KR100806882B1 - A liquid crystal display panel having wide viewing angle and a thin film transistor array panel - Google Patents
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Abstract
하부 기판의 박막 트랜지스터 어레이 위에 하부 제1 배향막이 형성되어 있고, 하부 제1 배향막 위에 디스코틱 액정으로 이루어진 하부 보상층이 형성되어 있으며, 하부 보상층 위에 화소 전극이 형성되어 있다. 화소 전극 위에는 하부 제2 배향막이 형성되어 있다. 상부 기판의 색필터 위에 상부 제1 배향막이 형성되어 있고, 상부 제1 배향막 위에 상부 보상층이 형성되어 있다. 상부 보상층 위에는 공통 전극이 형성되어 있고, 공통 전극 위에는 상부 제2 배향막이 형성되어 있다. 상하부 제2 배향막 사이에는 액정이 주입되어 비틀림 배향되어 있다. 이 때, 상하부 제2 배향막은 배향 방향이 서로 다른 두 영역을 가지고, 상하부 제1 배향막도 제2 배향막에 대응하여 배향 상태가 서로 다른 두 영역을 가진다. 이렇게 하면, 도메인별로 다른 액정의 배향 방향을 고려하여 도메인 별로 보상 특성을 다르게 함으로써 보다 넓은 시야각을 가지는 액정 표시 장치를 마련한다. A lower first alignment layer is formed on the thin film transistor array of the lower substrate, a lower compensation layer made of discotic liquid crystal is formed on the lower first alignment layer, and a pixel electrode is formed on the lower compensation layer. The lower second alignment layer is formed on the pixel electrode. An upper first alignment layer is formed on the color filter of the upper substrate, and an upper compensation layer is formed on the upper first alignment layer. The common electrode is formed on the upper compensation layer, and the upper second alignment layer is formed on the common electrode. The liquid crystal is injected between the upper and lower second alignment layers and is twisted. In this case, the upper and lower second alignment layers have two regions having different alignment directions, and the upper and lower first alignment layers also have two regions having different alignment states corresponding to the second alignment layer. In this case, a liquid crystal display having a wider viewing angle is provided by varying compensation characteristics for each domain in consideration of alignment directions of liquid crystals different for each domain.
액정표시장치, 박막트랜지스터기판, 도메인, 배향막, 보상층LCD, thin film transistor substrate, domain, alignment layer, compensation layer
Description
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치의 단면도이고,1 is a cross-sectional view of a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention;
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치에 있어서 두 도메인 내에서의 액정의 배향 상태를 나타내는 개념도이고, 2 is a conceptual diagram illustrating an alignment state of liquid crystals in two domains in the liquid crystal display according to the exemplary embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 배치도이고,3 is a layout view of a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to a first embodiment of the present invention;
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ'선에 대한 단면도이고,4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV 'of FIG. 3,
도 5a, 6a, 7a 및 8a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판을 제조하는 중간 과정을 그 공정 순서에 따라 도시한 박막 트랜지스터 기판의 배치도이고,5A, 6A, 7A, and 8A are layout views of a thin film transistor substrate, illustrating an intermediate process of manufacturing a thin film transistor substrate for a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention, according to a process sequence thereof;
도 5b는 도 5a에서 Ⅴb-Ⅴb' 선을 따라 절단한 단면도이고,5B is a cross-sectional view taken along the line Vb-Vb ′ of FIG. 5a;
도 6b는 도 6a에서 Ⅵb-Ⅵb' 선을 따라 잘라 도시한 도면으로서 도 5b의 다음 단계를 도시한 단면도이고,FIG. 6B is a cross-sectional view taken along line VIb-VIb ′ in FIG. 6A and is a cross-sectional view showing the next step in FIG. 5B;
도 7b는 도 7a에서 Ⅶb-Ⅶb' 선을 따라 잘라 도시한 도면으로서 도 6b의 다음 단계를 도시한 단면도이고, FIG. 7B is a cross-sectional view taken along the line Ⅶb-Ⅶb 'of FIG. 7A and illustrating the next step of FIG. 6B;
도 8b는 도 8a에서 Ⅷb-Ⅷb' 선을 따라 잘라 도시한 도면으로서 도 7b의 다음 단계를 도시한 단면도이고, FIG. 8B is a cross-sectional view taken along the line Ⅷb-Ⅷb 'of FIG. 8A and showing the next step of FIG. 7B;
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 단면도이고,9 is a cross-sectional view of a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.
도 10a는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 수평 방향의 시야각별 투과도 그래프이고,10A is a graph illustrating transmittances of viewing angles in a horizontal direction of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 10b는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 수직 방향의 시야각별 투과도 그래프이고,10B is a graph illustrating transmittances of respective viewing angles in the vertical direction of the liquid crystal display according to the exemplary embodiment of the present invention.
도 10c는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 수직 방향 대비비이고,10c is a vertical contrast ratio of the liquid crystal display according to the exemplary embodiment of the present invention;
도 11a는 종래의 기술에 따른 액정 표시 장치의 수평 방향의 시야각별 투과도 그래프이고,FIG. 11A is a graph of transmittance for each viewing angle in a horizontal direction of a liquid crystal display according to the related art.
도 11b는 종래의 기술에 따른 액정 표시 장치의 수직 방향의 시야각별 투과도 그래프이고,11B is a graph illustrating transmittances of respective viewing angles in the vertical direction of the liquid crystal display according to the related art.
도 11c는 종래의 기술에 따른 액정 표시 장치의 수직 방향 대비비이다11C is a vertical contrast ratio of a liquid crystal display according to the related art.
본 발명은 액정 표시 장치에 관한 것으로서, 특히 광시야각을 확보하기 위하여 하나의 화소 내에 액정의 비틀림 방향이 서로 다른 두 영역을 형성하는 액정 표시 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display, and more particularly, to a liquid crystal display that forms two regions having different twisting directions of liquid crystal in one pixel in order to secure a wide viewing angle.
액정 표시 장치는 일반적으로 공통 전극과 컬러 필터(color filter) 등이 형 성되어 있는 상부 기판과 박막 트랜지스터와 화소 전극 등이 형성되어 있는 하부 기판 사이에 액정 물질을 주입해 놓고 화소 전극과 공통 전극에 서로 다른 전위를 인가함으로써 전계를 형성하여 액정 분자들의 배열을 변경시키고, 이를 통해 빛의 투과율을 조절함으로써 화상을 표현하는 장치이다.In general, a liquid crystal display device injects a liquid crystal material between an upper substrate on which a common electrode and a color filter are formed, and a lower substrate on which a thin film transistor and a pixel electrode are formed. By applying different potentials to form an electric field to change the arrangement of the liquid crystal molecules, and through this to control the light transmittance is an apparatus that represents the image.
이러한 액정 표시 장치 중에서 하부 기판과 상부 기판에 접한 액정 분자가 서로 일정한 각도로 비틀려 배향되어 있는 트위스티드(twisted) 네마틱(nematic) 액정 표시 장치는 그 적용 범위가 매우 넓다. 그러나 트위스티드 네마틱 액정 표시 장치는 시야각이 좁고 또한 시야각이 보는 방향에 따라 큰 차이를 보이는 단점이 있다. 이러한 단점을 보완하기 위하여 보상 필름을 상부 기판과 하부 기판의 바깥쪽에 부착하여 시야각을 개선하고, 화소 영역을 두 개의 도메인으로 나누어 액정 분자의 비틀림 방향을 서로 다르게 설정하여 보는 방향에 따른 시야각의 차이를 개선한다. Among such liquid crystal display devices, a twisted nematic liquid crystal display device in which liquid crystal molecules in contact with a lower substrate and an upper substrate are twisted and aligned at a predetermined angle to each other has a wide range of application. However, the twisted nematic liquid crystal display has a narrow viewing angle and a large difference depending on the viewing direction. To compensate for this disadvantage, a compensation film is attached to the outer side of the upper substrate and the lower substrate to improve the viewing angle, and by dividing the pixel area into two domains to set the twist direction of the liquid crystal molecules differently, the difference in viewing angle according to the viewing direction is determined. Improve.
도 11a는 화소 영역을 두 개의 도메인으로 나눈 액정 표시 장치의 수평(좌우) 방향의 시야각별 투과도 그래프이고, 도 11b는 화소 영역을 두 개의 도메인으로 나눈 액정 표시 장치의 수직(상하) 방향의 시야각별 투과도 그래프이고, 도 11c는 화소 영역을 두 개의 도메인으로 나눈 액정 표시 장치의 수직(상하) 방향 대비비이다.FIG. 11A is a graph of transmittances of horizontal (left and right) directions of a liquid crystal display by dividing a pixel area into two domains, and FIG. 11B is a view of vertical and vertical views of a liquid crystal display by dividing a pixel area into two domains. 11C is a graph showing transmittance, and a ratio of vertical (vertical) directions of a liquid crystal display obtained by dividing a pixel area into two domains.
위의 도 11a와 도 11b를 보면, 수평 방향 시야각은 좌우 대칭을 이루고 계조 반전도 일어나지 않으나, 수직 방향 시야각은 상하 비대칭이고 하측에서는 45°부근에서 계조 반전이 일어남을 알 수 있다. 도 11c에 의하면, 대비비 10:1 기준의 시야각이 40°정도에 불과하다. 이는 도메인에 따라 다른 액정의 비틀림 방향 차이를 보상 필름이 완전히 보상하지 못하기 때문이다. 11A and 11B, the horizontal viewing angle is symmetrical and no grayscale inversion occurs, but the vertical viewing angle is asymmetrical in the vertical direction and grayscale inversion occurs near 45 ° on the lower side. According to FIG. 11C, the viewing angle of the contrast ratio 10: 1 is only about 40 °. This is because the compensation film does not completely compensate for the torsional direction difference of different liquid crystals depending on the domain.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 도메인에 따라 다른 액정의 비틀림 방향 차이를 고려하여 광의 경로를 보상함으로써 보다 넓은 시야각을 가지는 액정 표시 장치를 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in an effort to provide a liquid crystal display having a wider viewing angle by compensating for a path of light in consideration of a difference in the torsional direction of liquid crystals depending on domains.
이러한 과제를 해결하기 위하여 본 발명에서는 보상층을 상하 기판의 안쪽에 각각 형성하고 도메인별로 광경로 보상을 차별화한다.In order to solve this problem, in the present invention, a compensation layer is formed on the inside of the upper and lower substrates, and the optical path compensation is differentiated for each domain.
구체적으로는, 절연 기판, 상기 절연 기판 위에 형성되어 있는 제1 배선, 상기 절연 기판 위에 형성되어 있으며 상기 제1 배선과 절연되어 교차하고 있는 제2 배선, 상기 제2 배선 위에 형성되어 있는 제1 배향막, 상기 제1 배향막에 의하여 방향에 따른 광 경로 보상 특성이 결정되는 보상층, 상기 보상층 위에 형성되어 있는 화소 전극, 상기 제1 배선, 상기 제2 배선 및 상기 화소 전극과 연결되어 있는 박막 트랜지스터를 포함하는 박막 트랜지스터 기판을 마련한다.Specifically, an insulating substrate, a first wiring formed on the insulating substrate, a second wiring formed on the insulating substrate and insulated from and intersecting with the first wiring, and a first alignment film formed on the second wiring. A thin film transistor connected to the compensation layer in which the optical path compensation characteristic of the direction is determined by the first alignment layer, the pixel electrode formed on the compensation layer, the first wiring, the second wiring and the pixel electrode; A thin film transistor substrate is provided.
여기서, 상기 화소 전극 위에 형성되어 있는 제2 배향막을 더 포함하고, 상기 제1 배향막과 상기 제2 배향막은 배향 방향이 서로 다른 제1 영역과 제2 영역을 가지며, 상기 제1 영역과 상기 제2 영역은 상기 각 화소 전극을 양분하는 것이 바람직하다. 상기 제1 배향막의 제1 영역과 제2 영역은 마스크를 사용하여 둘 중 어느 한 영역을 가리고 나머지 영역에만 자외선을 조사하는 광배향 방법에 의하여 배 향 특성의 차이가 형성될 수 있다.Here, further comprising a second alignment layer formed on the pixel electrode, wherein the first alignment layer and the second alignment layer has a first region and a second region different from each other in the alignment direction, the first region and the second It is preferable that the region divides each pixel electrode. The first and second regions of the first alignment layer may be formed by using a mask to cover any one of the two regions, and a difference in alignment characteristics may be formed by an optical alignment method of irradiating ultraviolet rays only to the remaining regions.
또, 절연성 제1 기판, 상기 제1 기판 위에 형성되어 있는 제1 배선, 상기 절연 기판 위에 형성되어 있으며 상기 제1 배선과 절연되어 교차하고 있는 제2 배선, 상기 제2 배선 위에 형성되어 있는 제1 배향막, 상기 제1 배향막에 의하여 방향에 따른 광 경로 보상 특성이 결정되는 제1 보상층, 상기 제1 보상층 위에 형성되어 있는 화소 전극, 상기 제1 기판과 대향하고 있는 절연성 제2 기판, 상기 제2 기판 위에 형성되어 있는 제2 배향막, 상기 제2 배향막에 의하여 방향에 따른 광 경로 보상 특성이 결정되는 제2 보상층, 상기 제2 보상층 위에 형성되어 있는 공통 전극, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 주입되어 있는 액정 물질을 포함하는 액정 표시 장치를 마련한다.In addition, an insulating first substrate, a first wiring formed on the first substrate, a second wiring formed on the insulating substrate and insulated from and intersecting the first wiring, and a first wiring formed on the second wiring. An alignment layer, a first compensation layer for determining optical path compensation characteristics in a direction by the first alignment layer, a pixel electrode formed on the first compensation layer, an insulating second substrate facing the first substrate, and the first compensation layer A second alignment layer formed on the second substrate, a second compensation layer in which an optical path compensation characteristic of a direction is determined by the second alignment layer, a common electrode formed on the second compensation layer, the first substrate and the first A liquid crystal display device including a liquid crystal material injected between two substrates is provided.
여기서, 상기 화소 전극 위에 형성되어 있는 제3 배향막과 상기 공통 전극 위에 형성되어 있는 제4 배향막을 더 포함하고, 상기 제1 내지 제4 배향막은 배향 상태가 서로 다른 제1 영역과 제2 영역을 가지며, 상기 제1 영역과 상기 제2 영역은 상기 각 화소 전극을 양분하고, 상기 제1 및 제2 보상층은 디스코틱 액정층인 것이 바람직하다. 또한 상기 제3 배향막의 배향 방향과 상기 제4 배향막의 배향 방향은 각 영역별로 서로 0도에서 90도 사이의 각도를 이룰 수 있고, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 바깥쪽에 각각 부착되어 있는 제1 편광판과 제2 편광판을 더 포함하고, 상기 제1 편광판과 상기 제2 편광판의 편광 방향은 서로 90도를 이루는 것이 바람직하다.Here, further comprising a third alignment layer formed on the pixel electrode and a fourth alignment layer formed on the common electrode, wherein the first to fourth alignment layer has a first region and a second region having different alignment states. Preferably, the first region and the second region divide the pixel electrodes, and the first and second compensation layers are discotic liquid crystal layers. In addition, the alignment direction of the third alignment layer and the alignment direction of the fourth alignment layer may form an angle between 0 degrees and 90 degrees with respect to each region, and are attached to the outside of the first substrate and the second substrate, respectively. A first polarizing plate and a second polarizing plate are further included, and the polarization directions of the first polarizing plate and the second polarizing plate preferably form 90 degrees to each other.
그러면 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치에 대하 여 설명한다.Next, a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 단면도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치에 있어서 두 도메인 내에서의 액정의 배향 상태를 나타내는 개념도이다.1 is a cross-sectional view of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a conceptual diagram illustrating an alignment state of liquid crystals in two domains in the liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.
하부 절연 기판(10) 위에 게이트 배선(22)이 형성되어 있고, 게이트 배선(22) 위에는 게이트 절연막(30)이 형성되어 있으며, 게이트 절연막(30) 위에는 게이트 배선과 교차하는 데이터 배선(도시하지 않음)이 형성되어 있다. 데이터 배선 위에는 하부 제1 배향막(71)이 형성되어 있고, 하부 제1 배향막(71) 위에는 하부 보상층(90) 형성되어 있다. 여기서, 하부 보상층(90)은 디스코틱(discotic) 액정 물질 등을 도포하고 배향한 후 고체화시켜 형성한 것이고, 하부 제1 배향막(71)은 하부 보상층(90)의 액정을 배향하기 위한 것으로써, 하부 보상층(90)의 액정을 도메인 별로 다른 방향으로 배향하고 있다. 하부 보상층(90)의 위에는 화소 전극(82)이 형성되어 있고, 화소 전극(82)의 위에는 하부 제2 배향막(72)이 형성되어 있다. The
투명한 상부 절연 기판(110) 위에는 화소 영역 경계와 도메인의 경계에서 빛이 새는 것을 방지하기 위한 블랙 매트릭스(120)가 형성되어 있고, 블랙 매트릭스(120)의 위에는 빨강, 초록, 파랑색의 색필터(130)가 형성되어 있다. 색필터(130)와 블랙 매트릭스(120) 위에는 상부 제1 배향막(171)이 형성되어 있고, 상부 제1 배향막(171)의 위에는 상부 보상층(190)이 형성되어 있다. 여기서, 상부 보상층(190)은 디스코틱(discotic) 액정 물질 등을 도포하고 배향한 후 고체화시켜 형성한 것이고, 상부 제1 배향막(171)은 상부 보상층(190)의 액정을 배향하기 위한 것으로써, 상부 보상층(190)의 액정을 도메인 별로 다른 방향으로 배향하고 있다. 상부 보상층(190)의 위에는 ITO(indium tin oxide) 등의 투명한 도전 물질로 이루어진 공통 전극(180)이 형성되어 있고, 공통 전극(180)의 위에는 상부 제2 배향막(172)이 형성되어 있다.A
하부 기판(10)의 하부 제2 배향막(72)과 상부 기판(110)의 상부 제2 배향막(172) 사이에는 액정 물질이 주입되어 액정층(300)을 이루고 있다. 이 때, 액정층(300)은 액정의 배향 방향에 따라 도메인 Ⅰ(310)과 도메인 Ⅱ(320)로 구분되며, 도메인 Ⅰ(310)과 도메인 Ⅱ(320)는 하나의 화소 영역을 2분하고 있다. 도메인 Ⅰ(310)과 도메인 Ⅱ(320)의 액정 들은 하부 제2 배향막(72)과 상부 제2 배향막(172)에 의하여 서로 다른 방향으로 배향된다.A liquid crystal material is injected between the lower
도 2에 나타낸 바와 같이, 도메인 Ⅰ(310)의 액정과 도메인 Ⅱ(320)의 액정은 그 배향 상태가 서로 다르다. 즉, 액정의 비틀리는 방향이 서로 다르다. 이러한 액정의 비틀림 방향에 맞추어 상하부 보상층(90, 190)의 액정 배향도 도메인별로 다르다. As shown in FIG. 2, the liquid crystal of the domain I 310 and the liquid crystal of the domain II 320 differ from each other in alignment state. That is, the twisting directions of the liquid crystals are different from each other. The liquid crystal alignment of the upper and
상부 기판(110)과 하부 기판(10)의 바깥쪽에는 편광판(410, 420)이 각각 배치되어 있다. 이 때, 편광판(410, 420)은 위상차 필름을 베이스 필름으로 사용하는 것이 보통이다.
이상과 같이, 보상층(90, 190)을 상하부 기판(10, 110)의 안쪽면 위에 형성하고 도메인별로 보상층(90, 190) 내의 액정의 배향 상태를 달리함으로써 도메인에 따라 다른 액정의 비틀림 방향 차이를 고려하여 광의 경로를 보상함으로써 보다 넓은 시야각을 가지는 액정 표시 장치를 마련할 수 있다.As described above, by forming the compensation layers 90 and 190 on the inner surfaces of the upper and
그러면 이러한 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 기판에 대하여 좀 더 상세히 설명한다.Next, the thin film transistor substrate of the liquid crystal display will be described in more detail.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 배치도이고, 도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ'선에 대한 단면도이다.3 is a layout view of a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to a first exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV ′ of FIG. 3.
절연 기판(10) 위에 크롬(Cr) 등의 물리 화학적 특성이 우수한 물질로 이루어진 제1 게이트 배선층(221, 241, 261)과 알루미늄(Al) 등의 비저항이 낮은 물질로 이루어진 제2 게이트 배선층(222, 242, 262)의 이중층으로 이루어진 게이트 배선이 형성되어 있다. The first gate wiring layers 221, 241, and 261 made of a material having excellent physicochemical properties such as chromium (Cr) on the insulating
게이트 배선은 가로 방향으로 뻗어 있는 게이트선(22), 게이트선(22)의 끝에 연결되어 있어 외부로부터의 게이트 신호를 인가받아 게이트선으로 전달하는 게이트 패드(24) 및 게이트선(22)에 연결되어 있는 박막 트랜지스터의 게이트 전극(26)을 포함한다. The gate wire is connected to the
게이트 배선(22, 24, 26) 위에는 질화 규소(SiNx) 따위로 이루어진 게이트 절연막(30)이 형성되어 있다.A
게이트 전극(24) 상부의 게이트 절연막(30) 위에는 비정질 규소 등의 반도체로 이루어진 반도체층(40)이 섬 모양으로 형성되어 있으며, 반도체층(40)의 상부에는 실리사이드 또는 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 따위의 물질로 만들어진 저항성 접촉층(54, 56)이 각각 형성되어 있다.A
저항성 접촉층(54, 56) 및 게이트 절연막(30) 위에는 크롬 등으로 이루어진 제1 데이터 배선층(621, 651, 661, 681)과 알루미늄 등으로 이루어진 제2 데이터 배선층(622, 652, 662, 682)의 이중층으로 이루어진 데이터 배선(62, 65, 66, 68)이 형성되어 있다. On the ohmic contact layers 54 and 56 and the
데이터 배선(62, 65, 66, 68)은 세로 방향으로 형성되어 게이트선(22)과 교차하여 화소를 정의하는 데이터선(62), 데이터선(62)의 분지이며 저항성 접촉층(54)의 상부까지 연장되어 있는 소스 전극(65), 데이터선(62)의 한쪽 끝에 연결되어 있으며 외부로부터의 화상 신호를 인가받는 데이터 패드(68), 소스 전극(65)과 분리되어 있으며 게이트 전극(26)에 대하여 소스 전극(65)의 반대쪽 저항성 접촉층(56) 상부에 형성되어 있는 드레인 전극(66)을 포함한다. The data lines 62, 65, 66, and 68 are formed in the vertical direction and intersect with the
데이터 배선(62, 65, 66, 68) 위에는 하부 제1 배향막(71)이 형성되어 있고, 하부 제1 배향막(71) 위에는 하부 보상층(90)이 형성되어 있다. 하부 제1 배향막(71)과 하부 보상층(90)에는 게이트 패드(24)와 드레인 전극(66) 및 데이터 패드(68)를 노출시키는 접촉구(74, 76, 78)가 형성되어 있다. 하부 보상층(90)은 예를 들어, 디스코틱 액정을 도포하고 배향한 후 자외선을 조사하여 경화시켜 형성한 층으로서, 시야각 개선을 위한 보상 필름의 역할과 함께 박막 트랜지스터의 채널부를 보호하는 보호막의 역할을 한다. 하부 보상층(90)의 디스코틱 액정은 도메인에 따라 배향 상태가 서로 다른데, 디스코틱 액정의 배향 상태는 액정층(300)의 액정의 배향을 고려하여 결정한다. 이러한 디스코틱 액정의 배향 상태는 하부 제1 배향막(71)을 이용하여 조정하는데. 도메인별로 배향 방향을 달리하기 위해서는 제1 배향막(71)을 광배향 재료를 사용하여 형성하는 것이 바람직하다.The lower
하부 보상층(90)의 위에는 접촉 구멍(76)을 통하여 드레인 전극(66)과 전기적으로 연결되어 있는 화소 전극(82)이 형성되어 있다. 또한, 하부 보상층(90) 위에는 접촉 구멍(74, 78)을 통하여 각각 게이트 패드(24) 및 데이터 패드(68)와 연결되어 있는 보조 게이트 패드(86)와 보조 데이터 패드(88)가 형성되어 있다. 여기서, 화소 전극(82)과 보조 게이트 및 데이터 패드(86, 88)는 ITO 또는 IZO로 이루어져 있다. 이 때, 화소 전극(82)은 도1 및 도 2에서 보는 바와 같이, 게이트선(22)과 중첩되어 유지 축전기를 이루며, 유지 용량이 부족한 경우에는 게이트 배선(22, 24, 26)과 동일한 층에 유지 용량용 배선을 추가할 수도 있다. The
화소 전극(82)의 위에는 하부 제2 배향막(72)이 형성되어 있다. The lower
그러면, 이러한 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법에 대하여 도 3 및 도 4와 도 5a 내지 도 8b를 참고로 하여 상세히 설명한다. Next, a method of manufacturing the thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to the first exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 3 and 4 and FIGS. 5A to 8B.
도 5a, 6a, 7a 및 8a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판을 제조하는 중간 과정을 그 공정 순서에 따라 도시한 박막 트랜지스터 기판의 배치도이고, 도 5b는 도 5a에서 Ⅴb-Ⅴb' 선을 따라 절단한 단면도이고, 도 6b는 도 6a에서 Ⅵb-Ⅵb' 선을 따라 잘라 도시한 도면으로서 도 5b의 다음 단계를 도시한 단면도이고, 도 7b는 도 7a에서 Ⅶb-Ⅶb' 선을 따라 잘라 도시한 도면으로서 도 6b의 다음 단계를 도시한 단면도이고, 도 8b는 도 8a에서 Ⅷb-Ⅷb' 선 을 따라 잘라 도시한 도면으로서 도 7b의 다음 단계를 도시한 단면도이다.5A, 6A, 7A, and 8A are layout views of a thin film transistor substrate illustrating an intermediate process of manufacturing a thin film transistor substrate for a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention, according to a process sequence thereof, and FIG. 5B is illustrated in FIG. 5A. Is a cross-sectional view taken along the line Vb-Vb ', and FIG. 6b is a cross-sectional view taken along the line VIb-VIb' in FIG. 6a, and is a cross-sectional view showing the next step in FIG. 5b, and FIG. FIG. 8B is a cross-sectional view illustrating the next step of FIG. 6B as shown in the cut along the line 'b', and FIG. 8b is a cross-sectional view illustrating the next step in FIG.
먼저, 도 5a 및 5b에 도시한 바와 같이, 기판(10) 위에 크롬 등의 물리 화학적으로 안정한 도전 물질로 이루어진 제1 게이트 배선층(221, 241, 261)과 알루미늄 등의 저항이 작은 물질로 이루어진 제2 게이트 배선층(222, 242, 262)을 연속으로 적층하고 패터닝하여 가로 방향으로 뻗어 있는 게이트선(22), 게이트선(22)의 일부인 게이트 전극(26) 및 제2 게이트 패드(24)를 포함하는 게이트 배선을 형성한다. First, as shown in FIGS. 5A and 5B, the first gate wiring layers 221, 241, and 261 made of a physicochemically stable conductive material such as chromium and the like are made of a material having a low resistance such as aluminum on the
다음, 도 6a 및 도 6b에 도시한 바와 같이, 질화 규소로 이루어진 게이트 절연막(30), 비정질 규소로 이루어진 반도체층(40), 도핑된 비정질 규소층(50)의 삼층막을 연속으로 적층하고 사진 식각함으로써 반도체층(40)과 도핑된 비정질 규소층(50)을 패터닝하여 게이트 전극(24) 상부의 게이트 절연막(30) 위에 섬 모양의 반도체층(40)과 저항성 접촉층(50)을 형성한다. Next, as shown in FIGS. 6A and 6B, three-layer films of a
다음, 도 7a 내지 도 7b에 도시한 바와 같이, 크롬 등의 물리화학적으로 안정한 도전 물질로 이루어진 제1 데이터 배선층(651, 661, 681)과 알루미늄 등의 저저항 도전 물질로 이루어진 제2 데이터 배선층(652, 662, 682)을 연속으로 적층하고 마스크를 이용한 사진 식각 공정으로 패터닝하여 게이트선(22)과 교차하는 데이터선(62), 데이터선(62)과 연결되어 있으며 게이트 전극(26) 상부까지 연장되어 있는 소스 전극(65), 데이터선(62)의 한쪽 끝에 연결되어 있는 데이터 패드(68) 및 소스 전극(64)과 분리되어 있으며 게이트 전극(26)을 중심으로 하여 소스 전극(65)과 마주하는 드레인 전극(66)을 포함하는 데이터 배선을 형성한다.
Next, as shown in FIGS. 7A to 7B, the first data wiring layers 651, 661, and 681 made of a physicochemically stable conductive material such as chromium and the second data wiring layer made of a low resistance conductive material such as aluminum ( 652, 662, and 682 are sequentially stacked and patterned by a photolithography process using a mask to be connected to the
다음, 도 8a와 도 8b에 나타낸 바와 같이, 데이터 배선 위에 광 배향 재료로 이루어진 하부 제1 배향막(71)을 형성하고, 이를 분할 배향한 후, 디스코틱 액정 물질을 도포하고, 자외선을 조사하여 경화시킨다. 계속해서 사진 식각 공정을 통하여 접촉구(74, 76, 78)를 형성한다. 여기서, 하부 제1 배향막(71)을 분할 배향하는 방법으로는 2회에 걸친 자외선 조사를 이용하는 방법(먼저, 마스크로 도메인 Ⅰ을 가리고 자외선을 조사하고, 다음 마스크로 도메인 Ⅱ를 가리고 자외선을 조사하되 이들 2회의 자외선 조사 조건을 서로 다르게 하는 방법)과 배향막을 러빙한 후 마스크로 그중 일부를 가리고 자외선을 조사하여 노광된 부분의 배향 상태를 변형시키는 방법 등이 있다. Next, as shown in FIGS. 8A and 8B, after forming the lower
다음, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, ITO막 또는 IZO막을 적층하고 사진 식각하여 제2 접촉 구멍(76)을 통하여 드레인 전극(66)과 연결되는 화소 전극(82)과 제1 및 제3 접촉 구멍(74, 78)을 통하여 게이트 패드(24) 및 데이터 패드(68)와 각각 연결되는 보조 게이트 패드(86) 및 보조 데이터 패드(88)를 각각 형성한다. 이어서, 화소 전극(82) 위에 하부 제2 배향막(72)을 형성하고 도메인별로 분할 배향한다. 이 때의 분할 배향 방법으로는 2회에 걸친 자외선 조사를 이용하는 방법(먼저, 마스크로 도메인 Ⅰ을 가리고 자외선을 조사하고, 다음 마스크로 도메인 Ⅱ를 가리고 자외선을 조사하되 이들 2회의 자외선 조사 조건을 서로 다르게 하는 방법), 배향막을 러빙한 후 마스크로 그중 일부를 가리고 자외선을 조사하여 노광된 부분의 배향 상태를 변형시키는 방법 및 화소 전극을 이루는 ITO를 부분적(예를 들어, 도메인 I부분만)으로 표면 처리해 놓고 하부 제2 배향막(72)을 형성하여 하부 제2 배향막(72)을 러빙하면 도메인별로 러빙 상태가 달라지도록 하는 방법 등이 있다.Next, as shown in FIGS. 3 and 4, the ITO film or the IZO film is stacked and photo-etched to connect the
박막 트랜지스터 기판과 대향하는 색필터 기판에 대하여는 상세한 설명은 생략한다. 다만, 상부 제1 배향막(171)과 상부 보상층(190) 및 상부 제2 배향막(172)은 하부 제1 배향막(71)과 하부 보상층(90) 및 하부 제2 배향막(72)에 각각 대응한다. 즉, 그 재질이나 형성 방법, 배향 방법 등은 위에서 설명한 하부 제1 배향막(71)과 하부 보상층(90) 및 하부 제2 배향막(72)에 대한 내용이 그대로 적용될 수 있다. 또 상부 보상층(190)은 색필터(130)를 보호하는 오버코트막의 역할도 겸한다.Detailed description of the color filter substrate facing the thin film transistor substrate is omitted. However, the upper
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치의 단면도이다.9 is a cross-sectional view of a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.
본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치는 액정이 분할 배향된 도메인의 모양을 제외하면 제1 실시예와 동일하다. 즉, 제1 실시예에서는 도메인 I과 II가 게이트선과 나란한 경계선에 의하여 상하로 분할되어 있으나, 제2 실시예에서는 도메인 I과 II가 데이터선과 나란한 경계선에 의하여 좌우로 분할되어 있다. The liquid crystal display according to the second exemplary embodiment of the present invention is the same as that of the first exemplary embodiment except for the shape of the domain in which the liquid crystal is partially aligned. That is, in the first embodiment, domains I and II are divided up and down by a boundary line parallel to the gate line. In the second embodiment, domains I and II are divided left and right by a boundary line parallel to the data line.
그러나 분할된 도메인의 모양은 제1 및 제2 실시예에 한정되는 것은 아니고, 여러 또 다른 변형도 가능하다. 즉, 화소 전극을 대각선으로 분할하는 모양 등도 가능하다.However, the shape of the divided domain is not limited to the first and second embodiments, and many other variations are possible. That is, the shape which divides a pixel electrode diagonally is also possible.
도 10a는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 수평 방향의 시야각별 투과도 그래프이고, 도 10b는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 수직 방향의 시야각별 투과도 그래프이고, 도 10c는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 수직 방향 대비비이다.FIG. 10A is a graph of transmittances for each viewing angle in a horizontal direction of a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 10B is a graph for transmittances of viewing angles in a vertical direction of a liquid crystal display according to an embodiment of the present invention, and FIG. Vertical contrast ratio of the liquid crystal display according to the exemplary embodiment of the present invention.
도 10a 내지 도 10c는10A to 10C are
액정 파라미터가 , 선경사각 5도, 좌수회전, 계조 전압은 0.5V~5.5V 사이의 8계조, 도메인 I, II의 면적비는 1:1이고, LCD parameter , 5 degrees of pretilt angle, left-turn rotation, gray scale voltage is 8V between 0.5V ~ 5.5V, area ratio of domains I, II is 1: 1,
보상층은 디스코틱 액정층으로 이루어지고 그 파라미터는 , 두께가 2.0㎛, 광축 편광각(z=0)=7.5°, 광축 편광각(z=d)=52.5°이며,The compensation layer is composed of a discotic liquid crystal layer and its parameters , Thickness is 2.0 μm, optical axis polarization angle (z = 0) = 7.5 °, optical axis polarization angle (z = d) = 52.5 °,
편광판을 이루는 위상차 필름이 파라미터는 Re=0nm, Rth=40nm인 The retardation film constituting the polarizing plate has parameters R e = 0 nm and R th = 40 nm.
경우의 수직방향 및 수평 방향의 시야각별 투과도와 수직 방향 대비비를 시뮬레이션(simulation)한 것이다.In this case, the permeability and the vertical contrast ratio of each viewing angle in the vertical direction and the horizontal direction are simulated.
도 11a 내지 도 11c와 비교할 때, 수직 방향 시야각별 투과도 그래프(도 10b)가 현저하게 상하 대칭적으로 변화하였고, 대비비 10:1 기준 시야각이 모두 최소 60도 이상이 나오는 것을 알 수 있다. Compared with FIGS. 11A to 11C, the transmittance graph (FIG. 10B) of the vertical viewing angles is remarkably changed up and down symmetrically, and it can be seen that the contrast ratio of 10: 1 reference viewing angles is at least 60 degrees or more.
이상과 같이, 보상층을 박막 트랜지스터 기판과 색 필터 기판의 안쪽에 형성하고, 도메인별로 다른 액정의 배향 방향을 고려하여 도메인 별로 보상 특성을 다르게 함으로써 보다 넓은 시야각을 가지는 액정 표시 장치를 마련한다. As described above, the compensation layer is formed inside the thin film transistor substrate and the color filter substrate, and the liquid crystal display device having a wider viewing angle is provided by varying the compensation characteristics for each domain in consideration of the alignment direction of the liquid crystal different for each domain.
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