KR101045643B1 - High Purity and Ultra High Purity CO2 Purification and Liquefaction Equipment - Google Patents
High Purity and Ultra High Purity CO2 Purification and Liquefaction Equipment Download PDFInfo
- Publication number
- KR101045643B1 KR101045643B1 KR1020100113923A KR20100113923A KR101045643B1 KR 101045643 B1 KR101045643 B1 KR 101045643B1 KR 1020100113923 A KR1020100113923 A KR 1020100113923A KR 20100113923 A KR20100113923 A KR 20100113923A KR 101045643 B1 KR101045643 B1 KR 101045643B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- carbon dioxide
- high purity
- feed gas
- distillation column
- passage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D3/00—Distillation or related exchange processes in which liquids are contacted with gaseous media, e.g. stripping
- B01D3/008—Liquid distribution
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J3/00—Processes or apparatus for separating the constituents of gaseous or liquefied gaseous mixtures involving the use of liquefaction or solidification
- F25J3/08—Separating gaseous impurities from gases or gaseous mixtures or from liquefied gases or liquefied gaseous mixtures
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
- C01P2006/80—Compositional purity
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2200/00—Processes or apparatus using separation by rectification
- F25J2200/04—Processes or apparatus using separation by rectification in a dual pressure main column system
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2200/00—Processes or apparatus using separation by rectification
- F25J2200/40—Features relating to the provision of boil-up in the bottom of a column
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2200/00—Processes or apparatus using separation by rectification
- F25J2200/70—Refluxing the column with a condensed part of the feed stream, i.e. fractionator top is stripped or self-rectified
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2205/00—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means
- F25J2205/02—Processes or apparatus using other separation and/or other processing means using simple phase separation in a vessel or drum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2210/00—Processes characterised by the type or other details of the feed stream
- F25J2210/04—Mixing or blending of fluids with the feed stream
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2215/00—Processes characterised by the type or other details of the product stream
- F25J2215/04—Recovery of liquid products
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2215/00—Processes characterised by the type or other details of the product stream
- F25J2215/80—Carbon dioxide
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2220/00—Processes or apparatus involving steps for the removal of impurities
- F25J2220/80—Separating impurities from carbon dioxide, e.g. H2O or water-soluble contaminants
- F25J2220/82—Separating low boiling, i.e. more volatile components, e.g. He, H2, CO, Air gases, CH4
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J2270/00—Refrigeration techniques used
- F25J2270/90—External refrigeration, e.g. conventional closed-loop mechanical refrigeration unit using Freon or NH3, unspecified external refrigeration
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
Abstract
본 발명은 이산화탄소 정제 및 액화장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 고순도 이산화탄소의 생산수율을 대폭 향상시킬 뿐만 아니라 필요에 따라 초고순도의 이산화탄소를 동시에 생산할 수 있는 고순도 및 초고순도 이산화탄소 정제 및 액화장치에 관한 것이다.
본 발명에 의한 고순도 및 초고순도 이산화탄소 정제 및 액화장치는, 피드가스 공급통로 상에 설치되고, 피드가스를 압축하는 피드가스 압축기(feed gas compressor); 상기 피드가스 압축기의 하류측에 설치되고, 피드가스 내의 수분을 제거하는 드라이어; 피드가스를 정제 및 액화하여 고순도 액화이산화탄소를 생산하는 제1증류컬럼; 및 상기 제1증류컬럼에 연결되어 상기 고순도 액화이산화탄소의 적어도 일부를 정제 및 액화하여 초고순도 이산화탄소를 생산하는 제2증류컬럼;을 포함한다.The present invention relates to a carbon dioxide purification and liquefaction apparatus, and more particularly, to a high purity and ultra high purity carbon dioxide purification and liquefaction apparatus that can not only greatly improve the production yield of high purity carbon dioxide, but also simultaneously produce ultra high purity carbon dioxide as needed. will be.
A high purity and ultra high purity carbon dioxide purification and liquefaction apparatus according to the present invention includes: a feed gas compressor installed on a feed gas supply passage and compressing a feed gas; A dryer installed at a downstream side of the feed gas compressor to remove moisture in the feed gas; A first distillation column for purifying and liquefying feed gas to produce high purity liquefied carbon dioxide; And a second distillation column connected to the first distillation column to purify and liquefy at least a portion of the high purity liquefied carbon dioxide to produce ultra high purity carbon dioxide.
Description
본 발명은 이산화탄소 정제 및 액화장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 고순도 이산화탄소의 생산수율을 대폭 향상시킬 뿐만 아니라 필요에 따라 초고순도의 이산화탄소를 동시에 생산할 수 있는 고순도 및 초고순도 이산화탄소 정제 및 액화장치에 관한 것이다.The present invention relates to a carbon dioxide purification and liquefaction apparatus, and more particularly, to a high purity and ultra high purity carbon dioxide purification and liquefaction apparatus that can not only greatly improve the production yield of high purity carbon dioxide, but also simultaneously produce ultra high purity carbon dioxide as needed. will be.
널리 주지된 바와 같이, 이산화탄소를 정제 및 액화하는 전통적인 방법으로는 심랭분리법이 있다. 이러한 심랭분리법은 석유화학산업에서 필요한 원료의 합성 반응 후에 생성되는 부산물을 회수하여 이를 정제하는 방법으로, 약 95% vol% 이상의 이산화탄소를 포함하고 있는 부산물을 약 15~20bar의 압력에서 암모니아 냉동기와 같은 냉동장치를 사용하여 약 -20℃ 이하로 낮춰서 약 99%의 액체상태의 이산화탄소를 생산하는 방식이다. As is well known, traditional methods of purifying and liquefying carbon dioxide include deep cooling. This method is to recover the by-products generated after the synthesis reaction of the raw materials required in the petrochemical industry, and to purify them. By-products containing more than about 95% vol% of carbon dioxide at a pressure of about 15-20 bar, such as ammonia freezer By using a refrigeration unit, it lowers below about -20 ℃ to produce about 99% of liquid carbon dioxide.
약 99%의 고순도 이산화탄소가 상업적으로 이용이 가능하고, 그 외에 그 사용량은 적지만 고순도 이산화탄소에 비해 그 부가가치가 10배 이상이 되는 초고순도(약 99.999% 이상)의 이산화탄소가 이용되고 있다. About 99% of high purity carbon dioxide is commercially available, and ultra high purity (more than about 99.999%) of carbon dioxide is used in which the amount of use thereof is small but the added value is more than 10 times higher than that of high purity carbon dioxide.
한편, 종래에는 고순도용 정제장치를 통해 생산된 99%의 고순도 이산화탄소를 별도의 초고순도용 정제장치에 의해 99.999%의 초고순도 이산화탄소를 생산하여 왔다. 즉, 종래의 초고순도 이산화탄소 생산방식은 고순도용 정제장치에 의해 생산된 99%의 고순도 이산화탄소를 고순도용 저장탱크에 일시 보관 및 저장한 상태에서, 필요한 경우에 저장탱크에서 고순도 이산화탄소를 초고순도용 정제장치로 이송시켜 초고순도용 정제장치에 의해 초고순도 이산화탄소를 생산하도록 구성되어 있다. Meanwhile, conventionally, 99.999% of ultra high purity carbon dioxide has been produced by a separate ultrahigh purity purifier of 99% high purity carbon dioxide produced through a high purity purification apparatus. That is, the conventional ultra-high purity carbon dioxide production method is a state in which 99% high-purity carbon dioxide produced by a high-purity purification device is temporarily stored and stored in a high-purity storage tank, and when necessary, high-purity carbon dioxide is purified from the storage tank. It is configured to produce ultra high purity carbon dioxide by the ultra high purity purification device by transferring to the device.
이에 따라, 종래의 초고순도 이산화탄소 생산방식은 별도의 초고순도용 정제장치가 요구됨에 따라 그 설치비용 및 유지관리비용이 높아지고, 또한 고순도 이산화탄소가 고순도용 정제장치로 이송되는 도중에 손실이 발생함에 따라 초고순도 이산화탄소의 생산수율 및 품질이 저하되는 단점이 있었다. Accordingly, the conventional ultra high purity carbon dioxide production method requires a separate ultra high purity purification device, and its installation cost and maintenance cost are high, and as the loss occurs during the transfer of high purity carbon dioxide to the high purity purification device, There was a disadvantage that the production yield and quality of high-purity carbon dioxide is reduced.
본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로, 고순도 이산화탄소 생산유닛과 초고순도 이산화탄소 생산유닛을 통합형으로 구성함으로써 필요에 따라 선택적으로 초고순도 이산화탄소를 용이하게 생산할 수 있는 고순도 및 초고순도 이산화탄소 정제 및 액화장치를 제공하는 데 그 목적이 있다. The present invention has been made in view of the above-mentioned, high-purity and ultra-high-purity carbon dioxide purification that can easily produce ultra-high-purity carbon dioxide selectively, if necessary by configuring a high-purity carbon dioxide production unit and an ultra-high-purity carbon dioxide production unit integrally and The purpose is to provide a liquefaction apparatus.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 고순도 및 초고순도 이산화탄소 정제 및 액화장치는, High purity and ultra high purity carbon dioxide purification and liquefaction apparatus according to the present invention for achieving the above object,
피드가스 공급통로 상에 설치되고, 피드가스를 압축하는 피드가스 압축기(feed gas compressor); A feed gas compressor installed on the feed gas supply passage and compressing the feed gas;
상기 피드가스 압축기의 하류측에 설치되고, 피드가스 내의 수분을 제거하는 드라이어; A dryer installed at a downstream side of the feed gas compressor to remove moisture in the feed gas;
피드가스를 정제 및 액화하여 고순도 액화이산화탄소를 생산하는 제1증류컬럼; 및 A first distillation column for purifying and liquefying feed gas to produce high purity liquefied carbon dioxide; And
상기 제1증류컬럼에 연결되어 상기 고순도 액화이산화탄소의 적어도 일부를 정제 및 액화하여 초고순도 이산화탄소를 생산하는 제2증류컬럼;을 포함한다.And a second distillation column connected to the first distillation column to purify and liquefy at least a portion of the high purity liquefied carbon dioxide to produce ultra high purity carbon dioxide.
상기 피드가스 공급통로의 하류측 단부는 상기 제1증류컬럼의 상단측에 연결되고, 상기 제1증류컬럼의 하단에는 제1재비기가 설치되며, 상기 제1증류컬럼의 하단에는 고순도 액화이산화탄소가 배출되는 제1이산화탄소 배출통로가 연결되고, 상기 제1이산화탄소 배출통로의 일측에는 분기라인이 분기되고, 상기 분기라인은 상기 제2증류컬럼에 연결되며, 상기 분기라인을 통해 고순도 액화이산화탄소의 일부가 선택적으로 상기 제2증류컬럼 측에 이송되는 것을 특징으로 한다. A downstream end of the feed gas supply passage is connected to an upper end side of the first distillation column, a first recombiner is installed at a lower end of the first distillation column, and high purity liquefied carbon dioxide is discharged at a lower end of the first distillation column. The first carbon dioxide discharge passage is connected, the branch line is branched to one side of the first carbon dioxide discharge passage, the branch line is connected to the second distillation column, a portion of the high purity liquefied carbon dioxide through the branch line is optional It is characterized in that the transfer to the second distillation column.
상기 분기라인 상에는 개폐밸브 및 세퍼레이터가 설치되고, 상기 세퍼레이터의 상단에는 기상의 이산화탄소가 이송되는 기상통로가 연결되며, 상기 기상통로는 상기 제2벤트가스 통로 측에 합류되고, 상기 세퍼레이터의 하단에는 액상의 이산화탄소가 이송되는 액상통로가 연결되며, 상기 액상통로의 하류측 단부는 상기 제2증류컬럼의 상단에 연결되고, 상기 제2증류컬럼의 하단에는 제2재비기가 설치되며, 상기 제2증류컬럼의 하단에는 초고순도 액화이산화탄소가 배출되는 제2이산화탄소 배출통로가 연결되는 것을 특징으로 한다. An on-off valve and a separator are installed on the branch line, and a gas phase passage through which gaseous carbon dioxide is conveyed is connected to an upper end of the separator, and the gas phase passage is joined to the second vent gas passage side, and a liquid phase is provided at the lower end of the separator. A liquid passage through which carbon dioxide is transferred is connected, and a downstream end of the liquid passage is connected to an upper end of the second distillation column, and a second recombiner is installed at a lower end of the second distillation column. At the bottom of the ultra-high purity liquid carbon dioxide is discharged characterized in that the second carbon dioxide discharge passage is connected.
상기 피드가스 공급통로는 상기 제1재비기를 관통하고, 상기 피드가스 공급통로의 제1재비기와 제1증류컬럼 사이에는 제1쿨러, 제2쿨러, 냉동기가 순차적으로 설치되며, 상기 냉동기는 상기 제1 및 제2 쿨러를 통과한 피드가스를 액화분리에 용이한 상변화온도까지 냉각시키도록 구성되는 것을 특징으로 한다. The feed gas supply passage passes through the first reheater, and a first cooler, a second cooler, and a freezer are sequentially installed between the first reheater and the first distillation column of the feed gas supply passage. It is characterized in that it is configured to cool the feed gas passed through the first and second coolers to a phase change temperature that is easy for liquefaction separation.
상기 피드가스 공급통로의 일측에는 피드가스 분기통로 및 피드가스 리턴통로가 분기되고, 상기 피드가스 분기통로 및 피드가스 리턴통로가 제2재비기에 연결되는 것을 특징으로 한다. The feed gas branch passage and the feed gas return passage is branched to one side of the feed gas supply passage, and the feed gas branch passage and the feed gas return passage are connected to a second reboiler.
상기 제1 및 제2 쿨러는 상기 제1 및 제2 증류컬럼에서 벤트되는 제1 및 제2 벤트가스의 냉열를 이용하여 피드가스를 냉각시키도록 구성되는 것을 특징으로 한다. The first and second coolers may be configured to cool the feed gas by using the cold heat of the first and second vent gases vented from the first and second distillation columns.
상기 제1증류컬럼의 상단에는 제1벤트가스 통로가 연결되고, 상기 제1벤트가스 통로는 상기 제1쿨러를 관통하며, 상기 제1벤트가스 통로는 상기 드라이어측으로 연결되는 것을 특징으로 한다. A first vent gas passage is connected to an upper end of the first distillation column, the first vent gas passage passes through the first cooler, and the first vent gas passage is connected to the dryer side.
상기 제2증류컬럼의 상단에는 제2벤트가스 통로가 연결되고, 상기 제2벤트가스 통로는 상기 제2쿨러를 관통하며, 상기 제2벤트가스 통로의 2차 쿨러 하류측에는 재생용 압축기가 설치되고, 상기 제2벤트가스 통로의 하류측 단부는 드라이어의 하류측에 합류되며, 상기 재생용 압축기는 제2벤트가스를 피드가스의 운전압력까지 압축하는 것을 특징으로 한다. A second vent gas passage is connected to an upper end of the second distillation column, the second vent gas passage passes through the second cooler, and a regeneration compressor is installed downstream of the second cooler downstream of the second vent gas passage. The downstream end of the second vent gas passage is joined to the downstream side of the dryer, and the regeneration compressor compresses the second vent gas to the operating pressure of the feed gas.
상기 제2증류컬럼의 운전압력이 상기 제1증류컬럼의 운전압력보다 낮게 설정되는 것을 특징으로 한다. The operating pressure of the second distillation column is set to be lower than the operating pressure of the first distillation column.
상기 제1증류컬럼의 운전압력은 20~30bar이고, 상기 제2증류컬럼의 운전압력은 약 10~20bar인 것이 바람직하다. Preferably, the operating pressure of the first distillation column is 20 to 30 bar, and the operating pressure of the second distillation column is about 10 to 20 bar.
이상과 같은 본 발명에 의하면, 고순도 액화이산화탄소를 생산하는 제1증류컬럼 및 초고순도 액화이산화탄소를 생산하는 제2증류컬럼이 통합형으로 구성됨에 따라, 상업적으로 이용되는 99%의 고순도 CO2 및 부가가치가 그의 10배 이상되는 99.999% 이상의 초고순도 CO2를 동시에 생산이 가능한 장점이 있다. According to the present invention as described above, since the first distillation column for producing high purity liquefied carbon dioxide and the second distillation column for producing ultra high purity liquefied carbon dioxide are composed of an integrated type, 99% of high purity CO2 and added value commercially used are It has the advantage of being able to produce ultra high purity CO2 of 99.999% or more, which is more than 10 times.
또한, 본 발명은 별도의 초고순도 정제장치가 필요하지 않아 그 설치 및 유지관리 비용이 대폭 절감될 뿐만 아니라 초고순도 이산화탄소의 생산수율 및 품질이 향상되는 장점이 있었다. In addition, the present invention does not require a separate ultra-high purity purification apparatus, the installation and maintenance costs are greatly reduced, as well as the production yield and quality of ultra-high purity carbon dioxide has been improved.
그리고, 본 발명은 초고순도 이산화탄소를 생산하기 위한 제2증류컬럼에서 배출되는 제2벤트가스를 재순환시키기 때문에 벤트가스의 대기 방출량을 최소화하고, 이에 장치 전체의 회수율을 높여 효율적이고 경제적인 방법으로 고순도 CO2 및 초고순도 CO2를 동시에 생산할 수 있다는 장점이 있다. In addition, the present invention recycles the second vent gas discharged from the second distillation column to produce ultra-high purity carbon dioxide, thereby minimizing the amount of vent gas emitted, thereby increasing the recovery rate of the entire apparatus, thereby increasing the recovery rate of the device in an efficient and economical manner. The advantage is that CO 2 and ultra high purity CO 2 can be produced simultaneously.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 고순도 및 초고순도 이산화탄소 정제 및 액화장치를 도시한 구성도이다. 1 is a block diagram showing a high purity and ultra high purity carbon dioxide purification and liquefaction apparatus according to an embodiment of the present invention.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 고순도 및 초고순도 이산화탄소 정제 및 액화장치를 도시한 도면이다. 1 is a view showing a high purity and ultra high purity carbon dioxide purification and liquefaction apparatus according to an embodiment of the present invention.
도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 고순도 및 초고순도 이산화탄소 정제 및 액화장치는 70~90 vol%의 이산화탄소 농도를 가진 피드가스를 압축하는 피드가스 압축기(11, feed gas compressor), 피드가스 내의 수분을 제거하는 드라이어(12), 피드가스를 정제 및 액화하여 99%의 고순도 이산화탄소를 생산하는 제1증류컬럼(21), 제1증류컬럼(21)에 연결되어 99.999%의 고순도 이산화탄소의 적어도 일부를 정제 및 액화하여 초고순도 이산화탄소를 생산하는 제2증류컬럼(24)을 포함한다. As shown, the high purity and ultra high purity carbon dioxide purification and liquefaction apparatus according to the present invention is a feed gas compressor (11, feed gas compressor) for compressing the feed gas having a carbon dioxide concentration of 70 ~ 90 vol%, the water in the
본 발명에 이용되는 피드가스(feed gas)로는 화력발전, 시멘트, 제철소, 소각로 등의 연소공정(순산소연소방식, 산소분화연소방식 등) 시에 배출되는 배기가스, 그외에 석유화학산업에서 필요한 원료의 합성 반응 후에 생성되는 부산물 등일 수 있다. 한편, 본 발명에 이용되는 피드가스는 대략 70~95 vol%의 이산화탄소 농도를 가지는 것이 바람직할 것이다. The feed gas used in the present invention is exhaust gas discharged during a combustion process such as thermal power generation, cement, steel mills, incinerators, etc., and is required for the petrochemical industry. And by-products generated after the synthesis reaction of the raw materials. On the other hand, the feed gas used in the present invention will preferably have a carbon dioxide concentration of approximately 70 ~ 95 vol%.
피드가스 공급원으로부터 피드가스 공급통로(13)가 연장되고, 피드가스 공급통로(13)를 통해 대략 70~95 vol%의 이산화탄소 농도를 가진 피드가스가 이송된다. 그리고, 피드가스 공급통로(13)의 상류 측에는 피드가스 압축기(11)가 설치되며, 피드가스 압축기(11)는 피드가스를 약 20~30bar까지 압축하도록 구성된다. The feed
피드가스 압축기(11)의 하류측에는 압축된 피드가스 내의 수분을 제거하는 드라이어(12)가 설치된다. On the downstream side of the
그리고, 피드가스 공급통로(13)의 하류측 단부는 제1증류컬럼(21, a first distillation column)의 상단측에 연결되고, 제1증류컬럼(21)의 하단에 제1재비기(22, a first reboiler)가 설치된다. Then, the downstream end of the feed
한편, 피드가스 공급통로(13)의 일부는 제1재비기(22)를 관통하고, 피드가스 공급통로(13)의 제1재비기(22)와 제1증류컬럼(21) 사이에는 제1쿨러(31), 제2쿨러(32), 냉동기(33, refrigerator)가 순차적으로 설치될 수 있다. 이에, 피드가스 공급통로(13)를 통해 이송되는 피드가스는 제1쿨러(31), 제2쿨러(32), 냉동기(33)를 통과함에 따라 냉각된 후에 제1증류컬럼(21)에서 증류작용을 거쳐 99%의 고순도 액화이산화탄소(liquefied CO2)가 생산된다. On the other hand, a part of the feed
제1 및 제2 쿨러(31, 32)는 제1 및 제2 증류컬럼(21, 24)에서 벤트되는 제1 및 제2 벤트가스의 냉열를 이용하여 피드가스를 단계적으로 냉각시키도록 구성된다. The first and
냉동기(33)는 암모니아 등을 냉매로 이용한 냉동기로서, 냉동기(33)는 파드가스 내의 이산화탄소 함유량 및 운전온도 등에 따라 차이를 가지지만 제1 및 제2 쿨러(31, 32)를 통과한 피드가스를 액화분리에 용이한 상변화온도(약 -20~30℃)까지 냉각시키도록 구성된다. The
제1증류컬럼(21)의 하단 특히, 제1재비기(22) 측에는 고순도 액화이산화탄소(99%)가 배출되는 제1이산화탄소 배출통로(14)가 연결되고, 제1이산화탄소 배출통로(14)에는 개폐밸브(14a)가 설치될 수 있으며, 제1이산화탄소 배출통로(14)에서 배출된 고순도 액화이산화탄소는 저장탱크 내에 일시 저장될 수 있다. The lower end of the
제1증류컬럼(21)의 상단에는 제1벤트가스 통로(21a)가 연결되고, 제2증류컬럼(24)의 상단에는 제2벤트가스 통로(24a)가 연결된다. 그리고, 제1벤트가스 통로(21a)는 제1쿨러(31)를 관통하고, 제2벤트가스 통로(24a)는 제2쿨러(32)를 관통한다. 이에 제1 및 제2 증류컬럼(21, 24)에서 증류작용에 의해 벤트되는 제1 및 제2 벤트가스는 제1 및 제2 벤트가스 통로(21a, 24a)를 통해 이송되고, 특히 냉열을 가진 벤트가스가 제1 및 제2 쿨러(31, 32)를 통과함에 따라 피드가스는 제1 및 제2 쿨러(31, 32) 내에서 제1 및 제2 벤트가스의 냉열에 의해 단계적으로 냉각된다. The first
이와 같이, 본 발명은 제1 및 제2 벤트가스의 냉열을 이용하여 피드가스를 예비냉각함에 따라 냉동기(33)의 소요동력을 최소화하여 전체 시스템의 에너지효율을 대폭 향상시킬 수 있는 장점이 있다. As described above, the present invention has the advantage of greatly improving the energy efficiency of the entire system by minimizing the required power of the
제1벤트가스 통로(21a)는 드라이어(12)측으로 연결되고, 이에 일부의 제1벤트가스는 드라이어(12)측으로 유입되어 드라이어(12)의 재생에 이용된 후에 대기 방출될 수 있으며, 그외 나머지는 대기 방출될 수도 있다. The first
제2벤트가스 통로(24a)의 2차 쿨러(32) 하류측에는 재생용 압축기(27)가 설치되고, 제2벤트가스 통로(24a)의 하류측 단부는 드라이어(12)의 하류측에 합류된다. 이에, 재생용 압축기(27)는 제2벤트가스를 피드가스의 운전압력까지 압축하고, 이러한 재생용 압축기(27)를 통해 압축된 제2벤트가스는 드라이어(12)의 하류측에서 재순환되어 이산화탄소의 회수율을 증대시킬 수 있다. A
그리고, 제1이산화탄소 배출통로(14)의 일측에는 분기라인(15)이 분기되고, 분기라인(15) 상에는 개폐밸브(16) 및 세퍼레이터(17)가 설치된다. 개폐밸브(16)의 개방작동에 의해 일부의 고순도 액화이산화탄소가 분기라인(15)측으로 이송될 수 있다. 세퍼레이터(17)의 상단에는 기상의 이산화탄소가 이송되는 기상통로(17a)가 연결되고, 기상통로(17a)는 제2벤트가스 통로(24a)측에 합류된다. 세퍼레이터(17)의 하단에는 액상의 이산화탄소가 이송되는 액상통로(17b)가 연결되고, 액상통로(17b)의 하류측 단부에는 제2증류컬럼(24)이 설치되며, 제2증류컬럼(24)의 하단에는 제2재비기(25)가 설치된다. In addition, a
이와 같이, 본 발명은 분기라인(15)을 통해 고순도 액화이산화탄소가 제2증류컬럼(24)측으로 공급되고, 이에 제2증류컬럼(24)에서 증류작용을 거쳐 99.999%의 초고순도 액화이산화탄소(liquefied CO2)가 생산된다.As described above, the present invention is supplied to the
그리고, 제2증류컬럼(24)의 하단 특히, 제2재비기(25) 측에는 초고순도 액화이산화탄소가 배출되는 제2이산화탄소 배출통로(26)가 연결되고, 제2이산화탄소 배출통로(26)에는 개폐밸브(26a)가 설치된다. In addition, a second carbon
한편, 피드가스 공급통로(13)의 일측에는 피드가스 분기통로(13a) 및 피드가스 리턴통로(13b)가 분기되고, 피드가스 분기통로(13a) 및 피드가스 리턴통로(13b)가 제2재비기(25)에 연결되어 있다. 이에, 피드가스 공급통로(13)를 통해 제1증류컬럼(21)측으로 이송되는 피드가스 중에서 일부의 피드가스는 피드가스 분기통로(13a)를 통해 분류되어 제2재비기(25)측으로 이송되고, 제2재비기(25) 내에서 피드가스가 열원으로서 열교환한 후에 피드가스 리턴통로(13b)를 통해 피드가스 공급통로(13)측으로 리턴된다. Meanwhile, the feed
그리고, 피드가스 분기통로(13a) 및 피드가스 리턴통로(13b) 각각에는 개폐밸브(13c, 13d)가 개별적으로 설치되고, 이에 일부의 피드가스를 제2증류컬럼(24)의 재비기(25)측으로 공급할 수도 있다.In each of the feed
한편, 제2증류컬럼(22) 내의 운전압력이 제1증류컬럼(21)의 운전압력보다 낮게 설정됨이 바람직하고, 이는 제2증류컬럼(22)의 낮은 운전압력이 초고순도 이산화탄소의 생산이 보다 용이하기 때문이다. 피드가스 내의 이산화탄소 농도에 따라 차이가 있을 수 있지만, 제1증류컬럼(21) 내의 운전압력은 약 20~30bar이고, 제2증류컬럼(24)의 운전압력은 약 10~20bar인 것이 바람직하다. On the other hand, it is preferable that the operating pressure in the
그리고, 정상운전 시에 제1 및 제2 재비기(22, 25)로 유입되는 피드가스는 제1 및 제2 증류컬럼(21, 24) 내의 열원으로 이용됨에 따라 예비냉각될 수 있다. In addition, the feed gas flowing into the first and second reboilers 22 and 25 in the normal operation may be pre-cooled as it is used as a heat source in the first and
이상과 같이 구성된 본 발명은, 고순도 액화이산화탄소를 생산하는 제1증류컬럼(21) 및 초고순도 액화이산화탄소를 생산하는 제2증류컬럼(24)을 통합형으로 구성함에 따라, 상업적으로 이용되는 99%의 고순도 CO2 및 부가가치가 그의 10배 이상되는 99.999% 이상의 초고순도 CO2를 동시에 생산이 가능한 장점이 있다. According to the present invention configured as described above, the
또한, 본 발명은 제1 및 제2 증류컬럼(21, 24)을 통합형으로 구성함에 다라 별도의 초고순도 정제장치가 필요하지 않아 그 설치 및 유지관리 비용이 대폭 절감될 뿐만 아니라 초고순도 이산화탄소의 생산수율 및 품질이 향상되는 장점이 있었다. In addition, according to the present invention, since the first and
그리고, 본 발명은 초고순도 이산화탄소를 생산하기 위한 제2증류컬럼(24)에서 배출되는 제2벤트가스를 재순환시키기 때문에 벤트가스의 대기 방출량을 최소화하고, 이에 장치 전체의 회수율을 높여 효율적이고 경제적인 방법으로 고순도 CO2 및 초고순도 CO2를 동시에 생산할 수 있다는 장점이 있다.In addition, the present invention recycles the second vent gas discharged from the
11: 피드가스 압축기 12: 드라이어
13: 피드가스 공급통로 14: 제1이산화탄소 배출통로
15: 분기라인 21: 제1증류컬럼
22: 제1재비기 24: 제2증류컬럼
25: 제2재비기 26: 제2이산화탄소 배출통로11: feed gas compressor 12: dryer
13: feed gas supply passage 14: first carbon dioxide discharge passage
15: branch line 21: first distillation column
22: 1st reboiler 24: 2nd distillation column
25: 2nd reboiler 26: 2nd carbon dioxide discharge passage
Claims (10)
상기 피드가스 압축기의 하류측에 설치되고, 피드가스 내의 수분을 제거하는 드라이어;
피드가스를 정제 및 액화하여 고순도 액화이산화탄소를 생산하는 제1증류컬럼; 및
상기 제1증류컬럼에 연결되어 상기 고순도 액화이산화탄소의 적어도 일부를 정제 및 액화하여 초고순도 이산화탄소를 생산하는 제2증류컬럼;을 포함하고,
상기 피드가스 공급통로의 하류측 단부는 상기 제1증류컬럼의 상단측에 연결되고, 상기 제1증류컬럼의 하단에는 제1재비기가 설치되며, 상기 제1증류컬럼의 하단에는 고순도 액화이산화탄소가 배출되는 제1이산화탄소 배출통로가 연결되고, 상기 제1이산화탄소 배출통로의 일측에는 분기라인이 분기되고, 상기 분기라인은 상기 제2증류컬럼에 연결되며, 상기 분기라인을 통해 고순도 액화이산화탄소의 일부가 선택적으로 상기 제2증류컬럼 측에 이송되는 것을 특징으로 하는 고순도 및 초고순도 이산화탄소 정제 및 액화장치.A feed gas compressor installed on the feed gas supply passage and compressing the feed gas;
A dryer installed at a downstream side of the feed gas compressor to remove moisture in the feed gas;
A first distillation column for purifying and liquefying feed gas to produce high purity liquefied carbon dioxide; And
And a second distillation column connected to the first distillation column to purify and liquefy at least a portion of the high purity liquefied carbon dioxide to produce ultra high purity carbon dioxide.
A downstream end of the feed gas supply passage is connected to an upper end side of the first distillation column, a first recombiner is installed at a lower end of the first distillation column, and high purity liquefied carbon dioxide is discharged at a lower end of the first distillation column. The first carbon dioxide discharge passage is connected, the branch line is branched to one side of the first carbon dioxide discharge passage, the branch line is connected to the second distillation column, a portion of the high purity liquefied carbon dioxide through the branch line is optional High-purity and ultra-high purity carbon dioxide purification and liquefaction apparatus, characterized in that the transfer to the second distillation column side.
상기 분기라인 상에는 개폐밸브 및 세퍼레이터가 설치되고, 상기 세퍼레이터의 상단에는 기상의 이산화탄소가 이송되는 기상통로가 연결되며, 상기 세퍼레이터의 하단에는 액상의 이산화탄소가 이송되는 액상통로가 연결되고, 상기 액상통로의 하류측 단부는 상기 제2증류컬럼의 상단에 연결되며, 상기 제2증류컬럼의 하단에는 제2재비기가 설치되고, 상기 제2증류컬럼의 하단에는 초고순도 액화이산화탄소가 배출되는 제2이산화탄소 배출통로가 연결되는 것을 특징으로 하는 고순도 및 초고순도 이산화탄소 정제 및 액화장치.The method of claim 2,
On and off valves and separators are installed on the branch line, the upper end of the separator is connected to the gas phase passage for conveying the carbon dioxide of the gas phase, the lower end of the separator is connected to the liquid phase passage for conveying the liquid carbon dioxide, A downstream end is connected to an upper end of the second distillation column, and a second reboiler is installed at a lower end of the second distillation column, and a second carbon dioxide discharge passage through which ultra-high-purity liquefied carbon dioxide is discharged at a lower end of the second distillation column. High purity and ultra-high purity carbon dioxide purification and liquefaction apparatus characterized in that the connection.
상기 피드가스 공급통로는 상기 제1재비기를 관통하고, 상기 피드가스 공급통로의 제1재비기와 제1증류컬럼 사이에는 제1쿨러, 제2쿨러, 냉동기가 순차적으로 설치되며, 상기 냉동기는 상기 제1 및 제2 쿨러를 통과한 피드가스를 액화분리에 용이한 상변화온도까지 냉각시키도록 구성되는 것을 특징으로 하는 고순도 및 초고순도 이산화탄소 정제 및 액화장치.The method of claim 2,
The feed gas supply passage passes through the first reheater, and a first cooler, a second cooler, and a freezer are sequentially installed between the first reheater and the first distillation column of the feed gas supply passage. A high purity and ultra high purity carbon dioxide purification and liquefaction apparatus configured to cool the feed gas passed through the first and second coolers to a phase change temperature which is easy for liquefaction separation.
상기 피드가스 공급통로의 일측에는 피드가스 분기통로 및 피드가스 리턴통로가 분기되고, 상기 피드가스 분기통로 및 피드가스 리턴통로가 제2재비기에 연결되는 것을 특징으로 하는 고순도 및 초고순도 이산화탄소 정제 및 액화장치.The method of claim 3,
A feed gas branch passage and a feed gas return passage are branched to one side of the feed gas supply passage, and the feed gas branch passage and the feed gas return passage are connected to a second reboiler, thereby purifying and liquefying high purity and ultra high purity carbon dioxide. Device.
상기 제1 및 제2 쿨러는 상기 제1 및 제2 증류컬럼에서 벤트되는 제1 및 제2 벤트가스의 냉열를 이용하여 피드가스를 냉각시키도록 구성되는 것을 특징으로 하는 고순도 및 초고순도 이산화탄소 정제 및 액화장치.The method of claim 4, wherein
The first and second coolers are configured to cool the feed gas using the cold heat of the first and second vent gases vented from the first and second distillation columns, thereby purifying and liquefying high purity and ultra high purity carbon dioxide. Device.
상기 제1증류컬럼의 상단에는 제1벤트가스 통로가 연결되고, 상기 제1벤트가스 통로는 상기 제1쿨러를 관통하며, 상기 제1벤트가스 통로는 상기 드라이어측으로 연결되는 것을 특징으로 하는 고순도 및 초고순도 이산화탄소 정제 및 액화장치.The method of claim 6,
A first vent gas passage is connected to an upper end of the first distillation column, the first vent gas passage penetrates the first cooler, and the first vent gas passage is connected to the dryer side. Ultra high purity carbon dioxide purification and liquefaction apparatus.
상기 제2증류컬럼의 상단에는 제2벤트가스 통로가 연결되고, 상기 제2벤트가스 통로는 상기 제2쿨러를 관통하며, 상기 제2벤트가스 통로의 2차 쿨러 하류측에는 재생용 압축기가 설치되고, 상기 제2벤트가스 통로의 하류측 단부는 드라이어의 하류측에 합류되며, 상기 재생용 압축기는 제2벤트가스를 피드가스의 운전압력까지 압축하는 것을 특징으로 하는 고순도 및 초고순도 이산화탄소 정제 및 액화장치.The method of claim 6,
A second vent gas passage is connected to an upper end of the second distillation column, the second vent gas passage passes through the second cooler, and a regeneration compressor is installed downstream of the second cooler downstream of the second vent gas passage. The downstream end of the second vent gas passage is joined to the downstream side of the dryer, and the regeneration compressor compresses the second vent gas to the operating pressure of the feed gas, thereby purifying and purifying the high purity and ultra high purity carbon dioxide. Device.
상기 제2증류컬럼의 운전압력이 상기 제1증류컬럼의 운전압력보다 낮게 설정되는 것을 특징으로 하는 고순도 및 초고순도 이산화탄소 정제 및 액화장치.The method of claim 2,
High and ultra high purity carbon dioxide purification and liquefaction apparatus, characterized in that the operating pressure of the second distillation column is set lower than the operating pressure of the first distillation column.
상기 제1증류컬럼의 운전압력은 20~30bar이고, 상기 제2증류컬럼의 운전압력은 10~20bar인 것을 특징으로 하는 고순도 및 초고순도 이산화탄소 정제 및 액화장치.The method of claim 2,
The operation pressure of the first distillation column is 20 ~ 30bar, the operation pressure of the second distillation column is 10 ~ 20bar, characterized in that the high purity and ultra-high purity carbon dioxide purification and liquefaction apparatus.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100113923A KR101045643B1 (en) | 2010-11-16 | 2010-11-16 | High Purity and Ultra High Purity CO2 Purification and Liquefaction Equipment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100113923A KR101045643B1 (en) | 2010-11-16 | 2010-11-16 | High Purity and Ultra High Purity CO2 Purification and Liquefaction Equipment |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR101045643B1 true KR101045643B1 (en) | 2011-07-01 |
Family
ID=44922980
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020100113923A Active KR101045643B1 (en) | 2010-11-16 | 2010-11-16 | High Purity and Ultra High Purity CO2 Purification and Liquefaction Equipment |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101045643B1 (en) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101475785B1 (en) * | 2013-03-29 | 2014-12-23 | 신광섭 | The carbon capture and storage apparatus from waste using plasma pyrolysis device |
CN106064817A (en) * | 2016-06-03 | 2016-11-02 | 西安长庆科技工程有限责任公司 | A kind of Gas Purification Factory high-carbon tail gas carbon dioxide recovery method and device |
US10668403B2 (en) | 2016-07-29 | 2020-06-02 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Source supplier for a supercritical fluid, substrate processing apparatus having the same |
CN111238166A (en) * | 2020-03-20 | 2020-06-05 | 金昌隆博气体有限责任公司 | Refrigeration cycle system and method in carbon dioxide rectification separation process |
KR102612974B1 (en) * | 2022-12-16 | 2023-12-12 | (주)에이원 | Liquefaction, Storage and Delivery System of Carbon Dioxide at Hub Terminal for CCS |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR950012518B1 (en) * | 1992-03-19 | 1995-10-18 | 에어 프로덕츠 앤드 케미칼스 인코오포레이티드 | Method for simultaneously preparing standard and ultra high purity volatile components from multicomponent streams |
JP3140761B2 (en) * | 1989-08-21 | 2001-03-05 | ザ・ビーオーシー・グループ・インコーポレーテッド | Process for producing substantially pure carbon dioxide from a carbon dioxide-containing feed |
-
2010
- 2010-11-16 KR KR1020100113923A patent/KR101045643B1/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3140761B2 (en) * | 1989-08-21 | 2001-03-05 | ザ・ビーオーシー・グループ・インコーポレーテッド | Process for producing substantially pure carbon dioxide from a carbon dioxide-containing feed |
KR950012518B1 (en) * | 1992-03-19 | 1995-10-18 | 에어 프로덕츠 앤드 케미칼스 인코오포레이티드 | Method for simultaneously preparing standard and ultra high purity volatile components from multicomponent streams |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101475785B1 (en) * | 2013-03-29 | 2014-12-23 | 신광섭 | The carbon capture and storage apparatus from waste using plasma pyrolysis device |
CN106064817A (en) * | 2016-06-03 | 2016-11-02 | 西安长庆科技工程有限责任公司 | A kind of Gas Purification Factory high-carbon tail gas carbon dioxide recovery method and device |
US10668403B2 (en) | 2016-07-29 | 2020-06-02 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Source supplier for a supercritical fluid, substrate processing apparatus having the same |
CN111238166A (en) * | 2020-03-20 | 2020-06-05 | 金昌隆博气体有限责任公司 | Refrigeration cycle system and method in carbon dioxide rectification separation process |
KR102612974B1 (en) * | 2022-12-16 | 2023-12-12 | (주)에이원 | Liquefaction, Storage and Delivery System of Carbon Dioxide at Hub Terminal for CCS |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2545546C2 (en) | Extraction of hydrogen and nitrogen from ammonia blowout gas | |
US3503220A (en) | Expander cycle for natural gas liquefication with split feed stream | |
US8752401B2 (en) | Method for producing a flow which is rich in methane and a cut which is rich in C2+ hydrocarbons from a flow of feed natural gas and an associated installation | |
KR101106195B1 (en) | CO2 Purification and Liquefaction Apparatus and Method | |
KR101045643B1 (en) | High Purity and Ultra High Purity CO2 Purification and Liquefaction Equipment | |
AU2010291532B2 (en) | Method and device for treating a carbon dioxide-containing gas flow, wherein the energy of the vent gas (work and cold due to expansion) is used | |
EA018269B1 (en) | Liquefied natural gas production | |
NO20121276A1 (en) | Process for the treatment of a natural gas containing carbon dioxide | |
EA020215B1 (en) | Method for producing liquid and gaseous nitrogen streams, a helium-rich gaseous stream, and a denitrogened hydrocarbon stream, and associated plant | |
RU2486131C2 (en) | Method of producing helium | |
CA2919209A1 (en) | Process for liquefaction of natural gas | |
CN103256786A (en) | Flame-suppression and explosion-suppression cryogenic liquefaction device for low-concentration coal bed gas | |
CN104263443A (en) | Method and system for separating nitrogen from liquefied natural gas | |
US11173445B2 (en) | Method of preparing natural gas at a gas pressure reduction stations to produce liquid natural gas (LNG) | |
CN214371298U (en) | Carbon dioxide gathering liquefaction recovery device | |
CN114518016A (en) | Carbon dioxide capturing, liquefying and recycling device and method | |
CN107736435A (en) | Process system and process method for carrying out deep-freezing and quick-freezing of seafood by using air | |
CN107108244B (en) | The device and method for producing ammonia and relevant remodeling method are purified for deep cooling | |
CN114165987A (en) | Liquid carbon dioxide production device and production method thereof | |
CN102735020A (en) | Method for extracting helium from natural gas | |
CN106871576B (en) | Commercial syngas low temperature front-end demethanization method and system | |
US9285163B2 (en) | Process and apparatus for cooling and compressing a wet gas rich in carbon dioxide | |
RU2647297C2 (en) | Method and plant for producing liquid and gaseous oxygenates by low-temperature air separation | |
US10415879B2 (en) | Process for purifying natural gas and liquefying carbon dioxide | |
WO2019175167A1 (en) | Method for operating a natural gas processing plant |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20101116 |
|
PA0201 | Request for examination | ||
A302 | Request for accelerated examination | ||
PA0302 | Request for accelerated examination |
Patent event date: 20101229 Patent event code: PA03022R01D Comment text: Request for Accelerated Examination Patent event date: 20101116 Patent event code: PA03021R01I Comment text: Patent Application |
|
E902 | Notification of reason for refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20110208 Patent event code: PE09021S01D |
|
E902 | Notification of reason for refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20110408 Patent event code: PE09021S01D |
|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20110530 |
|
GRNT | Written decision to grant | ||
PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20110624 Patent event code: PR07011E01D |
|
PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20110627 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
PG1601 | Publication of registration | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140619 Year of fee payment: 4 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20140619 Start annual number: 4 End annual number: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150429 Year of fee payment: 5 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20150429 Start annual number: 5 End annual number: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160829 Year of fee payment: 6 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20160829 Start annual number: 6 End annual number: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180425 Year of fee payment: 8 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20180425 Start annual number: 8 End annual number: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190620 Year of fee payment: 9 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20190620 Start annual number: 9 End annual number: 9 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20200611 Start annual number: 10 End annual number: 10 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20210621 Start annual number: 11 End annual number: 11 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20220810 Start annual number: 12 End annual number: 12 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20250617 Start annual number: 15 End annual number: 15 |