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KR100889358B1 - 액정 팬스 형성 장치 - Google Patents

액정 팬스 형성 장치 Download PDF

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KR100889358B1
KR100889358B1 KR1020020069468A KR20020069468A KR100889358B1 KR 100889358 B1 KR100889358 B1 KR 100889358B1 KR 1020020069468 A KR1020020069468 A KR 1020020069468A KR 20020069468 A KR20020069468 A KR 20020069468A KR 100889358 B1 KR100889358 B1 KR 100889358B1
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KR
South Korea
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liquid crystal
light
forming apparatus
exposure mask
supply unit
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KR1020020069468A
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추대호
구교승
이동원
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삼성전자주식회사
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Abstract

액정 팬스 형성 장치가 개시되어 있다. 베이스 몸체에는 광경화성 물질로 이루어진 액정 수납체가 형성된 조립 기판이 배치되고, 베이스 몸체와 이격된 곳에는 조립 기판을 향하여 광 경화성 물질을 경화시키는 광이 공급된다. 광이 주사되는 경로 상에는 조립 기판의 액정 수납체에만 광이 도달하도록 하는 개구가 형성된 광출사면이 형성된 투명기판이 설치된다. 액정 수납체에 광을 공급하는 램프에는 자외선과 함께 출사된 적외선을 필터링 하는 적외선 필터가 설치되고, 적외선 필터에는 적외선 필터를 냉각시키는 수랭식 냉각 유닛이 설치되어 램프에서 발생한 광을 크게 감소시킨다.
Figure R1020020069468
자외선, 적외선 필터, 램프

Description

액정 팬스 형성 장치{DEVICE FOR FORMING LIQUID CRYSTAL FENCE}
도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 의한 액정 팬스 형성 장치의 개념도이다.
도 2는 도 1에 도시된 조립기판의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 광공급유닛을 도시한 사시도이다.
도 4는 광공급 유닛에서 발생하는 열을 제거하기 위한 적외선 제거 필터 및 수랭식 냉각 유닛을 도시한 개념도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 의한 노광 마스크 유닛의 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 의한 노광 마스크 지지대를 도시한 개념도이다.
도 7은 본 발명의 다른 일실시예에 의한 노광 마스크 지지대를 도시한 개념도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 노광 마스크 지지대를 도시한 개념도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 노광 마스크 지지대를 도시한 개념도이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 의한 액정 팬스 형성 장치를 도시한 개념 도이다.
본 발명은 액정 팬스 형성 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로는 TFT 기판 및 컬러필터기판 사이에 형성되어 액정을 수납 및 TFT 기판과 컬러필터기판을 상호 결합시키는 액정 팬스를 형성하는 액정 팬스 형성 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액정(Liquid Crystal)은 각각 서로 다른 제조 공정을 거쳐 제작된 TFT 기판(TFT substrate) 및 컬러필터기판(color filter substrate)의 사이에 위치한다.
액정은 TFT 기판 및 컬러필터기판의 사이에 형성된 전계에 영향을 받는다. 구체적으로, 액정은 전계에 따라서 외부에서 공급된 광의 투과율을 변경시킨다.
TFT 기판 및 컬러필터기판의 사이에는 액정이 수납되도록 하기 위한 셀 갭(cell gap)이 존재한다. 이 셀 갭은 수 ㎛에 불과하며, 셀 갭의 크고 작음은 액정의 고유한 특성에 따라 다르다. 예를 들어 TN 모드 액정의 경우는 4.6㎛ 정도의 셀 갭을 갖는다.
수 ㎛에 불과한 셀 갭에 액정을 공급하는 종래 방법은 먼저, 셀 갭이 형성된 액정표시패널을 액정이 수납된 통(barrel)에 일부가 담기도록 한다. 이어서, 셀 갭 내부에 진공압을 형성하면, 셀 갭 내부의 압력과 액정의 압력의 차에 의하여 액정은 압력이 낮아진 셀 갭 내부로 빨려 올라간다.
이처럼 진공압을 이용한 액정 주입 방법은 수 ㎛에 불과한 셀 갭의 내부에 빈 공간 없이 액정을 모두 채워 넣을 수 있는 장점을 갖는다.
반면, 진공압을 이용한 액정 주입 방법은 셀 갭 내부에 원하는 액정량보다 더 많은 액정이 공급되는 단점을 갖는다. 따라서, 진공압을 이용하여 액정을 주입한 후에는 셀 갭 내부에 과도하게 주입된 액정을 역으로 배출시키는 프레스 공정, 액정이 주입된 후 액정 주입구를 별도의 밀봉 물질로 밀봉하는 액정 밀봉 공정, 액정표시패널의 외부면에 묻은 액정을 세정하기 위한 세정 공정 등을 부수적으로 필요로 한다.
최근에는 진공압을 이용한 액정 주입 방법 이외에 적하 방식(drop filling)으로 액정을 공급하는 방법이 개발된 바 있다.
적하 방식 액정 공급 방법은 컬러필터기판 또는 TFT 기판에 자외선 등에 경화되는 실런트(sealant)로 액정이 수납될 영역을 정의하고, 실런트에 의하여 형성된 내부 영역에는 액정이 적하 된다. 액정이 적하 된 후, TFT 기판 및 컬러필터기판은 대기압보다 낮은 압력에서 어셈블리 된다. 어셈블리 된 TFT 기판 및 컬러필터기판이 대기압 환경으로 노출되면, 액정은 TFT 기판 및 컬러필터 기판 사이 및 TFT 기판 및 컬러필터 기판 바깥쪽의 압력차에 의하여, TFT 기판 및 컬러필터 기판 사이에서 균일하게 퍼지게 된다.
이어서, TFT 기판과 컬러필터 기판 사이에 형성된 실런트는 자외선에 의하여 경화된다.
이때, 실런트를 경화하기 위해 주사되는 자외선은 실런트뿐만 아니라 조립된 TFT 기판 및 컬러필터기판 및 액정에도 함께 주사된다. 이처럼 TFT 기판 및 컬러필터 기판에 자외선이 주사될 경우, TFT 기판에 형성된 배향막을 손상시키고, 액정이 열화 되는 등 좋지 않은 영향을 미치게 되는 문제점을 갖는다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 종래 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 TFT 기판 또는 컬러필터 기판의 사이에 형성되어 액정을 수납할 수 있도록 하는 실런트에만 선택적으로 광을 공급하여 TFT 기판 또는 컬러필터기판의 손상을 최소화한 액정 팬스 형성 장치를 제공한다.
이와 같은 본 발명의 목적을 구현하기 위해서 본 발명은 샌드위치 된 2 개의 기판의 사이에 적어도 1 개가 형성된 액정 수납 영역, 각 액정 수납 영역의 테두리를 따라 형성된 액정 팬스 영역에 광에 의하여 경화되는 액정 수납체가 형성된 조립기판이 탑재되는 베이스 몸체, 조립기판을 향하여 광을 공급하는 광공급유닛 및 광의 주사 경로 상에 배치되어, 광 중 액정 수납 영역을 향하는 제 1 광은 차단하고, 광 중 액정 수납체를 노광하기 위한 제 2 광은 통과시켜 액정 수납체를 액정 팬스로 변경시키는 노광 마스크 유닛을 포함하는 액정 팬스 형성 장치를 제공한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하고자 한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 의한 액정 팬스 형성 장치의 개념도이다. 도 2는 도 1에 도시된 조립기판의 평면도이다.
도 1을 참조하면, 액정 팬스 형성 장치(500)는 베이스 몸체(100), 광공급 유닛(200) 및 노광 마스크 유닛(300)을 포함한다.
도 1 또는 도 2를 참조하면, 베이스 몸체(100)에는 조립기판(400)이 탑재된다. 조립기판(400)은 샌드위치 된 2 개의 기판(410,420), 샌드위치 된 2 개의 기판(410,420) 사이에 적어도 1 개가 형성된 액정 수납 영역(430) 및 액정 수납 영역(430)의 테두리를 감싸는 액정 팬스 영역(440) 및 액정 팬스 영역(440)의 내부에 형성된 액정 수납체(450)로 구성된다. 액정 수납체(450)는 광에 의하여 경화되는 광 경화성 물질이 포함된다.
도 1을 참조하면, 베이스 몸체(100)의 상부에는 베이스 몸체(100)에 탑재된 조립 기판(400)을 향하여 광을 공급하는 광공급유닛(200)이 설치된다. 이때, 광공급유닛(200)은 액정 수납체(450)를 경화시키는 자외선(201)을 발생시킨다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 광공급유닛을 도시한 사시도이다. 도 3을 참조하면, 광공급유닛(200)은 하우징(210), 램프(220) 및 집광 커버(230)를 포함한다.
하우징(210)은 측면중 하나가 개구된 속이 빈 직육면체 박스 형상이며, 하우징(210) 내부에는 집광 커버(230)가 설치된다.
집광 커버(230)는 반원통 형상을 갖으며, 집광 커버(230)는 바람직하게 광반사율이 높은 재질이 선택되어 사용된다. 집광 커버(230)는 볼록한 부분이 하우징(210)에 설치된다.
램프(220)는 집광 커버(230)에 의하여 감싸여 지도록 하우징(210)에 설치된 다. 일실시예로, 램프(220)는 365㎚에서 피크 파장을 갖는 자외선을 발생시키는 수은 램프이다. 이때, 램프(220)가 특별히 365㎚의 피크 파장을 갖는 자외선을 사용하는 것은 앞서 도 1을 참조하여 설명한 액정 수납체(450)가 365㎚의 파장을 갖는 자외선에서 경화되기 때문이다. 램프(220)에서 방사상으로 발생한 자외선(201)은 집광 커버(230)에 의하여 집광된 후 도 1에 도시된 조립 기판(400) 쪽으로 주사된다.
이와 같은 구성을 갖는 광공급유닛(200)은 이송장치에 의하여 이송되면서 조립 기판(400)에 자외선을 제공한다.
도 3을 참조하면, 광공급유닛(200)의 램프(220)는 자외선 이외에 파장 길이가 1014㎚, 1128㎚, 1367㎚를 갖는 적외선도 함께 발생한다. 이때, 파장 길이가 1014㎚의 적외선은 45%이며, 파장 길이가 1128㎚인 적외선은 17%, 파장 길이가 1367㎚인 적외선은 15% 정도이며, 나머지는 파장 길이 1014㎚ 보다 작거나, 파장 길이 1367㎚ 보다 큰 자외선이다.
램프(220)에서 자외선과 함께 발생한 적외선은 열선이기 때문에 램프(220) 및 램프(220)의 주변, 예를 들면, 램프(220)의 하부에 배치된 조립 기판(400), 베이스 몸체(100)의 온도를 상승시킨다. 특히, 조립 기판(400)이 허용 온도보다 높은 고온 환경에 장시간 노출될 경우, 다양한 문제점을 발생시킬 수 있다.
이와 같은 이유로 램프(220)에서 발생하는 열은 신속하게 제거되어야 한다.
도 4는 광공급 유닛에서 발생하는 열을 제거하기 위한 적외선 제거 필터 및 수랭식 냉각 유닛을 도시한 개념도이다.
도 4를 참조하면, 하우징(210) 중 램프(220)에서 발생한 자외선(201)이 집광되어 출사되는 경로 상에는 적외선 필터(250)가 설치되고, 적외선 필터(250)에는 수랭식 냉각 유닛(260)이 설치된다.
적외선 필터(250)는 판유리의 상면에 물유리 또는 용해로에서 판유리의 표면을 용융시킨 후 냉각되어 고체화되어 가는 도중 적외선을 흡수하는 적외선 흡수 염료를 판유리에 균일하게 분포시켜 제작할 수 있다.
적외선 필터(250)는 액정 수납체(450)를 경화시키는데 사용되는 파장길이 365㎚의 자외선(201)은 그대로 투과하고, 파장길이가 1000㎚로부터 파장길이 1400㎚ 사이의 적외선(202)은 흡수한다. 적외선 필터(250)가 적외선(202)을 흡수함으로써 광공급유닛(200)의 내부에서는 온도가 상승하지만, 광공급유닛(200)의 외부에서의 온도는 낮아진다.
한편, 적외선 필터(250)에 의하여 광공급유닛(200)의 외부 온도는 크게 감소하지만 광공급유닛(200)의 내부 온도가 급격히 상승하게 된다. 수랭식 냉각 유닛(260)은 광공급유닛(200)의 온도를 크게 감소시킨다.
수랭식 냉각 유닛(260)은 적외선 필터(250)의 에지에 접촉되도록 환형으로 형성된 냉각수 순환 배관(262) 및 냉각수 순환 배관(262)의 내부에서 냉각수(264)가 순환되도록 하는 냉각수 순환 유닛으로 구성된다.
이와 같이 램프(220)에서 발생한 적외선(202)을 적외선 필터(250)로 차단하고, 적외선 필터(250)는 수랭식 냉각 유닛(260)으로 냉각함으로써, 10㎾ 이상의 고출력 램프(220)를 상시 가동하더라도 램프(220) 또는 램프(220) 주변에는 60℃ 정 도의 열만이 발생된다.
다시 도 1을 참조하면, 광공급유닛(200)에서 발생한 자외선(201)의 주사 경로 상에는 노광 마스크 유닛(300)이 설치된다.
노광 마스크 유닛(300)은 광공급유닛(200)에서 발생한 자외선(201) 중, 액정 수납 영역(430)을 향하는 자외선(이하, 제 1 광이라 칭하며, 도면부호 203을 부여하기로 한다)은 차단하고, 액정 수납체(450)를 향하는 광(이하, 제 2 광이라 칭하며, 도면부호 204를 부여하기로 한다)은 통과시킨다. 제 2 광(204)은 액정 수납체(450)를 고강도를 갖는 액정 팬스로 변경시킨다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 의한 노광 마스크 유닛의 평면도이다.
도 1 또는 도 5를 참조하면, 노광 마스크 유닛(300)은 투명 기판(310) 및 액정 수납체(450)로 제 2 광(204)을 공급하는 개구(320)가 형성된 광차단막(330)을 포함한다. 광차단막(330)은 크롬 물질을 투명 기판(310)에 스퍼터링 등으로 증착한 크롬 박막이며, 개구(320)는 크롬 박막을 사진-식각 공정으로 패터닝하여 형성한다.
투명 기판(310)은 바람직한 일실시예로 석영(quartz) 물질 또는 유리로 제작되며, 조립 기판(400)의 크기가 대등한 크기를 갖는다. 투명 기판(310)의 두께는 조립 기판(400)의 TFT 기판 및 컬러필터 기판과 동일하게 0.7㎜, 0.63㎜ 및 0.5㎜ 중 어느 하나가 사용될 수 있다.
최근 들어, 조립 기판(400)의 평면적이 점차 증가됨에 따라, 노광 마스크 유닛(300)의 투명 기판(310)도 조립 기판(400)의 평면적과 함께 증가된다.
그러나, 조립 기판(400)은 베이스 몸체(100)에 안착되어 있기 때문에 조립 기판(400)의 평면적이 증가되어도 별다른 문제가 없지만, 노광 마스크 유닛(300)의 투명 기판(310)은 베이스 몸체(100)의 상부에 매달려 있기 때문에 자중에 의하여 휨이 발생된다.
노광 마스크 유닛(300)의 투명 기판(310)이 휘게 되면, 투명 기판(310)에 형성된 광차단막(330)의 형상도 함께 변형되어 제 2 광(204)은 원하지 않는 곳으로 입사된다.
이처럼 제 2 광(204)이 조립 기판(400)의 액정 수납체(450)에 주사되지 못하거나 일부만이 주사될 경우, 액정 수납체(450)가 경화되지 않거나 부분적으로 경화가 진행되어 액정 팬스의 강도가 불 균일한 문제점을 갖는다. 액정 팬스의 강도가 불 균일할 경우, 디스플레이에 치명적인 악영향을 미치는 셀 갭이 변경되거나 TFT 기판 및 컬러필터 기판이 서로 박리 또는 분리될 수 있고, 강성이 약한 부분에서 액정이 누설될 수도 있다.
이처럼 노광 마스크 유닛(300)의 투명 기판(310)이 자중에 의하여 휘는 것을 방지하기 위해서, 노광 마스크 유닛(300)에는 적어도 1 개의 휨 방지 부재가 설치된다.
도 5를 참조하면, 노광 마스크 유닛(300)의 투명 기판(310)에는 투명 기판(310)의 휨을 방지하는 휨 방지 부재(350)가 도시되어 있다. 휨 방지 부재(350)는 노광 마스크 유닛(300)의 투명 기판(310)을 가로질러 형성되어 투명 기판(310)의 휨을 감소시킨다.
바람직하게 휨 방지 부재(350)는 노광 마스크 유닛(300)의 투명 기판(310)을 가로지르는 길이를 갖는 투명한 막대 형상을 갖는 노광 마스크 지지대이다. 이하, 노광 마스크 지지대에 도면부호 350을 부여하기로 한다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 의한 노광 마스크 지지대를 도시한 개념도이다.
도 6을 참조하면, 노광 마스크 지지대(350)는 사각기둥 형상으로 제작할 수 있다. 노광 마스크 지지대(350)는 4 개의 측면(352,354,356,358), 2 개의 단부를 갖는다. 이때, 노광 마스크 지지대(350)의 4 개의 측면 중 하나인 제 1 측면(356)은 노광 마스크 유닛(300)의 투명 기판(310)에 접촉되도록 고정된다. 이때, 노광 마스크 지지대(350)의 4 개의 측면중 제 1 측면(356) 및 제 1 측면(356)과 마주보는 제 2 측면(358)은 상호 평행하게 형성된다.
제 1 측면(356) 및 제 2 측면(358)을 상호 평행하게 배치하는 것은 노광 마스크 유닛(300)의 상부에서 자외선(201)이 노광 마스크 유닛(300)의 투명 기판(310)에 대해 수직으로 입사될 경우, 투명 기판(310)으로부터 노광 마스크 지지대(350)를 통과하면서 자외선(201)이 굴절되는 것을 최소화하기 위함이다.
도 7은 본 발명의 다른 일실시예에 의한 노광 마스크 지지대를 도시한 개념도이다. 새로운 노광 마스크 지지대에 도면부호 360을 부여하기로 한다.
도 7을 참조하면, 노광 마스크 지지대(360)는 노광 마스크 유닛(300)의 투명 기판(310)의 상부에 배치된다. 이때, 노광 마스크 지지대(360)는 도 5에 도시된 바와 같이 사각기둥 형상으로 형성하는 것이 바람직하다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 노광 마스크 지지대를 도시한 개념도이다. 새로운 노광 마스크 지지대에 도면부호 370을 부여하기로 한다.
도 8을 참조하면, 노광 마스크 지지대(380)는 원기둥 형상을 갖는다. 노광 마스크 지지대(380)는 원기둥 형상으로 노광 마스크 유닛(300)의 투명 기판(310)의 밑면에 복수개가 병렬 형태로 배치된다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 노광 마스크 지지대를 도시한 개념도이다. 새로운 노광 마스크 지지대에 도면부호 380을 부여하기로 한다.
도 9를 참조하면, 노광 마스크 지지대(380)는 원기둥 형상을 갖으며, 노광 마스크 유닛(300)의 투명 기판(310)의 상면에 복수개가 병렬 형태로 배치된다.
도 8 또는 도 9에 도시된 원기둥 형태의 노광 마스크 지지대(370,380)는 도 10에 도시된 바와 같이 자외선(201)을 경사지게 주사하는 방식에 적용할 경우 보다 뛰어난 효과를 얻을 수 있다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 의한 액정 팬스 형성 장치를 도시한 개념도이다. 도 10을 참조하면, 베이스 몸체(100) 및 조립 기판(400)은 앞서 설명한 바와 동일함으로 그 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 10에 도시된 광공급유닛(200)은 수직에 대하여 경사지게 자외선(205)을 주사한다. 이와 같이 광공급유닛(200)이 수직에 대하여 경사지게 자외선(205)을 주사할 수 있도록 하기 위해서는 앞서 설명한 도 3에 도시된 광공급유닛(200)의 하우징(210)의 각도를 조절할 수 있도록 함으로써 구현된다.
이처럼 광공급유닛(200)이 수직에 대하여 경사지게 자외선(205)을 주사하는 것은 자외선(205)이 수직으로 조립 기판(400)에 입사될 경우, 조립 기판(400)의 구성 요소, 예를 들면, 블랙매트릭스 또는 게이트 라인 및 데이터 라인 등에 의해서 자외선이 액정 수납체(450)에 도달하기 어렵기 때문이다.
이와 같은 이유로 광공급유닛(200)에서 발생한 자외선(205)을 수직에 대하여 경사지게 주사할 경우, 광공급유닛(200)에서 발생한 자외선을 수직으로 주사할 때보다 양호한 결과를 얻을 수 있다.
이때, 주의할 것은 광공급유닛(200)에서 발생한 자외선(205)이 노광 마스크 유닛(400)의 광차단막(330)에 형성된 개구(320)를 통하여 조립 기판(400)에 형성된 액정 수납체(450)에 도달할 수 있도록 해야 한다는 것이다.
이상에서 상세하게 설명한 바에 의하면, TFT 기판 및 컬러필터기판을 상호 접착 및 액정을 수납하는 역할을 하는 광 경화성 물질에만 선별적으로 광을 공급하여 광 경화성 물질 이외의 부분, 예를 들면, 액정, 배향막 등의 열화가 발생하는 것을 방지하는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명에 의하면, 광 경화성 물질에 광을 공급하는 도중 발생하는 고열에 의해 조립 기판, 램프 및 주변 온도가 상승하는 것을 방지하는 효과도 함께 갖는다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영 역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (18)

  1. 샌드위치 된 2 개의 기판의 사이에 적어도 1 개가 형성된 액정 수납 영역과 상기 각 액정 수납 영역의 테두리를 따라 형성된 액정 팬스가 형성된 액정 팬스 영역에 광에 의하여 경화되는 액정 수납체가 형성된 조립기판이 탑재되는 베이스 몸체;
    상기 조립기판을 향하여 상기 광을 공급하는 광공급유닛;
    상기 광의 주사 경로 상에 배치되어, 상기 광 중 상기 액정 수납 영역을 향하는 제 1 광은 차단하고, 상기 광 중 상기 액정 수납체를 노광하기 위한 제 2 광은 통과시켜 상기 액정 수납체를 상기 액정 팬스로 변경시키는 노광 마스크 유닛; 및
    상기 노광 마스크 유닛의 휨을 방지하기 위한 휨 방지 수단을 포함하며,
    상기 휨 방지 수단은 제1 측면 및 상기 제1 측면과 마주보는 제2 측면이 상기 제1 측면과 평행한 사각기둥 형상인 것을 특징으로 하는 액정 팬스 형성 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 액정 수납체는 자외선 경화 물질을 포함하고, 상기 광공급 유닛에서 발생한 상기 광은 자외선인 것을 특징으로 하는 액정 팬스 형성 장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 광공급 유닛은 자외선을 발생시키는 램프, 상기 자외선 램프에서 발생한 광을 집광하는 집광 커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 팬스 형성 장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 광공급 유닛은 상기 램프에서 상기 자외선과 함께 발생한 적외선을 차단하는 적외선 차단 필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 팬스 형성 장치.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 적외선 차단 필터는 순환하는 액체에 의하여 냉각되는 것을 특징으로 하는 액정 팬스 형성 장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 광공급 유닛은 상기 조립기판의 표면에 대하여 수직 방향으로 상기 광을 주사하는 것을 특징으로 하는 액정 팬스 형성 장치.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 광공급 유닛은 상기 조립기판의 표면에 대하여 경사진 방향으로 상기 광을 주사하는 것을 특징으로 하는 액정 팬스 형성 장치.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 노광 마스크 유닛은 투명 기판, 상기 투명 기판에 형성되며, 상기 액정 수납체로 상기 광이 투과되는 개구가 형성된 광차단막을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 팬스 형성 장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 투명 기판은 유리 기판 또는 석영 기판이고, 상기 광차단막은 크롬 박막인 것을 특징으로 하는 액정 팬스 형성 장치.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 휨 방지 수단은 복수개인 것을 특징으로 하는 액정 팬스 형성 장치.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 휨 방지 수단은 상기 노광 마스크 유닛을 가로지르는 투명 막대 형상을 갖는 노광 마스크 지지대인 것을 특징으로 하는 액정 팬스 형성 장치.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 휨 방지 수단의 상기 제 1 측면은 상기 조립기판의 표면에 밀착되는 것을 특징으로 하는 액정 팬스 형성 장치.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 광공급 유닛은 상기 조립기판, 상기 제 1 측면 및 상기 제 2 측면과 수직 방향으로 상기 광을 공급하는 것을 특징으로 하는 액정 팬스 형성 장치.
  14. 샌드위치 된 2 개의 기판의 사이에 적어도 1 개가 형성된 액정 수납 영역과 상기 각 액정 수납 영역의 테두리를 따라 형성된 액정 팬스가 형성된 액정 팬스 영역에 광에 의하여 경화되는 액정 수납체가 형성된 조립기판이 탑재되는 베이스 몸체;
    상기 조립기판을 향하여 상기 광을 공급하는 광공급유닛;
    상기 광의 주사 경로 상에 배치되어, 상기 광 중 상기 액정 수납 영역을 향하는 제 1 광은 차단하고, 상기 광 중 상기 액정 수납체를 노광하기 위한 제 2 광은 통과시켜 상기 액정 수납체를 상기 액정 팬스로 변경시키는 노광 마스크 유닛; 및
    상기 노광 마스크 유닛의 휨을 방지하기 위한 휨 방지 수단을 포함하며,
    상기 휨 방지 수단은 원기둥 형상인 것을 특징으로 하는 액정 팬스 형성 장치.
  15. 제 14 항에 있어서, 상기 광공급 유닛은 상기 조립기판의 표면에 대하여 경사진 방향으로 상기 광을 공급하는 것을 특징으로 하는 액정 팬스 형성 장치.
  16. 제 11 항에 있어서, 상기 노광 마스크 지지대는 석영으로 제작되는 것을 특징으로 하는 액정 팬스 형성 장치.
  17. 제 10 항에 있어서, 상기 휨 방지 수단은 상기 노광 마스크 유닛의 표면들 중 상기 광공급수단 쪽 표면에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 팬스 형성 장치.
  18. 제 10 항에 있어서, 상기 휨 방지 수단은 상기 노광 마스크 유닛의 표면들 중 상기 베이스 몸체 쪽 표면에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 팬스 형성 장치.
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