KR100835178B1

KR100835178B1 - 버티컬 핸들러의 반도체 소자 이송 장치

Info

Publication number: KR100835178B1
Application number: KR1020020007785A
Authority: KR
Inventors: 최기영; 이광섭
Original assignee: (주)한성정공
Priority date: 2002-02-09
Filing date: 2002-02-09
Publication date: 2008-06-04
Also published as: KR20030068006A

Abstract

본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 반도체 소자 이송 장치는 반도체 소자의 상면에 하단이 닿아 압력 기기에서 형성되는 진공에 의하여 상기 반도체 소자가 흡착되도록 하는 제 1, 2 흡착 부재와, 절곡된 양 단부의 하측으로 상기 제 1, 2 흡착 부재가 형성되는 이송지지대와, 상기 이송 지지대 일면의 하측에 형성되며 상기 이송 지지대가 상하로 움직일 수 있도록 하기 위한 상하 픽업부와, 상기 이송 지지대와 상기 상하 픽업부가 결합되도록 하기 위하여 상기 이송지지대의 일면에 형성되는 장홀에 삽입되어 상기 상하 픽업부의 상측이 결합되도록 하기 위한 위치 조절 부재가 포함되는 것을 특징으로 한다.

본 발명은 반도체 소자의 무게중심에 맞는 적절한 위치에서 반도체 소자가 픽업될 수 있도록 함으로서 보다 안정성있게 반도체 소자가 이송되도록 할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 한번의 사이클에 이미 데이터가 기록/검사된 반도체 소자를 빼내고, 동시에 새로운 반도체 소자가 삽입되도록 할 수 있어, 보다 효율적으로 버티컬 핸들러가 동작되도록 할 수 있는 효과가 있다.

버티컬 핸들러, 이송

Description

버티컬 핸들러의 반도체 소자 이송 장치{Transferring apparatus in vertical handler}

도 1은 본 고안에 따른 버티컬 핸들러의 사시도.

도 2는 본 고안에 따른 버티컬 핸들러의 작동 상태를 설명하기 위한 블록도.

도 3은 본 고안에 따른 버티컬 핸들러에 있어서 소자 피딩부의 확대 사시도.

도 4는 본 고안에 따른 버티컬 핸들러에서 소자 이송부의 부분 확대도.

도 5는 본 고안에 따른 버티컬 핸들러에서 소자 선별부의 동작을 설명하는 도면.

도 6은 본 고안에 따른 버티컬 핸들러에 있어서 소자 저장부의 확대 사시도.

도 7은 본 고안에 따른 버티컬 핸들러의 동작 방법을 설명하는 플로우 차트.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100 : 튜브 피딩부 200 : 소자 피딩부

300 : 소자 이송부 310 : 제 1 흡착부재

315 : 제 2 흡착부재 320 : 이송 지지대

325 : 상하 픽업부 330 : 위치 조절 부재

400 : 소자 기록/검사부 500 : 소자 선별부

600 : 소자 저장부

본 발명은 버티컬 핸들러(Vertical handler)의 반도체 소자 이송 장치에 관한 것으로서, 보다 상세히는 순차적으로 공급되는 반도체 소자의 이송 장치가 한 주기의 운동에 의하여 두 가지의 운동이 가능하도록 하여 반도체 소장의 기록/검사 작업이 보다 효율적으로 이루어질 수 있도록 하는 버티컬 핸들러의 반도체 소자 이송 장치에 관한 것이다.

버티컬 핸들러는 하측으로 경사져 형성된 슈트(Chute)에 가이드되어 반도체 소자가 낙하하며, 낙하하는 동안에 소정의 정지 동작 중에 반도체 소자가 멈추어져 소정의 데이터가 기록 및 테스트되고, 또한, 기록 및 테스트된 반도체 소자가 소정의 칩 저장부에 선별되어 저장되는 장치이다.

한편, 상기 버티컬 핸들러의 주된 기능은, 소정의 튜브에 저장되어 있는 반도체 소자에 데이터가 기록 및 테스트된 후, 배출되는 동작 중에 자동으로 선별이 이루어져 저장되도록 하는 것을 주된 목적으로 한다.

그러나, 종래의 버티컬 핸들러는 반도체 소자에 소정의 데이터가 기록/저장된 후에 이송되는 동작등의 반도체 소자의 운반 중에, 반도체 소자가 하나씩만 운송이 이루어지도록 함으로써, 핸들러의 효율이 떨어지는 문제점이 있었다.

또한, 각 상태에서 반도체 소자가 별도로 이송되도록 하기 위하여 별도의 구동 장치가 구비되어야만 하는 손실이 있었다.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 반도체 소자 이송의 동작 중에 한 번에 적재 및 배출의 동작이 이루어지도록 하여 생산 효율을 높일 수 있도록 하는 버티컬 핸들러의 반도체 이송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 또 다른 목적은 반도체 소자의 구체적인 종류에 따라 흡착 부재의 위치가 조정될 수 있도록 함으로써, 반도체 소자의 무게 중심에 맞추어 보다 안정되게 반도체 소자가 픽업될 수 있도록 하는 버티컬 핸들러의 반도체 소자 이송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 반도체 소자 이송 장치는 반도체 소자의 상면에 하단이 닿아 압력 기기에서 형성되는 진공에 의하여 상기 반도체 소자가 흡착되도록 하는 제 1, 2 흡착 부재와, 절곡된 양 단부의 하측으로 상기 제 1, 2 흡착 부재가 형성되는 이송지지대와, 상기 이송 지지대 일면의 하측에 형성되며 상기 이송 지지대가 상하로 움직일 수 있도록 하기 위한 상하 픽업부와, 상기 이송 지지대와 상기 상하 픽업부가 결합되도록 하기 위하여 상기 이송지지대의 일면에 형성되는 장홀에 삽입되어 상기 상하 픽업부의 상측이 결합되도록 하기 위한 위치 조절 부재가 포함되는 것을 특징으로 한다.

이러한 구성에 의하여 한번의 사이클에 이미 데이터가 기록/검사된 반도체 소자를 빼내고, 동시에 새로운 반도체 소자가 삽입되도록 할 수 있어, 보다 효율적으로 버티컬 핸들러가 동작되도록 할 수 있는 효과가 있다.

이하에서는 본 발명의 넓은 사상에 따른 구체적인 실시예를 설명하도록 한다. 다만, 본 실시예의 설명에 있어 필수적이지 않으며, 이미 공지된 바가 있는 기술에 대해서는 그 상세한 설명을 생략하도록 한다.

도 1은 본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 사시도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 버티컬 핸들러는 내부에 다수의 반도체 소자가 일렬로 적재되는 다수의 튜브가 상하로 적층되어 반도체 소자가 연속적으로 배출되도록 하기 위한 튜브 피딩부(100)와, 상기 튜브 피딩부(100)에서 일렬지어 연속적으로 배출되는 반도체 소자가 안정되게 하나씩 공급되도록 하기 위한 소자 피딩부(200)와, 반도체 소자에 데이터를 수록하고, 또한, 수록된 데이터의 정상적인 수록 여부가 확인되어 정상 또는 불량의 여부가 체크되도록 하기 위한 소자 기록/검사부(400)와, 상기 소자 피딩부(200)로 부터 상기 소자 기록/검사부(400)로 운반되도록 하고, 또한, 상기 소자 기록/검사부(400)에서 기록/검사된 반도체 소자가 배출되도록 하기 위한 칩 이송부(300)와, 상기 소자 기록/검사부(400)에서 배출되는 반도체 소자가 정상적으로 배출되어 정상 또는 불량의 여부에 따라 소정의 적재 구조에 저장되도록 하기 위한 칩 선별부(500)와, 상기 칩 선별부(500)로 부터 배출되는 반도체 소자가 소정의 적재 튜브에 저장되도록 하는 칩 저장부(600)가 포함된다.

설명된 바와 같은 보다 상세히 설명하면, 상기 튜브 피딩부(100)는 소정의 가이드 구조에 의하여 튜브가 적재되며, 상기 튜브의 속에는 다수의 반도체 소자가 일렬로 삽입되어 있다. 그리고, 하나의 튜브 속에 삽입되어 있는 반도체 소자는 일 렬로 연속적으로 배출되는데, 상기 반도체 소자가 전부 배출된 뒤에는 소정의 센서에 의하여 최하층의 튜브는 낙하되고, 상기 최하층 튜브 바로 위의 튜브가 한 층 내려와, 내부의 적재구조에 삽입되어 있는 반도체 소자가 배출되도록 한다.

또한, 상기 소자 피딩부(200)는 상기 튜브 피딩부(100)로 부터 연속적으로 배출되는 반도체 소자가 스토퍼 구조에 의해 단속되어 한번의 클럭(핸들러가 동작되는 소정의 단위)에 하나의 반도체 소자만이 슈트에 의해 활강되도록 한다. 이와 같은 소자 피딩부(200)에 의하여 한번의 클럭에 하나의 반도체만이 활강됨으로써, 반도제 소자의 잼 현상이 효과적으로 억제될 수 있다.

한편, 상기 소자 피딩부(200)의 하단에는 걸림턱이 형성되어 활강된 반도체 소자가 정지상태에서 대기하게 된다.

또한, 상기 소자 이송부(300)는 상기 걸림턱에서 정지하여 대기하고 있는 반도체 소자가 흡입력에 의하여 부착되고, 상하로의 동작 및 좌우로의 동작에 의하여 부착된 반도체 소자가 외부로부터의 방해없이 소자 기록/검사부(400)로 이송될 수 있도록 한다.

또한, 상기 소자 기록/검사부(400)는 아이씨 소켓(IC Socket) 및 소정의 푸쉬 구조가 포함되어, 아이씨 소켓에 적재되는 반도체 소자의 리드가 고정된 상태에서 데이터가 수록될 수 있도록 한다.

또한, 상기 소자 선별부(500)는 데이터가 수록된 반도체 소자가 상기 소자 기록/검사부(400)로부터 상기 칩 이송부(300)에 의해 배출된 뒤에, 적재 튜브의 용량 및 정상/불량의 여부에 따라 적절한 위치에 반도체 소자가 놓일 수 있도록 한 다. 그리고, 상기 소자 선별부(500)는 좌우로 움직이는 선형 모드로서, 적절한 위치에 놓인 뒤에 반도체 소자가 지지되는 걸림턱이 개방되도록 함으로써, 자중에 의하여 반도체 소자가 낙하되도록 한다.

또한, 상기 소자 저장부(600)는 낙하되는 반도체 소자의 개수가 센서에 의하여 확인되는 상태에서 동작됨으로써, 계속해서 낙하되는 반도체 소자의 개수가 확인되어, 적재 튜브에 반도체 소자가 적재된 정도가 확인될 수 있도록 한다. 한편, 상기 소자 저장부(600)에 형성되는 소정의 최소한 하나 이상의 튜브에는 기록 상태가 불량인 반도체 소자가 저장되도록 하는 것이 바람직하다.

도 2는 본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 작동 상태를 설명하기 위한 블록도이다.

도 2를 참조하여 본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 구성을 설명하면, 버티컬 핸들러의 내부 구성은 전체로서 버티컬 핸들러가 제어되도록 하기 위한 마이크로 콘트롤러(10)와, 상기 마이크로 콘트롤러(10)에 의해 제어되어 소정의 데이터가 입력또는 테스트되도록 하기 위한 프로그램부(20)와, 상기 마이크로 콘트롤러(10)에 의해 제어되어 상기 소자 이송부(300) 및 소자 선별부(500)가 적절히 제어되어 동작되도록 하기 위한 모터 구동부(30)와, 상기 프로그램부(20)로 기록하고자 하는 데이터가 전송되고, 또한 기록된 데이터의 정상 여부가 판별되도록 하기위한 퍼스널 컴퓨터(80)가 주요한 구성으로 포함된다.

보다 상세히, 상기 프로그램부(20)는 반도체 소자에 소정의 데이터가 수록되도록 하기위한 프로그램 입력부(21)와, 입력된 데이터의 정상 여부가 판별되도록 하기 위한 테스트부(22)가 포함된다.

보다 상세히, 상기 마이크로 콘트롤러(10)는 상기 프로그램 입력부(21)가 제어되도록 하기 위한 프로그램 제어부(11)와, 상기 테스트부(22)가 제어되도록 하기 위한 테스트 제어부(12)와, 핸들러의 동작이 제어되도록 하기 위한 지지 제어부(13)가 포함된다.

보다 상세히, 상기 모터 구동부(30)는 상기 소자 이송부(도 1의 300참조)와 상기 소자 선별부(500)가 적절히 구동되도록 하기 위하여, 상기 기기제어부(13)로 부터의 제어 신호에 의해 적절히 구동되도록 하는 모터 콘트롤러(31a)(31b)와, 모터가 구동되도록 하기 위한 드라이버(32a)(32b)와, 모터가 포함되어 소정의 선형 동작이 이루어져 소자 이송 구동부(33a)와 소자 선별 구동부(33b)가 포함된다.

한편, 상기 기기제어부(13)에 의해 제어되는 구성요소로는 진공 상태의 조성을 위한 펌프가 최소한 포함되는 압력기기(40)와, 반도체 소자의 위치가 확인되도록 하기 위한 센서부(50)와, 반도체 소자가 정상적으로 기록되지 못한 경우에, 해당되는 소자를 따로이 수납되어 기록이 삭제되도록 하기 위한 프로그램 이레이저(Program Eraser)(60)와, 반도체 소자에 정상적으로 데이터가 기록된 경우에 반도체 소자에 일정의 라벨이 찍히도록 하기 위한 라벨 프린터(70)와, 상기 소자 피딩부(200)가 동작되도록 하기위한 스토퍼 제어부(90)가 각각 포함된다.

도 3은 본 발명에 따른 버티컬 핸들러에 있어서 소자 피딩부의 확대 사시도이다.

도 3을 참조하면, 반도체 소자의 진행 방향을 기준으로 하측으로 기울어지며 형성되는 슈트(Chute)(210)와, 상기 슈트(210)의 이격된 상측에 형성되어 자중에 의하여 하측으로 진행되는 반도체 소자가 멈추도록 하기 위한 제 1 스토퍼(215) 및 상기 제 1 스토퍼(215)의 하측에 형성되는 제 2 스토퍼(220)와, 상기 제 1 스토퍼(215)의 직근 상측에서 슈트(210)의 측면에 형성되어 반도체 소자의 존재 여부가 감지되도록 하기 위한 소자 소진 센서(225)와, 소자 피딩부(도 1의 200참조)의 최하단에 형성되어 하나씩 공급되는 반도체 소자의 위치가 일정 시간 동안 유지되어 소자 이송부(300)에 의해 이송될 수 있도록 하기 위한 걸림판(235)와, 상기 걸림판(235)의 측면 슈트(210)에 형성되어 상기 걸림판(235)에 반도체 소자가 위치되는 지의 여부가 확인되도록 하기 위한 제 1 위치 센서(230)가 포함된다.

상기 제 1 스토퍼(215) 및 제 2 스토퍼(220)는 솔레노이드또는 공기압에 의한 피스톤과 같은 소정의 푸쉬수단에 의하여 상하로 선형 운동하게 된다. 또한, 상기 스토퍼(215)(220)의 하단이 슈트(210)의 상면 또는 반도체 소자의 상면에 닿아 스토퍼(215)(220)의 하측에 놓이는 반도체 소자의 진행이 방해되어 하측으로 내려가지 않도록 한다.

상기 소자 피딩부(200)의 동작을 설명하도록 한다.

상기 스토퍼(215)(220)는 상하 방향으로 선형동작에 의해 하측에 놓이는 반도체 소자가 멈추게 되는 것을 살필 수 있다.

또한, 상기 소자 소진 센서(225)는 상기 제 1 스토퍼(215)의 상측에 놓이는 센서로서, 슈트(210)의 양측에 형성되어 하나의 튜브로부터 공급되는 반도체 소자가 모두 소진되면 이를 감지하여 또 다른 튜브로 교체되도록 한다.

또한, 상기 제 1 위치 센서(230)는 슈트(230)의 하단에 형성되어 반도체 소자가 걸려있는 상태를 감지하여 반도체 소자가 하나씩 적절히 공급될 수 있도록 한다. 그리고, 제 2 위치 센서에 반도체 소자가 감지되지 않는 경우에는 다수의 반도체 소자에 잼(Jam)이 발생된 것으로서, 핸들러에 고장이 발생된 것으로 핸들러가 급 정지되도록 하는 인터럽트신호가 발생되도록 한다.

도 4는 본 발명에 따른 버티컬 핸들러에서 소자 이송부의 부분 확대도이다.

도 4를 참조하면, 상기 소자 이송부(300)는 진공의 공기압에 의해서 반도체 소자가 흡착되도록 하기 위한 제 1 흡착부재(310) 및 제 2 흡착부재(315)와, 상기 제 1, 2 흡착부재(310)(315)가 일 단부에 지지되는 이송 지지대(320)와, 이송 지지대(320)의 타 단부의 하측에 형성되어 이송 지지대(320)가 상하 및 좌우로 동작가능토록 하기위한 상하 픽업부(325)와, 상기 이송 지지대(320)와 상기 상하 픽업부(325)의 상면에 고정 결합되기 위한 소정의 위치 조절 부재(330)가 포함된다.

보다 상세히, 상기 제 1, 2 흡착 부재(310)(315)는 상기 압력기기(도 2의 40참조)로 부터 작용되는 진공에 의해서 흡입되는 공기의 유동에 의하여 작동된다. 그리고, 흡착 부재(310)(315)에 의한 반도체 소자의 흡착시 반도체 소자의 파손을 막기 위하여 흡착 부재(310)(315)의 하단에는 충격이 흡수될 수 있도록 하는 소정의 제 1, 2 흡착 패드(311)(316)가 더 형성되는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 제 1, 2 흡착 부재(310)(315)의 상단에는 상기 압력기기(40)로 부터의 진공이 전달될 수 있도록 하기 위한 제 1, 2 진공 튜브(312)(317)가 더 형성된다.

보다 상세히, 상기 이송 지지대(320)는 디귿자(ㄷ)자 형상으로 이루어지며, 디귿가 형상의 양단에서 하측으로 상기 제 1, 2 흡착 부재(310)(315)가 형성되는 것이 바람직하다.

보다 상세히, 상기 상하 픽업부(325)는 상하로 움직여 제 1, 2 흡착부재(310)(315)가 상하로 움직이며, 반도체 소자가 흡착된 후에 들어올려져 이송될 수 있도록 한다. 그리고, 상기 상하 픽업부(325)의 동작은 상기 압력기기(도 2의 40참조)의 공기압에 의한 푸쉬 및 복귀에 의해서 이루어지는 것이 바람직하다.

한편, 상기 상하 픽업부(325)의 하측에는 타이밍 벨트 및 이송 모터가 포함되는 선형 동작 기구가 형성되어 상기 상하 픽업부(325)가 좌우로 동작될 수 있도록 한다. 그리고, 상기 상하 픽업부(325)에 있어서 좌우로의 동작은 모터 구동부(도 2의 30참조)의 제어, 보다 상세히는 소자 이송 구동부(도 2의 33a참조)에 의해 제어되는 이송 모터에 의해서 이루어진다.

보다 상세히, 상기 위치 조절 부재(330)는 반도체 소자의 형상 또는 크기에 따라 흡착 부재(310)(315)가 흡착되는 반도체 소자 상의 위치가 달라짐으로써, 이를 보정하기 위한 수단으로서 반도체 소자 상면의 보다 정확한 위치에 상기 흡착 부재(310)(315)가 놓여질 수 있도록 한다. 또한, 상기 위치 조절 부재(330)는 이송 지지대(320) 일면에 가공되는 장홀(321)에 삽입되도록 함으로써, 이송지지대(320)의 위치 조정이 보다 편리하게 이루어지도록 하는 것이 바람직하다.

상기 소자 이송부의 동작을 설명하도록 한다.

상기 상하 픽업부(325)가 일정의 공기압에 의하여 하측으로 이동되도록 한 다.

그리고, 상기 소자 이송부(300)의 단부에 형성되는 제 2 흡착 부재(315)에는 소자 기록/검사부(400)에서 저장 및 검사가 끝난 반도체 소자가 흡착되고, 제 1 흡착 부재(310)에는 상기 소자 피딩부(200)의 하단 걸림턱에 놓여있는 반도체 소자가 흡착되도록 한다.

제 1, 2 흡착 부재(310)(315)의 하단에 반도체 소자가 흡착된 뒤에는 상기 상하 픽업부(325)가 일정의 공기압에 의하여 상측으로 올려지도록 한다.

한편, 상기 상하 픽업부(325)의 하측에 더 형성되는 타임 벨트와, 이송 모터에 의하여 상기 상하 픽업부(325)가 좌우로 이동되도록 하는데, 이때에는 상기 기기 제어부(13)의 제어에 의하여 상기 모터 구동부(30)의 제 1 모터 제어부(31a), 제 1 드라이버(32a) 및 소자 이송 구동부(33a)가 순차적으로 동작되어 결국 상기 이송 모터가 구동되어, 전체로서 소자 이송부(300)가 이송될 수 있다.

또한, 상하 픽업부(325)의 이송에 의하여 제 1 흡착 부재(310)는 소자 기록/검사부(400)의 위치에, 제 2 흡착 부재(315)는 소자 선별부(500)의 위치에 놓이면, 상기 상하 픽업부(325)가 하측으로 움직여 외부로 부터의 충격없이 안전하게 반도체 소자가 떨어질 수 있도록 한다.

적절한 높이까지 제 1, 2 흡착 부재(310)(315)가 위치된 후에는 제 1, 2 흡착 부재(310)(315)에 가해지는 압력기기(40)에 의한 공기압이 제거되도록 함으로써 반도체 소자가 하측으로 떨어져 제 1 흡착부재(310)로부터 떨어진 반도체 소자는 상기 소자 기록/검사부(400)에 놓이고, 상기 제 2 흡착부재(315)로부터 떨어진 반 도체 소자는 소자 선별부(500)에 놓여, 이후 부터의 공정이 계속하여 진행되도록 한다.

도 5는 본 발명에 따른 버티컬 핸들러에서 소자 선별부의 동작을 설명하는 도면이다.

도 5를 참조하면, 상기 소자 선별부(500)는 상기 소자 기록/검사부(400)에서 반도체 소자에 데이터가 기록 및 검사된 후에 배출되면, 반도체 소자의 정상 및 불량의 여부가 확인되어 적절하게 배출되도록 하는 것으로서, 하측에 타이밍 벨트 및 모터가 포함되는 소정의 선형 동작 기구가 형성되어 전후로 움직이게 되는 베이스와(525), 상기 베이스(525)의 상면에 형성되어 반도체 소자의 진행이 가이드되도록 하는 슈트(520)와, 반도체 소자가 배출되기 전까지 움직이며 동요되지 않도록 하기 위하여 소자 선별부(500)의 하측 단부에 형성되는 제 3 스토퍼(510)와, 제 3 스토퍼(510)에 의하여 반도체 소자가 멈추어진 것이 확인되도록 하기위한 제 2 위치 센서(515)가 포함된다.

상기 소자 선별부(500)의 동작을 설명하면, 상기 베이스(525)는 베이스(525)의 하측에 형성되며 상기 모터 구동부(도 2의 30참조)의 소자 선별 구동부(도 2의 33c참조)에 의하여 구동되는 모터 및 상기 모터와 연결되는 타이밍 벨트에 의하여 전후로 동작된다.

설명된 바와 같은 동작을 참조하면, 상기 소자 이송부(300)에 의하여 이송된 반도체 소자는 상기 슈트(520)의 상단에 놓인 뒤에 슈트(520)에 의하여 가이드되어 하측으로 이동되며, 이동되는 중에 슈트(520)의 하단에 형성된 제 3 스토퍼(510)에 걸려 진행이 멈추어지게 된다.

또한, 제 3 스토퍼(510)에 반도체 소자가 걸린 후에는, 베이스(525)가 이동되어 적절한 위치까지 이동된다. 적절한 위치로 베이스(525)가 이동된 뒤에는 상기 제 3 스토퍼(510)가 개방되어 반도체 소자가 소자 저장부(600)로 배출된다.

도 6은 본 발명에 따른 버티컬 핸들러에 있어서 소자 저장부의 확대 사시도이다.

도 6을 참조하면, 상기 소자 선별부는 기록/검사된 반도체 소자가 저장되도록 하기 위한 다수의 튜브가 삽입되는 튜브 삽입홈(610)과, 상기 튜브 삽입홈(610)에 삽입된 튜브의 위치가 고정되도록 하기위한 조임 부재(615)와, 상기 튜브 삽입홈(610)을 따라 삽입 저장되는 반도체 소자가 저장되어 저장될 수 있는 용량이 가득 찬 경우에는 더이상 삽입되지 않도록 하기 위하여 저장되는 반도체 소자의 개수가 카운터되도록 하기 위한 카운터 센서(620)이 포함된다.

상기 카운터 센서(620)에 의하여 저장되는 반도체 소자의 개수가 용량을 초과하는 경우에는, 상기 기기 제어부(13)에 의하여 제어되는 소자 선별 구동부(33c)에 의하여 더 이상 해당되는 튜브 삽입홈(610)으로는 상기 베이스(도 5의 525참조)가 진행되지 않도록 하는 것이다.

도 7은 본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 동작 방법을 설명하는 플로우 차트이다.

도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 핸들러는 상기 튜브 피딩부(100)에서 연속적으로 일렬로 정렬된 튜브에 의하여 반도체 소자가 공급되는 것을 상정한다. 반도 체 소자가 일렬로 공급된 상태에서 먼저 상기 제 1 스토퍼(215) 및 제 2 스토퍼(220)가 모두 하측으로 이동되어 반도체 소자의 진로가 저지되도록 한다(ST 100). 그리고, 반도체 소자가 상기 제 1 스토퍼(215)에 의하여 저지된 후에는 제 1 스토퍼(215)의 개방에 의하여 반도체 소자가 슈트를 따라 이동되도록 한다(ST 110). 그리고, 제 1 스토퍼(215)는 저지되고, 제 2 스토퍼(220)는 개방되도록 하여 반도체 소자가 하나씩 공급되도록 한다(ST 120). 그리고, 상기 제 2 스토퍼(220)가 저지되어 또 다른 하나의 반도체 공급을 대비하도록 한다(ST 130).

상기 단계에 의하여 반도체 소자가 하나씩 공급된 후에는, 반도체 소자가 상기 소자 이송부(300)에 의하여 소자 기록/저장부(400)로 이송되는데, 이때 상기 소자 이송부(300)는 두 개의 흡착부재(310)(315)가 구비되어 하나의 반도체 소자가 제 1 흡착부재(310)에 의하여 소자 기록/검사부(400)로 이송되는 중에, 제 2 흡착부재(315)는 소자 기록/검사부(400)로부터 이미 기록 및 검사 과정이 끝난 또 다른 하나의 반도체 소자가 뽑아져 상기 소자 선별부(500)로 이송되도록 한다(ST 140).

그리고, 반도체 소자에 소정의 데이터가 기록/저장 완결된 뒤에는 정상 또는 불량이 판단되어, 정상/불량에 따라 반도체 소자가 선별되도록 한다(ST 150).

반도체 소자가 선별된 뒤에는 반도체 소자가 소정의 튜브에 저장됨으로써, 반도체 소자의 기록/검사가 완결된 소자는 저장되며 핸들러에 의한 모든 공정이 종료된다(ST 160).

한편, 상기된 바와 같은 버티컬 핸들러의 구동 방법 중에 상기 소자 소진 센서(225)에 의하여 반도체 소자의 소진이 감지된 경우에는, 튜브 피딩부(100)에 소 정의 신호가 인가되도록 하여, 새로운 튜브가 교체되도록 한다.

또한, 상기 제 1 위치 센서(230) 또는 제 2 위치 센서(515)에 의하여 반도체 소자의 잼(Jam)이 감지되는 경우에는 소정의 경보 신호가 발생되도록 하며, 또한, 버티컬 핸들러의 동작이 정지 또는 종료되도록 하여 계속적으로 발생되는 핸들러의 보다 큰 고장이 방지되도록 한다.

설명된 바와 같은 본 발명에 따른 반도체 소자의 이송 장치는, 소개된 바와 같은 실시예에 그 범위가 제한된다고 할 수 없으며, 발명을 제대로 이해하는 당업자라면 본 발명의 특허청구범위 내에서 구성요소의 부가, 삭제, 변경에 의하여 또 다른 발명을 만들어내는 것은 쉬운 일이다.

본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 반도체 소자 이송 장치는 반도체 소자의 무게중심에 맞는 적절한 위치에서 반도체 소자가 픽업될 수 있도록 함으로서 보다 안정성있게 반도체 소자가 이송되도록 할 수 있는 효과가 있다.

본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 반도체 소자 이송 장치는 한번의 사이클에 이미 데이터가 기록/검사된 반도체 소자를 빼내고, 동시에 새로운 반도체 소자가 삽입되도록 할 수 있어, 보다 효율적으로 버티컬 핸들러가 동작되도록 할 수 있는 효과가 있다.

Claims

반도체 소자의 상면에 하단이 닿아 압력 기기에서 형성되는 진공에 의하여 상기 반도체 소자가 흡착되도록 하는 제 1, 2 흡착 부재와,

일측의 분지된 양 단부의 하측으로 상기 제 1, 2 흡착 부재가 형성되는 이송지지대와,

상기 이송 지지대의 타측에서 하측으로 연장 형성되며 상기 이송 지지대가 상하로 움직일 수 있도록 하기 위한 상하 픽업부와,

상기 이송 지지대와 상기 상하 픽업부가 결합되도록 하기 위하여 상기 이송지지대의 일면에 형성되는 장홀에 삽입되어 상기 상하 픽업부의 상측이 결합되도록 하기 위한 위치 조절 부재가 포함되는 것을 특징으로 하는 버티컬 핸들러의 반도체 소자 이송 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 위치 조절 부재는 최소한 두개 이상이 형성되는 것을 특징으로 하는 버티컬 핸들러의 반도체 소자 이송 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 제 1, 2 흡착 부재의 하단에 형성되어 상기 반도체 소자 흡착시에 충격이 저감되도록 하기 위한 흡착 패드가 포함되는 것을 특징으로 하는 버티컬 핸들러 의 반도체 소자 이송 장치.