KR100760163B1 - Inspecting apparatus of liquid crystal display panel - Google Patents
Inspecting apparatus of liquid crystal display panel Download PDFInfo
- Publication number
- KR100760163B1 KR100760163B1 KR1020050110856A KR20050110856A KR100760163B1 KR 100760163 B1 KR100760163 B1 KR 100760163B1 KR 1020050110856 A KR1020050110856 A KR 1020050110856A KR 20050110856 A KR20050110856 A KR 20050110856A KR 100760163 B1 KR100760163 B1 KR 100760163B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- liquid crystal
- crystal display
- display panel
- stage
- carrier
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1306—Details
- G02F1/1309—Repairing; Testing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68785—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by the mechanical construction of the susceptor, stage or support
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2203/00—Function characteristic
- G02F2203/69—Arrangements or methods for testing or calibrating a device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
본 발명은 액정표시패널의 점등 검사를 실시하는 액정표시패널 검사 장비에 관한 것이다. 본 발명의 액정표시패널 검사 장비는 액정표시패널이 위치되는 제1스테이지부, 제1스테이지부를 중심으로 양측에 대칭되게 배치되는 그리고 액정표시패널이 위치되는 제2,3스테이지부 및 제1스테이지부와 제2스테이지부 간의 액정표시패널 이동 그리고 제1스테이지부와 제3스테이지부 간의 액정표시패널 이동을 동시에 수행하는 캐리어를 포함할 수 있다. 상술한 구성의 액정표시패널 검사 장비는 하나의 패널 캐리어로도 2개의 액정표시패널을 이송할 수 있기 때문에 연속적인 액정표시패널 검사가 가능하다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to liquid crystal display panel inspection equipment for inspecting lighting of a liquid crystal display panel. The liquid crystal display panel inspection equipment of the present invention includes a first stage portion on which the liquid crystal display panel is positioned, a second stage portion and a first stage portion symmetrically disposed on both sides about the first stage portion, and on which the liquid crystal display panel is positioned. And a carrier for simultaneously moving the liquid crystal display panel between the second stage part and moving the liquid crystal display panel between the first stage part and the third stage part. Since the liquid crystal display panel inspection equipment having the above-described configuration can transfer two liquid crystal display panels even with one panel carrier, continuous liquid crystal display panel inspection is possible.
액정표시패널, 캐리어 LCD panel, carrier
Description
도 1 및 도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시패널 검사 장비를 개략적으로 보여주는 정면도 및 평면도이다. 1 and 2 are a front view and a plan view schematically showing a liquid crystal display panel inspection equipment according to a first embodiment of the present invention.
도 3 및 도 4는 도 1,2에 도시된 검사 장비에서 이용하는 패널 캐리어의 한 실시예를 나타내는 사시도 및 평면도이다. 3 and 4 are a perspective view and a plan view showing one embodiment of a panel carrier used in the inspection equipment shown in Figs.
도 5 내지 도 8은 제1실시예에 따른 액정표시패널 검사 장비에서의 동작 순서를 설명하기 위한 도면들이다.5 to 8 are diagrams for describing an operation procedure of the liquid crystal display panel inspection equipment according to the first embodiment.
도 9은 서로 다른 사이즈의 액정표시패널 이송이 가능한 패널 캐리어의 평면도이다.9 is a plan view of a panel carrier capable of transferring liquid crystal display panels of different sizes.
도 10은 본 발명에 따른 액정표시패널 검사 장비의 변형예를 보여주는 정면도이다. 10 is a front view showing a modification of the liquid crystal display panel inspection equipment according to the present invention.
도 11 내지 도 14는 도 9에 도시된 액정표시패널 검사 장비에서의 동작 순서를 설명하기 위한 도면들이다. 11 to 14 are diagrams for describing an operation procedure of the liquid crystal display panel inspection equipment illustrated in FIG. 9.
도 15 및 도 16은 패널 캐리어의 변형예를 보여주는 도면들이다.15 and 16 are views showing a modification of the panel carrier.
도 17은 하나의 그립부를 갖는 패널 캐리어를 보여주는 도면이다.17 shows a panel carrier with one grip portion.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
102 : 공급부102: supply unit
110 : 제1스테이지부110: first stage part
120a : 제2스테이지부120a: second stage
120b : 제3스테이지부120b: third stage
140 : 패널 캐리어 140: panel carrier
본 발명은 액정표시패널의 검사 장비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 액정표시패널의 점등 검사를 실시하는 액정표시패널 검사 장비에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to inspection equipment for liquid crystal display panels, and more particularly, to liquid crystal display panel inspection equipment that performs lighting inspection of liquid crystal display panels.
일반적으로 평판 디스플레이(flat panel display)의 주력제품인 액정표시장치(TFT-LCD)는 양산기술 확보와 연구개발의 성과로 대형화와 고해상도화가 급속도로 진전되어 노트북 컴퓨터(computer)용 뿐만 아니라 대형 모니터(monitor) 응용 제품으로도 개발되어 기존의 CRT(cathode ray tube) 제품을 점진적으로 대체하고 있어 디스플레이 산업에서의 그 비중이 점차 증대되고 있다. 최근의 정보화 사회에서 디스플레이는 시각정보 전달매체로서 그 중요성이 더 한층 강조되고 있고, 특히 모든 전자제품의 경, 박, 단, 소 추세에 따라 저소비 전력화, 박형화, 경량화, 고화질, 휴대성의 중요성이 더 한층 높아지고 있다.In general, the liquid crystal display (TFT-LCD), which is the flagship product of flat panel displays, has rapidly progressed in size and high resolution due to mass production technology and achievements in research and development. It is also being developed as an application product and gradually replaces existing CRT (cathode ray tube) products, and its portion in the display industry is gradually increasing. In today's information society, displays are becoming more important as visual information transmission media, and in particular, the importance of low power consumption, thinness, light weight, high definition, and portability is increasing according to light, thin, short, and small trends of all electronic products. It is getting higher.
액정표시장치는 평판 디스플레이의 이러한 조건들을 만족시킬 수 있는 성능 뿐만 아니라 양산성까지 갖춘 디스플레이 장치이기 때문에 이를 이용한 각종 신제품 창출이 급속도로 이루어지고 있으며, 전자산업계에서 반도체 이상으로 그 비중이 폭발적으로 증가하는 차세대 주력 기술로서 부각되고 있다. As liquid crystal displays are not only capable of satisfying these conditions of flat panel displays but also mass-produced displays, new products using them are rapidly being created. It is emerging as a next-generation flagship technology.
이와 같은 액정표시장치는 제조라인 최종 단계에서 점등 검사를 수행하게 되는데 이는 특정한 검사 설비에서 프로브 유닛을 이용해 액정표시패널의 데이터라인과 게이트라인 각각의 단선 검사와 색상검사 그리고 현미경 등을 이용한 육안검사를 실시하고 있다. Such a liquid crystal display device performs a lighting test at the final stage of the manufacturing line, which is performed by using a probe unit in a specific inspection facility to inspect the disconnection of each data line and gate line of the liquid crystal display panel, color inspection, and visual inspection using a microscope. We carry out.
기존의 검사 장비는 로딩/언로딩 스테이지부, 검사 스테이지부 그리고 이들 양 스테이지부에 대하여 액정표시패널을 반송하는 2개의 캐리어를 구비하고 있다. 여기서 액정표시패널의 반송은 어느 하나의 캐리어에 의한 로딩/언로딩 스테이지부로의 반송과, 다른 하나의 캐리어에 의한 검사 스테이지부로의 반송을 병행하여 행하게 된다. 이처럼, 기존의 검사 장비는 2개의 캐리어를 사용하기 때문에 복잡한 구조를 갖으며, 특히 2개의 캐리어의 상호 제어가 복잡한 단점이 있다. The existing inspection equipment includes a loading / unloading stage portion, an inspection stage portion, and two carriers for carrying the liquid crystal display panel for both of these stage portions. The conveyance of the liquid crystal display panel is carried out in parallel with the conveyance to the loading / unloading stage portion by one carrier and the conveyance stage portion by the other carrier. As such, the existing inspection equipment has a complicated structure because two carriers are used, and in particular, mutual control of two carriers is complicated.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 캐리어의 구조를 단순화할 수 있는 액정표시패널 검사 장비를 제공하는데 있다. 본 발명의 다른 목적은 서로 다른 크기의 액정표시패널에 대한 대응이 가능한 액정표시패널 검사 장비를 제공하는데 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a liquid crystal display panel inspection equipment that can simplify the structure of the carrier. Another object of the present invention is to provide a liquid crystal display panel inspection equipment capable of coping with different sized liquid crystal display panels.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정표시패널 검사 장비는 액정표시 패널이 위치되는 제1스테이지부; 상기 제1스테이지부를 중심으로 양측에 대칭되게 배치되는 그리고 액정표시패널이 위치되는 제2,3스테이지부; 및 상기 제1스테이지부와 제2스테이지부 간의 액정표시패널 이동 그리고 상기 제1스테이지부와 제3스테이지부 간의 액정표시패널 이동을 동시에 수행하는 캐리어를 포함할 수 있다.Liquid crystal display panel inspection equipment of the present invention for achieving the above object is a first stage unit in which the liquid crystal display panel is located; Second and third stage parts disposed symmetrically on both sides of the first stage part and in which a liquid crystal display panel is positioned; And a carrier for simultaneously moving the liquid crystal display panel between the first stage unit and the second stage unit, and moving the liquid crystal display panel between the first stage unit and the third stage unit.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1스테이지부는 액정표시패널의 로딩/언로딩이 이루어지는 그리고 로딩된 액정표시패널을 정렬하기 위한 서브 테이블을 포함하며, 상기 제2,3스테이지부는 상기 제1스테이지부로부터 이송되어진 액정표시패널을 검사하기 위한 검사 테이블과 프로브 유닛을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the first stage portion includes a sub table for loading / unloading the liquid crystal display panel and for aligning the loaded liquid crystal display panel, and the second and third stage portions include the first stage. An inspection table and a probe unit for inspecting the liquid crystal display panel transferred from the unit may be included.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제2,3스테이지부는 액정표시패널의 로딩/언로딩이 이루어지는 그리고 로딩된 액정표시패널을 정렬하기 위한 서브 테이블을 포함하며, 상기 제1스테이지부는 상기 제2스테이지부 또는 상기 제3스테이지부로부터 이송되어진 액정표시패널을 검사하기 위한 검사 테이블과 프로브 유닛을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the second and third stage parts include a sub table for loading / unloading the liquid crystal display panel and for aligning the loaded liquid crystal display panel, wherein the first stage part includes the second stage. Or an inspection table and a probe unit for inspecting the liquid crystal display panel transferred from the third stage unit.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 캐리어는 상기 제1,2스테이지부 간의 액정표시패널의 이송을 위하여 액정표시패널을 잡는 제1그립부와; 상기 제1,3스테이지부 간의 액정표시패널의 이송을 위하여 액정표시패널을 잡는 제2그립부를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the carrier comprises: a first grip portion for holding a liquid crystal display panel to transfer the liquid crystal display panel between the first and second stage portions; It may include a second grip portion for holding the liquid crystal display panel to transfer the liquid crystal display panel between the first and third stage.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1,2그립부 각각은 액정표시패널의 가장자리를 잡는 적어도 2개의 그립수단을 갖는 한 쌍의 클램프 아암을 포함할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, each of the first and second grip parts may include a pair of clamp arms having at least two grip means for holding the edge of the liquid crystal display panel.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 캐리어는 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 이동 프레임을 더 포함하되; 상기 이동 프레임에는 상기 제1,2그립부가 서로 대칭되게 배치될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the carrier further includes a moving frame installed to be movable in the X-axis direction; The first and second grip parts may be symmetrically disposed on the moving frame.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1,2그립부 각각은 X축 방향으로 상기 이동 프레임에 설치되고, 상기 액정표시패널의 가장자리를 잡는 적어도 2개의 그립수단을 갖는 한 쌍의 클램프 아암을 포함할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, each of the first and second grip parts may include a pair of clamp arms provided on the moving frame in the X-axis direction and having at least two grip means for holding the edge of the liquid crystal display panel. Can be.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 한 쌍의 클램프 아암은 액정표시패널의 사이즈에 따라 상기 이동 프레임상에서 Y축 방향으로 이동 가능할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the pair of clamp arms may be movable in the Y-axis direction on the moving frame according to the size of the liquid crystal display panel.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 캐리어는 제1구동수단에 의해 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 이동 프레임; 상기 이동 프레임의 양측에 서로 대칭되도록 설치되고, 상기 제1스테이지부와 상기 제2스테이지부 및 상기 제1스테이지부와 상기 제3스테이지부 간의 액정표시패널의 이송을 위하여 액정표시패널을 그립하는 그립수단을 갖는 한 쌍의 클램프 아암을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the carrier includes a moving frame installed to be movable in the X-axis direction by the first driving means; A grip which is installed on both sides of the moving frame so as to be symmetrical with each other, and grips the liquid crystal display panel for transferring the liquid crystal display panel between the first stage part and the second stage part and between the first stage part and the third stage part; It may include a pair of clamp arms with means.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 한 쌍의 클램프 아암은 상기 이동 프레임상에서 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the pair of clamp arms may be installed to be movable in the Y-axis direction on the moving frame.
예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다. For example, embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shape of the elements in the drawings and the like are exaggerated to emphasize a clearer description.
본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 17에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다. An embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 17. In addition, in the drawings, the same reference numerals are denoted together for components that perform the same function.
도 1 및 도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시패널 검사 장비를 개략적으로 보여주는 정면도 및 평면도이다. 도 3 및 도 4는 도 1,2에 도시된 검사 장비에서 이용하는 패널 캐리어의 한 실시예를 나타내는 사시도 및 평면도이다. 1 and 2 are a front view and a plan view schematically showing a liquid crystal display panel inspection equipment according to a first embodiment of the present invention. 3 and 4 are a perspective view and a plan view showing one embodiment of a panel carrier used in the inspection equipment shown in Figs.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 액정표시패널 검사 장비(100)는 프로브 유닛을 이용해 검사대상물(이하, 액정표시패널;10)의 데이터라인과 게이트라인 각각의 단선 검사와 색상검사 그리고 현미경 등을 이용한 육안검사를 실시하는 장비이다. 1 to 4, the liquid crystal display
본 발명의 기본적인 의도는 액정표시패널을 이송하는 패널 캐리어의 구조를 간소화하기 위한 것으로, 이를 달성하기 위해 본 발명의 검사 장비는 3개의 스테이지부를 나란히 배치하고, 첫 번째 스테이지부와 두 번째 스테이지부간의 패널 이송과 두 번째 스테이지부와 세 번째 스테이지부간의 패널 이송을 담당하는 2개의 그립부가 양측에 설치된 패널 캐리어를 갖는다는데 그 특징이 있다. The basic purpose of the present invention is to simplify the structure of a panel carrier for transporting a liquid crystal display panel. To achieve this, the inspection equipment of the present invention arranges three stage parts side by side, and between the first stage part and the second stage part. It is characterized by having a panel carrier provided on both sides, two grip parts which are responsible for panel conveyance and panel conveyance between the second stage portion and the third stage portion.
이하, 설명을 간략하게 하고 용이하게 이해할 수 있도록 하기 위해, 검사 장비에 배치되는 액정표시패널(10)과 평행한 면내에서의 좌우방향 및 상하방향을 X방향 및 Y방향이라고 하고, 그 액정표시패널(10)에 수직인 방향을 Z방향이라고 한다. Hereinafter, in order to simplify the description and make it easier to understand, the left and right directions and the up and down directions in the plane parallel to the liquid
본 발명의 액정표시패널 검사 장비(100)는 검사하고자 하는 피검사물인 액정표시패널(10)을 공급하는 공급부(102), 공급부(102) 전방에 배치되고 공급부(102) 로부터 제공되는 액정표시패널(10)이 로딩/언로딩되는 제1스테이지부(110)와, 이 제1스테이지부(110) 양측에 인접하게 위치되며, 제1스테이지부(110)로 액정표시패널을 제공받아 액정표시패널(10)의 점등검사가 이루어지는 제2,3스테이지부(120a,120b) 그리고 이들 제1,2,3스테이지부(110,120a,120b)간의 액정표시패널(10)의 이송을 위한 패널 캐리어(140)가 제공된다. The liquid crystal display
공급부(102)는 액정표시패널(10)들이 수납된 카세트(104)들이 대기하는 카세트 테이블(105)과, 카세트(104)와 제1스테이지부(110) 간의 액정표시패널(10) 반송을 담당하는 반송아암(106) 등을 포함한다. 공급부(102)의 전방에는 제1,2,3스테이지부(110,120a,120b)가 배치된다. The
제1스테이지부(110)는 제2,3스테이지부(120a,120b) 사이에 배치되며, 제1스테이지부(110)에는 반송아암(106)으로부터 공급받은 액정표시패널(10)이 놓여지는 그리고 액정표시패널(10)을 정렬시키는 공지의 서브 테이블(112)이 제공된다. 제2,3스테이지부(120a,120b)에서는 제1스테이지부(110)로부터 넘겨받은 액정표시패널(10)을 로딩시켜 후방에 마련된 광원(백라이트 유닛)을 조명함으로써 제조 공정상 발생하는 액정표시패널(10)의 얼룩이나 액정표시패널(10)의 데이터라인과 게이트 라인의 단선상태와 색상 등을 검사하게 된다. 이를 위해 제2,3스테이지부(120a,120b)에는 액정표시패널(10)이 놓여지는 공지의 검사 테이블(122)과, 액정표시패널(10)의 데이터단자와 접속되는 하나 이상의 검사팁을 갖는 공지의 프로브 유닛(124)이 제공된다. 프로브 유닛(124)은 본체의 전면(101a)에 형성된 개구(액정표시패널보다 큰 사각형의 개구)상에 배치된다. 그리고 검사 테이블(122)은 본체 (101)의 전면(101a)과 거의 평행한 기울기의 상태로 액정표시패널(10)을 받아서 그 액정표시패널(10)을 프로브 유닛(124)에 대하여 이동시키게 된다. 이처럼, 검사 테이블(122)은 액정표시패널(10)을 척킹 가능하게 하는 구성(일명 워크 테이블이라고 불림), 액정표시패널(10) 후방에서 조명하도록 점등하는 구성(백라이트 유닛), 액정표시패널(10)의 정렬을 위해 X방향 및 Y방향 그리고 Z방향으로 이동시키는 그리고 Z축선의 둘레에 각도를 갖고 회전시키는 구성(얼라인먼트 유닛) 등의 공지의 기능을 갖는다. The
한편, 본체(101)의 전면(101a)에는 검사 테이블(122)에 로딩된 액정표시패널(10)의 이상부분을 미세하게 체크하거나, 가동 초기시 프로브 유닛(124)의 검사팁과 액정표시패널의 패드 얼라인먼트를 위한 현미경유닛(190)이 수평 또는 수직 이동 가능하게 설치되어 있다.On the other hand, the
본 발명에서 가장 중요한 구성 요소인 패널 캐리어(140)는 2개의 스테이지부 영역에 대응되는 크기로 설치되는 것으로, X축 방향으로 이동되는 이동 프레임(144)과, 이동 프레임(144)의 양측에 서로 대칭되게 설치되는 제1,2그립부(146a,146b)를 포함한다. 패널 캐리어(140)는 본체(101)의 전면(101a) 내측에 배치될 수 있으며, 그 전면 내측에는 이동 프레임(142)의 X축 이동을 위한 X축 레일(141)과, 이동 프레임(144)의 X축 이동을 위한 구동력을 제공하는 X축 구동장치(142)가 설치된다. The
제1그립부(146a)는 제1,2스테이지부(110,120a) 간의 액정표시패널(10)의 이송을 담당하는 부분으로, 서로 이격되어 배치되는 한 쌍의 클램프 아암(148)과, 이 아암(148)의 내측에 설치되어 액정표시패널(10)의 가장자리를 잡는 그립수단(150)을 포함한다. 그리고 제2그립부(146b)는 제1,3스테이지부(110,120b) 간의 액정표시패널(10)의 이송을 담당하는 부분으로, 제1그립부(146a)와 동일하게 한 쌍의 클램프 아암(148)과, 이 아암(148)의 내측에 설치되어 액정표시패널(10)의 가장자리를 잡는 그립수단(150)을 포함한다. 한 쌍의 클램프 아암(148)은 이동 프레임(144)상에서 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치된다. 클램프 아암(148)의 Y축 이동을 위해, 이동 프레임(144)에는 클램프 아암(148)의 Y축 이동을 가이드하는 Y축 레일(152)과, 클램프 아암(148)의 이동을 위한 구동력을 발생하는 구동장치(154)들을 포함한다. 이동 프레임(144)에는 좌우 각각에 배치된 4개의 클램프 아암(148)을 Y축 방향으로 이동시키기 위해 4개의 구동장치(154)가 설치되어 있다. 한 쌍의 클램프 아암(148)은 양단 거리 조절을 통해 액정표시패널(10)을 그립하게 된다.The
도 9에 도시된 바와 같이, 패널 캐리어(140)는 액정표시패널의 사이즈에 따라 한 쌍의 클램프 아암(148)의 양단 거리를 조절하여 서로 다른 사이즈를 갖는 액정표시패널을 반송할 수 있다. 즉, 제1그립부(146a)에서는 큰 사이즈의 액정표시패널(10a)을 반송하고, 제2그립부(146b)에서는 작은 사이즈의 액정표시패널(10b)을 반송하며, 제2스테이지부(120)에서는 제1그립부(146a)에 의해 반송되어진 큰 사이즈의 액정표시패널(10a)을 검사하고, 제3스테이지부(120b)에서는 제2그립부(146b)에 의해 반송되어진 작은 사이즈의 액정표시패널(10b)을 검사할 수 있다. 이처럼, 본 발명의 액정표시패널 검사 장비(100)는 서로 다른 사이즈를 갖는 2종류의 액정표시패널들에 대한 검사가 가능한 각별한 효과를 갖는다. As illustrated in FIG. 9, the
도 5 내지 도 8은 제1실시예에 따른 액정표시패널 검사 장비에서의 동작 순서를 설명하기 위한 도면들이다. 5 to 8 are diagrams for describing an operation procedure of the liquid crystal display panel inspection equipment according to the first embodiment.
작동상태는 다음과 같다. 작업자 또는 공급부(102)의 반송아암(106)(도 2에 도시되어 있음)이 카세트(104)(도 2에 도시되어 있음)에 정렬되어 있는 액정표시패널(10-1)을 집어서 제1스테이지부(110)의 서브테이블(112)에 올려놓으면, 서브테이블(112)은 액정표시패널(10-1)을 정위치로 수평 정렬한 후 검사각도(예를 들면 60도 경사각)로 기울어진 다음 상방향으로 이동된다(로딩 단계)(도 5참조). 이렇게 기울어진 서브테이블(112) 상의 액정표시패널(10-1)은 패널 캐리어(140)의 제1그립부(146a)에서 그립되고, 패널 캐리어(140)의 반송동작에 의해 액정표시패널(10-1)은 제1스테이지부(110) 옆에 나란하게 배치되어 있는 제2스테이지부(120a)의 검사 테이블(122)로 이동된다(반송단계). 검사테이블(122)에서 액정표시패널(10-1)에 대한 점등검사 등이 행해지는 동안, 제1스테이지부(110)에서는 2번째 액정표시패널(10-2)의 로딩 단계가 진행된다. 로딩 단계를 마친 2번째 액정표시패널(10-2)은 패널 캐리어(140)의 제2그립부(146b)에서 그립한 상태로 대기하게 된다(도 6참조). 예컨대, 2번째 액정표시패널(10-2)은 1번째 액정표시패널(10-1)에 대한 검사가 진행되는 동안 대기하지 않고 곧바로 제3스테이지부(120b)로 이동되어 점등검사를 받을 수도 있다. 제2스테이지부(120a)에서 검사가 완료된 액정표시패널(10-1)은 패널 캐리어(140)의 반송동작에 의해 제1스테이지부(110)로 이동되고, 제2그립부(146b)에서 대기중이던 액정표시패널(10-2)은 제3스테이지부(120b)로 이동되어 점등검사가 진행된다. 제1스테이지부(110)에서는 검사 완료된 액정표시패널(10-1)의 언로딩 이 이루어진 후 세번째 액정표시패널(10-3)에 대한 로딩 단계가 진행된다. 로딩 단계를 마친 3번째 액정표시패널(10-3)은 패널 캐리어(140)의 제1그립부(146a)에서 그립한 상태로 대기하게 된다.(도 7참조). 제3스테이지부(120b)에서 검사가 완료된 액정표시패널(10-2)은 패널 캐리어(140)의 반송동작에 의해 제1스테이지부(110)로 이동되고, 제1그립부(146a)에서 대기중이던 액정표시패널(10-3)은 제1스테이지부(110)로 이동되어 검사가 진행된다. 제1스테이지부(110)에서는 검사 완료된 2번째 액정표시패널(10-2)의 언로딩이 이루어진 후 네번째 액정표시패널(10-4)에 대한 로딩 단계가 진행된다. 로딩 단계를 마친 4번째 액정표시패널(10-4)은 패널 캐리어(140)의 제2그립부(146b)에서 그립한 상태로 대기하게 된다(도 8참조). 예컨대, 점등검사는 작업자의 육안에 의한 육안점등검사 또는 비디오 카메라(화상처리장치)를 이용한 자동 검사일 수 있다. The operating status is as follows. The carrier arm 106 (shown in FIG. 2) of the operator or
(변형예) (Variation)
도 10 내지 도 14는 검사 스테이지의 다른 예를 보여주는 도면들이다. 10 to 14 are diagrams showing another example of the inspection stage.
도 10은 본 발명에 따른 액정표시패널 검사 장비의 변형예를 보여주는 정면도이다. 도 11 내지 도 14는 도 10에 도시된 액정표시패널 검사 장비에서의 동작 순서를 설명하기 위한 도면들이다. 10 is a front view showing a modification of the liquid crystal display panel inspection equipment according to the present invention. 11 to 14 are diagrams for describing an operation procedure of the LCD panel inspection apparatus illustrated in FIG. 10.
도 10을 참조하면, 변형예에 따른 액정표시패널 검사 장비(100')는 앞에서 설명한 액정표시패널 검사 장비(100)와 동일한 구성과 기능을 갖는다. 다만, 본 변형예에서는 액정표시패널(10)의 점등검사가 이루어지는 스테이지부가 하나 그리 고 검사하고자 하는 피검사물인 액정표시패널이 로딩/언로딩되는 스테이지부가 2개로 구성된다는데 그 특징이 있다. Referring to FIG. 10, the liquid crystal display
본 발명의 변형예에 따르면, 검사하고자 하는 피검사물인 액정표시패널(10)이 로딩/언로딩되는 2개의 제1스테이지부(110a,100b)와, 왼쪽/오른쪽 제1스테이지부(110a,110b) 사이에 인접하게 위치되며, 왼쪽의 제1스테이지부(110a) 또는 오른쪽의 제1스테이지부(110b)로부터 액정표시패널(10)을 제공받아 액정표시패널(10)의 점등검사가 이루어지는 하나의 제2스테이지부(120a), 그리고 이들 스테이지부(110a,110b,120a)간의 액정표시패널(10)의 이송을 위한 패널 캐리어(140)가 제공되며, 이들에 대한 설명은 앞에서 상세하게 설명하였기에 본 실시예에서는 생략하기로 한다. According to a modification of the present invention, two
도 11 내지 도 14는 본 발명의 변형예에 따른 액정표시패널 검사 장비에서의 동작 순서를 설명하기 위한 도면들이다. 11 to 14 are views for explaining the operation sequence in the liquid crystal display panel inspection equipment according to a modification of the present invention.
작동상태는 다음과 같다. 작업자 또는 공급부(102)의 반송아암(106)이 카세트(104)에 정렬되어 있는 액정표시패널(10)을 집어서 왼쪽의 제1스테이지부(110a)의 서브테이블(112)에 올려놓으면, 서브테이블(112)은 1번째 액정표시패널(10-1)을 정위치로 수평 정렬한 후 검사각도(예를 들면 60도 경사각)로 기울어진 다음 상방향으로 이동된다(로딩 단계)(도 11참조). 이렇게 기울어진 서브테이블(110) 상의 1번째 액정표시패널(10-1)은 패널 캐리어(140)의 제1그립부(146a)에서 그립하게 되고, 패널 캐리어(140)의 반송동작에 의해 액정표시패널(10-1)은 왼쪽의 제1스테이지부(110a) 옆에 배치되어 있는 제2스테이지부(120a)의 검사 테이블(122)로 이동된 다(반송단계). 검사테이블(122)에서 1번째 액정표시패널(10-1)에 대한 점등검사 등이 행해지는 동안, 오른쪽의 제1스테이지부(110b)에서는 2번째 액정표시패널(10-2)의 로딩 단계가 진행된다. 로딩 단계를 마친 2번째 액정표시패널(10-2)은 패널 캐리어(140)의 제2그립부(146b)에서 그립한 상태로 대기하게 된다(도 12참조). 제2스테이지부(120a)에서 검사가 완료된 1번째 액정표시패널(10-1)은 패널 캐리어(140)의 반송동작에 의해 왼쪽의 제1스테이지부(110a)로 이동되고, 제2그립부(146b)에서 대기중이던 2번째 액정표시패널(10-2)은 제2스테이지부(120a)로 이동되어 점등검사가 진행된다. 제1스테이지부(110a)에서는 검사 완료된 1번째 액정표시패널(10-1)의 언로딩이 이루어진 후 3번째 액정표시패널(10-3)에 대한 로딩 단계가 진행된다. 로딩 단계를 마친 3번째 액정표시패널(10-3)은 패널 캐리어(140)의 제1그립부(146a)에서 그립한 상태로 대기하게 된다.(도 13참조). 제2스테이지부(120a)에서 검사가 완료된 2번째 액정표시패널(10-2)은 패널 캐리어(140)의 반송동작에 의해 오른쪽의 제1스테이지부(110b)로 이동되고, 제1그립부(146a)에서 대기중이던 3번째 액정표시패널(10-3)은 제2스테이지부(120a)로 이동되어 검사가 진행된다. 오른쪽의 제1스테이지부(110b)에서는 검사 완료된 2번째 액정표시패널(10-2)의 언로딩이 이루어진 후 4번째 액정표시패널(10-4)에 대한 로딩 단계가 진행된다. 로딩 단계를 마친 4번째 액정표시패널(10-4)은 패널 캐리어(40)의 제2그립부(146b)에서 그립한 상태로 대기하게 된다(도 14참조). The operating status is as follows. When the
도 15 및 도 16은 패널 캐리어의 변형예를 보여주는 도면들이다.15 and 16 are views showing a modification of the panel carrier.
도 15 및 도 16에 도시된 바와 같이, 패널 캐리어(140a)는 본체(101)의 전면 (101a) 내측에 배치되는 한 쌍의 X축 레일(141)을 갖는다. 이 X축 레일(141)에는 X축 레일(141)을 따라 독립적으로 이동되는 제1,2이동프레임(144a,144b)이 설치된다. 제1이동프레임(144a)은 제1,2스테이지부(110,120a) 사이에서 이동되며, 제2이동프레임(144b)은 제1,3스테이지부(110,120b) 사이에서 이동된다. 제1,2이동프레임(144a,144b)의 X축 이동을 위한 구동력은 각각의 X축 구동장치(142a,142b)에 의해 개별적으로 제공된다. As shown in FIGS. 15 and 16, the
제1이동프레임(144a)은 일측에 제1그립부(146a)가 설치되고, 제2이동프레임(144b)은 타측에 제2그립부(146b)가 설치된다. 제1이동프레임(144a)의 제1그립부(146a)는 제1,2스테이지부(110,120a) 간의 액정표시패널(10)의 이송을 담당하는 부분으로, 서로 이격되어 배치되는 한 쌍의 클램프 아암(148)과, 이 아암(148)의 내측에 설치되어 액정표시패널(10)의 가장자리를 잡는 그립수단(150)을 포함한다. 그리고 제2이동프레임(144b)의 제2그립부(146b)는 제1,3스테이지부(110,120b) 간의 액정표시패널(10)의 이송을 담당하는 부분으로, 제1그립부(146a)와 동일하게 한 쌍의 클램프 아암(148)과, 이 아암(148)의 내측에 설치되어 액정표시패널(10)의 가장자리를 잡는 그립수단(150)을 포함한다. The first moving
한편, 제1,2이동 프레임(144a,144b)에 설치된 한 쌍의 클램프 아암(148)은 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치된다. 클램프 아암(148)의 Y축 이동을 위해, 각각의 이동 프레임(144a,144b)에는 클램프 아암(148)의 Y축 이동을 가이드하는 Y축 레일(152)과, 클램프 아암(148)의 이동을 위한 구동력을 발생하는 구동장치(154)들을 포함한다. 제1이동 프레임(144a)과 제2이동프레임(144b) 각각에는 클램프 아암 (148)을 Y축 방향으로 이동시키기 위해 2개의 구동장치(154)가 설치되어 있다. 한 쌍의 클램프 아암(148)은 양단 거리 조절을 통해 액정표시패널(10)을 그립하게 된다.On the other hand, the pair of
이와 같이, 패널 캐리어(140a)는 제1,2스테이지부(110,120a)c의 액정표시패널 이송과 제1,3스테이지부(110,120b)의 액정표시패널 이송을 각각 독립적으로 수행할 수 있다. 따라서, 액정표시패널(10)이 로딩/언로딩되는 제1스테이지부(110) 양측에 점등검사가 이루어지는 제2,3스테이지부(120a,120b)를 구비한 경우, 제1그립부(146a)와 제2그립부(146b)가 제1스테이지부(110)로부터 액정표시패널(10)을 연속적으로 제공받아 제2,3스테이지부(120a,120b)로 공급할 수 있기 때문에, 제2,3스테이지부(120a,120b)에서 거의 동시에 액정표시패널(10)의 검사가 진행되어 검사 수율 및 검사 진행 속도를 향상시킬 수 있는 것이다. 특히, 액정표시패널(10)의 육안 검사는 작업자의 숙련도에 따라 검사 시간이 유동적이고, 제2,3스테이지부(120a,120b)에서의 검사 시간은 제1스테이지부(110)에서의 액정표시패널(10)의 로딩/언로딩 시간보다 길기 때문에, 제1,2스테이지부(110,120a)의 액정표시패널 이송과 제1,3스테이지부(110,120b)의 액정표시패널 이송을 각각 독립적으로 수행할 수 있는 패널 캐리어(140a)가 제공된다면 검사 수율을 향상시킬 수 있다. As such, the
도 17에 도시된 바와 같이, 패널 캐리어(140b)는 1개의 스테이지부 영역에 대응되는 크기로 설치되며, X축 레일(141)을 따라 이동되는 하나의 이동프레임(144)만을 가질 수 있으며, 이 이동프레임(144)은 제1,2,3스테이지부(110,120a,120b) 사이에서 액정표시패널의 이송을 담당하는 하나의 제1그립부 (146a)를 구비할 수 있다. 제1그립부(146a)는 서로 이격되어 배치되는 한 쌍의 클램프 아암(148)과, 이 아암(148)의 내측에 설치되어 액정표시패널(10)의 가장자리를 잡는 그립수단(150)을 포함한다.As shown in FIG. 17, the
한편, 본 발명은 상기의 구성으로 이루어진 액정표시패널 검사 장비에 있어 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있다. 하지만, 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Meanwhile, the present invention may be variously modified and may take various forms in the liquid crystal display panel inspection equipment having the above configuration. It is to be understood, however, that the present invention is not limited to the specific forms referred to in the above description, but rather includes all modifications, equivalents and substitutions within the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It should be understood to do.
상술한 바와 같이, 본 발명의 액정표시패널 검사 장비는 하나의 패널 캐리어로도 연속적인 액정표시패널 검사가 가능하다. 이처럼, 하나의 패널 캐리어를 사용함으로써 패널 캐리어와 연관된 부품 등이 간소화되고 그러한 부품 단순화를 통한 원가감소 등의 효과를 얻을 수 있다. 특히, 본 발명의 검사 장비는 사이즈가 다른 2종류의 액정표시패널 검사가 가능한 이점이 있다. As described above, the liquid crystal display panel inspection equipment of the present invention can continuously inspect the liquid crystal display panel even with one panel carrier. As such, by using one panel carrier, parts related to the panel carrier can be simplified, and costs such as cost reduction can be obtained by simplifying such parts. In particular, the inspection equipment of the present invention has the advantage that two types of liquid crystal display panel inspection of different sizes are possible.
또한, 한 개의 공급부에서 두 개의 검사부로 패널을 공급 후, 검사를 실시하므로서 두 개의 검사부에서 동시 또는 이시에 검사를 시행할 수 있다. 결국, 본 발명에 의하여 액정표시패널 검사의 수율 및 검사 진행 속도를 향상시키는 우수한 효과가 있다.In addition, after supplying the panel from one supply unit to two inspection units, the inspection can be performed at the same time or at the same time in two inspection units. As a result, according to the present invention, there is an excellent effect of improving the yield and inspection progress speed of the liquid crystal display panel inspection.
Claims (10)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050110856A KR100760163B1 (en) | 2005-11-18 | 2005-11-18 | Inspecting apparatus of liquid crystal display panel |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050110856A KR100760163B1 (en) | 2005-11-18 | 2005-11-18 | Inspecting apparatus of liquid crystal display panel |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20070052987A KR20070052987A (en) | 2007-05-23 |
KR100760163B1 true KR100760163B1 (en) | 2007-09-20 |
Family
ID=38275481
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020050110856A KR100760163B1 (en) | 2005-11-18 | 2005-11-18 | Inspecting apparatus of liquid crystal display panel |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100760163B1 (en) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10160629A (en) | 1996-11-29 | 1998-06-19 | Micronics Japan Co Ltd | Inspection system for liquid crystal panel |
KR20020065101A (en) * | 2001-02-05 | 2002-08-13 | 메카텍스 (주) | Panel Sending Apparatus of Liquid Crystal Display Panel Inspection System |
KR20050087067A (en) * | 2004-02-24 | 2005-08-31 | 엘지전자 주식회사 | System for inspecting objects received in a cassette |
-
2005
- 2005-11-18 KR KR1020050110856A patent/KR100760163B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10160629A (en) | 1996-11-29 | 1998-06-19 | Micronics Japan Co Ltd | Inspection system for liquid crystal panel |
KR20020065101A (en) * | 2001-02-05 | 2002-08-13 | 메카텍스 (주) | Panel Sending Apparatus of Liquid Crystal Display Panel Inspection System |
KR20050087067A (en) * | 2004-02-24 | 2005-08-31 | 엘지전자 주식회사 | System for inspecting objects received in a cassette |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20070052987A (en) | 2007-05-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101115874B1 (en) | Apparatus for testing array | |
JP2012037503A (en) | Inspection apparatus and inspection method of display device | |
KR20130135651A (en) | Processing line for fabricating liquid crystal display device | |
JP2000009661A (en) | Flat panel inspection device | |
JP4490066B2 (en) | Display panel inspection device | |
JP4365391B2 (en) | Display panel inspection apparatus and display panel inspection method using the same | |
JP2007156487A (en) | Polarizing film inspecting device and method | |
KR100740010B1 (en) | Inspecting system of flat panel display | |
KR970011745B1 (en) | Electric probing test machine | |
KR101663755B1 (en) | Index type liquid crystal cell inspecting apparatus | |
TWI231964B (en) | LCD panel auto gripping apparatus and method for use in a panel carrier for an automatic probe unit | |
KR100760163B1 (en) | Inspecting apparatus of liquid crystal display panel | |
KR20120131526A (en) | Laser repair device | |
KR100781605B1 (en) | Clamp for panel fixation provided to equipment for inspecting flat display panel | |
KR20030078650A (en) | Inspection Device for Device Under Test | |
KR100693715B1 (en) | Inspection apparatus | |
KR20150063750A (en) | Apparatus for transferring substrate and apparatus for inspecting substrate including the same | |
KR20230032413A (en) | Exchange system of ultra-thin-glass for ultra-thin-glass semi-inspection | |
JP2012182273A (en) | Method of in-line inspection of glass substrate and device of the same | |
KR100693716B1 (en) | Inspection apparatus | |
KR100661759B1 (en) | Equipment for inspecting flat display panel having two multi-dof robots | |
KR100924267B1 (en) | Chamfering apparatus for glass | |
KR20090006688A (en) | Probe unit and method for detecting device using the same | |
KR100352384B1 (en) | Inspecting System for Liquid Crystal Display | |
KR102047414B1 (en) | Apparatus for inspecting glass |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
G170 | Publication of correction | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120716 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130916 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141008 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150604 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160608 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170906 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180913 Year of fee payment: 12 |