KR101001238B1

KR101001238B1 - 유체 제어 장치

Info

Publication number: KR101001238B1
Application number: KR1020057009992A
Authority: KR
Inventors: 이치로 도쿠다; 겐지 츠보타; 미치오 야마지; 츠토무 시노하라
Original assignee: 가부시키가이샤 후지킨
Priority date: 2002-12-03
Filing date: 2003-10-31
Publication date: 2010-12-17
Anticipated expiration: 2023-10-31
Also published as: US20060048830A1; EP1568926A4; WO2004051124A1; TWI313888B; TW200416796A; KR20050089154A; EP1568926A1; CN100439779C; JP2004183771A; US7152629B2; CN1703596A

Abstract

라인 상호 접속 수단(50)은, 접속 대상인 각 라인(B1, B2, B3) 상단의 라인 방향 동일한 위치에 각각 배치되고 라인 상호 접속용 통로(54)가 형성된 하측 통로블록(51)과, 접속 대상인 각 라인에 걸쳐 하측 통로 블록(51)의 상측에 배치되고 라인 직교 방향으로 연장되는 횡 방향 통로(58a) 및 이 횡 방향 통로로부터 연장되어 하측 통로 블록(51)의 라인 상호 접속용 통로(54)와 연통하는 하향 통로(58b)를 갖는 복수의 상측 통로 블록(57)으로 이루어진다. 하측 통로 블록(51)은 상측으로부터의 나사에 의해서 착탈 가능하게 하단 커플링 부재에 결합되어 있으며, 상측 통로 블록(57)은 상측으로부터의 나사에 의해서 착탈 가능하게 하측 통로 블록(51)에 결합되어 있다.

Description

유체 제어 장치{FLUID CONTROL DEVICE}

본 발명은 반도체 제조 장치에 사용되는 유체 제어 장치에 관한 것으로 보다 자세하게는 보수 점검 시에 유체 제어 기기를 단독으로 상측으로 추출할 수 있도록 조립된 집적화 유체 제어 장치에 관한 것이다.

이 명세서에 있어서, 전후·상하에 대해서는 도 1의 우측을 앞, 좌측을 뒤라고 하고, 도1의 상하를 상하라고 하고, 좌우는 전방을 향하고 있는 것으로 한다. 이 전후·상하는 편의적인 것으로, 전후가 반대로 되거나 상하가 좌우가 되거나 하여 사용되는 경우도 있다.

반도체 제조 장치에 사용되는 유체 제어 장치는 여러 가지의 유체 제어 기기가 복수 열로 배치됨과 동시에 인접하는 열의 유체 제어 기기 유로끼리 소정 지점에서 기기 접속 수단에 의해 접속됨으로써 구성되어 있지만, 최근, 이 종류의 유체 제어 장치에서는 매스플로우 컨트롤러나 개폐 밸브 등을 튜브를 통하지 않고서 접속하는 집적화가 진행되고 있다. 예컨대, 일본 특허 공개 2002-89798호 공보에는 1개의 라인이 상단에 배치된 복수의 유체 제어 기기와 하단에 배치된 복수의 커플링 부재에 의해서 형성되어, 복수의 라인이 그 입구 및 출구를 동일한 방향을 향하게 기판상에 병렬형으로 배치되고, 소정 라인의 유로끼리가 라인 상호 접속 수단에 의해 접속되어 있는 유체 제어 장치가 개시되어 있다.

도 13은 상기 일본 특허 공개 2002-89798호 공보에 기재된 유체 제어 장치의 한 가지 예를 도시하는 사시도이며, 이 유체 제어 장치는 3개의 바이패스 통로 없는 라인(A1, A2, A3)과 3개의 바이패스 통로 있는 라인(B1, B2, B3)이 기판(I)에 병렬형으로 배치되어 형성되어 있다. 각 바이패스 통로 없는 라인(A1, A2, A3) 및 각 바이패스 통로 있는 라인(B1, B2, B3)은, 상단에 배치된 매스플로우 컨트롤러, 개폐 밸브, 차단 개방기 등의 복수의 유체 제어 기기(2, 3, 4, 5, 6, 7)와 하단에 배치되어 유체 제어 기기(2, 3, 4, 5, 6, 7, 41)끼리를 연통시키는 복수의 커플링 부재(11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 40)에 의해서 형성되어 있다.

각 바이패스 통로 없는 라인(A1, A2, A3)의 유체 제어 기기는 매스플로우 컨트롤러(2)와 매스플로우 컨트롤러(2) 입구 측에 필터(4)를 매개로 하여 설치된 입구측 개폐 밸브(3)와 매스플로우 컨트롤러(2) 출구 측에 설치된 출구측 개폐 밸브(5)이며, 각 바이패스 통로 있는 라인(B1, B2, B3)의 유체 제어 기기는 매스플로우 컨트롤러(2)와 매스플로우 컨트롤러(2) 입구측에 필터(4)를 매개로 하여 설치된 입구측 차단 개방기(6)와 매스플로우 컨트롤러(2) 출구측에 설치된 출구측 차단 개방기(7)이다.

입구측 차단 개방기(6)는 블록형 본체(21)와 이것에 부착된 2개의 개폐 밸브 액츄에이터(22, 23)와 본체(21)의 상면에 부착된 관형상 접속부 부착용 블록형 커플링(24)과 동일한 측면에 부착된 통로 블록(25)에 의해 형성되어 있다. 출구측 차단 개방기(7)는 매스플로우 컨트롤러(2)에 가까운 쪽에 배치된 제1 블록형 본체( 도시 생략)와 이것에 부착된 제1 개폐 밸브 액츄에이터(27)와 제1 블록형 본체(26) 후측에 인접하여 배치된 제2 블록형 본체(28)와 이것에 부착된 2개의 개폐 밸브 액츄에이터(29, 30)와 제1 본체(26)의 상면에 부착된 관형상 접속부 부착용 블록형 커플링(31)과 동일한 전면에 부착된 통로 블록(32)과 제2 본체(28) 상면에 부착된 관형상 접속부 부착용 블록형 커플링(33)에 의해 형성되어 있다.

필터(4) 하측의 블록형 커플링(14)과 매스플로우 컨트롤러(2) 접속용 관형상 커플링(15) 사이에는 바이패스용 통로를 분기시키는 관형상 T형 커플링(도시 생략)이 배치되어 있으며, 매스플로우 컨트롤러(2) 상측을 지나는 역 U자형 바이패스 배관(35)의 일단이 이 T형 커플링(34)에 접속되고, 동일한 타단이 출구측 차단 개방기(7)의 관형상 접속부 부착 블록형 커플링(도시 생략)에 접속되어 있다. 바이패스 배관(35) 도중에는 이것을 역 L자 부분과 I자 부분으로 분할 가능하게 하는 관형상 커플링(36)이 설치되어 있다.

매스플로우 컨트롤러(2) 및 커플링(11, 12, 14)은 역 U자형 브래킷(8, 9, 19)을 통해 기판(1)에 부착되어 있다. 매스플로우 컨트롤러(2)는 그 양측 커플링(15, 17)을 해제시켜, 또한, 필터(4) 및 각 개폐 밸브(3, 5)는 상측으로부터 죄여져 있는 나사(37)를 해제시켜 각각 단독으로 상측으로 추출 가능하게 되어 있다.

도면 부호 40은 3개의 바이패스 통로 없는 라인(A1, A2, A3)끼리를 1개의 커플링으로 접속하는 매니폴드 블록 커플링을 나타내고, 도면 부호 43은 3개의 바이패스 통로 있는 라인(B1, B2, B3)끼리를 1개의 커플링으로 접속하는 매니폴드 블록 커플링을 나타내고, 도면 부호 41은 매니폴드 블록 커플링(40)에 나사(37)로 부착 된 통로 폐쇄 블록을 나타내고, 도면 부호 42는 매니폴드 블록 커플링(40, 43)을 기판(1)에 부착하기 위한 역 U자형 브래킷을 나타내고 있다. 바이패스 통로 없는 라인용 매니폴드 블록 커플링(40)과 바이패스 통로 있는 라인용 매니폴드 블록 커플링(43)은 연통 파이프(44)에 의해 접속되어 있으며, 이들에 공통 출구가 바이패스 통로 있는 라인용 매니폴드 블록 커플링(43)의 종단부로 구성되어 여기에 관형상 커플링(46) 부착 개폐 밸브(45)가 설치되어 있다.

바이패스 통로 있는 라인(B1, B2, B3)끼리는 그 입구측 차단 개방기(6)의 관형상 접속부 부착 블록형 커플링(24)끼리 및 출구측 차단 개방기(7)의 제2 관형상 접속부 부착용 블록형 커플링(33)끼리가 각각 라인 상호 접속 수단으로서의 역 U자형 연통 배관(47, 48)에 의해서 접속되어 있다. 이들의 라인 상호 접속 수단(47, 48)은 L 형 커플링(L) 및 T형 커플링(T)을 사용하고, 이들 커플링(L, T)과 파이프(P)와는 용접(도면 중에 W로 도시함)에 의해서 접속되어 있다.

상기 종래의 유체 제어 장치에 의하면, 1개의 라인에 대해서는 하단의 블록형 커플링이 기판에 착탈 가능하게 부착되고 상단의 유체 제어 기기가 하단의 블록형 커플링 사이에 걸쳐 착탈 가능하게 부착되어 있으며, 각 라인의 유체 제어 기기마다 제거·부착이 용이한 것으로 되어 있다. 그러나, 라인 상호 접속 수단이 커플링 끼리를 파이프로 접속하고 용접하여 구성되어 있기 때문에 라인의 증설 및 변경시 라인 사이의 접속 제거·부착에 시간이 걸린다고 하는 문제가 있었다.

본 발명의 목적은 라인의 유로끼리를 접속하는 라인 상호 접속 수단으로부터 용접 지점을 없애고, 이것에 의해서, 라인의 증설 ·변경에 한층 용이하게 대응할 수 있는 집적화 유체 제어 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명에 의한 유체 제어 장치는, 입구 및 출구가 동일한 방향을 향하도록 병렬형으로 배치된 복수의 라인을 포함하고, 각각의 라인은, 상단(上段)에 배치된 복수의 유체 제어 기기와, 하단(下段)에 배치된 복수의 커플링 부재에 의해서 형성되며, 소정의 라인 유로끼리가 라인 상호 접속 수단에 의해 접속되어 있는 유체 제어 장치에 있어서,

라인 상호 접속 수단은, 접속 대상인 각 라인 상단의 라인 방향 동일한 위치에 각각 배치되고, 하나 이상의 상향 개구를 갖는 라인 상호 접속용 통로가 형성된 하측 통로 블록; 및 접속 대상인 각 라인에 걸쳐서 하측 통로 블록의 상측에 배치되고, 라인 직교 방향으로 연장되는 횡방향 통로와, 횡방향 통로로부터 연장되어 하측 통로 블록의 라인 상호 접속용 통로의 상향 개구와 연통하는 하향 통로를 갖는 1 또는 복수의 상측 통로 블록으로 이루어지며, 하측 통로 블록은 상측으로부터 나사에 의해서 하단의 커플링 부재에 착탈 가능하게 결합되어 있으며, 상측 통로 블록은 상측으로부터의 나사에 의해서 하측 통로 블록에 착탈 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 것이다.

유체 제어 기기가 탑재된 커플링 부재는 직방체 블록형으로 구성되어 유체 제어 기기의 하부(커플링 부재에 탑재된 부분)도 직방체 블록형으로 된다. 그리고, 하측 통로 블록 및 상측 통로 블록도 모두 직방체형이 된다. 하측 통로 블록은 그 라인 방향의 폭이 라인을 구성하는 유체 제어 기기 및 커플링 부재의 폭과 동일하게 되어 유체 제어 기기와 동일한 높이의 상단에 배치된다. 상측 통로 블록은 그 라인 직교 방향의 길이가 라인의 폭과 대략 동일하게 되어 2개의 라인에 걸쳐 접속 대상 라인의 수보다 1개 적은 수만큼 부착되는 경우가 있으며, 또한, 그 라인 직교 방향의 길이가 복수 라인 전부에 걸치도록 형성되어, 모든 라인에 걸쳐 1개만 부착되는 경우가 있다. 하측 통로 블록과 상측 통로 블록 사이에는 상측 통로 블록의 높이 조정용으로 중간 블록을 개재시켜도 좋고, 또한, 하측 통로 블록의 라인 방향으로 인접하는 위치에 상측 통로 블록 라인 방향의 위치 조정용 중간 블록을 배치하더라도 좋다. 후자인 중간 블록은 역지(逆止) 밸브로 대체할 수 있다.

본 발명의 유체 제어 장치에 의하면 라인 상호 접속 수단이 하측 및 상측 통로 블록에 의해서 구성되고, 또한 하측 통로 블록 및 상측 통로 블록이 착탈 가능하기 때문에 라인 상호 접속 수단을 용접 없이 구성할 수 있다. 라인을 증설할 때에는 필요에 따라서 라인 상호 접속 수단을 구성하는 통로 블록 중 소정의 것을 상측으로 떼어낸 후, 증설하여야 하는 라인을 기판상에 부착하고, 증설에 의해서 라인 상호 접속 수단의 사양이 변경된 경우에는 사양 변경 후의 라인 상호 접속 수단을 증설 전에 사용되고 있었던 통로 블록과 새롭게 준비된 통로 블록으로 구성하여, 이 라인 상호 접속 수단을 부착하면 좋다. 라인 변경을 행할 때도 마찬가지이며, 이렇게 하여 라인의 증설 및 변경을 용이하게 행할 수 있다.

도 1은 본 발명에 의한 유체 제어 장치의 제1 실시 형태에서 사용되고 있는 라인 상호 접속 수단의 일부를 도시한 종단면도.

도 2는 도 1의 II-II 선에 따른 단면도.

도 3은 본 발명에 의한 유체 제어 장치의 제1 실시 형태의 주요부를 도시한 평면도.

도 4는 도 3의 III-III 선에 따른 단면도.

도 5는 도 3의 V-V 선에 따른 단면도.

도 6은 본 발명에 의한 유체 제어 장치의 제2 실시 형태의 주요부를 도시한 평면도.

도 7은 도 6의 VII-VII 선에 따른 단면도.

도 8은 도 6의 VIII-VIII 선에 따른 단면도.

도 9는 본 발명에 의한 유체 제어 장치의 제3 실시 형태의 주요부를 도시한 평면도.

도 10은 도 9의 X-X 선에 따른 단면도.

도 11은 도 9의 XI-XI 선에 따른 단면도.

도 12는 본 발명에 의한 유체 제어 장치의 제4 실시 형태의 주요부를 도시한 종단면도.

도 13은 종래의 유체 제어 장치를 도시한 사시도.

본 발명의 실시 형태를 이하 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 라인 상호 접속 수단을 제외한 유체 제어 장치의 구성은 도 13에 도시한 것과 기본적으로 동일하며, 도 13에 도시한 것과 대략 동일한 작용을 갖는 것에는 동일한 부호를 붙이고 있다.

도 1에서 도 5까지는 본 발명에 의한 유체 제어 장치의 제1 실시 형태의 주요부를 도시하고 있다.

도 1은 블록형 본체(21) 및 이것에 부착된 2개의 개폐 밸브 액츄에이터(22, 23)로 이루어진 입구측 차단 개방기(6)를 나타내고 있으며, 차단 개방기(6) 본체(21)의 후측에 라인 상호 접속을 위한 하측 통로 블록(51)이 배치되어 있다. 차단 개방기(6)의 본체(21)와 하측 통로 블록(51) 사이에는 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 예컨대 역지 밸브(상세 구성의 도시는 대략)로서 사용되는 중간 블록(56)을 착탈 가능하게 부착할 수 있다.

차단 개방기(6) 전측의 개폐 밸브 액츄에이터(23)는 3 포트 밸브로 되어 있고, 차단 개방기 후측의 개폐 밸브 액츄에이터(22)는 2 포트 밸브로 되어 있다. 차단 개방기(6)의 본체(21)는 2 포트 밸브용 및 3 포트 밸브용 2개의 블록(52, 53)으로 이루어진다. 3 포트 밸브용 블록(53)에는 전측 포트로부터 연장되어 하향으로 개구된 1개의 입구 통로(53a), 후측 포트로부터 연장되어 좌향으로 개구된 제1 출구 통로(53b) 및 중앙 포트로부터 연장되어 좌향으로 개구된 제2 출구 통로(53c)가 형성되어 있다. 2 포트 밸브용 블록(52)에는 3 포트 밸브용 블록(53)의 제1 출구 통로(53b)와 2 포트 밸브의 전측 포트를 연통시키는 입구 통로(52a), 3 포트 밸브용 블록(53)의 제2 출구 통로(53c)와 연통하며 전후 관통형으로 연장되는 바이패스 통로(52b) 및 2 포트 밸브용 블록(52)의 후측 포트로부터 연장되는 후향으로 개구된 출구 통로(52c)가 형성되어 있다.

라인 상호 접속을 위한 하측 통로 블록(51)에는 차단 개방기(6)의 2 포트 밸브용 블록(52)의 출구 통로(52c)와 연통하며 상향으로 개구된 라인 상호 접속용 통로(54) 및 입구측 차단 개방기(6)의 2 포트 밸브용 블록(52)의 바이패스 통로(52b)와 연통하고 하향으로 개구된 라인내 접속용 통로(55)가 형성되어 있다. 라인 상호 접속용 통로(54)는 차단 개방기(6)의 출구 통로(52c) 개구로부터 후방으로 연장되는 라인 방향 통로(54a)와 라인 방향 통로(54a)의 후단으로부터 상측으로 연장되는 상향으로 개구된 상향 통로(54b)로 이루어진다. 상향 통로(54b)는 도 2에 도시한 바와 같이, 후방에서 보아 좌우 경사 위로 각각 연장되는 2개의 분기 통로에 의해서 V자형으로 형성되어 있으며, 라인 직교 방향으로 소정 간격 떨어져 있는 우측 및 좌측의 상향 개구(54c, 54d)를 갖고 있다.

도 13의 라인 상호 접속 수단(47, 48) 대신에 사용되는 라인 상호 접속 수단(50)의 바람직한 한 가지 실시 형태는 도 3에서 도 5까지 도시한 바와 같이, 복수(도시는 3개)의 상기 하측 통로 블록(51)과 이 하측 통로 블록(51) 상측에 배치된 복수(도시는 2개)의 상측 통로 블록(57)으로 이루어진다. 하측 통로 블록(51)은 접속 대상인 각 라인(B1, B2, B3)의 상단에 라인 방향(전후 방향)으로 동일한 위치에 각각 배치된다. 상측통로 블록(57)은 2개의 블록(57a, 57b)이 결합되어 형성되어 있으며, 그 내부에는 하향으로 개구된 역 U자형의 통로(58)가 형성되어 있다. 역 U자형의 통로(58)는 라인 직교 방향으로 연장되는 횡방향 통로(58a) 및 횡방향 통로(58a)의 좌우단으로부터 하측으로 연장되는 2개의 평행형 하향 통로(58b)로 이루어진다. 상측 통로 블록(57)은 도 5에 도시한 바와 같이, 2개의 하측 통로 블록(51)에 걸쳐 배치되어 있으며, 그 역 U자형 통로(58)는 우측 라인(B1, B2)의 하측 통로 블록(51)의 좌측 상향 개구(54d)와 좌측 라인의 하측 통로 블록(51)의 우측 상향 개구(54c)를 연통하고 있다.

도 3에 도시한 바와 같이, 하측 통로 블록(51)은 상측으로부터의 나사에 (37)에 의해서 착탈 가능하게 커플링 부재{도 13에는 부호(11, 12)등으로 도시되어 있는 블록형 커플링}에 결합되고, 상측 통로 블록(57)은 상측으로부터의 나사(59)에 의해서 하측 통로 블록(51)에 착탈 가능하게 부착되어 있다.

도 6에서 도 8까지는 본 발명에 의한 유체 제어 장치의 제2 실시 형태의 주요부를 도시하고 있다. 제2 실시 형태의 것은 라인 상호 접속 수단(60)의 상측 통로 블록(61) 및 하측 통로 블록(62)의 구성이 제1 실시 형태와 상이하다. 이하의 설명에 있어서, 제1 실시 형태와 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙여 그 설명을 생략한다.

이 실시 형태에서는 소정 라인(B1, B2, B3)의 유로끼리를 접속하는 라인 상호 접속 수단(60)은 복수(도시는 3개)의 하측 통로 블록(61)과 하측 통로 블록(61)의 상측에 배치된 1개의 상측 통로 블록(62)으로 이루어진다.

하측 통로 블록(61)의 내부에는 차단 개방기(6)의 2 포트 밸브용 블록(52)의 출구 통로(52c)와 연통하고 상향으로 개구된 라인 상호 접속용 통로(64) 및 입구측 차단 개방기(6)의 2 포트 밸브용 블록(52)의 바이패스 통로(52b)와 연통하고 하향으로 개구된 라인내 접속용 통로(65)가 형성되어 있다. 라인 상호 접속용 통로(64)는 차단 개방기(6)의 출구 통로(52c) 개구로부터 후방으로 연장되고 라인 방향 통로(64a)와 라인 방향 통로(64a)의 후단으로부터 상측으로 연장되는 상향 개구(64c)를 갖는 상향 통로(64b)로 이루어진다. 상향 통로(64b)는 도 7 및 도 8에 도시한 바와 같이, 상하 방향으로 연장되는 I 자형으로 형성되어 있다.

상측 통로 블록(62)은 1개의 블록만으로 형성되어 있으며, 그 내부에는 좌우 방향으로 연장되는 횡 방향 통로(66)와 이 횡 방향 통로(66)로부터 아래쪽으로 연장되고 하측 통로 블록(61)의 라인 상호 접속용 통로(64) 상향 통로(64b)의 개구와 연통하고 있는 하향 통로(67)가 형성되어 있다. 상측 통로 블록(62)은 도 6 및 도 8에 도시한 바와 같이, 3개의 라인(B1, B2, B3)의 하측 통로 블록(61) 전부에 걸쳐 배치되어 있으며, 그 하향 통로(67)는 각 하측 통로 블록(61)의 상향 통로(64b)의 연장선상에 위치하고 있다. 또한, 횡 방향 통로(66)의 좌우단은 통로 가공시에 형성된 좌측단 개구가 폐쇄 부재(68)에 의해서 폐쇄됨으로써 양단 모두 폐쇄되어 있다.

하측 통로 블록(61)은 상측으로부터의 나사(37)에 의해서 착탈 가능하게 커플링 부재(도 13에 부호(11, 12)등으로 도시하는 블록형 커플링)에 결합되고, 상측통로 블록(62)은 상측으로부터의 나사(59)에 의해서 하측 통로 블록(61)에 착탈 가능하게 부착되어 있다.

도 9에서 도 11까지는 본 발명에 의한 유체 제어 장치의 제3 실시 형태의 주요부를 도시하고 있다. 이 제3 실시 형태의 것은 라인 상호 접속 수단의 하측 통로 블록(61)과 상측 통로 블록(62) 사이에, 또한 다른 블록(71)이 개재되고 있는 점에서 제2 실시 형태의 것과 상이하다. 이하의 설명에 있어서, 제2 실시 형태와 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙여 그 설명을 생략한다.

이 실시 형태에서는 소정의 라인(B1, B2, B3)의 유로끼리를 접속하는 라인 상호 접속 수단(70)은 복수의 하측 통로 블록(61)과 이 하측 통로 블록(61) 상측에 배치된 1개의 상측 통로 블록(62)과 양 통로 블록(61, 62) 사이에 개재된 복수(하측 통로 블록(61)과 같은 수)의 중간 통로 블록(71)으로 이루어진다.

중간 통로 블록(71)은 상향 및 하향으로 개구되어 하측 통로 블록(61)의 상향 통로(64b)와 상측 통로 블록(62)의 하향 통로(67)를 연통하는 I 자형 통로(72)를 갖고 있다. 이들의 상향 통로(64b), I 자형 통로(72) 및 하향 통로(67)는 유로 저항이 작아지도록 상하 방향으로 직선형으로 배열되어 있으며, 이에 따라, 하측 통로 블록(61)과 상측 통로 블록(62)의 연통 부분의 통로 방향은 제2 실시 형태와 동일한 상태로 상측 통로 블록(62) 위치가 중간 통로 블록(71)의 높이 만큼 상측에 위치되어 있다. 이렇게 해서, 상측 통로 블록(62)이 개폐 밸브 액츄에이터(22, 23)의 높이와 같은 정도로 되어 상측 통로 블록(62)의 하측 통로 블록(61)으로부터의 착탈이 보다 용이하게 되어 있다.

도 12는 본 발명에 의한 유체 제어 장치의 제4 실시 형태의 주요부를 도시하고 있다. 제4 실시 형태의 것은 라인 상호 접속 수단(80)이 하측 통로 블록(61)에 인접하고 또한 다른 블록(81)을 갖고 있는 점에서 제2 실시 형태의 것과 상이하다. 이하의 설명에 있어서, 제2 실시 형태와 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙여 그 설명을 생략한다.

이 실시 형태에서는 소정의 라인(B1, B2, B3)의 유로끼리를 접속하는 라인 상호 접속 수단(80)은 복수의 하측 통로 블록(61)과, 이 하측 통로 블록(61)의 상측에 배치된 1개의 상측 통로 블록(62)과, 하측 통로 블록(61)과 차단 개방기(6) 사이에 개재된 복수(하측 통로 블록(61)과 같은 수)의 중간 통로 블록(81)으로 이루어진다.

중간 통로 블록(81)은 전향 및 후향으로 개구된 평행형의 상측 및 하측의 직선 통로(82, 83)를 갖고 있다. 상측의 직선 통로(82)는 차단 개방기(6)의 출구 통로(52c)와 하측 통로 블록(61)의 라인 방향 통로(64a)를 직선형으로 연통하게 하고 있으며, 하측의 직선 통로(83)는 차단 개방기(6)의 바이패스 통로(52b)와 하측 통로 블록(61)의 라인내 접속 통로(65)를 직선형으로 연통하게 하고 있다. 이에 따라, 하측 통로 블록(61)과 차단 개방기(6)와의 연통 부분의 통로 방향은 제2 실시 형태와 동일한 상태로 상측 통로 블록(62)과 차단 개방기(6)와의 거리가 커지고 있다. 이렇게 해서, 상측 통로 블록(62)의 배치 위치를 전후 방향으로 임의로 움직이는 것이 가능해지며, 게다가 상측 통로 블록(62)의 하측 통로 블록(61)으로부터의 착탈이 보다 용이하게 되어 있다.

보수 점검 시에 유체 제어 기기를 단독으로 상측으로 추출할 수 있도록 조립된 집적화 유체 제어 장치에 있어서, 라인의 유로끼리를 접속하는 라인 상호 접속 수단으로부터 용접 지점을 없애고, 이것에 의해서, 라인의 증설·변경에 한층 용이하게 대응할 수 있는 것을 제공할 수 있다.

Claims

입구 및 출구가 동일한 방향을 향하도록 병렬형으로 배치된 복수의 라인을 포함하고, 각각의 라인은, 상단(上段)에 배치된 복수의 유체 제어 기기와, 하단(下段)에 배치된 복수의 커플링 부재에 의해서 형성되며, 소정의 라인의 유로끼리가 라인 상호 접속 수단에 의해 접속되어 있는 유체 제어 장치로서,

라인 상호 접속 수단은,

접속 대상인 각 라인의 상단의 라인 방향으로 동일한 위치에 각각 배치되고, 하나 이상의 상향 개구를 갖는 라인 상호 접속용 통로가 형성된 하측 통로 블록과,

접속 대상인 각 라인에 걸쳐 하측 통로 블록의 상측에 배치되고, 라인 직교 방향으로 연장되는 횡방향 통로와, 이 횡방향 통로로부터 연장되고 하측 통로 블록의 라인 상호 접속용 통로의 상향 개구와 연통하는 하향 통로를 갖는 하나 또는 복수의 상측 통로 블록을 포함하며,

하측 통로 블록은, 그 라인 방향의 폭이 라인을 구성하는 유체 제어 기기 및 커플링 부재의 폭과 동일하게 되고, 유체 제어 기기와 동일한 높이의 상단에 배치되며, 상측으로부터의 나사에 의해서 하단의 커플링 부재에 착탈 가능하게 결합되어 있으며,

상측 통로 블록은, 상측으로부터의 나사에 의해서 하측 통로 블록에 착탈 가능하게 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
제1항에 있어서, 상측 통로 블록은, 그 라인 직교 방향의 길이가 라인의 폭과 동일하게 되고, 2개의 라인에 걸쳐 접속 대상인 라인의 수보다 1개 적은 수만큼 부착되어 있는 유체 제어 장치.
제1항에 있어서, 상측 통로 블록은, 그 라인 직교 방향의 길이가 복수의 라인 전부에 걸치도록 형성되고, 라인 전부에 걸쳐서 1개만 부착되어 있는 유체 제어 장치.
제1항에 있어서, 하측 통로 블록과 상측 통로 블록의 사이에, 상측 통로 블록의 높이 조정용으로 중간 블록이 개재되어 있는 유체 제어 장치.
제1항에 있어서, 하측 통로 블록의 라인 방향으로 인접하는 위치에, 상측 통로 블록의 라인 방향의 위치 조정용의 중간 블록이 배치되어 있는 유체 제어 장치.
제1항에 있어서, 하측 통로 블록의 라인 방향으로 인접하는 위치에, 역지 밸브가 배치되어 있는 유체 제어 장치.