KR100892530B1

KR100892530B1 - 스크류 냉각식 진공 펌프

Info

Publication number: KR100892530B1
Application number: KR1020047007383A
Authority: KR
Inventors: 만프레드 벨링; 하르트무트 크리인; 클라우스 로팔; 랄프 슈테펜스
Original assignee: 욀리콘 라이볼트 바쿰 게엠베하
Priority date: 2001-11-15
Filing date: 2002-10-30
Publication date: 2009-04-10
Also published as: CN100422561C; US7056108B2; DE10156180B4; PL206617B1; JP4589001B2; PL369467A1; DE10156180A1; KR20050042067A; US20040265160A1; JP2005509785A; WO2003042541A1; HUP0402372A2; EP1444440A1; EP1444440B1; CA2463617A1; CN1585860A

Abstract

본 발명은 내부에 로터(3, 4)가 배치되어 있는 펌프 하우징(2, 6), 로터용 액체 냉각 시스템 및 구동 모터(9)를 포함하는 스크류식 진공 펌프(1)에 관한 것이다. 상기 펌프의 냉각을 개선하기 위해, 기류에 의해 추진되는 펌프 하우징(2, 6)용 외부 냉각 시스템이 추가로 제공된다.

Description

스크류 냉각식 진공 펌프{COOLED SCREW-TYPE VACUUM PUMP}

본 발명은 내부에 로터가 배치되어 있는 펌프 하우징, 상기 로터용 액체 냉각 시스템 및 구동 모터를 포함하는 스크류식 진공 펌프에 관한 것이다.

DE-A-198 20 523으로부터 상기 특징들을 가진 스크류식 진공 펌프가 공지되어 있다. 또한 상기 문서에는 스크류식 진공 펌프가 높은 출력 밀도 및 높은 속도로 컴팩트하게 형성 및 구동되어야 하는 경우에 발생하는, 상기 스크류식 진공 펌프의 냉각과 연관된 여러가지 문제점들이 공개되어 있다.

본 발명의 목적은 도입부에 언급한 특징들을 가진 스크류식 진공 펌프의 냉각을 개선하는 것이다. 상기 목적은 본 발명에 따라 청구의 범위에 제시된 특징들을 통해 달성된다.

본 발명에 따라 외부에서, 예컨대 구동 모터와 연결된 팬(fan)에 의해 발생하는 강제적인 기류를 이용하여 펌프 하우징이 추가로 냉각됨으로써 펌프 내에 배치된 로터용 액체 냉각 장치의 부하가 현저히 감소된다. 또한 강제적으로 형성된 기류를 이용하여 로터 냉각 장치의 냉각액이 관류하는 열교환기도 냉각시킬 수 있다.

본 발명을 통해 스크류식 진공 펌프에 있어서, 로터용 액체 냉각 시스템이 추가로 제공됨에도 불구하고 전체 기계가 공냉(air-cooled)되는 냉각 개념이 구현될 수 있다. 발생하는 열은 2개의 상이한 열매체(heat carrier)(내부 로터 냉각용 액체, 외부 냉각 기류)에 의해 흡수되지만, 최종적으로는 모두 냉각 기류에 의해 방출된다. 이러한 개념은 모터 손실, 기어 손실 및 베어링 손실 등에 의해 발생하는 부수적인 열흐름의 방출에도 적용된다.

본 발명의 또 다른 장점들과 세부사항은 도면에 개략적으로 도시된 실시예를 참고로 더 상세하게 설명된다.

도면은 본 발명에 따른 스크류식 진공 펌프의 구조를 개략적으로 도시한 도면이다.

도면에는 냉각되는 스크류식 진공 펌프(1), 상기 스크류식 진공 펌프의 흡입 챔버 하우징(2), 로터(3, 4), 유입구(5) 및 상기 로터(3, 4)를 수용하는 흡입 챔버 하우징(2)에 연결된 기어/모터실 하우징(6)이 도시되어 있다. 송출측에 놓인 배출구는 도시되어 있지 않다. 하우징(6) 내에는 기어실(7), 구동 모터(9)를 수용하는 모터실(8) 및 로터(3, 4)용 냉각액 루프(loop)의 구성부품인 추가 챔버(10)가 배치되어 있다.

로터(3, 4)에는 기어실(7)과 모터실(8)을 관통하는 샤프트(11, 12)가 장착되어 있다. 흡입 챔버와 기어실(7) 사이(분리벽 13) 및 모터실(8)과 냉각액 챔버(10) 사이(분리벽 14)의 분리벽들 내에 있는 베어링에 의해 로터들(3, 4)이 캔틸레버식으로(cantilevered manner) 지지된다. 기어실(7)과 모터실(8) 사이의 분리벽은 도면부호 "15"로 표시되어 있다. 기어실(7) 내에는 로터들(3, 4)의 동기 회전을 일으키는 기어 쌍(16, 17)이 배치되어 있다. 로터 샤프트(11)는 동시에 모터(9)의 구동 샤프트이기도 하다. 모터(9)는 샤프트(11, 12)와 상이한 또 하나의 구동 샤프트를 가질 수 있다. 이러한 해결책의 경우, 모터의 구동 샤프트는 기어실(7)까지 연장되고, 그곳에 동기화 기어들(synchronizing toothed wheels, 16, 17)(또는 도시되지 않은 샤프트(12)의 추가 기어)과 맞물리는 기어를 갖는다.

챔버(10)를 관통하는 샤프트(11)는 펌프(1)의 하우징(6)의 외부로 가이드되고, 상기 샤프트(11)의 자유 단부에 벤틸레이터 또는 팬(21)의 휠(20)을 지지하고 있다. 양쪽 단부면이 개방되어 있고(개구 23, 24) 펌프(1)를 둘러싸고 있는 하우징(22)이 팬 휠(20)에 의해 발생한 기류를 가이드한다.

본 발명의 범주 내에서는 팬측/모터측 개구(24)가 공기 유입 개구를 형성하도록 팬(21)이 구동된다. 상기 개구측에는 로터 내부 냉각 시스템의 냉각액이 관류하는 열교환기(25)가 할당된다. 합목적적으로는 상기 열교환기(25)가 팬(21)의 앞에 설치됨으로써, 동시에 팬 휠(20)을 위한 접촉 기능을 수행한다. 이러한 배열의 장점은, 펌프(1)의 흡입 챔버 하우징(2)을 냉각시키는 기류가 예열된다는 점이다. 그로 인해 외부에서 흡입 챔버 하우징(2)의 열팽창이 허용될 수 있고, 펌프가 구동되는 동안 상대적으로 높은 온도를 갖는 로터(3, 4)에 하우징(2)이 접촉되지 않을 수 있다. 바람직하게는 열전도를 개선하기 위해 하우징(2) 및 로터(3, 4)가 알루미늄으로 형성된다. 또한 열접촉을 개선하기 위해 하우징(2)이 냉각 핀(cooling fin)을 가질 수 있다. 열교환기(25)의 크기 및 흡입 챔버 하우징(2)의 피닝(finning) 밀도에 따라 로터(3, 4)와 하우징(2) 사이의 갭이 조정된다.

로터(3, 4)의 냉각을 위한 냉각액 루프는 개략적으로만 도시되어 있다. 독일 특허출원 제 197 45 616호, 199 63 171.9호 및 199 63 172.7호에 상기 방식의 냉각 시스템이 상세하게 기술되어 있다. 샤프트(11 및 12)가 로터(3, 4)로 및 로터(3, 4)로부터 냉각제(예: 오일)를 이송하는 역할을 한다. 도시된 실시예에서는 로터(3, 4)로부터 배출된 냉각제가 모터실(8)에 모인 후, 그곳으로부터 라인(26)을 통해 열교환기(25)에 전달된다. 팬(21)에 의해 발생한 기류가 로터(3, 4) 내 냉각액에 의해 흡수된 열을 다시 흡수한다. 열교환기(25)에서 배출된 액체는 라인(26)을 통해 챔버(10)에 전달된다. 상기 액체는 그곳으로부터 , 상세하게 도시되지 않은 방식으로, 샤프트(11, 12) 내에 있는 보어를 통해 로터(3, 4)에 도달되고, 거기서 냉각 채널을 통과하여 샤프트(11, 12)를 통해 다시 모터실(8)에 이른다.

냉각 시스템은, 펌프에 의해 발생한 열의 대략 절반이 먼저 냉각액에 의해 흡수된 다음 열교환기(25)를 통해 방출되고, 나머지 절반은 냉각 기류에 의해 직접 방출되는 방식으로 제조되는 것이 바람직한 것으로 밝혀졌다.

종합해보면, 본 발명에 따른 특징들을 통해 스크류식 펌프의 출력 밀도가 더욱 증가될 수 있다. 펌프는 더 작게 형성될 수 있고, 높은 표면 온도에서 구동될 수 있다. 공기를 가이드하는 역할을 하는 외부 하우징(22)은 접촉 보호의 기능도 가진다.

Claims

스크류식 진공 펌프(1)로서,

- 흡입 챔버 하우징(2),

- 상기 흡입 챔버 하우징(2) 내에 설치되는 로터(3, 4),

- 상기 로터(3, 4)용 유체 냉각 장치,

- 로터 냉각 유체가 관류하는 열교환기(25),

- 구동 모터(9),

- 팬(21), 및

- 외부 하우징(22)을 구비하며,

상기 팬의 공기 흐름 안에 흡입 챔버 하우징(2) 및 열교환기(25)가 배치되며,

상기 외부 하우징은 상기 스크류식 진공 펌프(1)를 둘러싸고, 팬(21)에 의해 형성되는 공기 흐름을 통과시키기 위한 두 개의 개구(23, 24)를 갖추고 있으며, 상기 두 개의 개구 중에서 하나의 개구(24)가 공기 흐름을 위한 유입 개구를 형성하는, 스크류식 진공 펌프에 있어서,

상기 로터(3, 4)용 유체 냉각 장치로서는 로터 내부 냉각 장치가 사용되며,

상기 열교환기(25)가 공기 유입 개구(24)에 할당됨으로써, 상기 스크류식 진공 펌프(1)의 흡입 챔버 하우징(2)을 냉각시키는 공기 흐름은 상기 열교환기(25)를 관류하는 로터 내부 냉각 장치의 냉각 유체에 의해서 예열되는 것을 특징으로 하는,

스크류식 진공 펌프.
제 1 항에 있어서,

적어도 상기 흡입 챔버 하우징(2)에는 외부 냉각핀(cooling fin)들이 장착되는 것을 특징으로 하는,

스크류식 진공 펌프.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 흡입 챔버 하우징(2) 및 로터(3, 4)는 알루미늄으로 이루어지는 것을 특징으로 하는,

스크류식 진공 펌프.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 외부 하우징(22)에서 상기 구동 모터(9) 측에 있는 개구는 공기 유입 개구(24)를 형성하며,

상기 팬(21)은 공기 유입측에 있으며,

상기 팬(21)은 상기 구동 모터(9)와 결합되는 것을 특징으로 하는,

스크류식 진공 펌프.
제 4 항에 있어서,

상기 열교환기(25)는 냉각공기의 흐름방향으로 볼 때 상기 팬(21)의 앞에 놓이는 것을 특징으로 하는,

스크류식 진공 펌프.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 열교환기(25) 및 상기 팬(21)은, 냉각액에 의해 방출된 열량의 크기와 기류에 의해 직접 방출된 열량의 크기가 동일하도록 설계된 것을 특징으로 하는,

스크류식 진공 펌프.
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