KR101004775B1

KR101004775B1 - Protective film automatic attachment device and method

Info

Publication number: KR101004775B1
Application number: KR1020090021061A
Authority: KR
Inventors: 한동희
Original assignee: 한동희
Priority date: 2009-03-12
Filing date: 2009-03-12
Publication date: 2011-01-04
Anticipated expiration: 2029-03-12
Also published as: KR20100102814A

Abstract

Disclosed are an automatic protective film attachment apparatus and method.

Automatic protective film attachment device according to the invention the clean booth to control the particle generation; A first protective film attachment unit installed at one side of the clean booth to attach a protective film to one side of the substrate; And a second protective film attaching unit installed on the other side of the clean booth in parallel with the first protective film attaching unit and receiving the substrate from the first protective film attaching unit to attach the protective film to the other side of the substrate. Include.

The present invention has a structure in which the first and second protective film attachers are fixedly installed on the base of the clean booth, and the loading plates of the first turntable and the second turntable can be moved by a cylinder, thereby simplifying the overall construction. Film attaching process is smooth and quick.

Substrate, protective film, cleaning, protective film

Description

Automatic film protection device and method {AUTOMATIC ATTACHING APPARATUS OF PROTECT FILM AND ATTACHING METHOD THEREOF}

본 발명은 보호필름 자동 부착장치 및 방법에 관한 것으로, 파티클의 점착 및 스크래치가 발생하지 않도록 기판 양면에 보호필름을 안정적으로 자동 부착할 수 있는 보호필름 자동 부착장치 및 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a protective film automatic attachment device and method, and to a protective film automatic attachment device and method that can automatically and stably attach the protective film on both sides of the substrate to prevent adhesion and scratches of the particles.

근래, 핸드폰(Mobile Phone), PDA, 노트북컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 경박단소용의 평판표시장치(Flat Panel Display Device)에 대한 요구가 점차 증대되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display), VFD(Vacuum FluorescentDisplay) 등이 활발히 연구되고 있다. Recently, with the development of various portable electronic devices such as mobile phones, PDAs, and notebook computers, there is a growing demand for flat panel display devices for light and thin applications. Such flat panel displays are being actively researched such as liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP), field emission display (FED), and vacuum fluorescent display (VFD).

액정표시소자는 하부기판과 상부기판 및 상기 하부기판과 상부기판 사이에 형성된 액정층으로 구성되어 있다. 하부기판은 구동 소자 어레이(Array) 기판으로, 상기 하부기판에는 복수의 화소가 형성되어 있으며, 각각의 화소에는 박막트랜 지스터(Thin Film Transistor)와 같은 구동소자가 형성되어 있다. The liquid crystal display device is composed of a lower substrate and an upper substrate and a liquid crystal layer formed between the lower substrate and the upper substrate. The lower substrate is a driving element array substrate, and a plurality of pixels are formed on the lower substrate, and a driving element such as a thin film transistor is formed in each pixel.

상부기판은 컬러필터(Color Filter) 기판으로, 실제 컬러를 구현하기 위한 컬러 필터층이 형성되어 있다.The upper substrate is a color filter substrate, and a color filter layer for real color is formed.

또한, 상기 하부기판 및 상부기판에는 각각 화소 전극 및 공통전극이 형성되어 있으며 액정 층의 액정분자를 배향하기 위한 배향막이 도포되어 있다.In addition, a pixel electrode and a common electrode are formed on the lower substrate and the upper substrate, respectively, and an alignment layer for aligning liquid crystal molecules of the liquid crystal layer is coated.

상기 하부기판 및 상부기판은 실링 재(Sealing material)에 의해 합착되어 있으며, 그 사이에 액정 층이 형성되어 상기 하부기판에 형성된 구동소자에 의해 액정분자를 구동하여 액정 층을 투과하는 광량을 제어함으로써 정보를 표시하게 된다.The lower substrate and the upper substrate are bonded by a sealing material, and a liquid crystal layer is formed therebetween to control the amount of light passing through the liquid crystal layer by driving the liquid crystal molecules by a driving element formed on the lower substrate. Information will be displayed.

액정표시소자는 투명한 유리기판상에 형성되며, 상기 유리기판상에 소자가 형성되기 전에 상기 기판을 보호하기 위한 보호필름이 부착되어 있다. 소자가 만들어지기 전, 상기 기판은 그 상부 및 하부 면에 상부보호필름 및 하부보호필름이 부착되어 있다.The liquid crystal display device is formed on a transparent glass substrate, and a protective film for protecting the substrate is attached before the element is formed on the glass substrate. Before the device is made, the substrate is attached with an upper protective film and a lower protective film on the upper and lower surfaces thereof.

상기 보호필름은 기판이 이물질로부터 오염되는 것을 방지하고, 표면을 보호하여 스크레치(scratch)가 발생하는 것을 방지한다. The protective film prevents the substrate from being contaminated from foreign matters and protects the surface to prevent scratches.

종래 기판에 보호필름을 부착하는 장치는 기판의 단면(일 측면)에만 보호필름을 부착하는 구조로 구성되어, 타 측면에 보호필름을 부착할 때에 대기시간으로 인하여 기판 표면에 파티클 오염이 되는 정체 시간이 존재하고, 보호필름에 파티클(particle)이 오염될 경우, 이를 세정(cleaning)할 수 있는 장치가 없어 불량율이 증가하며, 기판 양면에 보호필름 부착 작업시에는 기판의 일 측면에 부착하는 설비, 및 기판의 타 측면에 부착하는 설비, 즉 2대를 구비하고 작업 인원 또한 2배를 추가해야 하는 단점이 있으며, 대기 시간으로 전체적인 부착 공정이 신속하게 처리되지 못하며, 기판에 스크래치가 발생하여 기판의 품질을 떨어뜨리는 문제점이 있다.The conventional apparatus for attaching a protective film to a substrate has a structure in which a protective film is attached only to one end surface (one side) of the substrate. If there is a particle (contamination) in the protective film, there is no device that can clean (cleaning) there is a failure rate increases, the equipment to attach to one side of the substrate when the protective film is attached to both sides of the substrate, And equipment that attaches to the other side of the substrate, i.e., having two units and adding twice as many workers, and due to the waiting time, the entire attaching process is not processed quickly and scratches occur on the substrate. There is a problem of degrading the quality.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 제1 턴테이블과 제2 턴테이블을 동시에 구동하여 기판의 양 측면에 보호필름을 연속적으로 부착하여 대기시간으로 인한 오염 발생 및 스크래치 발생을 최소화하고, 세정공정을 부착공정과 동시에 수행하여 오염 등으로 인한 문제점을 개선하며, 제1/제2 보호필름 부착기가 클린 부스의 베이스에 고정 설치되고 제1 턴테이블과 제2 턴테이블의 로딩 플레이트가 실린더에 의해서 이동될 수 있는 구조로 구성됨으로써, 전체 구성이 단순하면서도 보호필름 부착 공정이 원활하고 신속한 보호필름 자동 부착장치 및 방법을 제공하는 데에 그 목적이 있다. The present invention has been made in order to solve the problems of the prior art as described above, by driving the first turntable and the second turntable at the same time to continuously attach the protective film on both sides of the substrate to cause contamination and scratches due to the waiting time Minimize the occurrence, improve the problems caused by contamination by performing the cleaning process at the same time as the attachment process, the first / second protective film attacher is fixedly installed on the base of the clean booth, the loading plate of the first turntable and the second turntable By having a structure that can be moved by the cylinder, the overall configuration is simple, yet the protective film attachment process is smooth and fast to provide a protective film automatic attachment device and method for that purpose.

상기한 목적을 해결하기 위해서 본 발명의 보호필름 자동 부착장치는 파티클 발생을 제어하는 클린 부스; 상기 클린 부스 일 측에 설치되어 기판의 일 측면에 보호필름을 부착하는 제1 보호필름 부착 유닛; 및 상기 클린 부스 타 측에 상기 제1 보호필름 부착 유닛과 나란히 설치되며, 상기 제1 보호필름 부착 유닛에서 상기 기판을 이송받아 상기 기판의 타 측면에 보호필름을 부착하는 제2 보호필름 부착 유닛을 포함한다.In order to solve the above object, the automatic protective film attachment device of the present invention includes a clean booth for controlling particle generation; A first protective film attachment unit installed at one side of the clean booth to attach a protective film to one side of the substrate; And a second protective film attaching unit installed on the other side of the clean booth in parallel with the first protective film attaching unit and receiving the substrate from the first protective film attaching unit to attach the protective film to the other side of the substrate. Include.

여기서 상기 제1 보호필름 부착 유닛은, 상기 클린 부스의 베이스에 회전 플레이트가 회전 가능하게 설치되고, 상기 회전 플레이트의 상부 외곽에는 90°씩 네 방향을 향하여 각각 수직으로 로딩 플레이트가 설치되며, 상기 각 로딩 플레이트의 후방에는 상기 로딩 플레이트를 일정거리로 이동시키는 실린더가 설치되는 제1 턴테이블; 상기 제1 턴테이블의 전방에 위치하여 상기 제1 턴테이블의 로딩 플레이트에 상기 기판을 로딩하는 기판 로딩기; 및 상기 제1 턴테이블의 후방에 위치 고정되며, 상기 기판의 일 측면에 보호필름을 부착하는 제1 보호필름 부착기를 포함한다.Here, the first protective film attachment unit, the rotating plate is rotatably installed on the base of the clean booth, the upper outer portion of the rotating plate is installed in the vertical direction toward each of four directions by 90 °, each A first turntable at the rear of the loading plate, on which a cylinder for moving the loading plate at a predetermined distance is installed; A substrate loader positioned in front of the first turntable to load the substrate onto a loading plate of the first turntable; And a first protective film attacher fixed to the rear of the first turntable and attaching a protective film to one side of the substrate.

그리고, 상기 제2 보호필름 부착 유닛은, 상기 제1 턴테이블과 나란히 위치하여 상기 제1 턴테이블로부터 보호필름이 부착된 기판을 이송받으며, 상기 클린 부스의 베이스에 회전 플레이트가 회전 가능하게 설치되고, 상기 회전 플레이트의 상부 외곽에는 90°씩 네 방향을 향하여 각각 수직으로 로딩 플레이트가 설치되며, 상기 각 로딩 플레이트의 후방에는 상기 로딩 플레이트를 일정거리로 이동시키는 실린더가 설치되는 제2 턴테이블; 상기 제2 턴테이블의 우측 방향에 위치 고정되며, 상기 기판의 타 측면에 보호필름을 부착하는 제2 보호필름 부착기; 및 상기 제2 턴테이블의 전방에 위치하여 상기 제2 턴테이블의 로딩 플레이트에 흡착된 상기 기판을 언 로딩하는 기판 언 로딩기를 포함한다.The second protective film attaching unit may be positioned in parallel with the first turntable to receive a substrate having a protective film from the first turntable, and a rotating plate may be rotatably installed at a base of the clean booth. A second turntable provided at an upper edge of the rotating plate in a vertical direction in the four directions in 90 ° directions, and a cylinder for moving the loading plate at a predetermined distance behind the loading plates; A second protective film attacher fixed in a right direction of the second turntable and attaching a protective film to the other side of the substrate; And a substrate unloader positioned in front of the second turntable to unload the substrate adsorbed onto the loading plate of the second turntable.

전술한 구성에 있어서, 상기 제1 턴테이블의 좌측 방향에는 제1 기판 세정기가 위치하여 상기 제1 턴테이블의 로딩 플레이트에 로딩된 상기 기판의 일 측면을 세정한다. 그리고, 상기 제2 턴테이블의 후방에는 제2 기판 세정기가 위치하여 상기 제2 턴테이블의 로딩 플레이트에 로딩된 상기 기판의 타 측면을 세정한다.In the above-described configuration, a first substrate cleaner is disposed on the left side of the first turntable to clean one side of the substrate loaded on the loading plate of the first turntable. In addition, a second substrate cleaner is disposed behind the second turntable to clean the other side of the substrate loaded on the loading plate of the second turntable.

전술한 구성에 있어서, 상기 기판 로딩기는 상기 기판을 진공 흡착하는 흡착 판; 상기 흡착판을 이동시키는 리니어 이송 부; 및 상기 리니어 이송 부 상에 설치되며 상기 흡착판을 90°회전시키는 회전모터를 포함한다.In the above-described configuration, the substrate load unit is a suction plate for vacuum suction of the substrate; A linear conveying unit for moving the suction plate; And a rotating motor installed on the linear transfer part to rotate the suction plate by 90 °.

전술한 구성에 있어서, 상기 제1 기판 세정기는 베이스; 상기 베이스와 수직으로 설치되는 가이드; 상기 가이드와 인접하여 수직으로 설치되며, 서보모터에 의해서 정/역 회전되는 이송 스크류; 상기 가이드를 따라 승하강 가능하도록 상기 이송 스크류에 결합되는 승강 플레이트; 상기 승강 플레이트의 하부에 전후진 가능하게 설치되며, 하부에 상기 기판의 일 측면에서 파티클을 흡착 제거하는 점착 롤러가 설치되는 전후진 플레이트; 상기 전후진 플레이트를 전후진시키기 위하여 상기 승강 플레이트 상에 설치되는 전후진 실린더; 상기 베이스에 설치되며, 상기 점착 롤러에서 파티클을 전이시키는 전이 테이프 롤러; 및 상기 전이 테이프 롤러를 회전시키는 전이 테이프 회전모터를 포함한다.In the above configuration, the first substrate cleaner includes a base; A guide installed vertically with the base; A feed screw installed vertically adjacent to the guide and rotated forward / backward by a servomotor; A lift plate coupled to the transfer screw to move up and down along the guide; A forward and backward plate installed in a lower portion of the elevating plate, the adhesive roller for adsorbing and removing particles from one side of the substrate; A forward and backward cylinder installed on the elevating plate to forward and backward the forward and backward plates; A transition tape roller installed at the base and transferring particles from the adhesive roller; And a transition tape rotating motor for rotating the transition tape roller.

전술한 구성에 있어서, 상기 제1 보호필름 부착기는 상기 클린 부스의 베이스에 고정되는 고정 프레임; 상기 고정 프레임의 상부 일 측에 설치되는 보호필름 권취롤러; 상기 고정 프레임의 상부 타 측에 설치되는 보호필름 이형제 권취롤러; 상기 보호필름의 텐션을 유지하고 가이드 하는 다수의 텐션롤러; 상기 보호필름을 Z축 방향으로 끌어당기는 Z축 클램프; 상기 Z축 클램프가 결합되도록 상기 고정 프레임에 수직으로 설치되는 Z축 클램프 이송 스크류; 상기 Z축 클램프 이송 스크류를 구동시키는 구동모터; 상기 Z축 클램프를 전후진 시키는 Z축 클램프 실린더; 상기 보호필름을 상기 기판의 일 측면에 밀착시키는 밀착 롤러; 상기 밀착 롤러가 결합되도록 상기 고정 프레임에 수직으로 설치되는 밀착롤러 이송 스크류; 상기 밀착 롤러 이송 스크류를 구동시키는 구동모터; 상기 밀착 롤러를 전후진 시키는 밀착 롤러 실린더; 상기 보호필름을 커팅하는 커터; 및 상기 커터를 전후진 시키는 커터 실린더를 포함한다.In the above-described configuration, the first protective film attacher is fixed to the base of the clean booth; A protective film winding roller installed at an upper side of the fixed frame; A protective film release agent winding roller installed on the other side of the fixing frame; A plurality of tension rollers for maintaining and guiding the tension of the protective film; Z-axis clamp for pulling the protective film in the Z-axis direction; A Z-axis clamp feed screw installed perpendicular to the fixing frame such that the Z-axis clamp is coupled; A drive motor for driving the Z-axis clamp feed screw; A Z-axis clamp cylinder for moving the Z-axis clamp forward and backward; An adhesion roller that closely adheres the protective film to one side of the substrate; A contact roller feed screw installed vertically to the fixing frame such that the contact roller is coupled; A drive motor for driving the close roller conveying screw; An adhesion roller cylinder for advancing the adhesion roller back and forth; A cutter for cutting the protective film; And a cutter cylinder for moving the cutter forward and backward.

전술한 구성에 있어서, 상기 제2 기판 세정기는 베이스; 상기 베이스와 수직으로 설치되는 가이드; 상기 가이드와 인접하여 수직으로 설치되며, 서보 모터에 의해서 정/역 회전되는 이송 스크류; 상기 가이드를 따라 승하강 가능하도록 상기 이송 스크류에 결합되는 승강 플레이트; 상기 승강 플레이트의 하부에 전후진 가능하게 설치되며, 하부에 상기 기판의 타 측면에서 파티클을 흡착 제거하는 점착 롤러가 설치되는 전후진 플레이트; 상기 전후진 플레이트를 전,후진시키기 위하여 상기 승강 플레이트 상에 설치되는 전후진 실린더; 상기 베이스에 설치되며, 상기 점착 롤러에서 파티클을 전이시키는 전이 테이프 롤러; 및 상기 전이 테이프 롤러를 회전시키는 전이 테이프 회전모터를 포함한다.In the above configuration, the second substrate cleaner includes a base; A guide installed vertically with the base; A feed screw installed vertically adjacent to the guide and rotated forward / backward by a servo motor; A lift plate coupled to the transfer screw to move up and down along the guide; A forward and backward plate installed at a lower portion of the elevating plate so as to be moved forward and backward, and having an adhesive roller for adsorbing and removing particles from the other side of the substrate; A forward and backward cylinder installed on the elevating plate to move the forward and backward plates forward and backward; A transition tape roller installed at the base and transferring particles from the adhesive roller; And a transition tape rotating motor for rotating the transition tape roller.

전술한 구성에 있어서, 상기 제2 보호필름 부착기는 상기 클린 부스의 베이스에 고정되는 고정 프레임; 상기 고정 프레임의 상부 일 측에 설치되는 보호필름 권취롤러; 상기 고정 프레임의 상부 타 측에 설치되는 보호필름 이형제 권취롤러; 상기 보호필름의 텐션을 유지하는 다수의 텐션롤러; 상기 보호필름을 Z축 방향으로 끌어당기는 Z축 클램프; 상기 Z축 클램프가 결합되도록 상기 고정 프레임에 수직으로 설치되는 Z축 클램프 이송 스크류; 상기 Z축 클램프 이송 스크류를 구동시키는 구동모터; 상기 Z축 클램프를 전후진 시키는 Z축 클램프 실린더; 상기 보호필름을 상기 기판의 타 측면에 밀착시키는 밀착 롤러; 상기 밀착롤러가 결합되도록 상기 고정 프레임에 수직으로 설치되는 밀착 롤러 이송 스크류; 상기 밀착 롤러 이송 스크류를 구동시키는 구동모터; 상기 밀착 롤러를 전후진 시키는 밀착 롤러 실린더; 상기 보호필름을 커팅하는 커터; 및 상기 커터를 전후진 시키는 커터 실린더를 포함한다.In the above configuration, the second protective film attacher is fixed to the base of the clean booth; A protective film winding roller installed at an upper side of the fixed frame; A protective film release agent winding roller installed on the other side of the fixing frame; A plurality of tension rollers for maintaining the tension of the protective film; Z-axis clamp for pulling the protective film in the Z-axis direction; A Z-axis clamp feed screw installed perpendicular to the fixing frame such that the Z-axis clamp is coupled; A drive motor for driving the Z-axis clamp feed screw; A Z-axis clamp cylinder for moving the Z-axis clamp forward and backward; An adhesion roller that closely adheres the protective film to the other side of the substrate; A close roller feed screw installed perpendicular to the fixing frame such that the close roller is coupled; A drive motor for driving the close roller conveying screw; An adhesion roller cylinder for advancing the adhesion roller back and forth; A cutter for cutting the protective film; And a cutter cylinder for moving the cutter forward and backward.

한편, 본 발명에 따른 보호필름 자동 부착장치에 의한 보호필름 부착방법은 기판을 제1 턴테이블에 로딩하는 단계; 상기 제1 턴테이블이 90°회전하는 단계; 제1 세정기가 상기 제1 턴테이블에 로딩된 기판의 일 측면을 세정하는 단계; 상기 제1 턴테이블이 90°회전하는 단계; 제1 보호필름 부착기가 상기 기판의 일 측면에 보호필름을 부착하는 단계; 상기 제1 턴테이블이 90° 회전하는 단계; 제2 턴테이블이 상기 제1 턴테이블로부터 상기 기판을 이송받는 단계; 상기 제2 턴테이블이 90° 회전하는 단계; 제2 세정기가 상기 제2 턴테이블에 로딩된 기판의 타 측면을 세정하는 단계; 상기 제2 턴테이블이 90°회전하는 단계; 및 제2 보호필름 부착기가 상기 기판의 타 측면에 보호필름을 부착하는 단계;를 포함한다.On the other hand, the protective film attachment method by the automatic protective film attachment device according to the present invention comprises the steps of loading the substrate on the first turntable; Rotating the first turntable 90 degrees; Cleaning a side of a substrate loaded on the first turntable by a first cleaner; Rotating the first turntable 90 degrees; Attaching a protective film to one side of the substrate by a first protective film attacher; Rotating the first turntable 90 °; A second turntable receiving the substrate from the first turntable; Rotating the second turntable 90 °; Cleaning the other side of the substrate loaded on the second turntable by a second cleaner; Rotating the second turntable by 90 °; And a second protective film attacher attaching the protective film to the other side of the substrate.

전술한 부착방법에 있어서, 본 발명의 제1 보호필름 부착기의 보호필름 부착방법은 구동모터가 Z 축 클램프 이송 스크류를 회전시켜서 상기 Z 축 클램프가 상기 보호필름을 하방으로 당기는 단계; 상기 제1 턴테이블의 실린더가 로딩 플레이트를 상기 제1 보호필름 부착기 쪽으로 전진시키는 단계; 구동모터가 밀착롤러 이송 스크류를 회전시켜서 상기 밀착 롤러가 하방으로 이동하면서 상기 기판의 일 측면에 보호필름을 밀착시키고, 부착하는 단계; 커터가 보호필름을 커팅하는 단계; 및 상기 제1 턴테이블의 로딩 플레이트, 상기 Z 축 클램프, 상기 밀착롤러가 원위 치하는 단계를 포함한다.In the above-described attachment method, the protective film attachment method of the first protective film attacher of the present invention comprises the steps of driving the motor rotating the Z-axis clamp feed screw to pull the protective film downward Z-axis clamp; Advancing a cylinder of the first turntable to the loading plate toward the first protective film attacher; A driving motor rotates the contact roller conveying screw to adhere the protective film to one side of the substrate while the contact roller moves downward; Cutting the protective film by the cutter; And disposing the loading plate of the first turntable, the Z axis clamp, and the contact roller.

전술한 부착방법에 있어서, 본 발명의 제2 보호필름 부착기의 보호필름 부착방법은 구동모터가 Z 축 클램프 이송 스크류를 회전시켜서 상기 Z 축 클램프가 상기 보호필름을 하방으로 당기는 단계; 상기 제2 턴테이블의 실린더가 로딩 플레이트를 상기 제2 보호필름 부착기 쪽으로 전진시키는 단계; 구동모터가 밀착롤러 이송 스크류를 회전시켜서 상기 밀착롤러가 하방으로 이동하면서 상기 기판의 타 측면에 보호필름을 밀착시키고, 부착하는 단계; 커터가 보호필름을 커팅하는 단계; 및 상기 제2 턴테이블의 로딩 플레이트, 상기 Z 축 클램프, 상기 밀착롤러가 원위치하는 단계를 포함한다.In the above-described attachment method, the protective film attaching method of the second protective film attaching machine of the present invention comprises the steps of driving the motor rotates the Z-axis clamp feed screw to pull the protective film downward Z-axis clamp; The cylinder of the second turntable advances the loading plate toward the second protective film attacher; Driving a motor to rotate the contact roller conveying screw so that the contact roller moves downward and adheres the protective film to the other side of the substrate, and attaches the protective film; Cutting the protective film by the cutter; And positioning the loading plate of the second turntable, the Z axis clamp, and the contact roller in the original position.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 제1 턴테이블과 제2 턴테이블을 동시에 구동하여 기판의 양 측면에 보호필름을 연속적으로 부착하여 대기시간으로 인한 오염 발생 및 스크래치 발생을 최소화하고, 세정공정을 부착 공정과 동시에 수행하여 오염 등으로 인한 문제점을 개선한다.As described above, according to the present invention, by simultaneously driving the first turntable and the second turntable, the protective film is continuously attached to both sides of the substrate, thereby minimizing the occurrence of contamination and scratches caused by the waiting time, and attaching the cleaning process. Simultaneously with the process, problems caused by contamination etc. are improved.

또, 제1/제2 보호필름 부착기가 클린 부스의 베이스에 고정 설치되고, 제1 턴테이블과 제2 턴테이블의 로딩 플레이트가 실린더에 의해서 이동될 수 있는 구조로 구성됨으로써, 전체 구성이 단순하면서도 보호필름 부착 공정이 원활하고 신속하다.In addition, the first / second protective film attaching device is fixed to the base of the clean booth, the first plate and the second turntable of the loading plate is composed of a structure that can be moved by a cylinder, so that the overall configuration is simple but protective film The attachment process is smooth and fast.

이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 자동 부착장치 및 방법에 대해 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, it will be described for the automatic protective film attachment method and method according to a preferred embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명에 따른 보호필름 자동 부착장치를 보인 평면 구성도이고, 도 2는 도 1의 정면도이며, 도 3은 도 1의 우측면도이고, 도 4는 도 1의 제1 턴테이블을 보인 평면도이며, 도 5는 도 4의 제1 턴테이블을 보인 측면도이다.1 is a plan view showing a protective film automatic attachment device according to the invention, Figure 2 is a front view of Figure 1, Figure 3 is a right side view of Figure 1, Figure 4 is a plan view showing a first turntable of Figure 1 5 is a side view illustrating the first turntable of FIG. 4.

우선, 도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 보호필름 자동 부착장치(1)는 파티클 발생을 제어하는 클린 부스(10); 상기 클린 부스(10) 일 측에 설치되어 기판(G)의 일 측면에 보호필름(F1)을 부착하는 제1 보호필름 부착 유닛(100); 상기 클린 부스(10) 타 측에 상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)과 나란히 설치되며, 상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)에서 상기 기판(G)을 이송받아 상기 기판(G)의 타 측면에 보호필름(F2)을 부착하는 제2 보호필름 부착 유닛(200)을 포함한다.First, referring to Figures 1 to 5, the automatic protective film attachment device 1 of the present invention comprises a clean booth 10 for controlling the generation of particles; A first protective film attachment unit 100 installed at one side of the clean booth 10 to attach the protective film F1 to one side of the substrate G; The other side of the clean booth 10 is installed in parallel with the first protective film attaching unit 100, and the substrate G is transferred from the first protective film attaching unit 100 to the other side of the substrate G. A second protective film attachment unit 200 for attaching a protective film (F2) on the side.

상기 클린 부스(10)의 측면에는 도시하지 않은 도어가 설치되고, 상기 클린 부스(10)의 상부에는 팬 필터(10a)가 설치된다.A door (not shown) is provided on the side of the clean booth 10, and a fan filter 10a is provided on the clean booth 10.

여기서 기판(G)은 통상적인 기판 이외에도 터치 스크린 패널(TSP: Touch Screen Panel)용 ITO(Indium-Tin Oxide) 보호필름, 유리 기판 등을 모두 포함하는 개념이며, 이하에서는 편의상 기판이라 칭한다. 즉, 본 발명은 보호필름으로 보호하고자 하는 다양한 대상물에 적용 가능한 것이며, 특정한 용도, 재질, 형상에 한정되지 않는다.Here, the substrate G is a concept including not only a conventional substrate but also an indium-tin oxide (ITO) protective film for a touch screen panel (TSP), a glass substrate, and the like, hereinafter, referred to as a substrate for convenience. That is, the present invention is applicable to various objects to be protected by a protective film, and is not limited to a specific use, material, or shape.

상기 보호필름은 합성수지재의 다양한 종류의 필름이 사용될 수 있으며, 예 를들면 PET(Polyethylene-terephthalate) 필름 등이 사용될 수 있다.As the protective film, various kinds of films of synthetic resins may be used, for example, polyethylene-terephthalate (PET) film and the like.

본 발명의 보호필름 자동 부착장치(1)에 있어서, 제1 보호필름 부착 유닛(100)이 일차적으로 기판(G)의 일 측면(전면)에 보호필름(F1)을 부착하고, 연이어 제2 보호필름 부착 유닛(200)이 상기 기판(G)의 타 측면(배면)에 보호필름(F2)을 부착한다.In the automatic protective film attachment device 1 of the present invention, the first protective film attachment unit 100 is primarily attached to the protective film (F1) on one side (front) of the substrate (G), followed by a second protective The film attachment unit 200 attaches the protective film F2 to the other side (back side) of the substrate G.

본 발명의 보호필름 자동 부착장치(1)에서 이러한 일련의 보호필름 부착 공정은 순차적이고 연속적으로 진행되어 다수의 기판(G) 양면에 보호필름(F1)(F2)을 신속하게 부착하는 것이 가능하다.In the automatic protective film attachment device 1 of the present invention, such a series of protective film attachment processes are sequentially and successively carried out, so that the protective films F1 and F2 can be quickly attached to both surfaces of the plurality of substrates G. FIG. .

이하, 상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)의 구성을 살펴본다.Hereinafter, the configuration of the first protective film attachment unit 100 will be described.

상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)은, 상기 클린 부스(10)의 베이스(11)에 회전 플레이트(111)가 회전 가능하게 설치되고, 상기 회전 플레이트(111)의 상부 외곽에는 90°씩 네 방향을 향하여 각각 수직으로 로딩 플레이트(113)가 설치되며, 상기 각 로딩 플레이트(113)의 후방에는 상기 로딩 플레이트(113)를 일정거리로 이동시키는 실린더(115)가 설치되는 제1 턴테이블(110); 상기 제1 턴테이블(110)의 전방에 위치하여 상기 제1 턴테이블(110)의 로딩 플레이트(113)에 상기 기판(G)을 로딩하는 기판 로딩기(120); 및 상기 제1 턴테이블(110)의 후방에 위치 고정되며, 상기 기판(G)의 일 측면에 보호필름(F1)을 부착하는 제1 보호필름 부착기(140)를 포함한다.The first protective film attachment unit 100, the rotary plate 111 is rotatably installed on the base 11 of the clean booth 10, the upper periphery of the rotary plate 111 by four 90 degrees The first turntable 110 in which the loading plate 113 is installed in the vertical direction toward the direction, and the cylinder 115 for moving the loading plate 113 at a predetermined distance is installed at the rear of each loading plate 113. ; A substrate loader (120) positioned in front of the first turntable (110) to load the substrate (G) onto a loading plate (113) of the first turntable (110); And a first protective film attacher 140 fixed to the rear of the first turntable 110 and attaching the protective film F1 to one side of the substrate G.

상기 로딩 플레이트(113)의 배면에는 "ㄱ"자형 스토퍼(113a)가 고정되고, 상기 스토퍼(113a)와 상응하여 상기 회전 플레이트(111)에 고정된 수직 브래킷(113b) 의 배면에는 제1 터치 부(113d)가 설치된다.The “a” shaped stopper 113a is fixed to the rear surface of the loading plate 113, and a first touch part is disposed on the rear surface of the vertical bracket 113b fixed to the rotating plate 111 in correspondence with the stopper 113a. 113d is installed.

또 상기 수직 브래킷(113b)의 전면에는 로딩 플레이트(115)의 배면과 접촉되는 제2 터치 부(113e)가 설치된다.In addition, the front surface of the vertical bracket 113b is provided with a second touch portion 113e in contact with the rear surface of the loading plate 115.

상기 제1 터치 부(113d) 및 상기 제2 터치 부(113e)에 의해서 상기 로딩 플레이트(115)의 전후진 이동 거리가 감지되고 적절히 조절되는 것이다.The forward and backward movement distances of the loading plate 115 are sensed and properly adjusted by the first touch portion 113d and the second touch portion 113e.

여기서, 상기 기판 로딩기(120), 후술하는 제1 기판 세정기(130), 제1 보호필름 부착기(140)의 위치를 제1 턴테이블(110)을 기준으로 전방, 좌측 방향, 후방이라고 하였으나, 이는 설명의 편의를 위한 것이다. 즉, 상기 기판 로딩기(120), 제1 기판 세정기(130), 제1 보호필름 부착기(140)는 제1 턴테이블(110)을 기준으로 각각 전방, 좌측 방향, 후방이 아닌 다른 방향에 위치할 수 있으며, 기판 로딩기(120), 제1 기판 세정기(130), 제1 보호필름 부착기(140)가 연속 작동되게 위치하면 어느 방향이라도 무방하다. 이러한 위치에 관한 설명은 후술하는 제2 보호필름 부착 유닛(200)에서도 동일하게 적용된다.Here, the positions of the substrate loader 120, the first substrate cleaner 130, and the first protective film attacher 140, which will be described later, are referred to as forward, leftward, and rearward based on the first turntable 110. It is for convenience of description. That is, the substrate loader 120, the first substrate cleaner 130, and the first protective film attacher 140 may be located in a direction other than the front, left, and rear sides of the first turntable 110, respectively. The substrate loader 120, the first substrate cleaner 130, and the first protective film attacher 140 may be positioned continuously so as to be in any direction. Description of this position is equally applied to the second protective film attachment unit 200 to be described later.

상기 로딩 플레이트(113)에 형성된 진공 흡착홀(H)에는 진공모터(미도시) 등이 연결되어, 이의 동작으로 발생하는 진공력에 의하여 기판(G)을 흡착 고정하는바, 이러한 진공 흡착 구조는 일반적인 바, 이하에서는 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.A vacuum motor (not shown) is connected to the vacuum suction hole H formed in the loading plate 113 to adsorb and fix the substrate G by the vacuum force generated by the operation. In general, a detailed description thereof will be omitted below.

상기 기판 로딩기(120)는 상기 기판(G)을 진공 흡착하는 흡착판(121); 상기 흡착판(121)을 이동시키는 리니어 이송 부(LM)(122); 및 상기 리니어 이송 부(122) 상에 설치되며 상기 흡착판(121)을 90°회전시키는 회전 모터(123)를 포함한다.The substrate loader 120 includes an adsorption plate 121 for vacuum adsorption of the substrate G; A linear transfer part (LM) 122 for moving the suction plate 121; And a rotary motor 123 installed on the linear transfer part 122 to rotate the suction plate 121 by 90 °.

상기 제1 턴테이블(110)의 좌측 방향에는 제1 기판 세정기(130)가 위치하여 상기 제1 턴테이블(110)의 로딩 플레이트(113)에 로딩된 상기 기판(G)의 일 측면을 세정한다.The first substrate cleaner 130 is positioned on the left side of the first turntable 110 to clean one side of the substrate G loaded on the loading plate 113 of the first turntable 110.

도 6을 참조하면, 상기 제1 기판 세정기(130)는 베이스(131)의 수직으로 설치되는 가이드(132); 상기 가이드(132)와 인접하여 수직으로 설치되며, 서보모터(133)에 의해서 정/역 회전되는 이송 스크류(134); 상기 가이드(132)를 따라 승하강이 가능하도록 상기 이송 스크류(134)에 결합되는 승강 플레이트(135); 상기 승강 플레이트(135)의 하부에 전후진 가능하게 설치되며, 하부에 상기 기판(G)의 일 측면에서 파티클을 흡착 제거하는 점착 롤러(R1)가 설치되는 전후진 플레이트(136); 상기 전후진 플레이트(137)를 전후진 시키기 위하여 상기 승강 플레이트(135) 상에 설치되는 전후진 실린더(137); 상기 베이스(131)에 설치되며, 상기 점착 롤러(R1)에서 파티클을 전이시키는 전이 테이프 롤러(R2); 및 상기 전이 테이프 롤러(R2)를 회전시키는 전이 테이프 회전모터(138);를 포함한다.Referring to FIG. 6, the first substrate cleaner 130 may include a guide 132 vertically installed on the base 131; A feed screw 134 vertically installed adjacent to the guide 132 and rotated forward / backward by the servomotor 133; A lifting plate 135 coupled to the transfer screw 134 to move up and down along the guide 132; A forward and backward plate 136 installed at a lower portion of the elevating plate 135 so as to be moved forward and backward, and having an adhesive roller R1 installed thereon to adsorb and remove particles from one side of the substrate G; A forward and backward cylinder 137 installed on the elevating plate 135 to forward and backward the forward and backward plates 137; A transition tape roller (R2) installed at the base (131) and transferring particles from the adhesive roller (R1); And a transition tape rotating motor 138 rotating the transition tape roller R2.

도 7 및 도 9를 참조하면, 상기 제1 보호필름 부착기(140)는 상기 클린 부스(10)의 베이스(11)에 고정되는 고정 프레임(141); 상기 고정 프레임(141)의 상부 일 측에 설치되는 보호필름 권취롤러(142a); 상기 고정 프레임(141)의 상부 타 측에 설치되는 보호필름 이형제 권취롤러(142b); 상기 보호필름(F1)의 텐션을 유지하고 가이드 하는 다수의 텐션롤러(142c); 상기 보호필름(F1)을 Z축 방향으로 끌어당기는 Z축 클램프(143); 상기 Z축 클램프(143)가 결합되도록 상기 고정 프레임(141)에 수직으로 설치되는 Z축 클램프 이송 스크류(S1); 상기 Z축 클램프 이송 스크 류(S1)를 구동시키는 구동모터(M1); 상기 Z축 클램프(143)를 전후진 시키는 Z축 클램프 실린더(144); 상기 보호필름(F1)을 상기 기판(G)의 일 측면에 밀착시키는 밀착롤러(145); 상기 밀착 롤러(145)가 결합되도록 상기 고정 프레임(141)에 수직으로 설치되는 밀착 롤러 이송 스크류(S2); 상기 밀착롤러 이송 스크류(S2)를 구동시키는 구동모터(M2); 상기 밀착 롤러(145)를 전후진 시키는 밀착 롤러 실린더(146); 상기 보호필름(F1)을 커팅하는 커터(147); 및 상기 커터(147)를 전후진 시키는 커터 실린더(148)를 포함한다.7 and 9, the first protective film attacher 140 may include a fixing frame 141 fixed to the base 11 of the clean booth 10; A protective film winding roller 142a installed at an upper side of the fixing frame 141; A protective film release agent winding roller (142b) installed at the other upper side of the fixing frame (141); A plurality of tension rollers 142c for maintaining and guiding the tension of the protective film F1; A Z-axis clamp 143 which pulls the protective film F1 in the Z-axis direction; Z-axis clamp feed screw (S1) is installed perpendicular to the fixed frame (141) so that the Z-axis clamp (143) is coupled; A drive motor (M1) for driving the Z-axis clamp feed screw (S1); A Z-axis clamp cylinder 144 for moving the Z-axis clamp 143 forward and backward; An adhesion roller 145 for closely contacting the protective film F1 to one side of the substrate G; A close roller feed screw (S2) installed perpendicular to the fixing frame (141) so that the close roller (145) is coupled; A driving motor (M2) for driving the close roller feed screw (S2); An adhesion roller cylinder 146 for advancing the adhesion roller 145 back and forth; Cutter 147 for cutting the protective film (F1); And a cutter cylinder 148 for advancing the cutter 147 forward and backward.

이와 같이 구성된 상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)의 동작을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operation of the first protective film attachment unit 100 configured as described above are as follows.

우선, 기판 로딩기(120)의 진공 흡착 홀(H)에 의해서 기판(G)이 흡착 고정되고, 흡착판(121)이 리니어 이송 부(122)에 의해서 이동되며, 회전모터(123)가 상기 흡착판(121)을 90° 회전시켜서 수직으로 위치시킨다.First, the substrate G is adsorbed and fixed by the vacuum adsorption hole H of the substrate loader 120, the adsorption plate 121 is moved by the linear transfer unit 122, and the rotating motor 123 is moved to the adsorption plate. Rotate 121 and place it vertically.

상기 흡착판(121)이 수직으로 위치한 상태에서, 제1 턴테이블(110)의 로딩 플레이트(113)가 실린더(115)에 의해서 전진하며, 진공 흡착에 의해서 기판(G)이 로딩 플레이트(113)에 흡착된다(로딩 된다).In the state where the adsorption plate 121 is vertically positioned, the loading plate 113 of the first turntable 110 is advanced by the cylinder 115, and the substrate G is adsorbed to the loading plate 113 by vacuum adsorption. (Loaded)

그 다음, 회전모터(115)의 구동에 의해서 제1 턴테이블(110)은 기판(G)을 흡착 고정한 상태에서 90°로 회전된다. Next, the first turntable 110 is rotated by 90 ° while the substrate G is sucked and fixed by the driving of the rotation motor 115.

그 다음, 기판 세정기(130)의 서보모터(133)에 의해서 이송 스크류(134)가 정 회전한다. 이때 상기 승강 플레이트(135)는 상기 가이드(132)에 의해 가이드 되면서 상승한다.Next, the feed screw 134 is rotated forward by the servomotor 133 of the substrate cleaner 130. At this time, the lifting plate 135 is raised while being guided by the guide 132.

그 다음, 상기 전후진 실린더(137)의 구동으로 상기 전후진 플레이트(136)가 적당한 위치로 전진하고, 이때 점착 롤러(R1)가 상기 기판(G)의 일 측면에 접촉된다. 이 상태에서 서보 모터(133)에 의해서 이송 스크류(134)가 역회전하면, 상기 승강 플레이트(135)는 상기 가이드(132)에 의해 가이드 되면서 하강하고, 점착롤러(R1)는 기판(G)의 일 측면에서 파티클을 점착 제거한다. Then, the forward and backward plate 136 is advanced to an appropriate position by driving the forward and backward cylinder 137, at which time the adhesive roller R1 is in contact with one side of the substrate (G). In this state, when the feed screw 134 is reversely rotated by the servo motor 133, the lifting plate 135 is lowered while being guided by the guide 132, and the adhesive roller R1 is formed on the substrate G. On one side the particles are tacked off.

상기 전이 테이프 롤러(R2)는 상기 점착 롤러(R1)에서 파티클을 전이시키는 역할을 하며, 상기 전이 테이프 롤러(R2)는 벨트(B)를 통해서 전이 테이프 회전모터(138)와 연결된다.The transfer tape roller R2 serves to transfer particles from the adhesive roller R1, and the transfer tape roller R2 is connected to the transfer tape rotary motor 138 through the belt B.

그 다음, 회전모터(115)의 구동에 의해서 제1 턴테이블(110)은 기판(G)을 흡착 고정한 상태에서 다시 90°회전된다.Next, the first turntable 110 is rotated by 90 ° again while the substrate G is fixed to the substrate G by driving the rotary motor 115.

그 다음, 제1 턴테이블(110)의 로딩 플레이트(113)가 실린더(115)에 의해서 제1 보호필름 부착기(140) 쪽으로 전진한다.Then, the loading plate 113 of the first turntable 110 is advanced toward the first protective film attacher 140 by the cylinder 115.

구동모터(M1)가 구동하여 이송 스크류(S1)를 회전시키면, 그 이송 스크류(S1)에 결합된 Z축 클램프(145)가 상기 보호필름(F1)을 하방으로 끌어당겨서, 상기 기판(G)의 일 측면에 근접시킨다.When the driving motor M1 is driven to rotate the feed screw S1, the Z-axis clamp 145 coupled to the feed screw S1 pulls the protective film F1 downward, so that the substrate G is rotated. Close to one side of the.

그 다음, 구동모터(M2)가 구동하여 이송 스크류(S2)를 회전시키면, 그 이송 스크류(S2)에 결합된 압착 롤러(145)가 보호필름(F1)을 상기 기판(G)의 일 측면에 부착시킨다. 이어서 커터(147)가 적당한 위치에서 상기 보호필름(F1)을 커팅한다. 여기서 전후진 실린더(144)(146)(148)는 각각 Z축 클램프(145), 압착 롤러(145), 커터(147)의 위치를 전후로 조절하는 역할을 한다.Then, when the driving motor (M2) is driven to rotate the feed screw (S2), the pressing roller 145 coupled to the feed screw (S2) is a protective film (F1) on one side of the substrate (G). Attach. Subsequently, the cutter 147 cuts the protective film F1 at an appropriate position. Here, the front and rear cylinders 144, 146, 148 serve to adjust the positions of the Z-axis clamp 145, the pressing roller 145, and the cutter 147 back and forth, respectively.

이와 같이 기판(G)의 일 측면에 보호필름(F1)이 부착되면, 이 기판(G)은 상기 제2 보호필름 부착 유닛(200)으로 이동되는 데, 이를 위해서 제1 턴테이블(110)은 다시 90°회전된다. 제1 턴테이블(110)의 로딩 플레이트(113)가 실린더(115)에 의해서 제2 턴테이블(210) 쪽으로 전진한다. 이와 동시에 제2 턴테이블(210)의 로딩 플레이트(213)가 실린더(215)에 의해서 제1 턴테이블(110) 쪽으로 전진한다. 적당한 위치에서 일 측면에 보호필름(F1)이 부착된 상기 기판(G)이 제2 턴테이블(210)의 로딩 플레이트(213)에 흡착된다.When the protective film F1 is attached to one side of the substrate G as described above, the substrate G is moved to the second protective film attachment unit 200. For this purpose, the first turntable 110 is again Rotate 90 °. The loading plate 113 of the first turntable 110 is advanced toward the second turntable 210 by the cylinder 115. At the same time, the loading plate 213 of the second turntable 210 is advanced toward the first turntable 110 by the cylinder 215. The substrate G having the protective film F1 attached to one side at an appropriate position is adsorbed onto the loading plate 213 of the second turntable 210.

도 1을 참조하여, 상기 제2 보호필름 부착 유닛(200)의 구성을 살펴본다. Referring to Figure 1, looks at the configuration of the second protective film attachment unit 200.

상기 제2 보호필름 부착 유닛(200)의 구성요소들은 전술한 상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)의 구성요소들과 동일하므로, 이하 이에 대하여 간략하게 설명한다.Since the components of the second protective film attaching unit 200 are the same as those of the first protective film attaching unit 100 described above, a brief description thereof will be provided below.

상기 제2 보호필름 부착 유닛(200)은 상기 클린 부스(10)의 베이스(11)에 회전 플레이트(211)가 회전 가능하게 설치되고, 상기 회전 플레이트(211)의 상부 외곽에는 90°씩 네 방향을 향하여 각각 수직으로 로딩 플레이트(213)가 설치되며, 상기 각 로딩 플레이트(213)의 후방에는 상기 로딩 플레이트(213)를 일정거리로 이동시키는 실린더(215)가 설치되는 제2 턴테이블(210); 상기 제2 턴테이블(210)의 전방에 위치하여 상기 제2 턴테이블(210)의 로딩 플레이트(213)에 상기 기판(G)을 로딩하는 기판 로딩기(220); 및 상기 제2 턴테이블(210)의 후방에 위치 고정되며, 상기 기판(G)의 일 측면에 보호필름(F2)을 부착하는 제2 보호필름 부착기(240)를 포함한다.The second protective film attaching unit 200 is rotatably installed on the base 11 of the clean booth 10, the rotating plate 211, the upper periphery of the rotating plate 211 by 90 degrees four directions A second turntable 210 provided with a loading plate 213 vertically toward each other, and a cylinder 215 for moving the loading plate 213 at a predetermined distance from the rear of each loading plate 213; A substrate loader (220) positioned in front of the second turntable (210) to load the substrate (G) onto the loading plate (213) of the second turntable (210); And a second protective film attacher 240 fixed to the rear of the second turntable 210 and attaching the protective film F2 to one side of the substrate G.

상기 로딩 플레이트(213)의 배면에는 "ㄱ"자형 스토퍼(213a)가 고정되고, 상기 스토퍼(213a)와 상응하여 상기 회전 플레이트(211)에 고정된 수직 브래킷(213b)의 배면에는 제1 터치 부(213d)가 설치된다.A “-” shaped stopper 213a is fixed to the rear surface of the loading plate 213, and a first touch part is disposed on the rear surface of the vertical bracket 213b fixed to the rotating plate 211 corresponding to the stopper 213a. 213d is installed.

또 상기 수직 브래킷(213b)의 전면에는 로딩 플레이트(215)의 배면과 접촉되는 제2 터치 부(213e)가 설치된다.In addition, the front surface of the vertical bracket 213b is provided with a second touch portion 213e in contact with the rear surface of the loading plate 215.

상기 제1 터치 부(213d) 및 상기 제2 터치 부(213e)에 의해서 상기 로딩 플레이트(215)의 전후진 이동 거리가 감지되고 적절히 조절되는 것이다.The forward and backward movement distances of the loading plate 215 are sensed by the first touch unit 213d and the second touch unit 213e and adjusted accordingly.

상기 로딩 플레이트(213)에 형성된 진공 흡착 홀(H)에는 진공모터(미 도시) 등이 연결되어, 이의 동작으로 발생하는 진공력에 의하여 기판(G)을 흡착 고정하는바, 이러한 진공 흡착구조는 일반적인 바, 이하에서는 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.A vacuum motor (not shown) is connected to the vacuum suction hole H formed in the loading plate 213 to adsorb and fix the substrate G by the vacuum force generated by the operation. In general, a detailed description thereof will be omitted below.

상기 제2 턴테이블(210)의 후방에는 제2 기판 세정기(230)가 위치하여 상기 제2 턴테이블(210)의 로딩 플레이트(213)에 로딩된 상기 기판(G)의 타 측면을 세정한다.A second substrate cleaner 230 is positioned behind the second turntable 210 to clean the other side of the substrate G loaded on the loading plate 213 of the second turntable 210.

도 11을 참조하면, 상기 제2 기판 세정기(230)는 베이스(231)의 수직으로 설치되는 가이드(232); 상기 가이드(232)와 인접하여 수직으로 설치되며, 서보모터(233)에 의해서 정/역 회전되는 이송 스크류(234); 상기 가이드(232)를 따라 승하강이 가능하도록 상기 이송 스크류(234)에 결합되는 승강 플레이트(235); 상기 승강 플레이트(235)의 하부에 전후진 가능하게 설치되며, 하부에 상기 기판(G)의 타 측면에서 파티클을 흡착 제거하는 점착 롤러(R1)가 설치되는 전후진 플레이 트(236); 상기 전후진 플레이트(237)를 전후진 시키기 위하여 상기 승강 플레이트(235) 상에 설치되는 전후진 실린더(237); 상기 베이스(231)에 설치되며, 상기 점착 롤러(R1)에서 파티클을 전이시키는 전이 테이프 롤러(R2); 및 상기 전이 테이프 롤러(R2)를 회전시키는 전이 테이프 회전모터(238)를 포함한다.Referring to FIG. 11, the second substrate cleaner 230 may include a guide 232 vertically installed on the base 231; A feed screw 234 installed vertically adjacent to the guide 232 and forward / reversely rotated by the servomotor 233; A lifting plate 235 coupled to the transfer screw 234 to move up and down along the guide 232; A forward and backward plate 236 installed at a lower portion of the elevating plate 235 so as to be able to move forward and backward, and having an adhesive roller R1 disposed thereon to adsorb and remove particles from the other side of the substrate G; A forward and backward cylinder 237 installed on the elevating plate 235 to forward and backward the forward and backward plates 237; A transition tape roller (R2) installed at the base (231) to transfer particles from the adhesive roller (R1); And a transition tape rotating motor 238 for rotating the transition tape roller R2.

도 12 및 도 13을 참조하면, 상기 제2 보호필름 부착기(240)는 상기 클린 부스(10)의 베이스(11)에 고정되는 고정 프레임(241); 상기 고정 프레임(241)의 상부 일 측에 설치되는 보호필름 권취롤러(242a); 상기 고정 프레임(241)의 상부 타 측에 설치되는 보호필름 이형제 권취롤러(242b); 상기 보호필름(F2)의 텐션을 유지하고 가이드 하는 다수의 텐션롤러(242c); 상기 보호필름(F2)을 Z축 방향으로 끌어당기는 Z축 클램프(243); 상기 Z축 클램프(243)가 결합되도록 상기 고정 프레임(241)에 수직으로 설치되는 Z축 클램프 이송 스크류(S1); 상기 Z축 클램프 이송 스크류(S1)를 구동시키는 구동모터(M1); 상기 Z축 클램프(243)를 전후진 시키는 Z축 클램프 실린더(244); 상기 보호필름(F2)을 상기 기판(G)의 타 측면에 밀착시키는 밀착 롤러(245); 상기 밀착 롤러(245)가 결합되도록 상기 고정 프레임(241)에 수직으로 설치되는 밀착 롤러 이송 스크류(S2); 상기 밀착롤러 이송 스크류(S2)를 구동시키는 구동모터(M2); 상기 밀착 롤러(245)를 전후진 시키는 밀착 롤러 실린더(246); 상기 보호필름(F2)을 커팅하는 커터(247); 및 상기 커터(247)를 전후진 시키는 커터 실린더(248)를 포함한다.12 and 13, the second protective film attacher 240 may include a fixing frame 241 fixed to the base 11 of the clean booth 10; A protective film winding roller 242a installed at an upper side of the fixing frame 241; A protective film release agent winding roller (242b) installed at the other upper side of the fixed frame 241; A plurality of tension rollers 242c for maintaining and guiding the tension of the protective film F2; A Z-axis clamp 243 for pulling the protective film F2 in the Z-axis direction; Z-axis clamp feed screw (S1) is installed perpendicular to the fixed frame (241) to be coupled to the Z-axis clamp (243); A drive motor (M1) for driving the Z-axis clamp feed screw (S1); A Z-axis clamp cylinder 244 for advancing the Z-axis clamp 243 back and forth; An adhesion roller 245 for closely contacting the protective film F2 to the other side of the substrate G; A contact roller conveying screw S2 installed perpendicular to the fixing frame 241 such that the contact roller 245 is coupled; A driving motor (M2) for driving the close roller feed screw (S2); An adhesion roller cylinder 246 for advancing the adhesion roller 245 back and forth; A cutter 247 for cutting the protective film F2; And a cutter cylinder 248 for moving the cutter 247 forward and backward.

이와 같이 구성된 상기 제2 보호필름 부착 유닛(200)에서의 동작을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operation in the second protective film attachment unit 200 configured as described above are as follows.

우선, 회전모터(215)의 구동에 의해서 제2 턴테이블(210)은 기판(G)을 흡착 고정한 상태에서 90°로 회전된다. First, the second turntable 210 is rotated by 90 ° while the substrate G is sucked and fixed by the rotation motor 215.

그 다음, 기판 세정기(230)의 서보 모터(233)에 의해서 이송 스크류(234)가 정 회전한다. 이때 상기 승강 플레이트(235)는 상기 가이드(232)에 의해 가이드 되면서 상승한다.Then, the feed screw 234 is rotated forward by the servo motor 233 of the substrate cleaner 230. At this time, the lifting plate 235 is raised while being guided by the guide 232.

그 다음, 상기 전후진 실린더(237)의 구동으로 상기 전후진 플레이트(236)가 적당한 위치로 전진하고, 이때 점착 롤러(R1)가 상기 기판(G)의 타 측면에 접촉된다. 이 상태에서 서보 모터(233)에 의해서 이송 스크류(234)가 역회전하면, 상기 승강 플레이트(235)는 상기 가이드(232)에 의해 가이드 되면서 하강하고, 점착 롤러(R1)는 기판(G)의 타 측면에서 파티클을 점착 제거한다.Next, the forward and backward plates 236 are advanced to an appropriate position by driving the forward and backward cylinders 237, and the adhesive roller R1 contacts the other side of the substrate G. In this state, when the feed screw 234 reversely rotates by the servo motor 233, the lifting plate 235 is lowered while being guided by the guide 232, and the adhesive roller R1 of the substrate G is lowered. Stick the particles off the other side.

상기 전이 테이프 롤러(R2)는 상기 점착 롤러(R1)에서 파티클을 전이시키는 역할을 하며, 상기 전이 테이프 롤러(R2)는 벨트(B)를 통해서 전이 테이프 회전모터(238)와 연결된다.The transfer tape roller R2 serves to transfer particles from the adhesive roller R1, and the transfer tape roller R2 is connected to the transfer tape rotary motor 238 through the belt B.

그 다음, 회전모터(215)의 구동에 의해서 제2 턴테이블(210)은 기판(G)을 흡착 고정한 상태에서 다시 90°회전된다. Next, the second turntable 210 is rotated by 90 ° again while the substrate G is sucked and fixed by the driving of the rotation motor 215.

그 다음, 제2 턴테이블(210)의 로딩 플레이트(213)가 실린더(215)에 의해서 제2 보호필름 부착기(240) 쪽으로 전진한다.Next, the loading plate 213 of the second turntable 210 is advanced toward the second protective film attacher 240 by the cylinder 215.

구동모터(M1)가 구동하여 이송 스크류(S1)를 회전시키면, 그 이송 스크류(S1)에 결합된 Z축 클램프(245)가 상기 보호필름(F2)을 하방으로 끌어당겨서, 상기 기판(G)의 타 측면에 근접시킨다.When the driving motor M1 is driven to rotate the feed screw S1, the Z-axis clamp 245 coupled to the feed screw S1 pulls the protective film F2 downward, and the substrate G is rotated. Close to the other side of the

그 다음, 구동모터(M2)가 구동하여 이송 스크류(S2)를 회전시키면, 그 이송 스크류(S2)에 결합된 압착 롤러(245)가 보호필름(F2)을 상기 기판(G)의 타 측면에 부착시킨다. 이어서 커터(247)가 상기 보호필름(F2)을 커팅한다. 여기서 전후진 실린더(244)(246)(248)는 각각 Z축 클램프(245), 압착 롤러(245), 커터(247)의 위치를 조절하는 역할을 한다.Then, when the driving motor (M2) is driven to rotate the feed screw (S2), the pressing roller 245 coupled to the feed screw (S2) the protective film (F2) to the other side of the substrate (G) Attach. Subsequently, the cutter 247 cuts the protective film F2. Here, the front and rear cylinders 244, 246, 248 serve to adjust the positions of the Z-axis clamp 245, the pressing roller 245, and the cutter 247, respectively.

이와 같이 기판(G)의 양 측면에 보호필름(F1)(F2)이 부착되면, 이 기판(G)은 언 로딩기(미 도시)에 의해서 상기 클린 부스(10) 외부로 이송된다.When the protective films F1 and F2 are attached to both side surfaces of the substrate G as described above, the substrate G is transferred to the outside of the clean booth 10 by an unloader (not shown).

이하에서는 본 발명에 따른 보호필름 자동 부착장치에서의 보호필름 부착 방법을 설명한다.Hereinafter, a method of attaching a protective film in an automatic protective film attachment device according to the present invention.

도 14는 본 발명에 따른 보호필름 자동 부착장치의 보호필름 부착방법을 보인 흐름도이다.14 is a flowchart illustrating a method of attaching a protective film of the automatic protective film applying apparatus according to the present invention.

도 14를 참조하면, 본 발명의 보호필름 부착 방법은 기판을 제1 턴테이블에 로딩하는 단계(S10); 상기 제1 턴테이블이 90°회전하는 단계(S20); 제1 세정기가 상기 제1 턴테이블에 로딩된 기판의 일 측면을 세정하는 단계(S30); 상기 제1 턴테이블이 90°회전하는 단계(S40); 제1 보호필름 부착기가 상기 기판의 일 측면에 보호필름을 부착하는 단계(S50); 상기 제1 턴테이블이 90° 회전하는 단계(S60); 제2 턴테이블이 상기 제1 턴테이블로부터 상기 기판을 이송받는 단계(S70); 상기 제2 턴테이블이 90°회전하는 단계(S80); 제2 세정기가 상기 제2 턴테이블에 로딩된 기판의 타 측면을 세정하는 단계(S90); 상기 제2 턴테이블이 90°회전하는 단계(S100); 및 제2 보호필름 부착기가 상기 기판의 타 측면에 보호필름을 부착하는 단계(S110);를 포함한다.Referring to FIG. 14, the method of attaching a protective film of the present invention includes loading a substrate on a first turntable (S10); Rotating the first turntable by 90 ° (S20); A step (S30) of cleaning a side of the substrate loaded on the first turntable by a first cleaner; Rotating the first turntable by 90 ° (S40); Attaching a protective film to one side of the substrate by a first protective film attacher (S50); Rotating the first turntable by 90 ° (S60); Receiving, by the second turntable, the substrate from the first turntable (S70); Rotating the second turntable by 90 ° (S80); Cleaning a second side of the substrate loaded on the second turntable by a second cleaner (S90); Rotating the second turntable by 90 ° (S100); And a second protective film attacher attaching the protective film to the other side of the substrate (S110).

여기서, 상기 제2 턴테이블이 상기 제1 턴테이블로부터 상기 기판을 이송받는 단계(S70)에서는, 상기 제1 턴테이블의 실린더가 로딩 플레이트를 전진시키고, 이와 동시에 상기 제2 턴테이블의 실린더가 로딩 플레이트를 전진시켜서 중간 위치에서 상기 제1 턴테이블의 로딩 플레이트와 상기 제2 턴테이블의 로딩 플레이트가 만나게 되고, 이때 진공 흡착 작용에 의하여 상기 제1 턴테이블에 흡착된 기판이 상기 제2 턴테이블로 이송된다. 또한 제1 턴테이블의 실린더만이 동작하여 기판을 전달할 수도 있고, 제2 턴테이블의 실린더만이 동작하여 기판을 전달할 수도 있다.Here, in the step (S70) in which the second turntable transfers the substrate from the first turntable, the cylinder of the first turntable advances the loading plate, and at the same time, the cylinder of the second turntable advances the loading plate. In the intermediate position, the loading plate of the first turntable and the loading plate of the second turntable meet, and at this time, the substrate adsorbed on the first turntable is transferred to the second turntable by a vacuum suction action. In addition, only the cylinder of the first turntable may operate to transfer the substrate, or only the cylinder of the second turntable may operate to transfer the substrate.

도 15는 본 발명의 제1 보호필름 부착기의 보호필름 부착방법을 보인 흐름도이다.15 is a flowchart illustrating a protective film attaching method of the first protective film attaching machine of the present invention.

도 15를 참조하면, 상기 제1 보호필름 부착기가 상기 기판의 일 측면에 보호필름을 부착하는 단계(S50)에서는, 구동모터가 Z 축 클램프 이송 스크류를 회전시켜서 상기 Z 축 클램프가 상기 보호필름을 하방으로 당기는 단계(S51); 상기 제1 턴테이블의 실린더가 로딩 플레이트를 상기 제1 보호필름 부착기 쪽으로 전진시키는 단계(S52); 구동모터가 밀착 롤러 이송 스크류를 회전시켜서 상기 밀착 롤러가 하방으로 이동하면서 상기 기판에 보호필름을 밀착시키고, 부착하는 단계(S53); 커터가 보호필름을 커팅하는 단계(S54); 및 상기 제1 턴테이블의 로딩 플레이트, 상기 Z 축 클램프, 상기 밀착 롤러가 원위치하는 단계(S55)를 포함한다.Referring to FIG. 15, when the first protective film attacher attaches the protective film to one side of the substrate (S50), the driving motor rotates the Z-axis clamp feed screw so that the Z-axis clamp moves the protective film. Pulling downward (S51); Advancing a loading plate of the cylinder of the first turntable toward the first protective film attacher (S52); Driving a motor to rotate the contact roller conveying screw to adhere the protective film to the substrate while attaching the contact roller downward (S53); A cutter cutting the protective film (S54); And a step (S55) in which the loading plate of the first turntable, the Z-axis clamp, and the contact roller are returned to their original positions.

도 16은 본 발명의 제2 보호필름 부착기의 보호필름 부착방법을 보인 흐름도이다.16 is a flowchart illustrating a protective film attaching method of the second protective film attaching machine of the present invention.

도 16을 참조하면, 상기 제2 보호필름 부착기가 상기 기판의 타 측면에 보호필름을 부착하는 단계(S110)는 구동모터가 Z 축 클램프 이송 스크류를 회전시켜서 상기 Z 축 클램프가 상기 보호필름을 하방으로 당기는 단계(S111); 상기 제2 턴테이블의 실린더가 로딩 플레이트를 상기 제2 보호필름 부착기 쪽으로 전진시키는 단계(S112); 구동모터가 밀착 롤러 이송 스크류를 회전시켜서 상기 밀착롤러가 하방으로 이동하면서 상기 기판에 보호필름을 밀착시키고, 부착하는 단계(S113); 커터가 보호필름을 커팅하는 단계(S114); 및 상기 제2 턴테이블의 로딩 플레이트, 상기 Z 축 클램프, 상기 밀착 롤러가 원위치하는 단계(S115);를 포함한다.Referring to FIG. 16, in the step S110 of attaching the protective film to the other side of the substrate, the second protective film attacher rotates the Z-axis clamp feed screw so that the Z-axis clamp lowers the protective film. Pulling step (S111); Advancing the cylinder of the second turntable to the loading plate toward the second protective film attacher (S112); Driving a motor to rotate the contact roller conveying screw so that the contact roller moves downward and adheres the protective film to the substrate and attaches the protective film (S113); Cutting the protective film by the cutter (S114); And a step (S115) in which the loading plate of the second turntable, the Z-axis clamp, and the contact roller are returned to their original positions.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 제1 턴테이블과 제2 턴테이블을 동시에 구동하여 기판의 양 측면에 보호필름을 연속적으로 부착하여 대기시간으로 인한 오염 발생 및 스크래치 발생을 최소화하고, 세정공정을 부착공정과 동시에 수행하여 오염 등으로 인한 문제점을 개선한다.As described above, according to the present invention, by simultaneously driving the first turntable and the second turntable, the protective film is continuously attached to both sides of the substrate, thereby minimizing the occurrence of contamination and scratches caused by the waiting time, and attaching the cleaning process. Simultaneously with the process, problems caused by contamination etc. are improved.

또 제1 턴테이블과 제2 턴테이블의 로딩 플레이트가 실린더에 의해서 이동될 수 있는 구조로 구성됨으로써 전체 구성이 단순하면서도 보호필름 부착 공정이 원활하고 신속하다.In addition, since the loading plate of the first turntable and the second turntable is configured to be moved by a cylinder, the overall structure is simple and the protective film attaching process is smooth and quick.

본 발명은 바람직한 실시 예와 첨부한 도면을 참조하여 설명되었지만, 본 발명의 개념 및 범위 내에서 상이한 실시 예가 구성될 수 있다. 따라서 본 발명의 범위는 첨부된 청구범위에 의해 정해지며, 본 명세서에 기재된 특정 실시 예에 의해 한정되지 않는 것으로 해석되어야 한다. Although the present invention has been described with reference to the preferred embodiments and the accompanying drawings, different embodiments may be constructed within the spirit and scope of the invention. Accordingly, the scope of the invention is defined by the appended claims, and should be construed as not limited by the specific embodiments described herein.

도 1은 본 발명에 따른 보호필름 자동 부착장치를 보인 평면 구성도이다.1 is a plan view showing a protective film automatic attachment device according to the present invention.

도 2는 도 1의 정면도이다.2 is a front view of FIG. 1.

도 3은 도 1의 우측면도이다.3 is a right side view of FIG. 1.

도 4는 도 1의 제1 턴테이블을 보인 평면도이다.FIG. 4 is a plan view illustrating the first turntable of FIG. 1.

도 5는 도 4의 제1 텐테이블을 보인 측면도이다.FIG. 5 is a side view illustrating the first tentable of FIG. 4.

도 6은 도 1의 제1 세정기를 보인 측면도이다.FIG. 6 is a side view illustrating the first cleaner of FIG. 1.

도 7은 도 1의 제1 보호 필름 부착기를 보인 측면도이다.FIG. 7 is a side view illustrating the first protective film attacher of FIG. 1.

도 8은 도 7의 제1 보호 필름 부착기를 보인 정면도이다.FIG. 8 is a front view illustrating the first protective film attacher of FIG. 7.

도 9는 도 7의 제1 보호 필름 부착기를 보인 평면도이다.FIG. 9 is a plan view illustrating the first protective film attacher of FIG. 7.

도 10은 도 1의 제2 턴테이블을 보인 평면도이다.FIG. 10 is a plan view illustrating the second turntable of FIG. 1.

도 11은 도 1의 제2 세정기를 보인 측면도이다.FIG. 11 is a side view illustrating the second cleaner of FIG. 1.

도 12는 도 1의 제2 보호 필름 부착기를 보인 측면도이다.12 is a side view illustrating the second protective film attacher of FIG. 1.

도 13은 도 12의 제2 보호 필름 부착기를 보인 정면도이다.FIG. 13 is a front view illustrating the second protective film attacher of FIG. 12.

* 주요부분에 대한 도면부호 ** Reference numerals for main parts *

1: 보호필름 자동 부착장치1: Automatic protective film attachment device

10: 클린 부스10: clean booth

11: 베이스11: base

100,200: 제1/제2 보호필름 부착 유닛100,200: 1st / 2nd protective film attachment unit

G: 기판G: Substrate

F1,F2: 보호필름F1, F2: Protective Film

110,210: 제1/제2 턴테이블110,210: first / second turntable

111,211: 회전 플레이트111,211: rotating plate

113,213: 로딩 플레이트113,213: Loading Plate

113a,213a: 스토퍼113a, 213a: stopper

113b,213b: 수직 브래킷113b, 213b: vertical bracket

113d,213d: 제1 터치 부113d, 213d: first touch unit

113e,213e: 제2 터치 부113e, 213e: second touch unit

115,215: 실린더115,215: Cylinder

120: 기판 로딩기120: substrate loading machine

121: 흡착판121: adsorption plate

122: 리니어 이송 부122: linear feed unit

123: 회전 모터123: rotating motor

130,230: 제1/제2 기판 세정기130,230: first / second substrate cleaner

131,231: 베이스131,231: bass

132,232: 가이드132,232: guide

133,233: 서보 모터133,233: servo motor

134,234: 이송 스크류134,234: feed screw

135,235: 승강 플레이트135,235 lifting plate

R1: 점착 롤러R1: adhesive roller

136,236: 전후진 플레이트136,236: forward and backward plates

137,237: 전후진 실린더137,237: forward and backward cylinder

138,238: 전이 테이프 회전모터138,238: Transition Tape Rotary Motor

140,240: 제1/제2 보호필름 부착기140,240: first and second protective film attaching machine

141,241: 고정 프레임141,241: fixed frame

142a,242a: 보호필름 권취 롤러142a, 242a: protective film winding roller

142b,242b: 보호필름 이형제 권취 롤러142b, 242b: protective film release agent winding roller

142c,242c: 텐션 롤러142c, 242c: tension roller

143,243: Z축 클램프143,243: Z axis clamp

144,244: Z축 클램프 실린더144,244: Z-axis clamp cylinder

145,245: 밀착 롤러145,245: contact roller

146,246: 밀착 롤러 실린더146,246: contact roller cylinder

147,247: 커터147,247: cutter

148,248: 커터 실린더148,248: cutter cylinder

S2: 밀착 롤러 이송 스크류S2: contact roller feed screw

H: 진공 흡착 홀H: vacuum adsorption hole

R2: 전이 테이프 롤러R2: transition tape roller

S1: Z축 클램프 이송 스크류S1: Z axis clamp feed screw

M1: 구동모터M1: drive motor

M2: 구동모터M2: drive motor

Claims

A clean booth 10 for controlling particle generation; A first protective film attachment unit 100 installed at one side of the clean booth 10 to attach the protective film F1 to one side of the substrate G; And installed on the other side of the clean booth 10 side by side with the first protective film attachment unit 100, the first protective film attachment unit 100 to transfer the substrate (G) of the substrate (G) It includes; the second protective film attachment unit 200 for attaching the protective film (F2) on the other side;

The first protective film attachment unit 100 is

The rotating plate 111 is rotatably installed on the base 11 of the clean booth 10, and the loading plate 113 is vertically disposed in the upper outer portion of the rotating plate 111 in four directions by 90 °. A first turntable 110 installed at a rear of each of the loading plates 113 and having a cylinder 115 for moving the loading plate 113 to a predetermined distance;

A substrate loader (120) positioned in front of the first turntable (110) to load the substrate (G) onto a loading plate (113) of the first turntable (110); And

And a first protective film attacher 140 fixed to the rear of the first turntable 110 to attach the protective film F1 to one side of the substrate G.

The second protective film attachment unit 100 is

Positioned side by side with the first turntable 110 receives the substrate (G) attached to the protective film (F1) from the first turntable 110, the rotating plate (11) on the base 11 of the clean booth (10) 211 is rotatably installed, and the upper plate of the rotary plate 211 is provided with a loading plate 213 in a vertical direction in four directions by 90 °, respectively, and behind the loading plate 213 A second turntable 210 on which a cylinder 215 for moving the plate 213 at a predetermined distance is installed;

A second protective film attacher 240 fixed to a right direction of the second turntable 210 and attaching a protective film F2 to the other side of the substrate G; And

And a substrate unloader positioned in front of the second turntable 110 to unload the substrate G adsorbed onto the loading plate 213 of the second turntable 210. Device.

The method of claim 1,

The first substrate cleaner 130 is positioned on the left side of the first turntable 110 to clean one side of the substrate G loaded on the loading plate 113 of the first turntable 110.

The second substrate cleaner 230 is positioned behind the second turntable 210 to clean the other side of the substrate G loaded on the loading plate 213 of the second turntable 210. Automatic protective film attachment device.

The method of claim 1,

The substrate loader 120 is

An adsorption plate 121 for vacuum adsorption of the substrate;

A linear transfer part 122 for moving the suction plate 121; And

And a rotating motor 123 installed on the linear transfer part 122 to rotate the adsorption plate 121 by 90 °.

The method of claim 2,

The first substrate cleaner 130

Base 131;

A guide 132 installed perpendicular to the base 131;

A feed screw 134 vertically installed adjacent to the guide 132 and rotated forward / backward by the servomotor 133;

A lift plate 135 coupled to the transfer screw 134 to move up and down along the guide 132;

A forward and backward plate 136 installed at a lower portion of the elevating plate 135 so as to be moved forward and backward, and having an adhesive roller R1 installed thereon to adsorb and remove particles from one side of the substrate G;

A forward and backward cylinder 137 installed on the elevating plate 135 to forward and backward the forward and backward plates 136;

A transition tape roller (R2) installed at the base (131) and transferring particles from the adhesive roller (R1); And

Automatic transfer film protection device comprising a; transition tape rotation motor (138) for rotating the transition tape roller (R2).

The method of claim 1,

The first protective film attacher 140 is

A fixed frame 141 fixed to the base 11 of the clean booth 10;

A protective film winding roller 142a installed at an upper side of the fixing frame 141;

A protective film release agent winding roller 142b installed at the other upper side of the fixing frame 141;

A plurality of tension rollers 142c for maintaining and guiding the tension of the protective film F1;

A Z-axis clamp 143 which pulls the protective film F1 in the Z-axis direction;

Z-axis clamp feed screw (S1) is installed perpendicular to the fixed frame (141) so that the Z-axis clamp (143) is coupled;

A drive motor (M1) for driving the Z-axis clamp feed screw (S1);

A Z-axis clamp cylinder 144 for moving the Z-axis clamp 143 forward and backward;

An adhesion roller 145 for closely contacting the protective film F1 to one side of the substrate G;

A contact roller feed screw (S2) installed perpendicular to the fixing frame (141) such that the contact roller (145) is coupled;

A driving motor (M2) for driving the close roller feed screw (S2);

An adhesion roller cylinder 146 for advancing the adhesion roller 145 back and forth;

Cutter 147 for cutting the protective film (F1); And

Automatic protection film comprising a; cutter cylinder 148 for advancing forward and backward the cutter (147).

The method of claim 2,

The second substrate cleaner 230

Base 231;

A guide 232 installed perpendicular to the base 231;

A feed screw 234 installed vertically adjacent to the guide 232 and forward / reversely rotated by the servomotor 233;

A lift plate 235 coupled to the transfer screw 234 to move up and down along the guide 232;

A forward and backward plate 236 which is installed at a lower portion of the elevating plate 235 so as to be able to move forward and backward, and at which a pressure-sensitive adhesive roller R1 is installed to adsorb and remove particles from the other side of the substrate;

A forward and backward cylinder 237 installed on the elevating plate 235 to forward and backward the forward and backward plates 236;

A transition tape roller (R2) installed at the base (231) to transfer particles from the adhesive roller (R1); And

Automatic transfer film protection device comprising a; a transition tape rotation motor (238) for rotating the transition tape roller (R2).

The method of claim 1,

The second protective film attacher 240 is

A fixed frame 241 fixed to the base 11 of the clean booth 10;

A protective film winding roller 242a installed at an upper side of the fixing frame 241;

A protective film release agent winding roller (242b) installed at the other upper side of the fixed frame 241;

A plurality of tension rollers 242c for maintaining the tension of the protective film F2;

A Z-axis clamp 243 for pulling the protective film F2 in the Z-axis direction;

Z-axis clamp feed screw (S1) is installed perpendicular to the fixed frame (241) to be coupled to the Z-axis clamp (243);

A drive motor (M1) for driving the Z-axis clamp feed screw (S1);

A Z-axis clamp cylinder 244 for advancing the Z-axis clamp 243 back and forth;

An adhesion roller 245 for bringing the protective film F2 into close contact with the other side of the substrate G;

A contact roller feed screw (S2) installed perpendicular to the fixed frame (241) such that the contact roller (245) is coupled;

A driving motor (M2) for driving the close roller feed screw (S2);

A contact roller cylinder 246 for advancing the contact roller 245 back and forth;

A cutter 247 for cutting the protective film F2; And

Automatic protective film comprising a cutter cylinder 248 for advancing forward and backward the cutter (247).

Loading the substrate on the first turntable (S10);

Rotating the first turntable by 90 ° (S20);

A first cleaner cleaning one side of the substrate loaded on the first turntable (S30);

Rotating the first turntable by 90 ° (S40);

Attaching a protective film to one side of the substrate by a first protective film attacher (S50);

Rotating the first turntable by 90 ° (S60);

A second turntable transferring the substrate from the first turntable (S70);

Rotating the second turntable by 90 ° (S80);

Cleaning a second side of the substrate loaded on the second turntable by a second cleaner (S90);

Rotating the second turntable by 90 ° (S100); And

And a second protective film attacher attaching the protective film to the other side of the substrate (S110).

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