KR100904799B1

KR100904799B1 - 밀봉 용기

Info

Publication number: KR100904799B1
Application number: KR1020090004251A
Authority: KR
Inventors: 마사토 다카하시; 요시아키 후지모리; 요시오 아즈마; 야스유키 니시무라; 나오히로 호리타
Original assignee: 신에츠 폴리머 가부시키가이샤; 미츠비시 덴센 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2001-06-08
Filing date: 2009-01-19
Publication date: 2009-06-25
Also published as: KR20020095007A; US7413099B2; TW522529B; DE60138381D1; KR20090023427A; EP1291287A2; EP1291287B1; US20020195455A1; EP1291287A3

Abstract

끼워맞춤 유지 홈은 용기 본체에 가깝게 끼워맞춤될 도어 요소의 외주에 노치를 형성하는 것에 의해 형성된다. 용기 본체와 도어 요소 사이에 개재되는 밀봉 요소는 끼워맞춤 홈 내로 끼워맞춤되는 무한부와, 무한부의 외주 모서리로부터 용기 본체의 개구면에 대해 외향으로 비스듬히 돌출하여 용기 본체의 개구면의 접촉면과 그 자체 사이에 실질적인 예각을 형성하는 돌출부와, 상기 무한부의 표면상에 돌출 형성되고 그리고 상기 끼워맞춤 보지부의 구분된 내벽과 접촉하여 끼워맞춤되는 한 쌍의 끼워맞춤 리브로 구성되어 있다.

Description

밀봉 용기{HERMETIC CONTAINER}

본 발명은 오염을 기피하는 물품을 청결하게 유지하기 위한 밀봉 요소, 기밀 용기 및 그 밀봉 방법에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 반도체 웨이퍼, 마스킹 유리판, 액정 셀, 기록 매체 등과 같은 오염을 기피하는 정밀한 기판의 수납 및 운송을 위해 사용되고, 정밀한 기판을 성형 및 처리하는 처리장치에 대해 기판을 위치설정하며, 그리고 처리장치 사이에서 기판을 반송 및 저장하는데 사용되는 밀봉 요소, 기밀 용기 및 그의 밀봉 방법에 관한 것이다.

오염을 기피하는 물품을 수납하기 위한 다양한 유형의 플라스틱 저장 용기가 있다. 일례로서, 반도체 부품의 생산에 사용되는 기밀 용기를 들 수 있다. 반도체 웨이퍼, 마스킹 유리 기판 등과 같은 반도체 부품의 조립에 사용되는 정밀 기판은, 반도체 장치의 가격 경쟁력이 보다 심화됨에 따라 반도체 기판의 생산 수율을 향상시키는 것에 의한 가격 감소를 목적으로 하여 정밀 기판의 대 직경화(예컨대, 300㎜ 또는 400㎜ 이상)가 논의되고 또 요구되어 왔다. 동시에, 반도체 회로는 점점 더 미세화 되어 왔다. 예컨대, DRAM(dynamic random access memory)의 설계 규 칙(가공시의 최소 선 폭)은 0.025㎛로부터 0.18㎛ 이하로 변화되어 왔다. 물론, 반도체 기판을 처리하는 공장에서는, 반도체 기판을 운반할 때 기판을 보관하기 위해 사용되는 용기의 높은 청결도가 요구되어 왔다.

그러한 요구에 따르기 위해서, 'SMIF'라 약칭하는 방법이 제안되었다. 이 방법은, 반도체 기판의 제조에 필요한 제한된 국부 공간 내에서 고도의 청결한 환경을 보장하고 또 복수의 반도체 기판을 기밀 용기 내에 청결하게 기밀 상태로 유지하여, 기밀 용기를 몇몇의 청결한 환경 사이에서 반송한다. 이 방법을 실현하기 위해서, 내부에 있는 정밀 기판을 오염시키지 않고 자동적으로 반송할 수 있고 그리고 처리 설비에 직접 접근할 수 있는 기밀 용기의 개발이 진행되고 있다.

도 1 및 도 2에 부분적으로 도시한 바와 같이, 종래의 기밀 용기는, 전방이 개방되어 있는 용기 본체(1)와, 상기 용기 본체(1)의 개구면(9)을 개폐하도록 탈착 가능하게 끼워지는 도어 요소(11)와, 상기 용기 본체(1)와 도어 요소(11) 사이에 개재되어 내부를 청결하게 유지하는 밀봉 요소(20)로 구성되어 있다. 이 밀봉 요소(20)는 원형 단면을 갖는 O 링으로 구성된 압축형(squeeze type) 또는 도 1 및 도 2에 도시된 유형의 것일 수도 있다.

이러한 유형의 밀봉 요소(20)는 각종 유형의 고무 또는 엘라스토머로부터 선택되는 재료의 무한 성형품으로 형성되어 있다. 도면에 도시된 바와 같은 이러한 밀봉 요소(20)는, 요소(11)의 외주측에 형성된 끼워맞춤 유지 홈(fit-holding groove)(16) 내로 끼워지는 변형 가능한 무한부(endless portion)(21)와, 이 무한부(21)의 외주에 가까운 아래쪽에 형성되어 도어 요소(11)에 대한 간극을 형성하는 대략 장방형 단면의 요부(recessed portion)(25)와, 무한부(21)의 외주측의 표면에서 수직으로 돌출되어 용기 본체(1)의 개구면의 내주와 접촉하는 변형 가능한 리브(rib)(26)로 구성되어 있다.

복수의 정밀 기판이 내부에 정렬되고 보관된 상태로 도어 요소(11)가 용기의 개구면(9)에 끼워질 때, 이 밀봉 요소(20), 특히 핀 형상의 단면을 갖는 리브(26) 및 무한부(21)의 일부가 변형됨과 아울러, 요부(25)는 압축력을 조절하여 용기 본체(1)의 개구면을 완전히 밀봉한다.

종래의 기밀 용기에서, 밀봉 요소(20)는 필요한 치수 정밀도 및 필요한 변형성을 부여할 수 없는 고무 또는 엘라스토머의 성형품 만으로 형성되어 있기 때문에, 용기 본체(1)의 개구의 크기가 커짐에 따라, 밀봉 요소(20)를 개구면의 내주와 균일하게 접촉시켜 밀봉 유폐(hermetic confinement)하기가 극히 어렵다. 특히, 밀봉 요소는, 상이한 2 방향으로의 압력 및 그것의 치수 오차로 인해, 용기 본체(1)의 개구면(9)의 모서리에서 그의 밀봉 성능의 현저한 저하가 나타난다.

전술한 문제는 밀봉 요소(20)가 받는 압축량을 크게 하는 것에 의해 해결될 수 있다. 그러나, 도어 요소(11)를 개폐하기 위한 장치의 사양을 표준화하면, 이 장치 및 기밀 용기를 보호하기 위해, 도어 요소(11)의 개폐 장치에 작용하는 압축력은 그의 상한치가 제한된다. 따라서, 밀봉 요소(20)의 반발력이 이 상한치를 초과하면, 밀봉 요소(20)의 반발력은 도어 요소(11)의 개폐장치에 필요한 것보다 큰 부하를 가하여, 도어 요소(11)의 조작을 중단할 위험을 초래할 것이다. 도 1에 도시된 유형의 밀봉 요소(20)는 리브(26)를 통해 그의 밀봉 기능을 발휘하지만, 이 리브(26)는 내부 또는 외부로 절곡될 수 있고 변형 방향이 대부분 불분명하므로, 리브(26)가 예상 방향과 반대 방향으로 절곡되면, 그 부분의 밀봉성은 고르지 않게 될 수도 있다.

또한, 국소 환경에서는, 각 처리 단계 마다 정밀 기판이 기밀 용기로부터 로딩되어야 하므로, 기밀 용기의 도어 요소(11)는 반복적으로 개폐될 것이다. 따라서, 밀봉 요소(20)는 반복적인 개폐 동작으로 인해 적절한 위치로부터 이동할 수도 있고 또 용기 본체(1)와 도어 요소(11)의 끼워맞춤 유지 홈(16) 사이에 강하게 압착되어 필요 이상으로 변형되는 일이 빈번하게 발생한다. 또한, 용기 본체(1)의 개구면(9)이 도어 요소(11)로 폐쇄될 때, 예상되는 밀봉성이 달성되지 않거나 밀봉 요소(20)의 국소 마찰로 인해 수지 분말 또는 입자가 발생하여, 그 내부의 정밀 기판이 오염되는 다른 문제도 있다.

또한, 기밀 용기를 청결하게 유지하기 위해 세정할 때, 종래의 밀봉 요소(20)는 용기 본체(1) 또는 도어 요소(11)에 끼워진 상태로 세정된다. 그러나, 도 1에 도시된 유형의 밀봉 요소를 사용하는 경우, 요부(25)가 잘 세정될 수 없기 때문에 밀봉 요소가 충분히 세정되지 않을 뿐만 아니라, 물방울(W)이 잔존할 수도 있는 위험이 있다. 따라서, 이러한 유형의 밀봉 요소는 청정성 및 배수성이 불량하고, 건조 시간이 매우 길게 소모된다.

본 발명은 전술한 것에 감안하여 발명된 것으로, 본 발명의 목적은, 기밀 용기의 밀봉 요소에 있어서, 용기 본체의 개구면의 내주가 실질적으로 균일하게 밀봉될 수 있고, 도어 요소의 자동 개폐 작용을 중단하지 않고 그리고 반복된 개폐 작용으로 인한 밀봉성의 저하 없이 물품의 오염을 방지할 수 있고, 용기 본체 또는 도어 요소와 함께 세정할 때에도 완전히 세정할 수 있고, 청정성 및 배수성이 우수하고 그리고 건조에 필요한 시간을 줄일 수 있는, 기밀 용기의 밀봉 요소를 제공하는 것이다. 또한, 본 발명은 밀봉 요소를 갖는 기밀 용기 및 그의 밀봉 방법도 제공한다.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 다음과 같이 구성되어 있다:

본 발명의 제 1 실시예에 따르면, 끼워지는 요소(fitted element)의 개구면과 끼우는 요소(fitting element) 사이에 개재되어 내부로부터의 누출 및 외부로부터의 침입을 방지하도록 탄성 변형 가능한 밀봉 요소는, 무한부와, 이 무한부의 외주로부터 외향으로 대략 비스듬하게 돌출한 가요성 돌출부와, 무한부의 표면 및 배면 중 적어도 하나에 형성된 노치 또는 돌기를 갖는 끼워맞춤 수단(fitting means)을 포함한다.

본 발명의 제 2 실시예에 따르면, 상기 제 1 형상을 갖는 밀봉 요소에 있어서, 돌출부의 말단부에 둥근 돌기가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제 3 실시예에 따르면, 상기 제 1 형상을 갖는 밀봉 요소에 있어서, 끼워맞춤 수단은 복수의 끼워맞춤 리브를 포함하고 있고, 복수의 끼워맞춤 리브 중에서, 끼워지는 요소의 개구면 또는 끼우는 요소상에 형성된 끼워맞춤 보지부의 입구측에 가장 가깝에 위치된 끼워맞춤 리브의 높이는 끼워맞춤 보지부의 내부측에 위치된 끼워맞춤 리브의 높이 보다 높은 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제 4 실시예에 따르면, 상기 제 2 형상을 갖는 밀봉 요소에 있어서, 끼워맞춤 수단은 복수의 끼워맞춤 리브를 포함하고 있고, 복수의 끼워맞춤 리브들 중에서, 끼워지는 요소의 개구면 또는 끼우는 요소상에 형성된 끼워맞춤 보지부의 입구측에 가장 가깝게 위치한 끼워맞춤 리브의 높이는 끼워맞춤 보지부의 내부측에 위치한 끼워맞춤 리브의 높이 보다 높은 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제 5 실시예에 따르면, 상기 제 1 형상을 갖는 밀봉 요소에 있어서, 상기 돌출부는 압축 방향의 내향으로 만곡되어, 상기 돌출부의 만곡부가 상기 끼워지는 요소의 접촉면 또는 끼우는 요소의 접촉면과 접촉하게 되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제 6 실시예에 따르면, 상기 제 2 형상을 갖는 밀봉 요소에 있어서, 상기 돌출부가 압축 방향의 내향으로 만곡되어, 상기 돌출부의 만곡부가 끼워지는 요소의 접촉면 또는 끼우는 요소의 접촉면과 접촉하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제 7 실시예에 따르면, 상기 제 3 형상을 갖는 밀봉 요소에 있어서, 상기 돌출부는 압축 방향의 내향으로 만곡되어, 상기 돌출부의 만곡부가 끼워지는 요소의 접촉면 또는 끼우는 요소의 접촉면과 접촉하게 되는 것을 특징으로 한 다.

본 발명의 제 8 실시예에 따르면, 상기 제 4 형상을 갖는 밀봉 요소에 있어서, 돌출부는 압축 방향의 내향으로 만곡되어, 상기 돌출부의 만곡부가 상기 끼워지는 요소의 접촉면 또는 끼우는 요소의 접촉면과 접촉하게 되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제 9 실시예에 따르면, 기밀 용기는, 개구면을 갖는 용기 본체와, 이 용기 본체의 개구면에 탈착 가능하게 끼워지는 도어 요소와, 개구면과 도어 요소의 사이에 개재된 탄성 변형 가능한 밀봉 요소를 포함하며, 끼워맞춤 보지부는 용기 본체의 개구면의 내주 또는 도어 요소의 외주에 노치를 형성하는 것에 의해 형성되고, 상기 밀봉 요소는, 끼워맞춤 보지부 내로 끼워질 무한부와, 이 무한부로부터 용기 본체의 개구면에 대해 외향으로 비스듬하게 돌출하여 그 자체와 상기 도어 요소의 접촉면 또는 상기 용기 본체의 개구면의 접촉면 사이에 실질적으로 예각을 형성하는 가요성 돌출부와, 무한부의 표면 또는 배면 중 적어도 하나에 형성되고 끼워맞춤 보지부의 구분된 내벽과 접촉하도록 끼워지는 끼워맞춤 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제 10 실시예에 따르면, 상기 제 9 형상을 갖는 기밀 용기에 있어서, 상기 기밀 용기는 플루오르화 고무 조성물을 사용하여 형성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제 11 실시예에 따르면, 개구면과, 용기 본체의 개구면에 탈착 가능하게 끼워질 도어 요소와, 상기 용기 본체의 개구면의 내주 또는 상기 도어 요소 의 외주에 노치를 형성하는 것에 의해 형성되는 끼워맞춤 보지부와, 상기 끼워맞춤 보지부에 끼워지고 용기 본체와 도어 요소 사이에 개재되는 탄성 변형 가능한 밀봉 요소를 구비하는 용기 본체를 사용하여, 기밀 용기를 밀봉하는 방법에 있어서, 상기 밀봉 요소는 상기 끼워맞춤 보지부에 끼워질 무한부와, 상기 무한부로부터 연장된 가요성 돌출부와, 끼워맞춤 수단으로 구성되어 있고, 상기 끼워맞춤 수단은 상기 무한부의 표면 및 배면 중 적어도 하나에 형성되고 끼워맞춤 보지부의 구분된 내벽과 접촉하도록 끼워지는 노치 또는 돌기를 구비하며, 상기 밀봉 요소의 돌출부는 용기 본체의 개구면에 대해 외향으로 대략 비스듬하게 연장되어, 상기 도어 요소가 폐쇄될 때, 그 자체와 도어 요소의 접촉면 또는 용기 본체의 개구면의 접촉면 사이에 실질적으로 예각을 형성하고, 상기 밀봉 요소의 돌출부는 상기 용기 본체의 개구면에 대해 외향으로 굴곡되어 밀봉을 형성하는 것을 특징으로 한다.

다음에, 본 발명의 효과를 설명할 것이다.

먼저, 본 발명에 따르면, 파이프, 카세트, 박스, 기계 부품, 운송 요소, 용기 등과 같은 끼워지는 요소의 개구면이 기계 부품, 도어 요소 등과 같은 끼우는 요소로 폐쇄되는 경우, 밀봉 요소는 그 밀봉 요소의 돌출부가 무한부의 외주로부터 외부를 향하는 방식으로 끼워지는 요소 또는 끼우는 요소상에 형성된 끼워맞춤 유지 홈 등의 끼워맞춤 보지부 내에 끼워진다. 그 다음, 끼우는 요소가 끼워지는 요소의 개구면에 끼워지는 것과 동시에, 밀봉 요소의 돌출부는 끼워지는 요소의 개구 면에 대해 외측으로 비스듬하게 설정되어, 돌출부 또는 그의 연장부와 끼워지는 요소의 개구면의 접촉면 또는 끼우는 요소의 접촉면 사이에 실질적으로 예각을 형성한다. 이러한 배치에서, 끼울 때, 끼워지는 요소의 개구면은, 밀봉 요소의 돌출부를 끼워지는 요소의 개구면에 대해 외측으로 변형시키는 것에 의해 끼우는 요소에 의해 적절하게 밀봉될 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 내주 또는 외주 구역에서 무한부의 표면상에 하나 이상의 끼워맞춤 리브가 형성되어 있는 경우, 유지력을 분산시키는 것이 가능하다. 따라서, 하나의 리브 만이 제공되는 구성에 비해 각 리브 마다의 보유력이 작게 설정될 수 있다. 따라서, 압축될 리브의 가장자리가 감소되어 용이한 부착을 허용할 수 있다. 또한, 밀봉 요소는 끼워맞춤 보지부 내로 끼워지기 쉬우면서도 밀봉도가 향상된다.

또한, 본 발명에 따르면, 내부에 물품이 보관된 용기 본체의 개구면이 도어 요소로 폐쇄될 때, 밀봉 요소는 그 밀봉 요소의 돌출부가 외향으로 수직으로 향하는 방식으로 용기 본체 또는 도어 요소의 끼워맞춤 보지부에 끼워진다. 그 다음, 도어 요소가 용기 본체의 개구면에 끼워지는 것과 동시에, 밀봉 요소의 돌출부는 용기 본체의 개구면에 대해 외향으로 비스듬하게 설정되어, 돌출부 또는 그의 연장부와 용기 본체의 개구면의 접촉면 또는 도어 요소의 접촉면 사이에 실질적인 예각을 형성한다. 이러한 배치에서, 끼워질 때, 용기 본체의 개구면은, 밀봉 요소의 돌출부를 용기 본체의 개구면에 대해 외측으로 변형시키는 것에 의해 도어 요소로 기밀상태로 밀봉될 수 있다.

마지막으로, 본 발명에 따르면, 밀봉 요소가 플루오르화 고무 조성물로 형성되어 있기 때문에, 밀봉 요소는 높은 치수 정밀도로 형성될 수 있고, 비교적 쉽게 변형될 수 있다. 또한, 플루오르화 고무 조성물에 대해 일반적으로 우수한 내열성과, 내유성과, 밀봉 요소에 대한 내약품성을 제공하는 것이 가능하다. 유기 성분의 증발량은 매우 작기 때문에, 이것은 보관된 물품이 오염되는 것을 방지할 수 있다.

여기서, 본 발명의 설명에서 대략 비스듬하게 연장된 돌출부는 정확히 비스듬하게 연장된 것과 대략 비스듬하게 연장된 것을 포함할 수도 있다. 이 말은 만곡부가 부분적으로 포함될 수도 있다는 것을 의미한다. 여기서 설명하는 만곡부는 정확히 원형 단면을 갖는 돌기 및 대략 원형 단면을 갖는 돌기를 포함할 수도 있다. 끼워맞춤 리브는 3각형, 반원형, 반 타원형, 반 계란형, 사다리꼴 단면 또는 기타의 단면 형상을 갖도록 형성될 수도 있다. 하나 또는 복수의 끼워맞춤 리브가 적절하게 제공될 수도 있다. 여기에 설명하는 실질적인 예각은 정확히 규정된 예각 및 예각과 유사한 형상을 포함할 수도 있다. 용기 본체의 개구면은 상부 또는 임의의 측면상에서 전방에 배열될 수도 있다. 도어 요소는 개구면의 형상과 일치하는 대략 장방형, 대략 원형, 대략 타원형 또는 임의의 다른 형상으로 형성된다. 또한, 기밀 용기의 주 내용물은 반도체 웨이퍼, 마스킹 유리 기판, 액정 셀, 기록 매체 등이지만, 그것들에 한정되지 않아야 한다. 예컨대, 가정용품, 기계 부품, 전기 및 전자 부품, 반 환경 물품 등과 같은 다양한 종류의 물품이 단독으로 또는 복수로 보관될 수도 있다.

이제, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명할 것이다. 제 1 실시예의 기밀 용기는 도 3 내지 도 8에 도시된 바와 같이 구성되는 바, 대략 장방형의 도어(또는 덮개)(11)가 전방 개방 박스형 용기 본체(1)의 개구면(9)에 탈착 가능하게 끼워지고, 탄성변형 가능한 무한 밀봉 요소[또는 시일 부재(seal member)](20)가 그 사이에 개재되어 기밀 유폐를 달성하도록 되어 있다.

도 3에 도시된 바와 같이, 용기 본체(1)는 폴리카보네이트, 폴리프로피렌 등의 합성 수지로 구성된 불투명한 또는 투명한 대략 입방형 주조품으로 형성되어, 복수의 원형 정밀 기판(2)을 사전설정된 피치로 수직으로 배열하여 수납한다. 이 용기 본체(1)의 저면에는 V형 홈이 형성되어 있는데, 이 V형 홈은 전방의 양쪽과 후방의 중앙에서 돌출하여 형성되고 그리고 도시되지 않은 정밀 기판 처리설비에 대해 위치설정 수단으로서 기능한다. 판모양의 바닥판(3)이 이 V형 홈에 부착되고 그에 의해 탈착 가능하게 지지된다. 이 바닥판은 상부로부터 볼 때 대략 Y자 형상으로 성형되고, 전방의 좌우에 배열된 2개의 포크형 아암과, 후방의 중앙으로 연장된 하나의 아암으로 이루어져 있다. 각 아암은 대응하는 V형 홈과 결합하도록 형성된 안내부(4)를 구비하고 있다.

상기 도면에 도시된 바와 같이, 측면 레일(5) 및 수동 핸들(6)과 같은 별개의 부품이 용기 본체(1)의 좌우 측면에 탈착 가능한 방식으로 선택적으로 부착될 수 있다. 또한, 도시되지 않은 컨베이어 로봇에 의해 지지될 로보틱 플랜지(7)가 용기 본체(1)의 상부의 중앙에 탈착 가능한 방식으로 선택적으로 장착될 수도 있다. 용기 본체(1)의 내측의 좌우 양쪽에 한 쌍의 랙형 보지부(8)가 일체식으로 또는 탈착 가능하게 형성되고, 이 보지부(8) 사이에 복수의 정밀 기판(2)이 사전설정된 피치로 수평으로 서로 정렬되어 배치된다. 도 7에 도시된 바와 같이, 용기 본체(1)의 개구면(9)은 용기의 외부를 향해 외측으로 점차 확산된 계단형으로 형성되어, 도어 요소(11)가 폐쇄될 때 그 도어 요소(11)가 원활하게 안내되고 신속하게 끼워질 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 용기 본체(1)의 개구면(9)의 내주에는 상측 및 하측 양쪽에서 좌우에 결합 구멍(10)이 오목하게 형성되어 있다.

도 3에 도시된 바와 같이, 도어 요소(11)는 그 사이에 간격을 두고 서로 대향하여 끼워지는 내측판(12) 및 외측판(13)으로 이루어져 있다. 래치 기구(14)가 이들 내측판(12)과 외측판(13) 사이에 내장되어 있어, 도어 요소(11)가 용기 본체(1)에 끼워질 때, 이 래치 기구(14)가 돌출 가능한 결합 클로(claw)(15)를 각 결합 구멍(10) 내로 돌출시켜 기밀 용기의 내부에 기밀 상태를 확보한다. 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 도어 요소(11)의 외주측에 오목한 무한 끼워맞춤 유지 홈(또는 끼워맞춤 보지부)(16)이 형성되어 있는 한편, 도 3에 도시된 바와 같이 외주의 상측 및 하측 양쪽의 좌우에 결합 클로(15)용의 통과 구멍(17)이 형성되어 있다. 랙 형상의 리테이너(rack-like retainer)(18)가 내측판(12)상에 탈착 가능하게 장착되어, 복수의 정밀 기판(2)의 전방 테두리를 탄성적으로 지지한다. 래치 기구(14)용의 한 쌍의 조작 키홀(keyhole)(19)이 외측판(13)의 좌우 양쪽에 형성되어 있다.

밀봉 요소(20)는 열가소성 엘라스토머, 플루오르화 고무, EPDM, NBR 등을 사용하여 약 A60/S 내지 A90/S(JIS K 6253에 기초하여 측정함)의 경도를 갖는 주조품으로 형성되어 있다. 이러한 밀봉 요소(20)의 원료로서는, 가열 중에 소량의 유기 가스성분이 발생하고 그리고 정밀 기판(2)에 대한 악영향이 적기 때문에 플루오르화 고무가 가장 바람직하다. 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 밀봉 요소(20)는, 끼워맞춤 유지 홈(16) 내로 끼워질 대략 장방형 단면을 갖는 무한부(21)와; 이 탄성 변형가능한 무한부(21)의 외측에서 전체의 외주 모서리로부터 외측을 향해 돌출하거나 또는 용기 본체(1)의 개구면을 향해 외측으로 비스듬하게 돌출하여, 그 자체와 용기 본체(1)의 개구면(9)의 접촉면 사이에 실질적인 예각을 형성하는 돌출부(22)와; 상기 무한부(21)의 내주에 가까운 표면상에 나란히 돌출하여 형성되어 끼워맞춤 유지 홈(16)의 구분된 내벽(16a)과 압축 접촉하는 한 쌍의 탄성 변형가능한 끼워맞춤 리브(또는 끼워맞춤 수단)(23)로 구성되어 있다.

도 4에 도시된 바와 같이, 무한부(21)는 기본적으로 4개의 둥근 모서리를 갖는 프레임 형상으로 형성되어 있다. 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 돌출부(22)는 기단부로부터 말단부를 향해 점차 좁아지도록 대략 3각형 단면을 갖는 테이퍼진 형태로 형성되어 있다. 상세히 설명하면, 돌출부의 길이는 무한부(21)의 폭의 0.5 내지 3배로, 보다 바람직하게는 0.2 내지 2 배로 설정되어 있다. 이 돌출부(22)가 양호한 반발력을 제공하도록 하기 위해서, 기단부의 두께는 0.4 내지 2㎜로 형성되고, 말단부의 두께는 기단부의 두께의 50 내지 80%로 설정된다. 돌출부(22)는 비스듬하게 연장되어 있다. 돌출부(22)의 경사 각도는 무한부(21)의 외 주로부터 용기 본체(1)의 개구부(9)까지의 선에 대해 10°내지 70°, 바람직하게는 25°내지 45°의 범위 내에 속하도록 설정된다.

상기 도면에 도시된 바와 같이, 각 끼워맞춤 리브(23)는 반원형 단면을 갖고 또 끼워맞춤 유지 홈(16)의 폭 보다 약 1 내지 25% 정도 더 높게 형성된다. 무한부(21)가 끼워맞춤 유지홈(16) 내로 끼워질 때, 높이의 1 내지 25%가 압축되어 끼워맞춤 유지 홈(16)의 내부 공간 내에 끼워져, 밀봉 요소의 확고한 부착을 보장한다.

이와 관련하여, 도 5에 도시된 바와 같이 위치설정하기 위한 수직 벽을 갖는 수직 벽 또는 돌기(27)가 밀봉 요소(20)의 내벽에 형성되어야 한다. 이러한 돌기(27)는 밀봉 요소(20)를 끼워맞춤 유지 홈(16)의 내부에 정확히 위치시키는 것을 가능하게 한다. 유지 및 위치설정 기구에 의해, 밀봉 요소(20)가 끼워맞춤 유지 홈(16)의 내부에 정확히 부착되는 한편, 그것의 이동이 억제될 수 있어, 끼워맞춤 유지 홈(16)을 바람직한 방식으로 밀봉하는 것이 가능하다.

상기 구성에 있어서, 복수의 정밀 기판(2)이 내부에 정렬 수납된 용기 본체(1)의 개구면이 도어 요소(11)로 폐쇄될 때, 밀봉 요소(20)는 도어 요소(11)의 끼워맞춤 유지 홈(16)내에 미리 끼워져 있으므로, 밀봉 요소(20)의 돌출부(22)는 외주로부터 외측을 향한다.

장치가 상기 방식으로 준비된 후에, 용기 본체(1)와 도어 요소(11) 사이에 밀봉 요소(20)가 유지되고 밀봉 요소(20)의 돌출부(22)가 용기 본체(1)의 개구면에 대해 외향으로 경사짐으로써, 돌출부(22) 또는 그의 연장부와 용기 본체(1)의 개구 면(9)의 접촉면 사이에 실질적으로 예각을 형성하는 방식으로, 도어 요소(11)가 정밀 기판 처리장치에 의해 용기 본체(1)의 개구면(9)에 끼워진다(도 7 참조). 그 다음, 래치 기구(14)가 정밀 기판 처리 장치에 의해 결합됨에 따라, 밀봉 요소(20)의 돌출부(22)는 용기 본체(1)의 개구면에 대해 외향으로 굴곡되어(도 8 참조), 도어 요소(11)로 용기 본체(1)의 개구면(9)을 기밀상태로 밀봉하는 것이 가능하다.

이러한 방법으로, 밀봉 요소(20)의 돌출부(22)는 도어 요소(11)의 부착 방향(도 8의 수직 방향)으로 압축되지 않고 용기 본체(1)의 개구면에 대해 외측으로 절곡된다. 따라서, 도어 요소를 끼울 때 부하를 대폭 감소시킬 수 있다. 또한, 이러한 배치는 용기 본체(1)와 도어 요소(11)의 원활한 끼워맞춤과, 도어 요소(11)가 개폐될 때의 불편의 감소에도 기여한다.

상기 구성에 따르면, 밀봉 요소(20)는 플루오르화 고무를 사용하여 간단한 형상으로 성형될 수 있으므로, 밀봉 요소를 고 정밀도 및 고 융통성으로 형성할 수 있다. 따라서, 이러한 구성에 의해, 밀봉 요소(20)를 용기 본체(1)의 개구면의 내주와 균일하게 접촉시키는 것이 매우 간단하게 되고 필요한 밀봉이 확립된다. 본 발명에 있어서, 밀봉 요소(20)의 일부로서의 돌출부(22)는 3각형 단면을 갖는 테이퍼진 형상으로 형성되어 있으므로, 밀봉 요소는 적은 압축으로 변형될 수 있고 또 그것의 외측으로의 경사에 의해 적절한 반발력을 얻을 수 있다. 따라서, 예컨대 용기 본체(1)의 개구면(9)의 모서리에서도 밀봉성의 현저한 저하가 발생하지 않을 것이다.

또한, 밀봉 요소(20)가 크게 압축될 필요가 없으므로, 밀봉 요소(20)의 반발 력에 의해 도어 요소(11)의 개폐장치상에 과도한 부하가 작용할 위험이 없고, 도어 요소(11)가 조작될 때 임의의 중단을 효과적으로 해소하는 것이 가능하다. 돌출부(22)는 외측으로 경사져 연장되어 있으므로, 돌출부(22)는 내측 또는 외측으로 변형되지 않을 것이다. 따라서, 돌출부(22)가 역방향으로 굴곡되는 것을 방지할 수 있고, 그 부분에 발생하는 밀봉의 불규칙성을 방지할 수 있다.

기밀 용기의 내부와 외부 사이에 압력차가 발생하는 경우에도 양호한 밀봉을 제공할 수 있다. 예컨대, 기밀 용기의 내부 압력이 온도 변화 또는 어떤 다른 이유로 인해 외부 압력보다 높아지면, 내부의 공기가 외부로 이동한다. 이 경우, 돌출부의 굴곡을 줄이는 방향으로 돌출부(22)상에 내부 압력이 작용하여, 공기가 외부로 쉽게 방출되고 비교적 단기간내에 압력차가 해소될 수 있다. 이 경우, 내부 공기가 용기 본체(1)로부터 외부로 흐르기 때문에, 용기 본체(1)의 내부가 오염될 우려가 없다. 반대로, 기밀 용기상에 외부에서 고압이 작용하여, 공기, 오염물질 등이 용기 본체(1) 내로 침입하려고 하는 경우, 돌출부(22)가 굴곡 방향으로 더욱 압축되고 밀봉성이 향상되어, 외부 공기가 내부에 침입하는 것을 어렵게 한다. 따라서, 외부 공기(도 8의 화살표 참조)가 용기에 침입하여 오염물질이 정밀 기판(2)에 침입하는 것을 확실하게 방지할 수 있다.

또한, 밀봉 요소는 끼워맞춤 유지 홈(16)의 구분된 내벽(16a)에 대해 압축된 한 쌍의 끼워맞춤 리브(23)에 의해 위치설정되어 빠져나가기 어렵기 때문에, 도어 요소(11)의 개폐 작용이 빈번하게 반복되는 경우에도 밀봉 요소(20)가 적절한 위치로부터 이동하지 않을 것이다. 따라서, 용기 본체(1)와 도어 요소(11)의 끼워맞춤 유지 홈(16) 사이에서 압축으로 인한 밀봉 요소(20)의 과도한 변형에 의해, 밀봉성의 손상에 의해, 또는 밀봉 요소(20)의 국소 마찰로 인한 수지 분말 또는 입자의 생성에 의해 정밀 기판(2)이 오염될 우려가 없다. 또한, 기밀 용기를 청정하게 유지하기 위해서, 밀봉 요소(20)를 용기 본체(1) 또는 도어 요소(11)상에 끼운 상태로 세정하는 경우, 어떠한 물방울(W)도 남기지 않고 밀봉 요소를 완전히 세정할 수 있다. 왜냐하면, 밀봉 요소(20)의 노출된 구역에 요부(25)와 같은 오목한 부분이 없기 때문이다. 따라서, 청정성 및 배수성을 향상시킬 수 있고, 건조 시간을 대폭 줄일 수 있다.

그 다음, 도 9는 본 발명의 제 2 실시예를 도시한 것이다. 이 경우에, 용기 본체(1)의 개구면(9)의 밀봉 요소(20)와의 접촉부(9a)는 개구를 향해 볼록하게 형성되어 있는 한편, 가요성 돌출부(22)는 무한부(21)의 외주에 가까운 표면으로부터 외향으로 비스듬하게 돌출되어 있다. 용기 본체(1)의 접촉부(9a)는 개구면(9)의 계단형부 근처에서 부분적으로 만곡된 형태로 형성되어 있어, 절곡될 때 돌출부(22)의 만곡된 형상과 일치한다. 도어 요소(11)가 폐쇄될 때, 이 접촉부는 대체로 돌출부(22)의 기단부에 대항한다. 돌출부(22)는 직선으로 또는 약간 만곡되어 돌출하도록 형성될 수도 있다. 다른 부분들은 상기 실시예와 동일하므로 설명은 생략한다.

이 실시예에 의하면, 상기 실시예와 동일한 작용 효과를 기대할 수 있다. 또한, 용기 본체(1)의 접촉부(9a)는 변형될 때 돌출부(22)의 만곡된 형상에 끼워지고 그것을 안내하므로, 밀봉 요소(20)에 외부 압축력이 작용하는 경우에도 돌출 부(22)를 안내하여 정확한 방향으로 변형시킬 수 있다. 그 결과, 이러한 구성은 더욱 향상된 밀봉성과 정밀 기판(2)의 오염 방지를 제공할 수 있다는 것이 명백하다.

그 다음, 도 10은 본 발명의 제 3 실시예를 도시한 것이다. 이 경우에, 가요성 돌출부(22)가 무한부(21)의 내주로부터 돌출되고 낚싯바늘형 부분을 갖도록 만곡되며 외향으로 경사져 연장되도록 접히는 한편, 무한부(21)의 표면의 외주에 가까운 곳에 한 쌍의 끼워맞춤 리브(23)가 나란히 형성되어 있다. 다른 부분들은 상기 실시예들과 동일하므로 그 설명은 생략한다.

또한, 이 실시예에 의하면, 상기 실시예들과 동일한 작용 효과를 기대할 수 있다. 또한, 상기 제 1 및 제 2의 구성을 사용할 수 없는 경우에 이러한 구성이 특히 효과적이다.

다음, 도 11은 본 발명의 제 4 실시예를 도시한 것이다. 이 경우에, 대략 L자 형상의 부분을 갖는 구획 벽을 형성하는 것에 의해 용기 본체(1)의 개구면의 내주에 끼워맞춤 유지 홈(16)이 오목하게 형성되어 있다. 따라서, 밀봉 요소(20)가 요부, 즉 끼워맞춤 유지 홈(16) 내에 끼워진다. 다른 부분들은 상기 실시예들의 것과 동일하므로 그 설명은 생략한다.

또한, 이 실시예에 의하면, 상기 실시예들과 동일한 작용 효과를 기대할 수 있다. 또한, 이러한 구성은 상기 제 1, 제 2 및 제 3의 구성을 사용할 수 없는 경우에 특히 효과적이다.

다음, 도 12 내지 도 15는 본 발명의 제 5 실시예를 도시한 것이다. 이 경 우에, 가요성 돌출부(22)는 무한부(21)의 외측의 전체의 외주 모서리로부터 약간 만곡되어 비스듬하게 돌출되어 있다. 이러한 돌출부(22)의 말단부에 원형 돌기(28)가 일체로 형성되어 있는 한편, 서로 상이한 경사도를 갖는 실질적인 3각형 단면을 갖는 한 쌍의 끼워맞춤 리브(23a, 23b)가 무한부(21)의 내주에 가까운 표면상에 돌출 형성되어 있다.

돌출부(22)는 용기 본체(1)의 개구면을 향해 3 내지 10㎜의 곡률 반경(R)으로 만곡 형성되어 있다. 원형 돌기(28)는 0.3 내지 0.8㎜ 범위의 곡률 반경(R)으로 형성되는 것이 바람직하다. 끼워맞춤 리브(23a, 23b)는 도 12 및 도 15에 도시된 바와 같이 표면으로부터 내측을 향해 경사면을 갖도록 형성되어 있다. 무한부(21)의 표면 내측에 위치한 끼워맞춤 리브(23a)는 작은 높이(예컨대, 0.8㎜)로 돌출 형성되는 한편, 무한부(21)의 표면 외측에 위치한 끼워맞춤 리브(23b)는 높게 돌출 형성된다. 다른 부분들은 상기 실시예들과 동일하므로 그 설명은 생략한다.

또한, 이 실시예에 의하면, 상기 실시예들과 동일한 작용 효과를 기대할 수 있다. 또한, 돌출부(22)의 말단부에는 성형하기 어려운 직선형의 나이프 연부를 형성하지 않고 팽창하여 형성되어 있어, 성형 공정을 현저히 단순화할 수 있다. 돌출부(22)의 말단부에 둥근 돌기(28)가 형성되어 있으므로, 용기 본체(1)와 반복적으로 접촉하는 밀봉 요소(20)의 말단부로부터의 입자 발생을 줄일 수 있다.

또한, 도 14에 도시된 바와 같이, 돌출부(22)가 압축방향에 대해 내향으로 만곡되어 이러한 만곡된 형상을 따라 변형될 것이므로(도면 중 화살표 참조), 용기 본체(1)와의 마찰 저항을 현저히 감소시킬 수 있다. 이것에 의해, 도어 요소가 개 폐될 때 저항을 줄일 수 있고, 적은 압축력으로 신뢰할만한 밀봉을 제공할 수 있어, 도어 요소(11)의 개폐에 따른 불편을 현저히 효과적으로 억제할 수 있다. 또한, 도 15에 도시된 바와 같이, 조립시에 내측 또는 안쪽에 위치한 끼워맞춤 리브(23a)가 낮게(h1) 형성되고 조립시에 외측에 또는 개구 가까이에 위치한 끼워맞춤 리브(23b)가 높게(h2) 형성되기 때문에, 밀봉 요소(20)는 조립할 때 끼워맞춤 유지 홈(16) 내에 원활하게 끼워질 수 있다.

또한, 도 15에 도시된 바와 같이, 끼워맞춤 리브(23a, 23b)는 그들의 각도(29a, 29b)가 29a<29b의 관계로 대략 3각형으로 돌출된다. 따라서, 일단 밀봉 요소가 도어 요소(11)에 끼워지면, 각 모서리의 끝은 끼워맞춤 홈(16)의 개구측을 향해 경사지고 벽에 접촉함으로써, 밀봉 요소가 빠져나가지 않게 한다. 따라서, 이러한 구성은 사용하는 동안 밀봉 요소가 변위되지 않게 하는 구조를 제공한다.

상기 실시예의 내측 도어 요소(11)에 래치 기구(14)가 내장되어 있지만, 이 래치 기구(14)는 클램프, 지지장치 등의 다른 결합 기구로 대체될 수 있다. 또한, 상기 실시예에서는 프레임 형상의 밀봉 요소(20)를 도시하였지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않아야 한다. 예컨대, 밀봉 요소(20)는 중공의 원형, 타원형 및 다각형 등의 다른 형상으로 형성될 수도 있다. 무한부(21)는 대략 장방형 단면 대신에 대략 타원형 단면 또는 다른 형상을 가질 수도 있다. 또한, 구분된 벽(16a)의 끼워맞춤 홈(16) 내측에 하나 이상의 돌기가 형성되는 것과 동시에, 무한부(21)의 표면의 내측 및/또는 외측에 하나 이상의 노치가 결합 수단으로서 형성되어 이들 돌기 및 노치가 서로 결합할 수도 있다.

도 16은 본 발명의 제 6 실시예를 도시한 것이다. 이 경우에, 돌출부(22)는 무한부(21)의 전체 외주측으로부터 수평방향으로 돌출되고 상측으로 연장되어, 만곡부를 형성한다. 돌출부의 말단부에 원형 돌기가 팽창되어 형성되어 있다. 상이한 경사도를 갖는 대략 3각형 단면의 한 쌍의 끼워맞춤 리브(23a, 23b)가 무한부(21)의 내측 표면상에 나란히 돌출 형성되어 있다.

무한부의 외주상의 임의의 위치에 수평부가 형성될 수 있다. 돌출부의 수평부의 길이는 1 내지 8㎜ 이고, 바람직하게는 1 내지 5㎜인 한편, 만곡부는 1 내지 4㎜의 곡률 반경(R), 바람직하게는 1.5 내지 3㎜의 곡률 반경(R)을 갖도록 단부 위에 옆으로 형성되어 있다. 또한, 원형 돌기가 만곡부의 말단부에서 0.3 내지 0.8㎜의 곡률 반경(R)으로 팽창하여 형성되어 있다.

또한, 이 경우에, 돌출부의 말단부는 무한부의 외주측으로부터 비스듬하게 연장된 위치에 위치하므로, 제 5 실시예와 동일한 효과를 기대할 수 있다.

도 17은 본 발명의 제 7 실시예를 도시한 것이다. 이 경우에, 돌출부(22)는 무한부(21)의 전체의 외주측으로부터 만곡부가 형성된 일단부로 비스듬하게 연장되어 있다. 원형 돌기가 돌출부의 말단부에서 팽창하여 형성되어 있다. 상이한 경사도를 갖는 대략 3각형 단면의 한 쌍의 끼워맞춤 리브(23a, 23b)가 무한부(21)의 내측의 표면상에 나란히 돌출하여 형성되어 있다. 이 경우에, 돌출부는 무한부로부터 상향으로 20°내지 60°, 바람직하게는 20°내지 45°의 각도로 경사져 연장되고, 제 6 실시예와 유사한 방식으로 말단부에 원형 돌기를 갖는 만곡부가 연속적으로 형성되어 있다.

또한, 비스듬하게 연장된 돌출부는 그의 기단부측에 0.6 내지 1.5㎜의 실질적으로 균일한 두께를 가질 수도 있다. 돌출부는 말단을 향해 점차 좁아지도록 형성되는 것이 더 바람직하다. 또한, 이 경우에, 돌출부의 말단부는 무한부의 외주측으로부터 비스듬하게 연장된 위치에 배치되므로, 제 5 실시예와 동일한 효과를 기대할 수 있다.

이제, 본 발명의 기밀 용기의 실시예를 비교예와 함께 설명하기로 한다.

(실시예)

1. 기밀 용기의 밀봉성 확인 시험

실시예

도 4 내지 도 6에 도시된 형상으로 형성된 밀봉 요소(20)를 플루오르화 고무를 사용하여 형성하였다. 이 밀봉 요소(20)를 25장의 300㎜ 정밀 기판(실리콘 웨이퍼)(2)을 수납할 수 있는 공정내(in-process) 반송용 기밀 용기에 끼우고, 밀봉성의 확인 시험을 수행하였다.

확인 시험을 도 18에 도시된 방식으로 실행하였다. 구체적으로, 가요성 호스, 즉 관(30)을 배면의 하측 구역에 천공된 통로 구멍을 갖는 용기 본체(1)에 접속하고 이 통로 구멍과 관(30) 사이의 접속부를 실런트(sealant)로 밀봉하였다. 용기 본체(1)의 개구면(9)에, 밀봉 요소(20)가 끼워지는 도어 요소(11)를 끼워 폐쇄하였다. 압력 게이지(31)를 관(30)에 설치하는 것과 동시에, 기밀 용기의 내부를 가압하기 위한 압력 장치(32)와, 기밀 용기 내부의 압력을 감소시키기 위한 펌프를 게이트 밸브를 거쳐 관(30)의 말단에 접속하였다. 그 다음, 기밀 용기 내부 가 가압(+ 2 ×104Pa)된 다음 게이트 밸브(33)를 폐쇄한 경우와, 기밀 용기 내부가 감압(-2 ×104Pa)된 다음 게이트 밸브(33)를 폐쇄한 경우에 대해 압력 변화를 압력 게이지(31)로 측정하여 밀봉성을 확인하였다. 그 결과는 표 1에 도시되어 있다.

비교예

도 1에 도시된 형상으로 형성된 밀봉 요소(20)를 플루오르화 고무를 사용하여 형성하고, 실시예와 동일한 확인 시험을 실행하였다. 그 결과는 표 1에 도시되어 있다.

	-2×10⁴ Pa(감압시)	+2×10⁴ Pa(가압시)
실시예	10분 후 -9×10³ Pa	20초 후 0 Pa
비교예	10분 후 -2×10³ Pa	즉시 0 Pa

2. 밀봉 요소의 반발력의 측정

실시예

밀봉성 확인 시험에 사용된 밀봉 요소(20)로부터 직선 부분의 3㎝ 표본을 절단하고 이 표본이 압축되었을 때 압축량 및 그의 반발력을 정밀 만능 시험기(상표명: 시마즈 주식회사의 제품 오토그래프)로 측정하였다. 그 결과는 표 2에 도시되어 있다.

비교예

상기 실시예와 유사하게, 밀봉성 확인 시험에 사용된 밀봉 요소(20)로부터 직선 부분의 3㎝ 표본을 절단하고, 이 표본이 압축되었을 때 압축량 및 반발력을 정밀 만능 시험기로 측정하였다. 그 결과는 표 2에 도시되어 있다.

	반발력(N/cm)
압축량(㎜)	0.5	1.0	1.5
실시예	0.12	0.19	0.19
비교예	0.94	0.94	1.46

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 용기 본체의 개구면의 내주를 실질적으로 균일하게 밀봉할 수 있다. 또한, 도어 요소의 조작 중에 어떠한 중단도 일으키지 않고 그리고 반복된 개폐 동작으로 인한 밀봉성의 어떠한 손실도 없이 물품의 오염을 방지할 수 있다. 또한, 용기 본체 또는 도어 요소와 함께 세정하는 경우에도, 밀봉 요소를 양호하게 세정하여 청정성 및 배수성을 향상시킬 수 있고 또 건조에 필요한 시간을 감소시킬 수 있다.

도 1은 종래의 기밀 용기 및 그의 밀봉 방법을 도시하는 부분 단면도,

도 2는 도 1에 도시된 밀봉 요소의 변형된 상태를 도시한 부분 단면도,

도 3은 본 발명에 따른 기밀 용기 및 그의 밀봉 방법의 실시예를 도시하는 전개 사시도,

도 4는 본 발명에 따른 밀봉 요소, 기밀 용기 및 그의 밀봉 방법의 실시예에 서 밀봉 요소를 도시하는 정면도,

도 5는 도 4의 Ⅲ-Ⅲ 선을 따라 절단한 단면도,

도 6은 도 4의 Ⅳ-Ⅳ 선을 따라 절단한 단면도,

도 7은 본 발명에 따른 기밀 용기 및 그의 밀봉 방법의 실시예에 있어서, 밀봉 요소가 끼워진 도어 요소가 용기 본체에 끼워맞춤된 상태를 도시하는 부분 단면도,

도 8은 도 7에 도시된 밀봉 요소의 돌출부가 굴곡된 상태를 도시하는 부분 단면도,

도 9는 본 발명에 따른 기밀 용기 및 그의 밀봉 방법의 제 2 실시예를 도시하는 부분 단면도,

도 10은 본 발명에 따른 기밀 용기 및 그의 밀봉 방법의 제 3 실시예를 도시하는 부분 단면도,

도 11은 본 발명에 따른 기밀 용기 및 그의 밀봉 방법의 제 4 실시예를 도시하는 부분 단면도,

도 12는 본 발명에 따른 기밀 용기 및 그의 밀봉 방법의 제 5 실시예를 도시하는 부분 단면도,

도 13은 도 12에 도시된 밀봉 요소를 사용하여 도어 요소를 용기 본체에 끼우는 상태를 도시하는 부분 단면도,

도 14는 도 13에 도시된 밀봉 요소의 돌출부가 변형된 상태를 도시하는 부분 단면도,

도 15는 도 12의 밀봉 요소를 도시하는 부분 확대도,

도 16은 본 발명에 따른 기밀 용기 및 그의 밀봉 방법의 제 6 실시예의 밀봉 요소를 도시하는 단면도,

도 17은 본 발명에 따른 기밀 용기 및 그의 밀봉 방법의 제 7 실시예의 밀봉 요소를 도시하는 단면도,

도 18은 본 발명에 따른 기밀 용기 및 그의 밀봉 방법의 일 실시예를 도시하는 단면도.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1: 용기 본체 2: 정밀 기판

9: 개구면 9a: 접촉부

11: 도어 요소 12: 배면 판

13: 표면 판 16: 끼워맞춤 유지 홈

20: 밀봉 요소 21: 무한부

22: 돌출부 23: 끼워맞춤 리브

27: 돌기 28: 원형 돌기

Claims

정밀 기판(2)의 수납 용기의 개구면(9)과 덮개(11)의 사이에 개재되는 시일 부재(20)를 갖는 밀봉 용기에 있어서,

상기 수납 용기는 개구면(9)과 상기 정밀 기판(2)이 그 사이에 서로 정렬하도록 보지부(保持部)(8)를 갖는 용기 본체(1)를 포함하고,

상기 용기 본체(1)는 상면에 반송용의 로보틱 플랜지(7)를, 저면에는 장치와의 위치 결정용의 V형 홈을 구비하고 있고, 개구부가 계단형으로 경사져 있어 외측으로 서서히 넓어져 개방되며, 직사각형을 한 상기 덮개(11)에 의해 폐쇄되도록 구성되며,

상기 덮개(11)는 상기 개구면(9)을 폐쇄하고, 리테이너(18)는 탄성적으로 상기 정밀 기판(2)의 림(rim)을 보지하고 있고,

상기 용기 본체(1)의 개구면(9) 내주와 상기 덮개(11)의 외주 중 어느 한쪽에 끼워맞춤 보지부(16)를 절결하여 형성하며,

상기 시일 부재(20)는,

상기 끼워맞춤 보지부(16)에 끼워지는 무한부(21)와,

상기 무한부(21)로부터 비스듬하게 바깥 방향으로 돌출하는 굴곡가능한 돌출부(22)와,

상기 끼워맞춤 보지부(16) 내에 압접(press-contact)하고, 상기 끼워맞춤 보지부(16)의 폭보다도 1∼25% 높게 돌출하도록 상기 무한부(21)의 적어도 한쪽의 측 에 형성된 복수의 끼워맞춤 리브(23)를 갖고,

상기 끼워맞춤 리브(23)는 경사가 상이한 삼각형 단면의 돌기이고, 이 돌기의 끼워맞춤 홈의 개구측의 내각(內角)(29b)이 안쪽의 내각(29a)보다도 크게 형성되며,

상기 무한부(21)의 외주로부터 용기의 개구면(9)으로의 선에 대하여, 상기 돌출부(22)의 각도는, 상기 용기 본체(1)를 향하는 방향으로 부하가 더해졌을 때, 상기 시일 부재(20)가 상기 덮개(11)의 부착 방향으로 압축되는 대신에, 상기 덮개(11)의 부착 방향으로 구부러지기만 하도록 형성되어 있는 결과, 상기 돌출부(22)의 만곡부가 상기 용기 본체(1)의 접촉면 또는 상기 덮개(11)의 접촉면에 접촉하도록 선택되어 있고,

상기 용기 본체(1), 상기 덮개(11) 및 상기 돌출부(22)는, 상기 덮개(11)가 폐쇄되고 상기 용기 본체(1)의 내압이 외부보다 높게 되었을 때, 공기가 상기 용기 본체(1) 내부로부터 외부로 방출되고, 한편 상기 덮개(11)가 폐쇄되고 상기 용기 본체(1)의 내압이 외부보다 낮아졌을 때, 공기가 상기 용기 본체(1)에 침입하는 것이 방지되도록 구성되어 있으며,

상기 돌출부(22)의 각도는, 부하가 더해졌을 때, 상기 무한부(21)를 향해서 안쪽 방향으로의 역방향으로 굴곡하는 것이 방지되도록 선택되는 것을 특징으로 하는

밀봉 용기.
제 1 항에 있어서,

상기 복수의 끼워맞춤 리브(23) 중 상기 끼워맞춤 보지부(16)에의 입구에 가장 가까운 곳에 위치하는 끼워맞춤 리브(23)는 상기 끼워맞춤 보지부(16)의 내측에 위치하는 것보다 높이를 높게 한

밀봉 용기.
제 1 항에 있어서,

상기 돌출부(22)의 길이를 압축 방향의 안쪽 방향으로 또한 상기 수납 용기의 개구면(9)을 향해서 만곡시킴으로써, 상기 돌출부(22)의 만곡부가 상기 용기 본체(1)의 접촉면 혹은 상기 덮개(11)의 접촉면과 접촉하도록 한

밀봉 용기.
제 1 항에 있어서,

상기 시일 부재(20)를 플루오르 고무 조성물을 이용하여 형성한

밀봉 용기.