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KR100859975B1 - 다단 진공 건조 장치 - Google Patents

다단 진공 건조 장치 Download PDF

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Publication number
KR100859975B1
KR100859975B1 KR1020080015415A KR20080015415A KR100859975B1 KR 100859975 B1 KR100859975 B1 KR 100859975B1 KR 1020080015415 A KR1020080015415 A KR 1020080015415A KR 20080015415 A KR20080015415 A KR 20080015415A KR 100859975 B1 KR100859975 B1 KR 100859975B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
plate
vacuum
heat
vacuum chamber
hot
Prior art date
Application number
KR1020080015415A
Other languages
English (en)
Inventor
김성봉
권순영
Original Assignee
씨디에스(주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 씨디에스(주) filed Critical 씨디에스(주)
Priority to KR1020080015415A priority Critical patent/KR100859975B1/ko
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Abstract

본 발명은 다단 진공 건조 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 다단 진공 건조 장치는 진공챔버의 내부를 진공펌프를 이용하여 감압하여 기판 표면에 도포된 약액을 제거하는 진공 건조 장치에 있어서, 상기 진공챔버는 전면이 개구된 직육면체 형상으로 형성되는 진공하우징과, 상기 개구된 진공하우징의 전면을 밀폐하는 진공도어를 포함하고, 상기 진공챔버 내에서 등간격으로 이격되어 다단으로 설치되는 핫플레이트; 상기 핫플레이트의 최상부에서 상기 핫플레이트의 배열간격과 동일하게 이격 설치되는 보조플레이트;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여, 도포된 약액의 산화를 방지하고, 진공 상태의 단일 챔버 내에 설치된 다수의 핫플레이트에서 방사된 열원을 이용하여 동시에 다수의 기판을 효율적이고 균일하게 열처리할 수 있으며, 단일 챔버를 사용함에 따라 챔버의 설치면적 및 설치비가 감소되고, 챔버의 동작을 간소화할 수 있는 다단 진공 건조 장치가 제공된다. 또한, 진공 상태의 챔버 내에서 발생하는 열의 손실을 줄이고, 챔배 내에 안치되는 다수의 기판에 균일하게 열을 공급할 수 있는 다단 진공 건조 장치가 제공된다.
진공챔버, 반사판, 피드스루, 적외선, 핫플레이트

Description

다단 진공 건조 장치{Multi plate Vacuum Drier}
본 발명은 다단 진공 건조 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 유기물과 같이 대기 중에서 열처리시 산화에 취약한 물질을 진공 중에서 다단으로 적층하고, 기판 표면에 도포된 약액을 일괄적으로 열처리할 수 있는 다단 진공 건조 장치에 관한 것이다.
최근 디스플레이 장치로서 액정표시장치(LCD)의 대안으로 유기발광 디스플레이(OLED; Organic Light Emitting Display)가 제안되고, 디스플레이의 스위칭 소자인 박막트랜지스터(TFT; Thin Film Transistor)를 간단히 제조할 수 있는 유기 TFT소자가 제안되었다.
이러한 유기발광 디스플레이와 유기 TFT소자 등의 경우, 유기박막의 증착이 필수적이지만, 유기물의 경우, 특히 산화에 취약한 성질을 가지고 있다.
따라서, 제조 공정에서 유기물의 산화를 최소화하는 환경이 요구되고 있다.
하지만, 종래기술에 따른 제조 공정에서 보면 증착되는 유기물이 대기에서 열처리 될 경우, 산화에 취약한 문제점이 있다.
또한, 챔버에 대응하여 기판을 개별로 안치하고, 각각의 기판을 열처리해야 하는 문제점이 있다.
또한, 기판을 개별로 열처리해야 하므로, 다량의 기판을 일괄적으로 열처리하기 위해서는 기판에 대응되는 챔버의 설비가 증가되고, 챔버 설치에 따른 설치면적 및 설치비가 증가하고, 기판에 대응되는 각 챔버의 동작이 복잡해지는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 도포된 약액의 산화를 방지하고, 진공 상태의 단일 챔버 내에서 다수의 기판을 동일하게 열처리할 수 있는 다단 진공 건조 장치를 제공함에 있다.
또한, 단일 챔버를 사용함에 따라 챔버의 설치면적 및 설치비가 감소되고, 챔버의 동작을 간소화할 수 있는 다단 진공 건조 장치를 제공함에 있다.
또한, 대류(Convection)에 의한 열전달이 비효율적이므로, 진공 상태의 챔버 내에서 적외선 방식의 열원을 이용하여 효율적으로 이용할 수 있으며, 챔배 내에 안치되는 다수의 기판에 균일하게 열을 공급할 수 있는 다단 진공 건조 장치를 제공함에 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 진공챔버의 내부를 진공펌프를 이용하여 감압하여 기판 표면에 도포된 약액을 제거하는 진공 건조 장치에 있어서, 상기 진공챔버는 전면이 개구된 직육면체 형상으로 형성되는 진공하우징과, 상기 개구된 진공하우징의 전면을 밀폐하는 진공도어를 포함하고, 상기 진공챔버 내에서 등간격으로 이격되어 다단으로 설치되는 핫플레이트; 상기 핫플레이트의 최상부에서 상기 핫플레이트의 배열간격과 동일하게 이격 설치되는 보조플레이트;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다단 진공 건조 장치에 의해 달성된다.
여기서 상기 진공하우징의 내면과 상기 진공도어의 후면에 형성되어 상기 진공챔버의 내부를 감싸는 반사판;이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 것이 바람직하 다.
여기서 상기 핫플레이트는 상부면에 다수개의 지지핀;이 형성되는 것을 특징으로 하는 것이 바람직하다.
삭제
이때, 상기 핫플레이트와 상기 보조플레이트는 열을 발생하는 발열판; 상기 발열판의 전방과 후방 가장자리에 형성되어 상기 발열판의 변형을 방지하는 히터프레임; 상기 발열판의 하부 중앙 부위에서 상기 발열판의 전방과 후방을 향해 가로지르되, 중간 양측이 상기 발열판의 양측방을 향해 돌출된 형상을 갖는 보조반사판;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 것이 바람직하다.
이때, 상기 핫플레이트와 상기 보조플레이트는 열이 발생되고, 중앙에서 상기 진공챔버의 전방과 후방을 향해 가로지르되, 중간 양측방이 돌출된 형상을 갖는 제1발열판; 상기 제1발열판과 다른 온도로 열이 발생되고, 상기 제1발열판의 양측에 각각 형성되는 제2발열판; 상기 제1발열판과 제2발열판의 전방과 후방 가장자리에 형성되는 히터프레임;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 핫플레이트는 상기 발열판의 상부면에서 열을 확산시키는 확산판;이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 것이 바람직하다.
삭제
본 발명에 따르면, 도포된 약액의 산화를 방지하고, 진공 상태의 단일 챔버 내에서 다수의 기판을 동일하게 열처리할 수 있는 다단 진공 건조 장치를 제공함에 있다.
또한, 단일 챔버를 사용함에 따라 챔버의 설치면적 및 설치비가 감소되고, 챔버의 동작을 간소화할 수 있는 다단 진공 건조 장치를 제공함에 있다.
또한, 대류(Convection)에 의한 열전달이 비효율적이므로, 진공 상태의 챔버 내에서 적외선 방식의 열원을 이용하여 효율적으로 이용할 수 있으며, 챔배 내에 안치되는 다수의 기판에 균일하게 열을 공급할 수 있는 다단 진공 건조 장치를 제공함에 있다.
또한, 진공 상태의 챔버 내에서 다단으로 설치되는 기판의 열처리를 더욱 균일하게 할 수 있는 다단 진공 건조 장치가 제공된다.
또한, 진공 상태의 챔버 내에서 발생하는 열에 의한 열처리가 각각의 기판에 더욱 균일하게 작용할 수 있도록 하는 다단 진공 건조 장치가 제공된다.
또한, 진공 상태의 챔버 내에서 발생하는 열의 확산을 더욱 용이하게 할 수 있는 다단 진공 건조 장치가 제공된다.
또한, 진공 상태의 챔버 내에 안치되는 다수의 기판을 안전하게 지지할 수 있는 다단 진공 건조 장치가 제공된다.
또한, 진공 상태의 챔버 내에서 발생하는 열이 각각의 기판 표면에 고르게 분포될 수 있도록 하는 다단 진공 건조 장치가 제공된다.
설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 다단 진공 건조 장치에 대하여 상세하게 설명한다.
첨부 도면 도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 진공챔버를 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 진공챔버를 도시한 평면도이며, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 진공챔버의 개방 상태를 도시한 정면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 진공 건조 장치는 진공챔버(1) 내에 핫플레이트(7a)가 다단으로 설치 고정되어 각각의 핫플레이트(7a)에 기판을 안차하고, 핫플레이트(7a)에서 발생하는 열과 진공챔버(1) 내의 압력을 진공펌프(미도시)를 이용하여 감압하면, 기판 표면에 도포된 약액을 제거할 수 있다. 좀더 자세하게, 본 발명의 진공 건조 장치는 단일 진공챔버(1) 내에 다수의 기판을 안치시킬 수 있고, 각각의 기판을 균일하게 열처리할 수 있는 것이 특징이다.
그러면, 본 발명의 일실시예에 따른 진공 건조 장치는 진공챔버(1), 반사판(4), 핫플레이트(7a), 보조플레이트(7b)로 구분할 수 있다.
진공챔버(1)는 통상의 직육면체 형상으로 형성되고, 진공하우징(2)과 진공도어(3)로 구분할 수 있다.
진공하우징(2)은 전면이 개구된 함체 형상으로 형성되고, 진공도어(3)는 진공하우징(2)의 일측에서 힌지 결합으로 회동 가능하게 결합되어 진공하우징(2)의 전면 개구부가 개폐되어 진공하우징(2)을 밀폐시켜 진공챔버(1)의 내부를 용이하게 감압할 수 있도록 한다.
이때, 진공하우징(2)과 진공도어(3)에 의한 밀폐력을 향상시키기 위해 진공하우징(2)의 가장자리 또는 진공도어(3)의 가장자리를 따라 기밀부재(32)가 설치될 수 있다. 또한, 진공도어(3)에는 관측부(31)가 형성되어 진공챔버(1) 내부의 상태를 관측할 수 있다.
반사판(4)은 진공챔버(1)의 내부면을 감싸도록 설치된다.
다시 말해, 반사판(4)은 진공하우징(2)의 내면과 진공도어(3)의 후면에 형성되어 진공챔버(1)의 내부면 6면을 모두 감싸도록 한다.
여기서 진공하우징(2)의 상면 또는 배면에는 진공챔버(1) 내부를 감압하기 위해 설치되는 진공펌프(미도시)를 결합할 수 있도록 진공배기부(5)가 형성될 수 있다. 진공배기부(5)는 진공펌프(미도시)에 연결되어 진공챔버(1) 내부를 빠르고 균일하게 감압할 수 있도록 하면 충분하고, 진공배기부(5)의 위치 및 크기 또는 설치개소를 한정하지 않는다.
도면에서는 진공챔버(1) 내부를 빠르고 균일하게 감압하기 위해 진공하우징(2)의 상면에 하나의 진공배기부(5)가 형성되고, 진공하우징(2)의 배면에 상하로 둘의 진공배기부(5)가 형성되어 있다.
또한, 진공챔버(1) 내부에 안치된 기판에서 약액을 제거하고 난 후에는 진공챔버(1) 내부를 가압하여 진공도어(3)의 개폐를 용이하게 하기 위해 충전가스를 주입할 수 있는 가스퍼지부(6)가 형성되는 것이 유리하다.
가스퍼지부(6)는 진공챔버(1) 내부를 가압하면서 주입되는 충전가스에 의해 기판의 산화를 방지할 수 있으면 충분하고, 가스퍼지부(6)의 위치 및 크기 또는 설치개소를 한정하지 않는다. 도면에서 가스퍼지부(6)는 진공하우징(2)의 상면에 다수 개가 형성되어 있다.
가스퍼지부(6)를 통해 주입되는 충전가스는 약액의 산화를 방지할 수 있도록 하는 것이 유리하며, 이때 충전가스로는 질소가스를 사용할 수 있다.
핫플레이트(7a)는 진공챔버(1)의 내부에 등간격으로 이격되어 다단으로 설치된다. 다시 말하면, 진공하우징(2)의 내부에서 높이 방향을 따라 등간격으로 이격되어 다단의 핫플레이트(7a)가 설치된다.
이때, 진공하우징(2)의 양측 내벽에 설치된 고정프레임(10)에 의해 각각의 핫플레이트(7a)는 진공하우징(2)의 내부에 설치 고정될 수 있다. 또한, 핫플레이트(7a)는 상술한 고정프레임(10)을 따라 개구된 진공하우징(2)의 전면으로 슬라이드 이동될 수 있다.
그러면, 별도의 기판이송장치(도시되지 않음)를 통해 약액이 도포된 기판을 각각의 핫플레이트(7a)에 대응하여 용이하게 안치시킬 수 있다.
핫플레이트(7a)의 최상부에는 핫플레이트(7a)의 배열간격과 동일하게 이격되 어 보조플레이트(7b)가 설치 고정된다.
보조플레이트(7b)는 최상부의 핫플레이트(7a)에 안치되는 기판에 도포된 약액을 제거함에 있어, 최상부의 핫플레이트(7a) 하부에 안치된 기판과 균일하게 기판에 도포된 약액을 용이하게 제거할 수 있다.
상술한 핫플레이트(7a)와 보조플레이트(7b)는 후술하는 히터피드스루(8)에 의해 열을 발생하는 열원으로 이용되며, 자세한 설명은 후술하기로 한다.
도면에서는 총 8단의 핫플레이트(7a)와 1단의 보조플레이트(7b)를 통해 단일 진공챔버(1)에서 8개의 기판을 동시에 열처리할 수 있음은 물론, 각 기판에서 조사되는 열의 온도 균일성을 유지할 수 있고, 각 핫플레이트(7a)에 안치되는 기판 간에도 온도 균일성을 유지할 수 있으며, 기판의 열처리 속도를 향상시키면서도 각각의 기판을 균일하게 열처리할 수 있다.
여기서 진공하우징(2)의 일측면에는 히터피드스루(8)가 설치되어 각각의 핫플레이트(7a) 및 보조플레이트(7b)에 인가된 전원을 공급하여 핫플레이트(7a) 및 보조플레이트(7b)가 열을 발생할 수 있도록 하고 있으며, 진공하우징(2)의 타측면에는 열전대피드스루(9)가 설치되어 각각의 핫플레이트(7a) 및 보조플레이트(7b)의 열기전력을 얻을 수 있도록 하고 있다.
이에 따라 열전대피드스루(9)를 통해 각각의 핫플레이트(7a) 및 보조플레이트(7b)의 온도를 제어할 수 있다.
결국, 핫플레이트(7a)는 기판을 가열하는데 사용되고, 핫플레이트(7a)의 최상부에 설치된 보조플레이트(7b)는 최상부의 핫플레이트(7a)에서 발생하는 열에 대 한 온도보정용으로 사용되어 각각의 기판을 더욱 균일하게 열처리할 수 있다.
그러면, 본 발명의 일실시예에 따른 진공 건조 장치는 진공챔버(1)의 내부에 기판을 안치하고, 진공도어(3)로 폐쇄한 후에 진공펌프의 동작에 의해 진공챔버(1)의 내부를 감압하여 진공 상태를 형성한다.
이때, 진공챔버(1) 내부에서는 감압 됨에 따라 압력차에 의해 기판에 도포된 약액을 용이하게 제거할 수 있고, 진공챔버(1)의 내부가 진공 상태를 형성하게 되어 기판 표면의 산화를 방지함은 물론 핫플레이트(7a) 및 보조플레이트(7b)에서 발생하는 열에 의해 기판을 가열하여 도포된 약액의 제거가 더욱 용이해진다.
여기서 진공 상태의 진공챔버(1) 내에서 발생되는 열은 진공 상태의 특성상 열의 대류 현상을 방지하고, 후술한 지지핀(78)에 의해 핫플레이트(7a)의 열이 전도되는 것은 아주 미약하므로, 진공챔버(1) 내에서는 핫플레이트(7a) 및 보조플레이트(7b)에 의해 복사열이 기판에 조사됨을 알 수 있다.
그리고 반사판(4)은 진공챔버(1)의 벽을 통한 열손실을 방지하고, 상술한 복사열의 효율을 증대시켜 기판의 모서리 부분 온도와 기판의 중심 부분 온도 대비 온도 균일성을 유지하는 데 도움을 준다.
첨부 도면 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 진공도어의 관측부 동작 상태를 개략적으로 도시한 도면으로써, 도 4를 참조하면, 진공도어(3)에는 관측부(31)가 형성되어 진공챔버(1) 내부의 상태를 관측할 수 있다.
관측부(31)는 관통부(35)와 커버반사판(36)으로 구분할 수 있으며, 별도의 조작부(37)를 통해 커버반사판(36)을 동작시킬 수 있다.
다시 말해, 관통부(35)는 진공도어(3)와 진공도어(3)에 설치된 반사판(4)을 관통하여 진공챔버(1) 내부를 관측할 수 있도록 하고, 진공도어(3)에 설치된 반사판(4)의 내측으로 관통부(35)에 대응되는 커버반사판(36)이 설치된다.
그러면, 커버반사판(36)은 진공도어(3)의 전면에 설치된 조작부(37)를 통해 커버반사판(36)을 동작하여 관통부(35)를 개폐할 수 있다.
관통부(35)에 설치된 커버반사판(36)은 반사판(4)과 같은 역할을 하며, 관통부(35)를 통해서 진공챔버(1) 내부의 열이 외부로 발산하는 것을 방지하고, 진공챔버(1) 내부의 열손실을 방지하기 위한 것이다.
첨부 도면 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 진공챔버의 플레이트를 도시한 발췌사시도이고, 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 진공챔버의 플레이트를 도시한 배면도이다.
도 5와 도 6을 참조하면, 핫플레이트(7a)의 상부면에는 다수 개의 지지핀(78)이 형성되어 기판과 핫플레이트(7a)를 일정 간격으로 이격시키고, 핫플레이트(7a)에서 발생하는 복사열에 의해 기판을 용이하게 열처리할 수 있다. 여기서 보조플레이트(7b)에는 지지핀(78)이 설치되지 않는다.
이러한 핫플레이트(7a)와 보조플레이트(7b)는 발열판(73)과 히터프레임(74)과 보조반사판(75)으로 구분한다.
발열판(73)은 상술한 히터피드스루(8) 및 열전대피드스루(9)에 의해 기판의 판면 전체에 균일한 열을 조사하기 위한 것으로, 발열판(73)은 적외선을 방사하는 열원으로 사용되는 것이 유리하고, 진공에서 진공도를 떨어뜨리는 불순물 아웃가싱(out gassing)이 없는 것이 유리하다.
히터프레임(74)은 상술한 발열판(73)의 전방과 후방 가장자리에 형성되어 발열판(73)의 변형을 방지함은 물론, 진공하우징(2)의 고정프레임(10)에 발열판(73)을 용이하게 설치할 수 있다. 여기서 히터프레임(74)은 발열판(73)의 열을 그늘 효과가 발생하지 않고 기판에 조사되도록 하면 충분하다.
여기서 발열판(73)의 하부에 보조반사판(75)이 형성되는 것이 유리하다.
보조반사판(75)은 기판 전체 표면의 온도균일성을 유지하기 위해 발열판(73)의 하부 중앙 부분에 형성되는 것이 바람직하다. 이렇게 형성된 보조반사판(75)은 그늘 효과를 이용하여 각각의 기판 상부에서 발생하는 열이 기판의 중심부에 모여 기판 표면의 온도균일성을 저해하는 현상을 제거할 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이 보조반사판(75)은 발열판(73)의 하부 중앙 부분에서 발열판(73)의 전방과 후방을 향해 가로지르되, 중간 양측이 발열판(73)의 양측방을 향해 돌출되는 형상을 갖게 된다. 보조반사판(75)의 양측으로 돌출되는 형상은 볼록한 곡률을 갖는 것이 유리하다.
여기서 발열판(73)의 상부면에 확산판(76)을 형성함으로써, 확산판(76)에 의해 발열판(73)의 열을 기판에 균일하게 확산시켜줄 수 있다.
또한, 핫플레이트(7a)와 보조플레이트(7b)에는 반사판(4)의 양측에서 히터프 레임(74)과 수직하게 형성되는 보조프레임(77)을 더 형성하여 핫플레이트(7a)와 보조플레이트(7b)가 열에 의해 변형되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 핫플레이트(7a)와 보조플레이트(7b)에서는 상술한 핫플레이트(7a)와 보조플레이트(7b)에서 보조반사판(75) 영역과 보조반사판(75) 영역을 제외한 발열판(73) 영역을 개별의 발열판을 이용하여 독립적으로 제어할 수 있다.
다시 말해, 상술한 보조반사판(75) 영역은 제1발열판(71)으로 형성하고, 보조반사판(75) 영역을 제외한 발열판(73) 영역은 제1발열판(71)과 온도차를 갖는 제2발열판(72)으로 형성하는 것이다.
여기서 상술한 핫플레이트(7a)와 보조플레이트(7b)는 적외선 방사효율이 좋은 금속성 히터(Steel Heater)를 사용하는 것이 유리하다.
금속성 히터는 통상 임의의 두께를 가진 금속판(Steel Plate; 예를 들어 3 mm 두께의 stainless steel)에 절연성의 세라믹막을 도포 후 소성하고, 그 위에 발열물질을 원하는 패턴으로 도포한다. 필요에 따라 소성 공정을 거치게 된다.
마지막으로, 금속성 히터는 도포된 발열물질 위에 적외선 방사 효율이 높은 세라믹 물질로 도포한 다음 봉지(Encapsulation) 작업을 거쳐 완성된다.
이러한 금속성 히터는 금속판에 세라믹막이 고온에서 소성 처리되어 진공 중에서 아웃가싱(Outgassing)이 없고, 발열물질을 원하는 패턴으로 제작하여 열원으로서의 균일도를 향상시킬 수 있다.
또한, 금속성 히터는 동일한 금속판에 여러 패턴을 두어 독립적으로 전원을 공급하고 제어할 수 있으므로, 금속판면에서 온도 균일성을 확보할 수 있는 특징이 있다.
이때, 본 발명의 다른 실시예에 따른 핫플레이트(7a)와 보조플레이트(7b)에서는 보조반사판(75)을 형성하지 않는 것이 유리하다.
첨부 도면 도 7은 본 발명의 일실시예에 따라 기판에 조사되는 열의 온도를 측정하기 위한 센서의 위치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 8은 도 7에 설치된 센서에 의해 측정되는 온도 변화를 도시한 그래프이다.
도 7과 도 8을 참조하면, 8단의 핫플레이트(7a) 및 최상부의 핫플레이트(7a) 상부에 설치되는 보조플레이트(7b)에 의해 진공 건조 장치 내에서 각각의 핫플레이트(7a)에 대응하여 안치되는 8단의 기판에 온도 균일성이 유지됨을 나타낸다.
좀더 자세하게, 도 7에 도시된 바와 같이 기판에 10개의 센서를 설치하여 기판의 온도를 측정하였다. 여기서 5번 센서는 핫플레이트(7a) 또는 보조플레이트(7b)의 중앙(반사판(4)의 중앙 또는 제1발열판(71)의 중앙)에 대응하여 기판의 중앙에 설치됨을 나타내고, 10번 센서는 반사판(4) 또는 제1발열판(71)의 돌출 부위에 대응하는 기판의 소정 위치에 설치됨을 나타내며, 나머지 센서는 핫플레이트(7a)의 가장자리에 대응하여 설치됨을 나타낸다.
이렇게 설치된 10개의 센서를 이용하여 기판에 조사되는 열의 온도를 측정한 결과 도 8에 도시된 바와 같이 10개의 센서가 설치된 부분에서 약 200.9도 내지 ㅇ 약204.3도 범위 내에서 온도 균일성이 유지됨을 확인할 수 있었다.
여기서, 센서에 의해 측정되는 온도 범위를 한정하는 것은 아니며, 실험에 의해 기판 전체 표면에서 핫플레이트에서 조사되는 열을 통해 온도 균일성이 유지됨을 확인할 수 있으면 충분하다.
도 8에서 x축 방향은 경과시간을 나타내고, y축 방향은 측정 온도를 나타낸다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 진공챔버를 도시한 사시도,
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 진공챔버를 도시한 평면도,
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 진공챔버의 개방 상태를 도시한 정면도,
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 진공도어의 관측부 동작 상태를 개략적으로 도시한 도면,
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 진공챔버의 플레이트를 도시한 발췌사시도,
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 진공챔버의 플레이트를 도시한 배면도,
도 7은 본 발명의 일실시예에 따라 기판에 조사되는 열의 온도를 측정하기 위한 센서의 위치를 개략적으로 도시한 도면,
8은 도 7에 설치된 센서에 의해 측정되는 온도 변화를 도시한 그래프이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1: 진공챔버 2: 진공하우징 3: 진공도어
4: 반사판 5: 진공배기부 6: 가스퍼지부
7a: 핫플레이트 7b: 보조플레이트 8: 히터피드스루
9: 열전대피드스루 10: 고정프레임 31: 관측부
32: 기밀부재 33: 힌지 35: 관통부
36: 커버반사판 37: 조작부 71: 제1발열판
72: 제2발열판 73: 발열판 74: 히터프레임
75: 보조반사판 76: 확산판 77: 보조프레임
78: 지지핀

Claims (8)

  1. 진공챔버의 내부를 진공펌프를 이용하여 감압하여 기판 표면에 도포된 약액을 제거하는 진공 건조 장치에 있어서,
    상기 진공챔버는 전면이 개구된 직육면체 형상으로 형성되는 진공하우징과, 상기 개구된 진공하우징의 전면을 밀폐하는 진공도어를 포함하고,
    상기 진공챔버 내에서 등간격으로 이격되어 다단으로 설치되는 핫플레이트;
    상기 핫플레이트의 최상부에서 상기 핫플레이트의 배열간격과 동일하게 이격 설치되는 보조플레이트;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다단 진공 건조 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 진공하우징의 내면과 상기 진공도어의 후면에 형성되어 상기 진공챔버의 내부를 감싸는 반사판;이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 다단 진공 건조 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 핫플레이트는 상부면에 다수개의 지지핀;이 형성되는 것을 특징으로 하는 다단 진공 건조 장치.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 핫플레이트와 상기 보조플레이트는 열을 발생하는 발열판;
    상기 발열판의 전방과 후방 가장자리에 형성되어 상기 발열판의 변형을 방지하는 히터프레임;
    상기 발열판의 하부 중앙 부위에서 상기 발열판의 전방과 후방을 향해 가로지르되, 중간 양측이 상기 발열판의 양측방을 향해 돌출된 형상을 갖는 보조반사판;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 다단 진공 건조 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 핫플레이트와 상기 보조플레이트는
    열이 발생되고, 중앙에서 상기 진공챔버의 전방과 후방을 향해 가로지르되, 중간 양측방이 돌출된 형상을 갖는 제1발열판;
    상기 제1발열판과 다른 온도로 열이 발생되고, 상기 제1발열판의 양측에 각각 형성되는 제2발열판;
    상기 제1발열판과 제2발열판의 전방과 후방 가장자리에 형성되는 히터프레임;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 다단 진공 건조 장치.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 핫플레이트는 상기 발열판의 상부면에서 열을 확산시키는 확산판;이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 다단 진공 건조 장치.
  8. 삭제
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