KR100835201B1

KR100835201B1 - Maglev clean lift

Info

Publication number: KR100835201B1
Application number: KR1020070071014A
Authority: KR
Inventors: 김종문; 박민국
Original assignee: 한국전기연구원
Priority date: 2007-07-16
Filing date: 2007-07-16
Publication date: 2008-06-05

Abstract

A maglev type clean lift is provided to reduce a manufacturing cost and to reduce total weight and to enhance reliability by reducing the number of magnets in a non-contact supporting manner thereof. A maglev type clean lift includes a plurality of magnets, a plurality of guide rails(19,20), a plurality of guide controllers, a plurality of gap sensors, a frame, a loading case, and a rope. The guide rails are installed in a vertical direction. A plurality of magnet modules are installed at a constant gap from the guide rails. Two magnet modules are installed at each corner of the guide rails in order to apply simultaneously guiding force thereof to x and y directions. The magnets include a plurality of U-shaped magnetic cores(11,13,15,17) and a plurality of magnetic coils(12,14,16,18) wound around the U-shaped magnetic cores.

Description

Maglev Clean Lift

본 발명은 비접촉식 자기부상 방식의 클린리프트에서 마그네트의 수를 줄임으로서 하드웨어의 단순화를 기할 수 있는 자기부상 클린 리프트에 관한 것이다.The present invention relates to a magnetic levitation clean lift that can simplify hardware by reducing the number of magnets in a non-contact magnetic levitation clean lift.

반도체 또는 LCD 분야와 같은 클린룸 내 공정에서 분진, 소음 및 진동을 유발하는 장치로 인해 클린룸의 환경이 나빠질 수 있어 이로 인하여 제품의 질이 저하 될 수 있다. Devices that cause dust, noise and vibration in clean room processes such as semiconductors or LCDs may degrade the environment of the clean room, which may reduce product quality.

특히, 화물을 다층간 이송하는 리프트의 경우, 리프트를 지지하기 위하여 접촉식 베어링을 쓰고 있어 소음, 진동 및 분진을 많이 발생하는 대표적인 장치라고 할 수 있다.In particular, in the case of a lift for transporting cargo between multiple layers, contact bearings are used to support the lift, which is a representative device that generates a lot of noise, vibration, and dust.

따라서 최근에는 자기부상 리프트는 반도체 및 LCD 공정에서 다층 간에 화물을 나르는 장치로써 사용하여 상술한 문제점을 해결하고 있었다.Therefore, in recent years, the magnetic levitation lift has been used as a device for carrying cargo between multiple layers in semiconductor and LCD processes to solve the above problems.

그러나 이와 같은 자기부상 리프트에서 안내제어 및 수직이동시 부하의 불균형에 의한 힘의 외란 또는 가이드 레일의 위치변동에 의한 레일 외란 등으로부터 안정하게 제어할 필요가 있는 것으로 종래에는 도 1과 같은 제어용 마그네트를 사용한 클린 리프트를 사용하고 있었다.However, in such a magnetic levitation lift, it is necessary to control stably from the disturbance of the force due to the unbalance of the load or the disturbance of the rail due to the positional change of the guide rail during vertical movement. I was using a clean lift.

도 1은 종래의 클린 리프트의 안내제어용 마그네트를 나타낸 평면도이다.1 is a plan view illustrating a magnet for guiding control of a conventional clean lift.

여기서 클린 리프트는 후술하는 도 3과 적재함(42)의 상하, 좌우 네모서리에 설치되는 마그네트 코어(23)(27)(31)(35) 및 마그네트코일(24)(28)(32)(36)에 해당된다.Here, the clean lift is provided with magnet cores 23, 27, 31, 35 and magnet coils 24, 28, 32, and 36 installed on the upper, lower, left and right corners of the loading box 42 and FIG. 3 to be described later. Corresponds to).

이와같이 마그네트(1~6)는 양쪽의 벽면 즉, 리프트 프레임(9),(10)에 고정 설치된 가이드 레일(7),(8)을 중심으로 6개가 설치되며, 상술한 적재함 (42)의 상하에 설치되므로 전체적으로 12개의 마그네트를 사용하고 있었다.In this manner, six magnets 1 to 6 are installed around the wall surfaces of both sides, that is, guide rails 7 and 8 fixedly installed on the lift frames 9 and 10, and the upper and lower sides of the above-mentioned loading box 42 are installed. It was installed in, so I used 12 magnets in total.

그러나, 상기 마그네트를 제어하기 위하여 마그네트 한 개당 안내제어기와 센서가 각각 한 채널씩 필요하게 되므로 결국 코너당 3개 채널의 안내제어기 및 센서가 요구된다. 그리고 리프트의 x 방향의 운동을 제어하기 위해서 안내제어기는 x 방향의 갭 (도시 생략)정보를 받아 서로 마주보고 있는 마그네트(1)과 마그네트(2)의 흡인력을 제어하는 것으로 이 때, 한 쪽의 마그네트(1)의 전류가 증가하면, 다른 쪽의 마그네트(2)의 전류는 반대로 감소하게 된다.However, in order to control the magnet, a guide controller and a sensor for each magnet are required for each channel, and thus, a guide controller and a sensor for three channels per corner are required. In order to control the movement of the lift in the x direction, the guide controller receives gap (not shown) information in the x direction and controls the suction force of the magnet 1 and the magnet 2 facing each other. When the current of the magnet 1 increases, the current of the other magnet 2 decreases on the contrary.

동일하게 코너 2의 두 마그네트(4, 5)의 x 방향의 흡인력도 역시 코너 1의 두 마그네트(1, 2)와 같은 방법으로 발생하며, 정상상태에서 두 코너 1, 2의 마그네트에서 발생한 x 방향의 흡인력은 방향은 반대이고, 크기는 같아 힘의 균형을 이루도록 되어 있다.Similarly, the suction force in the x direction of the two magnets 4 and 5 in the corner 2 is also generated in the same way as the two magnets 1 and 2 in the corner 1, and in the normal state, the x direction generated in the magnets in the two corners 1 and 2 is normal. The attraction force of is opposite in direction and equal in magnitude to balance the force.

또한, 정상상태에서 y방향의 운동은 코너 1의 마그네트(3)과 코너 2의 마그네트(6)의 y방향의 흡인력이 방향은 반대이고, 크기는 같아 힘의 균형을 이루게 된다.In addition, in the steady state, the y-direction motion of the magnet 3 in the corner 1 and the magnet 6 in the corner 2 is opposite in direction and equal in magnitude to balance the forces.

그 결과, 리프트는 비접촉으로 가이드레일(7, 8)을 따라 움직이는데, 총 12개의 마그네트에 의해 5자유도 운동이 제어되며, 이에 따른 안내제어기 및 센서가 각각 12 채널씩이 필요하게 되므로 하드웨어적인 증가에 의하여 제조원가가 앙등하는 문제점이 있었다.As a result, the lift moves along the guide rails 7 and 8 in a non-contact manner, and 5 degrees of freedom motion is controlled by a total of 12 magnets, and accordingly, the guide controller and the sensor require 12 channels each, thereby increasing the hardware. There was a problem that the manufacturing cost is rising.

본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로,The present invention is to solve such a problem,

본 발명의 목적은 마그네트의 흡인력을 이용하여 리프트를 비접촉으로 지지시 사용되는 마그네트의 수를 크게 줄일 수 있는 자기부상 클린 리프트를 제공하고자 하는 것이다.An object of the present invention is to provide a magnetic levitation clean lift that can greatly reduce the number of magnets used when supporting the lift in a non-contact by using the suction force of the magnet.

다른 목적은 상기와 같이 마그네트의 수를 줄임으로써, 시스템 구조의 단순화 및 제작비용의 저감하고 신뢰성이 있는 자기부상 클린 리프트를 제공하고자 하는 것이다.Another object is to reduce the number of magnets as described above, thereby simplifying the system structure and reducing the manufacturing cost and providing a reliable magnetic levitation clean lift.

따라서 본 발명은 총 8개의 안내용 마그네트에 의해 5자유도 운동이 가능한 새로운 비접촉식 자기부상 방식의 클린 리프트를 제공할 수가 있으며, 코너당 2개의 마그네트로 이루어진 4 코너 각각의 마그네트 모듈에서 x 및 y축 방향의 흡인력이 발생되어 코너당 2축 제어가 가능한 특징이 있어 리프트 시스템 구조의 단순화, 제작비용의 저감, 리프트 무게 감소 및 시스템의 신뢰성 향상시킬 수가 있다.Therefore, the present invention can provide a new non-contact magnetic levitation type clean lift capable of five degrees of freedom movement by a total of eight guide magnets, and the x and y axis in each magnet module of four corners each consisting of two magnets per corner. Directional suction force is generated, which enables two-axis control per corner, which simplifies the structure of the lift system, reduces manufacturing costs, reduces the weight of the lift, and improves the reliability of the system.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 마그네트, 가이드레일, 안내제어기, 갭 센서, 프레임, 적재함 및 로프 등으로 이루어진 자기부상 방식의 클린 리프트에 있어서, In order to achieve the above object, the present invention provides a magnetic lift in a magnetic lift method comprising a magnet, a guide rail, a guide controller, a gap sensor, a frame, a storage box, and a rope,

수직 방향으로 설치된 가이드레일과 일정한 공극을 두고 코너당 2개의 마그네트 모듈을 설치하고, 상기 마그네트 모듈의 안내력이 x 및 y 방향으로 동시에 힘을 가하도록 구성한 것을 특징으로 하고 있으며,Two magnet modules are installed per corner with a guide rail installed in a vertical direction and a predetermined gap, and the guide force of the magnet module is configured to apply a force simultaneously in the x and y directions.

상기 마그네트 모듈은“U”자 형상으로 구성된 마그네트 코어와 그 마그네트 코어에 권취되어 있는 마그네트 코일로 구성되어 있는 것을 특징으로 하며,The magnet module is characterized in that the magnet core consisting of a "U" shape and a magnet coil wound around the magnet core,

상기 마그네트 모듈은 가이드레일을 중심으로 대칭적으로 배치되고, 레일 자극의 끝단에서 y 방향으로 자극 폭의 반만큼 편위되어 배치된 된 것을 특징으로 하고 있다.The magnet module is disposed symmetrically about the guide rail, and is disposed to be shifted by half of the magnetic pole width in the y direction at the end of the rail magnetic pole.

그리고 상기 마그네트 모듈은 “U”자 형상으로 구성된 마그네트 코어와 그 마그네트 코어의 일측에 권취되어 있는 마그네트 코일로 구성하고, 코어 내에 부착되는 영구자석으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하며, 상기 가이드 레일은 안내력을 증가시키기 위해 “U”자 형상의 홈이 형성되고, 벽면에 수직방향으로 세워 설치되게 하고 있다.The magnet module is composed of a magnet core formed in a “U” shape and a magnet coil wound on one side of the magnet core, and is composed of a permanent magnet attached to the core, and the guide rail has a guide force. In order to increase the "U" shaped groove is formed, it is to be installed perpendicular to the wall surface.

본 발명에서의 마그네트 모듈을 단순화시킨 자기부상 방식의 클린 리프트는 도 2에 보인 바와 같이 마그네트의 자기력을 이용하여 리프트를 비접촉으로 지지하기 위한 방법을 제시하였고, 리프트의 코너당 2개 즉, 총 8개의 안내 마그네트로 5 자유도의 운동을 제어하여 기존의 방식보다 마그네트의 수를 줄임으로써, 시스템 구조의 단순화, 제작비용의 저감, 리프트 무게 감소 및 시스템의 신뢰성 향상을 목적으로 하는 자기부상 방식의 클린 리프트를 구현할 수 있는 장점이 있다. As shown in FIG. 2, the magnetic lift type simplification of the magnetic lift in the present invention provides a method for supporting the lift in a non-contact manner by using the magnetic force of the magnet. Self-injured clean lift for the purpose of simplifying the system structure, reducing the manufacturing cost, reducing the weight of the lift and improving the reliability of the system by controlling the movement of 5 degrees of freedom with four guide magnets, which reduces the number of magnets. There is an advantage that can be implemented.

이하 첨부도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.When described in detail by the accompanying drawings as follows.

도 2는 본 발명의 자기부상 클린 리프트 내 설치되는 마그네트 모듈의 구조를 단순화 시켜 나타낸 평면도이다.Figure 2 is a plan view showing a simplified structure of the magnet module installed in the magnetic levitation clean lift of the present invention.

본 발명에서는 상술한 (도 3 참조) 리프트의 코너당 2 개씩의 마그네트 코어(11, 13)과 마그네트 코일(12, 14)로 이루어진 마그네트 모듈을 사용하여 x와 y 방향의 운동을 동시에 제어하도록 구성되어 있다. In the present invention, it is configured to simultaneously control the motion in the x and y directions by using a magnet module consisting of two magnet cores 11 and 13 and a magnet coil 12 and 14 per corner of the lift (see FIG. 3). It is.

상기한 마그네트 코어(11,13)에는 각각의 마그네트 코일(12,14)이 권취되어 마그네트 모듈을 구성하며, 마그네트 코어(11,13)는 “U”자형 형상으로 구성되어 역시 “U”자형의 가이드레일과 더불어 작용하여 y 방향의 안내력이 편평한 모양의 마그네트와 가이드레일에 비하여 커지게 된다.Each of the magnet coils 12 and 14 is wound around the magnet cores 11 and 13 to form a magnet module. The magnet cores 11 and 13 are formed of a “U” shape and are also “U” shaped. In addition to the guide rail, the guiding force in the y direction is larger than that of the flat magnet and the guide rail.

또한 상기 마그네트 코어(11,13)의 대향면에는 리프트 프레임(21)에 고정 설치된 가이드 레일(21)이 위치되어 있으며, 가이드 레일(21)의 양쪽에 자속밀도의 변화폭이 커지도록 “U”자형 형상으로 구성되어 있다.In addition, guide rails 21 fixed to the lift frame 21 are positioned on opposite surfaces of the magnet cores 11 and 13, and a “U” shape is formed on both sides of the guide rails 21 so as to increase the variation width of the magnetic flux density. It is composed of shapes.

상기 마그네트는 가이드 레일과 공극(g)이 유지된채 설치되며, y축에 대해 대칭을 이루도록 가이드 레일(19)을 중심으로 마그네트 코어(11,13) 및 마그네트 코일(12,14)이 설치되어 있다. The magnet is installed while the guide rail and the air gap (g) are maintained, and the magnet cores 11 and 13 and the magnet coils 12 and 14 are installed around the guide rail 19 so as to be symmetrical with respect to the y axis. have.

이때 가이드 레일(19)의 끝보다 y 방향으로 자극폭의 반만큼 (편위량 d) 마그네트 코어(11,13) 및 마그네트 코일(12,14)로 구성된 마그네트 모듈이 서로 어긋나게 배치한다.At this time, the magnet modules composed of the magnet cores 11 and 13 and the magnet coils 12 and 14 are disposed to be offset from each other by the half of the magnetic pole width (displacement amount d) in the y direction from the end of the guide rail 19.

여기서 가이드레일(19, 20)에 홈이 파여져 “U”자형 형상을 하고 있는 이유는 마그네트의 위치를 자극에 대하여 상기와 같이 편위(d)를 두고 있으므로, 자기 특성에 의해 이동시 자기저항이 최소로 되기 위해 마그네트와 가이드레일의 자극이 서로 일치하도록 힘이 작용하며 서로 어긋난 정도가 크면 자극을 일치시키기 위한 복원력의 크기가 더 커지게 된다.The reason why the groove is formed in the guide rails 19 and 20 to form a “U” shape is that the magnet position is shifted as described above with respect to the magnetic poles. The force acts so that the magnetic poles of the magnet and the guide rail coincide with each other, and the greater the deviation, the greater the resilience to match the magnetic poles.

상기와 같이 1번 코너의 두 마그네트(11∼14)의 편위량(d)은 같고, 마주보는 코너 2의 마그네트(15∼18)는 x축에 대해 코너 1의 마그네트와 대칭이 되게 배치되어 있다.As described above, the deflection amounts d of the two magnets 11 to 14 at the first corner are the same, and the magnets 15 to 18 at the opposite corner 2 are arranged to be symmetrical with the magnet at the corner 1 with respect to the x-axis. .

도 3는 본 발명의 마그네트 모듈을 적용한 클린 리프트의 부분 단면도를 나타내고 있다.3 is a partial cross-sectional view of a clean lift to which the magnet module of the present invention is applied.

벽면의 좌우에는 가이드 레일(39),(40)이 부착되어 있고, 상기 가이드 레일을 중심으로 상하 이동하는 리프트의 적재함(42)이 로프(43)를 통하여 연결되어 있다.Guide rails 39 and 40 are attached to the left and right of the wall surface, and a stacking box 42 of a lift moving up and down about the guide rail is connected via a rope 43.

그리고, 상기 적재함의 상하, 좌우에는 프레임(41)으로 고정되어 있고, 이 프레임(41)의 상하 프레임에 마그네트 모듈을 장착하고 있다.The frame 41 is fixed to the upper and lower sides and the left and right sides of the storage box, and the magnet module is attached to the upper and lower frames of the frame 41.

상기 마그네트 모듈은 마그네트 코어(23)에 마그네트 코일(24)을 권취하여 이루어지고, 상술한 바와같이 가이드 레일(39)을 중심으로 배치되어 있고, 각각 가이드 레일(39) 및 리프트의 대향면에는 갭센서(25)를 구성하고, 상기한 갭센서(25)의 피드백된 값을 받아 안내제어기(26)가 상기한 마그네트 코일(24)에 제어된 전압을 인가되게 구성되어 있다.The magnet module is formed by winding a magnet coil 24 on a magnet core 23, and is arranged around the guide rail 39 as described above, and a gap is provided on opposite surfaces of the guide rail 39 and the lift, respectively. The sensor 25 is configured, and the guide controller 26 is configured to apply the controlled voltage to the magnet coil 24 by receiving the feedback value of the gap sensor 25.

이와같이 마그네트 모듈과 안내제어기(26)(30)(34)(38) 및 갭센서(25)(29)(33)(37)는 동일한 구조를 가지고 있다.In this way, the magnet module, the guide controllers 26, 30, 34, 38, and the gap sensors 25, 29, 33, 37 have the same structure.

이와같이 구성된 본 발명에서 클린 리프트의 구동시 갭 센서 (25)(29)(32)( 36)은 리프트와 가이드 레일 사이의 간격을 측정하는 것으로 y 방향과 x 방향의 갭을 측정한다. In the present invention configured as described above, the gap sensors 25, 29, 32 and 36 measure the gap between the lift and guide rails when the clean lift is driven.

예를 들어 갭 센서(25)에 의해 측정된 갭 신호는 안내제어기(C1)에 피드백되고, 안내제어기(C1)은 마그네트 모듈와 가이드레일 사이의 갭을 일정하게 유지시키기 위해 실제 갭이 기준 갭보다 크면 전류를 증가시키고, 반대로 작으면 전류를 감소시키게 된다.For example, the gap signal measured by the gap sensor 25 is fed back to the guide controller (C1), the guide controller (C1) if the actual gap is larger than the reference gap in order to keep the gap between the magnet module and the guide rail constant Increasing the current and, conversely, decreasing it will decrease the current.

이와 같은 연산은 안내제어기 내부의 프로그램된 안내 알고리즘에 따라 연산한후 그 계산된 제어신호를 파워 앰프로 보내고 그 파워 앰프는 마그네트를 구동할 수 있는 크기의 전류를 만들기 위해 제어신호를 증폭하게 된다.Such operation is performed according to the programmed guidance algorithm inside the guide controller, and then the calculated control signal is sent to the power amplifier, and the power amplifier amplifies the control signal to generate a current of a magnitude capable of driving the magnet.

상기 증폭된 전압에 의해 마그네트에 전류가 흐르게 되고, 이 전류의 크기가 증가 또는 감소에 따라 안내력이 증가 또는 감소하게 되어 결국 정상상태로 수렴하게 되어 평형을 유지하고, 각 코너의 갭의 크기가 모두 동일한 값을 유지한 상태에서 리프트가 상하로 이동하게 된다.The current flows in the magnet by the amplified voltage, and as the magnitude of the current increases or decreases, the guiding force increases or decreases and eventually converges to a steady state, thereby maintaining equilibrium, and the size of the gap at each corner is increased. The lift moves up and down while maintaining the same value.

특히 본 발명의 경우에는 코너 2의 마그네트(15∼18)도 레일에 대해 자극폭의 반(d)만큼 편위되어 있으며(코너 1도 동일함), 전류의 흐름에 의하여 마그네트 모듈이 y 방향으로 힘이 가해지는 경우 “U” 자형의 구조에 의하여 자기저항이 크게 변화하므로 강한 힘의 안내력을 가해줄 수 있으며, 도 4와 같이 코너 1의 마그네트(11∼14)에 의해 발생한 흡인력(안내력)(F2)은 x와 y 방향으로 분리될 수 있다. In particular, in the case of the present invention, the magnets 15 to 18 of the corner 2 are also deviated by half the magnetic pole width (d) with respect to the rail (the corner 1 is also the same), and the magnet module is forced in the y direction by the flow of current. In this case, the magnetoresistance is greatly changed by the “U” shaped structure, so that a strong force can be applied, and the suction force (guide force) generated by the magnets 11 to 14 in the corner 1 as shown in FIG. (F2) can be separated in the x and y directions.

즉, 정상상태에서 마그네트(11, 12)에서 발생한 x 방향의 흡인력은 마그네트(13, 14)에서 발생한 x 방향의 흡인력과 방향은 반대이고, 크기는 같게 되어 상쇄되면서 균형을 이루고, 두 마그네트(11∼14)에서 발생되는 y 방향의 흡인력은 방향과 크기가 같아 합해진다.That is, in the steady state, the suction force in the x direction generated in the magnets 11 and 12 is opposite to the suction force in the x direction generated in the magnets 13 and 14, and is equal in size to be offset and balanced, and the two magnets 11 The suction force in the y direction generated in ˜14) is equal in direction and magnitude.

또한 정상상태에서 한 쪽 코너의 y 방향의 흡인력은 마주보는 반대쪽 코너의 마그네트에서 발생하는 y 방향의 흡인력과 방향은 반대이고, 크기가 같아 역시 y 방향도 균형을 이루게 된다. Also, in the steady state, the suction force in the y direction of one corner is opposite to the suction force in the y direction generated in the magnet in the opposite corner, and the size is also equal to the y direction.

결국 클린 리프트는 상부와 하부 각각에 2개의 코너에 있는 마그네트들에 의해 지지가 되는데, 리프트 상부와 하부에 각각 4개의 마그네트가 있어 5자유도 ( x, y, )제어가 가능하며, 가이드레일(19, 20)과 마그네트(11∼14) 사이의 공극(g)은 안내제어기(26, 30, 34, 38)와 갭 센서(25, 29, 33, 37)를 사용하여 일정한 값으로 유지할 수 있게 된다. In the end, the clean lift is supported by magnets in two corners at the top and the bottom, respectively. There are four magnets at the top and bottom of the lift, respectively, allowing five degrees of freedom (x, y,) control and a guide rail ( The air gap g between the 19 and 20 and the magnets 11 to 14 can be maintained at a constant value by using the guide controllers 26, 30, 34, 38 and the gap sensors 25, 29, 33, 37. do.

즉, 상부 및 하부에 있는 각 4개 즉 총 8개의 마그네트를 제어하면 x, y, 운동은 모두 제어가 가능하며, 회전 운동인 인 경우 그 각도의 크기가 리프트의 전체 크기에 비하여 작기 때문에 각 마그네트에서 보면 병진 운동과 같은 위치 변화이므로 각 마그네트에 별도의 전류를 흘려주면 각각의 상기한 운동 모두를 제어할 수 있다.In other words, if you control each of the four magnets at the top and bottom, that is, a total of eight magnets, all of the x, y, and motion can be controlled, and in the case of rotational motion, each magnet is smaller than the total size of the lift. In view of the positional change, such as the translational movement, each of the above-described movement of each magnet can be controlled by flowing a separate current to each magnet.

도 5는 본 발명의 자기부상 클린 리프트 내 설치되는 마그네트 모듈의 다른 실시예를 나타내고 있다.Figure 5 shows another embodiment of the magnet module installed in the magnetic levitation clean lift of the present invention.

여기서 가이드 레일(56)(57)의 대향면에 배치되는 마그네트 모듈은 “U”자 형상으로 구성된 마그네트 코어(45,48,51,54)와 그 마그네트 코어(45,48,51,54)의 일측에 권취되어 있는 마그네트 코일(46,49,52,55)로 구성하고, 코어 내에 부착되는 영구자석(44,47,50,53)으로 이루어져 있다.Herein, the magnet module disposed on the opposing surfaces of the guide rails 56 and 57 may include the magnet cores 45, 48, 51, and 54 of the “U” shape and the magnet cores 45, 48, 51, and 54. It consists of the magnet coils 46, 49, 52, 55 wound on one side, and consists of permanent magnets 44, 47, 50, 53 attached to the core.

상기와 같은 마그네트 모듈도 도 4와 같이 자극의 편위를 두어 잡아당긴 상기 안내력(F1)(F2)(F3)(F4)이 x,y 성분으로 분해될 수 있으므로 잡아당기는 하나의 인력으로 x,y 축의 이동을 제어 할 수가 있다.In the magnet module as described above, the guide force (F1) (F2) (F3) (F4) can be decomposed into x, y components pulled by the bias of the magnetic pole as shown in Figure 4 x, You can control the movement of the y axis.

특히 여기서는 영구자석을 사용하고 있기 때문에 마그네트 코일의 권선수를 줄이는 동시에 소비전력을 감소시킬 수 있는 효과를 가진다.In particular, since the permanent magnet is used, the number of turns of the magnet coil can be reduced and power consumption can be reduced.

도 1는 종래의 클린 리프트의 제어용 마그네트를 나타낸 평면도,1 is a plan view showing a magnet for controlling a conventional clean lift,

도 2는 본 발명의 자기부상 클린 리프트 내 설치되는 마그네트 모듈의 구조를 단순화 시켜 나타낸 평면도,Figure 2 is a plan view showing a simplified structure of the magnet module installed in the magnetic levitation clean lift of the present invention,

도 3는 본 발명의 마그네트 모듈을 적용한 클린 리프트의 부분 단면도,3 is a partial cross-sectional view of a clean lift to which the magnet module of the present invention is applied;

도 4는 본 발명에서의 마그네트 모듈과 가이드레일 사이의 흡인력 관계를 보여 주는 벡터도,4 is a vector diagram showing a suction force relationship between the magnet module and the guide rail in the present invention;

도 5는 본 발명의 자기부상 클린 리프트 내 설치되는 마그네트 모듈의 다른 실시예이다.5 is another embodiment of a magnet module installed in the magnetic levitation clean lift of the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Description of the reference numerals for the main parts of the drawings>

1 ∼ 6 : 마그네트 (코일만 있는 전자석을 의미하기도 하고, 코일과 영구자석 모두 있는 혼합형 마그네트도 포함됨.)1 to 6: magnet (meaning an electromagnet with coil only, mixed magnets with both coils and permanent magnets are also included.)

7, 8, 19, 20, 39, 40, 56, 57 : 가이드레일7, 8, 19, 20, 39, 40, 56, 57: guide rail

9, 10, 21, 22, 41, 58, 59 : 프레임9, 10, 21, 22, 41, 58, 59: frames

11, 13, 15, 17, 23, 27, 31, 35, 45, 48, 51, 54 : 마그네트 코어11, 13, 15, 17, 23, 27, 31, 35, 45, 48, 51, 54: magnet core

12, 14, 16, 18, 24, 28, 32, 36, 46, 49, 52, 55 : 마그네트 코일12, 14, 16, 18, 24, 28, 32, 36, 46, 49, 52, 55: magnet coil

25, 29, 33, 37 : 갭 센서25, 29, 33, 37: gap sensor

26, 30, 34, 38 : 안내제어기26, 30, 34, 38: guide controller

42 : 적재함42: loading box

43 : 로프43: rope

44, 47, 50, 53 : 영구자석44, 47, 50, 53: permanent magnet

Claims

Magnets (11 to 18, 23, 24, 27, 28, 31, 32, 35, 36), guide rails (19, 20, 39, 40), guide controllers (26, 30, 34, 38), gap sensors ( 25, 29, 33, 37, the frame 41, the stacking box 42, the rope 43, etc. In the magnetic lift type clean lift,

Two magnet modules are installed per corner with guide rails 19, 20, 39, and 40 installed in the vertical direction and a constant gap (g), so that the guide force of the magnet module exerts force in the x and y directions simultaneously. Magnetic Levitation Clean Lift

The method of claim 1,

The magnet module includes magnet cores 11, 13, 15, and 17 coils 12, 14, 16, and 18 wound around the magnet cores 11, 13, 15, and 17 having a “U” shape. Magnetic levitation clean lift, characterized in that

The method according to claim 1 or 2,

The magnet module is symmetrically disposed about the guide rails 19, 20, 39, and 40, and is arranged to be deviated by half of the pole width d in the y direction from the end of the rail pole. Floating clean lift

The method of claim 1,

In order to increase the guiding force, a “U” shaped groove is formed, and the magnetic levitation clean lift characterized in that the guide rails 19, 20, 39, and 40 are vertically installed on the wall.

The method according to claim 1 or 2,

The magnet module is a magnet core (45, 48, 51, 54) formed in a "U" shape and a magnet coil (46, 49, 52, 55) wound on one side of the magnet core (45, 48, 51, 54) ), And the magnetic levitation clean lift, characterized in that it consists of permanent magnets (44, 47, 50, 53) attached to the core