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KR100872748B1 - Photoelectric conversion module and fabricating method thereof - Google Patents

Photoelectric conversion module and fabricating method thereof Download PDF

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KR100872748B1
KR100872748B1 KR1020070057410A KR20070057410A KR100872748B1 KR 100872748 B1 KR100872748 B1 KR 100872748B1 KR 1020070057410 A KR1020070057410 A KR 1020070057410A KR 20070057410 A KR20070057410 A KR 20070057410A KR 100872748 B1 KR100872748 B1 KR 100872748B1
Authority
KR
South Korea
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substrate
flexible
optical
circuit board
array
Prior art date
Application number
KR1020070057410A
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Korean (ko)
Inventor
임영민
Original Assignee
전자부품연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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Abstract

The photoelectric conversion module and the manufacturing method thereof are provided to improve the light coupling efficiency by connecting directly the optical guide to the optical device array and printed circuit board. The photoelectric conversion module for improving the light coupling efficiency comprises the printed circuit board(100) having the groove, the ductility integrated circuit board(110) in which one end is bent to the groove, the optical device array(120) formed on the ductility IC of the substrate, the optical guide whose one end is photo-connected to the optical device array(130), the epoxy(150) which surrounds the ductility integrated circuit board and optical device array, and the semiconductor chip(140) having the driver circuit.

Description

광전변환모듈 및 그 제조방법{ Photoelectric conversion module and Fabricating method thereof }Photoelectric conversion module and fabrication method

도 1은 종래의 광전변환모듈을 나타낸 단면도.1 is a cross-sectional view showing a conventional photoelectric conversion module.

도 2는 본 발명의 광전변환모듈의 제1 실시예를 나타낸 단면도.2 is a cross-sectional view showing a first embodiment of a photoelectric conversion module of the present invention.

도 3은 본 발명의 광전변환모듈의 제2 실시예를 나타낸 단면도.3 is a cross-sectional view showing a second embodiment of a photoelectric conversion module of the present invention.

도 4는 본 발명의 광전변환모듈의 제조방법을 나타낸 순서도.Figure 4 is a flow chart showing a manufacturing method of a photoelectric conversion module of the present invention.

도 5는 본 발명의 광전변환모듈의 제3 실시예를 나타낸 단면도.5 is a cross-sectional view showing a third embodiment of a photoelectric conversion module of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100 : 인쇄회로기판 105 : 홈100: printed circuit board 105: groove

110 : 연성 IC 기판 120 : 광소자 어레이110: flexible IC substrate 120: optical element array

130 : 광 도파로 어레이 140 : 반도체 칩130: optical waveguide array 140: semiconductor chip

150 : 에폭시150: epoxy

본 발명은 광전변환모듈 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a photoelectric conversion module and a method of manufacturing the same.

최근, 정보통신기술은 전송되는 데이터의 고속화 및 대용량화의 경향에 있으 며, 그에 따른 고속 통신 환경을 실현하기 위한 광 통신 기술의 개발이 진행되고 있다. In recent years, information and communication technology has tended to increase the speed and capacity of data to be transmitted, and the development of optical communication technology for realizing a high-speed communication environment has been in progress.

일반적으로 광 통신에서는 송신 측의 광전변환소자에서 전기 신호를 광신호로 변환하고, 변환된 광신호를 광 파이버 또는 광 도파로를 이용하여 수신 측으로 전송하며, 수신 측의 광전변환소자에서 수신한 광신호를 전기 신호로 변환한다. In general, optical communication converts an electrical signal into an optical signal in a photoelectric conversion element on a transmitting side, transmits the converted optical signal to a receiving side using an optical fiber or an optical waveguide, and receives the optical signal received in the photoelectric conversion element on the receiving side. Converts to an electrical signal.

이러한 광전변환소자가 시스템 내에 적용되어 상용화되기 위해서는 전기 접속 및 광 접속이 효율적으로 이루어지도록 구성되어야 한다.In order for such a photoelectric conversion element to be applied and commercialized in a system, an electrical connection and an optical connection must be efficiently configured.

도 1은 종래의 광전변환모듈을 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a conventional photoelectric conversion module.

이에 도시된 바와 같이, 인쇄회로기판(Printed Circuit Board : PCB)(10) 상부에 광 소자(30)가 실장된 볼 그리드 어레이(Ball Grid Array : BGA) 패키지(20)가 솔더 볼(Solder Ball)(23)에 의해 접합되어 있다.As shown in the drawing, a ball grid array (BGA) package 20 in which an optical element 30 is mounted on a printed circuit board (PCB) 10 is a solder ball. It is joined by (23).

상기 인쇄회로기판(10)과 볼 그리드 어레이 패키지(20)는 인쇄회로기판의 V-홈(V-Groove)(11)에 형성된 얼라인먼트 볼(Alignment Ball)(12)에 의해 정렬되어 접합되며, 이와 같은 정렬을 통해 상기 볼 그리드 어레이 패키지의 광 소자(30)에서 발생한 빛이 인쇄회로기판(10)의 광 도파로(15)에 입사되는 구조를 가진다.The printed circuit board 10 and the ball grid array package 20 are aligned and bonded to each other by alignment balls 12 formed in the V-groove 11 of the printed circuit board. Through the same alignment, the light generated from the optical device 30 of the ball grid array package is incident on the optical waveguide 15 of the printed circuit board 10.

상기 볼 그리드 어레이 패키지(20)는 전자회로가 집적되어 있는 반도체칩(21)과, 상기 반도체칩(21)을 실장하기 위한 회로기판(22)과, 상기 회로기판(22)의 하부면에 융착되어 인쇄회로기판(10)과 볼 그리드 어레이 패키지(20)를 접합시키는 솔더 볼(23)과, 상기 반도체칩(21)을 외부환경으로부터 보호하기 위하여 상기 회로기판(22) 상부에 반도체칩(21)을 감싸며 형성된 보호 수지(24)로 이루어진다.The ball grid array package 20 is fused to a semiconductor chip 21 in which electronic circuits are integrated, a circuit board 22 for mounting the semiconductor chip 21, and a lower surface of the circuit board 22. And a solder ball 23 for bonding the printed circuit board 10 and the ball grid array package 20 to the upper surface of the circuit board 22 to protect the semiconductor chip 21 from an external environment. It is made of a protective resin 24 formed surrounding.

상기 볼 그리드 어레이 패키지(20)의 반도체칩(21)의 하부에는 상기 반도체칩(21)에서 전달된 신호에 따라 구동되는 광 소자(30)가 솔더 범프(Solder Bump)(35)에 의해 접합되어 있다.An optical element 30 driven in accordance with a signal transmitted from the semiconductor chip 21 is bonded to the lower portion of the semiconductor chip 21 of the ball grid array package 20 by solder bumps 35. have.

상기 솔더 범프(35)에 의해 상기 반도체칩(21)과 광 소자(30)가 전기적으로 접속되며, 상기 반도체칩(21)의 하부에 접합된 광 소자(30)가 광 도파로(15)와 대응되는 위치에 고정되게 된다.The semiconductor chip 21 and the optical device 30 are electrically connected by the solder bumps 35, and the optical device 30 bonded to the lower portion of the semiconductor chip 21 corresponds to the optical waveguide 15. It is fixed at the position.

상기 광 소자(30)는 발광 소자 또는 수광 소자로서, 발광 소자의 경우 VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser) 또는 LED(Light Emitting Diode) 등이 사용될 수 있으며, 수광 소자의 경우 PD(Photo Diode) 등이 사용된다.The optical device 30 may be a light emitting device or a light receiving device, and in the case of a light emitting device, a vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) or a light emitting diode (LED) may be used. In the case of a light receiving device, a photo diode (PD) may be used. Used.

이와 같이 구성된 종래의 광전변환모듈에 있어서, 반도체칩(21)에서 발생된 제어 신호에 따라 광 소자(30)가 구동하게 되며, 이때 광 소자(30)는 전기신호를 광신호로 변환하여 출력한다.In the conventional photoelectric conversion module configured as described above, the optical device 30 is driven in accordance with a control signal generated from the semiconductor chip 21, and the optical device 30 converts an electrical signal into an optical signal and outputs the optical signal. .

상기 광 소자(30)로부터 출력된 광신호는 인쇄회로기판(10)의 광 도파로(15)의 한쪽 단면에 형성된 45도 미러(16)를 통해 반사되어 광 도파로(15) 내부를 진행하게 된다.The optical signal output from the optical device 30 is reflected through a 45 degree mirror 16 formed at one end surface of the optical waveguide 15 of the printed circuit board 10 to travel inside the optical waveguide 15.

이러한 구성의 종래의 광전변환모듈은 광 소자(30)를 실장한 볼 그리드 어레이 패키지(20)와 인쇄회로기판(10) 간의 전기적 접속에는 문제가 없지만, 광 소자(30)와 인쇄회로기판의 광 도파로(15) 간의 광 접속(Optical Interconnection)에 는 많은 문제점을 포함하고 있다.The conventional photoelectric conversion module having such a configuration has no problem in the electrical connection between the ball grid array package 20 in which the optical element 30 is mounted and the printed circuit board 10, but the optical of the optical element 30 and the printed circuit board Optical interconnections between the waveguides 15 include many problems.

즉, 종래의 광전변환모듈은 상기 광 소자(30)와 광 도파로(15) 간의 상호 이격된 거리로 인하여 광 접속 효율이 매우 낮다는 단점이 있다.That is, the conventional photoelectric conversion module has a disadvantage in that the optical connection efficiency is very low due to the mutually spaced distance between the optical element 30 and the optical waveguide 15.

예를 들어, 광 소자(30)로서 VCSEL을 사용하는 경우, 상기 VCSEL은 공기 중에 빛을 출사할 때의 발산각이 25도 ~ 30도 정도가 되기 때문에 광 도파로(15)와의 이격된 거리가 길어질수록 광 결합 효율은 크게 떨어지게 된다.For example, when the VCSEL is used as the optical device 30, the VCSEL has a diverging angle of about 25 degrees to about 30 degrees when emitting light in the air, so that the distance from the optical waveguide 15 becomes long. As the optical coupling efficiency decreases significantly.

이러한 문제점을 해결하기 위해, 광 소자(30)와 광 도파로(15) 사이에 렌즈를 설치하여 광 결합 효율을 향상시키려는 방안이 제시되었으나, 이 경우 렌즈를 상기 광 소자(30)와 광 도파로(15) 사이에 설치하기 위한 추가적인 공정이 필요하며, 이는 대량 생산에 걸림돌이 된다는 문제점이 있다.In order to solve this problem, a method of improving optical coupling efficiency by providing a lens between the optical element 30 and the optical waveguide 15 has been proposed. There is a need for an additional process to install between the), which is an obstacle to mass production.

한편, 종래의 광전변환모듈은 인쇄회로기판(10)의 광 도파로(15)의 한쪽 단면에 45도 미러(16)를 형성하여, 광 소자(30)에서 출사된 광을 반사시켜 광 도파로(15) 내부로 진행시키는데, 광전변환모듈의 제조 공정 시 상기 45도 미러(16)를 형성하는 데는 많은 공정을 필요로 하며, 그 과정에서 광전변환모듈의 신뢰성을 크게 떨어뜨린다는 문제점이 있다.Meanwhile, the conventional photoelectric conversion module forms a 45 degree mirror 16 on one end surface of the optical waveguide 15 of the printed circuit board 10 and reflects the light emitted from the optical element 30 so as to reflect the optical waveguide 15. In the process of manufacturing the photoelectric conversion module, the 45-degree mirror 16 needs many steps, and in the process, the reliability of the photoelectric conversion module is greatly reduced.

따라서, 본 발명의 목적은 인쇄회로기판에 홈을 형성하고, 광소자 어레이가 형성된 연성 IC 기판의 일단을 인쇄회로기판의 홈에 휘어져 놓이게 한 후, 광소자 어레이와 인쇄회로기판에 매립된 광 도파로 어레이가 직접 접속되도록 함으로써, 광 결합 효율을 향상시킨 광전변환모듈 및 그 제조방법을 제공하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to form a groove in a printed circuit board, and to make one end of the flexible IC substrate having the optical element array bent in the groove of the printed circuit board, and then an optical waveguide embedded in the optical element array and the printed circuit board. By directly connecting the array, to provide a photoelectric conversion module and a method of manufacturing the improved optical coupling efficiency.

본 발명의 광전변환모듈의 바람직한 실시예는, 홈이 형성된 인쇄회로기판과, 상기 인쇄회로기판 상부에 형성되며 일단이 상기 홈으로 휘어져 있는 연성 IC 기판과, 상기 홈으로 휘어진 부분의 연성 IC 기판상에 형성된 광소자 어레이와, 상기 인쇄회로기판에 매립되며, 일단이 상기 홈에서 상기 광소자 어레이와 광 접속되는 광 도파로 어레이와, 상기 인쇄회로기판의 홈에 상기 연성 IC 기판 및 광소자 어레이를 감싸며 충진된 에폭시와, 상기 연성 IC 기판의 상부에 형성되며, 상기 광소자 어레이를 구동시키는 구동 회로가 내장된 반도체 칩을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.A preferred embodiment of the photoelectric conversion module of the present invention is a printed circuit board having a groove, a flexible IC substrate formed at an upper portion of the printed circuit board and curved at one end thereof, and a flexible IC substrate having a curved portion thereof. An optical element array formed in the substrate, an optical waveguide array embedded in the printed circuit board, one end of which is optically connected to the optical element array in the groove, and enclosing the flexible IC substrate and the optical element array in the groove of the printed circuit board. And a semiconductor chip having a filled epoxy and a driving circuit formed on the flexible IC substrate and driving the optical element array.

본 발명의 광전변환모듈의 제조방법의 바람직한 실시예는, 연성 IC 기판 상부에 반도체 칩을 형성하고, 상기 연성 IC 기판의 일단의 상부에 상기 반도체 칩에 의해 구동되는 광소자 어레이를 형성하는 단계와, 인쇄회로기판에 상기 광소자 어레이가 형성된 연성 IC 기판의 일단이 휘어져 놓여 질 홈을 형성하는 단계와, 상기 연성 IC 기판을 상기 인쇄회로기판상에 접합하고, 상기 연성 IC 기판의 광소자 어레이가 형성된 부분이 상기 인쇄회로기판의 홈으로 휘어져 놓이도록 한 후, 상기 광소자 어레이와 상기 인쇄회로기판에 매립된 광 도파로 어레이가 광 접속되도록 접합하는 단계와, 상기 인쇄회로기판의 홈에 상기 연성 IC 기판 및 광소자 어레이를 감싸며 에폭시를 충전하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.A preferred embodiment of the method of manufacturing a photoelectric conversion module of the present invention comprises the steps of: forming a semiconductor chip on the flexible IC substrate, and forming an optical element array driven by the semiconductor chip on one end of the flexible IC substrate; Forming a groove in which one end of the flexible IC substrate having the optical element array formed on the printed circuit board is bent, and bonding the flexible IC substrate to the printed circuit board, and the optical element array of the flexible IC substrate Bonding the optical element array and the optical waveguide array embedded in the printed circuit board to optically connect the formed part to be bent into the groove of the printed circuit board, and connecting the flexible IC to the groove of the printed circuit board. Wrapping the substrate and the array of optical devices, characterized in that it comprises a step of filling the epoxy.

이하, 도 2 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 광전변환모듈 및 그 제조방법에 대해 상세히 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명과 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.Hereinafter, the photoelectric conversion module of the present invention and a manufacturing method thereof will be described in detail with reference to FIGS. 2 to 5. In describing the present invention, when it is determined that the detailed description of the known technology related to the present invention may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. In addition, terms to be described below are terms defined in consideration of functions in the present invention, which may vary according to the intention or custom of a user or an operator. Therefore, the definition should be made based on the contents throughout the specification.

도 2는 본 발명의 광전변환모듈의 제1 실시예를 나타낸 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing a first embodiment of a photoelectric conversion module of the present invention.

이에 도시된 바와 같이, 홈(105)이 형성된 인쇄회로기판(100)과, 상기 인쇄회로기판(100) 상부에 형성되며 일단이 상기 홈(105)으로 휘어져 있는 연성(Flexible) IC 기판(110)과, 상기 홈(105)으로 휘어진 연성 IC 기판(110)의 상부에 형성된 광소자 어레이(120)와, 상기 인쇄회로기판(100)에 매립되며, 일단이 상기 광소자 어레이(120)와 광 접속되는 광 도파로 어레이(130)와, 상기 연성 IC 기판(110)의 상부에 형성되며, 상기 광소자 어레이(120)를 구동시키는 구동 회로가 내장된 반도체칩(140)을 포함하여 구성된다.As shown therein, the flexible printed circuit board 100 having the grooves 105 formed thereon, and the flexible IC substrate 110 having one end bent into the grooves 105 formed on the printed circuit board 100. And an optical element array 120 formed on an upper portion of the flexible IC substrate 110 that is bent into the groove 105, and embedded in the printed circuit board 100, and one end thereof is optically connected to the optical element array 120. The semiconductor chip 140 includes an optical waveguide array 130 and a semiconductor chip 140 formed on the flexible IC substrate 110 and including a driving circuit for driving the optical element array 120.

여기서, 상기 인쇄회로기판(100)으로는 절연 기판의 일면에만 배선을 형성한 단면 인쇄회로기판, 절연 기판의 양면에 배선을 형성한 양면 인쇄회로기판 및 다층으로 배선한 다층 인쇄회로기판(Multi Layered Board : MLB) 등이 사용될 수 있으 며, 최근 고밀도 및 소형화 회로에 대한 요구의 증가에 따라 다층 인쇄회로기판이 주로 사용된다.Here, the printed circuit board 100 includes a single-sided printed circuit board having wiring formed only on one surface of an insulating substrate, a double-sided printed circuit board having wiring formed on both sides of the insulating substrate, and a multilayer printed circuit board that is wired in multiple layers. Board: MLB) can be used, and multilayer printed circuit boards are mainly used due to the recent increase in demand for high density and miniaturized circuits.

상기 다층 인쇄회로기판은 배선 영역을 확대하기 위해 배선 패턴의 형성이 가능한 층을 추가로 형성한 것인데, 구체적으로 다층 인쇄회로기판은 내층과 외층으로 구분된다. The multilayer printed circuit board further includes a layer capable of forming a wiring pattern in order to enlarge a wiring area. Specifically, the multilayer printed circuit board is divided into an inner layer and an outer layer.

상기 내층에는 전원 회로, 접지 회로, 신호 회로 등의 회로 패턴(107)을 형성하며, 내층과 외층 간 또는 외층 사이에는 절연층을 형성한다. 이때, 각 층의 배선은 비아 홀(Via Hole)을 이용하여 연결한다.A circuit pattern 107 such as a power supply circuit, a ground circuit, a signal circuit, or the like is formed in the inner layer, and an insulating layer is formed between the inner layer and the outer layer or between the outer layers. At this time, the wiring of each layer is connected using a via hole.

상기 인쇄회로기판(100)의 소정 영역에는 홈(105)이 형성되는데, 상기 홈(105)은 연성 IC 기판(110)이 상기 홈(105)으로 휘어져 놓이게 될 때, 광소자 어레이(120)와 광 도파로 어레이(130)가 동일한 위치에 놓이도록 깊이를 조절하여 형성한다.Grooves 105 are formed in a predetermined region of the printed circuit board 100. The grooves 105 are formed with the optical element array 120 when the flexible IC substrate 110 is bent into the grooves 105. The optical waveguide array 130 is formed by adjusting the depth so that the optical waveguide array 130 is positioned at the same position.

상기 연성(Flexible) IC 기판(110)은 반도체칩(140)이 인쇄회로기판(100)에 전기적으로 쉽게 접속되도록 해주는 중간 매개체로서 사용된다.The flexible IC substrate 110 is used as an intermediate medium that allows the semiconductor chip 140 to be electrically connected to the printed circuit board 100 easily.

즉, 상기 반도체칩(140)은 전극의 수가 많고 전극 간격이 수십 ㎛에 불과하여 이를 인쇄회로기판(100)에 직접 접합시키려면, 인쇄회로기판(100)의 구조가 복잡해지고 비용도 크게 상승하게 되는데, 이를 방지하기 위해 반도체칩(140)과 인쇄회로기판(100) 사이에 연성 IC 기판(110)을 사용하여 반도체칩(140)과 인쇄회로기판(100)을 전기적으로 접속시킨다.That is, the semiconductor chip 140 has a large number of electrodes and an electrode spacing of only a few tens of micrometers, so that the semiconductor chip 140 can be directly bonded to the printed circuit board 100, resulting in a complicated structure of the printed circuit board 100 and a significant increase in cost. In order to prevent this, the semiconductor chip 140 and the printed circuit board 100 are electrically connected between the semiconductor chip 140 and the printed circuit board 100 using the flexible IC substrate 110.

상기 인쇄회로기판(100)과 연성 IC 기판(110)은 솔더 볼(101) 및 범프(102)를 이용한 플립 칩 본딩(Flip Chip Bonding) 방식에 의해 접합되어 전기적으로 연결된다.The printed circuit board 100 and the flexible IC substrate 110 are bonded and electrically connected by flip chip bonding using a solder ball 101 and a bump 102.

이때, 상기 범프(102)는 상기 인쇄회로기판(100)의 내층에 형성된 회로 패턴(107)들과 각각 전기적으로 연결된다.In this case, the bumps 102 are electrically connected to the circuit patterns 107 formed on the inner layer of the printed circuit board 100, respectively.

상기 인쇄회로기판(100)과 IC 기판(110) 간의 접합은 플립 칩 본딩 방식뿐만 아니라 본딩 와이어(Bonding Wire)를 이용한 와이어 본딩 방식으로 이루어질 수 있으며, 상기 플립 칩 본딩과 와이어 본딩 방식을 혼용하여 이루어질 수도 있다.Bonding between the printed circuit board 100 and the IC substrate 110 may be performed by a wire bonding method using a bonding wire as well as a flip chip bonding method, and may be performed by using the flip chip bonding and the wire bonding method. It may be.

상기 연성 IC 기판(110)은 일단이 상기 인쇄회로기판의 홈(105)으로 휘어져 놓이게 된다.One end of the flexible IC substrate 110 is bent into the groove 105 of the printed circuit board.

상기 광소자 어레이(120)는 상기 인쇄회로기판의 홈(105)으로 휘어진 연성 IC 기판(110)의 상부에 형성되며, 상기 반도체칩(140)의 제어에 따라 구동되어 전기신호를 광신호로 또는 광신호를 전기 신호로 변환한다.The optical device array 120 is formed on the flexible IC substrate 110 that is bent into the groove 105 of the printed circuit board, and is driven under the control of the semiconductor chip 140 to convert an electrical signal into an optical signal or Convert the optical signal into an electrical signal.

본 발명에 의하면, 상기 광소자 어레이(120)를 상기 인쇄회로기판의 홈(105)으로 휘어진 연성 IC 기판(110)의 상부에 형성함으로써, 광소자 어레이(120)가 광 도파로 어레이(130)와 직접 접속(Butt Coupled)되도록 할 수 있으며, 그로 인해 광 접속 효율을 향상시킬 수 있다.According to the present invention, the optical device array 120 is formed on the flexible IC substrate 110 bent into the groove 105 of the printed circuit board, thereby the optical device array 120 and the optical waveguide array 130 Butt coupled can be made, thereby improving the optical connection efficiency.

상기 광소자 어레이(120)는 수광 소자 또는 발광 소자, 예를 들어 VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser), LED(Light Emitting Diode), PD(Photo Diode) 등이 동일 평면상에 M×N 배열되어 있는 형태를 가진다.The optical device array 120 includes a light receiving device or a light emitting device, for example, a vertical cavity surface emitting laser (VCSEL), a light emitting diode (LED), a photo diode (PD), and the like, which are arranged on the same plane. Has a form.

상기 광소자 어레이(120)는 상기 연성 IC 기판(110)의 상부에 접합되어 형성되는데, 이때 상기 연성 IC 기판(110)과 광소자 어레이(120) 간의 접합은 솔더 볼(111) 및 범프(112)를 이용한 플립 칩 본딩방식에 의한다.The optical device array 120 is bonded to the upper portion of the flexible IC substrate 110, wherein the bonding between the flexible IC substrate 110 and the optical device array 120 is solder ball 111 and bump 112 By flip chip bonding method using).

상기 연성 IC 기판(110)과 광소자 어레이(120) 간의 접합은 상기 플립 칩 본딩 방식뿐만 아니라, 본딩 와이어(Bonding Wire)를 이용한 와이어 본딩 방식 및 상기 플립 칩 본딩과 와이어 본딩 방식을 혼용한 방식으로 이루어질 수 있다.Bonding between the flexible IC substrate 110 and the optical device array 120 may include not only the flip chip bonding method but also a wire bonding method using a bonding wire and a combination of the flip chip bonding and the wire bonding method. Can be done.

상기 광 도파로 어레이(130)는 인쇄회로기판(100)에 매립(Embeded)되어 형성되며, 동일 평면상에 광 도파로가 M×N 배열되어 있는 형태를 가지는데, 상기 광 도파로 어레이(130)의 광 도파로는 상기 광소자 어레이(120)의 광소자들과 동일한 배열 형태를 가진다.The optical waveguide array 130 is formed by being embedded in the printed circuit board 100, and has an optical waveguide arranged on the same plane as M × N. The optical waveguide of the optical waveguide array 130 The waveguide has the same arrangement as that of the photons of the optical element array 120.

상기 광 도파로 어레이(130)는 상기 광소자 어레이(120)와 접합되는데, 이때 광 투과성 에폭시(125)가 상기 광소자 어레이(120)와 광 도파로 어레이(130) 사이에 개재되어 접합되며, 상기 광 도파로 어레이(130)의 각 광 도파로는 상기 광소자 어레이(120)의 각 광소자와 일대일 대응되어 접합된다.The optical waveguide array 130 is bonded to the optical element array 120, wherein a light transmissive epoxy 125 is interposed between the optical element array 120 and the optical waveguide array 130 and bonded to the optical element array 120. Each of the optical waveguides of the waveguide array 130 is connected in a one-to-one correspondence with each optical element of the optical element array 120.

여기서, 상기 광 투과성 에폭시(125)는 광 도파로 어레이(130)의 광 도파로와 비슷한 굴절률을 가지며, 광소자 어레이(120)의 사용 파장에서 광 투과성이 좋은 폴리머 계열의 에폭시를 사용하는 것이 바람직하다.Here, the light transmissive epoxy 125 has a refractive index similar to that of the optical waveguide of the optical waveguide array 130, and preferably uses a polymer-based epoxy having good light transmittance at the wavelength of use of the optical element array 120.

예를 들어, 상기 광 투과성 에폭시(125)는 1.4 ~ 1.6의 굴절률을 가지고, 상 기 광소자 어레이(120)에서 출사되는 광의 파장에서 80 ~ 95%의 광 투과율을 가지는 에폭시인 것이 바람직하다.For example, the light transmissive epoxy 125 has a refractive index of 1.4 to 1.6, it is preferable that the epoxy having a light transmittance of 80 to 95% at the wavelength of the light emitted from the optical element array 120.

상기 반도체칩(140)은 상기 광소자 어레이(120)를 구동시키기 위한 것으로, 반도체칩(140)에는 광소자 어레이(120)를 구동시키기 위한 구동 회로가 내장되어 있다.The semiconductor chip 140 is used to drive the optical device array 120, and the semiconductor chip 140 includes a driving circuit for driving the optical device array 120.

그리고, 상기 반도체칩(140)은 상기 광소자 어레이(120)로 제어신호를 발생시켜 전기 신호를 광신호로 또는 광신호를 전기 신호로 변환시킨다.The semiconductor chip 140 generates a control signal to the optical device array 120 to convert an electrical signal into an optical signal or an optical signal into an electrical signal.

상기 반도체칩(140)은 상기 연성 IC 기판(110)의 상부에 솔더 볼(111) 및 범프(112)를 통하여 접합되는데, 상기 플립 칩 본딩 방식뿐만 아니라 와이어 본딩 방식으로 접합 될 수 있으며, 또한 상기 플립 칩 본딩과 와이어 본딩 방식을 혼용한 방식으로 접합 될 수도 있다.The semiconductor chip 140 is bonded to the upper portion of the flexible IC substrate 110 through the solder balls 111 and the bumps 112. The semiconductor chip 140 may be bonded by a wire bonding method as well as the flip chip bonding method. Flip chip bonding and wire bonding may be used in a mixed manner.

또한, 상기 인쇄회로기판(100)과 연성 IC 기판(110) 사이 및 상기 연성 IC 기판(110)과 반도체칩(140) 사이에 에폭시(150)가 충진되고, 상기 인쇄회로기판의 홈(105)에 연성 IC 기판(110) 및 광소자 어레이(120)를 감싸며 에폭시(150)가 충진된다.In addition, an epoxy 150 is filled between the printed circuit board 100 and the flexible IC substrate 110 and between the flexible IC substrate 110 and the semiconductor chip 140, and the groove 105 of the printed circuit board is filled. The epoxy 150 is filled around the flexible IC substrate 110 and the optical device array 120.

상기 에폭시(150)는 외부 온도 변화시 각 부품들 간의 열팽창계수 차이에 의해 발생하는 스트레스를 완화시키고, 각 부품들 사이의 접합 상태를 유지시키는 역할을 한다.The epoxy 150 serves to relieve stress caused by the difference in thermal expansion coefficient between the components when the external temperature changes, and to maintain the bonding state between the components.

그리고, 본 발명에서는 상기 반도체칩(140)을 외부 환경으로부터 보호하기 위해 상기 연성 IC 기판(110) 상부에 반도체칩(140)을 감싸는 보호 수지(미도시)를 더 형성할 수 있다.In the present invention, a protective resin (not shown) surrounding the semiconductor chip 140 may be further formed on the flexible IC substrate 110 to protect the semiconductor chip 140 from an external environment.

이와 같이, 본 발명은 인쇄회로기판(100)에 홈(105)을 형성하고 연성 IC 기판(110)의 일단을 상기 홈(105)으로 휘어져 놓이게 하며, 휘어진 연성 IC 기판(110)의 상부에 광소자 어레이(120)를 형성하여 광 도파로 어레이(130)와 직접 접합되도록 함으로써, 광소자와 광 도파로 간의 광 결합 효율을 향상시킬 수 있다.As described above, the present invention forms a groove 105 in the printed circuit board 100 and allows one end of the flexible IC substrate 110 to be bent into the groove 105, and the light on the curved flexible IC substrate 110. By forming the device array 120 to be directly bonded to the optical waveguide array 130, it is possible to improve the optical coupling efficiency between the optical device and the optical waveguide.

즉, 본 발명에서는 광소자와 광 도파로 사이의 간격을 수십 ㎛ 이내로 유지시킬 수 있기 때문에, 기존의 광전변환모듈에 비하여 우수한 광 결합 효율을 가지게 된다.That is, in the present invention, since the distance between the optical element and the optical waveguide can be maintained within several tens of micrometers, the optical coupling efficiency is superior to that of the conventional photoelectric conversion module.

그리고, 광소자 어레이(120)와 광 도파로 어레이(130) 사이에 광 도파로와 굴절률이 비슷하고 광소자 어레이의 사용 파장에서 광 투과성이 좋은 광 투과성 에폭시(125)를 사용함으로써, 광 커플링 효율을 더 향상시킬 수 있다.In addition, the optical coupling efficiency is improved between the optical element array 120 and the optical waveguide array 130 by using a light transmissive epoxy 125 having a similar refractive index with the optical waveguide and having good light transmittance at the wavelength of use of the optical element array. You can improve further.

또한, 본 발명에서는 광소자와 광 도파로 간의 광 접속이 광소자의 배열 형태와 동일한 배열 형태를 갖는 광 도파로 사이에 같은 평면상에서 이루어지므로, 다채널 광 접속이 손쉽게 이루어지며, 그에 따른 광학설계도 용이하게 할 수 있다.In addition, in the present invention, since the optical connection between the optical element and the optical waveguide is made on the same plane between the optical waveguides having the same arrangement as that of the optical element, the multi-channel optical connection can be easily made, and thus the optical design can be facilitated. Can be.

한편, 도 3에 도시된 바와 같이, 인쇄회로기판(100)에 인쇄회로기판(100)을 관통하는 공간부(106)를 형성하고, 광소자 어레이(120)가 접합된 부분의 연성 IC 기판(110)을 상기 공간부(106)로 휘어져 놓이게 한 후, 광소자 어레이(120)와 광 도파로 어레이(130)를 정렬하여 접합하고, 상기 공간부(106)에 연성 IC 기판(110) 및 광소자 어레이(120)를 감싸며 에폭시(150)를 충진 할 수도 있다.On the other hand, as shown in Figure 3, the printed circuit board 100 to form a space portion 106 penetrating the printed circuit board 100, the flexible IC substrate of the portion where the optical element array 120 is bonded ( After bending the 110 to the space portion 106, the optical device array 120 and the optical waveguide array 130 are aligned and bonded to each other, and the flexible IC substrate 110 and the optical device are connected to the space 106. The epoxy 120 may be filled to surround the array 120.

도 4는 본 발명의 광전변환모듈의 제조방법을 나타낸 순서도이다.4 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a photoelectric conversion module of the present invention.

이에 도시한 바와 같이, 먼저 연성 IC 기판(110)의 상부에 광소자 어레이(120) 및 반도체칩(140)을 접합한다(S 100). As shown in the drawing, first, the optical device array 120 and the semiconductor chip 140 are bonded to the upper portion of the flexible IC substrate 110 (S 100).

즉, 플레이트(Plate) 위에 상기 연성 IC 기판(110)을 올려놓고, 연성 IC 기판(110)의 양끝을 고정 지그로 고정한 후, 연성 IC 기판(110) 상부에 광소자 어레이(120) 및 반도체칩(140)을 접합한다.That is, the flexible IC substrate 110 is placed on a plate, and both ends of the flexible IC substrate 110 are fixed with fixing jigs, and then the optical device array 120 and the semiconductor chip are placed on the flexible IC substrate 110. 140 is bonded.

여기서, 상기 광소자 어레이(120)는 연성 IC 기판(110)의 일단을 인쇄회로기판(100)의 홈(105)으로 휘어져 놓이게 하였을 때, 인쇄회로기판(100)에 매립된 광 도파로 어레이(130)와 대응되는 위치에 놓이도록 연성 IC 기판(110)의 한쪽 끝 부분에 접합한다.Here, the optical element array 120 is an optical waveguide array 130 embedded in the printed circuit board 100 when one end of the flexible IC substrate 110 is bent into the groove 105 of the printed circuit board 100. ) Is bonded to one end of the flexible IC substrate 110 so as to be positioned at a position corresponding to the < RTI ID = 0.0 >

이때, 상기 광소자 어레이(120) 및 반도체칩(140)의 접합은 솔더 볼 및 범프를 이용한 플립 칩 본딩 방식 또는 본딩 와이어를 이용한 와이어 본딩 방식 등을 통해 이루어진다.In this case, the optical device array 120 and the semiconductor chip 140 may be bonded through a flip chip bonding method using solder balls and bumps or a wire bonding method using bonding wires.

다음으로, 상기 인쇄회로기판(100)에 홈(105)을 형성한다(S 110). Next, the groove 105 is formed in the printed circuit board 100 (S 110).

상기 인쇄회로기판의 홈(105)은 상기 연성 IC 기판(110)의 일단이 상기 홈(105)으로 휘어져 놓여 질 때, 상기 홈(105)으로 휘어진 연성 IC 기판(110)의 상부에 접합된 광소자 어레이(120)가 인쇄회로기판(100)에 매립된 광 도파로 어레 이(130)와 대응되는 위치에 놓이도록 깊이와 폭을 조절하여 형성한다.The groove 105 of the printed circuit board is light bonded to an upper portion of the flexible IC substrate 110 that is bent into the groove 105 when one end of the flexible IC substrate 110 is bent into the groove 105. The element array 120 is formed by adjusting depth and width so that the device array 120 is positioned at a position corresponding to the optical waveguide array 130 embedded in the printed circuit board 100.

이어서, 상기 연성 IC 기판의 일단 즉, 광소자 어레이(120)가 접합된 부분을 상기 인쇄회로기판의 홈(105)으로 휘어져 놓이게 한 후, 상기 광소자 어레이(120)와 광 도파로 어레이(130)를 접합한다(S 120).Subsequently, one end of the flexible IC substrate, that is, the portion where the optical device array 120 is bonded, is bent into the groove 105 of the printed circuit board, and then the optical device array 120 and the optical waveguide array 130 are disposed. Bonding (S 120).

상기 광소자 어레이(120)는 수광 소자 또는 발광 소자들이 동일 평면상에 M×N 배열되어 있는 형태를 가지는데, 상기 광 도파로 어레이(130)는 광 도파로들이 상기 광소자 어레이(120)의 광소자들과 동일한 배열로 형성되어 상기 광소자 어레이(120)의 광소자들과 일대일 광 접속된다.The optical element array 120 has a shape in which the light receiving element or the light emitting elements are arranged on the same plane M × N, the optical waveguide array 130 is an optical waveguide of the optical element of the optical element array 120 They are formed in the same arrangement as the one-to-one optical connection with the photons of the optical device array 120.

여기서, 광소자 어레이(120)와 광 도파로 어레이(130) 사이에 광 투과성 에폭시(125)가 개재되며, 상기 광소자 어레이(120)와 광 도파로 어레이(130)는 광 투과성 에폭시(125)에 의해 접합되어 광 접속된다.Here, a light transmissive epoxy 125 is interposed between the optical element array 120 and the optical waveguide array 130, and the optical element array 120 and the optical waveguide array 130 are formed by the light transmissive epoxy 125. It is bonded and optically connected.

한편, 상기 광소자 어레이(120)와 광 도파로 어레이(130)를 광 접속시키는 동시에, 상기 연성 IC 기판(110)을 플립 칩 본딩 또는 와이어 본딩 방식을 통해 인쇄회로기판(100)상에 접합한다.Meanwhile, the optical device array 120 and the optical waveguide array 130 are optically connected, and the flexible IC substrate 110 is bonded onto the printed circuit board 100 through flip chip bonding or wire bonding.

연이어, 상기 인쇄회로기판의 홈(105)에 상기 연성 IC 기판(110) 및 광소자 어레이(120)를 감싸며 에폭시(150)를 충진하여 연성 IC 기판(110)을 홈(105)에 접합 및 고정시키고, 상기 인쇄회로기판(100)과 연성 IC 기판(110) 사이 및 상기 연성 IC 기판(110)과 반도체칩(140) 사이에 에폭시(150)를 충진한다(S 130).Subsequently, the flexible IC substrate 110 is filled in the groove 105 of the printed circuit board and the epoxy 150 is filled to surround the flexible IC substrate 110 and the optical device array 120 to bond and fix the flexible IC substrate 110 to the groove 105. The epoxy 150 is filled between the printed circuit board 100 and the flexible IC substrate 110 and between the flexible IC substrate 110 and the semiconductor chip 140 (S 130).

도 5는 본 발명의 광전변환모듈의 제3 실시예를 나타낸 단면도이다.5 is a cross-sectional view showing a third embodiment of a photoelectric conversion module of the present invention.

이에 도시된 바와 같이, 제1 홈(203) 및 제2 홈(206)이 형성된 인쇄회로기판(200)과, 상기 인쇄회로기판(200) 상부에 형성되며 일단이 상기 제1 홈(203)으로 휘어져 있고, 타단이 상기 제2 홈(206)으로 휘어져 있는 연성(Flexible) IC 기판(210)과, 상기 제1 홈(203)으로 휘어진 연성 IC 기판(210)의 상부에 형성된 제1 광소자 어레이(220)와, 상기 제2 홈(206)으로 휘어진 연성 IC 기판(210)의 상부에 형성된 제2 광소자 어레이(230)와,상기 인쇄회로기판(200)에 매립되며, 일단이 상기 제1 광소자 어레이(220)와 광 접속되는 제1 광 도파로 어레이(240)와, 상기 인쇄회로기판(200)에 매립되며, 일단이 상기 제2 광소자 어레이(230)와 광 접속되는 제2 광 도파로 어레이(250)와, 상기 연성 IC 기판(210)의 상부에 형성되며, 상기 제1 광소자 어레이(220) 및 제2 광소자 어레이(230)를 구동시키는 구동 회로가 내장된 반도체칩(260)을 포함하여 구성된다.As shown in the drawing, the printed circuit board 200 having the first grooves 203 and the second grooves 206 formed thereon, and formed on the printed circuit board 200 and having one end thereof as the first groove 203. A first optical element array formed on the flexible IC substrate 210 that is bent and the other end is curved by the second groove 206 and the flexible IC substrate 210 that is curved by the first groove 203. And a second optical element array 230 formed on the flexible IC substrate 210 that is bent into the second groove 206 and the printed circuit board 200, and one end of which is embedded in the first optical element array 230. A first optical waveguide array 240 optically connected to the optical element array 220 and a second optical waveguide embedded in the printed circuit board 200 and having one end optically connected to the second optical element array 230. A driving circuit formed on the array 250 and the flexible IC substrate 210 to drive the first optical device array 220 and the second optical device array 230. It is configured to include a semiconductor chip 260 is embedded.

여기서, 상기 제1 광소자 어레이(220) 및 제1 광 도파로 어레이(240)는 그 사이에 제1 광 투과성 에폭시(225)가 개재되어 접합되고, 제2 광소자 어레이(230) 및 제2 광 도파로 어레이(250)는 그 사이에 제2 광 투과성 에폭시(235)가 개재되어 접합된다.Here, the first optical device array 220 and the first optical waveguide array 240 are bonded to each other with a first light transmissive epoxy 225 interposed therebetween, and the second optical device array 230 and the second light are interposed therebetween. The waveguide array 250 is bonded with a second light transmissive epoxy 235 interposed therebetween.

그리고, 상기 인쇄회로기판(200)과 연성 IC 기판(210) 사이 및 상기 연성 IC 기판(210)과 반도체칩(260) 사이에 에폭시(270)가 충진되며, 상기 인쇄회로기판의 제1 홈(203) 및 제2 홈(206)에 상기 연성 IC 기판(210)과 제1 광소자 어레이(220) 및 제2 광소자 어레이(230)를 감싸며 에폭시(270)가 충진된다.In addition, an epoxy 270 is filled between the printed circuit board 200 and the flexible IC substrate 210 and between the flexible IC substrate 210 and the semiconductor chip 260. An epoxy 270 is filled in the 203 and the second groove 206 to surround the flexible IC substrate 210, the first optical device array 220, and the second optical device array 230.

이상에서 대표적인 실시예를 통하여 본 발명에 대하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다. Although the present invention has been described in detail with reference to exemplary embodiments above, those skilled in the art to which the present invention pertains can make various modifications to the above-described embodiments without departing from the scope of the present invention. I will understand.

그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be defined by the claims below and equivalents thereof.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 의하면 인쇄회로기판에 홈을 형성하고, 광소자 어레이가 형성된 연성 IC 기판의 일단을 인쇄회로기판의 홈에 휘어져 놓이게 한 후, 광소자 어레이와 인쇄회로기판에 매립된 광 도파로 어레이가 직접 접속되도록 함으로써, 광 결합 효율을 향상시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, a groove is formed in the printed circuit board, and one end of the flexible IC substrate having the optical device array is bent in the groove of the printed circuit board, and then embedded in the optical device array and the printed circuit board. The optical coupling efficiency can be improved by allowing the arrayed optical waveguide arrays to be directly connected.

그리고, 본 발명에서는 광소자와 광 도파로 간의 광 접속이 광소자의 배열 형태와 동일한 배열 형태를 갖는 광 도파로 사이에 같은 평면상에서 이루어지므로, 다채널 광 접속이 손쉽게 이루어지며, 그에 따른 광학설계도 용이하게 할 수 있다.In the present invention, since the optical connection between the optical element and the optical waveguide is made on the same plane between the optical waveguides having the same arrangement as that of the optical element, the multi-channel optical connection is easily made, and thus the optical design can be easily performed. Can be.

Claims (11)

홈이 형성된 인쇄회로기판;A grooved printed circuit board; 상기 인쇄회로기판 상부에 형성되며 일단이 상기 홈으로 휘어져 있는 연성 IC 기판;A flexible IC substrate formed on the printed circuit board and having one end bent into the groove; 상기 홈으로 휘어진 부분의 연성 IC 기판상에 형성된 광소자 어레이;An optical element array formed on the flexible IC substrate of the bent portion; 상기 인쇄회로기판에 매립되며, 일단이 상기 홈에서 상기 광소자 어레이와 광 접속되는 광 도파로 어레이; An optical waveguide array buried in the printed circuit board and having one end optically connected to the optical element array in the groove; 상기 인쇄회로기판의 홈에 상기 연성 IC 기판 및 광소자 어레이를 감싸며 충진된 에폭시; 및An epoxy filled in the groove of the printed circuit board surrounding the flexible IC substrate and the optical device array; And 상기 연성 IC 기판의 상부에 형성되며, 상기 광소자 어레이를 구동시키는 구동 회로가 내장된 반도체 칩을 포함하여 이루어지는 광전변환모듈.And a semiconductor chip formed on an upper portion of the flexible IC substrate and including a driving circuit for driving the optical element array. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 광소자 어레이는 플립 칩 본딩 또는 와이어 본딩 방식에 의해 상기 홈으로 휘어진 연성 IC 기판의 상부에 형성되는 것을 특징으로 하는 광전변환모듈.And the optical device array is formed on the flexible IC substrate bent into the groove by flip chip bonding or wire bonding. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 반도체 칩은 플립 칩 본딩 또는 와이어 본딩 방식에 의해 상기 연성 IC 기판의 상부에 형성되는 것을 특징으로 하는 광전변환모듈.And the semiconductor chip is formed on the flexible IC substrate by flip chip bonding or wire bonding. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 광소자 어레이 및 광 도파로 어레이 사이에 광 투과성 에폭시가 개재되어 광 접속되는 것을 특징으로 하는 광전변환모듈.And an optically transmissive epoxy interposed between the optical element array and the optical waveguide array. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 광소자 어레이는 발광 소자 또는 수광 소자가 M×N 형태로 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 광전변환모듈.The optical device array is a photoelectric conversion module, characterized in that the light emitting device or the light receiving device is arranged in the form of M × N. 제5항에 있어서, The method of claim 5, 상기 광 도파로 어레이는 광 도파로가 상기 M×N 형태로 배열되며, 상기 광 도파로는 상기 광소자 어레이의 광소자와 일대일로 대응되어 광 접속되는 것을 특징으로 하는 광전변환모듈.The optical waveguide array has an optical waveguide is arranged in the form of M × N, the optical waveguide is optically connected in a one-to-one correspondence with the optical element of the optical element array. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 광 투과성 에폭시는 1.4 ~ 1.6의 굴절률을 가지고, 상기 광소자에서 출사되는 광의 파장에서 80 ~ 95%의 광 투과율을 가지는 에폭시인 것을 특징으로 하는 광전변환모듈.The light transmissive epoxy has a refractive index of 1.4 ~ 1.6, the photoelectric conversion module, characterized in that the epoxy having a light transmittance of 80 to 95% at the wavelength of the light emitted from the optical device. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 연성 IC 기판 상부에 상기 반도체 칩을 감싸며 보호 수지가 더 형성된 것을 특징으로 하는 광전변환모듈.And a protective resin surrounding the semiconductor chip on the flexible IC substrate. 연성 IC 기판 상부에 반도체 칩을 형성하고, 상기 연성 IC 기판의 일단의 상부에 상기 반도체 칩에 의해 구동되는 광소자 어레이를 형성하는 단계;Forming a semiconductor chip on the flexible IC substrate, and forming an optical element array driven by the semiconductor chip on one end of the flexible IC substrate; 인쇄회로기판에 상기 광소자 어레이가 형성된 연성 IC 기판의 일단이 휘어져 놓여 질 홈을 형성하는 단계;Forming a groove in one end of the flexible IC substrate having the optical element array formed thereon in a printed circuit board; 상기 연성 IC 기판을 상기 인쇄회로기판상에 접합하고, 상기 연성 IC 기판의 광소자 어레이가 형성된 부분이 상기 인쇄회로기판의 홈으로 휘어져 놓이도록 한 후, 상기 광소자 어레이와 상기 인쇄회로기판에 매립된 광 도파로 어레이가 광 접속되도록 접합하는 단계; 및The flexible IC substrate is bonded to the printed circuit board, the portion in which the optical device array of the flexible IC substrate is formed is bent into the groove of the printed circuit board, and then embedded in the optical device array and the printed circuit board. Bonding the arrayed optical waveguide arrays to be optically connected; And 상기 인쇄회로기판의 홈에 상기 연성 IC 기판 및 광소자 어레이를 감싸며 에 폭시를 충전하는 단계를 포함하여 이루어지는 광전변환모듈의 제조방법.And enclosing the flexible IC substrate and the optical element array in the groove of the printed circuit board to charge the epoxy. 제9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 광소자 어레이와 광 도파로 어레이는 광 투과성 에폭시가 개재되어 접합되는 것을 특징으로 하는 광전변환모듈의 제조방법.The optical device array and the optical waveguide array is a manufacturing method of a photoelectric conversion module, characterized in that the bonding is interposed through the light transmitting epoxy. 제9항 또는 제10항에 있어서,The method of claim 9 or 10, 상기 연성 IC 기판 상부에 반도체 칩을 접합한 이후에,After bonding the semiconductor chip on the flexible IC substrate, 상기 연성 IC 기판의 상부에 상기 반도체 칩을 감싸며 보호 수지를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광전변환모듈의 제조방법.And forming a protective resin surrounding the semiconductor chip on the flexible IC substrate.
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