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KR100881175B1 - Light emitting diode having unevenness and method for manufacturing the same - Google Patents

Light emitting diode having unevenness and method for manufacturing the same Download PDF

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KR100881175B1
KR100881175B1 KR1020070064720A KR20070064720A KR100881175B1 KR 100881175 B1 KR100881175 B1 KR 100881175B1 KR 1020070064720 A KR1020070064720 A KR 1020070064720A KR 20070064720 A KR20070064720 A KR 20070064720A KR 100881175 B1 KR100881175 B1 KR 100881175B1
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이동선
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Abstract

본 발명은 요철이 형성된 발광 다이오드 및 그 제조방법에 관한 것으로, 기판을 준비하는 단계와, 기판 상에 n형 반도체층과, 활성층 및 p형 반도체층을 순차적으로 형성하는 단계 및 기판을 개별 발광칩 단위로 스크라이빙 하는 단계를 포함하며, 스크라이빙 하는 단계는 기판의 결정 격자 방향과 상이한 방향으로 기판을 스크라이빙 하는 단계를 포함하는 발광 다이오드 제조방법 및 그에 따라 제조된 발광 다이오드가 제공된다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light emitting diode having irregularities and a method of manufacturing the same. And a step of scribing, wherein the scribing comprises scribing the substrate in a direction different from the crystal lattice direction of the substrate. .

발광 다이오드, 요철, 측면, 스크라이빙, 결정 격자방향 Light Emitting Diode, Unevenness, Side, Scribing, Crystal Grid Direction

Description

요철이 형성된 발광 다이오드 및 그 제조방법 {Light emitting diode having unevenness and method for manufacturing the same}Light-emitting diodes with irregularities and manufacturing method thereof {Light emitting diode having unevenness and method for manufacturing the same}

도 1은 종래 기술에 따른 발광 다이오드의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a light emitting diode according to the prior art.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드의 평면도이며, 도 3은 도 2에 도시된 발광 다이오드를 Ⅰ-Ⅰ선에 따라 절단한 단면도이다.2 is a plan view of a light emitting diode according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the light emitting diode shown in FIG. 2 taken along the line I-I.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 수직형 발광 다이오드의 개략적인 단면도이다.4 is a schematic cross-sectional view of a vertical light emitting diode according to another embodiment of the present invention.

도 5 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드의 제조 방법을 도시한 도이다.5 to 8 illustrate a method of manufacturing a light emitting diode according to an embodiment of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

110: 기판110: substrate

120: n형 반도체층120: n-type semiconductor layer

130: 활성층130: active layer

140: p형 반도체층140: p-type semiconductor layer

150: p 전극150: p electrode

155: 본딩 패드155: bonding pads

160: n 전극160: n electrode

170: 요철170: unevenness

본 발명은 요철이 형성된 발광 다이오드 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 측면에 요철이 형성된 발광 다이오드 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light emitting diode having irregularities formed therein and a method of manufacturing the same.

도 1은 종래 기술에 따른 발광 다이오드의 단면도이다. 도 1을 참조하면, 발광 다이오드는 기판(10)상에 순차적으로 적층되어 형성된 버퍼층(20), n형 반도체층(30), 활성층(40), p형 반도체층(50)을 포함하며, 그리고 p형 반도체층(50) 상에 형성된 p 전극(60) 및 식각을 통하여 소정 영역 노출된 n형 반도체층(30) 상에 형성된 n 전극(70)을 포함한다. 이러한 발광 다이오드는 스크라이빙 시, 기판의 결정 격자방향대로 스크라이빙 함으로써, 발광 다이오드의 측면이 매끄럽게 형성된다. 그러나, 이와 같은 방식에 따르면 발광 다이오드의 외부 표면이 깨끗하고, 재현성 있는 공정을 얻을 수 있는 반면에, 기판 내부의 전반사에 의해서 활성층에서 방출되는 광이 발광 다이오드 외부로 출사되지 못하고, 내부에 갇혀서 발광 효율이 떨어지는 문제점이 발생하게 된다.1 is a cross-sectional view of a light emitting diode according to the prior art. Referring to FIG. 1, the light emitting diode includes a buffer layer 20, an n-type semiconductor layer 30, an active layer 40, and a p-type semiconductor layer 50 that are sequentially stacked on the substrate 10, and The p electrode 60 is formed on the p-type semiconductor layer 50 and the n-electrode 70 formed on the n-type semiconductor layer 30 exposed by a predetermined region through etching. When the light emitting diode is scribed, the side surface of the light emitting diode is smoothly scribed by scribing in the crystal lattice direction of the substrate. However, according to this method, while the outer surface of the light emitting diode is clean and a reproducible process is obtained, the light emitted from the active layer due to total internal reflection of the substrate is not emitted to the outside of the light emitting diode, and is trapped inside to emit light. The problem of low efficiency is caused.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 극복하기 위한 것으로서, 기판 내부에서 전반사되는 광으로 인한 손실을 감소시켜, 발광 효율을 개선하기 위하여 요철이 형 성된 발광 다이오드 및 그 제보방법을 제공하기 위한 것이다.The present invention is to overcome the above-mentioned problems, to provide a light emitting diode with a concave-convex shape and a method of reporting the same to reduce the loss due to light totally reflected inside the substrate, to improve the luminous efficiency.

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판을 준비하는 단계; 상기 기판 상에 n형 반도체층과, 활성층 및 p형 반도체층을 순차적으로 형성하는 단계; 및 상기 기판을 개별 발광칩 단위로 스크라이빙 하는 단계를 포함하며, 상기 스크라이빙 하는 단계는 상기 기판의 결정 격자 방향과 상이한 방향으로 상기 기판을 스크라이빙 하는 단계를 포함하는 발광 다이오드 제조방법이 제공된다.According to an aspect of the invention, preparing a substrate; Sequentially forming an n-type semiconductor layer, an active layer, and a p-type semiconductor layer on the substrate; And scribing the substrate in units of individual light emitting chips, wherein the scribing comprises scribing the substrate in a direction different from a crystal lattice direction of the substrate. This is provided.

상기 기판을 스크라이빙 하는 단계는 상기 기판의 결정 격자 방향과 1도 내지 5도 어긋나게 상기 기판을 스크라이빙 하는 단계를 포함한다.The scribing of the substrate may include scribing the substrate by 1 to 5 degrees out of the crystal lattice direction of the substrate.

상기 기판은 투광성 기판인 것을 특징으로 한다.The substrate is characterized in that the light-transmissive substrate.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 제조방법 중 어느 한 방법에 따라 제조된 발광 다이오드로서, 상기 발광 다이오드는 기판, 상기 기판 상에 형성된 n형 반도체층; 활성층; 및 p형 반도체층을 포함하며, 상기 발광 다이오드의 측면 중 적어도 어느 한 측면 상에 요철이 형성되는 발광 다이오드가 제공된다.According to another aspect of the invention, a light emitting diode manufactured according to any one of the above manufacturing method, the light emitting diode comprises a substrate, an n-type semiconductor layer formed on the substrate; Active layer; And a p-type semiconductor layer, the light emitting diode having irregularities formed on at least one side of the light emitting diode is provided.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드의 평면도이며, 도 3은 도 2에 도시된 발광 다이오드를 Ⅰ-Ⅰ선에 따라 절단한 단면도이다.2 is a plan view of a light emitting diode according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the light emitting diode shown in FIG. 2 taken along the line I-I.

도 2 및 도 3을 참조하면, 발광 다이오드는 기판(110), n형 반도체층(120), 활성층(130), p형 반도체층(140), p 전극(150), 본딩 패드(155), n 전극(160) 및 요철(170)을 포함한다.2 and 3, the light emitting diode includes a substrate 110, an n-type semiconductor layer 120, an active layer 130, a p-type semiconductor layer 140, a p electrode 150, a bonding pad 155, n electrode 160 and unevenness 170.

기판(110)상에는 n형 반도체층(120), 활성층(130) 및 p형 반도체층(140)이 순차적으로 적층되어 형성된다. 그리고, p 전극(150)은 p형 반도체층(140) 상에 형성되며, 본딩 패드(155)는 p 전극(150) 상에 형성된다. n 전극(160)은 메사식각을 통하여 n형 반도체층(120)의 소정 영역을 노출시킨 후, 노출된 n형 반도체층(120) 상에 형성된다. 활성층(130)은 에너지 밴드갭이 작은 웰층(well)(미도시)과 웰층 보다 에너지 밴드갭이 큰 배리어층(barrier)(미도시)이 교대로 적층되어 형성된 양자 우물(Quantum Well) 구조로 형성될 수 있다. The n-type semiconductor layer 120, the active layer 130, and the p-type semiconductor layer 140 are sequentially stacked on the substrate 110. The p electrode 150 is formed on the p-type semiconductor layer 140, and the bonding pad 155 is formed on the p electrode 150. The n electrode 160 is formed on the exposed n-type semiconductor layer 120 after exposing a predetermined region of the n-type semiconductor layer 120 through mesa etching. The active layer 130 is formed of a quantum well structure in which a well layer (not shown) having a small energy band gap and a barrier layer (not shown) having a larger energy band gap than a well layer are alternately stacked. Can be.

요철(170)은 발광 다이오드의 측면 중 적어도 어느 하나 이상에 형성된다. 이때, 요철(170)은 도면에서 도시된 바와 같이 톱니 형태로 형성될 수 있으나, 요철의 형태는 이에 한정되는 것은 아니며, 다양하게 변형될 수 있으며, 요철(170)은 규칙적인 형태일 수도 있으나, 불규칙적인 형태로 형성될 수도 있다. 이러한 요철(170)은 기판(110) 상에 n형 반도체층(120), 활성층(130) 및 p형 반도체층(140)을 순차적으로 형성한 후, 개별 발광칩 단위로 스크라이빙할 때, 기판(110)을 결정 격자 방향과 어긋나게 스크라이빙 함으로써, 형성될 수 있다. 본 실시예의 경우, 스크라이빙 방향은 기판의 결정 격자 방향과 1도 내지 5도 어긋나게 설정하여 수행하나, 이러한 각도 범위는 이에 한정되는 것은 아니며, 다양하게 변화될 수 있다. 이와 같이, 발광 다이오드의 측면에 요철(170)을 형성하면, 전반사를 감소시켜서 활성층(130)으로부터의 광이 발광 다이오드의 측면을 통하여 외부로 보다 용이하게 출사될 수 있도록 한다. 그 결과, 발광 다이오드의 광 추출 효율이 개선될 수 있 다.The unevenness 170 is formed on at least one of the side surfaces of the light emitting diode. At this time, the unevenness 170 may be formed in a sawtooth shape as shown in the figure, the shape of the unevenness is not limited thereto, and may be variously modified, the unevenness 170 may be a regular form, It may be formed in an irregular shape. When the irregularities 170 are sequentially formed on the substrate 110, the n-type semiconductor layer 120, the active layer 130, and the p-type semiconductor layer 140 are scribed in units of individual light emitting chips. The substrate 110 may be formed by scribing the substrate 110 in a direction deviated from the crystal lattice direction. In the case of the present embodiment, the scribing direction is set by shifting the crystal lattice direction of the substrate by 1 degree to 5 degrees, but this angle range is not limited thereto and may be variously changed. As such, when the uneven surface 170 is formed on the side surface of the light emitting diode, the total reflection is reduced so that light from the active layer 130 can be more easily emitted to the outside through the side surface of the light emitting diode. As a result, the light extraction efficiency of the light emitting diode can be improved.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 수직형 발광 다이오드의 개략적인 단면도이다. 도 4를 참조하면, 수직형 발광 다이오드는 p전극(260), p형 반도체층(250), 활성층(240), n형 반도체층(230), n 전극(270) 및 요철(280)을 포함한다. 상기 실시예에서 살펴본 바와 같이, 요철(2800)은 개별 발광칩 단위로 스크라이빙할 때, 기판의 결정 격자 방향과 어긋나게 스크라이빙 함으로써, 형성될 수 있다.4 is a schematic cross-sectional view of a vertical light emitting diode according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 4, the vertical light emitting diode includes a p electrode 260, a p type semiconductor layer 250, an active layer 240, an n type semiconductor layer 230, an n electrode 270, and an unevenness 280. do. As described in the above embodiment, the unevenness 2800 may be formed by scribing in a direction that is deviated from the crystal lattice direction of the substrate when scribing by individual light emitting chip units.

도 5 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 다이오드의 제조 방법을 도시한 도이다.5 to 8 illustrate a method of manufacturing a light emitting diode according to an embodiment of the present invention.

도 5 내지 도 8을 참조하여 발광 다이오드 제조방법을 살펴보면, 우선, 소정의 결정 격자 방향을 갖는 기판(110)을 준비한다(도 5). 이때, 기판(110)은 사파이어, ZnO, Spinel 또는 MgAl2O4 등과 같은 투광성 기판을 준비한다.Referring to FIGS. 5 to 8, a light emitting diode manufacturing method is described. First, a substrate 110 having a predetermined crystal lattice direction is prepared (FIG. 5). At this time, the substrate 110 prepares a light transmissive substrate such as sapphire, ZnO, Spinel or MgAl 2 O 4 .

그 다음, 기판(110) 상에 n형 반도체층, 활성층, p형 반도체층 등을 순차적으로 형성하여 발광 다이오드를 형성한다(도 6).Next, an n-type semiconductor layer, an active layer, a p-type semiconductor layer, and the like are sequentially formed on the substrate 110 to form a light emitting diode (FIG. 6).

그리고 나서, 기판(110)을 개별 발광칩 단위로 스크라이빙 한다. 이때, 스크라이빙 방향(S1, S2)은 기판의 결정 격자 방향과 상이한 방향 즉, 소정 각도(θ) 어긋나게 설정한다. 본 실시예의 경우, 스크라이빙 방향은 결정 격자 방향과 1도 내지 5도 어긋나게 설정한다.Then, the substrate 110 is scribed in units of individual light emitting chips. At this time, the scribing directions S1 and S2 are set in a direction different from the crystal lattice direction of the substrate, that is, shifted by a predetermined angle θ. In the case of this embodiment, the scribing direction is set to be shifted by 1 to 5 degrees from the crystal lattice direction.

이와 같이, 스크라이빙 방향을 기판의 결정 격자 방향과 어긋나게 설정한 후, 스크라이빙을 수행하게 되면, 발광 다이오드의 측면에 요철 패턴을 형성하기 위하여, 별도의 추가적인 공정을 수행하지 않고, 스크라이빙 공정을 수행하면 도 8에 도시된 바와 같이, 요철이 형성된 발광 다이오드를 얻을 수 있게 된다.As described above, when the scribing direction is set to be offset from the crystal lattice direction of the substrate, and scribing is performed, the scribing is performed without performing any additional process in order to form an uneven pattern on the side surface of the light emitting diode. When the ice process is performed, as shown in FIG. 8, a light emitting diode having irregularities may be obtained.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 요철이 형성된 발광 다이오드 및 그 제조방법의 예시적인 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이, 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.What has been described above is only an exemplary embodiment of the light-emitting diode and the manufacturing method of the unevenness formed in accordance with the present invention, the present invention is not limited to the above embodiment, as claimed in the following claims, Without departing from the gist of the invention, anyone of ordinary skill in the art to which the present invention will have the technical spirit of the present invention to the extent that various modifications can be made.

전술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 기판의 결정 격자방향과 어긋나게 기판을 스크라이빙 함으로써, 별도의 요철 형성 공정 없이도 발광 다이오드의 측면에 요철을 형성할 수 있게 된다.As described above, according to the present invention, by scribing the substrate out of the crystal lattice direction of the substrate, irregularities can be formed on the side surface of the light emitting diode without a separate unevenness forming process.

또한, 발광 다이오드의 측면에 요철을 형성함으로써, 기판 내부에서 전반사되는 광을 발광 다이오드 외부로 출사시켜서, 발광 다이오드의 발광 효율을 개선시킬 수 있게 된다. In addition, by forming the irregularities on the side surface of the light emitting diode, it is possible to emit light totally reflected inside the substrate to the outside of the light emitting diode, thereby improving the luminous efficiency of the light emitting diode.

Claims (4)

기판을 준비하는 단계;Preparing a substrate; 상기 기판 상에 n형 반도체층과, 활성층 및 p형 반도체층을 순차적으로 형성하는 단계; 및Sequentially forming an n-type semiconductor layer, an active layer, and a p-type semiconductor layer on the substrate; And 상기 기판을 개별 발광칩 단위로 스크라이빙하여 발광 다이오드를 제조하는 단계를 포함하며,Scribing the substrate in units of individual light emitting chips to manufacture a light emitting diode; 상기 스크라이빙하는 단계는 상기 기판의 결정 격자 방향과 1도 내지 5도 어긋나게 상기 기판을 스크라이빙하여 상기 발광 다이오드의 적어도 일 측면에 요철을 형성하는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 제조방법.The scribing may include forming irregularities on at least one side of the light emitting diode by scribing the substrate by 1 to 5 degrees off the crystal lattice direction of the substrate. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판은 투광성 기판인 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 제조방법.The substrate is a light emitting diode manufacturing method, characterized in that the transparent substrate. 제1항 또는 제3항에 따른 제조방법에 따라 제조된 발광 다이오드로서,A light emitting diode manufactured according to the method according to claim 1 or 3, 상기 발광 다이오드는 기판, 상기 기판 상에 순차적으로 형성된 n형 반도체층, 활성층 및 p형 반도체층을 포함하며,The light emitting diode includes a substrate, an n-type semiconductor layer, an active layer, and a p-type semiconductor layer sequentially formed on the substrate, 상기 발광 다이오드의 측면 중 적어도 어느 한 측면 상에 요철이 형성되는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드. The unevenness is formed on at least one side of the side surface of the light emitting diode.
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