KR101040695B1

KR101040695B1 - Apparatus for transferring a substrate

Info

Publication number: KR101040695B1
Application number: KR1020080117196A
Authority: KR
Inventors: 최재현; 유하상
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2008-11-25
Filing date: 2008-11-25
Publication date: 2011-06-10
Also published as: KR20100058708A

Abstract

기판 이송 장치는 경사각을 갖도록 배치되고 평판형 기판이 경사각을 갖는 상태로 적재되는 캐리어와, 일 방향으로 배치되어 캐리어를 지지하며 캐리어를 경사각을 갖는 상태로 이송하기 위해 회전하는 구동 풀리들과, 구동 풀리들과 연결되며 구동 풀리들이 회전하도록 회전력을 제공하는 구동부를 포함한다. 따라서, 기판을 거의 수직에 가까운 상태로 이송하는 것이 가능하여 기판 처리 설비 면적을 크게 감소시킬 수 있다.The substrate transfer apparatus includes a carrier arranged to have an inclination angle and loaded with a flat substrate having an inclination angle, drive pulleys arranged in one direction to support the carrier and rotating to transport the carrier to an inclination angle, and driving And a drive unit connected to the pulleys and providing rotational force to rotate the drive pulleys. Therefore, it is possible to transfer the substrate in a state almost close to vertical, which can greatly reduce the substrate processing equipment area.

Description

Apparatus for transferring a substrate}

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판형 기판을 큰 경사각을 갖는 상태로 이송하기 위한 기판 이송 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus for transferring a flat plate substrate to a state having a large inclination angle.

일반적으로 처리된 정보의 표시를 위해 평판 디스플레이 장치가 널리 사용되고 있으며, 평판 디스플레이 장치의 대표적인 예로는 액정 표시 장치(LCD), 플라즈마 표시 장치(PDP), 유기 발광 표시 장치(OLED) 등을 들 수 있다.In general, a flat panel display device is widely used for displaying processed information, and representative examples of the flat panel display device include a liquid crystal display (LCD), a plasma display (PDP), and an organic light emitting display (OLED). .

이러한 평판 디스플레이 장치는 평판형 기판을 대상으로 상기 평판형 기판 상에 회로 패턴을 형성하기 위한 증착 공정, 식각 공정, 포토리소그래피 공정, 세정 공정, 검사 공정 등의 단위 공정들을 반복적으로 수행하여 제조된다.The flat panel display apparatus is manufactured by repeatedly performing unit processes such as a deposition process, an etching process, a photolithography process, a cleaning process, and an inspection process for forming a circuit pattern on the flat substrate.

상기 단위 공정들 중 식각 공정, 세정 공정 등은 액상의 처리 물질을 이용하여 상기 평판형 기판을 처리하게 된다. 이처럼 액상의 처리 물질을 이용하여 평판형 기판을 처리하는 경우 상기 평판형 기판을 소정 각도(약 6°각도)로 경사지도록 배치하여 이송하면서 처리 공정을 수행하는 방식이 일반적으로 사용된다. 즉, 상기 평판형 기판을 이송하기 위한 회전축들 및 회전 롤러들을 기울어지도록 배치하여 상기 평판형 기판이 기울어진 상태에서 이송되면서 상기 평판형 기판에 대한 처리 공정을 수행한다.Among the unit processes, an etching process, a cleaning process, and the like process the plate-type substrate using a liquid treatment material. As described above, when the flat substrate is processed by using a liquid treatment material, the flat substrate is disposed to be inclined at a predetermined angle (about 6 °), and a method of performing a processing process while transferring is generally used. That is, the rotating shafts and the rotating rollers for transferring the flat substrate are inclined so that the flat substrate is transferred in an inclined state, thereby performing a processing process on the flat substrate.

최근에는 디스플레이 장치의 대형화 요구에 의해 상기 평판형 기판의 면적이 점차 증가됨에 따라 상기 기판의 처리 공정 설비의 크기도 점차 증가되고 있다. 따라서 상기 기판 처리 설비의 설치 공간 확대에 다른 클린룸의 공간 사용 효율이 감소될 수 있다. 이에, 상기 클린룸의 공간 사용 효율을 증대시키기 위하여 상기 기판 처리 설비가 차지하는 면적을 감소시키기 위한 방안으로 상기 기판의 경사도를 증가시킬 수 있다.Recently, as the area of the flat substrate is gradually increased due to the demand for enlargement of the display device, the size of the processing equipment for the substrate is gradually increased. Therefore, the space use efficiency of another clean room may be reduced in the installation space of the substrate processing equipment. Accordingly, the inclination of the substrate may be increased in order to reduce the area occupied by the substrate processing equipment in order to increase space use efficiency of the clean room.

하지만, 현재 적용되고 있는 롤러 방식의 기판 이송으로는 상기 기판의 경사도를 증가시키는데 한계가 있다.However, there is a limit to increase the inclination of the substrate in the roller transfer substrate currently applied.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 일 과제는 평판형 기판의 이송에서 기판의 경사도를 증가시킬 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.One object of the present invention for solving the above problems is to provide a substrate transfer apparatus that can increase the inclination of the substrate in the transfer of the flat substrate.

상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위해 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 경사각을 갖도록 배치되고, 평판형 기판이 상기 경사각을 갖는 상태로 적재되는 캐리어와, 일 방향으로 배치되어 상기 캐리어를 지지하며, 상기 캐리어를 상기 경사각을 갖는 상태로 이송하기 위해 회전하는 구동 풀리들과, 상기 구동 풀리들과 연결되며, 상기 구동 풀리들이 회전하도록 회전력을 제공하는 구동부를 포함한다.In order to achieve the above object of the present invention, the substrate transfer apparatus according to the present invention is disposed to have an inclination angle, and a carrier on which a flat substrate is loaded with the inclination angle and arranged in one direction to support the carrier, A driving pulley that rotates to transfer the carrier to the state having the inclination angle, and a driving unit that is connected to the driving pulleys and provides a rotational force to rotate the driving pulleys.

이 때, 일 실시예에 따르면, 상기 기판 이송 장치는 상기 캐리어의 일측에 배치되어 상기 캐리어의 이송 중에 상기 캐리어가 상기 경사각을 유지하도록 지지하는 아이들 롤러들(idle rollers)을 더 포함할 수 있다.In this case, according to an embodiment, the substrate transfer apparatus may further include idle rollers disposed on one side of the carrier to support the carrier to maintain the inclination angle during transfer of the carrier.

다른 실시예에 다르면, 상기 캐리어는 상기 경사각에 대해 수직하며, 상기 경사각을 갖는 기판을 지지하는 제1 플레이트와, 상기 경사각을 갖고 상기 제1 플레이트의 일측에 접하는 제2 플레이트와, 상기 제1 플레이트에 지지된 상기 기판의 일측에 배치되어 상기 기판이 경사각을 갖도록 지지하며 아이들 회전하는 제1 아이들 롤러들을 포함할 수 있다.According to another embodiment, the carrier is perpendicular to the inclination angle, a first plate supporting the substrate having the inclination angle, a second plate having the inclination angle and contacting one side of the first plate, and the first plate It may include a first idle roller disposed on one side of the substrate supported on the support to support the substrate having an inclination angle and to rotate idle.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 제1 플레이트는 상기 기판을 안정적으로 지지하기 위해 상면에 상기 일 방향으로 형성된 슬릿 형태의 안착홈이 구비될 수 있 다.According to another embodiment, the first plate may be provided with a slit-shaped mounting groove formed in one direction on the upper surface in order to stably support the substrate.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 제1 플레이트는 상기 기판이 적재될 때 상기 안착홈을 따라 슬라이드 될 수 있게 상기 기판을 지지하기 위하여 회전 가능하게 구성된 제2 아이들 롤러들이 구비될 수 있다.According to another embodiment, the first plate may be provided with second idle rollers rotatably configured to support the substrate so that the first plate can slide along the seating groove when the substrate is loaded.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 제2 아이들 롤러들은 상기 안착홈과 겹쳐지며, 상기 제1 플레이트 내에 배치되어 상기 제1 플레이트의 상면보다 낮은 높이를 갖고, 상기 안착홈의 바닥 높이보다는 높은 위치를 가질 수 있다.According to another embodiment, the second idle rollers overlap the seating grooves, are disposed in the first plate to have a height lower than the top surface of the first plate, and have a position higher than the bottom height of the seating grooves. Can be.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 캐리어 및 기판이 갖는 상기 경사각의 범위는 60°내지 80°인 것을 특징으로 한다.According to another embodiment, the inclination angle of the carrier and the substrate is characterized in that the 60 ° to 80 ° range.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 구동부는 상기 회전력을 제공하는 동력 제공부와, 상기 동력 제공부와 상기 구동 풀리들 사이에 연결되어 상기 회전력을 전달하는 동력 전달부를 포함할 수 있다.According to another embodiment, the driving unit may include a power providing unit for providing the rotational force, and a power transmission unit connected between the power providing unit and the driving pulleys to transmit the rotational force.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 동력 전달부는 제1 동력 전달부 및 제2 동력 전달부를 포함할 수 있다. 상기 제1 동력 전달부는 상기 동력 제공부와 연결된 타이밍 벨트와, 상기 타이밍 벨트와 연결된 다수의 구동 기어들과, 상기 구동 기어들과 결합된 다수의 제1 구동축들과, 상기 제1 구동축들의 단부들에 배치되며 영구 자석들을 포함하는 제1 마그네틱 기어들을 포함할 수 있다. 상기 제2 동력 전달부는 상기 제1 마그네틱 기어들과 각각 마주하여 배치되며 영구 자석들을 포함하는 제2 마그네틱 기어들과, 상기 제2 마그네틱 기어들과 상기 구동 풀리들 사이를 연결하는 제2 구동축들을 포함하는 제2 동력 전달부를 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제1 및 제2 동력 전달부들 사이에서의 회전력 전달은 상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들의 영구 자석들 사이에서 작용하는 자기력에 의해 이루어진다.According to another embodiment, the power transmission unit may include a first power transmission unit and a second power transmission unit. The first power transmission unit includes a timing belt connected to the power supply unit, a plurality of drive gears connected to the timing belt, a plurality of first drive shafts coupled to the drive gears, and ends of the first drive shafts. And may include first magnetic gears disposed in and including permanent magnets. The second power transmission unit includes second magnetic gears disposed to face the first magnetic gears, respectively, and including permanent magnets, and second driving shafts connecting between the second magnetic gears and the driving pulleys. It may include a second power transmission unit. Here, the rotational force transmission between the first and second power transmission units is made by a magnetic force acting between the permanent magnets of the first and second magnetic gears.

또 다른 실시예에 따르면, 상기 제1 및 제2 동력 전달 부재들은 상기 기판의 처리를 위한 챔버의 일 측벽을 사이에 두고 서로 마주하여 배치될 수 있다.According to yet another embodiment, the first and second power transmission members may be disposed to face each other with one sidewall of the chamber for processing the substrate therebetween.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 이와 같이 구성된 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 대면적을 갖는 차세대 평판형 기판의 처리를 위하여 상기 기판을 이송할 때 캐리어 및 구동 풀리들을 이용하여 큰 경사각을 갖는 상태로 이송함으로써 상기 기판의 처리를 위한 설비 면적을 크게 감소시킬 수 있다.The substrate transfer apparatus according to the present invention configured as described above has a large inclination angle using carriers and driving pulleys when transferring the substrate for processing of a next generation flat plate type substrate having a large area. As a result, the facility area for processing the substrate can be greatly reduced.

또한 상기 기판 이송 장치는 기판의 처리 설비 면적을 감소시킬 수 있으므로 상기 기판 처리 설비가 설치되는 클린룸의 공간 사용 효율을 크게 향상시킬 수 있다.In addition, the substrate transfer apparatus can reduce the processing facility area of the substrate, thereby greatly improving the space usage efficiency of the clean room where the substrate processing facility is installed.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 세정 장치에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a substrate cleaning apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하 였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 발명의 명확성을 기하기 위해 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 설명하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.As the inventive concept allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the drawings, similar reference numerals are used for similar elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged to illustrate the invention, and are actually shown in a smaller scale than the actual dimensions in order to explain the schematic configuration. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as the second component, and similarly, the second component may also be referred to as the first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprises", "having", and the like are used to specify that a feature, a number, a step, an operation, an element, a part or a combination thereof is described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.On the other hand, unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art. Terms such as those defined in the commonly used dictionaries should be construed as having meanings consistent with the meanings in the context of the related art and shall not be construed in ideal or excessively formal meanings unless expressly defined in this application. Do not.

실시예Example

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 측면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 구동부를 설명하기 위한 개략적인 도면이며, 도 4는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ′선을 따라서 자른 단면도이다.FIG. 1 is a schematic configuration diagram illustrating a substrate transfer apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic side view illustrating the substrate transfer apparatus illustrated in FIG. 1, and FIG. 3 is a driving unit illustrated in FIG. 1. 4 is a schematic cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 1.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 유리 기판과 같은 평판형 기판(G)에 대한 처리 공정에서 상기 기판(G)을 일 방향으로 이송하기 위하여 사용될 수 있다. 1 to 4, the substrate transfer apparatus 100 according to an embodiment of the present invention transfers the substrate G in one direction in a processing process on a flat substrate G such as a glass substrate. Can be used.

상기 평판형 처리 공정의 예로는 기판(G) 상의 막 또는 불순물을 제거하기 위한 식각 공정, 기판(G) 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정, 식각 또는 세정 후 기판(G)을 린스 처리하기 위한 린스 공정, 기판(G)을 건조시키기 위한 건조 공정 등이 있다. 도시되지는 않았으나, 상기와 같은 처리 공정을 수행하기 위하여, 상기 기판 이송 장치(100)에 의해 이송되는 기판의 전면 및/또는 후면과 마주하는 위치에는 상기 기판(G)의 처리를 위한 약액 또는 처리 가스 등을 제공하는 노즐들, 에어 나이프(air knife) 또는 샤워 나이프(shower knife) 등이 배치될 수 있다.Examples of the plate-type treatment process include an etching process for removing a film or impurities on the substrate G, a cleaning process for removing impurities on the substrate G, a rinse treatment for rinsing the substrate G after etching or cleaning. A process, a drying process for drying the board | substrate G, etc. are mentioned. Although not shown, in order to perform the treatment process as described above, the chemical liquid or the treatment for the treatment of the substrate (G) at a position facing the front and / or rear surface of the substrate to be transferred by the substrate transfer apparatus 100 Nozzles, air knife or shower knife, etc. that provide gas or the like can be arranged.

상기 기판 이송 장치(100)는 제1 경사각을 갖도록 배치되어 평판형 기판(G)을 상기 제1 경사각을 갖는 상태로 적재하는 캐리어(110)와, 상기 캐리어(110)를 지지하고 상기 캐리어(110)를 기판(G)을 적재한 상태로 이송하기 위해 회전 동작하는 구동 풀리들(120)과, 상기 구동 풀리들(120)과 연결되며 회전력을 제공하는 구동부(130)를 포함할 수 있다.The substrate transfer apparatus 100 is disposed to have a first inclination angle, and includes a carrier 110 for loading the flat substrate G in a state having the first inclination angle, and supports the carrier 110 and supports the carrier 110. ) May include a driving pulley 120 that rotates to transfer the substrate G in a loaded state, and a driving unit 130 that is connected to the driving pulleys 120 and provides rotational force.

상기 캐리어(110)는 적재되는 기판(G)을 제1 경사각을 갖는 상태로 지지한다. 본 실시예에서 캐리어(110)는 기판(G)을 적재하여 이송하기 위한 운반 수단으로 사용된다. 즉, 상기 캐리어(110)에 기판(G)을 적재한 상태로 캐리어(110)를 이송하여 상기 기판(G)을 이송하게 된다. 상기 캐리어(110)는 기판(G)의 이송 방향 즉, 캐리어(110)의 이송 방향인 상기 구동 풀리들(120)의 회전 방향으로 배치된다.The carrier 110 supports the substrate G to be loaded with the first inclination angle. In this embodiment, the carrier 110 is used as a conveying means for loading and transporting the substrate (G). That is, the carrier 110 is transported while the substrate G is loaded on the carrier 110 to transport the substrate G. The carrier 110 is disposed in a direction of rotation of the driving pulleys 120, which is a direction of transport of the substrate G, that is, a direction of transport of the carrier 110.

상기 캐리어(110)는 제1 경사각에 대해 수직한 제2 경사각으로 배치되어 제1 경사각을 갖는 기판(G)을 지지하는 제1 플레이트(111)와, 제1 경사각을 갖도록 배치되며 제1 플레이트(110)의 일측에 접하는 제2 플레이트(112)를 포함할 수 있다. 상기 캐리어(110)가 기판(G)의 이송 방향으로 배치됨은 상기 제1 및 제2 플레이트(111, 112)가 상기 기판(G)의 이송 방향과 평행하게 배치되는 것을 말한다. 상기 기판(G)을 지지하는 제1 플레이트(111)의 상면에는 상기 기판(G)을 안정적으로 지지할 수 있도록 안착홈(113)이 구비될 수 있다. 상기 안착홈(113)은 상기 기판(G)의 이송 방향을 따라서 형성된 슬릿 형태를 갖는다. 또한, 상기 안착홈(113)은 기판(G)이 수납될 수 있도록 기판(G)의 두께와 적어도 같거나, 기판(G)의 두께보다 조금 더 큰 폭을 갖는다. 또한, 상기 캐리어(110)는 제1 플레이트(111)에 지지된 기판(G)이 제1 경사각을 유지하도록 기판(G)의 일측(예컨대 일평면 방향)에 배치되어 상기 기판(G)을 지지하는 제1 아이들 롤러들(114)을 가질 수 있다.The carrier 110 may be disposed at a second inclination angle perpendicular to the first inclination angle to support the substrate G having the first inclination angle, and may be disposed to have a first inclination angle. The second plate 112 may be in contact with one side of the 110. The carrier 110 is disposed in the transport direction of the substrate G, and the first and second plates 111 and 112 are disposed parallel to the transport direction of the substrate G. A mounting groove 113 may be provided on an upper surface of the first plate 111 that supports the substrate G to stably support the substrate G. The seating groove 113 has a slit shape formed along the transport direction of the substrate G. In addition, the mounting groove 113 has a width that is at least equal to the thickness of the substrate (G) or slightly larger than the thickness of the substrate (G) to accommodate the substrate (G). In addition, the carrier 110 is disposed on one side (eg, one plane direction) of the substrate G to support the substrate G so that the substrate G supported on the first plate 111 maintains the first inclination angle. To have first idle rollers 114.

본 실시예에서 상기 캐리어(110)에 기판(G)을 적재하는 방식은 슬라이드 방식이 이용될 수 있다. 이에, 상기 캐리어(110)에는 기판(G)이 슬라이드 방식으로 투입될 때 상기 기판(G)을 지지하며 아이들 회전하는 제2 아이들 롤러들(115)이 구 비된다. 상기 기판(G)은 상기 안착홈(113)을 통해서 투입된다. 따라서 도 4의 도면에서와 같이 상기 제2 아이들 롤러들(115)은 기판(G)의 이송 방향과 수직한 회전축을 갖고, 상기 안착홈(113)과 겹쳐지게 배치된다. 또한, 상기 제2 아이들 롤러들(115)은 상기 안착홈(113)의 바닥면 보다는 조금 더 높은 높이를 갖도록 배치된다. 이를 위해, 상기 제2 아이들 롤러들(115)은 상기 제1 플레이트(111) 내에 배치되어 상기 제1 플레이트(111)의 상면보다 낮은 높이를 가질 수 있다. 즉, 상기 제2 아이들 롤러들(115)은 상기 제1 플레이트(111) 내에 삽입되는 형상을 갖는다. 한편, 상기 캐리어(110)에 기판(G)이 투입될 때 상기 제1 아이들 롤러들(114)이 상기 기판(G)의 일 평면을 지지하며 아이들 회전하여 상기 기판(G)이 수월하게 투입되도록 보조한다. 결과적으로, 상기 기판(G)은 제1 및 제2 아이들 롤러들(114, 115)에 지지된 상태에서 상기 제1 및 제2 아이들 롤러들(114, 115)의 아이들 회전을 통해 수월하게 캐리어(110)에 적재된다.In the present embodiment, a slide method may be used as a method of loading the substrate G on the carrier 110. Accordingly, the carrier 110 is provided with second idle rollers 115 that support and rotate the substrate G when the substrate G is inserted in a slide manner. The substrate G is introduced through the mounting groove 113. Therefore, as shown in FIG. 4, the second idle rollers 115 have a rotation axis perpendicular to the transfer direction of the substrate G, and overlap the mounting groove 113. In addition, the second idle rollers 115 are disposed to have a height slightly higher than the bottom surface of the seating groove 113. To this end, the second idle rollers 115 may be disposed in the first plate 111 to have a height lower than an upper surface of the first plate 111. That is, the second idle rollers 115 have a shape inserted into the first plate 111. In the meantime, when the substrate G is inserted into the carrier 110, the first idle rollers 114 support one plane of the substrate G and rotate idle to allow the substrate G to be easily inserted. Assist. As a result, the substrate G is easily supported by the idle rotation of the first and second idle rollers 114 and 115 while being supported by the first and second idle rollers 114 and 115. 110).

상기 구동 풀리들(120)은 상기 캐리어(110)를 지지하며, 캐리어(110)를 제1 경사각을 갖는 상태로 이송하는 역할을 한다. 이를 위해 상기 구동 풀리들(120)은 회전 동작한다. 즉, 구동 풀리들(120)은 제1 플레이트(111)의 하면과 접촉하며, 회전을 통해 지지된 캐리어(110)를 회전 방향으로 이송한다. 따라서, 상기 구동 풀리들(120)은 기판(G)의 이송 방향을 따라서 배치되며, 상기 캐리어(110)를 수평 이동시키기 위해 상기 구동 풀리들(120)이 동일한 높이로 배치되는 것이 바람직하다. 상기 구동 풀리들(120)의 간격, 장착 수량, 직경 등은 상기 캐리어(110)의 크기 즉, 기판(G)의 크기에 따라서 다양하게 변경될 수 있으므로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되지는 않을 것이다.The driving pulleys 120 support the carrier 110 and serve to transport the carrier 110 to a state having a first inclination angle. To this end, the driving pulleys 120 are rotated. That is, the driving pulleys 120 are in contact with the bottom surface of the first plate 111 and transfer the carrier 110 supported by the rotation in the rotation direction. Therefore, the driving pulleys 120 are disposed along the transfer direction of the substrate G, and the driving pulleys 120 are preferably disposed at the same height to horizontally move the carrier 110. Since the spacing, mounting quantity, diameter, etc. of the driving pulleys 120 may be variously changed according to the size of the carrier 110, that is, the size of the substrate G, the scope of the present invention is not limited thereto. Will not.

상기 구동 풀리들(120)은 상기 캐리어(110)가 갖는 제1 경사각과 수직한 회전축을 갖도록 배치된다. 이는 상기 캐리어(110)가 제1 경사각을 갖는 상태로 상기 구동 풀리들(120)에 지지되므로, 안정적인 지지와 원활한 이송을 위함이다. 다시 말해서, 구동 풀리들(120)과 상기 캐리어(110)의 제1 플레이트(111)가 서로 평행할 수 있게 상기 구동 풀리들(120)을 배치시키는 것이다. 이와 달리, 상기 구동 풀리들(120)은 수평 회전축을 가질 수 있다. 이 경우 상기 캐리어(110)가 수평 회전축을 갖는 구동 풀리들(120)과 평행한 상태로 접촉할 수 있게, 상기 제1 플레이트(111)의 하면이 수평으로 형성될 수 있을 것이다.The driving pulleys 120 are disposed to have a rotation axis perpendicular to the first inclination angle of the carrier 110. This is because the carrier 110 is supported by the driving pulleys 120 in a state of having a first inclination angle, for stable support and smooth transfer. In other words, the driving pulleys 120 are disposed so that the driving pulleys 120 and the first plate 111 of the carrier 110 may be parallel to each other. Alternatively, the driving pulleys 120 may have a horizontal axis of rotation. In this case, the lower surface of the first plate 111 may be formed horizontally so that the carrier 110 may be in contact with the driving pulleys 120 having a horizontal rotation axis in parallel.

도시하지는 않았지만 상기 구동 풀리들(120)은 상기 캐리어(110)와 마찰력을 증가시키기 위해 그 외주면에 마찰력을 증가시킬 수 있는 물질이 구비될 수 있다. 예를 들어, 상기 구동 풀리들(120)의 외주면에는 마찰력을 증가시키기 위해 고무와 같은 수지 계열의 띠가 구비되거나, 외주면에 도포 또는 코팅의 방법으로 수지계열의 물질 막이 형성될 수 있다.Although not shown, the driving pulleys 120 may be provided with a material capable of increasing frictional force on its outer circumferential surface to increase frictional force with the carrier 110. For example, a resin-based strip such as rubber may be provided on the outer circumferential surface of the driving pulleys 120, or a resin-based material film may be formed on the outer circumferential surface by coating or coating.

상기 구동부(140)는 상기 회전력을 발생시키는 동력 제공부(150)와 상기 회전력을 전달하는 동력 전달부(160)를 포함할 수 있다.The driving unit 140 may include a power providing unit 150 for generating the rotational force and a power transmission unit 160 for transmitting the rotational force.

상기 동력 제공부(150)는 회전력을 제공하는 모터(미도시)와 상기 모터의 회전력 및 회전 속도 등을 조절하기 위한 감속기(미도시)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 모터(미도시)에 의해 회전하는 피니언 기어(151)를 포함할 수 있다.The power providing unit 150 may include a motor (not shown) for providing rotational force and a speed reducer (not shown) for adjusting the rotational force and rotational speed of the motor. In addition, it may include a pinion gear 151 rotated by the motor (not shown).

상기 동력 전달부(160)는 상기 챔버(102)의 외부에 배치되는 제1 동력 전달 부(170)와 상기 챔버(102) 내부에 배치되는 제2 동력 전달부(180)를 포함할 수 있다.The power transmission unit 160 may include a first power transmission unit 170 disposed outside the chamber 102 and a second power transmission unit 180 disposed inside the chamber 102.

상기 제1 동력 전달부(170)는 타이밍 벨트(171)와 다수의 구동 기어들(172)을 포함할 수 있다. 상기 구동 기어들(172)은 상기 기판(G)의 이송 방향과 평행하게 배열되며, 제1 구동축들(173)과 결합된다. 상기 제1 구동축들(173)은 상기 챔버(102) 외측에서 제1 지지부재(174)에 의해 지지된다. 상기 제1 지지부재(174)는 상기 챔버(102)의 일측 벽(102a)에 장착된 브래킷(미도시) 상에 배치될 수 있으며, 상기 제1 구동축들(173)의 원활한 회전을 위하여 다양한 형태의 베어링들을 포함할 수 있다.The first power transmission unit 170 may include a timing belt 171 and a plurality of driving gears 172. The driving gears 172 are arranged in parallel with the transfer direction of the substrate G and are coupled to the first driving shafts 173. The first drive shafts 173 are supported by the first support member 174 outside the chamber 102. The first support member 174 may be disposed on a bracket (not shown) mounted on one side wall 102a of the chamber 102, and may have various shapes for smooth rotation of the first drive shafts 173. May include bearings.

상기 타이밍 벨트(171)는 상기 동력 제공부(150)의 피니언 기어(151)와 상기 구동 기어들(172)을 연결함으로써 상기 회전력을 상기 제1 구동축들(173) 모두에 일정하게 전달할 수 있다.The timing belt 171 may constantly transmit the rotational force to all of the first driving shafts 173 by connecting the pinion gear 151 of the power providing unit 150 and the driving gears 172.

상기 제1 구동 기어들(172) 사이에는 상기 회전력의 전달 효율을 향상시키기 위한 제1 아이들 기어들(idle gears, 175)이 배치될 수 있으며, 상기 동력 제공부(150)의 피니언 기어(151)와 인접하는 위치에는 상기 타이밍 벨트(171)의 장력을 조절하기 위한 제2 아이들 기어(176, 도 3 참조)가 배치될 수 있다.First idle gears 175 may be disposed between the first driving gears 172 to improve transmission efficiency of the rotational force, and the pinion gear 151 of the power providing unit 150 may be disposed. A second idle gear 176 (see FIG. 3) for adjusting the tension of the timing belt 171 may be disposed at a position adjacent to the second belt.

한편, 상기 제1 구동축들(173)은 상기 챔버(102)의 일 측벽(102a)을 향하여 연장하며, 상기 제1 구동축들(173)의 단부들에는 제1 마그네틱 기어들(177)이 각각 결합된다.Meanwhile, the first driving shafts 173 extend toward the side wall 102a of the chamber 102, and the first magnetic gears 177 are coupled to ends of the first driving shafts 173, respectively. do.

상기 제2 동력 전달부(180)는 상기 제1 마그네틱 기어들(177)과 각각 마주하 여 배치되는 제2 마그네틱 기어들(181)과, 상기 제2 마그네틱 기어들(181)과 상기 구동 풀리들(120) 사이를 연결하는 제2 구동축들(182)을 포함할 수 있다.The second power transmission unit 180 may include second magnetic gears 181 disposed to face the first magnetic gears 177, the second magnetic gears 181, and the driving pulleys, respectively. The second driving shafts 182 may be connected to each other.

상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들(177, 181)은 각각 다수의 영구 자석들을 포함하며, 상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들(177, 181) 사이에서 상기 영구 자석들에 의해 작용하는 자기력에 의해 회전력 전달이 이루어진다. 구체적으로, 각각의 제1 및 제2 마그네틱 기어들(177, 181)은 자체의 중심에 대하여 방사상으로 배치되는 다수의 영구 자석들을 포함하며, 상기 자석들은 원주 방향으로 극성이 번갈아 바뀌도록 배치된다.The first and second magnetic gears 177 and 181 respectively include a plurality of permanent magnets, and are applied to the magnetic force acting by the permanent magnets between the first and second magnetic gears 177 and 181. By this, rotational force transmission is achieved. Specifically, each of the first and second magnetic gears 177 and 181 includes a plurality of permanent magnets disposed radially with respect to its center, and the magnets are arranged to alternate in polarity in the circumferential direction.

또한, 상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들(177, 181)은 상기 챔버(102)의 일 측벽을 사이에 두고 서로 마주하며, 상기 챔버(102)의 일 측벽으로부터 소정 간격 이격되어 배치되므로, 상기 동력 제공부(150) 및 제1 동력 전달부(180)의 구동에 의해 발생되는 진동이 이송 벨트(110) 전달되는 것을 방지할 수 있다.In addition, the first and second magnetic gears 177 and 181 may face each other with one sidewall of the chamber 102 interposed therebetween, and may be spaced apart from one sidewall of the chamber 102 by a predetermined distance. Vibration generated by the driving of the power supply unit 150 and the first power transmission unit 180 may be prevented from being transmitted to the transfer belt 110.

결과적으로, 상기 동력 제공부(150)로부터 제공되는 회전력은 타이밍 벨트(171), 구동 기어들(172), 제1 구동축들(173), 제1 마그네틱 기어들(177), 제2 마그네틱 기어들(181), 제2 구동축들(182) 및 구동 풀리들(120)을 통해 상기 이송 벨트(110)로 전달된다. 상기와 같이 동력 제공부(150)로부터 상기 회전력이 각각의 구동 풀리들(120) 모두에 균일하게 전달될 수 있으므로, 상기 이송 벨트(110)는 원활하게 회전하게 된다.As a result, the rotational force provided from the power supply unit 150 may include the timing belt 171, the driving gears 172, the first driving shafts 173, the first magnetic gears 177, and the second magnetic gears. 181, the second driving shafts 182 and the driving pulleys 120 are transmitted to the transfer belt 110. As described above, since the rotational force may be uniformly transmitted to each of the driving pulleys 120 from the power supply unit 150, the transfer belt 110 may rotate smoothly.

상기 제2 구동축들(182)은 상기 챔버(102) 내에 구비되는 제2 지지부재들(183)에 의해 지지될 수 있으며, 상기 제2 지지부재들(183)은 상기 제2 구동축 들(182)의 원활한 회전을 위하여 다양한 형태의 베어링들을 포함할 수 있다.The second drive shafts 182 may be supported by second support members 183 provided in the chamber 102, and the second support members 183 may be supported by the second drive shafts 182. It can include a variety of bearings for smooth rotation of the.

여기서, 상기 제2 구동축들(182)은 상기 구동 풀리들(120)의 회전축으로 기능한다. 따라서, 제2 구동축들(182)들은 상기 구동 풀리들(120)이 상기 캐리어(110)가 갖는 경사각에 대해 수직한 회전축을 가질 수 있도록 상기 캐리어(110)의 경사각에 수직하게 배치될 수 있다. 따라서, 상기 제2 지지부재(183)들은 상기 제2 구동축들(182)을 상기 캐리어(110)의 경사각과 수직한 상태로 지지한다.Here, the second drive shafts 182 function as a rotation shaft of the drive pulleys 120. Accordingly, the second driving shafts 182 may be disposed perpendicular to the inclination angle of the carrier 110 so that the driving pulleys 120 may have a rotation axis perpendicular to the inclination angle of the carrier 110. Thus, the second support members 183 support the second drive shafts 182 in a state perpendicular to the inclination angle of the carrier 110.

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 기판 이송 장치(100)는 상기 캐리어(110)가 경사각을 갖는 상태로 이송될 때 쓰러지지 않고 상기 경사각을 유지하도록 상기 캐리어(110)를 지지하는 제3 아이들 롤러들(140)을 포함할 수 있다. 상기 제3 아이들 롤러들(140)은 상기 경사각을 갖는 캐리어(110)의 일측에 배치되며, 상기 캐리어(110)의 이송을 방해하지 않기 위해 상기 캐리어(110)의 이송 방향과 수직한 방향의 회전축을 갖고 아이들 회전한다. 상기 아이들 롤러들(140)은 챔버(102) 내에 구비된 브래킷(142)에 설치될 수 있다. 예를 들어, 상기 아이들 롤러들(140)은 상기 챔버(102)의 일측벽(102a)에 구비될 수 있다. 그러나 상기 아이들 롤러들(140)은 상기 챔버(102) 내에서 다양한 형태로 제공될 수 있으며, 상기 캐리어(110)의 이송 중에 상기 캐리어(110)가 상기 경사각을 유지하도록 지지할 수 있으면 충분하다.1 and 2, the substrate transfer apparatus 100 supports a third idler roller that supports the carrier 110 so that the carrier 110 does not fall when the carrier 110 is transported in a state having an inclination angle. It may include the (140). The third idle rollers 140 are disposed on one side of the carrier 110 having the inclination angle, and the rotation axis in a direction perpendicular to the transport direction of the carrier 110 in order not to interfere with the transport of the carrier 110. Have children rotate. The idle rollers 140 may be installed in the bracket 142 provided in the chamber 102. For example, the idle rollers 140 may be provided on one side wall 102a of the chamber 102. However, the idle rollers 140 may be provided in various forms in the chamber 102, and it is sufficient that the idle rollers 140 may be supported to maintain the inclination angle during the transport of the carrier 110.

한편, 상기 캐리어(110)가 이송 중에 갖게 되는 경사각은 그 범위가 약 60° 내지 80°인 것이 바람직하다. 상기 캐리어(110)의 경사각이 약 60° 미만인 경우, 상기 아이들 롤러들(140)에 작용되는 기판(G)이 적재된 캐리어(110)의 하중이 증가 될 수 있으며, 이 경우 캐리어(110)를 지지하기 위해서는 매우 많은 수량의 아이들 롤러들(140)이 요구된다. 또한, 종래의 수평 이송에 비하여 공간 효율 측면에서 그다지 큰 효과를 거둘 수 없게되어 바람직하지 못하다. 그러나, 상기 캐리어(110)의 경사각이 60° 미만인 경우에도 본 발명의 기술적 범위에 해당될 수 있음은 자명하다.On the other hand, it is preferable that the inclination angle that the carrier 110 has during transportation is in the range of about 60 ° to 80 °. When the inclination angle of the carrier 110 is less than about 60 °, the load of the carrier 110 loaded with the substrate G acting on the idle rollers 140 may be increased, in which case the carrier 110 may be increased. Very large quantities of idle rollers 140 are required to support it. In addition, it is not preferable because it is not possible to achieve a very large effect in terms of space efficiency compared to the conventional horizontal transfer. However, even if the inclination angle of the carrier 110 is less than 60 ° it is obvious that it may fall within the technical scope of the present invention.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이송 장치에 의하면 평판형 기판의 처리를 위하여 상기 기판을 이송하는 장치에서 캐리어 및 구동 풀리들을 이용하여 기판을 거의 수직에 가까운 정도로 배치하여 이송함으로써, 상기 기판의 처리를 위한 설비 면적을 크게 감소시킬 수 있다. As described above, according to the substrate transfer apparatus according to the preferred embodiment of the present invention, in the apparatus for transferring the substrate for the processing of the flat substrate, the substrate is disposed by a carrier and driving pulleys so that the substrate is arranged to be almost vertical. In addition, it is possible to greatly reduce the facility area for processing the substrate.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the foregoing has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. It will be appreciated.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.1 is a schematic block diagram showing a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 측면도이다.FIG. 2 is a schematic side view illustrating the substrate transport apparatus illustrated in FIG. 1.

도 3은 도 1에 도시된 구동부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.FIG. 3 is a schematic diagram for describing the driving unit illustrated in FIG. 1.

도 4는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ′선을 따라서 자른 단면의 개략적인 도면이다.4 is a schematic view of a cross section taken along the line II ′ of FIG. 1.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100: 기판 이송 장치 102: 챔버100: substrate transfer device 102: chamber

110: 캐리어 111: 제1 플레이트110: carrier 111: first plate

112: 제2 플레이트 113: 안착홈112: second plate 113: seating groove

114: 제1 아이들 롤러 115: 제2 아이들 롤러114: first idler roller 115: second idler roller

120: 구동 풀리들 130: 구동부120: drive pulleys 130: drive unit

140: 제3 아이들 롤러 150: 동력 제공부140: third idler roller 150: power supply unit

152: 피니언 기어 160: 동력 전달부152: pinion gear 160: power transmission unit

170: 제1 동력 전달부 171: 타이밍 벨트170: first power transmission unit 171: timing belt

172: 구동 기어 173: 제1 구동축172: drive gear 173: first drive shaft

174: 제1 지지부재 175: 제1 아이들 기어174: first support member 175: first idle gear

176: 제2 아이들 기어 177: 제1 마그네틱 기어176: second idler gear 177: first magnetic gear

180: 제2 동력 전달부 181: 제2 마그네틱 기어180: second power transmission unit 181: second magnetic gear

182: 제2 구동축 183: 제2 지지부재182: second drive shaft 183: second support member

G: 기판G: Substrate

Claims

A carrier disposed to have an inclination angle and loaded with a flat substrate having the inclination angle;

Drive pulleys disposed in one direction to support the carrier and rotate to transport the carrier to the state having the inclined angle; And

A driving part connected to the driving pulleys and providing a rotational force to rotate the driving pulleys,

The carrier includes a first plate perpendicular to the inclination angle and supporting the substrate, wherein the first plate is rotatably configured to have a slit-shaped seating groove formed in one direction on the top surface thereof and rotatable along the seating groove. And a plurality of idle rollers, wherein the second idle rollers overlap the seating grooves, are disposed in the first plate, have a height lower than an upper surface of the first plate, and have a position higher than a bottom height of the seating grooves. Board | substrate conveying apparatus made into.

The substrate transport apparatus of claim 1, further comprising idle rollers disposed on one side of the carrier to support the carrier to maintain the inclination angle during transport of the carrier.

The method of claim 1, wherein the carrier

A second plate having the inclination angle and in contact with one side of the first plate; And

And a first idle roller disposed on one side of the substrate supported by the first plate to support the substrate to have an inclination angle and rotate idlely.

delete

The substrate transport apparatus of claim 1, wherein the inclination angle of the carrier and the substrate is in a range of 60 ° to 80 °.

The method of claim 1, wherein the driving unit

A power provider for providing the rotational force; And

And a power transmission unit connected between the power providing unit and the driving pulleys to transmit the rotational force.

The method of claim 8, wherein the power transmission unit

A timing belt connected to the power supply unit, a plurality of driving gears connected to the timing belt, a plurality of first driving shafts coupled to the driving gears, and end portions of the first driving shafts, A first power transmission unit including first magnetic gears including; And

A second power transmission unit disposed to face the first magnetic gears, each of the second magnetic gears including permanent magnets, and a second drive shaft connecting the second magnetic gears and the driving pulleys; Including,

The transfer force of the rotational force between the first and second power transmission units is characterized by the magnetic force acting between the permanent magnets of the first and second magnetic gears.

The substrate transfer apparatus of claim 9, wherein the first and second power transmission members are disposed to face each other with one sidewall of the chamber for processing the substrate interposed therebetween.