문헌 1: 일본 특허 공개 평9-322564호 공보

특허 문헌 2: 일본 특허 공개 제2001-198759호 공보

특허 문헌 2에 개시한 핸들링 장치에 의하면, 박형 부재와 실질적으로 비접촉 상태에서 핸들링 대상물로서의 박형 부재를 반송할 수 있기 때문에, 청결도를 향상시켜 반송하는 데 적합하다. 또한, 상기 특허 문헌 2에 개시한 핸들링 장치에 의하면 수직 반송(경사지게 한 상태에서의 반송)이 가능하기 때문에, 대형 유리 재료를 작은 설치 면적으로 반송하는 데 적합하다.

여기서, 핸들링 대상물로서의 유리 재료는 실제 공장 내에서는 적절한 공정에 의해 이물의 유무 등을 카메라를 사용하여 검사하는 것이 바람직하다. 이 때문 에 반송 장치로서는, 반송 시간을 이용해서 이들의 결함 검사를 동시 병행적으로 행할 수 있는 것이 바람직하다.

그러나 특허 문헌 2에 개시한 핸들링 장치로는 핸들링중에 결함을 검사할 수 없다.

또한, 특허 문헌 2에 개시한 핸들링 장치에 결함 검사 장치를 구비한 구성만으로는, 핸들링 대상물이 투명할 때에는 라인 센서 등의 카메라를 이용한 화상 처리에 의해 결함을 검사하는 것이 어려운 경우가 있다.

이것은 유지 수단으로서의 전극 표면과 박형 부재와의 이격 거리가 수백 μm 이하로 매우 좁기 때문에, 핸들링 대상물이 투명 재료인 경우에는, 유지 수단과 핸들링 대상물이 비접촉 상태에서도, 카메라에 의해 촬상된 화상에 핸들링 대상물의 이면에 위치하는 전극 표면이 배경으로서 촬상되고, 이것이 노이즈로 되어 충분히 정밀도가 좋은 결함 검사를 행할 수 없기 때문이다.

따라서 본 발명의 제1 목적은 반송중에도 결함 검사를 행할 수 있는 반송 검사 장치를 제공하는 것이다. 또한, 본 발명의 다른 목적은 반송 대상물이 투명 재료인 경우라도 비접촉 상태에서의 반송중에 결함 검사를 행할 수 있는 반송 검사 장치를 제공하는 것이다.

본 발명자들은 전극면에 인가하는 전압을 제어하여 박형 부재를 비접촉 상태에서 반송하는 반송 장치에 대하여, 박형 부재의 결함을 반송중에 검사하는 결함 검사 장치를 구비시킴으로써, 반송중에도 결함 검사를 행하는 반송 검사 장치를 제공할 수 있는 것을 발견하였다. 또한, 본 발명자들은 이 반송 장치를 구성하는 전극면 일부에 광선이 투과하는 광선 투과부를 배치하고, 이 광선 투과부를 이용하여 결함 검사 장치를 배치함으로써, 반송 대상물이 투명 재료라도 비접촉 상태에서의 반송중에 결함 검사를 행할 수 있는 반송 검사 장치를 제공할 수 있는 것을 발견하였다.

즉, 본 발명은, 전극면에 인가하는 전압을 제어하여 박형 부재를 비접촉 상태에서 반송하는 반송 장치와 상기 박형 부재의 결함을 반송중에 검사하는 결함 검사 장치를 구비한 반송 검사 장치이다.

이와 같이 구성하면, 결함 검사를 행하면서 박형 부재를 비접촉 상태에서 반송할 수 있다.

본 발명에서는, 상기 전극면 일부에 광선이 투과하는 광선 투과부가 배치되고, 상기 결함 검사 장치는 상기 광선 투과부를 이용하여 배치되어 있는 것이 바람직하다.

이와 같이 구성하면, 결함 검사 장치가 광선 투과부를 이용하여 배치되어 있기 때문에, 반송 대상물이 투명 재료라도 결함 검사를 위해 카메라에 의해 촬상된 화상에 노이즈가 되는 전극 표면이 배경으로서 촬상되지 않는다. 이에 따라 반송중에 정밀도가 좋은 결함 검사를 행할 수 있다.

또한, 본 발명은 전극면에 인가하는 전압을 제어하여 박형 부재를 비접촉 상태에서 반송하는 반송 장치로서, 상기 전극면 일부에 광선이 투과하는 광선 투과부가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 장치를 제공한다.

이와 같이 구성하면, 상기 반송 장치는, 광선 투과부를 이용하여 결함 검사 장치를 배치함으로써, 반송 대상물이 투명 재료라도 결함 검사를 위해 카메라에 의해 촬상된 화상에 노이즈로 되는 전극 표면이 배경으로서 촬상되지 않는 반송 검사 장치로서 이용할 수 있다. 이에 따라, 반송중에 정밀도가 좋은 결함 검사를 행할 수 있는 반송 검사 장치를 제공할 수 있다.

이 박형 부재를 유지하는 전극면은, 전극면의 면적이 작은 전극 유닛이 평면적으로 인접하여 다수 배열되어 구성되어 있고, 상기 광선 투과부가 상기 전극 유닛의 하나의 유닛 또는 수 개의 유닛이 누락된 절결부로서 형성되어 있으면, 반송 검사 장치의 구조가 간단해진다. 또한, 광선 투과부가 절결부인 경우에는, 장기간 사용하여도, 광선 투과부가 열화되거나, 변색되거나, 더러워지거나, 진애 등이 부착되거나 하는 등에 기인하여 결함 검사를 위해 촬상되는 화상에 노이즈의 발생이 일어나지 않는다.

이들 다수의 전극 유닛은, 다른 전극 유닛과는 서로 독립적으로 전극 유닛과 박형 부재와의 간격을 제어할 수 있는 제어 기구를 구비하고 있으면, 핸들링 대상물이 유연하거나 파괴되기 쉬운 것인 경우에도 저렴한 반송 검사 장치를 제공할 수 있다. 예컨대, 전극 유닛의 면적을 작게 하여 그 수를 늘림으로써, 박형 부재가 유연하거나, 파괴되기 쉬운 것이라도 안정적으로 반송 및 검사를 행할 수 있다. 또한, 전극 유닛의 면적을 크게 하여 그 수를 감소시킴으로써, 전체 비용을 저감할 수 있다. 각 전극 유닛에 대하여 서로 독립적으로 박형 부재와의 간격을 제어하기 위한 제어 기구는, 각 전극 유닛에 대응하여 센서를 설치하고, 센서 출력에 따라 각 전극 유닛으로의 전압 인가를 제어하여, 상기 간격을 제어하는 구성으로 할 수 있다.

이러한 결함 검사 장치의 예로는, 라인 센서 카메라 또는 에리어 센서 카메라(area sensor camera)를 들 수 있다.

이러한 결함 검사 장치가 에리어 센서 카메라이고, 상기 반송 장치가 간헐적으로 박형 부재를 반송하는 반송 기구를 구비하며, 이 반송 기구의 정지 상태에서 상기 에리어 센서 카메라가 작동하여 검사에 요구되는 화상을 촬상하는 구성이면, 핸들링 대상물로서의 박형 부재가 두께 방향으로 위치 변동하여도 평면 방향으로 이동하지 않는 상태에서 카메라의 초점 심도 범위 내에서 화상을 촬상할 수 있기 때문에, 화상 촬영 정밀도에 영향을 받지 않고, 고정밀도로 결함을 검사할 수 있다.

상기 결함 검사 장치는 카메라 이동 수단을 더 구비하고 있고, 이 카메라 이동 장치에 의해 에리어 센서 카메라를 상기 전극면에 평행한 평면 방향으로서 반송 방향과 교차하는 방향으로 이동할 수 있도록 하면, 에리어 센서 카메라를 반송 방향과 교차하는 방향으로 이동시킴으로써 카메라의 시야가 좁아도 카메라 대수를 늘리지 않고 폭 넓은 박형 부재를 검사할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반송 검사 장치의 구성을 설명하는 측면도이다.

도 2는 도 1의 반송 검사 장치의 촬상 유닛(17)과 수직 반송 장치(2)의 관계 를 평면에 의해 설명하는 도면이다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 전극 베이스(7)를 구성하는 전극 유닛(9)의 일례를 설명하는 사시도이다.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 전극 베이스(7)의 구성을 설명하는 부분 사시도이다.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 전극 베이스(7)의 구성의 변형예를 설명하는 부분 사시도이다.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 반송 검사 장치에 있어서의 반송 장치(2)와 촬상 유닛(17)의 위치 관계를 정면으로부터 본 도면으로 설명하는 투시도이다.

도 7은 변형예에 따른 반송 검사 장치에 있어서의 촬상 유닛(17)의 촬상 장치의 이동 방향을 설명하는 도면이다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.

도 1 및 도 2는 본 발명의 반송 검사 장치의 구성을 설명하는 도면이며, 본 발명의 반송 검사 장치(1)는 수직 반송 장치(2)와 결함 검사 장치(3)를 구비하고 있다.

수직 반송 장치(2)는, 핸들링 대상물(5)을 정전적으로 흡인하는 전극면을 구비한 전극 베이스(고정자)(7)와, 이 전극 베이스(7)의 아래쪽에 배치되고, 전극면에서 정전적으로 비접촉 상태(예컨대, 일정한 거리를 두고 흡인된 상태)로 핸들링 대상물(5)의 하측 가장자리(5a)를 지지하여 핸들링 대상물(5)을 반송하는 벨트 컨 베이어 등의 반송 장치(8)를 구비하고 있다. 또한, 이 전극 베이스(7)는 장치 본체(4)에 대하여 수직 방향(세로 방향)에 대한 기울기(θ)가 조정 가능하게 고정되어 있다.

본 발명의 실시예의 일례인 전극 베이스(7)는, 도 3에 도시하는 전극 유닛(9)으로 구성되어 있다. 여기서, 이 실시예의 전극 유닛(9)은, 전극면의 면적이 예컨대 평면에서 보아 100×100, 200×200(단위는 mm) 등의 사각형이지만, 이에 한정되지 않는다. 예컨대, 크기는 자유롭게 선택할 수 있고, 또한 형상도 사각형으로 한정되지 않으며, 예컨대 평면으로 보아 원형, 육각형 등도 좋다.

이 전극 유닛(9)의 면적은 핸들링 대상물(5)의 강성에 따라 정해지며, 강성이 낮을수록 전극 유닛(9)의 면적을 미세하게 분할하고, 핸들링 대상물(5)의 각 부위에 작용하는 정전기 흡인력을 다수로 분할하여 제어하는 것이 좋다. 전극 유닛(9)의 수를 많게 하고, 각각의 전극(10, 11)을 각각 독립된 분산 제어의 형태를 취하게 하며, 또한 그 전극 유닛(9)의 수에 비례하여 근접 스위치(스위칭 회로 내의 스위치와 반전 소자의 수 등)를 증가시킴으로써, 핸들링 대상물(5)을 안정적으로 취급할 수 있다.

또한, 각 전극 유닛(9)은 핸들링 대상물(5)에 정전력을 부여하기 위해 패턴형으로 형성된 한 쌍의 전극(10, 11)을 표면(전극면)에 구비하고, 각 전극(10, 11)에는 상호 반대 극성의 전압이 전압 회로(도시 생략)로부터 공급되도록 되어 있다.

여기서, 본 발명의 실시예에서는, 핸들링 대상물(5)의 전위를 0 V로 유지하기 위해, 외측에 배치된 전극(10)과 내측에 배치된 전극(11) 사이에는 절연체로 이 루어지는 분리대(12)가 설치되고, 각 전극(10, 11)의 면적은 상호 동등하게 되어 있다.

또한, 전극(11)의 내측 중앙에는 핸들링 대상물(5)의 위치를 검출하기 위한 센서, 예컨대 근접 스위치(13)가 배치되어 있다. 이 근접 스위치(13)는 핸들링 대상물(5)과 근접 스위치(13)의 이격 거리에 따라 전극(10, 11)에 인가하는 전압을 온/오프하는 스위칭 기능[각 전극(10, 11)으로의 인가 전압의 스위칭 동작을 행하는 스위칭 회로]을 갖고 있다.

본 발명의 실시예에 있어서는, 도 4 또는 도 5에 도시하는 바와 같이, 이들 다수의 전극 유닛(9 …)이 프레임(14)을 포함하는 지지체(도시 생략)에 지지되어 전극면(표면)을 동일면으로 하여 배치되어 있지만, 그 일부에 지그재그형으로 절결부(15 …)를 구비하고 있다. 이 절결부(15 …)는 전극 유닛(9)이 배치되어 있지 않은 공간이며 본 발명에 따르는 광선 투과부를 구성한다.

결함 검사 장치(3)는, 촬상 장치로서의 카메라(16)(예컨대 2차원 CCD 카메라 또는 에리어 센서) 등을 구비한 다수의 검사 유닛(17 …)을 구비하고 있다. 각 검사 유닛(17)은 적어도 핸들링 대상물(5)의 화상을 촬상하기 위한 촬상 장치[카메라(16)]를 구비하고 있지만, 이 실시예에서는 핸들링 대상물(5)의 검사 부위의 표면을 향해 조명하기 위해 링 조명 등의 조명 장치(17a)를 구비하고 있다. 각 검사 유닛(17)의 광축(O …)은 핸들링 대상물(5)의 표면에 대하여 직각이 되도록 배치되어 있다. 조명광을 확산하거나, 조명광의 양을 조정하거나, 원하는 파장의 조명광을 조사시키기 위한 광학 부재가 사이에 개재되어 있어도 좋다.

어느 광학 부재를 채용하더라도, 상기 검사 유닛(17)은 이 절결부(15)를 이용하여 배치되는 것이 요구된다. 여기서, 절결부(15)를 이용한다는 것은, 본 실시예와 같은 카메라(16)가 핸들링 대상물(5)을 표면측에서 촬상하는 경우에는, 절결부(15)를 검사 부위의 이면에 위치하도록 (예컨대 도 6에 도시하는 바와 같이) 배치한다. 이에 따라, 카메라(16)에 촬상되는 화상에 전극 베이스(7)가 배경으로서 촬상되지 않는다.

이상과 같이 구성된 결함 검사 장치(3)에 의하면, 핸들링 대상물(5)로서의 투명 재료는 그 하단 가장자리(5a)를 반송 장치(8)상에 적재한 상태에서 근접 스위치(13)로부터의 온/오프 신호에 기초하여 스위칭 회로에 의해 전원으로부터의 직류 전압을 전극 유닛(9)의 전극(10, 11)에 패턴형으로 스위칭함으로써, 핸들링 대상물(5)과 근접 스위치(13)(전극면)의 거리를 소정의 목표치(예컨대, 300 ㎛ 내지 500 ㎛의 소정의 값)로 유지하면서 비접촉식으로 핸들링 대상물(5)을 유지할 수 있다.

여기서, 예컨대 두께 0.7 mm, 폭 1500 mm, 길이 1800 mm의 투명 유리판이 핸들링 대상물(5)이며, θ=5도로 하는 대략 수직에 가까운 경사 상태에서 핸들링 대상물(5)의 하단 가장자리(5a)를 반송 장치(8)상에 지지시킨 상태로, 클리어런스가 300 ㎛ 내지 500 ㎛의 범위의 소정치가 되도록 인가 전압을 제어하고, 핸들링하였다.

이 상태에서 반송 장치(8)를 구동시킴으로써 핸들링 대상물(5)을 화살표 방향으로 이동시킬 수 있다.

계속해서, 핸들링 대상물(5)의 검사 부위가 카메라(16)의 촬상 범위에 배치된 상태에서 반송 장치(8)를 정지하여 카메라(16)에 의해 화상을 촬상한다. 이에 따라, 촬상된 화상은 적절한 화상 처리 장치(도시 생략)에 송신되어 스크래치, 크랙, 기포, 셸, 홀, 사이드 마크 등의 이물의 유무가 판정되어 검사가 행해진다. 핸들링 대상물(5)의 이면에는 절결부(15)가 배치되어 있기 때문에, 상기 촬상된 화상은 핸들링 대상물(5)이 투명하여도 배경이 노이즈로 되지는 않는다.

또한, 이러한 화상 촬상 중에 핸들링 대상물(5)은 두께 방향으로 약간 진동하지만, 카메라(16)의 광축(O)이 핸들링 대상물(5)에 대하여 직교하고 있기 때문에, 상기 약간의 진동이 카메라(16)의 초점 심도 범위 내이면 노이즈로 되지 않는다.

화상 촬상 후에, 반송 장치는 카메라의 시야에 상당하는 만큼 이동하여 정지하고, 다음 촬상이 행해진다. 이에 따라, 이러한 결함 검사 장치에 의하면 노이즈가 없고 정밀도가 양호한 결함 검사를 행할 수 있다.

변형예

이 변형예에서는 도 7에 도시하는 바와 같이, 검사 유닛(17)의 카메라(16)를 핸들링 대상물(5)의 표면에 평행하면서, 반송 방향과는 교차(예컨대, 직교)하는 a 방향으로 이동할 수 있는 구성으로 한 것 이외는 본 발명의 실시예와 마찬가지로 하였다.

이와 같이 구성하면, 카메라 시야(18a)의 화상을 촬상한 후, 카메라를 a 방향으로 이동시킴으로써 카메라 시야(18b)에 이동시켜 촬상한다. 카메라 시야(18a 및 18b)의 화상 촬상을 행할 수 있으면 반송 장치(8)를 구동시켜 카메라 시야 폭만큼 유리를 이동시켜 다음 화상을 촬상한다.

이에 따라, 카메라 시야가 좁은 경우라도 카메라의 설치 대수를 늘리지 않고, 폭 방향으로 넓은 핸들링 대상물(5)을 검사할 수 있다.

이상, 본 발명의 실시예를 도면에 의해 상술하였지만, 구체적인 구성은 이 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위의 설계 변경 등이 있어도 본 발명에 포함된다.

예컨대, 핸들링 대상물(5)과 전극 베이스(7) 사이의 상대 위치 관계로서는, 핸들링 대상물(5)이 전극 베이스(7)와 평행하게 되도록 간격을 두고 있는 경우를 설명하였지만, 핸들링 대상물(5)은 전극 베이스(7)에 대하여 경사져 있어도 좋다. 예컨대, 본 발명의 실시예에 있어서, 하단 가장자리(5a)에서는 전극 베이스(7)에 접근하고 있지만 상부를 향함에 따라 거리가 이격되어 있는, 즉 위쪽을 향해 벌려져 유지되어 있어도 좋다.

또한, 조명 장치(17a)는 핸들링 대상물(5)의 표면측으로부터 조명하였지만 이면측으로부터 조명하여도 좋다. 이 경우에, 조명 장치(17a)는 절결부(15)를 이용하여 배치된다.

또한, 결함 검사 장치(3)는 핸들링 대상물(5)의 표면측으로부터 촬상하고 있었지만, 절결부(15)를 이용하여 핸들링 대상물(5)의 이면측으로부터 촬상하여도 좋다. 이 경우도 마찬가지로 조명 장치(17a)는 표면측으로부터 조명하여도 좋고, 이면측으로부터 조명하여도 좋다.

또한, 이상의 본 발명의 실시예에서는, 근접 스위치(13)를 이용하였지만, 근접 스위치(13) 대신에, 변위 센서를 이용하여도 좋다. 변위 센서에 의해 전극면과 핸들링 대상물(5) 사이의 갭을 검출하고, 신호를 컨트롤러 등에 송신하며, 컨트롤러는 그 갭에 맞춰 각 전극 유닛에 대한 인가 전압을 제어하고, 갭을 설정값으로 유지하도록 구성하여도 좋다. 인가 전압의 제어 방식으로서는 온/오프 제어 장치가 가장 저렴하다.

또한, 이상의 본 발명의 실시예에서는, 결함 검사 장치는 에리어 센서를 이용하고 있지만, 라인 센서 등을 이용하여도 좋다. 이 경우에는 수직 반송 장치(8)는 간헐적으로 반송되어도 좋고, 또한 연속적으로 반송되어도 좋다.

또한, 반송 장치는 수직 반송 장치(8)를 예시하였지만, 설치 면적이 허용되면 반송 장치는 수직 반송 장치로 한정되지 않는다.

또한, 이상의 본 발명의 실시예에서는, 광선 투과부는 절결부로서 형성되어 있지만, 광선이 투과하면 되기 때문에, 투명 재료로 형성되어 있어도 좋다.

또한, 이상의 본 발명의 실시예에서는, 반송 장치와 검사 장치가 일체로 형성되어 있지만, 반송 장치와 검사 장치는 별개라도 좋다. 예컨대, 광선 투과부에 위치 결정되어 배치될 수 있는 카메라 장치용 장착부를 배치한 반송 장치라도 좋다. 이 장착부에 시판되는 검사용 카메라 장치를 장착함으로써 본 발명에 따른 반송 검사 장치를 제공할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 LCD, PDP, 유리 기판 등의 반송 대상물을 비접촉 상태에서의 반송중에 결함 검사를 행할 수 있는 반송 검사 장치를 제공하는 것으로, 반송 대상물이 투명 재료라도, 비접촉 상태에서의 반송중에 결함 검사를 행할 수 있는 반송 검사 장치를 제공할 수 있다고 하는 산업상 유익한 효과를 발휘한다.

Claims (19)

1. 전극면을 가지며 이 전극면에 인가하는 전압을 제어하여 박형 부재를 비접촉 상태에서 반송하는 반송 장치와,

   상기 박형 부재의 결함을 반송중에 검사하는 결함 검사 장치를 포함하고,

   상기 전극면의 일부에 광선이 투과하는 광선 투과부가 배치되고, 상기 결함 검사 장치는 상기 광선 투과부를 이용하여 배치되고,

   상기 전극면은 전극면의 면적이 작은 전극 유닛이 평면적으로 인접하여 다수 배열되어 구성되어 있고, 상기 광선 투과부는, 상기 전극 유닛의 일부 또는 수 개의 유닛이 누락된 절결부로서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 검사 장치.
2. 삭제
3. 삭제
4. 제1항에 있어서, 상기 다수의 전극 유닛은, 각 전극 유닛들이 서로 독립적으로 박형 부재와의 간격을 제어할 수 있는 제어 기구를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 반송 검사 장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 결함 검사 장치는 라인 센서 카메라 또는 에리어 센서 카메라인 것을 특징으로 하는 반송 검사 장치.
6. 삭제
7. 제4항에 있어서, 상기 결함 검사 장치는 라인 센서 카메라 또는 에리어 센서 카메라인 것을 특징으로 하는 반송 검사 장치.
8. 제1항에 있어서, 상기 결함 검사 장치는 에리어 센서 카메라이며,

   상기 반송 장치는 간헐적으로 박형 부재를 반송하는 반송 기구를 포함하고,

   상기 반송 기구의 정지 상태에서 상기 에리어 센서 카메라가 작동하여 검사에 필요한 화상을 촬상하는 것을 특징으로 반송 검사 장치.
9. 삭제
10. 제4항에 있어서, 상기 결함 검사 장치는 에리어 센서 카메라이며,

    상기 반송 장치는 간헐적으로 박형 부재를 반송하는 반송 기구를 포함하고,

    상기 반송 기구의 정지 상태에서 상기 에리어 센서 카메라가 작동하여 검사에 필요한 화상을 촬상하는 것을 특징으로 반송 검사 장치.
11. 제5항에 있어서, 상기 결함 검사 장치는 카메라 이동 수단을 더 포함하고 있고, 이 카메라 이동 수단에 의해 상기 에리어 센서 카메라를 상기 전극면에 평행한 평면 방향으로서 반송 방향과 교차하는 방향으로 이동시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 반송 검사 장치.
12. 삭제
13. 제10항에 있어서, 상기 결함 검사 장치는 카메라 이동 수단을 더 포함하고 있고, 이 카메라 이동 수단에 의해 상기 에리어 센서 카메라를 상기 전극면에 평행한 평면 방향으로서 반송 방향과 교차하는 방향으로 이동시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 반송 검사 장치.
14. 제8항에 있어서, 상기 에리어 센서 카메라의 초점 심도는, 박형 부재의 두께에 추가하여 상기 박형 부재가 정전기력에 의해 유지되어 있는 상태에서의 두께 방향의 변동 범위를 만족시키는 것을 특징으로 하는 반송 검사 장치.
15. 삭제
16. 제10항에 있어서, 상기 에리어 센서 카메라의 초점 심도는, 박형 부재의 두께에 추가하여 상기 박형 부재가 정전기력에 의해 유지되어 있는 상태에서의 두께 방향의 변동 범위를 만족시키는 것을 특징으로 하는 반송 검사 장치.
17. 전극면에 인가하는 전압을 제어하여 박형 부재를 비접촉 상태에서 반송하는 반송 장치로서, 상기 전극면의 일부에 광선이 투과하는 광선 투과부가 배치되고,

    상기 전극면은 전극면의 면적이 작은 전극 유닛이 평면적으로 인접하여 다수 배열되어 구성되어 있고,

    상기 광선 투과부는, 상기 전극 유닛의 하나의 유닛 또는 수 개의 유닛이 누락된 절결부로서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 장치.
18. 삭제
19. 제17항에 있어서, 상기 다수의 전극 유닛은, 각 전극 유닛들이 서로 독립적으로 박형 부재와의 간격을 제어할 수 있는 제어 기구를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 반송 장치.

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