KR100772447B1 - 내장 마그네틱 코어를 갖는 유도 결합 플라즈마 소스 - Google Patents
내장 마그네틱 코어를 갖는 유도 결합 플라즈마 소스 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (14)
- 환체형의 플라즈마 방전실 제공하는 반응기 몸체;플라즈마 방전실의 내부에 환체형 구조를 따라 내장되어 폐쇄된 자속 경로를 제공하는 환체형 마그네틱 코어와 일차 권선을 갖는 변압기;환체형 마그네틱 코어를 플라즈마 방전실에 노출되지 않도록 전체적으로 감싸 보호하는 코어 보호 튜브;플라즈마 방전실에 설치되는 점화용 전극;플라즈마 방전실의 측벽에서 코어 보호 튜브로 연장되어 연결되는 하나 이상의 스포크; 및일차 권선에 전기적으로 연결되는 전원 공급원을 포함하며,전원 공급원에 의해 일차 권선의 전류가 구동되고, 일차 권선의 구동 전류는 변압기의 이차 회로를 완성하는 유도 결합된 플라즈마를 형성하는 플라즈마 방전실 내측의 AC 전위(AC potential)를 유도하며,유도 결합된 플라즈마는 환체형 마그네틱 코어의 중심을 따라 코어 보호 튜브의 외측을 감싸도록 환체형 플라즈마 방전실에 형성되는 유도 결합 플라즈마 소스.
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- 제1항에 있어서, 환체형 마그네틱 코어에 권선되어 점화 전극에 전기적으로 연결되는 점화용 유도 코일을 포함하는 유도 결합 플라즈마 소스.
- 제1항에 있어서, 코어 보호 튜브는 유전체 물질을 포함하는 유도 결합 플라즈마 소스.
- 제1항에 있어서, 코어 보호 튜브는 금속 물질을 포함하고, 금속 물질은 에디 전류를 최소화하기 위하여 금속 물질 내에서 전기적 불연속성을 갖도록 하는 하나 이상의 전기적 절연 영역을 포함하는 유도 결합 플라즈마 소스.
- 제5항 또는 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 반응기 몸체는 금속 물질을 포함하고, 금속 물질은 에디 전류를 최소화하기 위하여 금속 물질 내에서 전기적 불연속성을 갖게 하는 하나 이상의 전기적 절연 영역을 포함하는 유도 결합 플라즈마 소스.
- 제1항에 있어서, 코어 보호 튜브의 내측으로 설치되는 냉각수 공급 채널을 포함하는 유도 결합 플라즈마 소스.
- 제1항에 있어서, 마그네틱 코어의 중심부를 통해서 형성되는 냉각수 공급 채널을 포함하는 유도 결합 플라즈마 소스.
- 제1항에 있어서, 전원 공급원과 일차 권선 사이에 구성되어 임피던스 정합을 수행하는 임피던스 정합 회로를 포함하는 유도 결합 플라즈마 소스.
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- 제1항에 있어서, 반응기 몸체는 프로세스 챔버에 탑재 가능한 구조를 갖고, 전원 공급원은 반응기 몸체와 물리적으로 분리된 구조를 가고,전원 공급원과 반응기 몸체는 연결 케이블로 원격으로 연결되는 유도 결합 플라즈마 소스.
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